KR20010098943A - 전기 광학 장치의 제조방법, 실재 압착 경화 장치, 전기광학 장치 및 전자 기기 - Google Patents

전기 광학 장치의 제조방법, 실재 압착 경화 장치, 전기광학 장치 및 전자 기기 Download PDF

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지오다코조
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구사마 사부로
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Abstract

본 발명은 전기 광학 재료 셀의 세정 공정을 불필요로 하여, 생산 효율을 향상할 수 있는 전기 광학 장치 및 전기 광학 장치의 제조방법을 제공하는 것이다.
기판(11), 대향 기판(12)이 각각 형성되는 기판 형성 영역(11a, 12a)을 복수개 포함하는 기판 모재(111A, 112A)를 사용하여, 대향 기판 모재(112A)의 각 기판 형성 영역(12a)의 주변부에, 고리형상으로, 주입부를 갖고 있지 않은 미경화 실재(14A)를 형성한 후, 각 기판 형성 영역(12a)의 미경화 실재(14A)보다 내측의 영역에 액정(전기 광학 재료)을 도포하고, 액정층(전기 광학 재료층)(13)을 형성한다. 다음에, 대향 기판 모재(112A)와 기판 모재(111A)를 미경화 실재(14A)를 삽입하여 접착함으로써 액정 셀 모재(전기 광학 재료 셀 모재)(113A)를 형성한다. 다음에, 미경화 실재(14A)를 경화하여 실재(14)를 형성한 후, 액정 셀 모재(113A)를 각 기판 형성 영역(11a, 12a)을 따라서 절단한다.

Description

전기 광학 장치의 제조방법, 실재 압착 경화 장치, 전기 광학 장치 및 전자기기{Manufacturing method for manufacturing electro-optical device, sealing member compression curing apparatus, electro-optical device, and electronic equipment}
본 발명은, 전기 광학 장치의 제조방법, 상기 전기 광학 장치의 제조방법에 사용하기 적합한 실재 압착 경화 장치, 전기 광학 장치 및 전자기기에 관한 것이다.
전기 광학 장치의 대표적인 예인 액정 장치를 들어, 종래의 기술에 관해서 설명한다.
도 17a에, 일반적인 종래의 액정 장치(1000)를 기판면에 대하여 수직 방향으로 절단하였을 때의 개략 단면 구조를 도시하고, 도 17b에, 상기 액정 장치(1000)를 상측 기판측에서 보았을 때의 개략 평면 구조를 도시하고, 상기 액정 장치의 구조에 관해서 설명한다. 도 17a는, 도 17b에 도시하는 액정 장치(1000)를 A10-A10′선을 따라서 절단하였을 때의 단면도이다.
도 17a에 도시하는 바와 같이, 액정 장치(1000)에 있어서, 기판(하측 기판)(1001)과 대향 기판(상측 기판)(1002)이 각각의 주변부에서 실재(1004)를 삽입하여 소정 간격으로 접착되고, 기판(1001), 대향 기판(1002) 사이에 액정층(전기 광학 재료층)(1003)이 삽입 지지되어 있다. 기판(1001), 대향 기판(1002) 사이에는 액정 셀(전기 광학 재료 셀)의 셀 갭을 균일화하기 위한 다수의 구형상의 스페이서(1007)가 배치되어 있다.
실재(1004)는, 도 17b에 도시하는 바와 같이, 기판(1001), 대향 기판(1002)의 주변부 사이에 대략 고리 형상으로 형성되고, 그 일부에는 액정(전기 광학 재료)을 주입하기 위한 개구형상의 주입부(1005)가 형성되어 있다. 주입부(1005)로부터 기판(1001), 대향 기판(1002) 사이에 액정(전기 광학 재료)를 주입한 후, 상기 주입부(1005)는 밀봉재(1006)에 의해서 밀봉되어 있다. 도 17a, 도 17b에 도시하는 바와 같이, 액정 장치(1000)에 있어서, 주입부(1005)의 근방 부분을 제외한 실재(1004)의 외측 단면(1004e)은, 기판(1001)의 단면(1001e), 대향 기판(1002)의 단면(1002e)보다도 내측에 위치되어 있다.
또한, 액정 장치(1000)의 특성에 따라서, 기판(1001)의 액정층(1003)측의 표면상에는, 스위칭 소자, 전극, 배향막 등이 형성되고, 대향 기판(1002)의 액정층(1003)측의 표면상에는, 컬러 필터층, 전극, 배향막 등이 형성되어 있지만, 도면상은 생략하고 있다. 또한, 기판(1001), 대향 기판(1002)의 외측에는 위상차판, 편광판 등의 광학 소자가 장착되어 있지만, 도면상은 생략하고 있다.
다음에, 도 18a 내지 도 18d, 도 19a 내지 도 19d에, 상기 액정 장치(1000)의 제조 공정을 도시하고, 액정 장치(1000)의 제조방법에 관해서 설명한다. 도 18a 내지 도 18d, 도 19a 내지 도 19d는 개략 평면도이다.
일반적으로, 대량 생산하여, 생산 공정을 단축화하기 위해서, 액정 장치(1000)는, 기판(1001)을 복수개 절취하는 것이 가능한 크기의, 도 18a에 도시하는 기판 모재(2001)와, 대향 기판(1002)을 복수개 절취하는 것이 가능한 크기의, 도 18b에 도시하는 대향 기판 모재(2002)를 사용하여 제조된다.
기판 모재(2001), 대향 기판 모재(2002)에 있어서, 절단되어 최종적으로 기판(1001), 대향 기판(1002)이 되는 영역을 각각 기판 형성 영역(1001a), 대향 기판 형성 영역(1002a)으로 한다. 기판 모재(2001), 대향 기판 모재(2002)에 대하여 각각 형성하는 기판 형성 영역(1001a), 대향 기판 형성 영역(1002a)의 수는, 기판(1001), 대향 기판(1002)의 면적과, 기판 모재(2001), 대향 기판 모재(2002)의 면적의 관계로부터 소정의 수로 설정된다. 도 18a, 도 18b에는, 일례로서, 기판 형성 영역(1001a), 대향 기판 형성 영역(1002a)을 4개소씩 형성한 경우의 기판 모재(2001), 대향 기판 모재(2002)에 관해서 도시하고 있다.
기판 형성 영역(1001a), 대향 기판 형성 영역(1002a)은, 기판 모재(2001), 대향 기판 모재(2002)를 접착하였을 때에, 각 기판 형성 영역(1001a)과 각 대향 기판 형성 영역(1002a)이 대향 배치되도록, 기판 모재(2001), 대향 기판 모재(2002)의 소정의 위치에 형성되어 있다.
도면 상은 간략화를 위해 생략하고 있지만, 액정 장치(1000)의 특성에 따라서, 기판 모재(2001)의 각 기판 형성 영역(1001a)의 표면상에는, 기판(1001)의 표면상에 필요한 스위칭 소자, 전극, 배향막 등을 형성하여, 대향 기판 모재(2002)의 각 대향 기판 형성 영역(1002a)의 표면상에는, 대향 기판(1002)의 표면상에 필요한 컬러 필터층, 전극, 배향막 등을 형성한다.
다음에, 대향 기판 모재(2002)의 각 대향 기판 형성 영역(1002a)의 주변부에, 에폭시계 등의 열경화성 또는 광 경화성 접착제로 이루어지는 미경화 실재(1004A)를 도포하여, 각 대향 기판 형성 영역(1002a) 상의 미경화 실재(1004A)보다 내측의 영역에 스페이서(1007)를 살포한 후, 각 기판 형성 영역(1001a)과 각 대향 기판 형성 영역(1002a)이 대향 배치되도록, 미경화 실재(1004A)를 삽입하여, 기판 모재(2001)와 대향 기판 모재(2002)를 접착하고, 액정 셀 모재(전기 광학 재료 셀 모재)(2003)를 형성한다. 액정 셀 모재(2003)를 대향 기판 모재(2002)의 상측에서 보았을 때의 평면도를 도 18c에 도시한다. 도 18c에 있어서, 부호(1000A)는 개개의 액정 셀(전기 광학 재료 셀)을 도시하고 있다.
이 때, 기판 형성 영역(1001a), 대향 기판 형성 영역(1002a)의 표면상에 형성된 전극, 배향막 등이 서로 대향 배치되도록 기판 모재(2001)와 대향 기판 모재(2002)를 접착한다.
다음에, 도 18d에 도시하는 바와 같이, 기판 모재(2001)의 외측, 대향 기판 모재(2002)의 외측으로부터 액정 셀 모재(2003) 전체를 압착하면서, 액정 셀 모재(2003)의 미경화 실재(1004A)의 경화를 행하여, 실재(1004)를 형성한다.
다음에, 도 19a에 도시하는 바와 같이, 액정 셀 모재(2003)를, 액정을 주입하기 위한 주입부(1005)가 단부에 위치하도록 절단하고, 복수의 액정 셀(전기 광학 재료 셀)(1000A)이 도시 횡방향으로 일렬로 배열된 직사각형의 액정 셀 모재(전기 광학 재료 셀 모재)(2004)를 형성한다.
다음에, 도 19b에 도시하는 바와 같이, 진공중에서, 액정 셀 모재(2004)의 각 액정 셀(1000A)의 주입부(1005)를, 액정 접시(3000)에 적재된 액정(3003)에 접촉시키고, 그 후에 대기 중으로 되돌림으로써, 각 액정 셀(1000A) 내에 액정을 주입하고, 도 19c에 도시하는 바와 같이, 액정 셀 모재(2004)의 각 액정 셀(1000A) 내에 액정층(1003)을 형성한다. 그 후, 도 19c에 도시하는 바와 같이, 주입부(1005)를 밀봉재(1006)에 의해 밀봉한다. 도 19b에 있어서, 액정 접시(3000) 및 액정(3003)은 개략 단면을 도시하고 있다.
상기 공정에서는, 도 19c에 도시하는 바와 같이, 액정 셀 모재(2004)의 실재(1004)보다 외측의 영역에서, 앞의 액정 접시(3000)내의 액정(3003)에 접촉시킨 측에 액정(3003)이 부착한다.
다음에, 도 19d에 도시하는 바와 같이, 액정 셀 모재(2004)를 각 기판 형성 영역(1001a), 각 대향 기판 형성 영역(1002a)의 외측부를 따라서 절단함으로써, 각 액정 셀(1000A) 마다 절단한다. 이렇게하여, 기판(1001), 대향 기판(1002)이 절취된다.
다음에, 액정 셀(1000A)의 세정을 행함으로써, 액정 셀(1000A)의 실재(1004)보다 외측의 영역에 부착한 액정(3003)을 제거하도록 하고 있다.
마지막으로, 도시는 생략하고 있지만, 기판(1001), 대향 기판(1002)의 외측에 위상차판, 편광판 등의 광학 소자를 장착하고, 액정 장치(1000)가 제조된다.
상기의 액정 장치(1000)의 제조방법에 있어서, 액정(3003)의 주입을 행할 때에, 도 19b에 도시한 바와 같이, 직사각형의 액정 셀 모재(2004)를, 액정 접시(3000)에 적재된 액정(3003)에 접촉시킴으로써, 액정의 주입을 행하기 위해서,도 19c에 도시한 바와 같이, 액정 셀(1000A)의 실재(1004)의 외측의 영역에 액정(3003)이 부착한다. 그 때문에, 액정 셀 모재(2004)를 각 액정 셀(1000A) 마다 절단한 후, 액정 셀(1000A)을 세정하는 공정이 필요하게 되어 있다.
특히, 액정 셀(1000A)의 셀 갭은 2 내지 10×10-6m(2 내지 10μm)의 오더이고, 기판(1001), 대향 기판(1002) 사이에 있고, 실재(1004)의 외측에 부착된 액정(3003)은 용이하게는 제거할 수 없기 때문에, 특히 공들인 세정 작업을 행할 필요가 있다.
상기 액정 셀(1000A)의 세정 공정에 관해서 이하에 자세히 설명한다.
액정 셀(1000A)을, 중성 세제 등을 함유하는 세정액이 채워진 세정조에 침적 시킴으로써 세정한 후, 액정 셀(1000A)을 세정조로부터 끌어올린다.
다음에, 액정 셀(1000A)을 상온의 순수조에 침적시킴으로써, 액정 셀(1000A)에 부착한 세정액과 액정(3003)의 일부를 제거하여, 액정 셀(1000A)을 순수조로부터 끌어올린다. 상기 액정 셀(1000A)을 순수조에 침적시켜 끌어올리는 공정을 복수의 다른 순수조에 대해서 행하고, 액정 셀(1000A)에 부착한 세정액과 액정(3003)의 제거를 행한다.
더욱이, 액정 셀(1000A)에 부착한 세정액과 액정(3003)을 완전히 제거하기 위해서, 액정 셀(1000A)을 순수한 온수조에 침적시킨다. 그리고, 액정 셀(1000A)을 순수한 온수조로부터 끌어올린 후, 1000℃ 정도로 액정 셀(1000A)의 건조를 행한다. 이어서, 액정 셀(1000A)을 상온까지 급냉시킨다. 1000℃에서 상온으로 급냉시킴으로써, 액정층(1003)의 등방 처리를 행할 수 있다.
이와 같이, 액정 셀(1000A)의 세정 공정은 공정이 많고, 액정 장치(1000)의 생산 효율을 악화시킨다고 하는 문제점을 갖고 있다. 또한, 액정(3003)이 함유된 폐액을 배출하기 위해서, 폐액 처리를 행할 필요가 있다. 더욱이, 액정 셀(1000A)의 세정 공정 및 폐액 처리의 공정을 위해, 다량의 세정액과 물을 사용하기 때문에, 환경면에서도 바람직하지 못하다.
또한, 상기의 액정 장치(1000)에 있어서, 밀봉재(1006)가 액정 장치(1000)의 외측에까지 볼록형상으로 두껍게 형성되는 것이 문제로 되어 있다. 도 17b에 도시하는 바와 같이, 밀봉재(1006)는 기판(1001)(대향 기판(1002))의 단면(1001e)(1002 e)의 외측까지 볼록형상으로 두껍게 형성되어, 액정 장치(1000)의 외측에 형성되는 밀봉재(1006)의 폭(w)은 예를 들면, 0.3 내지 0.5×10-3m(0.3 내지 0.5mm) 정도로 되어 있다. 액정 장치(1000)의 셀 갭, 즉 밀봉재(1006)의 높이는 2 내지 10×10-6m(2 내지 10μm)정도이므로, 이것에 대하여, 액정 장치(1000)의 외측에 형성되는 밀봉재(1006)의 폭(w)은 큰 것으로 되어 있다.
이와 같이 액정 장치(1000)의 외측에까지 볼록형상으로 두껍게 형성된 밀봉재(1006)는, 액정 장치(1000)를 구비하는 전자기기의 내부에 있어, 여분의 스페이스를 필요로 하는 것이 문제로 되어 있다.
또한, 이상의 문제는 액정 장치에 한한 문제가 아니라, 전기 광학 재료층을 끼워 지지하는 2장의 기판을 소정 간격으로 접착한 구조의 전계 발광(electro luminance), 플라즈마 디스플레이 등의 전기 광학 장치에 있어서도 생기는 문제이다.
그래서, 본 발명은 상기 문제점을 해결하여, 전기 광학 재료 셀의 세정 공정을 불필요로 하여, 생산 효율을 향상할 수 있고, 전기 광학 장치를 구비하는 전자기기 내의 스페이스 절약화를 꾀할 수 있는 전기 광학 장치 및 전기 광학 장치의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 상기 전기 광학 장치를 구비함으로써, 저스페이스화된 전자기기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
도 1은, 본 발명에 따른 제 1 실시예의 TFT 소자를 사용한 액정 장치를 기판면에 대하여 수직 방향으로 절단하였을 때의 개략 단면도.
도 2는, 본 발명에 따른 제 1 실시예의 TFT 소자를 사용한 액정 장치를 상측 기판측에서 보았을 때의 개략 평면도.
도 3은, 본 발명에 따른 제 1 실시예의 TFT 소자를 사용한 액정 장치의 기판(하측 기판)의 일부분을 확대한 개략 단면도.
