TWI674392B - 頂板開閉機構及檢查裝置 - Google Patents

Abstract

一種反射鏡的姿勢調整構造、頂板開閉機構及檢查裝置，使能夠構築參照柱的反射鏡的姿勢調整構造實用化，謀求提高對保持於台上的對象物的描繪處理及/或檢查的精度提高。由如下構件構成反射鏡保持機構(10)：基部(11)，係一體地形成有固定在安裝台(6a)上的固定部(110)、及具有窄寬度的狹縫形狀的缺口部(113)、(113)、(115)的可動部(111)；反射鏡保持架(12)，係保持反射鏡(9)並固定於基部(11)的頂端；以及間隙寬度調整構件(13)，係調整基部(11)的缺口部(113)、(113)、(115)的間隙的寬度，藉由操作間隙寬度調整構件(13)來減小或增加缺口部(113)、(113)、(115)的間隙寬度，由此來調整保持於反射鏡保持架(12)的反射鏡(9)的傾斜程度。

Description

頂板開閉機構及檢查裝置

本發明係關於一種檢查裝置、及應用於檢查裝置等的反射鏡的姿勢調整構造及容器的頂板(上板)的開閉機構。

在進行材料加工的半導體製造裝置、進行試樣檢查的檢查裝置等中，裝設有對作為加工及/或檢查的對象的材料及/或試樣進行保持並使其移動到任意位置的台(stage)。該台通常設置有在其最上部具備保持材料及/或試樣的靜電卡盤等保持單元的桌台，在該桌台上設置有作為測定桌台的位置的測長儀(通常是激光干涉儀等光學測長儀)的測長對象物的反射鏡。

而且，藉由利用了用該測長儀檢測出的測長值的、針對台驅動源的反饋控制，對桌台所保持的材料及/或試樣高精度控制以使其以所希望的移動量及/或移動速度位移(例如參照日本特開平5-315221號公報)。

另外，在支撐干涉裝置的位移感測器的構 造中，為了降低位移感測器與其安裝構件之間的熱的影響度，公知有如下的構造：在具備用於調整因熱膨脹引起的變形的缺口部的基台上固定並支撐位移感測器(例如參照日本特開2004-125638號公報，日本特開2005-114607號公報)。

另外，以往，在對加工對象物進行微細加工的半導體製造裝置及/或實施以微細加工品等為對象的檢查的檢查裝置中，使用能夠保持該對象物並使其移動到任意位置的台。在該半導體的加工及/或檢查中，有時需要真空，在該情況下，該台配置在能夠保持真空的容器(腔室)內。

在台的故障時及修理及/或保養時，需要接近配置於容器內的台。在以往的容器中，在容器的側面部設置開閉門，可以進行對台的接近。另外，也存在如下這樣的容器：在容器的一部分設置開口部，通常時加蓋，僅在需要時拆下蓋等加以使用。

而且，還存在如下這樣的容器：使容器的頂板(上板)部整體開口(打開頂板)，從而能最大限度地接近台。在該情況下，考慮使頂板上升後使其橫向移動來打開頂板，但通常頂板較重且是四邊形狀，因此上升單元設定四個部位的頂板的上升支撐點。另外，伴隨與此，為了水平保持頂板的姿勢，通常需要同步機構以確保4個點的上升量。此外，就相關的現有技術而言，在日本特開平7-165066號公報中記載了利用機械式單元使檢查裝置的一部 分移動。

本發明的目的在於提供一種新式的反射鏡的姿勢調整構造及頂板開閉機構。

本發明的一實施形態的反射鏡的姿勢調整構造，其特徵如下述。

前述姿勢調整構造具備：基部，係一體地形成有固定在安裝台上的固定部、及具有窄寬度的缺口部的可動部；反射鏡保持架，係保持反射鏡且固定於基部的可動部的頂端；以及間隙寬度調整構件，係調整基部的缺口部的間隙的寬度，前述姿勢調整構造具有如下結構：藉由操作前述間隙寬度調整構件來減小或增加缺口部的間隙寬度，由此來調整保持於反射鏡保持架的反射鏡的傾斜程度。

由此，由於供反射鏡保持架安裝的基部形成為一體地設置有固定部和可動部，因此可將整體緊密地構成而安裝於狹窄的設置空間，另外，藉由將基部形成為一體的塊狀，能夠確保材料本來的剛性，且能夠將基部的固定部和可動部之間構成為高剛性。

另外，由於具備調整基部的缺口部的間隙寬度的間隙寬度調整構件，因此藉由利用間隙寬度調整構件調節缺口部的間隙寬度，能夠容易進行反射鏡的姿勢調整。

在前述構成中較佳為，基部形成為至少具 有第一可動部和第二可動部，前述第一可動部在與固定於安裝台上的固定部的下表面垂直的方向配置有缺口部，前述第二可動部在與固定於安裝台上的固定部的下表面平行的方向配置有缺口部。

藉由在基部設置缺口方向不同的多個缺口部，並調整這些各缺口部的間隙寬度，能夠高精度地將反射鏡調整為所希望的姿勢。

在前述構成中，較佳為在第一可動部的缺口部內的相對的面內分別設置有朝向下方變窄的陰側錐部，將在外周面形成有與前述陰側錐部組合的陽側錐部的間隙寬度調整構件從上方嵌入於前述陰側錐部，並且將在間隙寬度調整構件的頂端部形成的螺紋部、與設置於在第一可動部的下側重疊的安裝台的螺紋孔螺紋結合來進行固定，構成為藉由改變間隙寬度調整構件的螺紋部的螺紋結合深度，來調整第一可動部的缺口部的間隙寬度。

藉由這樣組合陽、陰錐形形狀，由此例如相對於螺栓型的間隙寬度調整構件的螺紋旋入操作時的軸力方向，能夠在垂直方向產生調整力，因此能夠使用於調整的操作方向集中於一個方向。另外，藉由錐部的角度設定，能夠實現更高精度的調整。

另外，在前述構成中較佳為，第二可動部係由面向缺口部的上側可動片和下側可動片所形成，在上側可動片的上表面配置包含拉緊螺栓、按壓螺栓和固定螺栓的間隙寬度調整構件，前述拉緊螺栓的軸部貫通上側可 動片且與在下側可動片設置的螺紋孔螺紋結合，前述按壓螺栓的軸部與在上側可動片設置的螺紋孔螺紋結合且軸部端部接合於下側可動片的上表面，前述固定螺栓在拉緊螺栓或按壓螺栓的附近、軸部貫通上側可動片及下側可動片，且與設置於在第二可動部的下側重疊的安裝台的螺紋孔螺紋結合來固定第二可動部，構成為藉由改變間隙寬度調整構件的拉緊螺栓向下側可動片螺紋結合的螺紋結合深度、及按壓螺栓向上側可動片螺紋結合的螺紋結合深度，來調整第二可動部的缺口部的間隙寬度。

如此，設置成在間隙寬度調整構件的拉緊 螺栓或按壓螺栓的附近、利用固定螺栓固定可動部，由此能夠牢固地保持調整狀態，能夠提高狀態的保持剛性，不產生經時性變化地將反射鏡穩定保持為調整後的姿勢。

另外，在反射鏡設置於真空中的方式的情 況下，可以構成為：在基部的上方設置具備真空密封功能、對間隙寬度調整構件進行操作的接近機構，藉由在大氣側對接近機構的操作來調整在真空中設置的反射鏡的傾斜程度。

若構成為能夠藉由具有真空密封功能的接 近機構、來從大氣側調整真空下的反射鏡的姿勢，則能夠適用於電子束應用裝置等的配置於真空中的反射鏡。

本發明的一實施形態的頂板開閉機構，是 用於使包含容器主體和剛體的頂板的容器的前述頂板開閉的頂板開閉機構，該頂板開閉機構具有具備上升單元的構 成，前述上升單元係以3個支撐點從下方支撐前述頂板並使前述頂板上升。

