JPH04231697A - 回転滑り弁形真空ポンプ - Google Patents

回転滑り弁形真空ポンプ

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JPH04231697A
JPH04231697A JP3120784A JP12078491A JPH04231697A JP H04231697 A JPH04231697 A JP H04231697A JP 3120784 A JP3120784 A JP 3120784A JP 12078491 A JP12078491 A JP 12078491A JP H04231697 A JPH04231697 A JP H04231697A
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JP
Japan
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shaft
rotor
shaft journal
pump
journal
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JP3120784A
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Lutz Arndt
アルント ルッツ
Peter Mueller
ミュラー ペーター
Dieter Vorberg
ディーター フォアベルク
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Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
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Leybold AG
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はケーシング、ロータ及び
このロータに連結された駆動モータを備えた回転滑り弁
形真空ポンプであって、ロータ並びに駆動モータがそれ
ぞれ軸ジャーナルを備えており、両方の軸ジャーナルが
その連結領域でケーシング内に支承されている形式のも
のに関する。
【0002】
【従来の技術】回転滑り弁形真空ポンプの駆動モータを
ロータに結合すること並びに駆動装置のオイルシールは
一般に多数の部品によって実現される。普通カップリン
グは2つのカップリング半部と、調節ばね及びねじ結合
部を備えた弾性部材とから成る。さらにモータ軸受け及
びロータ軸受けのための別体のシールドと、カップリン
グケーシングとが設けられる。さらに、軸受けジヤーナ
ルにそれぞれ軸パッキンリングを備えることが必要であ
る。その上、一般には軸パッキンリングプッシュが使用
される。これら個々の部品はそれぞれ別体として形成さ
れるが、このことは複雑かつ不経済であるだけでなく、
個々の部品の製作誤差が蓄積され、ポンプの滑らかな回
転を損なう。
【0003】DE−OS2354039号明細書によれ
ば、冒頭に述べた形式の回転滑り弁形真空ポンプが公知
である。特別に支承されたモータ軸ジヤーナルはブッシ
ュを備えており、このブッシュはカップリングケーシン
グに設けた孔内に滑り支承されている。このブッシュは
複数の軸パッキンリングを備えており、これらの間に潤
滑媒体室が形成されている。ブッシュは端面側でピンカ
ップリングを介してロータの比較的大径の軸受けジヤー
ナルに結合されている。経験によれば、公知ポンプでは
真円回転に偏差が生じ、それゆえ、ピンカップリングの
ピンを、互いに連結すべき部分の少なくとも一方の部分
に柔らかく支承することが必要となる。これにより一層
製作費が高くなる。さらに、ロータ軸受けジヤーナルの
潤滑媒体供給に困難が生じる。その理由は、ロータの汲
上げ室がロータ軸受けの潤滑オイルを供給すべき面に極
めて近寄って位置しているからである。滑り軸受けには
完全潤滑を施すのが望ましいため、潤滑オイルは常時ポ
ンプの汲上げ室内に侵入してポンプ出力を損なう。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は駆動モ
ータとポンプロータとの結合部を著しく簡単かつ安価に
形成することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決した本発
明の要旨はロータの駆動側の軸ジャーナルが駆動モータ
の軸ジャーナルと同じ径を有しており、両方の軸ジャー
ナルが共通して1つの軸受け孔内に直に支承されており
、この軸受け孔のシールのために潤滑媒体室を形成する
2つの軸パッキンリングが設けられており、その一方の
軸パッキンリングがロータ軸ジャーナルに、他方の軸パ
ッキンリングがモータ軸ジャーナルに対置されており、
かつ、両方の軸ジャーナルが端面側で互いに連結されて
いることにある。
【0006】
【発明の効果】上記構成により、モータとロータとの軸
受け及びカップリングのために必要な部品点数が最小限
度に軽減され、これにより、製作費の著しい削減のみな
らず、ポンプから発する騒音の軽減が得られる。カップ
リングの領域内にはもはやモータのための軸受けを備え
た特別な軸受けシールドを必要としない。ロータ軸受け
の潤滑に関する問題がもはや生じない。ロータ軸ジヤー
ナルに対置されたパッキンリングはロータ若しくは汲上
げ室の著しく近傍に位置し、その結果、完全潤滑を行う
パッキンリングと、極めて近くに隣あって位置する不完
全潤滑を行う汲上げ室との間に潤滑媒体室を設けるのに
なんの困難性も生じない。それゆえ本発明によれば、2
段式真空ポンプの極めて少量のオイルで駆動される高真
空段を、完全潤滑で駆動されるカップリング領域及び軸
受け領域の極めて近くに配置することが可能である。
【0007】
【実施例】図面に実施例として示された2段式回転滑り
弁形真空ポンプ(以下ポンプという)1はポンプケーシ
ング2、このポンプケーシングを取り囲むオイルボック
ス3、駆動モータ4、外側のケーシング若しくはフード
5を備えている。ポンプケーシング2及び駆動モータ4
はシールド6に固定されており、このシールド6は基板
7を介して底部に支持されている。
【0008】ポンプケーシング2は一体に形成されたポ