도 4는, 본 발명에 따른 제 1 실시예의 TFT 소자를 사용한 액정 장치의 제조 공정에 있어서, 대향 기판 모재상에 액정을 도포하기까지의 공정을 도시하는 도면.
도 5a 내지 도 5c는, 본 발명에 따른 제 1 실시예의 TFT 소자를 사용한 액정 장치의 제조 공정에 있어서, 기판 모재와 대향 기판 모재를 접착하고 나서 액정 장치가 제조되기까지의 공정을 도시하는 도면.
도 6은, 본 발명에 따른 제 1 실시예의 액정 장치의 제조방법에 있어서, 액정층을 형성하는 공정에서 사용되는 잉크 제트 노즐의 하나의 구성예를 도시하는개략 사시도.
도 7은, 본 발명에 따른 제 1 실시예의 액정 장치의 제조방법에 있어서, 액정층을 형성하는 공정에서 사용되는 잉크 제트 노즐의 하나의 구성예를 도시하는 개략 단면도.
도 8은, 본 발명에 따른 제 1 실시예의 액정 장치의 제조방법에 있어서, 실재를 경화하는 공정에 사용하기 적합한 본 발명의 실재 압착 경화 장치의 일례를 도시하는 개략 단면도.
도 9는, 본 발명에 따른 제 1 실시예의 액정 장치의 제조방법에 있어서, 실재를 경화하는 공정에 사용하기 적합한 본 발명의 실재 압착 경화 장치의 일례를 도시하는 개략 단면도.
도 10은, 본 발명에 따른 제 1 실시예의 액정 장치의 제조방법에 있어서, 실재를 경화하는 공정에 사용하기 적합한 본 발명의 실재 압착 경화 장치의 일례를 도시하는 개략 단면도.
도 11은, 본 발명에 따른 제 2 실시예의 TFT 소자를 사용한 액정 장치를 기판면에 대하여 수직 방향으로 절단하였을 때의 개략 단면도.
도 12는, 본 발명에 따른 제 2 실시예의 TFT 소자를 사용한 액정 장치를 상측 기판측에서 보았을 때의 개략 평면도.
도 13은, 본 발명에 따른 제 2 실시예의 TFT 소자를 사용한 액정 장치의 제조 공정에 있어서, 대향 기판 모재상에 액정을 도포하기까지의 공정을 도시하는 도면.
도 14a 내지 도 14c는, 본 발명에 따른 제 2 실시예의 TFT 소자를 사용한 액정 장치의 제조 공정에 있어서, 기판 모재와 대향 기판 모재를 접착하고 나서 액정 장치가 제조되기까지의 공정을 도시하는 도면.
도 15a는, 상기 실시예의 액정 장치를 구비한 휴대 전화의 일례를 도시하는 도면, 도 15b는, 상기 실시예의 액정 장치를 구비한 휴대형 정보 처리 장치의 일례를 도시하는 도면, 도 15c는, 상기 실시예의 액정 장치를 구비한 손목 시계형 전자기기의 일례를 도시하는 도면.
도 16은, 상기 실시예의 액정 장치를 광 변조 장치로서 사용한 투사형 표시 장치의 주요부를 도시하는 개략 구성도.
도 17a는, 종래의 일반의 액정 장치를 기판면에 대하여 수직 방향으로 절단하였을 때의 개략 단면도, 도 17b는, 종래의 일반의 액정 장치를 상측 기판측에서 보았을 때의 개략 평면도.
도 18a 내지 도 18d는, 종래의 일반의 액정 장치의 제조 공정에 있어서, 실재를 형성하기까지의 공정을 도시하는 도면.
도 19a 내지 도 19d는, 종래의 일반의 액정 장치의 제조 공정에 있어서, 직사각형의 액정 셀 모재를 형성하고 나서 액정 셀이 제조되기까지의 공정을 도시하는 도면.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
1, 2 : 액정 장치(전기 광학 장치)
1A, 2A : 액정 셀(전기 광학 재료 셀)
11, 101 : 기판(하측 기판)
11e, 101e : 기판의 단면
12, 102 : 대향 기판(상측 기판)
12e, 102e : 대향 기판의 단면
111A, 111B : 기판 모재
112A, 112B : 대향 기판 모재
113A, 113B : 액정 셀 모재(전기 광학 재료 셀 모재)
11a, 101a : 기판 형성 영역
12a, 102a : 대향 기판 형성 영역
13 : 액정층(전기 광학 재료층)
14, 104 : 실재
14e, 104e : 실재의 외측 단면
14A, 104A : 미경화 실재
15 : 화소 전극
16 : 컬러 필터층
16a : 컬러 화소
16B : 차광층(블랙 매트릭스)
17 : 공통 전극
18, 19 : 배향막
10 : 화소 스위칭용 TFT 소자
20, 30 : 구동 회로용 TFT 소자
21, 22, 23, 24, 25, 26 : 소스·드레인 영역
27, 28, 29 : 채널 형성 영역
31 : 게이트 절연막
32, 33, 34 : 게이트 전극
35, 36, 37, 38, 39 : 소스·드레인 전극
40 : 기초 보호막
41 : 하층측 층간 절연막
42 : 상층측 층간 절연막
43 : 스페이서
50 : 잉크 제트 노즐
61 : 액정(전기 광학 재료)의 액체 방울
70, 80, 90 : 실재 압착 경화 장치
71A, 71B : 플랫폼(가열부)
81A, 81B, 91A, 91B : 플랫폼
72, 87 : 간
73, 85 : 가스 분출부(가압부)
74, 75, 86, 88 : 스 유로
83 : 외선 방출부(가열부)
82 : 적외선 컷 오프 필터
93 : 외선 방출부
92 : 자외선 컷 오프 필터
84 : 반사 미러
상기 과제를 해결하기 위해서 본 발명이 강구한 수단은, 전기 광학 재료층을 끼워 지지하는 대향하는 2장의 기판 사이에, 상기 2장의 기판을 접착하기 위한 실재가 형성되는 전기 광학 장치의 제조방법으로서, 상기 2장의 기판이 각각 형성되는 기판 형성 영역을 복수개 포함하는 2장의 기판 모재를 사용하고, 상기 2장의 기판 모재 중, 한쪽의 기판 모재의 각 기판 형성 영역의 주변부에, 고리 형상으로 미경화의 접착제를 도포함으로써, 주입부를 갖고 있지 않은 미경화 실재를 형성하는 공정과, 상기 기판 모재 상의 각 기판 형성 영역에 있어서 상기 미경화 실재보다 내측의 영역에 전기 광학 재료를 도포하여, 전기 광학 재료층을 형성하는 공정과, 상기 기판 모재와 다른 한쪽의 기판 모재를 상기 미경화 실재를 삽입하여 접착함으로써 전기 광학 재료 셀 모재를 형성하는 공정과, 상기 전기 광학 재료 셀 모재의 상기 미경화 실재를 경화하는 공정과, 상기 전기 광학 재료 셀 모재를 각 기판 형성 영역을 따라서 절단하는 공정을 갖는 것을 특징으로 한다.
상기 수단에 의하면, 한쪽의 기판 모재의 각 기판 형성 영역의 주변부에, 고리 형상으로 미경화의 접착제를 도포함으로써, 주입부를 갖고 있지 않은 미경화 실재를 형성하고, 상기 기판 모재 상의 각 기판 형성 영역에서 미경화 실재보다 내측의 영역에 전기 광학 재료를 도포하기 때문에, 실재의 외측에 전기 광학 재료가 부착하는 것을 방지할 수 있으므로, 전기 광학 재료 셀의 세정 공정을 불필요로 할 수 있고, 전기 광학 장치의 생산 효율을 향상할 수 있는 전기 광학 장치의 제조방법을 제공할 수 있다.
또한, 상기의 수단에 의하면, 한쪽의 기판 모재의 각 기판 형성 영역에 전기 광학 재료층을 형성한 후, 2장의 기판 모재를 접착하여 전기 광학 재료 셀 모재를 형성하므로, 전기 광학 재료 셀 모재로부터 직접 개개의 전기 광학 재료 셀을 절취할 수 있다. 그 때문에, 종래의 전기 광학 장치의 제조 공정에 있어서의, 전기 광학 재료를 주입하기 위해서 전기 광학 재료 셀 모재를 직사각형의 전기 광학 재료 셀 모재로 절단하는 공정이 불필요하게 되므로, 전기 광학 장치의 생산 공정을 단축화할 수 있고, 생산 효율을 향상할 수 있다.
더욱이, 상기의 수단에 의하면, 주입부를 갖고 있지 않은 실재를 형성하므로, 종래의 전기 광학 장치의 제조 공정에 있어서의, 주입부를 밀봉하기 위한 밀봉재를 형성하는 공정도 불필요하게 되기 때문에, 전기 광학 장치의 생산 공정을 단축화할 수 있고, 생산 효율을 향상할 수 있다.
상기의 수단은, 기판 모재를 사용하여, 전기 광학 장치를 제조하는 경우에 관한 것이지만, 기판 모재를 사용하지 않고 전기 광학 장치를 제조하는 경우에 관해서도 동일하게 적용할 수 있다.
이 경우에는, 전기 광학 재료층을 끼워 지지하는 대향하는 2장의 기판 사이에, 상기 2장의 기판을 접착하기 위한 실재가 형성되는 전기 광학 장치의 제조방법으로서, 상기 2장의 기판 중 한쪽의 기판의 주변부에, 고리 형상으로 미경화의 접착제를 도포함으로써, 주입부를 갖고 있지 않은 미경화 실재를 형성하는 공정과, 상기 기판 상의 상기 미경화 실재보다 내측의 영역에 전기 광학 재료를 도포하여, 전기 광학 재료층을 형성하는 공정과, 상기 기판와 다른 한쪽의 기판을 상기 미경화 실재를 삽입하여 접착함으로써 전기 광학 재료 셀을 형성하는 공정과, 상기 전기 광학 재료 셀의 상기 미경화 실재를 경화하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하고, 상기 전기 광학 장치의 제조방법은, 기판 모재를 사용하는 경우와 같이 전기 광학 재료 셀의 세정 공정을 불필요로 하여, 생산 효율을 향상할 수 있는 것이다.
본 발명의 전기 광학 장치의 제조방법에 있어서, 상기 전기 광학 재료층을 형성하는 공정에 있어서, 상기 전기 광학 재료의 액체 방울을 방출 가능한 디스펜서 또는 잉크 제트 노즐을 사용하여, 상기 전기 광학 재료의 도포를 행하는 것을 특징으로 한다.
특히, 소량의 전기 광학 재료를 정확한 분량 도포 할 수 있는, 잉크 제트 노즐을 사용한 잉크 제트 방식에 의해, 전기 광학 재료의 도포를 행하는 것이 바람직하다.
잉크 제트방식에 의해 전기 광학 재료를 도포하는 경우에, 잉크 제트 노즐을 폐쇄하지 않고, 안정하여 연속적으로 전기 광학 재료의 액체 방울을 방출하기 위해서, 전기 광학 재료의 도포를 행할 때에, 전기 광학 재료의 점도가 1 내지 50MPa·s로 되어 있는 것이 바람직하고, 더욱이, 전기 광학 재료를 가열하는 등으로, 그 점도를 1 내지 10MPa·s로 조정하여, 전기 광학 재료의 도포를 행하는 것이 보다 바람직하다.
전기 광학 재료의 도포를 행할 때에, 점도가 1 내지 50MPa, 보다 바람직하게는 1 내지 10MPa·s 로 된 전기 광학 재료를 사용함으로써, 잉크 제트 노즐을 폐쇄하지 않고, 안정하게 연속적으로 전기 광학 재료의 액체 방울을 방출할 수 있는 것과 동시에, 각 기판 형성 영역 또는 각 기판에 도포된 전기 광학 재료는 흘러내려 퍼지기 때문에, 각 기판 형성 영역 또는 각 기판의 미경화 실재보다 내측의 영역 전역에 전기 광학 재료의 액체 방울을 도포할 필요가 없고, 각 기판 형성 영역 또는 각 기판의 미경화 실재보다 내측의 영역에, 전기 광학 재료의 액체 방울을 1방울 또는 여러방울, 부분적으로 도포하는 것만으로, 각 기판 형성 영역 또는 각 기판의 미경화 실재보다 내측의 영역 전역에 빈틈없이 전기 광학 재료층을 형성할 수 있다.
또한, 본 발명의 전기 광학 장치의 제조방법에 있어서, 누설이 없는 실재를 형성하기 위해서, 상기 미경화 실재를 경화하는 공정에 있어서, 상기 전기 광학 재료 셀 모재 또는 상기 전기 광학 재료 셀의 적어도 미경화 실재가 형성된 영역을, 상기 전기 광학 재료 셀 모재 또는 상기 전기 광학 재료 셀의 외측으로부터 압착하면서, 상기 미경화 실재를 경화하는 것이 바람직하다.
특히, 전기 광학 재료 셀 모재 또는 전기 광학 재료 셀의 미경화 실재가 형성된 영역만을 가압함으로써, 전기 광학 재료 셀 모재 또는 전기 광학 재료 셀 전체를 가압하는 것보다도 효율이 양호하게 미경화 실재를 압착할 수 있고, 누설이 없는 실재를 형성할 수 있다.
종래는, 전기 광학 재료 셀 모재 또는 전기 광학 재료 셀의 미경화 실재가 형성된 영역만을 가압하는 기술이 없고, 상술한 바와 같이, 전기 광학 재료 셀 모재 또는 전기 광학 재료 셀전체를 가압하여 미경화 실재를 압착하고 있지만, 본 발명자가 연구를 행한 결과, 전기 광학 재료 셀 모재 또는 전기 광학 재료 셀의 미경화 실재가 형성된 영역만을 가압 가능하게 한 실재 압착 경화 장치를 발명하기에 이르고, 상기 실재 압착 경화 장치를 사용함으로써 전기 광학 재료 셀 모재 또는 전기 광학 재료 셀의 미경화 실재가 형성된 영역만을 가압하는 것을 가능하게 하였다.
본 발명자가 발명한 실재 압착 경화 장치에 관해서는 후술하지만, 본 발명자는, 상기 미경화 실재를 경화하는 공정에 있어서, 상기 전기 광학 재료 셀 모재 또는 상기 전기 광학 재료 셀의 외측으로부터, 상기 전기 광학 재료 셀 모재 또는 상기 전기 광학 재료 셀의 미경화 실재가 형성된 영역에 가스를 분출함으로써, 상기 전기 광학 재료 셀 모재 또는 상기 전기 광학 재료 셀의 미경화 실재가 형성된 영역만을 가압할 수 있는 것을 찾아내었다.
또한, 상기 미경화 실재가 열경화성 접착제로 이루어지는 것인 경우, 상기 미경화 실재를 경화하는 공정에 있어서, 상기 전기 광학 재료 셀 모재 또는 상기 전기 광학 재료 셀을 100 내지 160으로 가열하고, 가열 시간을 30 내지 60분으로함으로써, 상기 미경화 실재를 경화하는 것이 바람직하다. 전기 광학 재료 셀 모재 또는 전기 광학 재료 셀을 100 내지 160으로 가열하고, 가열 시간을 30 내지 60분으로 함으로써, 전기 광학 재료층의 손상을 방지하면서, 미경화 실재의 경화를 행할 수 있다.
또한, 열경화성 접착제로 이루어지는 미경화 실재를 경화할 때에, 전기 광학 재료층에 손상을 주지 않기 위해서는, 전기 광학 재료 셀 모재 또는 전기 광학 재료 셀의 미경화 실재가 형성된 영역만을 가열하는 것이 바람직하다.
종래는, 전기 광학 재료 셀 모재 또는 전기 광학 재료 셀의 미경화 실재가 형성된 영역만을 가열하는 기술이 없고, 전기 광학 재료 셀 모재 또는 전기 광학 재료 셀전체를 가열함으로써 미경화 실재를 경화하고 있지만, 본 발명자가 연구를 행한 결과, 전기 광학 재료 셀 모재 또는 전기 광학 재료 셀의 미경화 실재가 형성된 영역만을 가열하는 것을 가능하게 한 실재 압착 경화 장치를 발명하기에 이르고, 상기 실재 압착 경화 장치를 사용함으로써 전기 광학 재료 셀 모재 또는 전기 광학 재료 셀의 미경화 실재가 형성된 영역만을 가열하는 것을 가능하게 하였다.
