JPH06181257A - ダイシング装置 - Google Patents
ダイシング装置Info
- Publication number
- JPH06181257A JPH06181257A JP33494492A JP33494492A JPH06181257A JP H06181257 A JPH06181257 A JP H06181257A JP 33494492 A JP33494492 A JP 33494492A JP 33494492 A JP33494492 A JP 33494492A JP H06181257 A JPH06181257 A JP H06181257A
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- Japan
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- chuck
- dicing
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- cassette
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- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 21
- 238000005406 washing Methods 0.000 abstract 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 36
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000012864 cross contamination Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
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- Dicing (AREA)
Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【目的】 ダイシング装置の横幅を減少させて、装置全
体を小型コンパクトに纏める。 【構成】 ダイシング装置1におけるカセット領域2
と、チャック領域3と、スピン洗浄領域4とをスピンド
ル81の軸線に対して平行線上に配設する。チャック領
域3のチャックテーブルは、前記平行線に対して直角方
向に往復動可能に配設すると共に、チャック領域3とダ
イシング領域6とに位置付けられるようにする。
体を小型コンパクトに纏める。 【構成】 ダイシング装置1におけるカセット領域2
と、チャック領域3と、スピン洗浄領域4とをスピンド
ル81の軸線に対して平行線上に配設する。チャック領
域3のチャックテーブルは、前記平行線に対して直角方
向に往復動可能に配設すると共に、チャック領域3とダ
イシング領域6とに位置付けられるようにする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ダイシング装置であっ
て特に小型コンパクトに形成したダイシング装置に関す
るものである。
て特に小型コンパクトに形成したダイシング装置に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】従来のダイシング装置は、例えば特開昭
63−288642号公報に開示される如く、図3に示
すようにウェーハを収納したカセットが位置付けられる
カセット領域Aと、ダイシング領域Eにウエーハを供給
するためのチャックテーブルが位置付けられるチャック
領域Bと、切断されたウェーハを洗浄するスピン洗浄領
域Cを有し、ウェーハをカセット領域A(カセットa)
から搬出領域B′に、搬出領域B′からチャック領域B
に、チャック領域Bからダイシング領域Eに、切断後に
チャック領域Bに戻り、そこからスピン洗浄領域Cに、
洗浄後にスピン洗浄領域Cから搬入領域C′に、搬入領
域C′から再びカセット領域A(カセットa′)に移動
しながらダイシング作業を連続的に遂行するようになっ
ている。このダイシング装置においては、搬出領域B′
とチャック領域Bとスピン洗浄領域Cと、搬入領域C′
とを同一円周上の等分割した位置に配設し、その円周の
中心に回転軸を有すると共にウェーハを着脱するチャッ
ク部を有し、その回転軸を一定角度回転させることによ
り隣接する2つの位置上のウェーハを同時に搬送できる
回転アームDを備えている。
63−288642号公報に開示される如く、図3に示
すようにウェーハを収納したカセットが位置付けられる
カセット領域Aと、ダイシング領域Eにウエーハを供給
するためのチャックテーブルが位置付けられるチャック
領域Bと、切断されたウェーハを洗浄するスピン洗浄領
域Cを有し、ウェーハをカセット領域A(カセットa)
から搬出領域B′に、搬出領域B′からチャック領域B
に、チャック領域Bからダイシング領域Eに、切断後に
チャック領域Bに戻り、そこからスピン洗浄領域Cに、
洗浄後にスピン洗浄領域Cから搬入領域C′に、搬入領
域C′から再びカセット領域A(カセットa′)に移動
