KR101574723B1 - 더블 사이드 테스트를 위한 프로브 스테이션 - Google Patents

더블 사이드 테스트를 위한 프로브 스테이션 Download PDF

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Abstract

더블 사이드 테스트를 위한 프로브 스테이션이 개시된다. 본 발명에 따른 더블 사이드 테스트를 위한 프로브 스테이션은, 지면에 지지되는 지지다리; 상기 지지다리의 상부에 수평으로 장착되는 수평지지대; 상기 수평지지대의 상부로 수직되게 입설된 복수의 수직기대; 상기 수직기대의 상단에 세로방향으로 연결되는 복수의 가이드빔; 상기 가이드빔에 이동 가능하도록 결합되며 스코프가 장착되는 거치대; 상기 수평지지대의 상부에 수직되게 장착된 서포터와, 상기 서포터의 상단에 수평으로 형성된 지지대로 구성되며 일정 간격으로 이격되어 수평지지대의 상부에 장착된 제1받침대 및 제2받침대; 상기 제1받침대 및 제2받침대의 지지대에 각기 형성된 힌지부에 양단부가 결합되어 회전 및 고정 상태가 유지될 수 있고 대상물이 장착되는 장착대; 상기 수평지지대의 상부 일측에 결합되며 수평방향으로 이동될 수 있도록 결합되는 베이스와, 상기 베이스의 상부로 수직되게 결합되며 승강작동되는 로드와, 상기 로드의 상단에 형성되어 베이스의 평행되게 형성되는 포지셔너 압판과, 상기 포지셔너 압판에 결합되어 상기 장착대를 지향하며 스코프가 장착되는 아암으로 구성된 사이드 검사부;를 포함하여 구성된다.

Description

더블 사이드 테스트를 위한 프로브 스테이션{DOUBLE-SIDE TEST PROBE STATION}
본 발명은 더블 사이드 테스트를 위한 프로브 스테이션에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 프로브카드를 거치하고, 싱글 사이드 또는 더블 사이드에 대한 검사를 실행할 수 있는 더블 사이드 테스트를 위한 프로브 스테이션에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 웨이퍼(wafer) 상에는 복수개의 칩들이 규칙적으로 배열된다. 상기 칩 각각에는, 수많은 전자 소자들(예를 들면, 트랜지스터들, 커패시터들, 저항체들 및 이들을 연결하는 배선들) 및 상기 전자 소자들과 전기적으로 접속하기 위한 복수개의 본딩 패드들(bonding pads)이 다양한 공정 단계들을 통해 형성된다.
이때 상기 소자들은 상기 칩의 용도에 따른 고유한 기능을 수행할 수 있도록, 물리적 구조 및 전기적 연결을 형성한다.
이러한 칩들의 정상적인 동작을 위해서, 상기 칩들을 패키지하기 전에, 즉 웨이퍼 단계(wafer level)에서 상기 칩들을 전기적으로 테스트하는 단계를 거친다.
상기 웨이퍼 테스트를 위해 사용되는 장비에는 테스터(tester) 및 프로브 스테이션(probe station)이 포함된다.
상기 테스터는 상기 칩들이 입력되는 전기적 신호(electrical input signal)에 대해 정상적으로 기능을 하는지 알아보기 위한 장치로서, 소정의 테스트 프로그램이 내장된 컴퓨터, 전기적 신호 발생 장치(electrical signal source units) 및 전기적 신호 센싱 장치들(electrical signal measurement units)이 구비된다.
또한, 상기 프로브 스테이션은 상기 칩들이 전기적으로 테스트 될 수 있도록 복수개의 탐침 바늘들(probing needles)을 갖는 프로브카드(probe card)를 상기 칩들에 정확히 정렬/접촉시키는 장치이다.
이를 위해, 상기 프로브 스테이션은 상기 프로브카드, 상기 웨이퍼가 로딩되는 웨이퍼 척(wafer chuck) 및 상기 웨이퍼 척의 위치를 3차원적으로 변경시킬 수 있는 웨이퍼에 척 이동 장치들을 구비하고 있다.
국내 특허출원 10-1999-0065598호에는 프로브스테이션에 관한 기술이 개시된 바 있다.