또한, 광 경화성 접착제로 이루어지는 미경화 실재를 경화할 때에, 상기 전기 광학 재료 셀 모재 또는 상기 전기 광학 재료 셀의 상기 미경화 실재가 형성된 영역에만 자외선을 조사하는 것이 바람직하다.
전기 광학 재료 셀의 미경화 실재가 형성된 영역에만 자외선을 조사함으로써, 전기 광학 재료층에는 자외선이 조사되지 않기 때문에, 전기 광학 재료층에 손상을 주지 않고, 미경화 실재의 경화를 행할 수 있다.
종래는, 전기 광학 재료 셀 모재 또는 전기 광학 재료 셀의 미경화 실재가 형성된 영역에만 자외선을 조사하는 기술이 없고, 전기 광학 재료 셀 모재 또는 전기 광학 재료 셀 전체에 자외선을 조사함으로써 미경화 실재를 경화하고 있지만, 본 발명자가 연구를 행한 결과, 전기 광학 재료 셀 모재 또는 전기 광학 재료 셀의 미경화 실재가 형성된 영역에만 자외선 조사하는 것을 가능하게 한 실재 압착 경화 장치를 발명하기에 이르고, 상기 실재 압착 경화 장치를 사용함으로써 전기 광학 재료 셀 모재 또는 전기 광학 재료 셀의 미경화 실재가 형성된 영역에만 자외선 조사하는 것을 가능하게 하였다.
여기서, 본 발명자가 발명한 실재 압착 경화 장치에 관해서 설명한다. 본 발명의 실재 압착 경화 장치는 상기의 본 발명의 전기 광학 장치의 제조공정에 사용할 수 있을 뿐만 아니라, 종래의 전기 광학 장치의 제조공정에도 사용할 수 있는 것이다. 더욱이, 본 발명의 실재 압착 경화 장치는, 전기 광학 장치의 제조공정 뿐만 아니라, 일반의 대향하는 2장의 기판이 실재를 삽입하여 접착되는 어떠한 기판 유닛의 제조 공정에도 사용할 수 있는 것이다.
열경화성 접착제로 이루어지는 미경화 실재를 압착 경화하기 위한 본 발명의 실재 압착 경화 장치는, 대향하는 2장의 기판을 열경화성 접착제로 이루어지는 미경화 실재를 삽입하여 접착하고, 기판 유닛을 형성한 후, 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재를, 상기 기판 유닛의 외측으로부터 압착하면서 경화하기 위한 실재 압착 경화 장치로서, 적어도 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역을 소정의 온도로 가열하는 가열부와, 적어도 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역을 가압하는 가압부를 구비한 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명자는, 예를 들면, 상기 가압부를 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역에 가스를 분출하는 가스 분출부로 하여 상기 가압부에 의해 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역만을 가압 가능하게 한 실재 압착 경화 장치를 발명하였다.
본 발명의 상기 실재 압착 경화 장치는, 예를 들면, 소정 간격으로 대향 배치된 2장의 플랫폼(platform)을 구비하고, 상기 2장의 플랫폼 사이에 상기 기판 유닛을 적재하기 위한 공간이 형성된 것과 동시에, 상기 2장의 플랫폼 중 적어도 한쪽의 플랫폼의 상기 공간측 표면에, 상기 공간에 적재되는 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역에 가스를 분출하는 복수의 가스 분출부를 구비한 것으로 되어 있다.
또한, 본 발명의 실재 압착 경화 장치는, 소정 간격으로 대향 배치된 2장의 플랫폼을 구비하고, 상기 2장의 플랫폼 사이에 상기 기판 유닛을 적재하기 위한 공간이 형성된 것과 동시에, 상기 2장의 플랫폼 중 적어도 한쪽의 플랫폼이 가열 가능한 가열부로 되어, 상기 플랫폼을 가열함으로써, 상기 공간에 적재되는 상기 기판 유닛을 가열 가능하게 한 것으로 되어 있다.
더욱이, 본 발명자는, 예를 들면, 상기 가열부를 적외선을 방출하는 적외선 방출부로 하고, 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역 이외의 영역에의 적외선 조사를 방지하는 적외선 컷 오프 필터를 설치하고, 상기 적외선 방출부로부터 방출되는 적외선을, 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역에만조사 가능하게 함으로써, 상기 가열부에 의해 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역만을 가열 가능하게 한 실재 압착 경화 장치를 발명하였다.
본 발명의 상기 실재 압착 경화 장치는, 예를 들면, 소정 간격으로 대향 배치되어, 적외선을 투과 가능한 2장의 플랫폼을 구비하고, 상기 2장의 플랫폼 사이에 상기 기판 유닛을 적재하기 위한 공간이 형성된 것과 동시에, 상기 2장의 플랫폼의 외측에 1개 또는 복수의 적외선 방출부를 구비하고, 상기 2장의 플랫폼 중 적어도 한쪽의 플랫폼의 내부 또는 표면에, 상기 공간에 적재되는 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역 이외의 영역에의 적외선 조사를 방지하는 적외선 컷 오프 필터를 구비하는 것이며, 상기 적외선 방출부로부터 방출되는 적외선을 상기 공간에 적재되는 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역에만 조사 가능하게 한 것으로 되어 있다.
또한, 광 경화성 접착제로 이루어지는 미경화 실재를 압착 경화하기 위한 본 발명의 실재 압착 경화 장치는, 대향하는 2장의 기판을 광 경화성 접착제로 이루어지는 미경화 실재를 삽입하여 접착하고, 기판 유닛을 형성한 후, 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재를, 상기 기판 유닛의 외측으로부터 압착하면서 경화하기 위한 실재 압착 경화 장치로서, 적어도 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역에 자외선을 조사하기 위한 자외선 방출부와, 적어도 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역을 가압하는 가압부를 구비한 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명자는, 예를 들면, 상기 가압부를 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역에 가스를 분출하는 가스 분출부로 함으로써, 상기 가압부에의해 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역만을 가압 가능하게 한 실재 압착 경화 장치를 발명하였다.
본 발명의 상기 실재 압착 경화 장치는, 예를 들면, 소정 간격으로 대향 배치된 2장의 플랫폼을 구비하고, 상기 2장의 플랫폼 사이에 상기 기판 유닛을 적재하기 위한 공간이 형성된 것과 동시에, 상기 2장의 플랫폼 중 적어도 한쪽의 플랫폼의 상기 공간측 표면에, 상기 공간에 적재되는 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역에만 가스를 분출하는 복수의 가스 분출부를 구비한 것으로 되어 있다.
더욱이, 본 발명자는, 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역 이외의 영역에 자외선 조사를 방지하는 자외선 컷 오프 필터를 설치하고, 상기 자외선 방출부로부터 방출되는 자외선을 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역에만 조사 가능하게 한 실재 압착 경화 장치를 발명하였다.
본 발명의 상기 실재 압착 경화 장치는, 예를 들면, 소정 간격으로 대향 배치되어, 자외선을 투과 가능한 2장의 플랫폼을 구비하고, 상기 2장의 플랫폼 사이에 상기 기판 유닛을 적재하기 위한 공간이 형성된 것과 동시에, 상기 2장의 플랫폼의 외측에 1개 또는 복수의 자외선 방출부를 구비하고, 상기 2장의 플랫폼 중 적어도 한쪽의 플랫폼의 내부 또는 표면에, 상기 공간에 적재되는 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역 이외의 영역에의 자외선 조사를 방지하는 자외선 컷 오프 필터를 구비하는 것이며, 상기 자외선 방출부로부터 방출되는 자외선을 상기 공간에 적재되는 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역에만 조사가능하게 한 것으로 되어 있다.
또한, 상기의 전기 광학 장치의 제조방법에 의해, 전기 광학 재료층을 끼워 지지하는 대향하는 2장의 기판이 상기 2장의 기판 사이에 형성된 실재를 삽입하여 소정 간격으로 접착되는 전기 광학 장치로서, 상기 실재가 상기 2장의 기판의 주변부를 따라서, 고리 형상으로 형성된 것과 동시에, 주입부를 갖지 않는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치를 제공할 수 있다.
상기 전기 광학 장치는, 주입부를 갖고 있지 않은 실재가 형성되어 있기 때문에, 주입부를 밀봉하기 위한 밀봉재가 형성되지 않고, 전기 광학 장치를 구비하는 전자기기 내의 스페이스 절약화를 꾀할 수 있는 것이다.
더욱이, 상기의 전기 광학 장치의 제조방법에 의해, 상기 실재의 외측 단면과, 상기 2장의 기판 중 적어도 한쪽의 기판의 단면이 일치된 전기 광학 장치를 제공할 수 있다.
상기 전기 광학 장치는, 실재보다 외측의 영역이 좁기 때문에, 기판 면적을 작게 할 수 있고, 더욱이, 전기 광학 장치를 구비하는 전자기기 내의 스페이스 절약화를 꾀할 수 있는 것이다. 또한, 상기 전기 광학 장치는 기판 면적을 작게 할 수 있기 때문에, 기판 모재의 유효 이용을 꾀할 수 있는 것이다.
또한, 이들의 전기 광학 장치를 구비함으로써, 저스페이스화된 전자기기를 제공할 수 있다.
다음에, 본 발명에 따른 실시예에 관해서, 전기 광학 장치의 대표예인 액정 장치를 일례로서 이하에 설명한다.
제 1 실시예
도 1에, 본 발명에 따른 제 1 실시예의, 스위칭 소자로서 TFT(Thin-Film Transistor)소자를 사용한, 액정 장치(전기 광학 장치)(1)를 기판면에 대하여 수직방향으로 절단하였을 때의 개략 단면 구조를 도시하고, 도 2에, 액정 장치(1)를 상측 기판측에서 보았을 때의 개략 평면 구조를 도시하고, 상기 액정 장치(1)의 구조에 관해서 설명한다. 또한, 도 3에, 액정 장치(1)의 기판(하측 기판)(11)의 일부분을 확대한 개략 단면 구조를 도시한다. 도 1, 도 3은, 도 2에 도시하는 액정 장치(1)의 A1-A1′선을 따라서 도시하는 단면도이다. 또, 도 1 내지 도 3에 있어서, 각 층이나 각 부재를 도면상에서 인식 가능한 정도의 크기로 하기 위해서, 각 층이나 각 부재의 축척(縮尺)은 실제의 것과는 다르게 나타내고 있다.
처음에, 도 1, 도 2를 참조하여 액정 장치(1)의 개략 구조에 관해서 설명한다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 기판(하측 기판)(11)과 대향 기판(상측 기판)(12)이 고리 형상의 실재(14)를 삽입하여 소정 간격으로 접착되고, 기판(11), 대향 기판(12) 사이에 액정층(전기 광학 재료층)(13)이 삽입 지지되어 있다. 실재(14)는 에폭시계 등의 열경화성 또는 광 경화성 접착제로 형성되어 있다. 또한, 도 1에서는 생략하고 있지만, 실재(14)에는, 액정 셀(전기 광학 재료 셀)의 셀 갭을 균일화하기 위해서, 기판(11)과 대향 기판(12)의 기판 간격에 맞추어, 2 내지 10×10-6m(2 내지 10μm)정도의 직경을 갖는 글래스 파이버 등이 내포되어 있다. 또한, 도 1에서는 생략하고 있지만, 기판(11), 대향 기판(12)의 외측에는 편광판,위상차판 등의 광학 소자가 장착되어 있다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 기판(11)의 도시 상측(액정층(13)측)표면 상에있어서, 실재(14)보다 내측의 영역(실재(14)의 도시 우측의 영역)에는, 다수의 화소 전극(15)과, 각 화소 전극(15)을 스위칭하기 위한 도시는 생략하고 있는 후술하는 복수의 TFT 소자(10) 등이 형성되고, 화소 전극(15), TFT 소자(10)의 액정층(13)측에는, 액정층(13)을 소정의 방향에 배향시키기 위한 배향막(18)이 형성되어 있다.
한편, 대향 기판(12)의 도시 하측(액정층(13)측)표면 상에는, 적(R), 녹(G),청(B) 등의 컬러 화소(16a)와 차광층(블랙 매트릭스)(16b)으로 이루어지는 컬러 필터층(16), 공통 전극(17), 배향막(19)이 순차 적층 형성되어 있다. 대향 기판(12)의 표면상에 있어서, 컬러 필터층(16) 및 배향막(19)은 실재(14)보다 내측의 영역에만 형성되고, 공통 전극(17)은 대향 기판(12)의 전면에 형성되어 있다.
또한, 배향막(18, 19) 사이에는 액정 셀의 셀 갭을 균일화하기 위한 다수의 구형상의 스페이서(43)가 배치되어 있다.
도 2에 도시하는 바와 같이, 기판(11), 대향 기판(12)은, 본 실시예에서는, 도시 횡방향에는 동일한 폭을 갖고 있지만, 도시 종방향에는 다른 폭을 가지고 있고, 기판(11)의 폭쪽이 대향 기판(12)의 폭보다도 길게 형성되어 있다.
본 실시예에 있어서, 도 2에 도시하는 바와 같이, 실재(14)는, 기판(11), 대향 기판(12)의 4개의 변을 따라서, 기판(11), 대향 기판(12)의 주변부 사이에, 고리 형상으로 형성되어 있다. 실재(14)에는 액정을 주입하기 위한 개구형상의 주입부는 형성되어 있지 않다. 또한, 도 1, 도 2에 도시하는 바와 같이, 실재(14)의 외측 단면(14e)은, 기판(11)의 단면(11e), 대향 기판(12)의 단면(12e)보다도 약간 내측에 위치되어 있다.
다음에, 도 3을 참조하여, 기판(11) 표면의 구조에 관해서 자세히 설명한다. 화소 전극(15), TFT 소자(10) 등이 형성된 기판(11)은, 구동 회로 내장형의 액티브 매트릭스 기판이고, 상기 액티브 매트릭스 기판상에는, 화소 전극(15)을 스위칭하기 위한 TFT 소자(10)를 포함하는 3종류의 TFT 소자가 형성되어 있다.
도 3에는, 도면을 향해서 우측에서 좌측을 향하여, LDD 구조를 갖는 N 형의 화소 스위칭용 TFT 소자(10), LDD 구조를 갖는 N 형의 구동 회로용 TFT 소자(20), 및 자기 정렬(self align) 구조를 갖는 P 형의 구동 회로용 TFT 소자(30)를 도시하고 있다. 본 실시예에 있어서, 제 1 도전형을 N 형으로 하고, 제 2 도전형을 P 형으로 하고 있다. 또한, 도 3에 있어서는, 간략화를 위해, 배향막(18)을 생략하고 있다.
도 3에 도시하는 바와 같이, 기판(11)의 액정층(13)측의 표면상에는, 실리콘 산화막으로 이루어지는 기초 보호막(40)이 형성되어 있다.
또한, 도 3에 있어서, 기판(11)상에 형성되어 있는 N 형의 화소 스위칭용 TFT 소자(10), N 형의 구동 회로용 TFT 소자(20), 및 P 형의 구동 회로용 TFT 소자(30)는, 어느것이나, 소스·드레인 영역(21, 22, 23, 24, 25, 26) 사이에 채널을 형성하기 위한 채널 형성 영역(27, 28, 29)을 갖고 있다. 이들의 채널 형성 영역(27, 28, 29)은, 저농도의 보론 이온에 의해서 채널 도프하고 있는 경우에는, 불순물 농도가 약 1×1023m-3의 저농도 P 형 영역 등으로서 구성된다. 이와 같이 채널 도프를 행하면, N 형의 구동 회로용 TFT 소자(20) 및 P 형의 구동 회로용 TFT 소자(30)의 임계 전압을 소정의 값으로 설정할 수 있다.
N 형의 화소 스위칭용 TFT 소자(10), N 형의 구동 회로용 TFT 소자(20), 및 P 형의 구동 회로용 TFT 소자(30)는, 채널 형성 영역(27, 28, 29)의 표면측에 대하여, 게이트 절연막(31)(두께가 약 300 내지 약 2000, 바람직하게는 약 1000의 실리콘 산화막)을 삽입하여 대치하는 게이트 전극(32, 33, 34)을 갖고 있다.
