KR20020096997A - 액정 디스플레이 장치의 제조 방법 - Google Patents

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KR20020096997A
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이노우에다이스케
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닛뽄덴끼 가부시끼가이샤
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Abstract

액정 디스플레이 장치의 제조 공정에서 얼라인먼트막(13)을 구성하는 재료(3)를 건조하는 방법은 재료(3)의 표면에 가스(4)를 분무하는 단계를 포함한다.

Description

액정 디스플레이 장치의 제조 방법{METHOD OF FABRICATING LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE}
발명의 배경
발명의 분야
본 발명은 액정 디스플레이 장치의 제조 공정에서 얼라인먼트 막을 구성하는 재료를 건조하기 위한 장치와 건조 방법 및 액정 디스플레이 장치의 제조 방법에 관한 것이다. 특히, 유기용제에 폴리이미드 및/또는 폴리아믹산을 용해시킨 얼라인먼트막 재료에 대하여 건조처리를 시행함에 있어서, 얼라인먼트막 재료로부터 유기용제를 균일하게 제거하는 제조 방법에 관한 것이다.
종래의 기술
액정 디스플레이 장치에서 얼라인먼트막은 러빙 처리 후 액정 분자를 단일 방향으로 정렬하고 전-경사각(pre-tilt angle)을 결정한다. 전-경사각은 얼라인먼트막이 러빙되기 전에 수행되는 얼라인먼트막 형성 단계에 의해 크게 영향을 받는다.
도 1은 얼라인먼트 막을 형성하기 위한 종래의 장치를 도시한다. 이하 도 1을 참조하여 종래의 얼라인먼트막의 형성 방법에 관해 설명한다.
도 1에 도시된 종래의 장치(300)는 얼라인먼트막을 구성하는 재료를 피복하기 위한 제 1의 유닛(310), 기판을 운반하기 위한 제 2의 유닛(320), 및 재료를 건조시키기 위한 제 3의 유닛(330)을 포함한다.
우선, 유리 기판과 같은 투명 기판(351)이 제 1의 유닛(310)의 스테이지(311)상에 배치된다.
디스펜서(312; dispenser)는 유기용제로 구성된 피복 재료(322)를 포함하고, 유기 용제에 용해된 폴리이미드 및/또는 폴라아믹산을 1 내지 15wt%로 용해할 수 있다.
피복 재료(322)는 디스펜서(312)로부터 제 1의 롤(313) 상에 도포된다. 제 1의 롤(313)과 제 2의 롤(314)이 피복 재료(322)를 균일한 두께로 유지하기 위해 사용된다. 그 후, 피복 재료(322)는 제 3의 롤(315)의 표면 상에 전사된다. 그 후, 피복 재료(322)가 균일한 두께로 투명 기판(351)의 표면 상에 프린트된다.
따라서, 프리-얼라인먼트막(323)이 투명 기판(351) 상에 형성된다.
제 2의 유닛(320)은 스테이지(311)로부터 프리-얼라인먼트막(323)이 형성된 투명 기판(351)을 꺼내어, 제 3의 유닛(330)의 열판(331) 상에 투명 기판(351)을 올려놓는다.
열판(331)은 섭씨 50 내지 100℃로 가열된다. 프리-얼리인먼트막(323)이 열판(331)에 의해 약 30초 내지 3분간 가열함으로써 프리-얼라인먼트막(323) 상에 포함된 유기용제가 건조된다. 따라서, 프리-얼라인먼트막(323)이 건조되어 제 2의 프리-얼라인먼트막(333)이 된다.
건조된 후, 제 2의 프리-얼라인먼트막(333)은 섭씨 약 180 내지 250℃에서 10분 내지 3시간가량 구워진다.
도 2의 A는 프리-얼라인먼트막(323)이 투명 기판(351)위에 전체적으로 형성된 경우 프리-얼라인먼트막(323)에서 건조 영역의 진행 상황을 도시한다.