상기 선행 기술은 비트 맵퍼의 본체 상부면으로 개방부를 형성하여 분리 및 장착이 가능한 프로브스테이션을 설치하고, 이 프로브 스테이션에는 한 장의 더트보드를 설치하여 비트맵퍼의 전기적인 신호를 동축케이블을 통하여 더트보드를 거쳐 프로브카드로 전송하므로 한 장의 더트보드만을 이용하여 많은 종류의 반도체장치의 불량을 분석하도록 하는 것과 관련된다.
그러나 종래 기술은 프로브카드를 수평상태로 거치하고 싱글 사이드 테스트를 주로 하는 것이므로 더블 사이드 테스트를 하기에는 어려움이 있었다.
종래에는 더블 사이드 테스트를 하기 위해서 수평상태에서 상면과 저면에 프로브를 접촉시킴으로써 측정을 했는데 매우 위험하고 복잡한 문제점이 있었다.
최근에 세로방향으로 유닛을 세워 측정하려는 시도를 하고 있지만 마이크로 포지셔너의 이동이 어렵고 위험하며 어렵게 성공했더라도 프로브와 케이블을 탈착 후 이동함에 따라 데이터의 특성이 변하는 단점이 있었다.
특히 RF 측정(S-parameter 측정 등)은 해결방안이 없었다.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로, 하나의 장비에서 싱글 사이드 테스트와 더블 사이드 테스트가 가능하도록 하고, 더블 사이드 테스트의 편리성을 위해 프로브카드를 거치하는 장착대의 회전 작동이 가능하고, 아울러 위치 조절이 가능하도록 한 더블 사이드 테스트를 위한 프로브 스테이션을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 본 발명의 목적은, 지면에 지지되는 지지다리; 상기 지지다리의 상부에 수평으로 장착되는 수평지지대; 상기 수평지지대의 상부로 수직되게 입설된 복수의 수직기대; 상기 수직기대의 상단에 세로방향으로 연결되는 복수의 가이드빔; 상기 가이드빔에 이동 가능하도록 결합되며 스코프가 장착되는 거치대; 상기 수평지지대의 상부에 수직되게 장착된 서포터와, 상기 서포터의 상단에 수평으로 형성된 지지대로 구성되며 일정 간격으로 이격되어 수평지지대의 상부에 장착된 제1받침대 및 제2받침대; 상기 제1받침대 및 제2받침대의 지지대에 각기 형성된 힌지부에 양단부가 결합되어 회전 및 고정 상태가 유지될 수 있고 대상물이 장착되는 장착대; 상기 수평지지대의 일측에 수직되게 결합되어 승강작동되는 승강장치와, 상기 승강장치에 연결되어 승강작동되는 포지셔너 압판과, 상기 포지셔너 압판에 결합되는 베드로 구성된 사이드 검사부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션에 의해 달성될 수 있다.
본 발명에 따르면, 프로브카드를 거치시킨 장착대를 수평으로 배치하거나 또는 수직으로 회전시켜 배치함으로써 하나의 장비에서 싱글 사이드 테스트와 더블 사이드 테스트가 가능하게 되어 편리하고 안전한 측정으로 측정 데이터의 신빙성이 향상될 수 있게 된다.
또한 하나의 장비에서 더블 사이드 테스트가 가능해짐에 따라 DC 특성, TDR/TDT특성, RF특성 측정을 모두 수행할 수 있다.
또한 관련 부속장치의 손실 및 망실이 줄어 예산을 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 프로브 스테이션을 나타낸 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 프로브 스테이션에서 '사이드 검사부'에 대한 정면도,
도 3은 본 발명에 따른 프로브 스테이션에서 '메인승강장치'를 나타낸 도면,
도 4는 본 발명에 따른 프로브 스테이션에서 '탐침 장착구'를 나타낸 사시도,
도 5는 상기 도 4에 도시된 '탐침 장착구'의 작동을 나타낸 평면도,
도 6은 상기 도 4에 도시된 '탐침 장착구'의 작동을 나타낸 정면도.
이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 토대로 상세하게 설명하면 다음과 같다.