여기서, N 형의 화소 스위칭용 TFT 소자(10) 및 N 형의 구동 회로용 TFT 소자(20)의 소스·드레인 영역은 LDD 구조로 구성되어 있다. 따라서, 소스·드레인 영역(21, 22, 23, 24)은, 게이트 전극(32, 33)의 단부에 대하여 게이트 절연막(31)을 삽입하여 대치하는 부분에 불순물 농도가 약 1×1024m-3의 저농도 소스·드레인 영역(21A, 22A, 23A, 24A)을 갖고 있다. 또한, N 형의 화소 스위칭용 TFT 소자(10) 및 N 형의 구동 회로용 TFT 소자(20)의 소스·드레인 영역(21, 22, 23, 24) 중, 저농도 소스·드레인 영역(21A, 22A, 23A, 24A)을 제외한 영역은, 불순물 농도가 약 1×1026m-3의 고농도 소스·드레인 영역(21B, 22B, 23B, 24B)이다. 또한, P 형의 구동 회로용 TFT 소자(30)에서는, 소스·드레인 영역(25, 26) 전체가 불순물 농도가 약 1×1026m-3의 고농도 영역이다. 이들의 고농도 소스·드레인 영역(21B, 22B, 23B, 24B, 25, 26)에 대하여, 주사선, 데이터선이나 화소 전극 등의 소스·드레인 전극(35, 36, 37, 38, 39)이 각각, 하층측 층간 절연막(41) 및 상층측 층간 절연막(42)의 컨택트 홀을 통해 전기적으로 접속하고 있다. 또한, 상층측 층간 절연막(42)의 컨택트 홀에는 화소 전극(15)이 형성되어 있다.
다음에, 상기의 액정 장치(1)를 일례로서, 본 실시예의 전기 광학 장치의 제조방법에 관해서 설명한다. 도 4, 도 5a 내지 도 5c에, 상기 액정 장치(1)의 제조공정을 도시하고, 액정 장치(1)의 제조방법에 관해서 설명한다. 도 4, 도 5a 내지 도 5c는 개략 평면도이다.
대량 생산을 행하여, 생산 공정을 단축화하기 위해서, 액정 장치(1)는, 기판(11)을 복수개 절취하는 것이 가능한 크기의, 도 4의　（a）에 도시하는 기판 모재(111A)와, 대향 기판(12)을 복수개 절취하는 것이 가능한 크기의, 도 4의　（b）에 도시하는 대향 기판 모재(112A)를 사용하여 제조된다.
기판 모재(111A), 대향 기판 모재(112A)에 있어서, 절단되어 최종적으로 기판(11), 대향 기판(12)이 되는 영역을 각각 기판 형성 영역(11a), 대향 기판 형성 영역(12a)으로 한다. 기판 모재(111A), 대향 기판 모재(112A)에 대하여 각각 형성하는 기판 형성 영역(11a), 대향 기판 형성 영역(12a)의 수는, 기판(11), 대향 기판(12)의 면적과, 기판 모재(111A), 대향 기판 모재(112A)의 면적의 관계로부터 소정의 수로 설정된다. 도 4의　（a）, 도 4의　（b）에는, 예로서, 기판 형성 영역(11a), 대향 기판 형성 영역(12a)을 6개소씩 형성한 경우의 기판 모재(111A), 대향 기판 모재(112A)에 관해서 도시하고 있다. 도 4의　（a）, 도 4의　（b）에 도시하는 기판 형성 영역(11a), 대향 기판 형성 영역(12a)의 수 및 배치는 일례이고, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니다.
기판 형성 영역(11a), 대향 기판 형성 영역(12a)은, 기판 모재(111A), 대향 기판 모재(112A)를 접착하였을 때에, 각 기판 형성 영역(11a)과 각 대향 기판 형성 영역(12a)이 대향 배치되도록, 기판 모재(111A), 대향 기판 모재(112A)의 소정의 위치에 형성되어 있다.
도면상에서는 생략하고 있지만, 기판 모재(111A)의 표면상의 각 기판 형성 영역(11a)에는, 기판(11)의 표면상에 필요한 화소 전극(15), TFT 소자(10), 배향막(18) 등을 형성하고, 대향 기판 모재(112A)의 표면상의 각 대향 기판 형성 영역(12a)에는, 대향 기판(12)의 표면상에 필요한 컬러 필터층(16), 공통 전극(17), 배향막(19)을 형성한다.
다음에, 대향 기판 모재(112A)의 각 대향 기판 형성 영역(12a)의 주변부에, 에폭시계 등의 열경화성 또는 광 경화성 접착제를 고리 형상으로 도포함으로써, 주입부를 갖고 있지 않은 미경화 실재(14A)를 형성하고, 더욱이, 각 대향 기판 형성 영역(12a)에 도시는 생략하고 있는 스페이서(43)를 살포한다.
다음에, 진공 중에서, 대향 기판 모재(112A)의 표면상의 각 대향 기판 형성 영역(12a)에 있어서, 미경화 실재(14A)보다 내측의 영역에 액정(전기 광학 재료)를 도포하여, 액정층(13)을 형성한다. 액정층(13)을 형성한 대향 기판 모재(112A)를 도 4의　（c）에 도시한다. 대향 기판 모재(112A)의 각 대향 기판 형성 영역(12a)에 액정층(13)을 형성하는 방법의 상세한 것은 후술한다.
다음에, 진공 중에서, 각 기판 형성 영역(11a)과 각 대향 기판 형성영역(12a)이 대향 배치되도록, 미경화 실재(14A)를 삽입하여, 기판 모재(111A)와 대향 기판 모재(112A)를 접착하여, 액정 셀 모재(전기 광학 재료 셀 모재)(113A)를 형성한다. 이 때, 기판 형성 영역(11a), 대향 기판 형성 영역(12a) 상에 형성된 배향막(18, 19)이 서로 대향하도록 기판 모재(111A)와 대향 기판 모재(112A)를 접착한다. 액정 셀 모재(113A)를 대향 기판 모재(112A)의 상측에서 보았을 때의 평면도를 도 5a에 도시한다.
도 5a에 도시하는 바와 같이, 액정 셀 모재(113A)에는, 미경화 실재(14A)를 삽입하여 기판 형성 영역(11a)과 대향 기판 형성 영역(12a)이 접착되어, 기판 형성 영역(11a), 대향 기판 형성 영역(12a) 사이에 액정층(13)이 삽입 지지되는 액정 셀(전기 광학 재료 셀)(1A)이 6개 형성되어 있다.
다음에, 도 5b에 도시하는 바와 같이, 액정 셀 모재(113A)의 각 액정 셀(1A)의 미경화 실재(14A)의 경화를 행하여, 실재(14)를 형성한다. 미경화 실재(14A)의 경화 방법의 상세한 것은 후술한다.
다음에, 도 5c에 도시하는 바와 같이, 액정 셀 모재(113A)를, 각 기판 형성 영역(11a), 각 대향 기판 형성 영역(12a)의 외측부를 따라서 절단함으로써, 각 액정 셀(1A) 마다 절단한다. 이 때, 기판(11), 대향 기판(12)이 절취된다. 마지막에, 액정층(13)의 등방 처리를 행하고, 기판(11), 대향 기판(12)의 외측에 위상차판, 편광판 등의 광학 소자를 장착하여, 액정 장치(1)가 제조된다.
다음에, 상기의 액정 장치(1)의 제조방법에 있어서, 액정층(13)의 형성 방법에 관해서 자세히 설명한다.
도 4의　（c）에서 설명한 바와 같이, 대향 기판 모재(112A)의 각 대향 기판 형성 영역(12a)의 주변부에 미경화 실재(14A)를 형성한 후, 진공 중에서, 대향 기판 모재(112A)의 표면상의 각 대향 기판 형성 영역(12a)에 있어서, 미경화 실재(14A)보다 내측의 영역에 액정을 도포함으로써, 액정층(13)이 형성된다.
본 실시예에 있어서, 액정(전기 광학 재료)의 액체 방울을 방출 가능한 디스펜서, 잉크 제트 노즐 등을 사용하여, 대향 기판 모재(112A)의 각 대향 기판 형성 영역(12a)에 액정의 도포를 행한다. 이 때, 각 대향 기판 형성 영역(12a)에는, 액정 장치(1)에 필요한 량의 액정, 즉 액정 장치(1)에 있어서 기판(11), 대향 기판(12)간의 실재(14)보다 내측의 부분의 부피로부터 스페이서(43)의 부피를 제외한 부피와 거의 동일 부피의 액정이 도포되는 것이 바람직하다.
예를 들면, 셀 갭이 3×10-6m(3μm), 세로가 150×10-3m(150mm), 가로가 150×10-3m(150mm)의 액정 패널을 제조하는 경우, 각 대향 기판 형성 영역(12a)에 도포되는 액정은, 약 5×10-8㎥(5×10mm3)이고, 도포되는 액정의 량은 대단히 소량이다. 액정 패널의 크기는 여러가지 존재하고, 휴대 전화 등에는 세로 2 내지 3×10-3m(2 내지 3cm)정도, 가로 2 내지 3×10-3m(2 내지 3cm) 정도의 작은 액정 패널이 사용되지만, 이러한 작은 액정 패널을 제조하는 경우, 각 대향 기판 형성 영역(12a)에 도포되는 액정은 보다 소량이 된다.
이와 같이, 각 대향 기판 형성 영역(12a)에, 소량의 액정을 정확한 분량 도포하기 위해서, 잉크 제트 방식을 채용하여, 소량의 액정의 액체 방울을 방출할 수 있는 것과 동시에, 그 방출량을 미세하게 제어 가능한 잉크 제트 노즐을 사용하여 액정을 도포하는 것이 바람직하다.
도 6, 도 7에, 상기 액정층(13)의 형성 공정에 사용하기 적합한 잉크 제트 노즐의 일례를 도시하고, 상기 잉크 제트 노즐(50)의 구조에 관해서 설명한다.
잉크 제트 노즐(50)은, 도 6에 도시하는 바와 같이, 예를 들면 스테인레스제의 노즐 플레이트(51)와 진동판(52)을 구비하여, 양자는 경계부재(리저버(reservoir) 플레이트)(53)를 삽입하여 접합되어 있다. 노즐 플레이트(51)와 진동판(52) 사이에는, 경계부재(53)에 의해서 복수의 공간(54)과 액체 저장고(55)가 형성되어 있다. 각 공간(54)과 액체 저장고(55)의 내부는, 액정으로 채워져 있고, 각 공간(54)과 액체 저장고(55)는 공급구(56)를 통해 연결되어 있다. 더욱이, 노즐 플레이트(51)에는, 공간(54)으로부터 액정을 분사하기 위한 노즐 구멍(57)이 형성되어 있다. 한편, 진동판(52)에는 액체 저장고(55)에 액정을 공급하기 위한 구멍(58)이 형성되어 있다.
또한, 도 7에 도시하는 바와 같이, 진동판(52)의 공간(54)에 대향하는 면과 반대측의 면상에는 압전 소자(59)가 접합되어 있다. 상기 압전 소자(59)는 한 쌍의 전극(60) 사이에 위치하고, 통전하면 압전 소자(59)가 외측으로 돌출하도록 휘어지고, 동시에 압전 소자(59)가 접합되어 있는 진동판(52)도 일체로 되어 외측으로 휘어진다. 이로써 공간(54)의 용적이 증대한다. 따라서, 공간(54)내에 증대한 용적분에 상당하는 액정이 액체 저장고(55)로부터 공급구(56)를 통해 유입한다.다음에, 압전 소자(59)에의 통전을 해제하면, 압전 소자(59)돠 진동판(52)은 모두 원래의 형상으로 되돌아간다. 이로써, 공간(54)도 원래의 용적으로 되돌아가기 때문에, 공간(54) 내부의 액정의 압력이 상승하여, 노즐 구멍(57)으로부터 대향 기판 모재(112A)를 향하여 액정의 액체 방울(61)이 방출된다.
본 실시예에 있어서, 잉크 제트 노즐(50)을 폐쇄하지 않고, 안정하게 연속적으로 액정의 액체 방울(61)을 방출하기 위해서, 액정으로서, 점도가 1 내지 50mPa·s의 것을 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 잉크 제트 노즐(50)를 가열하는 등으로, 액정을 가열하여, 점도를 1 내지 10mPa·s에 조정한 상태로, 액정의 액체 방울(61)을 방출하는 것이 보다 바람직하다.
또한, 1 내지 50mPa·s의 점도의 액정, 보다 바람직하게는 1 내지 10mPa·s의 점도로 조정된 액정을 사용함으로써, 각 대향 기판 형성 영역(12a)에 도포된 액정은 흘러 퍼지기 때문에, 각 대향 기판 형성 영역(12a)의 미경화 실재(14A)보다 내측의 영역 전역에 액정의 액체 방울(61)을 도포할 필요가 없고, 각 대향 기판 형성 영역(12a)의 미경화 실재(14A)보다 내측의 영역에, 액정의 액체 방울(61)을 1방울 또는 여러방울, 부분적으로 도포하는 것만으로, 각 대향 기판 형성 영역(12a)의 미경화 실재(14A)보다 내측의 영역 전역에 빈틈 없이 액정층(13)을 형성할 수 있다.
다음에, 상기의 액정 장치(1)의 제조방법에 있어서, 미경화 실재(14A)의 경화 방법에 관해서 자세히 설명한다.
도 5a에서 설명한 바와 같이, 미경화 실재(14A)를 삽입하여 기판 모재(111A)와 대향 기판 모재(112A)를 접착하고, 액정 셀 모재(113A)를 형성하는 공정은 진공 중에서 행하여진다. 그 후, 진공 분위기를 해제하고, 액정 셀 모재(113A)는 상압하로 되돌려진다. 이 때, 액정 셀 모재(113A)의 각 액정 셀(1A)의 내부는 진공으로 되어 있기 때문에, 각 액정 셀(1A)에는, 외부의 공기로부터 대기압분의 압력이 가해져 있다. 그렇지만, 누설이 없는 실재(14)를 형성하기 위해서는, 미경화 실재(14A)를 경화할 때에, 적어도 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역을, 액정 셀 모재(113A)의 외측으로부터 대기압 이상의 압력을 가하여, 압착하면서 경화를 행하는 것이 바람직하다. 특히, 누설이 없는 실재(14)를 형성하기 위해서, 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역만을 가압하는 것이 바람직하다.
또한, 본 실시예에 있어서, 액정 셀 모재(113A)의 각 액정 셀(1A)의 내부에는 액정층(13)이 형성되어 있기 때문에, 액정층(13)에 손상을 주지 않는 조건으로 미경화 실재(14A)의 경화를 행하는 것이 바람직하다.
처음에, 미경화 실재(14A)가 에폭시계 등의 열경화성 접착제로 이루어지는 경우에 관해서, 미경화 실재(14A)의 압착 경화 방법에 관해서 설명한다.
본 실시예에 있어서, 열경화성 접착제로 이루어지는 미경화 실재(14A)의 압착 경화는, 적어도 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역을 소정의 온도로 가열하는 가열부와, 적어도 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역을 가압하는 가압부를 갖는 실재 압착 경화 장치를 사용하여 행한다. 특히, 누설이 없는 실재(14)를 효율이 양호하게 형성하기 위해서, 액정 셀모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역만을 가압 가능한 가압부를 갖는 실재 압착 경화 장치를 사용하는 것이 바람직하다.
도 8에, 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역만을 가압 가능하게 한, 열경화성 접착제로 이루어지는 미경화 실재(14A)를 압착 경화하는 공정에 사용하기 적합한 본 발명의 실재 압착 경화 장치의 일례의 개략 단면 구조를 도시하고, 상기 실재 압착 경화 장치(70)의 구조 및 미경화 실재(14A)의 압착 경화 방법에 관해서 설명한다.
도 8은 실재 압착 경화 장치(70)에 도 5a에 도시한 액정 셀 모재(113A)를 설치한 상태를 도시하는 도이다. 또한, 도 8에 있어서, 각 층이나 각 부재를 도면상에서 인식 가능한 정도의 크기로 하기 위해서, 각 층이나 각 부재의 축척은 실제의 것과는 다르게 나타내고 있다.