도 2의 A에 도시된 바와 같이, 프리-얼라인먼트막(323)의 건조 영역은 시간의 경과에 따라 투명 기판(351)의 주변부로부터 중앙부를 향해 진행된다.
특히, 기판(351)의 가열이 시작되어 10초가 경과한 후의 프리-얼라인먼트막(323)의 건조 영역은 라인(324)으로 나타난 영역이며, 기판(351)의 가열이 20초 및 30초가 경과한 후의 프리-얼라인먼트막(323)의 건조 영역은 각각 라인(325) 및 라인(326)에 의해 도시된다.
도 2의 A에서 알 수 있는 바와 같이, 프리-얼라인먼트막(323)의 건조 영역은 프리-얼라인먼트막(323)의 가장자리가 중앙 영역에서보다 더 빠르게 건조된다.
도 2의 B는 프리-얼라인먼트막(323)이 투명 기판(351) 상의 네 영역에 형성된 경우 프리-얼라인먼트막(323)에서 건조 영역의 진행 상황을 도시한다.
도 2의 B에서 알 수 있듯이, 프리-얼라인먼트막(323)에서의 건조 영역은 프리-얼라인먼트막(323)이 각각 형성된 네 영역의 중앙 영역보다 주변 영역이 더 빠르게 건조된다.
도 3은 투명 기판(351) 상에 형성된 프리-얼라인먼트막(323)의 종래의 또다른 건조 방법을 도시한다.
투명 기판(351)이 열판(331) 상에 직접 배치되면, 기판(351)이 열판(331)을 박리할 때 기판의 대전 또는 오염물질이 부착될 수 있다. 따라서, 도 3에 도시된 종래의 방법에서는 기판(351)의 대전 또는 오염물질의 부착을 방지하기 위해서, 다수의 핀(336)이 열판(331) 상에 형성되고, 투명 기판(351)이 핀(336) 상에 형성된다.
이러한 방법에서, 열판(331)에서 생성된 열이 핀(336)을 통해 프리-얼라인먼트막(323)으로 전송되므로, 프리-얼라인먼트막(323)은 각 핀(336)에 근접한 영역부터 건조된다.
따라서, 프리-얼라인먼트막(323)을 상술한 얼라인먼트막으로 형성하기 위해 상기 조건으로 러빙하면, 얼라인먼트막의 표면 상태와 액정 분자에 의해 결정되는 전-경사각은 얼라인먼트막의 영역에 따라 서로 상이하게 된다. 발명자에 의해 수행된 실험에 따르면, 전-경사각은 4.5 내지 6.0°범위로 흐트러져, 표시 이미지에서 얼룩으로 나타난다.
종래의 액정 표시 장치의 상술된 문제점의 견지에서, 본 발명의 목적은 액정 디스플레이 장치의 제조 방법, 액정 디스플레이 장치의 제조 공정에서 얼라인먼트막을 구성하는 재료를 건조하는 방법, 및 액정 디스플레이 장치의 제조 공정에서 얼라인먼트막을 구성하는 재료를 건조하기 위한 장치와 유기 용제 및 유기 물질의 조합으로 구성된 프리-얼라인먼트막의 건조 단계에서 유기 용제를 제거하여 프리-얼라인먼트막을 균일하게 건조할 수 있는 모든 것에 관한 것이다.
종래에는 얼라인먼트막을 구성하는 재료의 건조시의 불균일은 재료에 열 전송의 불균일으로 인해 야기된다고 생각되었다.
그러나, 발명자는 열판 상에 기판을 놓아두는 동시에 약 3초간 기판에 가스를 분무하면, 얼라인먼트막을 구성하는 재료의 건조시 발생하는 불균일성이 없어질 수 있다는 것을 밝혀내었다. 약 3초 동안 기판의 온도가 설정 온도로 상승되지 않는다고 생각되므로, 상기 현상은 프리-얼라인먼트막으로부터 유기 용제를 증발시키는 것은, 재료로부터 유기 용제를 증발시키기 위해 재료를 가열하는 것보다 프리-얼라인먼트막의 표면 부근에서의 용제 가스를 배기하는 것이 더 효과적이다. 즉, 프리-얼라인먼트막의 건조는 프리-얼라인먼트막의 표면 부근의 용제의 가스 밀도 상태에 좌우되고 있음이 판명되었다.
