KR20000002998A - 엘씨디 글래스 세정장치 - Google Patents

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정찬광
김대옥
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윤종용
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Abstract

본 발명은 세정 챔버중 LCD 글래스의 상부에 LCD 글래스와 평행하고 세정액 분사 방향은 LCD 패널에 대하여 수직 방향을 갖는 세정액 수직 분사노즐을 설치하고, 세정 챔버의 측면에 LCD 글래스에 대하여 수직으로 설치됨과 동시에 회전하면서 세정액을 분사하는 회전 세정액 분사 노즐을 구비하여 세정력을 향상시킨 LCD 글래스 세정장치에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 세정이 진행되는 세정 챔버와, 세정 챔버로 투입된 LCD 글래스의 상부에서 LCD 글래스 방향을 갖도록 세정액을 분사시키는 제 1 세정액 공급 유닛과, 세정 챔버의 측면에 설치되어 상기 LCD 글래스와 평행한 방향으로 세정액을 분사시키는 제 2 세정액 공급 유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

엘씨디 글래스 세정장치
본 발명은 LCD 글래스 세정장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 세정 챔버중 LCD 글래스의 상부에 LCD 글래스와 평행하고 세정액 분사 방향은 LCD 패널에 대하여 수직 방향을 갖는 세정액 수직 분사노즐을 설치하고, 세정 챔버의 측면에 LCD 글래스에 대하여 수직으로 설치됨과 동시에 회전하면서 세정액을 분사하는 회전 세정액 분사 노즐을 구비하여 세정력을 향상시킨 LCD 글래스 세정장치에 관한 것이다.
일반적으로 LCD 글래스의 상면에는 반도체 소자 제조 공정과 유사한 공정에 의하여 화소에는 액정을 배열시키기 위한 스위칭 소자인 박막트랜지스터가 형성된다.
이 박막트랜지스터를 형성하기 위해서는 LCD 글래스상에 포토레지스트 도포-현상-식각-현상액 세정의 과정을 반복적으로 수행하여야 한다.
물론, 이와 같은 공정은 박막트랜지스터 이외에도 공통전극인 ITO 전극을 형성할 때에도 동일하게 수행된다.
이와 같은 박막트랜지스터를 형성함에 있어 식각 공정 후 필수적으로 수행되는 현상액 세정 공정은 현상액 분사 방법에 있어서 다시 딥(dip) 방식과, 퍼들 방식과, 샤워 방식 등이 있다.
딥 방식은 LCD 글래스를 세정액에 담궈 세정을 진행하는 방식이고, 퍼들 방식은 세정액을 LCD 글래스에 떨어뜨려 세정을 수행하는 방식이고, 샤워 방식은 세정액을 일정시간 LCD 글래스에 일정 압력으로 분사하는 방식을 말한다.
첨부된 도면을 참조하면 분사 방식 세정장치(10)는 세정 챔버(1)와, 챔버(1)의 상부에 세정액을 공급하는 세정액 공급관(2)과, 세정액 공급관(2)의 단부와 연통되어 세정액을 균일한 압력으로 분사하는 분사관(3)과, 분사관(3)에 형성되어 있는 분사 노즐을 포함하고 있다.
또한, 분사 방식 세정장치(10)는 분사 노즐보다 하부에 위치하고 있는 LCD 글래스(4)가 놓여짐과 동시에 이송되도록 글래스 이송 롤러(5)가 설치된다.
한편, 분사 방식 세정장치(10)에는 분사 노즐에 의하여 LCD 글래스(4)로 분사된 세정액을 배출하기 위하여 LCD 글래스(4)의 저면에는 세정액 배출구(6)가 형성되어야 한다.
세정액 배출구(6)에 형성된 세정액은 펌프(미도시) 및 필터(미도시)에 의하여 여과된 후, 세정액 공급부(7)으로 재공급된다.
그러나, 종래 분사 방식 세정장치에는 한번에 6 매 내지 10 매의 LCD 글래스가 동시에 투입되어 LCD 글래스의 상부에서 LCD 글래스의 하부로 분사되는 세정액에 의하여 균일한 세정이 어려운 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 종래 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 목적은 LCD 글래스의 상부에서 LCD 글래스로 세정액을 분사함과 동시에 LCD 글래스와 LCD 글래스 사이에도 세정액이 원할하게 공급되도록 LCD 글래스의 측면에서 세정액을 공급하여 세정 효율이 증대되도록 함에 있다.