しながらダイシング作業を連続的に遂行するようになっ
ている。このダイシング装置においては、搬出領域B′
とチャック領域Bとスピン洗浄領域Cと、搬入領域C′
とを同一円周上の等分割した位置に配設し、その円周の
中心に回転軸を有すると共にウェーハを着脱するチャッ
ク部を有し、その回転軸を一定角度回転させることによ
り隣接する2つの位置上のウェーハを同時に搬送できる
回転アームDを備えている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のダイシング装置によると、回転アームDを中心とし
てその同一円周上に各領域を配設しなければならないの
で、装置上面に広いスペースを確保しなければならず、
作業者から見て装置の横幅が非常に大きくなってしま
う。このため、ダイシング装置の設置面積を多く必要と
し、クリーンルームの設備費を高騰させる原因になる。
本発明は、ダイシング装置の小型化を図ることにより前
記のような従来の問題を解決することを課題としたもの
である。
来のダイシング装置によると、回転アームDを中心とし
てその同一円周上に各領域を配設しなければならないの
で、装置上面に広いスペースを確保しなければならず、
作業者から見て装置の横幅が非常に大きくなってしま
う。このため、ダイシング装置の設置面積を多く必要と
し、クリーンルームの設備費を高騰させる原因になる。
本発明は、ダイシング装置の小型化を図ることにより前
記のような従来の問題を解決することを課題としたもの
である。
【0004】
【課題を解決するための手段】この課題を技術的に解決
するための手段として、本発明は、カセット領域と、チ
ャック領域と、スピン洗浄領域とがスピンドルの軸線に
対して平行線上に配設され、前記チャック領域のチャッ
クテーブルは前記平行線に対して直角方向に往復動可能
に配設されると共に、チャック領域とダイシング領域と
に位置付けられるように構成したことを要旨とする。
するための手段として、本発明は、カセット領域と、チ
ャック領域と、スピン洗浄領域とがスピンドルの軸線に
対して平行線上に配設され、前記チャック領域のチャッ
クテーブルは前記平行線に対して直角方向に往復動可能
に配設されると共に、チャック領域とダイシング領域と
に位置付けられるように構成したことを要旨とする。
【0005】
【作 用】各領域を円周上ではなくカセット領域と、チ
ャック領域と、スピン洗浄領域とは作業者から見て前後
方向(スピンドルの軸線に対して平行方向)の直線上に
配設し、ダイシング領域はその直線に対して直角方向に
配設したので、装置の横幅を大幅に短縮することが可能
となり、しかも各領域を互いに近接配置できることから
装置全体を小型コンパクトに纏めることができる。
ャック領域と、スピン洗浄領域とは作業者から見て前後
方向(スピンドルの軸線に対して平行方向)の直線上に
配設し、ダイシング領域はその直線に対して直角方向に
配設したので、装置の横幅を大幅に短縮することが可能
となり、しかも各領域を互いに近接配置できることから
装置全体を小型コンパクトに纏めることができる。
【0006】
【実施例】以下、図示の実施例により本発明を更に詳し
く説明する。図1において、1はダイシング装置であ
り、前端側部にウェーハを収納したカセット2′が位置
付けられるカセット領域2が配設され、このカセット領
域2の中心を通る直線L上にチャック領域3とスピン洗
浄領域4とが近接配置されている。
く説明する。図1において、1はダイシング装置であ
り、前端側部にウェーハを収納したカセット2′が位置
付けられるカセット領域2が配設され、このカセット領
域2の中心を通る直線L上にチャック領域3とスピン洗
浄領域4とが近接配置されている。
【0007】5はダイシング装置1の側端部に設けられ
た搬送手段であり、前記直線Lに対し平行に移動できる
ようにしてあり、前記カセット領域2に位置付けられて
いるカセット2′からテープを介してフレームに保持さ
れたウェーハ(図略)を取り出してチャック領域3に搬
送し、或は切断されたウェーハを洗浄した後にスピン洗
浄領域4からカセット領域2に搬送できるようにしてあ
る。
た搬送手段であり、前記直線Lに対し平行に移動できる
ようにしてあり、前記カセット領域2に位置付けられて
いるカセット2′からテープを介してフレームに保持さ
れたウェーハ(図略)を取り出してチャック領域3に搬
送し、或は切断されたウェーハを洗浄した後にスピン洗
浄領域4からカセット領域2に搬送できるようにしてあ
る。
【0008】前記搬送手段5は、図2に示すように垂直
基板51が送りねじ52によってガイドレール53に沿
って直線L方向に摺動自在に設けられ、この垂直基板5
1に対して断面L型のアーム板54が送りねじ55によ
ってガイドレール56に沿って上下移動可能に取り付け
られ、更にアーム板54の前端側にはウェーハを保持し
たフレームの一端部を把持するためのハンド機構57が
取り付けられ、後端側にはウェーハを着脱するための吸
着機構58が設けられ、この吸着機構58はシリンダー
59によって上下方向に移動可能に形成されている。
又、前記カセット領域2は送りねじ21によって上下動
可能になっている。
基板51が送りねじ52によってガイドレール53に沿