본 발명은 상기 발견에 의거한다.
본 발명의 하나의 양상에서, 액정 디스플레이 장치의 제조 방법은,
(a) 제 1 및 제 2의 시판 상에 얼라인먼트막을 구성하는 재료를 피복하는 단계, (b) 상기 재료를 건조하는 단계, (c) 상기 얼라인먼트막을 형성하기 위해 재료를 러빙하는 단계, 및 (d) 제 1 및 제 2의 기판은 제 1 및 제 2의 기판 표면상에 형성된 얼라인먼트막이 서로 대면하도록 배치되고, 제 1 및 제 2의 기판 사이에 형성된 갭을 액정으로 채우는 단계를 포함하며, 상기 단계(b)는 상기 재료의 표면에 가스를 분무함으로써 수행되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 양상에서는, 액정 디스플레이 장치의 제조 공정에서 재료의표면에 가스를 분무하는 단계를 포함하고, 얼라인먼트막을 구성하는 재료를 건조하는 방법이 제공된다.
본 발명의 또 다른 양상에서는, (a) 기판 상에 재료를 피복하기 위한 제 1의 장치 및 (b) 상기 재료를 건조하기 위해 재료의 표면에 가스를 분무하기 위한 제 2의 장치를 포함하며, 액정 디스플레이 장치의 제조 공정에서 얼라인먼트막을 구성하는 재료를 건조하기 위한 장치가 제공된다.
도 1은 얼라인먼트막을 형성하기 위한 종래의 장치를 도시하는 도면.
도 2의 A는 표면 위에 전체적으로 프리-얼라인먼트막이 형성된 경우 프리-얼라인먼트막에서 건조 영역의 건조 상태를 도시하는 도면.
도 2의 B는 기판상의 네 영역에 프리-얼라인먼트막이 형성된 경우에 프리-얼라인먼트막에서 건조 영역의 건조 상태를 도시하는 도면,
도 3은 얼라인먼트막을 형성하기 위한 다른 종래의 장치를 도시하는 도면.
도 4는 본 발명의 제 1의 실시예에 따른 액정 디스플레이 장치의 제조 방법이 적용된 얼라인먼트막을 형성하기 위한 장치를 도시하는 도면.
도 5는 본 발명의 제 2의 실시예에 따른 액정 디스플레이 장치의 제조 방법이 적용된 액정 디스플레이 장치의 단면도.
도 6은 본 발명의 제 2의 실시예에 따른 액정 디스플레이 장치의 제조 방법이 적용된 얼라인먼트막을 형성하기 위한 장치를 도시하는 도면.
♠도면의 주요 부호에 대한 부호의 설명♠
1 : 기판2 : 피복 재료
3 : 프리-얼라인먼트막13 : 제 2의 프리-얼라인먼트막
110 : 제 1의 유닛111 : 스테이지
112 : 디스펜서113 : 제 1의 롤
114 : 제 2의 롤115 : 제 3의 롤
120 : 제 2의 유닛130 : 제 3의 유닛
131 : 스테이지132 : 가스-분무기
제 1의 실시예
도 4는 제 1의 실시예에 따라, 액정 디스플레이 장치의 제조 방법이 적용된 얼라인먼트막을 형성하기 위한 장치를 도시한다.
도 4에 도시된 장치(100)는 기판 상에 얼라인먼트막을 구성하는 재료를 피복하기 위한 제 1의 유닛(110), 기판을 운반하기 위한 제 2의 유닛(120), 및 재료를 건조시키기 위한 제 3의 유닛(130)을 포함한다.
우선, 기판(1)은 제 1의 유닛(110)에서 스테이지(111) 상에 배치된다.
디스펜서(112)는 유기 물질이 용해된 유기 용제로 이루어진 피복 재료(2)를 포함한다.