根據該構成，由於以3個點支撐頂板使其上 升，因此與以4個點以上的支撐點支撐頂板的情況不同，成為對所有支撐點始終施加頂板的負載的方式，能夠抑制使頂板傾斜著上升的舉動，能夠使頂板水平上升。亦即，在支撐點為4個點以上的情況下，在4個點以上中的3個點必然施加負載，但在1個點以上出現不承受負載的部位，由於平面由3個點唯一確定，且頂板是剛體，因此若以3個點支撐該頂板，則成為將頂板作為平面地加以支撐的方式，始終對3個點施加頂板的負載。

在上述的頂板開閉機構，前述上升單元係 可為利用共用的液壓泵來進行工作，且分別從下方支撐前述頂板的前述3個支撐點的3個液壓起重器。

根據該構成，由於始終在3個液壓起重器施 加負載，因此能夠防止在不承受負載的液壓起重器液壓洩露而致頂板傾斜、承受負載的液壓起重器發生負載集中而導致頂板進一步傾斜這樣的現象，由此，能夠水平地使頂板上升。

上述的頂板開閉機構係可更具備橫向移動 機構，前述橫向移動機構係使藉由前述上升單元而上升的前述頂板橫向移動。

根據該構成，由於從容器主體的上方拆下 頂板而將容器打開，因此在修理及/或保養時向容器內的接 近變得容易。

在上述的頂板開閉機構中，前述橫向移動 機構亦可具備與前述容器主體相鄰、且用於載置移動後的前述頂板的頂板載置台，俾能夠使前述頂板移動到前述頂板載置台上。

根據該構成，由於橫向移動機構移動至將 頂板載置於頂板載置台為止，因此能夠穩定地保持從容器卸下後的頂板。

在上述的頂板開閉機構中，前述橫向移動 機構亦可具備載置前述頂板並橫向移動的台車，在藉由前述上升單元而上升的前述頂板的下方***前述台車，使前述頂板下降而將前述頂板載置於前述台車。

根據該構成，橫向移動機構能夠藉由在台 車載置頂板並使其橫向移動而打開頂板。而且，在將頂板返回容器主體時，與打開頂板的步驟相反，在利用台車將頂板移動到容器側後，利用上升單元從下方支撐頂板，並從頂板的下方去除台車，利用上升單元使頂板下降，藉此能夠容易地在主體關閉頂板。

在上述的頂板開閉機構中，前述台車亦可具備滾動體。

根據該構成，能夠容易地使頂板橫向移動。

在上述的頂板開閉機構中，前述頂板亦可為相對於預定的假想線而線對稱的形狀，3個支撐點中的2個支撐點也位於相對於前述預定的假想線而線對稱的位 置。

根據該構成，3個支撐點中的2個點成為大致相同的負載。

上述的頂板開閉機構中，亦可更具備水平維持機構，前述水平維持機構係在前述2個支撐點和前述另1個支撐點之間實現前述頂板的上升量的同步。

根據該構成，由於實現2個支撐點和除了該2點以外的另1個支撐點的上升量的同步，因此不需要成為實現全部的同步的構成，而能夠以緊密且簡單的結構使頂板水平上升。

在上述的頂板開閉機構中，前述水平維持機構亦可具備：位置相對於前述頂板固定的多個齒條；及正齒輪，前述正齒輪與前述多個齒條的各個嚙合，並且固定於可旋轉的1個軸，前述可旋轉的1個軸的位置相對於前述容器主體固定，在前述水平維持機構中，藉由伴隨前述頂板的上升而使與前述多個齒條分別嚙合的前述正齒輪旋轉，來修正前述頂板的傾斜。

根據該構成，能夠以簡單的結構可靠地實現頂板的上升量的同步。此外，藉由在各軸設置帶輪，並用同步帶等進行連結，由此可以實現同步。

在上述的頂板開閉機構中，可以是，在前述頂板上載置有構造物，前述頂板開閉機構還具備構造物移動支援機構，前述構造物移動支援機構係支援伴隨前述頂板的移動之前述構造物的移動。

根據該構成，能夠使載置於頂板上的構造 物與頂板一起順暢地移動。此外，構造物可以是例如檢查裝置及/或半導體製造裝置的柱。

在上述的頂板開閉機構中，亦可在前述構 造物連接有前述構造物所附帶的附帶裝置，前述頂板開閉機構更具備附帶裝置移動機構，前述附帶裝置移動機構係與前述構造物的移動同步地使前述附帶裝置移動。

根據該構成，在構造物與頂板一起沿橫向 移動時，可使附帶裝置也追隨其移動地橫向移動。

在上述的頂板開閉機構中，前述構造物和 前述附帶裝置亦可藉由佈線及/或配管而連接，前述頂板開閉機構更具備收納盒，前述收納盒係收納前述佈線及/或配管，在前述構造物及前述附帶裝置移動時也不會移動，前述佈線及/或配管收納於具有可撓性的電纜支架(註冊商標)。

根據該構成，在構造物及/或附帶裝置橫向 移動時，也能使連接它們之間的佈線及/或配管不妨礙移動地實現順暢的移動。

在上述的頂板開閉機構中，前述佈線及/ 或配管係可經由連接收納體而連接於前述構造物。

根據該構成，由於佈線及/或配管係經由連 接收納體而連接於構造物，因此能夠減輕或避免在與構造物的連接部位附近發生佈線及/或配管繁雜地纏繞而妨礙構造物向橫向的移動這一問題，在使構造物與頂板一起橫 向移動的情況下，不需要將佈線及/或配管從構造物切斷。

在上述的頂板開閉機構中，亦可在前述頂板上載置有構造物，前述頂板開閉機構更具備構造物移動支援機構，前述構造物移動支援機構係使前述構造物的一部分與前述頂板的移動獨立地移動。

根據該構成，載置於頂板上的構造物相對於頂板的拆裝、保養等變得容易。

本發明的一實施形態的檢查裝置為一種用於對被檢查物進行檢查的檢查裝置，該檢查裝置具備：用於收納前述被檢查物的容器，係包含容器主體和頂板；柱，係設置於前述頂板上，用於對收納於前述容器的前述被檢查物照射線束；以及頂板開閉機構，係用於使前述頂板開閉，前述頂板開閉機構具備上升單元，前述上升單元係以3個支撐點從下方支撐前述頂板並使前述頂板上升。

根據該構成，由於以3個點支撐頂板使其上升，因此成為在所有支撐點始終施加頂板的負載的方式，能夠抑制使頂板傾斜上升的動作，能夠使頂板水平上升。

1‧‧‧地板面

2‧‧‧防振裝置

3‧‧‧底板

4‧‧‧真空容器

5‧‧‧台

6、22‧‧‧柱

6a‧‧‧安裝台

7‧‧‧干涉儀

8、9‧‧‧反射鏡

10‧‧‧反射鏡保持機構

11‧‧‧基部

12‧‧‧反射鏡保持架

13、131至134‧‧‧間隙寬度調整構件

14、15‧‧‧固定螺栓

16‧‧‧接近機構

17‧‧‧延長保持構件

18‧‧‧柱延長安裝構件

21‧‧‧容器

23‧‧‧附帶裝置

24‧‧‧殼體

25‧‧‧底板

26‧‧‧收納盒

27‧‧‧電纜支架

30‧‧‧容器主體

36、39、288‧‧‧導塊

37‧‧‧軌道

38‧‧‧連接收納體

40‧‧‧頂板

100‧‧‧檢查裝置

110‧‧‧固定部

111‧‧‧可動部

112‧‧‧第一可動部

114‧‧‧第二可動部

113、115‧‧‧缺口部

210a至210c‧‧‧起重器

220‧‧‧台車

221‧‧‧滾動體

230‧‧‧頂板載置台

240‧‧‧滾珠螺桿

241‧‧‧滾珠螺桿軸承

242‧‧‧滾珠螺桿軸

243‧‧‧滾珠螺桿螺母

250、260‧‧‧線性導件

251、261、287‧‧‧線性導軌

252、262‧‧‧線性導塊

270‧‧‧齒條齒輪

271‧‧‧齒條

272‧‧‧正齒輪(齒輪)

