JPH06181257A - ダイシング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 ダイシング装置の横幅を減少させて、装置全
体を小型コンパクトに纏める。 【構成】 ダイシング装置１におけるカセット領域２
と、チャック領域３と、スピン洗浄領域４とをスピンド
ル８１の軸線に対して平行線上に配設する。チャック領
域３のチャックテーブルは、前記平行線に対して直角方
向に往復動可能に配設すると共に、チャック領域３とダ
イシング領域６とに位置付けられるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ダイシング装置であっ
て特に小型コンパクトに形成したダイシング装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のダイシング装置は、例えば特開昭
６３−２８８６４２号公報に開示される如く、図３に示
すようにウェーハを収納したカセットが位置付けられる
カセット領域Ａと、ダイシング領域Ｅにウエーハを供給
するためのチャックテーブルが位置付けられるチャック
領域Ｂと、切断されたウェーハを洗浄するスピン洗浄領
域Ｃを有し、ウェーハをカセット領域Ａ（カセットａ）
から搬出領域Ｂ′に、搬出領域Ｂ′からチャック領域Ｂ
に、チャック領域Ｂからダイシング領域Ｅに、切断後に
チャック領域Ｂに戻り、そこからスピン洗浄領域Ｃに、
洗浄後にスピン洗浄領域Ｃから搬入領域Ｃ′に、搬入領
域Ｃ′から再びカセット領域Ａ（カセットａ′）に移動
しながらダイシング作業を連続的に遂行するようになっ
ている。このダイシング装置においては、搬出領域Ｂ′
とチャック領域Ｂとスピン洗浄領域Ｃと、搬入領域Ｃ′
とを同一円周上の等分割した位置に配設し、その円周の
中心に回転軸を有すると共にウェーハを着脱するチャッ
ク部を有し、その回転軸を一定角度回転させることによ
り隣接する２つの位置上のウェーハを同時に搬送できる
回転アームＤを備えている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のダイシング装置によると、回転アームＤを中心とし
てその同一円周上に各領域を配設しなければならないの
で、装置上面に広いスペースを確保しなければならず、
作業者から見て装置の横幅が非常に大きくなってしま
う。このため、ダイシング装置の設置面積を多く必要と
し、クリーンルームの設備費を高騰させる原因になる。
本発明は、ダイシング装置の小型化を図ることにより前
記のような従来の問題を解決することを課題としたもの
である。

【０００４】

【課題を解決するための手段】この課題を技術的に解決
するための手段として、本発明は、カセット領域と、チ
ャック領域と、スピン洗浄領域とがスピンドルの軸線に
対して平行線上に配設され、前記チャック領域のチャッ
クテーブルは前記平行線に対して直角方向に往復動可能
に配設されると共に、チャック領域とダイシング領域と
に位置付けられるように構成したことを要旨とする。

【０００５】

【作 用】各領域を円周上ではなくカセット領域と、チ
ャック領域と、スピン洗浄領域とは作業者から見て前後
方向（スピンドルの軸線に対して平行方向）の直線上に
配設し、ダイシング領域はその直線に対して直角方向に
配設したので、装置の横幅を大幅に短縮することが可能
となり、しかも各領域を互いに近接配置できることから
装置全体を小型コンパクトに纏めることができる。

【０００６】

【実施例】以下、図示の実施例により本発明を更に詳し
く説明する。図１において、１はダイシング装置であ
り、前端側部にウェーハを収納したカセット２′が位置
付けられるカセット領域２が配設され、このカセット領
域２の中心を通る直線Ｌ上にチャック領域３とスピン洗
浄領域４とが近接配置されている。

【０００７】５はダイシング装置１の側端部に設けられ
た搬送手段であり、前記直線Ｌに対し平行に移動できる
ようにしてあり、前記カセット領域２に位置付けられて
いるカセット２′からテープを介してフレームに保持さ
れたウェーハ（図略）を取り出してチャック領域３に搬
送し、或は切断されたウェーハを洗浄した後にスピン洗
浄領域４からカセット領域２に搬送できるようにしてあ
る。

【０００８】前記搬送手段５は、図２に示すように垂直
基板５１が送りねじ５２によってガイドレール５３に沿
って直線Ｌ方向に摺動自在に設けられ、この垂直基板５
１に対して断面Ｌ型のアーム板５４が送りねじ５５によ
ってガイドレール５６に沿って上下移動可能に取り付け
られ、更にアーム板５４の前端側にはウェーハを保持し
たフレームの一端部を把持するためのハンド機構５７が
取り付けられ、後端側にはウェーハを着脱するための吸
着機構５８が設けられ、この吸着機構５８はシリンダー
５９によって上下方向に移動可能に形成されている。
又、前記カセット領域２は送りねじ２１によって上下動
可能になっている。

【０００９】前記チャック領域３は回転可能なチャック
テーブル３１を有し、前記直線Ｌに対して直角方向の直
線Ｍに沿って往復動可能に配設され、チャック領域３と
ダイシング領域６とに位置付けられると共に、その中間
位置に配設されているアライメント領域７にも位置付け
られる。

【００１０】８はスピンドルユニットであり、スピンド
ル８１の先端部には回転ブレード８２が取り付けられ、
直線Ｌと平行な軸線Ｎ方向にダイシングの割り出し移動
ができると共に、紙面に対して垂直方向に移動して深さ
調整ができるように構成され、この回転ブレード８２に
より前記ダイシング領域６にてウェーハ面に形成された
ストリートに沿ってウェーハをダイシングできるように
してある。