하기에서 설명될 실시예는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세하게 설명하기 위한 것이며, 이로 인해 본 발명의 기술적인 사상 및 범주가 한정되는 것을 의미하지는 않는다.
또한, 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있으며, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있고, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 함을 밝혀둔다.
첨부된 도면 중에서, 도 1은 본 발명에 따른 프로브 스테이션을 나타낸 사시도, 도 2는 본 발명에 따른 프로브 스테이션에서 '사이드 검사부'에 대한 정면도, 도 3은 본 발명에 따른 프로브 스테이션에서 '메인승강장치'를 나타낸 도면, 도 4는 본 발명에 따른 프로브 스테이션에서 '탐침 장착구'를 나타낸 사시도, 도 5는 상기 도 4에 도시된 '탐침 장착구'의 작동을 나타낸 평면도, 도 6은 상기 도 4에 도시된 '탐침 장착구'의 작동을 나타낸 정면도이다.
도 1 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 프로브 스테이션은, 지면에 지지되는 지지다리(100); 상기 지지다리(100)의 상부에 수평으로 장착되는 수평지지대(200); 상기 수평지지대(200)의 상부로 수직되게 입설된 복수의 수직기대(300); 상기 수직기대(300)의 상단에 세로방향으로 연결되는 복수의 가이드빔(400); 상기 가이드빔(400)에 이동 가능하도록 결합되며 스코프(미도시)가 장착되는 거치대(500); 상기 수평지지대(200)의 상부에 수직되게 장착된 서포터(610)와, 상기 서포터(610)의 상단에 수평으로 형성된 지지대(620)로 구성되며 일정 간격으로 이격되어 수평지지대(200)의 상부에 장착된 제1받침대(600) 및 제2받침대(600'); 상기 제1받침대(600) 및 제2받침대(600')의 지지대(620)에 각기 형성된 힌지부(720)에 양단부가 결합되어 회전 및 고정 상태가 유지될 수 있고 대상물이 장착되는 장착대(700); 상기 수평지지대(200)의 일측에 수직되게 결합되어 승강작동되는 승강장치(40); 상기 승강장치에 연결되어 승강작동되는 포지셔너 압판(830);상기 포지셔너 압판(830)에 결합되는 베드(835)로 구성된 사이드 검사부(800);를 포함하여 구성된다.
상기 지지다리(100)는 지면에 지지되도록 4군데에 배치되어 수직되게 입설되고, 하단에는 지면과 접촉하는 지지판(122)과, 상기 지지판(122)에 연결되어 지지다리의 저면에 나사결합되는 볼트로 구성된 높이조절구(120)가 구비된다.
4개의 지지다리(100)들의 상단에 연결되어 수평지지대(200)가 장착된다.
수평지지대(200)는 직사각형 또는 정사각형으로 형성되도록 복수의 프레임이 연결되어 이루어지고, 장변측에는 각기 레일(240)이 형성된다.
상기 레일(240)에는 사이드 검사부(800)가 결합되고, 상기 사이드 검사부(800)는 레일(240)을 따라 이동됨으로써 위치 설정이 가능해진다.
위치 설정이라 함은 사이드 검사부(800)에 장착된 탐침(E)과 대상물 간의 간격 설정을 의미한다.
사이드 검사부(800)의 베이스(810)의 일측에 형성된 블럭에 고정레버(L1)가 나사 결합되고, 상기 사이드 검사부(800)를 이동시킨 후 고정레버(L1)를 나사 조임시켜 고정시키게 된다.
본 실시예를 설명함에 있어서 대상물은 프로브카드, 웨이퍼, 칩, PCD 보드 등을 의미함을 밝혀둔다.
상기 가이드빔(400)에는 직각되도록 가로방향으로 메인승강장치(30)가 구비된다.
이 메인승강장치(30)의 상승 또는 하강작동에 의해 스코프가 구비된 거치대(500)와 대상물이 거치된 장착대(700) 간의 간격이 조절될 수 있다.
상기 사이드 검사부(800)는 수평지지대(200)의 양측에 형성되며, 중앙의 장착대(700)를 기준으로 하여 양측에 대칭되게 형성된다.