피복 재료(2)는 디스펜서(112)로부터 제 1의 롤(113) 상에 도포된다. 제 1의 롤(113)과 제 2의 롤(114)은 피복 재료(122)를 균일한 두께로 유지하기 위해 사용된다. 피복 재료(122)는 제 3의 롤(115)의 표면상에 전사되어, 피복 재료(122)는 기판(1)의 표면 상에 균일한 두께로 프린트된다.
따라서, 프리-얼라인먼트막(3)이 기판(1) 상에 형성된다.
제 2의 유닛(120)은 (도시되지 않음)으로 프리-얼라인먼트막(3)이 형성된 기판(1)을 스테이지(111)로부터 꺼내어, 제 3의 유닛(130)의 스테이지(131) 상에 기판(1)이 놓아진다.
제 3의 유닛(130)은 가스-분무기(132)를 포함한다. 기판(1)이 스테이지(131) 상에 놓여진 후, 가스-분무기(132)는 약 5 내지 30초간 1m3/분 내지 5m3/분 범위의 유량으로 프리-얼라인먼트막(3)에 건조 공기(4)를 분무한다. 건조 공기(4)의 유량이 더 작게 설정되면, 건조 공기(4)는 더 긴 기간동안 프리-얼라인먼트막(3)에 분무되고, 건조 공기(4)의 유량이 건조 공기(4)에 의해 프리-얼라인먼트막(3)이 물리적으로 손상을 입을 정도로 높게 설정되면, 건조 공기(4)는 더 짧은 기간 동안 프리-얼라인먼트막에 분무된다.
건조 공기(4)가 프리-얼라인먼트막(3)에 분무됨으로써, 프리-얼라인먼트막(3)에 포함된 유기 용제가 제거된다. 그 결과, 프리-얼라인먼트막(3)은 제 2의 프리-얼라인먼트막(13)이 된다.
건조된 후, 제 2의 프리-얼라인먼트막(13)이 제 3의 유닛(130)에서 또다른 스테이지로 이동하거나, 스테이지(131)가 제 3의 유닛(130)으로 이동한다. 그리고, 제 2의 프리-얼라인먼트막(13)이 섭씨 180 내지 250℃로 약 10분 내지 3시간 동안 구워진다.
상기와 같은 방법으로 형성된 제 2의 프리-얼라인먼트막(13)은 종래의 방법에 따라 형성된 얼라인먼트막에 비해 다음과 같은 장점을 갖는다.
프리-얼라인먼트막이 열판에 의해 건조되는 상기 종래의 방법에서, 제거되어야하는 유기 용제는 프리-얼라인먼트막의 주변 영역에서는 가스 밀도가 작고, 프리-얼라인먼트막의 중앙 영역에서는 가스 밀도가 높다. 그리고, 프리-얼라인먼트막이 열판에 의해 소정의 시간동안 건조될 때, 프리-얼라인먼트막은 중앙 영역보다 주변 영역에서 더 빨리 건조된다. 즉, 프리-얼라인먼트막의 중앙 영역과 주변 영역에서의 건조 속도가 다르다.
이와 반대로, 제 1의 실시예에서는 프리-얼라인먼트막(3)을 건조하기 위해 프리-얼라인먼트막(3)의 표면에 건조 공기(4)를 균일하게 분무한다. 그리고, 전체적으로 프리-얼라인먼트막(3)의 표면 부근에 존재하는 유기 용제 가스가 강제적으로 균일하게 분무되어, 프리-얼라인먼트막(3)이 건조되는 속도를 균일하게 할 수 있고, 프리-얼라인먼트막(3)을 건조하기위해 필요한 시간이 더 짧아질 수 있다.
따라서, 제 1의 실시예에 따른 방법은 프리-얼라인먼트막(3)이 건조되는 속도의 편차로 인한 결점을 없앨 수 있다.
제 1의 실시예에서 프리-얼라인먼트막(3)을 건조시키기 위해 건조 공기(4)가 사용되지만, 공기 및/또는 질소 가스가 건조 공기(4) 대신 사용될 수 있다.
