KR20010030993A - 냉각된 나사 진공 펌프 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 냉각된 나사 진공 펌프에 관한 것이다. 상기 냉각된 나사 진공 펌프(1)는 각각 나사 로터(5) 및 샤프트(6)로 구성된 회전 장치(5, 6), 각각의 샤프트에 두 개의 서로 이격된 베어링(7, 8)을 갖는 플로팅 로터 베어링, 그리고 각각 내부 냉각 장치를 갖는 각각의 로터(5)내에 베어링측으로 개방된 공동부(31)를 갖는다. 상기 냉각 장치를 개선시키기 위해, 로터 베어링(7)이 로터(5)내에 배치된 공동부(31) 외부에 위치하기 때문에, 상기 공동부(31)내에 냉각 장치를 위한 더 많은 공간이 활용될 수 있다.

Description

냉각된 나사 진공 펌프 {COOLED SCREW VACUUM PUMP}
전술한 방식의 나사 진공 펌프에서, 베어링측으로 개방된 중심 공동부내에 플로팅 로터 베어링이 있다. 냉각은 샤프트의 중심 채널내에서 먼저 로터측 베어링으로 제공되는 윤활유에 의해 이루어진다. 공지된 방식으로, 가능한한 많은 열을 방출시키기 위해, 베어링의 윤활을 위해 쓰이는 오일량 보다 더 많은 오일량이 이용된다.
선행 기술에 따른 나사 진공 펌프에서, 공동부를 통해 제공될 수 있는 오일량은 제한되어 있다. 왜냐하면, 이러한 공동부에는 베어링 뿐만 아니라, 베어링 캐리어도 배치되어야만 하기 때문이다. 따라서, 나사 진공 펌프의 송출측 영역이 불충분하게 냉각될 위험이 생긴다. 왜냐하면, 바로 이 영역에서 압축 작업에 의한 열발생이 가장 크기 때문이다. 또한 로터내 존재하는 공동부 때문에, 베어링 공동부의 영역내에 있는 로터의 벽두께는 제한된다. 이를 통해, 매우 높은 온도 기울기에서, 바로 나사산의 송출측 영역에서 발생하는 열이 로터의 흡입측 영역, 샤프트, 그리고 냉각 오일을 통해 방출될 수 있다. 나사 진공 펌프의 송출측 영역의 높은 온도 및 불충분한 냉각은 로터의 불균일한 팽장, 그리고 로터 사이 및 각각의 로터와 하우징 사이의 국부적인 유격 소실을 일으킨다. 비교적 큰 유격에 의해, 로터의 시동이 피해질 수 있기도 하지만, 비교적 큰 유격은 펌프 특성의 저하를 가져온다. 또한 미리 공지된 나사 진공 펌프에서, 공동부에 있는 베어링은 과열될 위험이 있으며, 특히 비교적 따뜻한 오일에 의해서만 윤활될 수 있다. 또한, 미리 공지된 나사 진공 펌프는 단지 수직으로 배치된 샤프트에 의해서만 작동될 수 있다.
본 발명은 각각 나사 로터 및 샤프트로 이루어진 두 개의 회전 장치, 각각 샤프트에 서로 이격된 두 개의 베어링을 갖는 플로팅 로터 베어링, 그리고 각각 내부 냉각 장치를 갖는 각각의 로터내에 베어링측으로 개방된 공동(空洞)부를 갖는 냉각된 나사 진공 펌프에 관한 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 냉각 장치를 포함하는 나사 진공 펌프의 단면도이고,
도 2는 본 발명에 따른 냉각 장치의 또다른 실시예을 갖는, 도 1에 따른 부분 단면도이다.
본 발명의 목적은 개선된 냉각 장치를 갖는, 서두에 언급된 방식의 나사 진공 펌프를 제공하는데 있다.
상기 목적은 본 발명에 따라, 로터측 베어링이 로터내에 있는 공동부 외부에 위치함으로써 달성된다. 본 발명은, 로터를 베어링 및 베어링 캐리어의 방해없이 내부로부터 효과적으로 냉각시킴으로써, 상기 임계 영역에서 예기치 않은 유격 소실이 더이상 나타나지 않도록 한다.