ンプリング8を備えており、その開口は種々異なって形
成された3つの領域11,12,13を有している。ポ
ンプリング8内には同様に一体に形成されたロータ14
が位置しており、このロータは3つの部分14a,14
b,14cを備えている。外側の両部分14a,14c
は端面側からアクセス可能なスライダスリット15,1
6を備えて高真空段若しくは前真空段の可動子を形成し
ている。
【0009】ロータ14の中央の部分14bはその長さ
及び直径の点でポンプリング8の開口の中央の領域12
に相応しており、これによりこの領域はロータ14のた
めの滑り支承の機能を有している。ポンプリング8の、
領域12に比して大きな領域13は、シールド6と共に
ポンプ1の高真空段(以下HV段ともいう)の汲上げ室
17を形成している。HV段のスライダは符号18で示
されている。ポンプリング8の領域11はフロント板1
9と共に前真空段(以下VV段ともいう)の汲上げ室2
1を形成している。VV段のスライダは符号22によっ
て示されている。
【0010】HV段の入口通路は符号23で示されてい
る。HV段の出口からVV段の入口へ通じる通路は図2
にのみ符号24で示されている。VV段の出口通路25
(図2参照)には出口弁26が対置されている。この出
口弁26はチェック弁として形成されており、かつポン
プの故障時に、真空に保つべき容器の真空に対する安全
機能を受け持っている。出口弁26はポンプケーシング
2の上部範囲に配置されている。底部に凹所27が形成
されており、この凹所は真空ポンプの運転中に中間オイ
ルだめを形成する。
【0011】図示のポンプの入口接続部31はシールド
6に固定されている。入口接続部31はシールドに設け
た孔32を介してHV段の入口通路23に連通している
。シールド6には出口接続部33も設けられている。 出口接続部33は孔32に対応する孔を介してオイルボ
ックス3の内室に連通している。
【0012】オイルボックス3はさらに端面でオイルボ
ックスに配置されたドーム35を備えている。その中央
の部分36は透明であり、オイルボックス3内のオイル
レベルの監視に役立つ。ドーム35はほぼ半円形の横断
面を有しており、その広幅側はオイルボックス3に面し
ている。ドームはオイルボックス3の全高にわたって延
びており、その結果、オイル充填口37及びオイル排出
口38を備えることができる。
【0013】駆動モータ4はその自由な端面にファン4
1を備えている。このファンによって生じた冷却空気流
は駆動モータの冷却だけでなく、オイルボックス3の冷
却にも役立つ。モータケーシングならびにオイルボック
ス3は軸方向若しくは水平方向に延びる冷却ひれ42,
43を備えている。
【0014】シールド6はさらにカップリングケーシン
グの機能をも備えている。シールドは軸受け孔51を備
えており、この軸受け孔内にロータ14に配置されたロ
ータ軸ジャーナル52と駆動モータ4の軸ジャーナル5
3とが突入して滑り支承されている。両方の軸ジャーナ
ル52,53は端面側でピンカップリング54によって
カップリングされている。ピンカップリングの代わりに
互いに内外に係合する突起を軸ジャーナル52,53の
端面の領域に設けてもよい。ロータ軸ジヤーナル並びに
モータ軸ジヤーナルは軸受け孔51内に滑り支承されて
いる。一方の軸ジヤーナル、有利にはロータ軸ジヤーナ
ルだけが軸受け孔51内に滑り支承され、他方の軸ジヤ
ーナル、有利にはモータ軸ジヤーナルがカップリングに
支承されていてもよい。例えば、軸方向で延びていて回
転軸の外部に配置された、ピンカップリングの単数又は
複数のピン54が、ロータ軸ジヤーナル52に設けた孔
内に固定的に挿入され、他面においてモータ軸ジヤーナ
ル53に設けた孔内にわずかな遊びを持って係合してい
てもよい。ロータ軸ジヤーナル52が軸受け孔51内に
滑り支承されている場合にはモータ軸ジヤーナル53だ
けがピンカップリングのピン54に支承されることがで
きる。
【0015】各軸ジヤーナル52,53にはそれぞれ軸
パッキンリング55,56が対置されており、その座着
は同様にカップリングケーシング内でおこなわれている
。軸パッキンリングは潤滑媒体室57を形成しており、
この潤滑媒体室はカップリングを備えていてオイル孔5
8を介して完全潤滑で駆動されることができる。ロータ
側の軸パッキンリング55がHV段の著しく近傍に位置
しているため、不完全潤滑で駆動されるこのHV段の出
力は潤滑オイルによって悪影響を受けない。
【0016】オイル孔58の位置は図2に破線59で示
されている。オイル孔は、有利には傾斜して、ポンプケ
ーシング2を貫通して延びていて軸ジヤーナル52,5
3若しくはカップリングより上方で、オイルを供給すべ
き潤滑媒体室57と交差している。効果的にはこの領域
内でさらに軸方向溝60が軸受け・カップリングケーシ
ング6内に設けられる。オイル孔58を通ってオイルは
潤滑媒体室57内に達する。過剰のオイルはさらにオイ
ル孔58を通り、比較的低い位置にあるオイルパン内に
流れる。潤滑媒体室57からは潤滑オイルが完全には流
出せず、それゆえ、本発明の軸受け及びカップリングは
特に良好な非常運転特性を有している。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の1実施例の縦断面図である。
【図2】本発明の1実施例の横断面図である。
【符号の説明】
1  真空ポンプ、  2  ポンプケーシング、  
3  オイルボックス、  4  駆動モータ、  5
  フード、  6  シールド、  7  基板、 
 8  ポンプリング、11,12,13  領域、 
 14  ロータ、  14a,4b,14c  部分
、15,16  スライダスリット、  17  汲上
げ室、  18  スライダ、  19  フロント板
、  21  汲上げ室、  22  スライダ、  
23  入口通路、24  通路、  25  出口通
路、  26  出口弁、  27  凹所、  32
  孔、33  出口接続部、  35  ドーム、 
 36  部分、  37  オイル充填口、38  
オイル排出口、  41  ファン、  42,43 
 冷却ひれ、  51  軸受け孔、  52,53 
 軸ジャーナル、  54  カップリング、  55
,56軸パッキンリング、  57  潤滑媒体室、 
 58  オイル孔、  60  軸方向溝