273、283a、283b‧‧‧軸

274‧‧‧軸保持架

275‧‧‧旋轉手柄

280‧‧‧水平維持機構

281a、282b、281c‧‧‧齒條

282a、282b、282c‧‧‧正齒輪(齒輪)

284a、284b、284c‧‧‧軸保持架

285a、285b‧‧‧帶輪

286‧‧‧同步帶

289‧‧‧連結板

200‧‧‧軌道

201‧‧‧懸吊構件

第1圖是表示應用本發明之一例的裝置的整體構成的圖。

第2圖是本發明的一實施形態中之反射鏡支撐機構的安裝狀態之外觀的圖。

第3圖是第2圖之反射鏡支撐機構的俯視圖。

第4圖是第2圖的反射鏡支撐機構的中央縱剖視圖。

第5圖是沿著第2圖中的V-V線的剖視圖。

第6圖是沿著第2圖中的VI-VI線的剖視圖。

第7圖是表示用於操作反射鏡支撐機構的接近機構的整體構成的圖。

第8圖是表示第7圖的接近機構的詳細構成的圖。

第9圖是本發明的其他形態之反射鏡支撐機構和安裝延長構件的俯視圖。

第10圖是沿著第9圖中的X-X線的剖視圖。

第11圖是沿著第9圖中的XI-XI線的剖視圖。

第12圖是示意性表示本發明的實施形態中之包括頂板開閉機構的檢查裝置的主要構成的前視圖。

第13A圖是示意性表示本發明的實施形態中之頂板開閉機構的主要構成的俯視圖。

第13B圖是示意性表示本發明的實施形態中之頂板開閉機構的主要構成的前視圖。

第14圖是表示本發明的實施形態中之為了頂板打開而使頂板上升的狀態的前視圖。

第15A圖是表示本發明的實施形態中之台車進入上升後的頂板的下方的狀態的俯視圖。

第15B圖是表示本發明的實施形態中之台車進入上升後的頂板的下方的狀態的前視圖。

第16圖是表示本發明的實施形態中之藉由起重器收縮而將頂板載置到台車上的狀態的前視圖。

第17A圖是表示本發明的實施形態中之載置有頂板的台車朝向頂板載置台橫向移動的狀態的俯視圖。

第17B圖是表示本發明的實施形態中之載置有頂板的台車朝向頂板載置台橫向移動的狀態的前視圖。

第18A圖是表示本發明的實施形態中之頂板載置於頂板載置台上的狀態的俯視圖。

第18B圖是表示本發明的實施形態中之頂板載置於頂板載置台上的狀態的前視圖。

第19A圖是用於說明本發明的實施形態中之用於驅動台車的構成的一例的俯視圖。

第19B圖是用於說明本發明的實施形態中之用於驅動台車的構成的一例的前視圖。

第20A圖是用於說明本發明的實施形態中之用於驅動台車的構成的其他例的俯視圖。

第20B圖是用於說明本發明的實施形態中之用於驅動台車的構成的其他例的前視圖。

第21A圖是用於說明本發明的實施形態中之水平維持機構的俯視圖。

第21B圖是第21A圖的A-A箭視圖(下降時)。

第21C圖是第21A圖的A-A箭視圖(上升時)。

第22圖是示意性表示本發明的實施形態中之柱移動支援機構的構成的俯視圖。

第23圖是說明本發明的實施形態中之柱移動支援機構及附帶裝置移動機構的動作的前視圖。

第24圖是表示本發明的實施形態的變形例之檢查裝置的主要構成的前視圖。

第25圖是表示本發明的實施形態之變形例的檢查裝置的主要構成的前視圖。

(第一實施形態：反射鏡的姿勢調整構造)

本實施形態係關於作為激光干涉儀等(以下也簡稱為“干涉儀”)光學測長儀的測長對象而設定的反射鏡的姿勢調整構造，且關於適於對設置於狹窄部位及/或真空中的反射鏡進行支撐並調整其姿勢的構造。

在例如應用了電子束的描繪裝置及/或檢查裝置中，具備電子束鏡筒(以下稱為“柱”)，其用於生成電子束，並對保持於台上的對象物照射該電子束，或對從對象物放出的二次電子等進行處理、解析，將該柱配置在成為與對象物相對向的位置的台的上方。

在此，在對對象物進行微細的描繪處理及/或微細的對象物檢查時，柱與對象物的高精度的位置控制是重要的，但前述高精度之基於激光干涉儀等的測長而進行的台的反饋控制，是以柱的位置不變化為前提而實施者。

但是，實際上係將柱設置於真空容器上，由於真空/大氣壓的壓差、周圍溫度及/或氣壓的變化所致的容器的變形等，前述柱的位置會發生變化，而且，由於台本身的振動、或地板及/或外部環境因素所致的振動等外部干擾，前述柱與台不僅在台工作中，即使在台為靜止狀 態時也會產生微妙的相對位置變化。

作為解決這種問題的手段，提出有如下方 法：在被稱為所謂“參照柱(column reference)”的柱的端部設置反射鏡，對該反射鏡照射激光光束，基於檢測該反射光而得的干涉儀的測長值來進行台的位置控制。根據該方法，理論上消除了柱與台的因溫度變化及/或振動等外部干擾要素所致的相對位移，能夠構成理想的測長儀系統(參照Agilent公司的產品“HP2719A”、“HP2721A”的使用說明書)。

然而，現實中在因安裝限制而無法在柱安 裝參照用反射鏡、而將參照用反射鏡安裝於柱附近的真空容器時，前述的外部干擾要素必然變多，無法發揮參照柱本來的性能及功能，難以具體實現前述方法及構成。

在要構築前述參照柱而謀求實用化的情況下，需考慮以下的狀況、條件。

就構築參照柱的方法而言，理論上可組合多台干涉儀，利用各干涉儀構成參照軸和台等的測長軸，但由於實際安裝空間及/或費用的限制等，用一個測長儀，也就是使用一併具有參照軸和測長軸的多軸的干涉儀來構築參照柱是合理的。

在該情況下，首先，相對於作為測長對象的台主體的反射鏡來調整干涉儀的姿勢，以使得從干涉儀出射的激光光束在台的反射鏡反射，並且反射光可靠地返回到前述干涉儀。由此，干涉儀被固定，測長軸的調整完 成。

接著，關於參照軸的調整，必然是前述干涉儀不動，僅對安裝於柱側的反射鏡的姿勢進行調整，但這樣的對於參照軸的反射鏡調整需要如下的條件。

第1，調整反射鏡姿勢的機構必須是對柱本身不會成為外部干擾要素的構成。具體而言，需要是：調整機構重量輕且佔有空間小、由非磁性材料形成等。

第2，在由調整機構調整之後，必須使反射鏡的姿勢不產生經時性變化。

第3，在反射鏡設置於真空中的情況下，必須能夠藉由來自大氣側的操作來調整真空下的反射鏡的姿勢。

本實施形態的課題在於，滿足參照軸的反射鏡調整所需的上述條件，實現可構築參照柱的反射鏡的姿勢調整構造，由此，實現基於干涉儀的高精度測長之台的精密反饋控制，謀求提高對保持於台上的對象物的描繪處理及/或檢查的精度。

