KR19990058608A - 클린룸용 에어필터 평가장치 및 이를 이용한 평가방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 클린룸용 에어필터 평가장치 및 이를 이용한 평가방법에 관한 것이다.
본 발명은, 소정의 공간을 갖는 본체; 상기 본체의 상부에 위치하는 에어공급부; 상기 본체 내에 위치하며 평가할 에어필터를 고정하는 지지대; 및 상기 본체의 하부 후면에 형성되는 에어배기구를 구비하여 이루어진다.
본 발명에 따른 에어필터의 평가방법은 상기 평가장치의 바닥에 오염도를 측정할 웨이퍼를 내재시키는 단계; 에어공급관을 통하여 강제 오염시킨 에어를 공급하는 단계; 상기 에어의 상기 에어필터 통과 전·후 상기 에어 분석단계; 및 상기 웨이퍼의 표면을 분석하는 단계 구비하여 이루어진다.
따라서, 작업장소와 같은 분위기의 환경이 조성되어 실제와 유사한 가상실험(Simulation)을 할 수 있으며, 일부분이 아닌 실제 크기와 같은 에어필터가 사용되므로 정확한 평가가 될 수 있는 효과가 있다.
Description
본 발명은 클린룸용 에어필터 평가장치 및 이를 이용한 평가방법에 관한 것한 것이다.
현대는 첨단산업의 시대로 생산공정의 초정밀화, 고순도화 및 무균화 추세에 따라 첨단제품의 성능과 생산수율을 향상시키기 위한 청정기술은 핵심기술이다.
이러한 청정기술을 바탕으로 국부적이 아닌 총체적인 개념하에 생산공간의 환경을 청정하게 만드는 설비가 클린룸이다.
상기 클린룸은 일정 목적의 작업공간으로써 그 공간의 공기 중에 떠다니는 부유입자를 원하는 숫자이하로 제어함으로써 그 공간에서 행하여지는 작업대상체의 내부 및 외부에 먼지가 다다르지 못하게 하는 공간을 말한다. 따라서 상기 클린룸은 미립자가 주로 문제가 되는 반도체, 액정화면표시장치, 전자, 신소재, 정밀기계공업 분야, 반도체용 화학약품을 제조하는 화학공장, 식품공업, 농업분야 나아가 우주개발에도 사용되고 있다.
현재 반도체소자는 64MDRAM이 양산되고 있으며, 256MDRAM의 양산준비와 함께 1GDRAM 및 4GDRAM 개발에 박차를 가하고 있다.
또한 적층되는 실리콘산화막의 박막두께는 8nm 이하로서 최첨단의 초미세가공기술을 구사하지 않으면 안된다. 이러한 초미세가공기술을 지원하는 것이 클린룸 기술이다.
상기 클린룸의 청정도를 유지하기 위하여 가장 중요한 역할을 하는 것이 에어필터(Air Filter)이다.
상기 에어필터를 평가하기 위하여 종래에는 상기 에어필터를 부분적으로 절단하여 평가하였다. 그러나 상기 에어필터를 부분적으로 평가하는 것은 실제 상황과 많은 차이가 보이며, 상기 부분평가의 결과로부터 클린룸 전체 상황으로 확대해석하는 것은 어려움이 있다.
본 발명의 목적은, 상기 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서 평가할 필터를 절단하지 않고 상기 필터의 필터링 성능을 평가할 수 있는 평가장치를 제작하여 정확한 평가 결과를 얻는 데 있다.
도1은 본 발명에 의한 클린룸용 에어필터 평가장치를 나타내는 정면도이다.
도2는 본 발명에 의한 클린룸용 에어필터 평가장치를 나타내는 측면도이다.
도3은 본 발명에 의한 클린룸용 에어필터 평가장치를 이용하여 상기 에어필터를 평가하는 방법을 나타내는 공정순서도이다.