도 8에 도시하는 바와 같이, 실재 압착 경화 장치(70)는, 소정 간격으로 대향하는 2장의 플랫폼(71A, 71B)을 주체로 하여 구성되고, 플랫폼(71A, 71B) 사이에 형성된 공간(72)의 소정의 위치에, 액정 셀 모재(113A)가 적재되어, 미경화 실재(14A)의 압착 경화가 행하여진다.
플랫폼(71A, 71B) 중 적어도 한쪽의 플랫폼은, 소정의 온도로 가열되는 구조로 되어 있다. 예로서, 플랫폼(71A, 71B)의 양쪽이 가열되는 구조로 되어 있는 경우에 관해서 설명한다. 플랫폼(71A, 71B)은, 자체가 가열됨으로써, 플랫폼(71A, 71B) 사이의 공간(72)을 소정의 온도로 가열할 수 있는 가열부로 되어 있다. 또한, 도 8에 도시하는 바와 같이, 플랫폼(71A 와 71B)의 간격은, 액정 셀모재(113A)의 두께보다 크게 설정되어 있다.
도 8에 도시하는 바와 같이, 플랫폼(71A, 71B)의 내부에는, 플랫폼(71A, 71B)의 표면과 평행한 방향으로 복수의 가스 유로(74)가 형성되어 있고, 이들의 가스 유로(流路)(74)는, 실재 압착 경화 장치(70)의 도시 좌우에 형성된 도시는 생략하고 있는 가스 공급부에 접속되어 있다. 플랫폼(71A, 71B)의 내부에 있어서, 가스 유로(74)는, 가스 유로(74)로부터 공간(72)측에 가스 유로(74)와 직교하는 방향에 형성된 복수의 가스 유로(75)에 접속되어 있다. 가스 유로(75)는, 플랫폼(71A, 71B)의 공간(72)측 표면에서 개구하고 있다. 이하, 가스 유로(75)의 개구부를 가스 분출부(73)(가압부)라고 칭한다.
도시는 생략하고 있는 가스 공급부로부터 공급된 공기나 질소 등의 가스가, 도시 좌우 방향으로부터 가스 유로(74)에 유입되고, 가스 유로(74)로부터 가스 유로(75)에 가스가 유입되고, 가스 분출부(73)로부터 공간(72)에 소정의 압력의 가스를 분출할 수 있도록 되어 있다.
본 실시예에 있어서, 도 8에 도시하는 바와 같이 액정 셀 모재(113A)를 설치한 경우, 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역만을 압착하기 위해서, 가스 유로(75) 및 가스 분출부(73)는, 플랫폼(71A, 71B)의 내부 또는 표면에서, 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역의 도시 상하에만 위치되도록 형성되어 있다. 따라서, 가스 분출부(73)로부터 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역만을 향하여, 소정의 압력의 가스를 연속적으로 분출할 수 있도록 되어 있다.
가스 분출부(73)는 플랫폼(71A, 71B)의 양쪽의 표면에 형성되어 있기 때문에, 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역은, 상하의 가스 분출부(73)로부터 가스를 분출되어 가압되고, 미경화 실재(14A)는 압착된다. 이 때, 도 8에 도시하는 바와 같이, 액정 셀 모재(113A)는 부상한다. 액정 셀 모재(113A)를 플랫폼(71A, 71B)의 내측 표면에서 소정 거리 떨어진 도 8에 도시하는 바와 같은 위치에 미리 고정하여 놓아도 된다. 누설이 없는 실재(14)를 형성하기 위해서, 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역을, 예를 들면 0.05MPa 정도 가압하면 된다.
이와 같이, 미경화 실재(14A)를 압착한 상태로, 플랫폼(71A, 71B)을 가열하고, 공간(72)을 소정의 온도로 가열함으로써, 미경화 실재(14A)의 경화를 행한다.
액정층(13)의 손상을 방지하면서, 미경화 실재(14A)의 경화를 행하기 위해서, 미경화 실재(14A)를 100 내지 160으로 가열하고, 가열 시간을 30 내지 60분으로 하는 것이 바람직하다.
이상과 같이, 실재 압착 경화 장치(70)를 사용함으로써, 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역만을 가압하면서, 액정 셀 모재(113A)를 소정의 온도로 가열할 수 있기 때문에, 미경화 실재(14A)만을 효율이 양호하게 압착할 수 있는 것과 동시에 누설이 없는 실재(14)를 형성할 수 있다. 또한, 미경화 실재(14A)를 100 내지 160으로 가열하고, 가열 시간을 30 내지 60분으로 하여, 미경화 실재(14A)의 경화를 행함으로써, 액정층(13)의 손상을 방지할 수 있다.
실재 압착 경화 장치(70)에 있어서는, 플랫폼(71A, 71B)의 양쪽의 표면에 가스 분출부(73)가 형성된 것에 관해서 설명하였지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니라, 플랫폼(71A, 71B)의 적어도 한쪽의 플랫폼의 표면에 가스 분출부(73)가 형성되어 있으면 된다.
상기의 실재 압착 경화 장치(70)에 있어서는, 액정 셀 모재(113A)의 전체를 가열하여 미경화 실재(14A)의 경화를 행하지만, 액정층(13)에 손상을 주지 않기 때문에, 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역만을 가열하는 것이 바람직하다.
다음에, 도 9에, 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역만을 가압 가능하게 하고, 또한 상기 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역만을 가열 가능하게 한, 열경화성 접착제로 이루어지는 미경화 실재(14A)를 압착 경화하는 공정에 사용하기 적합한 실재 압착 경화 장치의 또다른 예의 개략 단면 구조를 도시하고, 상기 실재 압착 경화 장치(80)의 구조 및 실재(14A)의 압착 경화 방법에 관해서 설명한다.
도 9는 실재 압착 경화 장치(80)에 도 5a에 도시한 액정 셀 모재(113A)를 설치한 상태를 도시하는 도면이다. 또한, 도 9에 있어서, 각 층이나 각 부재를 도면상에서 인식 가능한 정도의 크기로 하기 위해서, 각 층이나 각 부재의 축척은 실제의 것과는 다르게 나타내고 있다.
도 9에 도시하는 바와 같이, 실재 압착 경화 장치(80)는, 소정 간격으로 대향하는 2장의 플랫폼(81A, 81B)과 플랫폼(81A, 81B)의 외측에 형성된 1개 또는 복수의 적외선 램프 등으로 이루어지는 적외선을 방출하는 적외선방출부(가열부)(83)를 주체로 하여 구성되고, 플랫폼(81A, 81B) 사이에 형성된 공간(87)의 소정의 위치에, 액정 셀 모재(113A)가 적재되어, 미경화 실재(14A)의 압착 경화가 행하여진다. 예 로서, 도 9에 도시하는 바와 같이, 적외선 방출부(83)를 플랫폼(81A, 81B)의 외측에 1개씩 형성한 경우에 관해서 설명한다.
플랫폼(81A, 81B)은 글래스 등의 투명체로 이루어지고, 적외선을 투과할 수 있는 구조로 되어 있다. 또한, 적외선 방출부(83)로부터의 적외선을 효율이 양호하게, 플랫폼(81A, 81B)에 조사하기 위해서, 적외선 방출부(83)의 외측에는 오목 곡면(84a)을 갖는 반사 미러(84)가 설치되어 있다. 또한, 도 9에 도시하는 바와 같이, 플랫폼(81A)과 플랫폼(81B)의 간격은, 액정 셀 모재(113A)의 두께보다 크게 설정되어 있다.
도 9에 도시하는 바와 같이, 플랫폼(81A, 81B)의 내부에는, 플랫폼(81A, 81B)의 표면에 평행인 방향으로 복수의 가스 유로(86)가 설치되어 있어, 이들의 가스 유로(86)는, 실재 압착 경화 장치(80)의 도시 좌우에 설치된 도시는 생략하고 있는 가스 공급부에 접속되어 있다. 플랫폼(81A, 81B)의 내부에 있어서, 가스 유로(86)는, 가스 유로(86)로부터 공간(87)측에 가스 유로(86)와 직교하는 방향에 도시 상하 방향으로 형성된 복수의 가스 유로(88)에 접속되어 있다. 가스 유로(88)는, 플랫폼(81A, 81B)의 공간(87)측 표면에서 개구하고 있다. 이하, 가스 유로(88)의 개구부를 가스 분출부(85)(가압부)라고 칭한다.
도시는 생략하고 있는 가스 공급부로부터 공급된 공기나 질소 등의 가스가, 도시 좌우 방향으로부터 가스 유로(86)에 유입되고, 가스 유로(86)로부터 가스 유로(88)에 가스가 유입되고, 가스 분출부(85)로부터 공간(87)에 소정의 압력의 가스를 분출할 수 있도록 되어 있다.
본 실시예에 있어서, 도 9에 도시하는 바와 같이, 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역만을 압착하기 위해서, 가스 유로(88) 및 가스 분출부(85)는, 실재 압착 경화 장치(70)에 있어서의 가스 유로(75) 및 가스 분출부(73)와 동일하게 플랫폼(81A, 81B)의 내부 또는 표면에 있어서, 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역의 도시 상하에만 위치되도록 형성되어 있다. 따라서, 가스 분출부(85)로부터 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역만을 향하여, 소정의 압력의 가스를 연속적으로 분출할 수 있도록 되어 있다.
가스 분출부(85)는 플랫폼(81A, 81B)의 표면의 양쪽에 설치되어 있기 때문에, 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역은, 상하의 가스 분출부(85)로부터 가스를 분출하여 가압되고, 실재(14A)는 압착된다. 이 때, 도 9에 도시하는 바와 같이, 액정 셀 모재(113A)는 부상한다. 또한, 액정 셀 모재(113A)를 플랫폼(81A, 81B)의 내측 표면으로부터 소정 거리 떨어진 도 9에 도시하는 바와 같은 위치에 미리 고정하여 놓아도 된다. 누설이 없는 실재(14)를 형성하기 위해서, 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역을, 예를 들면 0.05MPa 정도 가압하면 된다.
또한, 본 실시예에 있어서, 플랫폼(81A, 81B)의 공간(87)측 표면에 있어서, 가스 분출부(85)를 제외하는 영역에는, 적외선을 투과하지 않은 적외선 컷 오프 필터(82)가 형성되어 있는 것이 바람직하다.
상기와 같이, 미경화 실재(14A)를 압착한 상태로, 적외선 방출부(83)로부터 적외선을 방출하면, 방출된 적외선은 플랫폼(81A, 81B)을 투과하고, 적외선 컷 오프 필터(82) 이외의 지점에서 방출된다. 즉, 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역에만 적외선을 조사할 수 있고, 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역만을 가열할 수 있다. 적외선 방출부(83)로부터 조사하는 적외선의 강도를 제어함으로써, 미경화 실재(14A)의 가열 온도를 제어할 수 있다.
상기의 실재 압착 경화 장치(80)를 사용한 경우, 액정층(13)은 가열되지 않기 때문에, 미경화 실재(14A)의 가열 온도나 가열 시간은 제한되지 않는다. 미경화 실재(14A)를, 미경화 실재(14A)의 경화가 가능한 온도, 예를 들면, 100 내지 160으로 가열하면 된다.
이상과 같이, 실재 압착 경화 장치(80)를 사용함으로써, 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역만을 가압할 수 있는 것과 동시에, 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역만을 가열할 수 있기 때문에, 미경화 실재(14A)만을 효율이 양호하게 압착하여, 누설이 없는 실재(14)를 형성할 수 있는 것과 동시에, 액정층(13)에 손상을 주는 일없이, 미경화 실재(14A)를 경화할 수 있다.
실재 압착 경화 장치(80)에 있어서는, 플랫폼(81A, 81B)의 양쪽의 표면에 가스 분출부(85)가 형성된 것에 관해서만 설명하였지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니라, 플랫폼(81A, 81B)의 적어도 한쪽의 플랫폼의 표면에 가스 분출부(85)가 형성되어 있으면 된다.
또한, 실재 압착 경화 장치(80)에 있어서는, 적외선 컷 오프 필터(82)가 플랫폼(81A, 81B)의 공간(87)측 표면상에 형성된 것에 관해서만 설명하였지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니라, 플랫폼(81A, 81B)의 내부 또는 플랫폼(81A, 81B)의 외측의 표면상 등에 적외선 컷 오프 필터(82)를 형성하여도 되고, 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역 이외의 영역에의 적외선 조사를 방지하도록 적외선 컷 오프 필터(82)가 형성되어 있으면 된다.
다음에, 미경화 실재(14A)가 에폭시계 등의 광 경화성 접착제로 이루어지는 경우에 관해서, 미경화 실재(14A)의 압착 경화 방법에 관해서 설명한다.
본 실시예에 있어서, 광 경화성 접착제로 이루어지는 미경화 실재(14A)의 압착 경화는, 액정 셀 모재(113A)의 적어도 미경화 실재(14A)가 형성된 영역에 자외선을 조사하기 위한 자외선 방출부와, 액정 셀 모재(113A)의 적어도 미경화 실재(14A)가 형성된 영역에 가압을 행하는 가압부를 갖는 실재 압착 경화 장치를 사용하여 행한다. 특히, 누설이 없는 실재(14)를 효율이 양호하게 형성하기 위해서, 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역만을 가압 가능한 가압부를 가짐과 동시에, 액정층(13)에 손상을 주지 않기 때문에, 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역에만 자외선을 조사하는 것이 가능한 실재 압착 경화 장치를 사용하는 것이 바람직하다.
도 10에, 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역만을 가압 가능하게 하고, 또한 상기 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역에만 자외선을 조사하는 것을 가능하게 한, 광 경화성 접착제로 이루어지는 미경화 실재(14A)를 압착 경화하는 공정에 사용하기 적합한 실재 압착 경화 장치의 일례의 개략 단면 구조를 도시하고, 상기 실재 압착 경화 장치(90)의 구조 및 실재(14A)의 압착 경화 방법에 관해서 설명한다.
도 10은 실재 압착 경화 장치(90)에 도 5a에 도시한 액정 셀 모재(113A)를 설치한 상태를 도시하는 도이다. 도 10에 있어서, 실재 압착 경화 장치(80)와 같은 구성 요소에는 같은 참조 부호를 붙이고 있다. 또한, 도 10에 있어서, 각 층이나 각 부재를 도면상에서 인식 가능한 정도의 크기로 하기 위해서, 각 층이나 각 부재의 축척은 실제의 것과는 다르게 나타내고 있다.
도 10에 도시하는 바와 같이, 실재 압착 경화 장치(90)는, 소정 간격으로 대향하는 2장의 플랫폼(91A, 91B)과 플랫폼(91A, 91B)의 외측에 형성된 1개 또는 복수의 자외선 램프 등으로 이루어지는 자외선을 방출하는 자외선 방출부(93)를 주체로 하여 구성되고, 플랫폼(91A, 91B) 사이에 형성된 공간(87)의 소정의 위치에, 액정 셀 모재(113A)가 적재되어, 미경화 실재(14A)의 압착 경화가 행하여진다. 예로서, 도 10에 도시하는 바와 같이, 자외선 방출부(93)를 플랫폼(91A, 91B)의 외측에 1개씩 형성한 경우에 관해서 설명한다.
플랫폼(91A, 91B)은 글래스 등의 투명체로 이루어지고, 자외선을 투과할 수 있는 구조로 되어 있다. 또한, 자외선 방출부(93)로부터의 자외선을 효율이 양호하고, 플랫폼(91A, 91B)에 조사하기 위해서, 자외선 방출부(93)의 외측에는 오목 곡면(84a)을 갖는 반사 미러(84)가 설치되어 있다. 또한, 도 10에 도시하는 바와같이, 플랫폼 (91A)과 플랫폼(91B)의 간격은, 액정 셀 모재(113A)의 두께보다 크게 설정되어 있다.
본 실시예에 있어서, 플랫폼(91A, 91B)의 내부에는, 복수의 가스 유로(86, 88)가 형성되고, 가스 유로(88)는 플랫폼(91A, 91B)의 공간(87)측 표면에 있어서, 개구하고, 가스 분출부(가압부)(85)가 형성되어 있다. 가스 유로(86, 88), 가스 분출부(85)는, 실재 압착 경화 장치(80)의 플랫폼(81A, 81B)의 내부 또는 표면에 형성된 가스 유로(86, 88), 가스 분출부(85)와 같은 구조이다. 가스 유로(86)는, 실재 압착 경화 장치(80)의 가스 유로(86)와 마찬가지로, 도시는 생략하고 있는 가스 공급부에 접속되어 있다.