각각의 로터는 바람직하게 상이한 나사선 프로파일을 갖는 두 개의 섹션으로 이루어지며, 송출측 섹션의 나사선의 깊이가 흡입측 섹션의 나사선의 깊이보다 더 작다. 더 작은 나사선의 깊이를 갖는 상기 송출측 섹션은, 내부 냉각 장치를 포함하는 공동부를 배치하기 위한 더 많은 장소를 제공한다.
또한, 송출측 로터 섹션이 흡입측 로터 섹션 보다 더 작은 직경을 갖도록 로터 및 하우징이 계단형으로 형성되면, 하우징내에 냉각 재킷을 위한 더 많은 공간이 제공된다.
본 발명의 또다른 특성에 따라, 부가로 펌프의 하우징 벽내에, 특히 적어도 로터의 높이로 냉각제가 관류하는 채널이 제공되는 것이 바람직하다. 상기 방식의 냉각 재킷은 특히 본 발명에 따른 로터의 내부 냉각 장치와 함께, 전체 펌프가 균일하게 탬퍼링되는 것을 가능하게 한다. 따라서, 상기 펌프는 유격 소실 없이, 상이한 부하시 상이한 온도를 취할 수 있다. 상이한 열 팽창에 의해 발생하는 문제를 피하기 위해, 베어링, 베어링 캐리어, 그리고 구동 모터를 이러한 탬퍼링에 포함시키는 것이 바람직하다. 상기 방식의 냉각 재킷은 양호한 음파 댐핑 작용을 한다는 장점이 있다.
본 발명의 또다른 장점 및 세부 사항들은 도 1 및 도 2에 도시된 실시예에 의해 더 자세히 설명된다.
도 1은 본 발명에 따라, 특히 구동 모터(2)가 설치된 두 회전 장치의 높이로 도시된, 나사 진공 펌프(1)의 실시예에 대한 단면도를 나타낸 것이다. 상기 두 회전 장치의 동기화는 기어휠(3)에 의해 이루어진다.
하우징(4)내에 배치된 회전 장치는 각각 로터(5) 및 샤프트(6)를 포함한다. 각각의 로터(5)는 부동의, 다시 말해 일면으로 지지된다. 상기 샤프트(6)는 베어링(7, 8) 및 베어링 캐리어(11, 12)에 의해 하우징(4)에 지지된다. 정면에 하우징 커버(13, 14)가 제공되며, 로터측 커버(13)에 유입구 지지대(15)가 설치된다. 베어링 캐리어(12)는 작동측 커버(14)의 부품이다.
로터(5)는 상이한 프로파일(19, 20)을 갖는, 포지티브하게 연결된 두 개의 로터 섹션(17, 18)으로 구성된다. 흡입측 로터 섹션(17)은 나선형 석션 챔버내에서 높은 부피 흐름에 도달하기 위한 큰 체적의 프로파일(19)을 갖는다. 상기 로터(5)의 송출측 섹션(18)은 감소된 부피 흐름 및 더 작은 직경을 갖는다. 이를 통해, 나선형 석션 챔버의 단면은 분리된다. 내적 압축이 달성되고, 압축 작업이 줄어든다.
하우징(4)의 내벽은 로터 눈금에 매칭된다(눈금 (21)). 일점쇄선(22)에 의해 표시된 것은, 하우징이 눈금(21)의 높이로 구분 가능하게 형성될 수 있다는 것을 의미한다. 이를 통해, 흡입측 로터 섹션(17) 및 하우징(4)의 흡입측 부분(4')은 펌프를 상이한 응용에 적용시키기 위해, 다른 프로파일, 길이 및/또는 직경을 가진 로터 섹션 및 거기에 매칭된 하우징 섹션(4')으로 대체될 수 있다.