※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
2 ; 에어공급부 4 ; 본체
6 ; 에어필터 7 ; 받침대
8 ; 문 10 ; 타공판
12 ; 에어배기구 14 ; 바퀴
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 클린룸용 에어필터 평가장치는 소정의 내부 공간을 갖는 본체, 상기 본체의 내부 공간으로 에어를 공급하기위해 상기 본체의 상부에 위치하는 에어공급부, 상기 본체 내에 위치하며 평가할 에어필터를 고정할 수 있는 지지대 및 상기 본체의 내부로 공급된 에어를 배기하기 위하여 상기 본체의 하부 후면에 형성되어 있는 에어배기구를 구비하여 이루어진다.
상기 에어필터는 헤파(HEPA : High Efficiency Paticulate Air) 필터 또는 유울파(ULPA : Ultra Low Penetration Air) 필터일 수 있다.
상기 본체의 앞면은 소정의 문이 형성되어 있어 상기 본체 내로 상기 에어필터 또는 오염도를 평가하기 위한 웨이퍼를 넣을 수 있으며, 상기 본체 하단에는 이동이 가능하도록 소형의 바퀴가 부착될 수 있다.
상기 에어배기구 앞에는 다수의 구멍이 형성된 소정의 판이 구성될 수 있다.
상기 평가장치의 재료는 피브이시(PVC)로 할 수 있다.
본 발명에 따른 에어필터의 평가방법은 상기 평가장치의 바닥에 오염도를 측정할 웨이퍼를 내재시키는 단계, 에어공급부를 통하여 강제 오염시킨 에어를 공급하는 단계, 상기 에어의 상기 에어필터 통과 전 상기 에어 분석단계, 상기 에어의 상기 에어필터 통과 후 상기 에어 분석단계; 및
상기 웨이퍼의 표면을 분석하는 단계를 구비하여 이루어진다.
상기 강제오염시키는 오염물질은 금속성, 이온성 및 유기성 오염물 일 수 있다.
이하, 본 발명의 구체적인 일 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도1은 본 발명에 의한 클린룸용 에어필터 평가장치를 나타내는 정면도이다.
도2는 본 발명에 의한 클린룸용 에어필터 평가장치를 나타내는 측면도이다.
도1 및 도2에서 보는 바와 같이 소정의 공간을 갖는 본체(4), 상기 본체 상부에는 작업장소와 같은 분위기의 환경이 조성되도록 실제와 같은 에어를 상기 본체로 넣어주는 에어공급부(2)가 있다. 상기 본체(4)의 앞면에는 소정의 문(8)이 형성되어 있어 상기 본체 내로 평가할 에어필터(6) 또는 오염정도를 알아보기 위한 웨이퍼를 넣을 수 있다. 상기 본체(4) 내에는 상기 에어필터(6)를 지지하는 받침대(7)가 설치되어 있다. 상기 본체(4) 하부 후면에는 상기 에어필터(6)를 통과한 에어를 배기하는 에어배기구(12)가 설치되어 있다. 상기 에어배기구(12) 앞에는 다수의 구멍이 형성된 타공판(10)이 설치되어 있다. 상기 타공판(10)은 상기 에어의 흐름을 조절하는 역할을 하며, 상기 에어가 빠르게 배기되는 것을 방지한다. 상기 본체(4)의 하단부에는 상기 평가장치를 손쉽게 이동하기 위한 바퀴(14)가 설치되어 있다.
상기 평가장치의 재료는 피브이시(PVC)로 하여 상기 평가장치로부터 역오염되는 것을 최소화 한다.
도3은 본 발명에 의한 클린룸용 에어필터 평가장치를 이용하여 상기 에어필터를 평가하는 방법을 나타내는 공정순서도이다.
도3에서 보는 바와 같이 처음 평가장치의 바닥에 에어의 오염도를 측정할 웨이퍼를 내재시킨다. 다음 금속성, 이온성 및 유기성 파티클을 강제오염시킨 에어를 에어공급부를 통하여 공급시킨다. 다음 상기 오염된 에어가 필터를 통과하기 전에 상기 에어의 오염정도를 분석한다. 다음 상기 에어가 상기 필터를 통과 후에 상기 에어의 오염정도를 분석하여 상기 필터의 필터링 능력을 분석한다. 또한 상기 분석장치의 바닥에 내재되었던 상기 웨이퍼 표면을 분석하여 실질적인 상기 필터의 성능을 평가한다.