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  ケーシング、ロータ及びこのロータに
    連結された駆動モータを備えた回転滑り弁形真空ポンプ
    であって、ロータ並びに駆動モータがそれぞれ軸ジャー
    ナルを備えており、両方の軸ジャーナルがその連結領域
    でケーシング内に支承されている形式のものにおいて、
    ロータ(14)の駆動側の軸ジャーナル(52)が駆動
    モータ(4)の軸ジャーナル(53)と同じ径を有して
    おり、両方の軸ジャーナル(52,53)が共通して1
    つの軸受け孔(51)内に直に支承されており、この軸
    受け孔(51)のシールのために潤滑媒体室(57)を
    形成する2つの軸パッキンリング(55,56)が設け
    られており、その一方の軸パッキンリングがロータ軸ジ
    ャーナル(52)に、他方の軸パッキンリングがモータ
    軸ジャーナル(53)に対置されており、かつ、両方の
    軸ジャーナル(52,53)が端面側で互いに連結され
    ていることを特徴とする回転滑り弁形真空ポンプ。
  2. 【請求項2】  中間シールド(6)が共通の1つの軸
    受け・カップリングケーシングを形成している請求項1
    記載のポンプ。
  3. 【請求項3】  潤滑媒体室(57)が、軸ジャーナル
    (52,53)より上方で延びるオイル孔(58)に連
    通している請求項1又は2記載のポンプ。
  4. 【請求項4】  軸受け・カップリングケーシング(6
    )が、軸ジャーナル(52,53)より上方に軸方向溝
    (60)を備えており、オイル孔(58)がこの軸方向
    溝(60)と交差している請求項3記載のポンプ。
  5. 【請求項5】  カップリング(54)がピンカップリ
    ングとして形成されている請求項1から4項までのいず
    れか1項記載のポンプ。
  6. 【請求項6】  一方の軸ジャーナル、有利にはロータ
    軸ジャーナル(52)が軸受け孔(51)内に滑り支承
    されており、他方の軸ジャーナル、有利にはモータ軸ジ
    ャーナル(53)がカップリングに支承されている請求
    項1から5までのいずれか1項記載のポンプ。
  7. 【請求項7】  ピンカップリングの単数又は複数のピ
    ン(54)が、ロータ軸ジャーナル(52)に設けた孔
    内に固定的に挿入されており、単数又は複数のピン(5
    4)が、モータ軸ジャーナル(53)に設けた孔内に遊
    びを持って係合している請求項5又は6記載のポンプ。
JP3120784A 1990-05-29 1991-05-27 回転滑り弁形真空ポンプ Pending JPH04231697A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4017194A DE4017194A1 (de) 1990-05-29 1990-05-29 Drehschiebervakuumpumpe
DE4017194.9 1990-05-29

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Publication Number Publication Date
JPH04231697A true JPH04231697A (ja) 1992-08-20

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ID=6407369

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3120784A Pending JPH04231697A (ja) 1990-05-29 1991-05-27 回転滑り弁形真空ポンプ

Country Status (4)

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US (1) US5156532A (ja)
EP (1) EP0459112B1 (ja)
JP (1) JPH04231697A (ja)
DE (3) DE9007544U1 (ja)

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