나사산의 송출측 단부에 연결된, 펌프(1)의 배출구는 24로 표시된다. 상기 배출구는 측면으로 제공된다. 또한 상기 배출구로 하우징 홀(25)이 통하며, 상기 하우징 홀(25)이 그것의 단면이 나사선 프로파일의 단계화 및/또는 변동에 의해 감소되는 높이에서 배출구에 연결된다. 상기 하우징 홀(25)내에 체크 밸브(26)가 있으며, 상기 체크 밸브(26)는 석션 챔버의 과압시 개방되며, 로터 섹션(17)의 흡입측 나사산을 배출구(24)에 연결시킨다. 지지부의 나선형 석션 챔버의 실링을 위해, 축봉(27)이 제공되며, 상기 축봉(27)은 베어링(7) 및 로터 섹션(18) 사이에 위치한다.
도시된 실시예의 냉각 장치는 로터 내부 냉각 장치 및 하우징 외부 냉각 장치를 포함한다.
상기 로터 내부 냉각 장치의 구현을 위해, 로터(5)에 그것의 베어링측으로 개방된 공동부(31)가 설치되며, 상기 공동부(31)는 거의 전체 로터(5)를 통해 연장된다. 두 섹션(17, 18)으로 이루어진 로터(5)에서 송출측 섹션(18)은 바람직하게 중공으로 형성된다. 상기 흡입측 섹션(17)은 공동부(31)의 흡입측 단부를 폐쇄한다. 바람직하게 로터(5) 및 상기 로터(5)의 송출측 섹션(18)에 의해 일체형으로 형성된 샤프트(6)도 마찬가지로 중공(공동부(32))으로 형성된다. 상기 공동부(31, 32) 내에 냉각 파이프(33)가 있으며, 상기 냉각 파이프는 베어링측에서 샤프트(6)로부터 빠져나오고, 로터측에서 공동부(31)의 흡입측 단부의 바로 앞에 연결된다. 상기 냉각 파이프(33) 및 상기 냉각 파이프(33)와 중공 샤프트(6)로 형성된 링챔버가 냉각제의 공급 및 배출을 위해 사용된다.
도시된 실시예에서, 냉각 파이프(3)의 베어링측의 개구(34)는 라인(35)에 의해 냉각제 펌프(36)의 배출구에 연결된다. 또한 하우징 커버(14)의 영역내에, 라인 시스템(38)에 의해 냉각제 펌프(36)의 배출구에 연결된 냉각제 웰(37)이 있다. 상기 웰(37) 및 라인 시스템(38)은, 도시된 펌프가 모든 위치에서 수직 및 수평으로 작동될 수 있도록 형성된다. 펌프(1)의 수직 및 수평 위치에서 나타나는 냉각제 위치가 도시되어 있다. 냉각제 펌프(36)가 하우징(4)의 외부(도시된)에 있는지 내부(예컨대, 구동 모터(2)의 높이에 있는, 펌프(1)의 보이지 않는 제 2 샤프트)에 있는지에 따라, 냉각 파이프(33)의 개구(34)가 하우징(4)의 외부 또는 내부에 놓인다.
로터(5)의 내부 냉각 장치의 작동을 위해, 냉각제가 냉각 파이프(33)를 통해, 냉각제 웰(37)로부터 나온 냉각제 펌프(36)에서 로터(5)의 공동부(31)로 공급된다. 거기로부터, 냉각 파이프(33)와 샤프트(6) 사이의 링챔버를 통해 웰(37)로 역류한다. 상기 공동부(31)는 펌프(1)의 나사산의 송출측 영역의 높이에 있기 때문에, 바로 이 영역이 효과적으로 냉각될 수 있다. 상기 냉각 파이프(33)의 외부에 역류하는 냉각제는 특히 중공 샤프트(6), 베어링(7, 8), 구동 모터(2)(고정측) 그리고 기어휠(3)을 탬퍼링함으로써, 열 팽창 문제가 감소된다.
냉각 파이프(33)와 샤프트(6) 사이의 링챔버의 단면은 그것의 송출측 단부의 영역내에서, 상기 영역내의 냉각 파이프(33)가 더 큰 외경을 가짐으로써 바람직하게 줄어든다. 이를 통해, 좁아진 통로(39)가 생긴다. 이러한 좁은 장소에 의해, 냉각제를 제공하는 챔버가 완전히 채워질 수 있다.