따라서, 본 발명에 의하면 상술한 바와 같이 작업장소와 같은 분위기의 환경이 조성되어 실제와 유사한 가상실험(Simulation)을 할 수 있으며, 일부분이 아닌 실제 크기와 같은 에어필터가 사용되므로 정확한 평가가 될 수 있는 효과가 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
Claims (7)
- 소정의 내부 공간을 갖는 본체;상기 본체의 내부 공간으로 에어를 공급하기위해 상기 본체의 상부에 위치하는 에어공급부;상기 본체 내에 위치하며 평가할 에어필터를 고정할 수 있는 지지대; 및상기 본체의 내부로 공급된 에어를 배기하기 위하여 상기 본체의 하부 후면에 형성되어 있는 에어배기구;를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 클린룸용 에어필터 평가장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 에어필터는 헤파(HEPA : High Efficiency Paticulate Air) 필터 또는 유울파(ULPA : Ultra Low Penetration Air) 필터인 것을 특징으로 하는 상기 클린룸용 에어필터 평가장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 본체의 앞면은 소정의 문이 형성되어 있어 상기 본체 내로 상기 에어필터 및 오염도를 알아보기 위한 웨이퍼를 넣을 수 있는 것을 특징으로 하는 상기 클린룸용 에어필터 평가장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 본체 하단에는 이동이 가능하도록 소형의 바퀴가 부착된 것을 특징으로 하는 상기 클린룸용 에어필터 평가장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 에어배기구 앞에는 다수의 구멍이 형성된 소정의 판이 구성되는 것을 특징으로 하는 상기 클린룸용 에어필터 평가장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 평가장치의 재료는 피브이시(PVC)인 것을 특징으로 하는 상기 클린룸용 에어필터 평가장치.
- 소정의 내부 공간을 갖는 본체와 상기 본체의 내부 공간으로 에어를 공급하는 에어공급부와 상기 본체의 내부로 공급된 에어를 배기하기 위하여 상기 본체의 하부 후면에 형성되어 있는 에어배기구를 구비하여 이루어지는 클린룸용 에어필터 평가장치를 사용한 에어필터의 평가방법에 있어서,상기 평가장치의 바닥에 오염도를 측정할 웨이퍼를 내재시키는 단계;에어공급관을 통하여 강제 오염시킨 에어를 공급하는 단계;상기 에어의 상기 에어필터 통과 전 상기 에어 분석단계;상기 에어의 상기 에어필터 통과 후 상기 에어 분석단계; 및상기 웨이퍼의 표면을 분석하는 단계;를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 클린룸용 에어필터 평가방법.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1019970078750A KR19990058608A (ko) | 1997-12-30 | 1997-12-30 | 클린룸용 에어필터 평가장치 및 이를 이용한 평가방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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Publications (1)
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| KR19990058608A true KR19990058608A (ko) | 1999-07-15 |
Family
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Family Applications (1)
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| KR1019970078750A KR19990058608A (ko) | 1997-12-30 | 1997-12-30 | 클린룸용 에어필터 평가장치 및 이를 이용한 평가방법 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100391655B1 (ko) * | 2000-12-29 | 2003-07-12 | 현대자동차주식회사 | 차량용 자동 변속기의 댐퍼 클러치 제어 방법 |
| KR101514300B1 (ko) * | 2013-11-06 | 2015-04-22 | (주) 크린필텍 | 크린룸 사용필터의 필터링 성능 측정장치 및 방법 |
-
1997
- 1997-12-30 KR KR1019970078750A patent/KR19990058608A/ko not_active Application Discontinuation
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| KR101514300B1 (ko) * | 2013-11-06 | 2015-04-22 | (주) 크린필텍 | 크린룸 사용필터의 필터링 성능 측정장치 및 방법 |
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