依據附圖說明本實施形態。

第1圖表示應用了本實施形態的反射鏡的姿勢調整構造的電子束應用裝置的整體構成，圖中，符號1表示地板面，2表示防振裝置，3表示底板，4表示真空容器，5表示台，6表示柱，7表示干涉儀，8、9表示反射鏡。

圖示的電子束應用裝置是如下構成：用配置於地板面1上的防振裝置2支撐底板3，在該底板3上 設置內部生成真空環境的真空容器4，在真空容器4內收納用靜電卡盤等將電子束所照射的對象物支撐於上表面的台5，在真空容器4的上部配置電子束光學系統等的柱6。

干涉儀7係配置於真空容器4內，使自未圖 示之配置於大氣側的激光光束源發出的激光光束入射於干涉儀7，自干涉儀7向反射鏡8和反射鏡9分別照射測長用的激光光束，反射鏡8設置於台5上，反射鏡9透過後述的反射鏡保持機構10安裝於柱6的下端部，由干涉儀7接受在各反射鏡8、9被反射的激光光束，從干涉儀7作為輸出光而向大氣側輸出。並且，構成為：依據該輸出光，用未圖示的配置於大氣側的電氣構件算出干涉儀7自初始狀態的相對位移，並將該相對位移作為用於台5的反饋控制的信號而構築於控制系統內。

根據該構成，構築了以柱6的下端部為基準 的參照柱測長系統。

第2圖表示在第1圖中的柱6的下端部支撐反射鏡9的反射鏡保持機構10的外觀構成。

如第2圖所示，反射鏡保持機構10具備：基部11，係配置在安裝台6a上，安裝台6a呈L字形彎折，以柱6的設置面為基準而利用固定螺栓15固定於柱6；反射鏡保持架12，係保持反射鏡9並固定於基部11的頂端；以及間隙寬度調整構件13，係用於調整後述的形成於基部11的缺口部的間隙寬度。

反射鏡保持機構10的基部11中，固定於安 裝台6a上的固定部110與具有窄寬度的狹縫狀的缺口部113、115的可動部111呈塊狀地形成為一體，用固定螺栓14、14將載置於安裝台6a的水平安裝面上的固定部110一體地固定於安裝台6a來進行安裝。另外，在沿著固定部110與可動部111的邊界的左右兩側形成有可動位移吸收用的狹縫116、116。

可動部111包含第一可動部112和第二可動 部114，用固定螺栓14、14將反射鏡保持架12一體地固定於可動部114的頂端部，前述第一可動部112與固定部110相連，在與固定部110的下表面垂直的方向配置有在左右兩側切缺而成的一對缺口部113、113，第二可動部114與第一可動部112的頂端側相連，在與固定部110的下表面平行的方向配置有從頂端側向根部方向切缺而成的缺口部115。

如第5圖所示，前述第一可動部112係在其 一對缺口部113、113內之相對向的面內分別設置有朝向下方變窄的一對陰側錐部112a、112a，從上方將在外周面形成有與陰側錐部112a、112a組合的陽側錐部131a的螺栓型的間隙寬度調整構件131嵌入於兩陰側錐部112a、112a，並將在間隙寬度調整構件131的頂端部形成的螺紋部131b與、在第一可動部112的下側重疊的設置於安裝台6a的螺孔螺紋結合來進行固定。

而且，藉由改變間隙寬度調整構件131，131 的螺紋部131b的螺紋結合深度，可進行使第一可動部112 的缺口部113、113的間隙寬度減小或增加的調整，由此，可調整保持於反射鏡保持架12上的反射鏡9的橫向的傾斜程度。

另外，如第4圖及第6圖所示，前述第二可 動部114係由面向缺口部115的上側可動片114a和下側可動片114b所形成，在上側可動片114a的上表面配置有間隙寬度調整構件13，該間隙寬度調整構件13係包含拉緊螺栓132、按壓螺栓133、133以及固定螺栓134，拉緊螺栓132的軸部貫通上側可動片114a且與在下側可動片114b設置的螺孔114c螺紋結合，按壓螺栓133、133的軸部與在上側可動片114a設置的螺孔114d螺紋結合且軸部端部接合於下側可動片114b的上表面，固定螺栓134係在按壓螺栓133、133的兩側附近、軸部134a貫通上側可動片114a及下側可動片114b，且與在第二可動部114的下側重疊之設置於安裝台6a的螺紋孔螺紋結合來固定第二可動部114。

並且，藉由改變間隙寬度調整構件13的拉 緊螺栓132向下側可動片114b的螺紋結合深度和按壓螺栓133、133向上側可動片114a的螺紋結合深度，可進行使第二可動部114的缺口部115的間隙寬度減小或增加的調整，由此，可調整保持於反射鏡保持架12的反射鏡9的縱向的傾斜程度。

此外，在構件131至134的各間隙寬度調整 構件13的頂面設置有供後述的接近機構16的操作棒161 的下端部嵌入的凹部。另外，這些構成反射鏡保持機構10的各構件係由非磁性材料形成。

關於依據反射鏡保持機構10進行的反射鏡 9的姿勢調整，首先，操作間隙寬度調整構件131、131來調整第一可動部112的缺口部113、113的寬度，從而調整反射鏡9的橫向的傾斜程度，接著，操作間隙寬度調整構件132、133、133來調整第二可動部114的缺口部115的寬度，從而調整反射鏡9的縱向的傾斜程度，然後將間隙寬度調整構件134、134的軸部與安裝台6a螺紋結合，由此將基部11固定於安裝台6a，完成操作。

第7圖及第8圖表示在前述反射鏡保持機構 10配置於真空中的情況下，可在保持著真空的狀態下操作反射鏡保持機構10的間隙寬度調整構件13的接近機構16的構成。

如第7圖及第8圖所示，接近機構16具備 兩端部被切成六面的操作棒161及將操作棒161的外周面密封的O型圈等密封機構162，從而能夠從反射鏡保持機構10上方的大氣側進行操作。

詳細而言，如第8圖所示，在反射鏡保持機 構10的上方設置有將上方空間封閉的密封基板163，將前述操作棒161插通於在密封基板163所設置的孔部163a和其上部的構成三角槽的一部分的錐部163b，且在操作棒161的外周部配置作為密封機構162的O型圈，在前述三角槽內構成真空密封。

插通有操作棒161的密封基板163的上表 面，設置包含O型圈密封件的蓋板164而堵塞間隙，而且，在其上方覆蓋以限制調整後的操作棒161向下方位移的方式發揮作用的擋蓋165，由該擋蓋165和止擋螺栓166構成止擋機構，前述止擋螺栓166係在擋蓋165的上表面突出而與操作棒161的上端連結，由此能夠抑制因大氣和真空的壓差所產生的位移。

接近機構16能夠使得：將操作棒161的下 端部從上方嵌合於在真空下配置的反射鏡保持機構10的間隙寬度調整構件13的頂面開口部，在大氣側對操作棒161進行旋轉操作，由此使轉矩傳遞到間隙寬度調整構件13，對在反射鏡保持機構10的基部11形成的缺口部113、113、115的寬度進行調整，並將間隙寬度調整構件134、134的軸部螺紋結合於安裝台6a，將基部11固定於安裝台6a。

在將上述構成的反射鏡保持機構10安裝於 柱6的情況下，由於真空容器4及/或柱6的設計限制，有時必須將反射鏡保持機構10設置在與柱6稍微離開之柱6的周圍外側。在該情況下，反射鏡保持機構10相對於柱6以所謂的懸臂式狀態安裝，因此可能會產生因雜訊引起的位移及/或振動。