って直線L方向に摺動自在に設けられ、この垂直基板5
1に対して断面L型のアーム板54が送りねじ55によ
ってガイドレール56に沿って上下移動可能に取り付け
られ、更にアーム板54の前端側にはウェーハを保持し
たフレームの一端部を把持するためのハンド機構57が
取り付けられ、後端側にはウェーハを着脱するための吸
着機構58が設けられ、この吸着機構58はシリンダー
59によって上下方向に移動可能に形成されている。
又、前記カセット領域2は送りねじ21によって上下動
可能になっている。
【0009】前記チャック領域3は回転可能なチャック
テーブル31を有し、前記直線Lに対して直角方向の直
線Mに沿って往復動可能に配設され、チャック領域3と
ダイシング領域6とに位置付けられると共に、その中間
位置に配設されているアライメント領域7にも位置付け
られる。
テーブル31を有し、前記直線Lに対して直角方向の直
線Mに沿って往復動可能に配設され、チャック領域3と
ダイシング領域6とに位置付けられると共に、その中間
位置に配設されているアライメント領域7にも位置付け
られる。
【0010】8はスピンドルユニットであり、スピンド
ル81の先端部には回転ブレード82が取り付けられ、
直線Lと平行な軸線N方向にダイシングの割り出し移動
ができると共に、紙面に対して垂直方向に移動して深さ
調整ができるように構成され、この回転ブレード82に
より前記ダイシング領域6にてウェーハ面に形成された
ストリートに沿ってウェーハをダイシングできるように
してある。
ル81の先端部には回転ブレード82が取り付けられ、
直線Lと平行な軸線N方向にダイシングの割り出し移動
ができると共に、紙面に対して垂直方向に移動して深さ
調整ができるように構成され、この回転ブレード82に
より前記ダイシング領域6にてウェーハ面に形成された
ストリートに沿ってウェーハをダイシングできるように
してある。
【0011】本発明に係るダイシング装置は上記のよう
に構成され、先ず搬送手段5をPの位置まで前進させて
カセット領域2のカセット2′からフレームの一端部を
ハンド機構57で把持してウェーハを取り出すと共に、
搬送手段をQの位置まで後退させてウェーハをチャック
領域3に位置付けられているチャックテーブル31上に
供給する。
に構成され、先ず搬送手段5をPの位置まで前進させて
カセット領域2のカセット2′からフレームの一端部を
ハンド機構57で把持してウェーハを取り出すと共に、
搬送手段をQの位置まで後退させてウェーハをチャック
領域3に位置付けられているチャックテーブル31上に
供給する。
【0012】次に、ウエーハを吸着固定したチャックテ
ーブル31を直線M方向に移動してアライメント領域7
に位置付け、公知のアライメント手段にてウェーハを正
しく位置決めする。
ーブル31を直線M方向に移動してアライメント領域7
に位置付け、公知のアライメント手段にてウェーハを正
しく位置決めする。
【0013】この後、チャックテーブル31をダイシン
グ領域6まで移動し、直線M方向に往復動して一方のス
トリートを切削(ダイシング)した後、チャックテーブ
ルを90°回転して他方のストリートを切削してウェー
ハのダイシングが遂行される。尚、前記スピンドルユニ
ット8は少なくともスピンドル81の軸線N方向及び紙
面に垂直方向に移動され、前記チャックテーブル31が
ダイシング領域6において直線M方向に往復動すること
でダイシングが遂行されるが、チャックテーブル31は
ダイシング領域6で保持してスピンドルユニット8の方
を往復動させるようにしても良い。何れにしても相対的
に直線M方向に動かしてダイシングが遂行される。
グ領域6まで移動し、直線M方向に往復動して一方のス
トリートを切削(ダイシング)した後、チャックテーブ
ルを90°回転して他方のストリートを切削してウェー
ハのダイシングが遂行される。尚、前記スピンドルユニ
ット8は少なくともスピンドル81の軸線N方向及び紙
面に垂直方向に移動され、前記チャックテーブル31が
ダイシング領域6において直線M方向に往復動すること
でダイシングが遂行されるが、チャックテーブル31は
ダイシング領域6で保持してスピンドルユニット8の方
を往復動させるようにしても良い。何れにしても相対的
に直線M方向に動かしてダイシングが遂行される。
【0014】ダイシング後に、チャックテーブル31は
チャック領域3まで戻り、搬送手段5をQからPまで前
進させて吸着機構58でチャック領域3のウェーハを吸
着すると共に、ハンド機構57でカセット領域2内の次
にダイシングされる2番目のウェーハを把持し、その状
態を保持して搬送手段5をQまで後退させる。
チャック領域3まで戻り、搬送手段5をQからPまで前
進させて吸着機構58でチャック領域3のウェーハを吸
着すると共に、ハンド機構57でカセット領域2内の次
にダイシングされる2番目のウェーハを把持し、その状
態を保持して搬送手段5をQまで後退させる。
【0015】搬送手段5をQまで後退させたところで、
吸着機構58のウェーハを前記スピン洗浄領域4に供給
し、ハンド機構57のウェーハはチャック領域に供給す
る。つまり、ダイシング後のウェーハをチャック領域3