프리-얼라인먼트막(3)의 표면 부근에 존재하는 유기 용제를 깨끗이 할 수 있는 기능을 가지고 있고, 프리-얼라인먼트막(3) 상에 물리적이거나 화학적인 영향을 미치지 않는다면, 어떠한 가스도 사용될 수 있다.
제 1의 실시예에서, 건조 공기(4)는 도 4에 도시된 바와 같이, 프리-얼라인먼트막(3)에 수직으로 분무되지만, 건조 공기(4)가 프리-얼라인먼트막(3)에 분무되는 방향이 수직 방향으로 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 건조 공기(4)는 프리-얼라인먼트막(3)에 비스듬히 분무될 수도 있다.
제 1의 실시예에서 스테이지(131)는 단지 기판(1)이 놓여지는 스테이지로서 기재되었지만, 스테이지(131)는 적외선 가열 또는 마이크로파 조사 장치와 같은 히터일 수 있다.
제 2의 실시예
도 5는 제 2의 실시예에 따른 액정 디스플레이 장치의 제조 방법이 적용된 트위스트 네마틱(TN)형 액정 디스플레이 장치를 도시하는 단면도이고, 도 6은 제 2의 실시예에 따른 액정 디스플레이 장치의 제조 방법이 적용된 얼라인먼트막을 형성하기 위한 장치를 도시한다.
도 5에 도시된 액정 디스플레이 장치는 액정 셀(90) 및 액정 셀(90)의 대향 표면상에 배치된 한 쌍의 편광자(65 및 85)를 포함한다.
액정 셀(90)은 박막 트랜지스터(도시되지 않음)를 포함하는 TFT 기판(50), TFT 기판(50)과 대면하여 배치된 대향 기판(70), 및 TFT 기판(50)과 대향 기판(70) 사이에 삽입된 액정(66)으로 구성된다.
TFT 기판(50)과 대향 기판(70)은 액정(66)이 삽입될 갭을 확보하기 위해 그 사이에 스페이서(도시되지 않음)를 두고 서로 부착되고, 액정(66)이 누출되는 것을 방지하기 위해 프레임형 실(seal; 도시되지 않음)을 통해 주변 영역에서 서로 밀봉 부착된다.
TFT 기판(50)은 투명 기판(51), 투명 기판(51) 상에 형성된 투명 전극(55), 및 투명 전극(55) 상에 형성된 얼라인먼트막(57)으로 구성된다. 편광자(65)는 투명 기판(51)의 저면 상에 형성된다.
대향 기판(70)은 투명 기판(71), 투명 기판(71) 상에 형성된 컬러 필터(74), 컬러 필터(74) 상에 형성된 투명 전극(75), 및 투명 전극(75) 상에 형성된 얼라인먼트막(77)으로 구성된다. 편광자(85)는 투명 기판(71)의 상면 상에 형성된다.
TFT 기판(50) 및 대향 기판(70)은 얼라인먼트막(57 및 77)이 서로 대면하도록 서로 부착된다.
제 2의 실시예에서 투명 기판(51 및 71)은 유리로 이루어진다. 대안으로서, 투명 기판(51 및 71)은 플라스틱 또는 석영 유리로 이루어질 수 있다.
상기 기판(71) 상에 형성된 투명 전극(75)은 공통 전극으로서 기능하고, 기판(51) 상에 형성된 투명 전극(55)은 픽셀 전극으로서 기능한다.
얼라인먼트막(57 및 77)은 서로 수직인 방향으로 액정 분자(66)를 정렬한다. TFT 기판(50) 및 대향 기판(70) 사이에 삽입된 액정 분자(66)는 액정 분자(66)가 정렬된 방향에 대하여 얼라인먼트막(57 및 77)에 의해 제어된다. 특히, 액정 분자(66)는 약 90°의 트위스트 각으로 구부러져서 정렬된다.