針對這種情況的對策而言，如第9圖所示， 較佳為在真空容器4側設置環狀的延長保持構件17，以貫通在該構件的內部設置的孔部17a的方式配置柱延長安裝 構件18。

詳細而言，如第11圖所示，延長保持構件 17係構成為：藉由以按壓螺栓171、止動螺母172及球體173繞著從三方支撐柱延長安裝構件18的周面，即作為由滾珠滾動體所構成的自由支撐部來支撐柱延長安裝構件18，即可消除前述懸臂狀態，且能夠確保擴大柱6的測長方向的自由度。

此外，柱延長安裝構件18較佳為由陶瓷等 低線膨脹係數的材料所構成。

此外，在圖示的方式中，顯示應用於反射 鏡9設置於真空下的裝置的情況，但本實施形態也可應用於在大氣下設置反射鏡的情況。

另外，圖示的反射鏡保持機構10及/或接近 機構16的方式是一例，本實施形態不限於此，能夠以其他適當方式構成。

(第二實施形態：頂板開閉機構及檢查裝置)

如上所述，作為在半導體的檢查裝置中收納台等的用途中所用的容器，公知有將頂板(上板)部整體開口(頂板打開)，能夠最大限度接近台的的容器。然而，在容器的側面部設置開閉門的容器、及/或在容器的一部分設置開口部，通常時要加蓋等，僅在需要時將蓋等拆下加以使用，在這樣的容器中，能夠接近台的範圍限制為安裝門及/或蓋的開口部，修理及/或保養的作業性及/或效率顯著降低。另外，其作業的可靠性也降低，作為裝置的可靠性也降低。另一 方面，在將容器的頂板整體開口(頂板打開)來接近台的方式中還存在如下問題。

容器的大小係根據加工及/或檢查的對象 物、與其相應的台的大小而各種各樣，多是一邊為1m左右的方體。另外，為了使容器內形成為真空，容器需要具備能夠承受與容器外的大氣之間的壓差的剛性，容器必須為厚壁。而且，在頂板上配置用於進行加工及/或檢查的設備即柱時，有時頂板與柱合起來成為1噸以上的重物。

因此，在將容器的頂板整體開口(頂板打開) 而成為能最大限度地接近台的方式中，打開頂板的作業並不容易。結果，用於修理及/或保養的時間及/或人工需要很多，並且裝置的停工時間(非工作時間)變多。

另一方面，在將容器的頂板部整體開口的 情況下，考慮在使頂板上升後使其沿橫向移動而將頂板打開，但此時如上所述，上升單元設定了四處的頂板的上升支撐點。另外，伴隨於此，為了將頂板的姿勢保持水平，通常需要同步機構以確保4個點的上升量。因此，需要用於設定四處的上升支撐點的空間及用於同步機構的空間，佔據了容器周邊區域，成為對其他設備的設計限制。另外，在不使用同步機構的情況下，需要一邊確認各個上升支撐點的上升量，一邊單獨地進行上升的操作，操作繁雜，而且安全方面也存在問題。

本實施形態是為解決上述問題而做出的， 其目的在於提供一種能夠使頂板水平上升的頂板開閉機 構。

以下，對於本實施形態的頂板開閉機構， 參照附圖進行說明。此外，以下說明的實施形態是例示，本發明不限定於以下說明的具體結構。在實施本發明時，只要適當採用基於實施形態的具體結構即可。以下，說明了在檢查裝置的收納台的真空容器採用本實施形態的頂板開閉機構的例子，但本實施形態的頂板開閉機構也可以應用於半導體製造裝置等其他裝置的開閉真空容器的頂板的機構。

第12圖是示意性表示本實施形態的包括頂 板開閉機構的檢查裝置的主要構成的前視圖。檢查裝置100具備：真空容器(以下簡稱為“容器”)21、柱22、附帶裝置23、殼體24、底板25、及頂板開閉機構。容器21、柱22、底板25係設置於殼體24的內部。此外，以下，對於檢查裝置100，以第12圖的左右方向作為左右方向、橫向或水平方向，以第12圖的上下方向作為上下方向、縱向或鉛直方向，以與第12圖的紙面垂直的方向作為縱深方向(裡側、近前側)。

容器21具有大致長方體形狀，由底面板、 右側面板、左側面板、前面板、背面板和上面板即頂板構成。底面板、右側面板、左側面板、前面板和背面板構成為一體(以下將其稱為“容器主體30”)，頂板40係相對於容器主體30可拆卸。在容器21的內部配置有用於載置試樣的台(未圖示)。

柱22具有大致圓筒狀的形狀。柱22係設置 於容器21的頂板40上。柱22係形成用於照射容器21的內部的試樣的線束。在容器21的頂板40的大致中央位置具有用於載置柱22的凹部。該凹部係使由柱22所形成的線束穿透。由柱22形成的線束係經由該凹部而照射到在容器21內部的台所載置的試樣。另外，來自試樣的線束也經由頂板40的凹部入射到柱22。此外，柱22係相當於構造物。

容器21係設置於高剛性的底板25上。底板25係設置於未圖示的防振裝置之上。柱22和附帶裝置23係經由固定於殼體24的收納盒26而用佈線及配管連接。佈線及配管收納於具有可撓性的電纜支架(cable bear)27。

在殼體24內更具備用於使容器21的頂板40開閉的頂板開閉機構。第13A圖及第13B圖是示意性表示本實施形態的頂板開閉機構的主要構成的俯視圖及前視圖。以下，與第12圖一起參照第13A圖及第13B圖說明頂板開閉機構。檢查裝置100中，作為頂板開閉機構而具備3個起重器210a至210c、台車220及頂板載置台230。

起重器210a至210c是液壓起重器。起重器210a至210c係以從下方支撐容器21的頂板40的外周部的近旁的3個支撐點使其上升的方式，設置於頂板40的下方。3個起重器210a至210c係由同一驅動源(液壓源)驅動。此外，起重器210a至210c係相當於上升單元。

頂板40係在俯視時呈長方形，相對於穿過 中心的假想線L為線對稱的形狀。因此，由頂板40的重力形成的朝下的負載也相對於該假想線L線而對稱。起重器210a至210c支撐頂板40的支撐點sa、sb、sc係分別設定於頂板40的外周部附近，但3個起重器210a至210c中的2個起重器210a及210c的支撐點sa及sc係設置成相對於假想線L而對稱的位置。由此，施加於起重器210a及210c的支撐點sa及sc的負載相等，藉由使施加於支撐點sa及sc的負載與施加於起重器210b的支撐點sb的負載相等，即能夠水平地支撐頂板40。

台車220與容器21的近前側和裡側對應地 設置有2台。台車220具備多個滾動體(滾子)221，能夠在頂板載置台230與容器21之間橫向移動。頂板載置台230支撐台車220的面被設定為與容器主體30的上表面的高度大致相等。此外，頂板載置台230係設置成與容器21相鄰，但由於容器21設置在固定於防振裝置的底板25上而被進行了防振處理，因此為了不往這樣的容器21傳遞振動，頂板載置台230不與容器21接觸。該台車220及頂板載置台230係相當於橫向移動機構。

對於以上這樣構成的頂板開閉機構，參照 第14圖至第18B圖說明其動作。第14圖是表示為了頂板打開而使頂板40上升的狀態的前視圖。當起重器210a至210c分別在支撐點sa至sc從下方支撐頂板40而延伸時，頂板40如第14圖所示這樣被起重器210a至210c抬起而上升。此時，起重器210a至210c係為了使台車220可插 入頂板40的下方，係將頂板40上升到足夠的高度。