사이드 검사부(800)는 레일(240)에 이동가능하게 결합되는 베이스(810)와, 베이스(810)의 상부에 승강되도록 결합된 로드(820) 및 로드(820)를 승강시키는 액츄에이터(미도시)를 포함한다.
상기 베이스(810)는 양측 하부에 레일홈(812)이 형성되고, 이에 대응하여 수평지지대(200)의 측부에는 상기 베이스(810)의 레일홈(812)이 결합되도록 레일(240)이 형성된다.
따라서 상기 베이스(810)가 레일(240)에 결합되어 사이드 검사부(800)가 수평으로 이동될 수 있다.
베이스(810)의 일측에는 레일(240)에 고정시킬 수 있도록 고정레버(814)가 구비된다.
고정레버(814)는 베이스(810)를 관통하여 나사결합되며 그 선단이 레일(240)의 측면에 압지되는 조임작동에 의해 고정력이 발휘될 수 있는 것이다.
상기 로드(820)의 상단에는 포지셔너 압판(830)이 수평되게 장착된다.
상기 포지셔너 압판(830)에는 베드(835)가 결합되되 이 베드(835)는 이동가능하도록 레일구조로 결합되고, 베드(835)의 일측에 조임나사(836)가 구비되어 이동된 현재 위치에서 고정될 수 있도록 한다.
또한 상기 포지셔너 압판(830)을 승강작동하는 승강장치(40)가 구비된다.
상기 승강장치(40)는, 상기 로드(820)와 평행되며 베이스(810)를 관통하여 나사결합되고 상단이 상기 포지셔너 압판(830)의 일측과 타측에 각기 연결되는 제1나사축(41) 및 제2나사축(42)과, 상기 제1나사축(41)의 하부에 형성되며 제1기어풀리(431)와 제2기어풀리(432)로 구성된 제1풀리세트(43)와, 상기 제2나사축(42)의 하부에 형성되는 제3기어풀리(433)와, 상기 제1기어풀리(431)와 제3기어풀리(433)를 연결하는 제1벨트(44)와, 상기 베이스(810)의 일측에 회전 가능하게 핸들(h)과, 상기 핸들(h)의 일측과 상기 제2기어풀리(432)에 연결되는 제2벨트(45)를 포함하여 구성된다.
따라서 사이드 검사부(800)는 프로브카드가 부착된 장착대(700)를 수직되게 세운 상태에서 탐침이 프로브카드의 양면에 접촉하면서 검사하게 되므로 프로브카드에 대한 더블 사이드(양면) 테스트가 이루어질 수 있다.
한편 상기 가이드빔(400)의 하부에 평행되는 방향으로 레일봉(420)이 형성된다.
상기 레일봉(420)에 끼워져서 좌우로 슬라이딩되도록 거치대(500)가 결합된다.
상기 거치대(500)의 일측으로는 메인승강장치(30)가 관통하여 결합된다. 메인승강장치(30)는 가이드빔(400)에 수직되게 결합되는 수직로드(31)가 거치대(500)를 관통하여 결합되고, 상기 수직로드(31)의 하단에 스코프 장착구(900)가 결합된다.
거치대(500)의 일측에는 제1고정레버(501)가 나사 결합되고, 제1고정레버(501)의 나사축 선단이 수직로드(31)에 밀착됨으로써 고정력이 발휘된다.
그리고 메인승강장치(30)의 하단에는 스코프를 탈부착시킬 수 있도록 스코프 장착구(900)가 형성된다.
상기 스코프 장착구(900)는 x축 및 y축 방향으로 회전되는 각도조절부(910)가 구비되고, 스코프(미도시)가 끼워지는 결합공(920)을 갖는다.
따라서 메인승강장치(30)를 수동으로 조작하여 상하 높이를 조절하여 스코프와 대상물 간의 간격을 조절할 수 있다.
한편 사이드 검사부(800)에는 대상물의 양면 검사를 위해 탐침(미도시)을 구비한 탐침 장착구(60)가 포함되며, 상기 탐침 장착구(60)는 포지셔너 압판(830)에 결합된 베드(835)에 설치된다.