からスピン洗浄領域4に搬送するのと、次にダイシング
されるウェーハをカセット領域2からチャック領域3に
搬送するのとを同時に行うことができる。
吸着機構58のウェーハを前記スピン洗浄領域4に供給
し、ハンド機構57のウェーハはチャック領域に供給す
る。つまり、ダイシング後のウェーハをチャック領域3
からスピン洗浄領域4に搬送するのと、次にダイシング
されるウェーハをカセット領域2からチャック領域3に
搬送するのとを同時に行うことができる。
【0016】この後、スピン洗浄領域4ではウェーハの
洗浄が行われ、洗浄後に搬送手段5を図1に示すように
QからRの位置まで後退させ、ハンド機構で洗浄後のウ
ェーハを把持(フレームの一端部を把持)すると共に搬
送手段5をRからPまで前進させ、洗浄後のウェーハを
カセット領域2の所定の箇所に収納する。
洗浄が行われ、洗浄後に搬送手段5を図1に示すように
QからRの位置まで後退させ、ハンド機構で洗浄後のウ
ェーハを把持(フレームの一端部を把持)すると共に搬
送手段5をRからPまで前進させ、洗浄後のウェーハを
カセット領域2の所定の箇所に収納する。
【0017】この間、チャック領域3のウェーハは前記
のようにアライメント工程を経てダイシング領域6にて
ダイシングされ、ダイシング後に再びチャック領域3に
戻されて待機する。
のようにアライメント工程を経てダイシング領域6にて
ダイシングされ、ダイシング後に再びチャック領域3に
戻されて待機する。
【0018】前記洗浄後のウェーハをカセット領域2に
収納した後、搬送手段5の吸着機構58で前記チャック
領域3に待機しているウェーハを吸着すると共に、ハン
ド機構57でカセット領域2内の3番目のウェーハを把
持し、その状態を保持して搬送手段5をQまで後退させ
て吸着機構58のウェーハはスピン洗浄領域4に供給
し、ハンド機構57のウェーハはチャック領域3に供給
し、前記と同じ工程が繰り返される。これにより、一連
の工程が連続的に且つ能率的に遂行される。
収納した後、搬送手段5の吸着機構58で前記チャック
領域3に待機しているウェーハを吸着すると共に、ハン
ド機構57でカセット領域2内の3番目のウェーハを把
持し、その状態を保持して搬送手段5をQまで後退させ
て吸着機構58のウェーハはスピン洗浄領域4に供給
し、ハンド機構57のウェーハはチャック領域3に供給
し、前記と同じ工程が繰り返される。これにより、一連
の工程が連続的に且つ能率的に遂行される。
【0019】この場合には、カセット領域2の直線L上
にチャック領域3とスピン洗浄領域4が近接して配設さ
れ、チャック領域3のチャックテーブル31をスピンド
ル81の軸線Nに対して直角方向に移動させ、搬送手段
5を直線L上に沿って往復動させるように形成したの
で、ダイシング装置1の横幅寸法Wを従来よりも縮小す
ることができる。しかも、搬送手段5はダイシング装置
1の上面に装着できて横方向にはみ出さないので、装置
全体を小型コンパクトに纏めることが可能である。尚、
搬送手段5のハンド機構57はカセット内のウェーハの
搬出と、洗浄後のウエーハをカセット内に搬入する場合
に使用され、吸着機構58はダイシング後のウェーハを
スピン洗浄領域まで搬送する場合に使用されるのでクロ
スコンタミを防止することができる。
にチャック領域3とスピン洗浄領域4が近接して配設さ
れ、チャック領域3のチャックテーブル31をスピンド
ル81の軸線Nに対して直角方向に移動させ、搬送手段
5を直線L上に沿って往復動させるように形成したの
で、ダイシング装置1の横幅寸法Wを従来よりも縮小す
ることができる。しかも、搬送手段5はダイシング装置
1の上面に装着できて横方向にはみ出さないので、装置
全体を小型コンパクトに纏めることが可能である。尚、
搬送手段5のハンド機構57はカセット内のウェーハの
搬出と、洗浄後のウエーハをカセット内に搬入する場合
に使用され、吸着機構58はダイシング後のウェーハを
スピン洗浄領域まで搬送する場合に使用されるのでクロ
スコンタミを防止することができる。
【0020】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ダイシング装置におけるカセット領域と、チャック領域
と、スピン洗浄領域とは作業者から見て前後方向(スピ
ンドルの軸線に対して平行方向)の直線上に配設し、ダ
イシング領域はチャック領域に対して直角方向に配設し
たので、装置の横幅を大幅に短縮することが可能とな
り、しかも各領域を互いに近接配置できることから装置
全体を小型コンパクトに纏めることができる等の優れた
効果を奏する。
ダイシング装置におけるカセット領域と、チャック領域
と、スピン洗浄領域とは作業者から見て前後方向(スピ
ンドルの軸線に対して平行方向)の直線上に配設し、ダ
イシング領域はチャック領域に対して直角方向に配設し
たので、装置の横幅を大幅に短縮することが可能とな
り、しかも各領域を互いに近接配置できることから装置
全体を小型コンパクトに纏めることができる等の優れた
効果を奏する。
【図1】 本発明の実施例を示す概略平面図である。
【図2】 搬送手段の分解斜視図である。
【図3】 従来例の説明図である。
1…ダイシング装置 2…カセット領域 2′…カ
セット 21…送りねじ 3…チャック領域 3