第15A圖及第15B圖是表示台車220進入 上升的頂板40的下方的狀態的俯視圖及前視圖。如第14圖所示，當頂板40足夠地上升時，滾動體221旋轉由此使台車220分別朝向容器21橫向移動，移動到頂板40的下方。在該移動中，前面側的台車220及背面側的台車220中，滾動體221分別在容器主體30的前面板及背面板上滾動。台車220移動到頂板40的正下方時，在此處停止。

第16圖是表示藉由使起重器210a至210c 收縮而將頂板40載置於台車220上的狀態的前視圖。若起重器210a至210c收縮，則頂板40也隨之下降而被支撐於台車220。在頂板40被支撐於台車220後，起重器210a至210進一步收縮返回原來的位置。在該狀態下，頂板40的前面側的外周部附近和背面側的外周部附近被2台台車220所支撐，2台台車220分別被支撐於容器主體30的前面板及背面板上。

第17A圖及第17B圖是表示載置有頂板40 的台車220朝向頂板載置台230橫向移動的狀態的俯視圖及前視圖。載置有頂板40的台車220係藉由滾動體221旋轉而朝向頂板載置台230移動。由於如上所述，頂板載置台230支撐台車220的面的高度與容器主體30的上表面的高度齊平，因此台車220能夠從容器主體30的上表面(前面板及背面板的上表面)順暢地移動到頂板載置台230的台車支撐面。

第18A圖及第18B圖是表示頂板40載置於 頂板載置台230的狀態的俯視圖及前視圖。當台車220橫向移動而完全從容器主體30移動到頂板載置台230時，容器主體30的上表面被完全開放，能夠為了進行修理及/或保養等作業，而從容器主體30的上表面接近。另外，從容器主體30拆除的頂板40係在載置於台車220的狀態下被穩定地保持於頂板載置台230。

接著，說明用於驅動台車220的構成。第 19A圖及第19B圖是用於說明用於驅動台車220的構成的一例的俯視圖及前視圖。橫向移動機構中，作為用於驅動台車220的構成而具備滾珠螺桿240及線性導件250、260。 滾珠螺桿240係設置於頂板載置台230上。線性導件250係設置於頂板載置台230，線性導件260係設置於容器21。

線性導件250包含固定於頂板載置台230 的線性導軌251、及在線性導軌251上滑動的線性導塊252。線性導軌251與台車220平行、且沿著台車220的移動方向(從頂板載置台230朝向容器21的方向)延伸。線性導塊252能夠與台車220的朝向容器21的方向的後端連結。當台車220的後端連結於線性導塊252時，線性導件250係以使台車220的後端沿著線性導軌251移動的方式限制(導向)台車220的移動。

線性導件260包含線性導軌261及在線性導 軌261上滑動的線性導塊262，前述線性導軌261係固定於在容器主體30的前面板的上端附近向前方側突出形成 的線性導件支座310。線性導軌261與台車220平行且沿台車220的移動方向(從頂板載置台230朝向容器21的方向)延伸。線性導軌261係被設置成位於與線性導軌251同一直線上。線性導塊262係能夠與台車220之朝向容器21的方向的頂端連結。在台車220從頂板載置台230朝向容器主體30移動時，線性導塊262係連結於台車220的頂端，以使台車220的頂端沿著線性導軌261移動的方式限制(導向)台車220的移動。此外，在台車220向頂板載置台230側移動時，台車220的頂端與導塊262的連結被解除，而成為台車220僅越過頂板載置台230側的狀態。

滾珠螺桿240具備固定於頂板載置台230 的滾珠螺桿軸承241、可旋轉地支撐於滾珠螺桿軸承241的滾珠螺桿軸242、及能夠與台車220的後端的側面連結的滾珠螺桿螺母243。滾珠螺桿軸242係連結於未圖示的馬達等旋轉動力源，被驅動而旋轉。藉由滾珠螺桿軸242旋轉，滾珠螺桿螺母243在滾珠螺桿軸242上移動，以驅動連結於滾珠螺桿螺母243的台車220。

橫向移動機構係構成為，滾珠螺桿螺母243 到達容器21側的滾珠螺桿軸承241的位置成為頂板40相對於容器21關閉的位置(容器21與頂板40整體上重疊的位置)，在頂板40的開閉時，在該位置進行台車220與滾珠螺桿螺母243的連結或連結解除。即，在頂板40從打開位置移動到關閉位置後，用3個起重器210a至210c使頂板40上升，以進行台車220與滾珠螺桿螺母243的連結解 除，從頂板40下方抽出台車220，使其向頂板載置台230側移動。在打開頂板40時，用3個起重器210a至210c使頂板40上升後，將台車220***於頂板40下，使3個起重器210a至210c縮回而將頂板40載置到台車220上，然後進行台車220與滾珠螺桿螺母243的連結，使其向頂板載置台230側移動。

根據該例的橫向移動機構，能夠利用線性導件250、260，使台車220在所希望的軌道上準確移動。而且，尤其是在台車220在容器主體30上載置作為重物的頂板40並使該台車220朝向頂板載置台230移動的情況下，可藉由基於旋轉動力源的動力來驅動台車220。

此外，在第19A圖及第19B圖中顯示僅在前面側設置滾珠螺桿240及線性導件250、260的例子，但也可以在背面側設置同樣的構成。在該情況下，在前面側的滾珠螺桿軸和背面側的滾珠螺桿軸分別設置帶輪，用帶將這些帶輪連結，由此可經由兩滾珠螺桿軸而旋轉連結，實現兩滾珠螺桿的同步。

第20A圖及第20B圖是用以說明用於驅動台車220的構成的其他例的俯視圖及前視圖。在該例中，頂板開閉機構作為橫向移動機構而裝設在第19A圖及第19B圖的例子中說明的線性導件250及線性導件260，而且取代第19A圖及第19B圖的例子中的滾珠螺桿240而具備齒條齒輪270。齒條齒輪270係設置於頂板載置台230上。

齒條齒輪270具備：以齒輪面朝上的方式固 定於頂板載置台230的齒條271；與齒條271卡合的正齒輪(齒輪)272；固定於正齒輪272的中心的軸273；可旋轉地保持軸273且可與台車220連結的軸保持架274；以及用以旋轉正齒輪272的旋轉手柄275。此外，在第20A圖中省略了背面側的齒條齒輪270的一部分構成的圖示，但前面側所示之除了齒條齒輪270的旋轉手柄275之外的所有構成也同樣設置於背面側。而且，在前面側和背面側共用軸273，因而，在前面側和背面側，正齒輪272的旋轉量、即軸保持架274的移動量相同。

藉由使旋轉手柄275旋轉，正齒輪272會旋 轉而在齒條271上移動，於是軸保持架274也與正齒輪272一起移動，連結於軸保持架274的台車220亦移動。當正齒輪272到達齒條271的容器21側的一端時，軸保持架274與台車220的連結被解除。台車220進一步向容器21側移動，由此從頂板載置台230完全移動到容器主體30。

此外，在台車220從容器主體30朝向頂板 載置台230移動的情況下，齒條齒輪270進行與上述相反的動作。根據該例的橫向移動機構，也能夠利用線性導件250、260，使台車220在所希望的軌道上準確移動。而且，尤其是在台車220在容器主體30上載置作為重物的頂板40而使該台車220朝向頂板載置台230移動的情況下，能夠藉由基於旋轉手柄275的動力來驅動台車220。

此外，在第20A圖及第20B圖的例子中， 以手動方式使旋轉手柄275旋轉來使正齒輪272旋轉，但 也可利用馬達等旋轉動力源使正齒輪272旋轉。另外，可根據頂板負載等的負荷，利用減速器等降低操作力。另外，在上述的例子中，與台車220獨立地設置線性導件250、260及齒條齒輪270，但也可取代為，將線性導軌251、261作為齒條，將滾動體221作為正齒輪。