상기 탐침 장착구(60)는, 수평 및 수직 위치를 조절하는 위치조절나사(612)를 갖는 바디(61); 상기 바디(61)의 일측과 축(629)으로 결합되어 회전되는 제1회전부재(62); 상기 제1회전부재(62)의 측면에 나사결합되며 상기 축(629)에 밀착되어 고정시키는 제1고정나사(63); 상기 제1회전부재(62)의 전면에 형성되며 상부에 힌지편(651)이 형성된 회동블럭(65); 상기 회동블럭(65)의 힌지편(651)과 핀(663)으로 힌지 결합되며 회전되는 힌지끼움편(662)이 일측에 형성되고, 타측에는 탐침이 부착되는 제2회전부재(66)를 포함하여 구성된다.
도 5와 같이, 상기 제1회전부재(62)는 축(629)을 중심으로 회전되고, 상기 제2회전부재(66)는 핀(663)을 중심으로 회전됨으로써 탐침이 대상물에 적절하게 접촉될 수 있도록 탐침의 위치를 조절할 수 있다.
따라서 제1회전부재(62)는 제2회전부재(66) 보다 더 큰 회전각도로 회전될 수 있다.
또한 도 6과 같이, 회동블럭(65)의 축(652)을 기준으로 회전될 수 있다.
아울러 좌표조절나사(612)를 이용하여 장착부재(950)의 미세한 위치 조절이 좌표조절나사(612)에 의해 실행됨으로써 스코프(미도시)의 회전 각도 조절 및 미세 조정이 가능하여 프로브카드에 대한 정밀한 설정이 가능해진다.
한편 프로브카드가 장착되는 장착대(700)는 평판 형상으로 형성되며, 양측에는 대칭되게 제1받침대(600) 및 제2받침대(600')에 각기 형성된 힌지부(720)에 결합되는 보스(730)가 각기 형성되며, 상기 각 보스(730)는 힌지부(720)에 베어링을 매개로 결합됨으로써 회전이 가능하게 된다.
아울러 보스(730)에 일단이 연결되는 크랭크(461)와, 상기 크랭크(461)의 타단이 관통 결합되며 일정한 호형 궤적으로 선회되도록 호형 장공(463)을 갖는 브라켓(462)이 구비되고, 상기 크랭크(461)의 타단에 결합되며 나사 조임에 의해 브라켓(462)과 고정되는 조작핸들(h)이 구비된다.
따라서 조작핸들(h)을 느슨하게 풀고, 호형 장공(463)을 따라 선회함으로써 보스(730)가 회전되고 이에 종동되어 장착대(700)가 회전하게 되고, 이로 인해 장착대(700)는 수평상태에서부터 수직 상태까지 회전될 수 있다.
이후 조작핸들(h)을 조이면 브라켓(462)의 외측면에 강하게 밀착됨으로써 보스(730)가 고정될 수 있고, 이에 따라 장착대(700)를 고정시킬 수 있게 된다.
따라서 장착대(700)를 수평으로 배치한 후 조작핸들을 조여서 고정시킬 수 있고, 또는 장착대(700)를 수직으로 세운 상태에서 조작핸들을 조여서 고정시킬 수 있다.
비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정 및 변형이 가능한 것은 당업자라면 용이하게 인식할 수 있을 것이며, 이러한 변경 및 수정은 모두 첨부된 청구의 범위에 속함은 자명하다.
