KR20010021228A - 프로브 장치 및 헤드 플레이트 개폐력 경감 기구 - Google Patents
프로브 장치 및 헤드 플레이트 개폐력 경감 기구 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (11)
- 헤드 플레이트 개페력 경감 기구에 있어서,장치 본체에 형성된 개구부를 개폐하도록, 그 일 단부가 상기 장치 본체에 회전 가능하게 장착된 헤드 플레이트와,상기 헤드 플레이트의 적어도 하나의 측단부에 장착되고, 상기 헤드 플레이트의 상기 일 단부의 반대측 단부에 근접한 위치에서 상기 측단부에 장착되는 적어도 하나의 상향 가압 기구를 포함하는헤드 플레이트 개폐력 경감 기구.
- 제 1 항에 있어서,상기 헤드 플레이트 개폐력 경감 기구는 다수의 상향 가압 기구를 구비하며, 각 상향 가압 기구는 로드부와, 상기 로드부를 신축 가능하게 유지함과 동시에, 상기 로드부에 신장력을 부여하는 신장력 부여부를 구비하며,상기 다수의 상향 가압 기구는 서로 직렬로 연결되고, 또한 헤드 플레이트와 가장 근접한 상향 가압 기구 이외의 상향 가압 기구의 로드부는 승강 가이드 기구를 따라서 승강하는헤드 플레이트 개폐력 경감 기구.
- 프로브 장치에 있어서,개구부를 구비하는 장치 본체와,상기 개구부를 개폐하도록 그 일 단부가 상기 장치 본체에 회전 가능하게 장착되고, 상기 일 단부를 중심으로 하여 선회 가능한 헤드 플레이트와,상기 헤드 플레이트에 탈착 가능하게 설치되는 프로브 카드와,헤드 플레이트를 위한 다수의 수취부로서, 상기 다수의 수취부는 상기 개구부의 주위 단부상의 다수의 개소에 고정되고, 각 수취부와 상기 프로브 카드의 중심 위치 사이의 거리가 동일하게 설정되어 상기 헤드 플레이트가 상기 수취부에 체결되는, 상기 다수의 수취부를 포함하는프로브 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 각 수취부가 상기 개구부의 주위 단부상의 네 모서리 근방에 고정되어 있는프로브 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 각 수취부는 헤드 플레이트가 수평으로 장착되기 위한 수평 조정 기구를 갖고 있는프로브 장치.
- 프로브 장치에 있어서,개구부를 갖는 장치 본체와,상기 개구부를 개폐하도록, 그 일 단부가 상기 장치 본체에 회전 가능하게 장착된 헤드 플레이트와,상기 헤드 플레이트에 탈착 가능하게 설치되는 프로브 카드와,상기 개구부의 주위 단부상의 다수의 개소에 고정되고, 상기 헤드 플레이트가 그상에 체결되는, 헤드 플레이트를 위한 다수의 수취부와,헤드 플레이트 개폐력 경감 기구로서, 상기 헤드 플레이트 개폐력 경감 기구는 상기 헤드 플레이트의 적어도 하나의 측단부에 장착된 적어도 하나의 상향 가압 기구를 구비하며, 상기 상향 가압 기구는 상기 헤드 플레이트의 상기 일 단부의 반대측 단부에 근접한 위치에서 상기 측단부에 장착되어 있는, 상기 헤드 플레이트 개폐력 경감 기구를 포함하는프로브 장치.
- 제 6 항에 있어서,상기 헤드 플레이트 개폐력 경감 기구는 다수의 상향 가압 기구를 구비하며, 각 상향 가압 기구는 로드부와, 상기 로드부를 신축 가능하게 유지함과 동시에, 상기 로드부에 신장력을 부여하는 신장력 부여부를 구비하며,상기 다수의 상향 가압 기구는 서로 직렬로 연결되고, 또한 헤드 플레이트에 가장 근접한 상향 가압 기구 이외의 상향 가압 기구의 로드부는 승강 가이드 기구를 따라서 승강하는프로브 장치.
- 제 6 항에 있어서,상기 헤드 플레이트를 위한 복수의 상기 수취부는 상기 개구부의 주위 단부상의 네 모서리 근방에 고정되고, 각 수취부와 상기 프로브 카드의 중심 위치 사이의 거리가 동일하게 설정되어 상기 헤드 플레이트는 상기 수취부에 체결되며, 상기 상향 가압 기구는 상기 헤드 플레이트의 상기 일 단부의 반대측 단부에 근접한 위치에서 상기 측단부에 장착되어 있는프로브 장치.
- 제 6 항에 있어서,상기 헤드 플레이트 개폐력 경감 기구는 다수의 상향 가압 기구를 구비하며, 각 상향 가압 기구는 로드부와, 상기 로드부를 신축 가능하게 유지함과 동시에, 상기 로드부에 신장력을 부여하는 신장력 부여부를 구비하며,상기 다수의 상향 가압 기구는 서로 직렬로 연결되고, 또한 헤드 플레이트에 가장 근접한 상향 가압 기구 이외의 상향 가압 기구의 로드부는 승강 가이드 기구를 따라서 승강하는프로브 장치.
- 중량물을 선회하여 개폐시키기 위한 개폐력 경감 기구에 있어서,제 1 상향 가압 기구로서, 그 선단부가 중량물에 회전 가능하게 장착되어 있는 제 1 로드부와, 상기 제 1 로드부를 신축 가능하게 유지함과 동시에, 상기 로드부에 신장력을 부여하는 제 1 신장력 부여부를 포함하는, 상기 제 1 상향 가압 기구와,제 2 상향 가압 기구로서, 그 선단부가 상기 제 1 상향 가압 기구의 제 1 신장력 부여부에 연결되어 있는 제 2 로드부와, 상기 제 2 로드부를 신축 가능하게 유지함과 동시에, 상기 제 2 로드부에 신장력을 부여하는 제 2 신장력 부여부와, 상기 제 2 로드부가 상기 제 2 신장력 부여부에 의해 신장되어 이동할 때에, 상기 제 2 로드부의 선단부의 이동을 가이드하는 제 1 승강 가이드 기구를 포함하는, 상기 제 2 상향 가압 기구를 포함하는개폐력 경감 기구.
- 제 9 항에 있어서,그 선단부가 상기 제 2 상향 가압 기구의 상기 제 2 신장력 부여부에 연결되어 있는 제 3 로드부와,상기 제 3 로드부를 신축 가능하게 유지함과 동시에, 상기 제 3 로드부에 신장력을 부여하는 제 3 신장력 부여부와,상기 제 3 로드부가 상기 제 3 신장력 부여부에 의해 신장되어 이동할 때에, 상기 제 3 로드부의 선단부의 이동을 가이드하는 제 2 승강 가이드 기구를 구비하는 제 3 상향 가압 기구를 더 포함하는개폐력 경감 기구.
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