제 2의 실시예에 따라 제조된 액정 디스플레이 장치는 노멀리 화이트 모드(normally white mode)이다. 편광자(65 및 85)는 서로 수직인 투과축을 갖도록 설계되고, 또한, 대향 기판(70)에서 편광자(85)는 투명 기판(71) 부근에 존재하는 액정 분자(66)가 정렬되는 방향과 거의 평행한 투과축을 갖도록 설계되고, TFT 기판(50)에서 편광자(65)는 투명 기판(51) 부근에 존재하는 액정 분자(66)가 정렬된 방향과 거의 평행한 투과축을 갖도록 설계된다.
도 5에 도시된 액정 디스플레이 장치에서, 액정 분자(66)는 기판(51 및 71)에 의해 규정된 평면에 대해 약 4 내지 6° 범위의 전-경사각을 갖는다.
도 6은 제 2의 실시예에 따라 액정 디스플레이 장치를 제조하기 위한 방법이 적용된 얼라인먼트막을 형성하기 위한 장치를 도시한다.
얼라인먼트막(57 및 77)은 도 6에 도시된 장치를 사용하여 오프셋 프린트에 의해 형성된다.
도 6에 도시된 장치(200)는 얼라인먼트막을 구성하는 재료를 피복하기 위한 제 1의 유닛(210), 기판을 운송하기 위한 제 2의 유닛(220), 및 재료를 건조하기 위한 제 3의 유닛(230)을 포함한다.
우선, TFT 기판(50)은 제 1의 유닛(210)의 스테이지(211) 상에 배치된다. 그리고, 얼라인먼트막(57)이 TFT 기판(50) 상에 아직 형성되어 있지 않다고 가정한다.
디스펜서(212)는 유기 물질이 1 내지 15wt% 용해된 유기 용제로 이루어진다. 유기 용제로서, 예를 들어, NMP, γ-부티로락톤, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 또는 부틸셀로솔브(에틸렌글리콜 모노메틸에데르)가 사용될 수 있다. 유기 재료로서, 예를 들어, 가용성 폴리이미드 또는 폴리아믹산이 사용될 수 있다.
피복 재료(22)는 디스펜서(212)로부터 제 1의 롤(213)에 도포된다. 제 1의 롤(213)과 제 2의 롤(214)은 피복 재료(22)를 균일한 두께로 유지한다. 피복재료(22)는 제 3의 롤(215)의 표면상에 전사되고, 그 후, 피복 재료(22)는 프리-얼라인먼트막(23)으로서 균일한 두께로 TFT 기판(50)의 표면상에 프린트된다.
따라서, 프리-얼라인먼트막(23)이 TFT 기판(50) 상에 형성된다.
제 2의 유닛(220)은 암(arm)을 사용하여 스테이지(211)로부터 프리-얼라인먼트막(23)이 형성된 TFT 기판(50)을 꺼내어, 제 3의 유닛(230)의 스테이지(231) 상에 TFT 기판(50)을 놓는다.
제 3의 유닛(230)은 가스 분무기(232)를 포함한다. TFR 기판(50)이 스테이지(231) 상에 놓여진 후, 가스-분무기(232)를 질소(N2) 가스를 프리-얼라인먼트막(23)으로 5 내지 30초간 1m3/분 내지 5m3/분의 유량으로 분무한다. 질소 가스(24)의 유량이 더 작게 설정되면, 질소 가스(24)는 더 오랜 기간 프리-얼라인먼트막(23)에 분무되고, 이와 반대로, 질소 가스(24)의 유량이 질소 가스(24)에 의해 프리-얼라인먼트막(3)이 물리적으로 손상을 입을 정도로 높게 설정되면, 질소 가스(24)는 더 짧은 기간 동안 프리-얼라인먼트막에 분무된다.
질소 가스(24)가 프리-얼라인먼트막(23)에 분무됨으로써, 프리-얼라인먼트막(23)에 포함된 유기 용제가 제거된다. 그 결과, 프리-얼라인먼트막(23)은 제 2의 프리-얼라인먼트막(33)으로 변경된다.