본 실시예에 있어서, 도 10에 도시하는 바와 같이, 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역만을 압착하기 위해서, 가스 유로(88) 및 가스 분출부(85)는, 플랫폼(91A, 91B)의 내부 또는 표면에 있어서, 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역의 도시 상하에만 형성되어 있다. 따라서, 가스 분출부(85)로부터 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역만을 향하여, 소정 압력의 가스를 연속적으로 분출할 수 있도록 되어 있다.
가스 분출부(85)는 플랫폼(91A, 91B)의 양쪽의 표면에 형성되어 있기 때문에, 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역은, 도시 상하의 가스 분출부(85)로부터 가스를 분출하여 가압되고, 미경화 실재(14A)는 압착된다. 이 때, 도 10에 도시하는 바와 같이, 액정 셀 모재(113A)는 부상한다. 또한, 액정 셀 모재(113A)를 플랫폼(81A, 81B)의 내측 표면으로부터 소정 거리 떨어진 도 10에 도시하는 바와 같은 위치에 미리 고정하여 놓아도 된다. 누설이 없는 실재(14)를 형성하기 위해서, 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역을, 예를 들면 0.05MPa 정도 가압하면 된다.
본 실시예에 있어서, 플랫폼(91A, 91B)의 공간(87)측 표면에서, 가스 분출부(85)를 제외한 영역에는, 자외선을 투과하지 않는 자외선 컷 오프 필터(92)가 형성되어 있다.
상기한 바와 같이, 미경화 실재(14A)를 압착한 상태로, 자외선 방출부(93)로부터 자외선을 방출하면, 방출된 자외선은 플랫폼(91A, 91B)을 투과하여, 자외선 컷 오프 필터(92) 이외의 지점으로부터 방출된다. 즉, 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역에만 자외선을 조사할 수 있다. 자외선 방출부(93)로부터 조사하는 자외선의 강도를 제어함으로써, 미경화 실재(14A)의 경화를 제어할 수 있다.
실재 압착 경화 장치(90)를 사용한 경우, 액정층(13)에 자외선이 조사되지 않기 때문에, 미경화 실재(14A)의 자외선 조사 조건은 제한되지 않는다. 미경화 실재(14A)를, 미경화 실재(14A)의 경화가 가능한 자외선 조사 조건으로 경화하면 된다.
이상과 같이, 실재 압착 경화 장치(90)를 사용함으로써, 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역만을 가압할 수 있는 것과 동시에, 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역에만 자외선을 조사할 수 있기 때문에, 미경화 실재(14A)만을 효율이 양호하게 압착하여, 누설이 없는 실재(14)를 형성할수 있는 것과 동시에, 액정층(13)에 손상을 주는 일없이, 미경화 실재(14A)를 경화할 수 있다.
실재 압착 경화 장치(90)에 있어서는, 플랫폼(91A, 91B)의 양쪽의 표면에 가스 분출부(85)가 형성된 것에 관해서만 설명하였지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니라, 플랫폼(91A, 91B)의 적어도 한쪽의 플랫폼의 표면에 가스 분출부(85)가 형성되어 있으면 된다.
또한, 실재 압착 경화 장치(90)에 있어서는, 자외선 컷 오프 필터(92)가 플랫폼(91A, 91B)의 공간(87)측 표면상에 형성된 것에 관해서만 설명하였지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니라, 플랫폼(91A, 91B)의 내부 또는 플랫폼(91A, 91B)의 외측의 표면상 등에 자외선 컷 오프 필터(92)를 형성하여도 되고, 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역 이외의 영역에의 자외선 조사를 방지하도록 자외선 컷 오프 필터(92)가 형성되어 있으면 된다.
또한, 실재 압착 경화 장치(70, 80, 90)에 있어서는, 가스 분출부(73, 85)로부터 가스를 분출하여, 가스의 압력에 의해 미경화 실재(14A)를 압착하는 것에 관해서만 설명하였지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니라, 가압부는, 액정 셀 모재(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역을 기계적으로 가압하는 것 등이어도 된다.
또한, 실재 압착 경화 장치(70, 80, 90)는, 본 실시예의 액정 장치(1)의 제조 공정에만 사용할 수 있는 것이 아니라, 종래 일반의 전기 광학 장치의 제조방법에 있어서도 사용할 수 있는 것이다. 더욱이, 본 발명의 실재 압착 경화 장치(70,80, 90)는, 전기 광학 장치의 제조 공정 뿐만 아니라, 일반의 대향하는 2장의 기판이 실재를 삽입하여 접착되는 어떠한 기판 유닛의 제조 공정에도 사용할 수 있는 것이다.
본 실시예에 의하면, 대향 기판 모재(112A)의 각 대향 기판 형성 영역(12a)의 주변부에, 고리 형상으로 미경화의 접착제를 도포함으로써, 주입부를 갖고 있지 않은 미경화 실재(14A)를 형성한 후, 대향 기판 모재(112A) 상의 각 대향 기판 형성 영역(12a)에 있어서 미경화 실재(14A)보다 내측의 영역에 액정(전기 광학 재료)을 도포하기 때문에, 실재(14)의 외측에 액정(전기 광학 재료)이 부착하는 것을 방지할 수 있기 때문에, 액정 셀(전기 광학 재료 셀)의 세정 공정을 불필요로 할 수 있어, 전기 광학 장치의 생산 효율을 향상할 수 있는 전기 광학 장치의 제조방법을 제공할 수 있다.
또한, 본 실시예에 의하면, 대향 기판 모재(112A)의 각 대향 기판 형성 영역(12a)에 액정층(전기 광학 재료층)(13)을 형성한 후, 기판 모재(111A)와 대향 기판 모재(112A)를 접착하여 액정 셀 모재(전기 광학 재료 셀 모재)(113A)를 형성하기 때문에, 액정 셀 모재(전기 광학 재료 셀 모재)(113A)로부터 직접 개개의 액정 셀(전기 광학 재료 셀)(1A)을 절취할 수 있다. 그러므로, 종래의 전기 광학 장치의 제조 공정에 있어서의, 전기 광학 재료를 주입하기 위해서 전기 광학 재료 셀 모재를 직사각형의 전기 광학 재료 셀 모재로 절단하는 공정이 불필요하게 되기 때문에, 전기 광학 장치의 생산 공정을 단축화할 수 있어, 생산 효율을 향상할 수 있다.
더욱이, 본 실시예에 의하면, 주입부를 갖고 있지 않은 실재(14)를 형성하기 때문에, 종래의 전기 광학 장치의 제조 공정에 있어서의, 주입부를 밀봉하기 위한 밀봉재를 형성하는 공정도 불필요하게 되므로, 전기 광학 장치의 생산 공정을 단축화할 수 있어, 생산 효율을 향상할 수 있다.
또한, 본 실시예에 있어서, 액정층(전기 광학 재료층)(13)을 형성하는 공정에서, 액정(전기 광학 재료)의 액체 방울(61)을 방출 가능한 디스펜서 또는 잉크 제트 노즐을 사용하여 액정의 도포를 행하는 것이 바람직하고, 특히, 잉크 제트 노즐을 사용한 잉크 제트 방식에 의해 액정의 도포를 행함으로써, 소량의 액정을 정확한 분량 도포할 수 있다.
또한, 본 실시예에 있어서, 누설이 없는 실재(14)를 형성하기 위해서, 미경화 실재(14A)를 경화하는 공정에 있어서, 액정 셀 모재(전기 광학 재료 셀 모재)(113A)의 적어도 미경화 실재(14A)가 형성된 영역을, 액정 셀 모재(113A)의 외측으로부터 압착하면서, 미경화 실재(14A)를 경화하는 것이 바람직하다.
특히, 액정 셀 모재(전기 광학 재료 셀 모재)(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역만을 가압함으로써, 액정 셀 모재(113A) 전체를 가압하는 것보다도 효율이 양호하게 미경화 실재(14A)를 압착할 수 있어, 누설이 없는 실재(14)를 형성할 수 있다.
종래는, 액정 셀 모재(전기 광학 재료 셀 모재)의 미경화 실재가 형성된 영역만을 가압하는 기술이 없었지만, 본 실시예에서 설명한 바와 같이, 본 발명자가 발명한 실재 압착 경화 장치(70, 80, 90)를 사용함으로써, 액정 셀 모재(전기 광학재료 셀 모재)(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역만을 가압하는 것이 가능하게 되기 때문에, 본 실시예에 의하면, 누설이 없는 실재(14)를 형성할 수 있는 전기 광학 장치의 제조방법을 제공할 수 있다.
또한, 미경화 실재(14A)가 열경화성 접착제로 이루어지는 경우, 미경화 실재(14A)를 경화하는 공정에 있어서, 액정 셀 모재(전기 광학 재료 셀 모재)(113A)를 100 내지 160으로 가열하고, 가열 시간을 30 내지 60분으로 하는 것이 바람직하다. 액정 셀 모재(전기 광학 재료 셀 모재)(113A)를 100 내지 160으로 가열하여, 가열 시간을 30 내지 60분으로 함으로써, 액정층(전기 광학 재료층)(13)의 손상을 방지하면서, 미경화 실재(14A)의 경화를 행할 수 있다.
또한, 열경화성 접착제로 이루어지는 미경화 실재(14A)를 경화할 때에, 액정층(전기 광학 재료층)에 손상을 주지 않기 위해서는, 액정 셀 모재(전기 광학 재료 셀 모재)(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역만을 가열하는 것이 바람직하다.
종래는, 액정 셀 모재(전기 광학 재료 셀 모재)(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역만을 가열하는 기술이 없었지만, 본 발명자가 발명한 실재 압착 경화 장치(70, 80, 90)를 사용함으로써 액정 셀 모재(전기 광학 재료 셀 모재)(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역만을 가열하는 것이 가능하게 되기 때문에, 본 실시예에 의하면, 액정층(전기 광학 재료층)(13)에 손상을 주지 않는 전기 광학 장치의 제조방법을 제공할 수 있다.
또한, 미경화 실재(14A)가 광 경화성 접착제로 이루어지는 것인 경우에는, 미경화 실재(14A)를 경화할 때에, 액정 셀 모재(전기 광학 재료 셀 모재)(113A)의미경화 실재(14A)가 형성된 영역에만 자외선을 조사하는 것이 바람직하다.
종래는, 액정 셀 모재(전기 광학 재료 셀 모재)의 미경화 실재가 형성된 영역에만 자외선을 조사하는 기술이 없었지만, 본 발명자가 발명한 실재 압착 경화 장치를 사용함으로써 액정 셀 모재(전기 광학 재료 셀 모재)(113A)의 미경화 실재(14A)가 형성된 영역에만 자외선 조사하는 것이 가능하게 되기 때문에, 본 실시예에 의하면, 액정층(전기 광학 재료층)(13)에 손상을 주지 않는 전기 광학 장치의 제조방법을 제공할 수 있다.
또한, 이상의 전기 광학 장치의 제조방법에 의해 제조된 본 실시예의 액정 장치(1)는, 주입부를 갖고 있지 않은 실재(14)가 형성되어 있기 때문에, 주입부를 밀봉하기 위한 밀봉재가 형성되지 않고, 액정 장치(전기 광학 장치)(1)를 구비하는 전자기기 내의 스페이스 절약화를 꾀할 수 있는 것이다.
제 2 실시예
도 11에, 본 발명에 따른 제 2 실시예의, 스위칭 소자로서 TFT(Thin-Film Transistor)소자를 사용한, 액정 장치(2)를 기판면에 대하여 수직 방향으로 절단하였을 때의 개략 단면 구조를 도시하고, 도 12에, 액정 장치(2)를 상측 기판측에서 보았을 때의 개략 평면 구조를 도시하고, 상기 액정 장치(2)의 구조에 관해서 설명한다. 도 11은, 도 12에 도시하는 액정 장치(2)의 A2-A2′선을 따라서 도시하는 단면도이다. 도 11, 도 12에 있어서, 각 층이나 각 부재를 도면상에서 인식 가능한 정도의 크기로 하기 위해서, 각 층이나 각 부재의 축척은 실제의 것과는 다르게 나타내고 있다. 상기 액정 장치(2)의 하측 기판의 일부분을 확대한 개략 단면 구조는, 제 1 실시예에 있어서 도 3에 도시한 것과 동일하기 때문에, 설명은 생략한다.
도 11, 도 12에 있어서, 액정 장치(1)와 동일 구성 요소에는 동일 참조 번호를 붙이고, 설명은 생략한다.
도 11에 도시하는 바와 같이, 기판(하측 기판)(101)과 대향 기판(상측 기판)(102)이 실재(104)를 삽입하여 소정 간격으로 접착되고, 기판(101), 대향 기판(102) 사이에 액정층(전기 광학 재료층)(13)이 삽입 지지되어 있다. 실재(104)는 에폭시계 등의 열경화성 또는 광 경화성 접착제로 형성되어 있다. 도 12에 도시하는 바와 같이, 본 실시예에 있어서, 기판(101), 대향 기판(102)은, 제 1 실시예에 있어서의 기판(11), 대향 기판(12)과 동일하게 도시 횡방향에는 동일의 폭을 갖고 있지만, 도시 종방향에는 다른 폭을 가지고 있고, 기판(101)의 폭쪽은 대향 기판(102)의 폭보다도 길게 형성되어 있다.
본 실시예에 있어서, 도 12에 도시하는 바와 같이, 실재(104)는, 기판(101), 대향 기판(102)의 4개의 변을 따라서, 기판(101), 대향 기판(102)의 주변부 사이에, 고리 형상으로 형성되어 있다. 도 11, 도 12에 도시하는 바와 같이, 실재(104)의 외측 단면(104e)은, 대향 기판(102)의 단면(102e)과 같은 위치에 일치되어 있다. 또한, 실재(104)에는 액정을 주입하기 위한 개구형상의 주입부는 형성되어 있지 않다.
실재(14)의 형성 영역 이외의 액정 장치(2)의 구조는, 제 1 실시예의 액정 장치(1)와 같은 구조이기 때문에 설명은 생략한다.
다음에, 상기의 액정 장치(2)를 일례로서, 본 실시예의 전기 광학 장치의 제조방법에 관해서 설명한다. 도 13, 도 14a 내지 도 14c에, 상기 액정 장치(2)의 제조 공정을 도시하고, 액정 장치(2)의 제조방법에 관해서 설명한다. 도 13, 도 14a 내지 도 14c는 개략 평면도이다.
대량 생산을 행하여, 생산 공정을 단축화하기 위해서, 액정 장치(2)는, 기판(101)을 복수개 절취하는 것이 가능한 크기의, 도 13의 (a)에 도시하는 기판 모재(111B)와, 대향 기판(102)을 복수개 절취하는 것이 가능한 크기의, 도 13의 (b)에 도시하는 대향 기판 모재(112B)를 사용하여 제조된다.
기판 모재(111B), 대향 기판 모재(112B)에 있어서, 절단되어 최종적으로 기판(101), 대향 기판(102)이 되는 영역을 각각 기판 형성 영역(101a), 대향 기판 형성 영역(102a)으로 한다. 기판 모재(111B), 대향 기판 모재(112B)에 대하여 각각 형성하는 기판 형성 영역(101a), 대향 기판 형성 영역(102a)의 수는, 기판(101), 대향 기판(102)의 면적과, 기판 모재(111B), 대향 기판 모재(112B)의 면적의 관계로부터 소정의 수로 설정된다. 도 13의 (a), 도 13의 (b)에는, 예로서, 기판 형성 영역(101a), 대향 기판 형성 영역(102a)을 6개소씩 형성한 경우의 기판 모재(111B), 대향 기판 모재(112B)에 관해서 도시하고 있다. 도 13의 (a), 도 13의 (b)에 도시하는 기판 형성 영역(101a), 대향 기판 형성 영역(102a)의 수 및 배치는 일례이고, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니다.