接著，對用於在由起重器210a至210c支撐頂板40使其上升或下降時實現水平同步的水平維持機構進行說明。第21A圖是用於說明水平維持機構的俯視圖。第21B圖及第21C圖是第21A圖的A-A前視圖，第21B圖表示下降時的狀態，第21C圖表示上升時的狀態。

水平維持機構280與起重器210a至210c係對應地具備齒條281a至281c、正齒輪(齒輪)282a至282c、及軸保持架284a至284c。齒條281a至281c係固定於頂板40，且與頂板40一起向上下左右移動。齒條281a至281c都是從頂板40的上表面向上方延伸。在齒條281a至281c，在與頂板載置台230相反的方向形成有齒輪。

軸保持架284a至284c皆係立設於底板25。在正齒輪282b的旋轉中心固定有軸283b，在正齒輪282a及282c的旋轉中心固定有共用的軸283a。軸282b係可旋轉地支撐於軸保持架284b及284d。軸保持架284b及284d係以使固定於軸284b的頂端的正齒輪282b從齒條281b之與頂板載置台230側相反的方向與齒條281b嚙合的方式支撐軸284b。另外，軸282a係可旋轉地支撐於軸保持架284a及284c。軸保持架284a及284c係以使固定於軸284a的正 齒輪282a及282c分別從齒條281a及281c之與頂板載置台230側相反的方向與齒條281a及281c嚙合的方式支撐軸284a。

在軸283a及283b的前面側的端部分別固定 有帶輪285a及285b。帶輪285a和帶輪285b係藉由同步帶286而被旋轉連結。

水平維持機構更具備線性導軌287、導塊288、及連結板289。線性導軌287係固定於容器主體30。在左右方向隔開間隔地設置有2條線性導軌287。線性導軌287具有棒狀的形狀，且設置成長度方向朝向鉛直方向。此外，線性導軌287可固定於底板25。導塊288係沿著線性導軌287的長度方向在線性導軌287上移動。導塊288係固定於連結板289。

連結板289係固定於頂板40的下方。亦即，連結板289係將頂板40和導塊288予以連結，將它們的位置關係保持為固定。因而，該左右的導塊288係彼此限制並維持上下移動時的姿勢，由此能夠以不產生因繞著縱深方向之軸的旋轉所致的頂板40的傾斜的方式維持頂板40的姿勢。此外，在第21B圖及第21C圖中，說明了對於各線性導軌287具有1個導塊288的例子，但可相對於各線性導軌287在上下設置多個導塊288。如此則能更可靠地維持連結板289的姿勢。

對如以上這樣構成的水平維持機構的動作進行說明。藉由與起重器210a對應的齒條281a及正齒輪 282a、與起重器210b對應的齒條281b及正齒輪282b、及用於將這些正齒輪282a及正齒輪282b旋轉連結的軸283a、帶輪285a、同步帶286、帶輪285b、軸283b，即可實現起重器210a和起重器210b的上升量的同步，以防止頂板40在左右方向的傾斜。

亦即，在頂板40藉由起重器210a至210c 而上升時，齒條281a及281b與頂板40一起上升。此時，正齒輪282a僅旋轉與齒條281a的上升量相應的旋轉量。 正齒輪282b亦同樣地僅旋轉與齒條281b的上升量相應的旋轉量。並且，正齒輪282a和正齒輪282b藉由軸283a及283b、帶輪285a及285b、及同步帶286而實現同步成為相同的旋轉量，因此齒條281a及281b的上升量也相同。由此，在使頂板40上升時，實現起重器210a和起重器210b的同步，以防止頂板40在左右方向的傾斜。

此外，藉由線性導軌287、導塊288及連結 板289，也能防止頂板40在左右方向的傾斜。亦即，連結板289將頂板40與2個導塊288予以連結，將它們的位置關係保持為固定。因而，該左右的導塊288彼此限制並維持上下移動時的姿勢，由此能夠以不產生因繞著縱深方向之軸的旋轉所致的頂板40的傾斜的方式維持頂板40的姿勢。

另外，藉由與起重器210a對應的齒條281a 及正齒輪282a、與起重器210c對應的齒條281c及正齒輪282c、及用於將這些正齒輪282a及正齒輪282c旋轉連結 的軸283a，來實現起重器210a與起重器210c的上升量的同步，以防止頂板40在前後方向(縱深方向)的傾斜。但是，如上所述，起重器210a的支撐點sa與起重器210c的支撐點sc係位於相對於假想線L而線對稱的位置，因此關於起重器210a和起重器210c，實現上升量的同步的必要性低。因而，關於起重器210c，可省略齒條281c及正齒輪282c。

固定於頂板40的齒條281a至281c皆係相對於固定在底板25的正齒輪282a至282c而位於頂板載置台230側，因此藉由水平維持機構維持水平地上升後的頂板40被載置於台車220並朝向頂板載置台230移動時，正齒輪282a至282c與齒條281a至281c的卡合脫離，留下正齒輪282a至282c，齒條281a至281c與頂板40一起朝向頂板載置台230移動。相反地，在使頂板40返回容器主體30時，齒條281a至281c與頂板40一起從頂板載置台230側向正齒輪282a至282c靠近，最後與正齒輪282a至282c卡合。

接著，參照第13圖及第22圖，說明支援作為頂板上構造物的柱22伴隨頂板40的橫向移動而進行橫向移動的柱移動支援機構、及與柱22的橫向移動同步地使附帶裝置23沿橫向移動的附帶裝置移動機構。第22圖是柱移動支援機構的俯視圖。柱移動支援機構具備導塊36及軌道37。軌道37係以長度方向朝向左右方向(水平方向)的方式固定於殼體24的內部。連接於柱22的佈線及配管係收納於可撓性的電纜支架27，收納於電纜支架27的佈 線及配管係經由固定於導塊36的連接收納體38而與柱22及/或其他頂板上構造物的必要部位連接。該連接收納體38係設置成在左右方向與柱22或頂板上構造物隔開間隙，因而，若頂板40向橫向移動則間隙消除而接觸，與頂板40及柱22成一體地沿橫向移動。亦即，導塊36沿著軌道37在左右方向移動。

附帶裝置移動機構具備導塊39及軌道200。 導塊39係固定於附帶裝置23的下方。軌道200係以長度方向朝向左右方向的方式固定於殼體24的上表面。導塊39與附帶裝置23成一體地沿軌道200在左右方向移動。

接著，對柱移動支援機構及附帶裝置移動 機構的動作進行說明。第23圖是說明柱移動支援機構及附帶裝置移動機構的動作的圖。從在台車220載置了頂板40之後，如第23圖所示，在使頂板40移動到頂板載置台230時，伴隨頂板40的橫向移動，導塊36在軌道37滑動，由此佈線及配管係連接於頂板40上的柱22的連接收納體38而與柱22及頂板40一起移動。

此時，由於收納盒26固定於殼體24，因此 在柱22的橫向移動時也不會移動。將連接收納體38和收納盒26予以連接的佈線及配管，係收納於具有可撓性的電纜支架27，因此隨著連接收納體38的移動，將連接收納體38和收納盒26予以連接的電纜支架27會發生變形，且佈線及配管會追隨連接收納體38的移動。此外，連接收納體38係在頂板40橫向移動之前被設置成與頂板上構造物 及/或柱在左右方向具有微小間隙，在頂板移動時，該間隙消失而接觸，由此連接收納體38與頂板40及柱22一起移動。