건조된 후, 제 2의 프리-얼라인먼트막(33)은 제 3의 유닛(230)의 다른 스테이지로 이동하거나, 스테이지(231)는 제 3의 유닛(230)에 옮겨져서, 제 2의 프리-얼라인먼트막(33)은 섭씨 180 내지 250℃로 약 10분 내지 3시간 동안 구워진다.
상기와 같은 방법으로 형성된 제 2의 프리-얼라인먼트막(33)은 종래의 방법에 따라 형성된 얼라인먼트막에 비해 다음과 같은 장점을 갖는다.
열판을 사용하여 프리-얼라인먼트막을 건조하는 종래의 방법에서, 제거되어야할 유기 용제는 프리-얼라인먼트막의 주변 영역에서 작은 가스 밀도를 갖고, 프리-얼라인먼트막의 중앙 영역에서 높은 가스 밀도를 갖는다. 그리고, 프리-얼라인먼트막이 열판에 의해 소정의 시간동안 건조될 때, 프리-얼라인먼트막은 중앙 영역보다 주변 영역이 더 빨리 건조된다. 즉, 프리-얼라인먼트막의 중앙 영역과 주변 영역의 건조 속도가 서로 상이하다.
이와는 달리, 제 2의 실시예에서 프리-얼라인먼트막(23)을 건조하기 위해 프리-얼라인먼트막(23)의 표면에 질소 가스(24)가 분무된다. 그리고, 프리-얼라인먼트막(23)위에 전체적으로 프리-얼라인먼트막(23)의 표면 부근에 존재하는 유기 용제 가스가 강제적으로 균일하게 분무되어, 프리-얼라인먼트막(23)이 건조되는 속도를 균일하게 할 수 있고, 프리-얼라인먼트막(23)을 건조하기위해 필요한 시간이 더 짧아질 수 있다.
따라서, 제 2의 실시예에 따른 방법은 프리-얼라인먼트막(23)이 건조되는 속도의 편차에 의해 야기되는 결함을 제거할 수 있다.
제 2의 실시예의 스테이지(231)는 TFT 기판(50)이 배치되는 스테이지로서만 기재되었지만, 스테이지(231)는 제 1의 실시예의 스테이지(131)와 비슷하게 적외선 가열 또는 마이크로파 가열과 같은 히터로 구성될 수 있다.
상기와 같은 방법에서, 제 2의 프리-얼라인먼트막(33)은 대향 기판(70)의 투명 전극(75) 상에 형성된다.
TFT 기판(50) 및 대향 기판(70)이 서로 대면하도록 배치될 때, 투명 전극(55 및 75) 상에 형성된 제 2의 프리-얼라인먼트막(33)은 제 2의 프리-얼라인먼트막(33)이 90°의 배향축을 갖도록 러빙처리된다. 그 결과, 제 2의 프리-얼라인먼트막(33)은 얼라인먼트막(57 및 77)이 된다.
그리고, 편광자(65 및 85)가 얼라인먼트막(57 및 77)의 대향측에서 TFT 기판(50) 및 대향 기판(70)에 각각 부착된다.
그리고, TFT 기판(50) 및 대향 기판(70)이 조립되어 셀이 되고, 액정(66)이 TFT 기판(50) 과 대향 기판(70) 사이에 형성된 갭에 주입된다.
따라서, 도 5에 도시된 액정 디스플레이 장치가 완성된다.
발명자는 이와 같이 제조된 액정 디스플레이 장치에서 액정 분자(66)의 전-경사각의 변화를 측정하였다. 전-경사각이 4.5 내지 6.0°의 범위의 편차를 갖는 종래의 액정 디스플레이 장치에 비해 크게 향상된 4.5 내지 5.0°의 범위를 갖는다.
본 발명의 장점이 이하에 기재된다.