기판 형성 영역(101a), 대향 기판 형성 영역(102a)은, 기판 모재(111B), 대향 기판 모재(112B)를 접착하였을 때에, 각 기판 형성 영역(101a)과 각 대향 기판형성 영역(102a)이 대향 배치되도록, 기판 모재(111B), 대향 기판 모재(112B)의 소정의 위치에 형성되어 있다. 또한, 본 실시예에 있어서, 기판 형성 영역(101a), 대향 기판 형성 영역(102a)은 기판 모재(111B), 대향 기판 모재(112B)에 있어서, 도시 횡방향에는 빈틈 없이 연속하여 형성되어 있다.
도면상에서는 생략하고 있지만, 기판 모재(111B)의 표면상의 각 기판 형성 영역(101a)에는, 기판(101)의 표면상에 필요한 화소 전극(15), TFT 소자(10), 배향막(18) 등을 형성하고, 대향 기판 모재(112B)의 표면상의 각 대향 기판 형성 영역(102a)에는, 대향 기판(102)의 표면상에 필요한 컬러 필터층(16), 공통 전극(17), 배향막(19)을 형성한다.
다음에, 대향 기판 모재(112B)의 각 대향 기판 형성 영역(102a)의 주변부에, 에폭시계 등의 열경화성 또는 광 경화성 접착제로 이루어지는 미경화 실재(104A)를 고리 형상으로 도포하고, 또한, 각 대향 기판 형성 영역(102a)에 도시는 생략하고 있는 스페이서(43)를 살포한다.
다음에, 진공 중에서, 대향 기판 모재(112B)의 표면상의 각 대향 기판 형성 영역(102a)에 있어서, 미경화 실재(104A)보다 내측의 영역에 액정(전기 광학 재료)을 도포하여, 액정층(13)을 형성한다. 액정층(13)을 형성한 대향 기판 모재(112B)를 도 13의 (c)에 도시한다. 본 실시예에 있어서의, 액정층(13)의 형성 방법은, 제 1 실시예에서 설명한 것과 동일하므로, 설명은 생략한다.
다음에, 진공 중에서, 각 기판 형성 영역(101a)과 각 대향 기판 형성 영역(102a)이 대향 배치되도록, 미경화 실재(104A)를 삽입하여, 기판 모재(111B)와대향 기판 모재(112B)를 접착하고, 액정 셀 모재(전기 광학 재료 셀 모재)(113B)를 형성한다. 이 때, 기판 형성 영역(101a), 대향 기판 형성 영역(102a) 상에 형성된 배향막(18, 19)이 서로 대향하도록 기판 모재(111B)와 대향 기판 모재(112B)를 접착한다. 액정 셀 모재(113B)를 대향 기판 모재(112B)의 상측에서 보았을 때의 평면도를 도 14a에 도시한다. 도 14a에 도시하는 바와 같이, 액정 셀 모재(113B)에는, 미경화 실재(104A)를 삽입하여 기판 형성 영역(101a)과 대향 기판 형성 영역(102a)이 접착되고, 기판 형성 영역(101a), 대향 기판 형성 영역(102a) 사이에 액정층(13)이 삽입 지지되는 액정 셀(전기 광학 재료 셀)(2A)이 6개 형성되어 있다.
다음에, 도 14b에 도시하는 바와 같이, 액정 셀 모재(113B)의 각 액정 셀(2A)의 미경화 실재(104A)의 경화를 행하여, 실재(104)를 형성한다. 본 실시예에 있어서의 미경화 실재(104A)의 경화 방법은, 제 1 실시예에서 설명한 미경화 실재(14A)의 경화 방법과 동일하므로, 설명은 생략한다.
마지막에, 도 14c에 도시하는 바와 같이, 액정 셀 모재(113B)를, 각 기판 형성 영역(101a), 각 대향 기판 형성 영역(102a)의 외측부를 따라서 절단함으로써, 각 액정 셀(2A) 마다 절단한다. 이렇게하여, 기판(101), 대향 기판(102)이 절취된다. 마지막에, 기판(101), 대향 기판(102)의 외측에 위상차판, 편광판 등의 광학 소자를 장착하여, 액정 장치(2)가 제조된다.
본 실시예에 의하면, 대향 기판 모재(112B)의 각 대향 기판 형성 영역(102a)의 주변부에, 고리 형상으로 미경화의 접착제를 도포함으로써, 주입부를 갖고 있지않은 미경화 실재(104A)를 형성한 후, 대향 기판 모재(112B) 상의 각 대향 기판 형성 영역(102a)에 있어서 미경화 실재(104A)보다 내측의 영역에 액정(전기 광학 재료)을 도포하기 때문에, 실재(104)의 외측에 전기 광학 재료가 부착하는 것을 방지할 수 있기 때문에, 액정 셀(전기 광학 재료 셀)의 세정 공정을 불필요로 할 수 있어, 전기 광학 장치의 생산 효율을 향상할 수 있는 전기 광학 장치의 제조방법을 제공할 수 있다.
또한, 본 실시예에 의하면, 대향 기판 모재(112B)의 각 대향 기판 형성 영역(102a)에 액정층(전기 광학 재료층)(13)을 형성한 후, 기판 모재(111B)와 대향 기판 모재(112B)를 접착하여 액정 셀 모재(전기 광학 재료 셀 모재)(113B)를 형성하기 때문에, 액정 셀 모재(전기 광학 재료 셀 모재)(113B)에서 직접 개개의 액정 셀(전기 광학 재료 셀)(2A)을 절취할 수 있다. 그러므로, 종래의 전기 광학 장치의 제조 공정에 있어서의, 전기 광학 재료를 주입하기 위해서 전기 광학 재료 셀 모재를 직사각형의 전기 광학 재료 셀 모재로 절단하는 공정이 불필요하게 되기 때문에, 전기 광학 장치의 생산 공정을 단축화할 수 있어, 생산 효율을 향상할 수 있다.
더욱이, 본 실시예에 의하면, 주입부를 갖고 있지 않은 실재(104)를 형성하기 때문에, 종래의 전기 광학 장치의 제조 공정에 있어서의, 주입부를 밀봉하기 위한 밀봉재를 형성하는 공정도 불필요하게 되기 때문에, 전기 광학 장치의 생산 공정을 단축화할 수 있어, 생산 효율을 향상할 수 있다.
또한, 이상의 전기 광학 장치의 제조방법에 의해 제조된 본 실시예의 액정장치(2)는, 주입부를 갖고 있지 않은 실재(104)가 형성되어 있기 때문에, 주입부를 밀봉하기 위한 밀봉재가 형성되지 않고, 액정 장치(전기 광학 장치)(2)를 구비하는 전자기기 내의 스페이스 절약화를 꾀할 수 있는 것이다.
더욱이, 상기 액정 장치(2)는, 실재(104)의 외측 단면(104e)과 대향 기판(102)의 단면(102e)이 동일 위치에 일치되어 있으므로, 실재(104)보다 외측의 영역이 좁고, 기판(101, 102)의 면적을 작게 할 수 있어, 액정 장치(2)를 구비하는 전자기기 내의 스페이스 절약화를 꾀할 수 있는 것이다. 또한, 상기 액정 장치(2)는 기판(101, 102)의 면적을 작게 할 수 있으므로, 기판 모재(111B), 대향 기판 모재(112B)의 유효 이용을 꾀할 수 있는 것이다.
제 1, 제 2 실시예에 있어서는, 기판 모재를 사용하여 전기 광학 장치를 제조하는 경우에 관해서만 설명하였지만, 본 발명은, 기판 모재를 사용하지 않고 전기 광학 장치를 제조하는 경우에 관해서도 마찬가지로, 적용할 수 있다.
이 경우에는, 2장의 기판 중 한쪽 기판의 주변부에, 고리 형상으로 미경화의 접착제를 도포함으로써, 주입부를 갖고 있지 않은 미경화 실재를 형성하고, 상기 기판 상의 미경화 실재보다 내측의 영역에 전기 광학 재료를 도포하여, 전기 광학 재료층을 형성한 후, 상기 기판와 다른 한쪽의 기판을 상기 미경화 실재를 삽입하여 접착함으로써 전기 광학 재료 셀을 형성하고, 미경화 실재를 경화하면 되고, 상기 전기 광학 장치의 제조방법은, 기판 모재를 사용하는 경우와 동일하게 전기 광학 재료 셀의 세정 공정을 불필요로 하여, 생산 효율을 향상할 수 있는 것이다.
또한, 제 1, 제 2 실시예에 있어서는, TFT 소자를 사용한 액정 장치에 관해서 설명하였지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니라, 어떠한 액정 장치에도 적용할 수 있고, 예를 들면, 단순 매트릭스형의 액정 장치나, TFD(Thin Film Diode) 소자에 대표되는 2단자형 소자를 사용하는 액티브 매트릭스형의 액정 장치등에도 적용할 수 있다.
또한, 본 발명은 액정 장치에 한정되는 것이 아니라, 전기 광학 재료층을 끼워 지지하는 2장의 기판을 소정 간격으로 접착한 구조의 일렉트로루미네선스, 플라즈마 디스플레이 등의 전기 광학 장치에 있어서도 적용할 수 있다.
다음에, 본 발명의 상기의 제 1, 제 2 실시예의 액정 장치(1 또는 2)중 어느하나를 구비한 전자기기의 구체적인 예에 관해서 설명한다.
도 15a는, 휴대 전화의 일례를 도시한 사시도이다. 도 15a에 있어서, 500은 휴대 전화 본체를 도시하고, 501은 전기의 액정 장치(1 또는 2) 중 어느 하나를 구비한 액정 표시부를 도시하고 있다.
도 15b는, 워드프로세서, 퍼스널 컴퓨터 등의 휴대형 정보 처리 장치의 일례를 도시한 사시도이다. 도 15b에 있어서, 600은 정보 처리 장치, 601은 키보드 등의 입력부, 603은 정보 처리 본체, 602는 전기의 액정 장치(1 또는 2) 중 어느 하나를 구비한 액정 표시부를 도시하고 있다.
도 15c는, 손목 시계형 전자기기의 일례를 도시한 사시도이다. 도 15c에 있어서, 700은 시계 본체를 도시하고, 701은 전기의 액정 장치(1 또는 2) 중 어느 하나를 구비한 액정 표시부를 도시하고 있다.
도 16은, 전기의 액정 장치(1 또는 2) 중 어느 하나를 광 변조 장치로서 사용한 투사형 표시 장치의 주요부를 도시하는 개략 구성도이다. 도 16에 있어서, 810은 광원, 813, 814는 다이크로익 미러, 815, 816, 817은 반사 미러, 818은 입사 렌즈, 819는 릴레이 렌즈, 820은 출사 렌즈, 822, 823, 824는 액정 광 변조 장치, 825는클로스 다이크로익 프리즘, 826은 투사 렌즈를 도시한다.
광원(810)은 메탈할라이드 등의 램프(811)와 램프의 광을 반사하는 리플렉터(812)로 이루어진다. 청색광, 녹색광 반사의 다이크로익 미러(813)는, 광원(810)으로부터의 광속 중의 적색광을 투과시킴과 동시에, 청색광과 녹색광을 반사한다. 투과한 적색광은 반사 미러(817)로 반사되어, 적색광용 액정 광 변조 장치(822)에 입사된다.
한편, 다이크로익 미러(dichroic mirror)(813)로 반사된 색광 중 녹색광은 녹색광 반사의 다이크로익 미러(814)에 의해서 반사되고, 녹색광용 액정 광 변조 장치(823)에 입사된다. 한편, 청색광은 제 2 다이크로익 미러(814)도 투과한다. 청색광에 대하여는, 긴 광로에 의한 광 손실을 막기 위해서, 입사 렌즈(818), 릴레이 렌즈(819), 출사 렌즈(820)를 포함하는 릴레이 렌즈계로 이루어지는 도광 수단(821)이 형성되고, 이것을 삽입하여 청색광이 청색광용 액정 광 변조 장치(824)에 입사된다.
각각의 광 변조 장치에 의해 변조된 3개의 색광은 클로스 다이크로익 프리즘(825)에 입사한다. 상기 프리즘은 4개의 직각 프리즘이 접합되고, 그 내면에 적광을 반사하는 유전체 다층막과 청광을 반사하는 유전체 다층막이 십자형상으로 형성되어 있다. 이들의 유전체 다층막에 의해서 3개의 색광이 합성되어, 컬러화상을 나타내는 광이 형성된다. 합성된 광은, 투사 광학계인 투사 렌즈(826)에 의해서 스크린(827) 상에 투사되어, 화상이 확대되어 표시된다.
도 15a 내지 도 15c, 도 16에 도시하는 각각의 전자기기는, 전기의 액정 장치(1 또는 2) 중 어느 하나를 구비한 것이기 때문에, 스페이스 절약화된 것으로 된다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 한쪽의 기판 모재의 각 기판 형성 영역의 주변부에, 고리 형상으로 미경화의 접착제를 도포함으로써, 주입부를 갖고 있지 않은 미경화 실재를 형성한 후, 상기 기판 모재 상의 각 기판 형성 영역에 있어서 미경화 실재보다 내측의 영역에 전기 광학 재료를 도포하므로, 실재의 외측에 전기 광학 재료가 부착하는 것을 방지할 수 있기 때문에, 전기 광학 재료 셀의 세정 공정을 불필요로 할 수 있어, 전기 광학 장치의 생산 효율을 향상할 수 있는 전기 광학 장치의 제조방법을 제공할 수 있다.
또한, 상기 전기 광학 장치의 제조방법에 의하면, 한쪽의 기판 모재의 각 기판 형성 영역에 전기 광학 재료층을 형성한 후, 2장의 기판 모재를 접착하여 전기 광학 재료 셀 모재를 형성하므로, 전기 광학 재료 셀 모재로부터 직접 개개의 전기 광학 재료 셀을 절취할 수 있다. 그러므로, 종래의 전기 광학 장치의 제조 공정에서의, 전기 광학 재료를 주입하기 위해서 전기 광학 재료 셀 모재를 직사각형의 전기 광학 재료 셀 모재로 절단하는 공정이 불필요하게 되기 때문에, 전기 광학 장치의 생산 공정을 단축화할 수 있어, 생산 효율을 향상할 수 있다.
더욱이, 상기의 전기 광학 장치의 제조방법에 의하면, 주입부를 갖고 있지 않은 실재를 형성하므로, 종래의 전기 광학 장치의 제조 공정에 있어서의, 주입부를 밀봉하기 위한 밀봉재를 형성하는 공정도 불필요하게 되므로, 전기 광학 장치의 생산 공정을 단축화할 수 있고, 생산 효율을 향상할 수 있다.
본 발명에 있어서, 전기 광학 재료층을 형성하는 공정에 있어서, 전기 광학 재료의 액체 방울을 방출 가능한 디스펜서 또는 잉크 제트 노즐을 사용하여 전기 광학 재료의 도포를 행하는 것이 바람직하고, 특히, 잉크 제트 노즐을 사용한 잉크 제트방식에 의해 전기 광학 재료의 도포를 행함으로써, 소량의 전기 광학 재료를 정확한 분량 도포할 수 있다.
또한, 본 발명에 있어서, 누설이 없는 실재를 형성하기 위해서, 미경화 실재를 경화하는 공정에 있어서, 전기 광학 재료 셀 모재의 적어도 미경화 실재가 형성된 영역을, 전기 광학 재료 셀 모재의 외측으로부터 압착하면서, 미경화 실재를 경화하는 것이 바람직하다.
특히, 전기 광학 재료 셀 모재의 미경화 실재가 형성된 영역만을 가압함으로써, 전기 광학 재료 셀 모재 전체를 가압하는 것보다도 효율이 양호하게 미경화 실재를 압착할 수 있어, 누설이 없는 실재를 형성할 수 있다.
종래는, 전기 광학 재료 셀 모재의 미경화 실재가 형성된 영역만을 가압하는 기술이 없었지만, 본 발명자는 실재 압착 경화 장치를 발명하여, 전기 광학 재료 셀 모재의 미경화 실재가 형성된 영역만을 가압하는 것을 가능하게 하였다.
상기 실재 압착 경화 장치를 사용함으로써, 전기 광학 재료 셀 모재의 미경화 실재가 형성된 영역만을 가압할 수 있어, 누설이 없는 실재를 형성할 수 있는 전기 광학 장치의 제조방법을 제공할 수 있다.