냉각 파이프용 재료로는 낮은 열전도성 재료(예컨대, 합성수지/특수강)가 선택되는 것이 바람직하다. 이를 통해, 로터(5)의 효과적 냉각 및 샤프트에 가까운, 펌프(1)의 부품의 균일한 탬퍼링이 이루어진다.
도시된 하우징 외부의 냉각 장치는 하우징(4)내에 공동부 및 채널을 포함한다. 로터(5)의 영역내에 제공된 냉각 채널은 41 로 표시되고, 모터(2)의 영역내에 있는 냉각 채널은 42로 표시된다.
상기 로터(5)의 영역내에 있는 냉각 채널(41)의 목적은, 한편으로는 특히 로터(5)의 송출측 영역내에 발생하는 열을 방출하는 것이다. 다른 한편으로는, 상기 냉각 채널(41)은 하우징(4)을 전체 로터의 높이로 가능한한 균일하게 탬퍼링해야만 한다. 최종적으로, 상기 냉각 채널은 흡수한 열을 외부로 방출해야만 한다. 따라서, 냉각제가 관류하는 공동부(41)는 로터(5)의 전체에 걸쳐있다. 하우징 커버(13)는 상기 공동부(41)의 흡입측을 폐쇄하는데 사용된다. 또한 하우징(4)의 배출구측은 효과적으로 냉각된다.
이와 마찬가지로, 구동 모터(2)의 높이에 있는 냉각 채널(42)은 전술한 목적을 갖는다. 상기 냉각 채널(42)은 구동 모터(코일측) 및 베어링 캐리어(7)의 탬퍼링에 영향을 끼친다. 최종적으로, 상기 냉각 채널(42)은 펌프(1)의 외부 표면에 대한 열방출을 엄청난 양으로 증대시킨다. 이에 따라, 바람직하게 적어도 냉각 채널(41, 42)의 높이에 리지(44)가 설치된다.
마찬가지로, 냉각 채널(41, 42)에 냉각제를 공급하는 것은 냉각제 펌프(36)에 의해, 또한 평행하게 관류해야할 경우에는 라인(45, 46)에 의해 이루어진다. 또한 열적 조건에 따라, 냉각 채널(41, 42)에 연속으로 냉각제가 공급될 수 있다. 라인(45, 46)은 생략될 수 있다. 상세하게 도시되지 않은 보어를 통해, 공동부(41, 42)로부터 냉각제가 웰(37)로 되돌아온다.
수직 배치된 웰(6)에 있어서, 상기 웰(6)에 있는 냉각제는 웰(37)내로 뻗어나온 베어링 캐리어(12)의 탬퍼링을 갖는다. 수평 배치된 웰에 있어서, 베어링 시트(12)를 탬퍼링하거나 외부로의 열방출을 개선시키기 위해, 커버(14)의 내부면을 통해 역류하는 냉각제가 흐를 수 있다.
도 1에 따른 실시예에서, 하우징(4) 및 로터(5)는 -언급된 바와 같이- 선(22)의 높이로 구분 가능하게 형성될 수 있다. 이를 통해, 로터(5)(섹션 17) 및 하우징(4)(섹션 4')의 흡입측 섹션은 다른 부품으로 대체될 수 있다. 펌프(1)는, 상이한 프로필(19), 상이한 길이, 상이한 기울기 및/또는 상이한 직경을 갖는 로터 섹션(17)이 각각 매칭된 하우징 섹션과 함께 조립됨으로써, 상이한 응용에 매칭될 수 있다. 따라서, 높은 흡입력을 달성하기 위한 흡입측에서는 상이한 크기의 프로파일이, 낮은 최종 압력을 달성하기 위한 흡입측에서는 상이한 길이의 프로파일이 및/또는 예컨대 낮은 단계에서는 높은 유체 호환성을, 또는 높은 등급에서는 높은 흡입력을 달성하기 위한, 상이한 부피의 단계가 비교적 적은 축동력에서 선택될 수 있다. 최종적으로, 특정한 응용에 있어서, 이러한 영역에서 압력 배출을 달성하기 위해, 로터(5)의 직경이 감소되는 높이에 주변 너트가 제공될 수 있다.