도 1은 종래 LCD 글래스 세정장치를 도시한 단면도.
도 2는 본 발명에 의한 LCD 글래스 세정장치를 도시한 사시도.
이와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 LCD 글래스 세정장치는 세정이 진행되는 세정 챔버와, 세정 챔버로 투입된 LCD 글래스의 상부에서 LCD 글래스 방향을 갖도록 세정액을 분사시키는 제 1 세정액 공급 유닛과, 세정 챔버의 측면에 설치되어 상기 LCD 글래스와 평행한 방향으로 세정액을 분사시키는 제 2 세정액 공급 유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명 LCD 글래스 세정장치를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 의한 LCD 글래스 세정장치(100)는 전체적으로 보아 세정이 진행되는 세정 챔버(110)와, 세정액 수직 분사 유닛(120)과, 세정액 회전 분사 유닛(130)으로 구성된다.
세정 챔버(110)는 상면이 개구된 육면체 형상으로 세정 챔버(110)의 하부에는 세정액 배출구(160)가 형성된다.
이와 같은 세정 챔버(110)의 상면에는 세정액 수직 분사 유닛(120)이 설치된다.
세정액 수직 분사 유닛(120)은 세정액 공급관(122)과, 세정액 공급관(122)에 형성된 다수개의 세정액 분사 노즐(125)로 구성된다.
세정액 공급관(122)에는 세정액 공급부(130)가 연통되어 세정액이 공급되는데, 세정액 공급부(130)와 세정 챔버(110)의 세정액 배출구(160)는 연결 배관(미도시)에 의하여 연결되며, 연결 배관에는 필터(미도시)와, 펌프(미도시)가 설치된다.
한편, 세정 챔버(110)의 측면에는 세정액 회전 분사 유닛(130)이 설치된다.
세정액 회전 분사 유닛(130)은 세정 챔버(110)의 측면에 설치됨과 동시에 측면에 평행하게 수직으로 설치된다.
이와 같이 세정 챔버(110)에 설치된 세정액 회전 분사 유닛(130)은 세정액 공급관 2 개가 서로 직각이 되도록 교차시킨 상태에서 각각의 세정액 공급관(135)에 설치된 분사 노즐(136)로 구성된다.
교차된 세정액 공급관(135)중 교차된 부분에는 모터(138)의 회전축(139)이 결합되어 모터(138)에 의하여 세정액 공급관(135)은 소정 분당 회전수로 회전되어 세정액 공급부(130)로부터 공급된 세정액은 세정액 회전 분사 유닛(130)과, 세정액 수직 분사 유닛(120)으로 각각 공급됨과 동시에 세정액 회전 분사 유닛(130)의 모터(138)는 회전되면서 LCD 글래스(140)에 부착된 미세 파티클 또는 식각액을 클리닝한다.
이때, 세정액 공급관(135)은 회전됨으로 세정액 공급관(135)이 회전한 상태에서도 세정액 공급관(135)으로 항상 세정액이 공급되도록 한다.
이상에서 상세하게 설명한 바와 같이 LCD 글래스의 상부에서 LCD 글래스 쪽으로 세정액을 분사함과 동시에 LCD 글래스에 대하여 수직된 방향으로부터 세정액을 LCD 글래스로 공급하여 세정액의 LCD 글래스의 세정력을 향상시키는 효과가 있다.

Claims (2)

  1. 세정이 진행되는 세정 챔버와;
    상기 세정 챔버로 투입된 LCD 글래스의 상부에서 LCD 글래스 방향을 갖도록 세정액을 분사시키는 제 1 세정액 공급 유닛과;
    상기 세정 챔버의 측면에 설치되어 상기 LCD 글래스와 평행한 방향으로 세정액을 분사시키는 제 2 세정액 공급 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 LCD 글래스 세정장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 세정액 공급 유닛()은 상기 세정 챔버의 측면을 관통한 회전축을 갖는 모터와;
    교차된 상태로 교차점이 상기 회전축에 설치되며 다수개의 분사노즐이 형성된 세정액 공급관을 포함하는 것을 특징으로 하는 LCD 글래스 세정장치.
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