또한, 미경화 실재가 열경화성 접착제로 이루어지는 것인 경우에, 미경화 실재를 경화하는 공정에 있어서, 전기 광학 재료 셀 모재를 100 내지 160으로 가열하고, 가열 시간을 30 내지 60분으로 하는 것이 바람직하다. 전기 광학 재료 셀 모재를 100 내지 160으로 가열하고, 가열 시간을 30 내지 60분으로 함으로써, 전기 광학 재료층의 손상을 방지하면서, 미경화 실재의 경화를 행할 수 있다.
또한, 열경화성 접착제로 이루어지는 미경화 실재를 경화할 때에, 전기 광학 재료층에 손상을 주지 않기 위해서는, 전기 광학 재료 셀 모재의 미경화 실재가 형성된 영역만을 가열하는 것이 바람직하다.
종래는, 전기 광학 재료 셀 모재의 미경화 실재가 형성된 영역만을 가열하는 기술이 없었지만, 본 발명자는 실재 압착 경화 장치를 발명하여, 전기 광학 재료 셀 모재의 미경화 실재가 형성된 영역만을 가열하는 것을 가능하게 하였다.
상기 실재 압착 경화 장치를 사용함으로써, 전기 광학 재료 셀 모재의 미경화 실재가 형성된 영역만을 가열할 수 있어, 전기 광학 재료에 손상을 주지 않는 전기 광학 장치의 제조방법을 제공할 수 있다.
또한, 미경화 실재가 광 경화성 접착제로 이루어지는 것인 경우에는, 미경화 실재를 경화할 때에, 전기 광학 재료층에 손상을 주지 않기 때문에, 전기 광학 재료 셀 모재의 미경화 실재가 형성된 영역에만 자외선을 조사하는 것이 바람직하다.
종래는, 전기 광학 재료 셀 모재의 미경화 실재가 형성된 영역에만 자외선을조사하는 기술이 없었지만, 본 발명자는 실재 압착 경화 장치를 발명하여, 전기 광학 재료 셀 모재의 미경화 실재가 형성된 영역에만 자외선을 조사하는 것을 가능하게 하였다.
상기 실재 압착 경화 장치를 사용함으로써, 전기 광학 재료 셀 모재의 미경화 실재가 형성된 영역에만 자외선을 조사할 수 있어, 전기 광학 재료층에 손상을 주지 않는 전기 광학 장치의 제조방법을 제공할 수 있다.
또한, 본 발명의 전기 광학 장치의 제조방법에 의해, 전기 광학 재료층을 끼워 지지하는 대향하는 2장의 기판이 상기 2장의 기판 사이에 형성된 실재를 삽입하여 소정 간격으로 접착되는 전기 광학 장치로서, 상기 실재가 상기 2장의 기판의 주변부를 따라서, 고리 형상으로 형성된 것과 동시에, 주입부를 갖지 않는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치를 제공할 수 있다.
상기 전기 광학 장치는, 주입부를 갖고 있지 않은 실재가 형성되어 있기 때문에, 주입부를 밀봉하기 위한 밀봉재가 형성되지 않고, 전기 광학 장치를 구비하는 전자기기 내의 스페이스 절약화를 꾀할 수 있는 것이다.
더욱이, 본 발명의 전기 광학 장치의 제조방법에 의해, 실재의 외측 단면과, 2장의 기판 중 적어도 한쪽의 기판의 단면이 일치된 전기 광학 장치를 제공할 수 있다.
상기 전기 광학 장치는, 실재보다 외측의 영역이 좁기 때문에, 기판 면적을 작게 할 수 있고, 더욱이, 전기 광학 장치를 구비하는 전자기기 내의 스페이스 절약화를 꾀할 수 있는 것이다. 또한, 상기 전기 광학 장치는 기판 면적을 작게 할수 있으므로, 기판 모재의 유효 이용을 꾀할 수 있는 것이다.
또한, 이들의 전기 광학 장치를 구비함으로써, 저스페이스화된 전자기기를 제공할 수 있다.

Claims (31)

  1. 전기 광학 재료층이 삽입되어 있는 대향하는 2장의 기판 사이에, 상기 2장의 기판을 점착하기 위한 실재가 형성되어 있는 전기 광학 장치의 제조방법에 있어서,
    상기 2장의 기판이 각각 형성되는 기판 형성 영역을 복수개 포함하는 2장의 기판 모재(base material)를 사용하고,
    상기 2장의 기판 모재 중, 한쪽 기판 모재의 각 기판 형성 영역의 주변부에, 고리 형상으로 미경화 접착제를 도포함으로써, 주입부를 갖지 않은 미경화 실재를 형성하는 공정과,
    상기 기판 모재 상의 각 기판 형성 영역에서 상기 미경화 실재보다 내측의 영역에 전기 광학 재료를 도포하여, 전기 광학 재료층을 형성하는 공정과,
    상기 기판 모재와 다른 한쪽의 기판 모재를 상기 미경화 실재를 삽입하여 점착함으로써 전기 광학 재료 셀 모재를 형성하는 공정과,
    상기 전기 광학 재료 셀 모재의 상기 미경화 실재를 경화하는 공정과,
    상기 전기 광학 재료 셀 모재를 각 기판 형성 영역을 따라 절단하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는, 전기 광학 장치의 제조방법.
  2. 전기 광학 재료층이 삽입되어 있는 대향하는 2장의 기판 사이에, 상기 2장의 기판을 점착하기 위한 실재가 형성되어 있는 전기 광학 장치의 제조방법에 있어서,
    상기 2장의 기판 중 한쪽 기판의 주변부에, 고리 형상으로 미경화 접착제를도포함으로써, 주입부를 갖지 않은 미경화 실재를 형성하는 공정과,
    상기 기판 상의 상기 미경화 실재보다 내측의 영역에 전기 광학 재료를 도포하여, 전기 광학 재료층을 형성하는 공정과,
    상기 기판과 다른 한쪽의 기판을 상기 미경화 실재를 삽입하여 점착함으로써 전기 광학 재료 셀을 형성하는 공정과,
    상기 전기 광학 재료 셀의 상기 미경화 실재를 경화하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는, 전기 광학 장치의 제조방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 전기 광학 재료층을 형성하는 공정에서, 상기 전기 광학 재료의 액체 방울을 방출할 수 있는 디스펜서(dispenser)를 사용하여, 상기 전기 광학 재료의 도포를 행하는 것을 특징으로 하는, 전기 광학 장치의 제조방법.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 전기 광학 재료층을 형성하는 공정에서, 상기 전기 광학 재료의 액체 방울을 방출할 수 있는 잉크 제트 노즐를 사용하여, 상기 전기 광학 재료의 도포를 행하는 것을 특징으로 하는, 전기 광학 장치의 제조방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 전기 광학 재료의 도포를 행할 때, 상기 전기 광학 재료의 점도는 1 내지 50mPa·s로 된 것을 특징으로 하는, 전기 광학 장치의 제조방법.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 전기 광학 재료의 도포를 행할 때, 상기 전기 광학 재료의 점도는 1 내지 10mPa·s로 된 것을 특징으로 하는, 전기 광학 장치의 제조방법.
  7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 미경화 실재를 경화하는 공정에서, 상기 전기 광학 재료 셀 모재 또는 상기 전기 광학 재료 셀 중 적어도 미경화 실재가 형성된 영역을, 상기 전기 광학 재료 셀 모재 또는 상기 전기 광학 재료 셀의 외측으로부터 압착하여, 상기 미경화 실재를 경화하는 것을 특징으로 하는, 전기 광학 장치의 제조방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 미경화 실재를 경화하는 공정에서, 상기 전기 광학 재료 셀 모재 또는 상기 전기 광학 재료 셀의 미경화 실재가 형성된 영역만을 가압하여, 상기 미경화 실재를 경화하는 것을 특징으로 하는, 전기 광학 장치의 제조방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 미경화 실재를 경화하는 공정에서, 상기 전기 광학 재료 셀 모재 또는 상기 전기 광학 재료 셀의 외측으로부터, 상기 전기 광학 재료 셀 모재 또는 상기전기 광학 재료 셀의 미경화 실재가 형성된 영역에 가스를 분출함으로써, 상기 전기 광학 재료 셀 모재의 미경화 실재가 형성된 영역만을 가압하는 것을 특징으로 하는, 전기 광학 장치의 제조방법.
  10. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 미경화 실재는 열경화성 접착제로 이루어지며,
    상기 미경화 실재를 경화하는 공정에서, 상기 전기 광학 재료 셀 모재 또는 상기 전기 광학 재료 셀을 100 내지 160℃로 가열하고, 가열 시간을 30 내지 60분으로 함으로써, 상기 미경화 실재를 경화하는 것을 특징으로 하는, 전기 광학 장치의 제조방법.
  11. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 미경화 실재는 열경화성 접착제로 이루어지며,
    상기 미경화 실재를 경화하는 공정에서, 상기 전기 광학 재료 셀 모재 또는 상기 전기 광학 재료 셀의 상기 미경화 실재가 형성된 영역만을 가열함으로써, 상기 미경화 실재를 경화하는 것을 특징으로 하는, 전기 광학 장치의 제조방법.
  12. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 미경화 실재는 광경화성 접착제로 이루어지며,
    상기 미경화 실재를 경화하는 공정에서, 상기 전기 광학 재료 셀 모재 또는상기 전기 광학 재료 셀의 상기 미경화 실재가 형성된 영역에만 자외선을 조사함으로써, 상기 미경화 실재를 경화하는 것을 특징으로 하는, 전기 광학 장치의 제조방법.
  13. 대향하는 2장의 기판을 열경화성 접착제로 이루어진 미경화 실재를 삽입하여 점착하고, 기판 유닛을 형성한 후, 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재를, 상기 기판 유닛의 외측으로부터 압착하면서 경화하기 위한 실재 압착 경화 장치에 있어서,
    적어도 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역을 소정의 온도로 가열하는 가열부와,
    적어도 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역을 가압하는 가압부를 구비한 것을 특징으로 하는, 실재 압착 경화 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 가압부에 의해 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역만을 가압 가능하게 하는 것을 특징으로 하는 실재 압착 경화 장치.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 가압부는 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역에 가스를 분출하는 가스 분출부로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 실재 압착 경화 장치.
  16. 제 15 항에 있어서,
    소정 간격으로 대향 배치된 2장의 플랫폼(platform)을 구비하고, 상기 2장의 플랫폼 사이에 상기 기판 유닛을 설치하기 위한 공간이 형성되는 것과 동시에,
    상기 2장의 플랫폼 중 적어도 한쪽 플랫폼의 상기 공간측 표면에, 상기 공간에 설치되는 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역에 가스를 분출하는 복수의 가스 분출부를 구비한 것을 특징으로 하는, 실재 압착 경화 장치.
  17. 제 13 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서,
    소정 간격으로 대향 배치된 2장의 플랫폼을 구비하고, 상기 2장의 플랫폼 사이에 상기 기판 유닛을 설치하기 위한 공간이 형성되는 것과 동시에,
    상기 2장의 플랫폼 중 적어도 한쪽의 플랫폼은 가열할 수 있는 가열부가 되어, 상기 플랫폼을 가열함으로써, 상기 공간에 설치되는 상기 기판 유닛을 가열 가능하게 하는 것을 특징으로 하는, 실재 압착 경화 장치.
  18. 제 13 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가열부에 의해 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재는 형성된 영역만을 가열 가능하게 하는 것을 특징으로 하는, 실재 압착 경화 장치.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 가열부는 적외선을 방출하는 적외선 방출부로 이루어지고, 상기 적외선방출부로부터 방출되는 적외선을, 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역에만 조사함으로써, 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역만을 가열 가능하게 하는 것을 특징으로 하는, 실재 압착 경화 장치.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역 이외의 영역에 적외선 조사를 방지하는 적외선 컷 필터를 구비한 것을 특징으로 하는, 실재 압착 경화 장치.
  21. 제 20 항에 있어서,
    소정 간격으로 대향 배치되어 적외선을 투과할 수 있는 2장의 플랫폼을 구비하고, 상기 2장의 플랫폼 사이에 상기 기판 유닛을 설치하기 위한 공간이 형성되는 것과 동시에,
    상기 2장의 플랫폼의 외측에 하나 또는 복수의 적외선 방출부를 구비하고,
    상기 2장의 플랫폼 중 적어도 한쪽 플랫폼의 내부 또는 표면에, 상기 공간에 설치되는 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역 이외의 영역에 적외선 조사를 방지하는 적외선 컷 필터를 구비하고,
    상기 적외선 방출부로부터 방출되는 적외선을 상기 공간에 설치되는 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역에만 조사가능하게 하는 것을 특징으로 하는, 실재 압착 경화 장치.
  22. 대향하는 2장의 기판을 광경화성 접착제로 이루어진 미경화 실재를 삽입하여 점착하고, 기판 유닛을 형성한 후, 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재를, 상기 기판 유닛의 외측으로부터 압착하면서 경화하기 위한 실재 압착 경화 장치에 있어서,
    적어도 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역에 자외선을 조사하기 위한 자외선 방출부와,
    적어도 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역을 가압하는 가압부를 구비한 것을 특징으로 하는, 실재 압착 경화 장치.
  23. 제 22 항에 있어서,
    상기 가압부에 의해 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역만을 가압 가능하게 하는 것을 특징으로 하는, 실재 압착 경화 장치.
  24. 제 23 항에 있어서,
    상기 가압부는 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역에 가스를 분출하는 가스 분출부로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 실재 압착 경화 장치.
  25. 제 24 항에 있어서,
    소정 간격으로 대향 배치된 2장의 플랫폼을 구비하고, 상기 2장의 플랫폼 사이에 상기 기판 유닛을 설치하기 위한 공간이 형성되는 것과 동시에,
    상기 2장의 플랫폼 중 적어도 한쪽 플랫폼의 상기 공간측 표면에는, 상기 공간에 설치되는 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역에 가스를 분출하는 복수의 가스 분출부를 구비한 것을 특징으로 하는, 실재 압착 경화 장치.
  26. 제 22 항 내지 제 25 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 자외선 방출부로부터 방출되는 자외선을 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역에만 조사가능하게 하는 것을 특징으로 하는, 실재 압착 경화 장치.
  27. 제 26 항에 있어서,
    상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역 이외의 영역에 자외선 조사를 방지하는 자외선 컷 필터를 구비한 것을 특징으로 하는, 실재 압착 경화 장치.
  28. 제 27 항에 있어서,
    소정 간격으로 대향 배치되어 자외선을 투과할 수 있는 2장의 플랫폼을 구비하고, 상기 2장의 플랫폼 사이에 상기 기판 유닛을 설치하기 위한 공간이 형성되는 것과 동시에,
    상기 2장의 플랫폼의 외측에 하나 또는 복수의 자외선 방출부를 구비하고,
    상기 2장의 플랫폼 중 적어도 한쪽 플랫폼의 내부 또는 표면에, 상기 공간에설치되는 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역 이외의 영역에 자외선 조사를 방지하는 자외선 컷 필터를 구비하고,
    상기 자외선 방출부로부터 방출되는 자외선을 상기 공간에 설치되는 상기 기판 유닛의 상기 미경화 실재가 형성된 영역에만 조사가능하게 하는 것을 특징으로 하는, 실재 압착 경화 장치.
  29. 전기 광학 재료층이 삽입되어 있는 대향하는 2장의 기판이 상기 2장의 기판 사이에 형성된 실재를 삽입하여 소정 간격으로 점착되어 이루어지는 전기 광학 장치에 있어서,
    상기 실재가 상기 2장의 기판의 주변부를 따라, 고리 형상으로 형성되는 것과 동시에, 주입부를 갖지 않은 것을 특징으로 하는, 전기 광학 장치.
  30. 제 29 항에 있어서,
    상기 실재의 외측 단면과 상기 2장의 기판 중 적어도 한쪽 기판의 단면이 정렬되는 것을 특징으로 하는, 전기 광학 장치.
  31. 제 29 항 또는 제 30 항에 따른 전기 광학 장치를 구비한 것을 특징으로 하는, 전자기기.
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