나사 진공 펌프(1)에 관류하는 냉각제는 물, 기름(광유, 테플론유) 또는 다른 유체일 수 있다. 베어링(7, 8) 및 기어휠(3)을 윤활시키기 위해, 기름을 사용하는 것이 바람직하다. 이를 통해, 냉각제 및 윤활재를 분리하여 공급하는 것, 그리고 이에 상응하는 실링은 생략될 수 있다. 이는 베어링(7, 8)에 기름을 첨가하기 위해서만 제공되어야만 한다.
이에 따라, 바람직한 재료 선택이 이루어진다. 예컨대, 로터(5) 및 하우징(4)은 비교적 비싼 알루미늄 재료로 이루어질 수 있다. 제공된 냉각 장치 및 펌프(1)의 균일한 탬퍼링에 의해, 상이한 작동 온도 및 비교적 작은 갭에서 국부적 유격 소실이 나타나지 않는다. 따라서, 로터간 및/또는 로터와 하우징 간에 시동이 걸릴 수 있다. 갭의 추가 감소에 의해, 펌프(1)의 열적으로 높은 하중을 받은 내부 부품(로터, 베어링, 베어링 캐리어, 기어휠)용 재료가 사용될 수 있으며, 상기 재료는 열적으로 더 적은 하중을 받은 하우징(4)용 재료보다 더 작은 열 팽창 계수를 갖는다. 이에 따라, 펌프(1)의 모든 부품은 균일하게 팽창된다. 이러한 재료 선택에 대한 예는 하우징용 내부 부품 및 알루미늄에 쓰이는 강(예를 들어, CrNi 강)이다. 또한 내부 부품용 재료로서 청동, 놋쇠 또는 양은이 사용될 수 있다.
도 2에 따른 실시예에서, 로터(5)의 내부 냉각 장치는 냉각 부시(51)를 포함하며, 상기 냉각 부시(51)는 베어링측으로 하우징(4)에 지지되고, 공동부(31)내로 뻗어나온다. 상기 냉각 부시(51)는 더이상 중공으로 형성되어 있지 않은 샤프트(6)를 둘러싸고, 공동부(31)를 관통하며, 그것의 흡입측 단부 영역에서 로터(5)를 지지한다. 상기 냉각 부시(51)에 냉각제를 공급하기 위해, 하나 이상의 냉각 채널(52)이 제공되며, 상기 냉각 채널(52)은 상세하게 도시되지 않은 방식으로 냉각제 펌프(36)에 의해 공급된다.
냉각 부시(51)가 로터(5)로부터 가능한한 많은 열을 흡수하기 위해, 상기 냉각 부시(51)와 로터(5)간의 갭(53)은 가능한한 작게 선택된다. 이러한 영역에서, 부시(51)는 나사선(54)을 가지며, 상기 나사선(54)은 석션 챔버의 방향으로 펌프 작용을 한다. 이에 따라, 거기에 있는 먼지가 보유된다.
또한 부시(51)와 샤프트(6) 간의 갭(55)은, 부시(51) 내부의 나사선(56)에 의해 펌프 작용을 발생시키기 위해 비교적 작다. 상기 펌프 작용은 실링(27)/베어링(7) 방향으로 이루어지며, 석션 챔버의 기름 입자를 멀리한다.