본 발명에 따르면, 프리-얼라인먼트막은 얼라인먼트막 형성 공정에서 가스를 분무함으로써 건조된다. 프리-얼라인먼트막이 열판에 의해 건조되는 종래의 방법에 비해, 본 발명은 프리-얼라인먼트막을 러빙처리한 후의 액정의 전-경사각의 편차를 현저히 감소시킬 수 있으며, 액정 디스플레이 장치에서 이미지 디스플레이 시의 불균일성을 저감할 수 있다.

Claims (14)

  1. 액정 디스플레이 장치의 제조 방법에 있어서,
    (a) 제 1 및 제 2의 기판상에 얼라인먼트막을 구성하는 재료를 피복하는 단계;
    (b) 상기 재료를 건조하는 단계;
    (c) 상기 얼라인먼트막을 형성하기 위해 상기 재료를 러빙처리하는 단계;
    (d) 상기 제 1 및 제 2의 기판 상에 형성된 상기 얼라인먼트막이 서로 대면하도록 상기 제 1 및 제 2의 기판을 배치하고, 상기 제 1 및 제 2의 기판 사이에 형성된 갭을 액정으로 채우는 단계를 포함하고,
    상기 (b)단계는 상기 재료의 표면에 가스를 분무함으로써 수행되는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 장치의 제조 방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 가스는 공기 또는 질소 가스 중 적어도 하나를 포함하거나, 적어도 하나로 구성되는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 장치의 제조 방법.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 공기는 습기를 함유하지 않는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 장치의 제조 방법.
  4. 제 1항 내지 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가스는 상기 (b) 단계에서 1m3/분 내지 5m3/분의 범위내의 유속으로 상기 재료의 표면에 분무되는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 장치의 제조 방법.
  5. 액정 디스플레이 장치의 제조 공정에서 얼라인먼트막을 구성하는 재료를 건조하는 방법에 있어서,
    상기 재료의 표면에 가스를 분무하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인먼트막을 구성하는 재료를 건조하는 방법.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 가스는 공기 및 질소 가스 중 적어도 하나를 포함하거나, 적어도 하나로 구성되는 것을 특징으로 하는 얼라인먼트막을 구성하는 재료를 건조하는 방법.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 공기는 습기를 함유하지 않는 것을 특징으로 하는 얼라인먼트막을 구성하는 재료를 건조하는 방법.
  8. 제 5항 내지 7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가스는 1m3/분 내지 5m3/분 범위의 유속으로 상기 재료의 표면에 분무되는 것을 특징으로 하는 얼라인먼트막을 구성하는 재료를 건조하는 방법.
  9. 액정 디스플레이 장치의 제조 공정에서 얼라인먼트막을 구성하는 재료를 건조하기 위한 장치에 있어서,
    (a) 기판 상에 상기 재료를 피복하기 위한 제 1의 유닛; 및
    (b) 상기 재료를 건조시키도록 상기 재료의 표면에 가스를 분무하기 위한 제 2의 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인먼트막을 구성하는 재료를 건조하기 위한 장치.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 제 2의 유닛은 공기와 질소 가수 중 적어도 하나로 구성되거나, 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인먼트막을 구성하는 재료를 건조하기 위한 장치.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 공기는 습기를 함유하지 않는 것을 특징으로 하는 얼라인먼트막을 구성하는 재료를 건조하기 위한 장치.
  12. 제 9항 내지 11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 2의 유닛은 1m3/분 내지 5m3/분 범위의 유속으로 상기 재료의 표면에 상기 가스를 분무하는 것을 특징으로 하는 얼라인먼트막을 구성하는 재료를 건조하기 위한 장치.
  13. 제 9항 내지 11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 2의 유닛은 상기 기판이 배치되어야 하는 스테이지를 포함하고, 상기 스테이지는 히터를 포함하지 않는 것을 특징으로 하는 얼라인먼트막을 구성하는 재료를 건조하기 위한 장치.
  14. 제 9항 내지 11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 2의 유닛은 상기 재료를 가열하기 위한 히터를 포함하고, 상기 히터는 적외선 가열과 마이크로파 가열 중 적어도 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 얼라인먼트막을 구성하는 재료를 건조하기 위한 장치.
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