100 : 지지다리 160 ; 메인승강장치
200 : 수평지지대 300 : 수직기대
400 : 가이드빔 500 : 거치대
600 : 받침대 700 : 장착대
800 ; 사이드 검사부 810 : 베이스
820 : 로드 S : 스코프
900 : 탐침 장착구 910 : 브라켓
920 : 제1회전부재 930 : 제2회전부재

Claims (10)

  1. 지면에 지지되는 복수의 지지다리;
    상기 복수의 지지다리의 상부에 수평으로 장착되는 수평지지대;
    상기 수평지지대의 상부로 수직되게 입설된 복수의 수직기대;
    상기 수직기대의 상단에 세로방향으로 연결되는 복수의 가이드빔;
    상기 가이드빔에 이동 가능하도록 결합되며 스코프가 장착되는 거치대;
    상기 수평지지대의 상부에 수직되게 장착된 서포터와, 상기 서포터의 상단에 수평으로 형성된 지지대로 구성되며 일정 간격으로 이격되어 수평지지대의 상부에 장착된 제1받침대 및 제2받침대;
    상기 제1받침대 및 제2받침대의 지지대에 각기 형성된 힌지부에 양단부가 결합되어 회전 및 고정 상태가 유지될 수 있고 대상물이 장착되는 장착대;
    상기 수평지지대의 일측에 수직되게 결합되어 승강작동되는 승강장치;
    상기 승강장치에 연결되어 승강작동되는 포지셔너 압판과, 상기 포지셔너 압판에 결합되는 베드로 구성된 사이드 검사부;를 포함하고,
    상기 수평지지대에는 레일이 대향되게 형성되고,
    상기 레일에는 사이드 검사부의 베이스가 결합된 것으로,
    상기 사이드 검사부는 레일을 따라 이동되면서 위치가 설정되는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 가이드빔에는 직각되도록 가로방향으로 메인승강장치가 포함되는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 가이드빔의 하부에 평행되는 방향으로 레일봉이 형성되고, 상기 레일봉에 끼워져서 좌우로 슬라이딩되는 거치대를 포함하고,
    상기 거치대의 일측에 상기 메인승강장치가 관통하여 결합되고,
    상기 메인승강장치는,
    가이드빔에 수직되게 결합되는 수직로드가 거치대를 관통하여 결합되고, 상기 수직로드의 하단에 탐침 장착구가 결합된 것이며,
    상기 거치대의 일측에는 제1고정레버가 나사 결합되고, 상기 제1고정레버의 나사축 선단이 수직로드에 밀착되어 고정되도록 한 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.
  5. 제 3항에 있어서,
    상기 메인승강장치의 하단에는 스코프를 탈부착시킬 수 있도록 스코프 장착구가 포함되며,
    상기 스코프 장착구는,
    x축 및 y축 방향으로 회전되는 각도조절부와, 스코프가 끼워지는 결합공이 형성된 것으로,
    상기 메인승강장치를 수동으로 조작하여 상하 높이를 조절하여 스코프와 대상물 간의 간격을 조절하는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 사이드 검사부에는 대상물의 양면 검사를 위해 탐침을 구비한 탐침 장착구가 포함되는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 탐침 장착구는
    수평 및 수직 위치를 조절하는 위치조절나사를 갖는 바디;
    상기 바디의 일측과 축으로 결합되어 회전되는 제1회전부재;
    상기 제1회전부재의 측면에 나사결합되며 상기 축에 밀착되어 고정시키는 제1고정나사;
    상기 제1회전부재의 전면에 형성되며 상부에 힌지편이 형성된 회동블럭;
    상기 회동블럭의 회전편과 핀으로 힌지 결합되며 회전되는 힌지끼움편이 일측에 형성되고, 타측에는 탐침이 부착되는 제2회전부재;
    를 포함되는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 장착대는 평판 형상으로 형성되며, 양측에는 대칭되게 제1받침대 및 제2받침대에 각기 형성된 힌지부에 결합되는 보스가 각기 형성되며,
    상기 각 보스는 힌지부에 회전이 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 보스에 일단이 연결되는 크랭크와, 상기 크랭크의 타단이 관통 결합되며 일정한 호형 궤적으로 선회되도록 호형 장공을 갖는 브라켓이 형성되고,
    상기 크랭크의 타단에 결합되며 나사 조임에 의해 브라켓과 고정되는 조작핸들이 포함된 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 승강장치는,
    상기 베이스를 관통하여 나사결합되고 상단이 상기 포지셔너 압판의 일측과 타측에 각기 연결되는 제1나사축 및 제2나사축과,
    상기 제1나사축의 하부에 형성되며 제1기어풀리와 제2기어풀리로 구성된 제1풀리세트와,
    상기 제2나사축의 하부에 형성되는 제3기어풀리와,
    상기 제1기어풀리와 제3기어풀리를 연결하는 제1벨트와,
    상기 베이스의 일측에 회전 가능하게 핸들과,
    상기 핸들의 일측과 상기 제2기어풀리에 연결되는 제2벨트;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.
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