此時，固定於附帶裝置23的導塊39係與柱 22及頂板40的橫向移動同步地在軌道200上滑動，由此，附帶裝置23與柱22及頂板40的橫向移動同步地進行橫向移動。將附帶裝置23和收納盒26予以連接的佈線及配管係收納於具有可撓性的電纜支架27，因此隨著附帶裝置23的移動，將附帶裝置23和收納盒26予以連接的電纜支架27會發生變形，佈線及配管會追隨附帶裝置23的移動。

藉由這樣的柱移動支援機構及附帶裝置移 動機構的動作，在將載置有柱22的頂板40從容器主體30拆下而使其移動到頂板載置台230的情況下，也不需要切斷柱22與佈線及配管的連接，即能夠順暢地進行頂板40的開閉動作。另外，由於佈線及配管由具有可撓性的電纜支架27所捆繞，因此即使在柱22及/或附帶裝置23沿橫向移動時，佈線及配管也不會變得繁雜。

第24圖及第25圖是表示變形例的檢查裝置 的主要構成的前視圖。在本變形例中，柱22係藉由懸吊構件201而懸吊。懸吊構件201的下端係固定於柱22，上端則固定於附帶裝置23。柱22能夠與附帶裝置23一起沿橫向移動。此時，如第25圖所示，柱22與連接收納體38及支撐該連接收納體38的導塊36獨立地沿橫向移動。

根據這樣的結構，附帶裝置23及柱22能夠 彼此同步、且與頂板40獨立地橫向移動。如在上述實施形態所說明，載置於頂板40上的柱22是重物，若與頂板40成為一體而移動，則頂板40的移動需要很大的驅動力，但根據本變形例，能夠使柱22與頂板40獨立地移動，因此容易進行柱22的修理及/或保養。此外，在本變形例中，在將頂板40載置於台車220上使其橫向移動時，也可使連接收納體38及導塊36與頂板40一起橫向移動，由此可容易地接近拆下頂板40而成為開放之容器主體30的上表面。

另外，在上述實施形態中，就防止左右方 向的傾斜的水平維持機構而言，雖係採用包含正齒輪282a及282b、軸283a及283b、帶輪285a及285b、及同步帶286的構成，以及包含線性導軌287、導塊288及連結板289的構成，但也可僅採用這2個機構中的任一個。

另外，在上述實施形態中，就用於抬起頂 板40的結構而言，雖係採用液壓起重器210a至210c，但也可採用除此之外的驅動裝置或驅動機構。而且，在上述實施形態中，雖說明了作為用於使檢查裝置的收納台之真空容器的頂板開閉的機構而應用頂板開閉機構的例子，但頂板開閉機構也可應用於用於使除此之外的容器的頂板開閉的機構。

另外，在上述的實施形態中，頂板40係在 俯視時呈長方形，但頂板40亦可是其他形狀。例如可以是，容器主體30呈筒狀，頂板40在俯視時呈圓形。

本實施形態中，由於以3個點支撐頂板使其 上升，因此成為在所有支撐點始終施加頂板之負載的形態，具有能夠抑制使頂板傾斜上升的動作、且能夠使頂板水平地上升之效果，並且作為對對象物進行加工的半導體製造裝置、及/或對對象物進行檢查的檢查裝置等所使用的容器的頂板(上板)的開閉機構等是有用的。

Claims (12)

1. 一種頂板開閉機構，係用於使包含容器主體和剛體的頂板的容器的前述頂板開閉，該頂板開閉機構具備上升單元，前述上升單元係以3個支撐點從下方支撐前述頂板並使前述頂板上升，其中前述頂板為相對於預定的假想線而線對稱的形狀，3個支撐點中的2個支撐點也位於相對於前述預定的假想線而線對稱的位置；且該頂板開閉機構更具備水平維持機構，前述水平維持機構係在前述2個支撐點和前述另1個支撐點之間實現前述頂板的上升量的同步；前述水平維持機構係具備：位置相對於前述頂板固定的多個齒條；及正齒輪，前述正齒輪與前述多個齒條的各個嚙合，並且固定於可旋轉的1個軸，前述可旋轉的1個軸的位置係相對於前述容器主體固定；並且，在前述水平維持機構中，藉由伴隨前述頂板的上升而使與前述多個齒條分別嚙合的前述正齒輪旋轉，來修正前述頂板的傾斜。
2. 如申請專利範圍第1項所述的頂板開閉機構，其中，前述上升單元係利用共用的液壓泵來進行工作、分別從下方支撐前述頂板的前述3個支撐點的3個液壓起重器。
3. 如申請專利範圍第1項所述的頂板開閉機構，其中，更具備橫向移動機構，前述橫向移動機構係使藉由 前述上升單元而上升的前述頂板橫向移動。
4. 如申請專利範圍第3項所述的頂板開閉機構，其中，前述橫向移動機構係具備與前述容器主體相鄰、且用於載置移動後的前述頂板的頂板載置台，能夠使前述頂板移動到頂板載置台上。
5. 如申請專利範圍第3項所述的頂板開閉機構，其中，前述橫向移動機構係具備載置前述頂板並橫向移動的台車，在藉由前述上升單元而上升的前述頂板的下方***前述台車，使前述頂板下降而將前述頂板載置於前述台車。
6. 如申請專利範圍第5項所述的頂板開閉機構，其中，前述台車係具備滾動體。
7. 如申請專利範圍第1項所述的頂板開閉機構，其中，在前述頂板上載置有構造物，前述頂板開閉機構更具備構造物移動支援機構，前述構造物移動支援機構係支援伴隨前述頂板的移動之前述構造物的移動。
8. 如申請專利範圍第7項所述的頂板開閉機構，其中，在前述構造物連接有前述構造物所附帶的附帶裝置，前述頂板開閉機構更具備附帶裝置移動機構，前述附帶裝置移動機構係與前述構造物的移動同步地使前述附帶裝置移動。
9. 如申請專利範圍第8項所述的頂板開閉機構，其中， 前述構造物與前述附帶裝置係藉由佈線及/或配管而連接，前述頂板開閉機構更具備收納盒，前述收納盒係收納前述佈線及/或配管，在前述構造物及前述附帶裝置移動時也不會移動，前述佈線及/或配管係收納於具有可撓性的電纜支架。
10. 如申請專利範圍第1項所述的頂板開閉機構，其中，前述佈線及/或配管係經由連接收納體而連接於前述構造物。
11. 如申請專利範圍第1項所述的頂板開閉機構，其中，在前述頂板上載置有構造物，前述頂板開閉機構更具備構造物移動支援機構，前述構造物移動支援機構係使前述構造物的一部分與前述頂板的移動獨立地移動。
12. 一種檢查裝置，係用於對被檢查物進行檢查，該檢查裝置具備：用於收納前述被檢查物的容器，係包含容器主體和頂板；柱，係設置於前述頂板上，用於對收納於前述容器的前述被檢查物照射線束；以及頂板開閉機構，係用於使前述頂板開閉；且前述頂板開閉機構具備上升單元，前述上升單元係以3個支撐點從下方支撐前述頂板並使前述頂板上 升；其中前述頂板為相對於預定的假想線而線對稱的形狀，3個支撐點中的2個支撐點也位於相對於前述預定的假想線而線對稱的位置；且該頂板開閉機構更具備水平維持機構，前述水平維持機構係在前述2個支撐點和前述另1個支撐點之間實現前述頂板的上升量的同步；前述水平維持機構係具備：位置相對於前述頂板固定的多個齒條；及正齒輪，前述正齒輪與前述多個齒條的各個嚙合，並且固定於可旋轉的1個軸，前述可旋轉的1個軸的位置係相對於前述容器主體固定；並且，在前述水平維持機構中，藉由伴隨前述頂板的上升而使與前述多個齒條分別嚙合的前述正齒輪旋轉，來修正前述頂板的傾斜。