Claims (21)

  1. 각각 나사 로터(5) 및 샤프트(6)로 이루어진 두 개의 회전 장치(5, 6)를 포함하고, 각각의 샤프트에 서로 이격된 두 개의 베어링(7, 8)을 갖는 플로팅 로터 베어링을 포함하며, 각각 내부 냉각 장치를 갖는 각각의 로터(5)내에, 베어링측으로 개방된 공동부(31)를 포함하는 냉각된 나사 진공 펌프(1)에 있어서,
    로터 베어링(7)이 로터(5)의 공동부(31) 외부에 있는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  2. 제 1항에 있어서,
    각각의 로터(5)가 상이한 나사선 프로파일(19, 20)을 갖는 두 개의 섹션(17, 18)으로 이루어지며, 송출측 섹션(18)의 나사선(20)의 깊이가 흡입측 섹션(17)의 나사선의 깊이보다 더 작은 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    각각의 로터(5)가, 상기 로터(5)의 송출측 섹션(18)이 흡입측 섹션(17) 보다 더 작은 직경을 갖도록 계단형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  4. 제 1항, 제 2항 또는 제 3항에 있어서,
    상기 공동부(31)가 거의 전체 로터(5)를 통해 연장되는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  5. 제 1항, 제 2항 또는 제 3항에 있어서,
    상기 로터(5)가 두 개의 섹션(17, 18)으로 이루어지고, 송출측 섹션은 중공으로 형성되며, 로터 섹션의 중공 내부 챔버가, 흡입측에 폐쇄부로서 설치된 섹션(17)과 함께 베어링측으로 개방된 공동부(31)를 형성하는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  6. 제 4항 또는 제 5항에 있어서,
    상기 샤프트(6)가 중공으로 형성되고, 공동부(31) 외부에서 로터(5) 및 그 송출측 섹션(18)에 연결되는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 중공 샤프트(6), 그리고 로터(5) 또는 그 송출측 섹션(18)이 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  8. 제 6항 또는 제 7항에 있어서,
    상기 중공 샤프트(6)를 관통하는 고정 냉각 파이프(33)가 공동부(31)에 이르는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 냉각 파이프(33)가 냉각제를 공동부(31)로 공급하는데 사용되며, 상기 중공 샤프트(6)와 상기 냉각 파이프(33) 사이의 링챔버가 냉각제를 배출하는데 사용되는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 중공 샤프트(6)와 냉각 파이프(33) 사이의 링챔버의 베어링측 단부 영역에 좁은 지점(39)이 제공되는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  11. 제 8항, 제 9항 또는 제 10항에 있어서,
    상기 냉각 파이프(33)가 낮은 열전도성 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  12. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 샤프트(6)가 공동부(31)를 관통하며, 하우징(4)에 지지되는 냉각 부시(51)가 상기 샤프트(6)와 로터(5) 또는 로터 섹션(18) 사이의 링챔버내로 돌출하는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  13. 제 11항에 있어서,
    상기 냉각 부시(51)가 냉각제가 관류하는 채널(52)을 포함하는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  14. 제 12항 또는 제 13항에 있어서,
    상기 냉각 부시(51)가 석션 챔버의 방향으로 펌프 작용을 하는 수나사(54)를 포함하는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  15. 제 12항, 제 13항 또는 제 14항에 있어서,
    상기 냉각 부시(51)가 베어링(7) 방향으로 펌프 작용을 하는 암나사(56)를 포함하는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  16. 상기 항들 중 어느 한 항에 있어서,
    펌프(1)의 하우징(4) 벽내에, 특히 로터(5)의 높이로 냉각제가 관류하는 채널(41)이 제공되는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  17. 제 16항에 있어서,
    상기 하우징(4)의 베어링측 영역내에 냉각제가 관류하는 채널(42)이 제공되는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  18. 상기 항들 중 어느 한 항에 있어서,
    유입구는 라인 시스템(38)을 통해 펌핑 하우징(4)에 있는 냉각제 웰(37)에 연결되고, 배출구는 냉각 부시(51) 또는 채널(41) 및/또는 하우징(42)내에서 냉각 파이프(33) 또는 채널(52)에 연결되는, 냉각제 펌프(36)를 포함하는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  19. 제 18항에 있어서,
    상기 웰(37)이 라인 시스템(38)에 의해, 냉각제 펌프의(36) 유입구가 펌프(1)의 수직 및 수평 위치에서 상기 웰(37)에 연결되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  20. 상기 항들 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 펌프(1)를 관류하는 냉각제가 베어링(7, 8)용 윤활재와 동일한 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  21. 상기 항들 중 어느 한 항에 있어서,
    나선형 석션 챔버를 그것의 단면 - 나사선 프로파일의 상승 단계 및/또는 교체에 의해 - 이 줄어드는 높이에서 배출구(27)에 연결시키는 하우징 홀(26)이 제공되고, 상기 하우징 홀(26)내에 과압시 개방되는 체크 밸브가 있는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
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