【００１１】本発明に係るダイシング装置は上記のよう
に構成され、先ず搬送手段５をＰの位置まで前進させて
カセット領域２のカセット２′からフレームの一端部を
ハンド機構５７で把持してウェーハを取り出すと共に、
搬送手段をＱの位置まで後退させてウェーハをチャック
領域３に位置付けられているチャックテーブル３１上に
供給する。

【００１２】次に、ウエーハを吸着固定したチャックテ
ーブル３１を直線Ｍ方向に移動してアライメント領域７
に位置付け、公知のアライメント手段にてウェーハを正
しく位置決めする。

【００１３】この後、チャックテーブル３１をダイシン
グ領域６まで移動し、直線Ｍ方向に往復動して一方のス
トリートを切削（ダイシング）した後、チャックテーブ
ルを９０°回転して他方のストリートを切削してウェー
ハのダイシングが遂行される。尚、前記スピンドルユニ
ット８は少なくともスピンドル８１の軸線Ｎ方向及び紙
面に垂直方向に移動され、前記チャックテーブル３１が
ダイシング領域６において直線Ｍ方向に往復動すること
でダイシングが遂行されるが、チャックテーブル３１は
ダイシング領域６で保持してスピンドルユニット８の方
を往復動させるようにしても良い。何れにしても相対的
に直線Ｍ方向に動かしてダイシングが遂行される。

【００１４】ダイシング後に、チャックテーブル３１は
チャック領域３まで戻り、搬送手段５をＱからＰまで前
進させて吸着機構５８でチャック領域３のウェーハを吸
着すると共に、ハンド機構５７でカセット領域２内の次
にダイシングされる２番目のウェーハを把持し、その状
態を保持して搬送手段５をＱまで後退させる。

【００１５】搬送手段５をＱまで後退させたところで、
吸着機構５８のウェーハを前記スピン洗浄領域４に供給
し、ハンド機構５７のウェーハはチャック領域に供給す
る。つまり、ダイシング後のウェーハをチャック領域３
からスピン洗浄領域４に搬送するのと、次にダイシング
されるウェーハをカセット領域２からチャック領域３に
搬送するのとを同時に行うことができる。

【００１６】この後、スピン洗浄領域４ではウェーハの
洗浄が行われ、洗浄後に搬送手段５を図１に示すように
ＱからＲの位置まで後退させ、ハンド機構で洗浄後のウ
ェーハを把持（フレームの一端部を把持）すると共に搬
送手段５をＲからＰまで前進させ、洗浄後のウェーハを
カセット領域２の所定の箇所に収納する。

【００１７】この間、チャック領域３のウェーハは前記
のようにアライメント工程を経てダイシング領域６にて
ダイシングされ、ダイシング後に再びチャック領域３に
戻されて待機する。

【００１８】前記洗浄後のウェーハをカセット領域２に
収納した後、搬送手段５の吸着機構５８で前記チャック
領域３に待機しているウェーハを吸着すると共に、ハン
ド機構５７でカセット領域２内の３番目のウェーハを把
持し、その状態を保持して搬送手段５をＱまで後退させ
て吸着機構５８のウェーハはスピン洗浄領域４に供給
し、ハンド機構５７のウェーハはチャック領域３に供給
し、前記と同じ工程が繰り返される。これにより、一連
の工程が連続的に且つ能率的に遂行される。

【００１９】この場合には、カセット領域２の直線Ｌ上
にチャック領域３とスピン洗浄領域４が近接して配設さ
れ、チャック領域３のチャックテーブル３１をスピンド
ル８１の軸線Ｎに対して直角方向に移動させ、搬送手段
５を直線Ｌ上に沿って往復動させるように形成したの
で、ダイシング装置１の横幅寸法Ｗを従来よりも縮小す
ることができる。しかも、搬送手段５はダイシング装置
１の上面に装着できて横方向にはみ出さないので、装置
全体を小型コンパクトに纏めることが可能である。尚、
搬送手段５のハンド機構５７はカセット内のウェーハの
搬出と、洗浄後のウエーハをカセット内に搬入する場合
に使用され、吸着機構５８はダイシング後のウェーハを
スピン洗浄領域まで搬送する場合に使用されるのでクロ
スコンタミを防止することができる。

【００２０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ダイシング装置におけるカセット領域と、チャック領域
と、スピン洗浄領域とは作業者から見て前後方向（スピ
ンドルの軸線に対して平行方向）の直線上に配設し、ダ
イシング領域はチャック領域に対して直角方向に配設し
たので、装置の横幅を大幅に短縮することが可能とな
り、しかも各領域を互いに近接配置できることから装置
全体を小型コンパクトに纏めることができる等の優れた
効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施例を示す概略平面図である。

【図２】 搬送手段の分解斜視図である。

【図３】 従来例の説明図である。

【符号の説明】

１…ダイシング装置 ２…カセット領域 ２′…カ
セット ２１…送りねじ ３…チャック領域 ３
１…チャックテーブル ４…スピン洗浄領域 ５…搬送手段 ５１…垂直基板 ５２…送りねじ
５３…ガイドレール ５４…アーム板 ５５…送
りねじ ５６…ガイドレール ５７…ハンド機構
５８…吸着機構 ５９…シリンダー ６…ダイシ
ング領域 ７…アライメント領域 ８…スピンドルユニット
８１…スピンドル ８２…回転ブレード

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 カセット領域と、チャック領域と、スピ
   ン洗浄領域とがスピンドルの軸線に対して平行線上に配
   設され、前記チャック領域のチャックテーブルは前記平
   行線に対して直角方向に往復動可能に配設されると共
   に、チャック領域とダイシング領域とに位置付けられる
   ように構成されているダイシング装置。