1…チャックテーブル 4…スピン洗浄領域 5…搬送手段 51…垂直基板 52…送りねじ
53…ガイドレール 54…アーム板 55…送
りねじ 56…ガイドレール 57…ハンド機構
58…吸着機構 59…シリンダー 6…ダイシ
ング領域 7…アライメント領域 8…スピンドルユニット
81…スピンドル 82…回転ブレード
セット 21…送りねじ 3…チャック領域 3
1…チャックテーブル 4…スピン洗浄領域 5…搬送手段 51…垂直基板 52…送りねじ
53…ガイドレール 54…アーム板 55…送
りねじ 56…ガイドレール 57…ハンド機構
58…吸着機構 59…シリンダー 6…ダイシ
ング領域 7…アライメント領域 8…スピンドルユニット
81…スピンドル 82…回転ブレード
Claims (1)
- 【請求項1】 カセット領域と、チャック領域と、スピ
ン洗浄領域とがスピンドルの軸線に対して平行線上に配
設され、前記チャック領域のチャックテーブルは前記平
行線に対して直角方向に往復動可能に配設されると共
に、チャック領域とダイシング領域とに位置付けられる
ように構成されているダイシング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33494492A JPH06181257A (ja) | 1992-11-24 | 1992-11-24 | ダイシング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33494492A JPH06181257A (ja) | 1992-11-24 | 1992-11-24 | ダイシング装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06181257A true JPH06181257A (ja) | 1994-06-28 |
Family
ID=18282984
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33494492A Pending JPH06181257A (ja) | 1992-11-24 | 1992-11-24 | ダイシング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06181257A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001358093A (ja) * | 2000-06-16 | 2001-12-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切断機 |
JP2016021492A (ja) * | 2014-07-14 | 2016-02-04 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60216567A (ja) * | 1985-03-11 | 1985-10-30 | Hitachi Ltd | ウエハの切削装置 |
JPS63288642A (ja) * | 1987-05-18 | 1988-11-25 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置におけるワ−ク搬送方法及び装置 |
JPH04212422A (ja) * | 1990-10-16 | 1992-08-04 | Sony Corp | 半導体処理装置 |
-
1992
- 1992-11-24 JP JP33494492A patent/JPH06181257A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60216567A (ja) * | 1985-03-11 | 1985-10-30 | Hitachi Ltd | ウエハの切削装置 |
JPS63288642A (ja) * | 1987-05-18 | 1988-11-25 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置におけるワ−ク搬送方法及び装置 |
JPH04212422A (ja) * | 1990-10-16 | 1992-08-04 | Sony Corp | 半導体処理装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001358093A (ja) * | 2000-06-16 | 2001-12-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切断機 |
JP4616969B2 (ja) * | 2000-06-16 | 2011-01-19 | 株式会社ディスコ | 切断機 |
JP2016021492A (ja) * | 2014-07-14 | 2016-02-04 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
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