KR20020017936A - 절단기 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (7)
- 복수개의 피가공물을 수용한 카세트를 지지하기 위하여 카세트 장착영역에 배열설치된 카세트지지수단과, 척킹영역과 절단영역 사이를 실질적으로 수평방향으로 이동할 수 있게 배열설치된 척테이블과, 세정영역에 배열설치된 세정수단과, 상기 절단영역에 위치하는 상기 척테이블 위에 척으로 고정되어 있는 피가공물을 절단하기 위한 절단수단과, 피가공물 반송수단을 구비하는 절단기(cutting machine)에 있어서,상기 카세트 장착영역과 상기 척킹영역과 상기 세정영역은 평면도에서 일정방향으로 연장되는 제 1 직선 상에 이 순서대로 배치되어 있고, 상기 척킹영역과 상기 절단영역은 평면도에서 상기 제 1 직선에 대하여 실질적으로 수직으로 연장되는 제 2 직선 상에 배치되어 있고,상기 카세트에 수용되어 있는 피가공물이 상기 피가공물 반송수단에 의해 상기 카세트로부터 상기 척킹영역으로 반출되고, 상기 척킹영역에서 상기 척테이블 위에 척으로 고정되고, 상기 척테이블과 함께 상기 절단영역으로 이송되고, 상기 절단영역에서 상기 절단수단에 의해 절단되고, 이어서 상기 척테이블과 함께 상기 척킹영역으로 되돌아오고, 피가공물 반송수단에 의해 상기 척테이블 위에서부터 상기 세정수단으로 반송되고, 상기 세정수단에 의해 세정되고, 그 후에 상기 피가공물 반송수단에 의해 상기 세정수단으로부터 상기 척킹영역으로 반송되고, 그리고 상기 피가공물 반송수단에 의해 상기 카세트로 반입되는 것을 특징으로 하는 절단기.
- 제 1 항에 있어서,상기 척킹영역에는 피가공물을 임시로 지지하기 위한 임시지지수단이 배치되어 있고,상기 카세트로부터 반출된 절단하려고 하는 피가공물은 최초로 상기 임시지지수단 위에 지지되고, 그 다음에 상기 임시지지수단 위에서부터 상기 척테이블 위로 반송되게 하고,절단되고 세정된 피가공물은 상기 세정수단으로부터 상기 임시지지수단 위로 반송되고, 그 다음에 상기 카세트로 반입되는 것을 특징으로 하는 절단기.
- 제 2 항에 있어서,상기 임시지지수단은 상기 척킹영역에 위치되어 있는 상기 척테이블의 상방에 배치된 한 쌍의 지지부재로 구성되어 있고, 상기 한 쌍의 지지부재는 서로 일정 간격을 두고 위치하여 양자간에 걸쳐서 피가공물이 지지되는 작용위치와, 상기 작용위치로부터 서로 이격되는 방향으로 이동시켜서 양자간을 통하여 피가공물을 하강시키는 것을 허용하는 비작용위치와의 사이를 이동할 수 있는 것을 특징으로 하는 절단기.
- 제 2 항에 있어서,상기 피가공물 반송수단은 제 1 반송수단, 제 2 반송수단 및 제 3 반송수단을 포함하고,상기 제 1 반송수단은 절단하려고 하는 피가공물을 상기 카세트로부터 상기 임시지지수단 위로 반출하고, 그리고 절단되고, 세정된 후에 상기 임시지지수단 위로 반송된 피가공물을 상기 임시지지수단 위로부터 상기 카세트로 반입하고,상기 제 2 반송수단은 상기 카세트로부터 반출되어 상기 임시지지수단 위에 지지된 절단하려고 하는 피가공물을 상기 임시지지수단 위로부터 상기 척테이블 위로 반송하고, 그리고 절단되고, 세정된 피가공물을 상기 세정수단으로부터 상기 임시지지수단 위로 반송하고,상기 제 3 반송수단은 절단된 후에 상기 척테이블과 함께 상기 척킹영역으로 되돌아온 피가공물을 상기 척테이블 위로부터 상기 세정수단으로 반송하는 것을 특징으로 하는 절단기.
- 제 1 항에 있어서,상기 피가공물은 반도체웨이퍼이고, 상기 절단수단은 반도체웨이퍼를 다이스하는 것을 특징으로 하는 절단기.
- 제 5 항에 있어서,상기 절단수단은 회전축 및 상기 회전축에 장착된 절단블레이드를 구비하고, 상기 회전축은 상기 제 1 직선에 평행하게 연장되는 것을 특징으로 하는 절단기.
- 제 5 항에 있어서,상기 절단수단은 제 1 절단수단 및 제 2 절단수단을 포함하고, 상기 제 1 절단수단 및 상기 제 2 절단수단 각각은 회전축 및 그 회전축에 장착된 절단블레이드를 구비하고, 상기 회전축은 종렬배치되고 동시에 제 1 직선에 평행하게 연장되고, 상기 절단블레이드는 상기 회전축의 서로 대면하는 단부에 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 절단기.
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