KR19990035554A - 스토커 설비 구조 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 스토커 설비 구조에 관한 것으로, 반입 또는 반출될 캐리어 박스가 반입·반출용 컨베이어 대신에 설치한 포트를 이용으로써 스토커의 신뢰성을 향상시킬 수 있고 스토커의 유지 보수비용을 절감할 수 있다.
또한, 캐리어 박스를 반입하는 작업자와 캐리어 박스를 반출하는 로봇이 전체의 포트를 공동으로 이용할 수 있도록 포트를 반입·반출 혼용으로 사용함으로써 작업시간을 단축시킬 수 있다.

Description

스토커 설비 구조
본 발명은 스토커 설비 구조에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 캐리어 박스(carrier box)를 스토커(stocker) 내부 또는 외부로 이송시키는 컨베이어부(conveyor) 대신 캐리어 박스의 반입·반출 여부를 표시하는 표시장치가 구비된 포트를 설치하여 스토커 설비의 신뢰성 및 작업성의 능률을 향상시킨 스토커 설비 구조에 관한 것이다.
일반적으로 스토커는 선행 공정이 완료된 웨이퍼가 적재되어 있는 캐리어 박스를 반입시켜 일정시간 동안 임시적으로 보관하고 있다가 후속 공정이 진행될 때 스토커 내부로 반입된 캐리어 박스를 다시 외부로 반출시키는 설비이다.
스토커(1)는 도 1에 도시된 바와 같이 스토커 외함(20)과, 스토커(1) 내부로 반입된 캐리어 박스(10)를 저장하기 위해 다층으로 설치된 선반(30)과, 스토커(1) 내부에 저장된 캐리어 박스(10)를 스토커(1) 외부로 반출시키고 외부의 캐리어 박스(10)를 스토커(1) 내부로 반입시키는 컨베이어부(100)와, 스토커(1) 내부의 천장 및 바닥에 설치된 수평레일(41)(43)을 따라 이동하며 컨베이어부(100)에 놓인 캐리어 박스(10)를 선반(30)으로 이송하고 선반(30)에 놓인 캐리어 박스(10)를 컨베이어부(100)로 이송하는 로봇(50)으로 구성되어 있다.
여기서, 컨베이어부(100)는 스토커(1)의 하단부 소정영역에 설치되며 작업자가 캐리어 박스(100)를 컨베이어부(100)에 반입 또는 반출시키도록 컨베이어부(100)의 일부분이 스토커 외함(20)에서 돌출되어 있다. 이러한, 컨베이어부(100)는 선행 공정이 완료된 캐리어 박스(10)를 스토커(1) 내부로 반입시키는 반입용 컨베이어부(100a)와, 선반(30)에 적재된 캐리어 박스(10)를 스토커(1) 외부로 반출시키는 반출용 컨베이어부(100b)로 구분된다.
반입용 컨베이어부(100a)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 캐리어 박스(10)가 투입되는 투입구(110)와, 캐리어 박스(10)의 투입 여부를 스토커 설비의 제어부(미도시)에게 알려주는 신호버튼(120)과, 반입용 컨베이어부(100a)로 반입된 캐리어 박스(10)를 지지해주는 지지대(130)와, 지지대(130)의 소정영역에 설치되어 캐리어 박스의 존재 유무를 감지하는 감지부(140)와, 반입용 컨베이어부(100a)로 투입된 캐리어 박스(10)를 스토커(1) 내부로 이송시켜 주는 캐리어 박스 이송부(170)로 구성되어 있다.
투입구(110)는 스토커 외함(20)에서 돌출된 반입용 컨베이어부(100a)의 전면 소정영역에 설치되며, 신호버튼(120)은 투입구(110)의 상부에 설치된다.
또한, 지지대(130)는 투입된 캐리어 박스(10)를 스토커(1) 내부로 이송하기 위해서 투입구(110)가 설치되어 있는 영역에서 스토커(1) 내부 소정영역까지 연장되어 있다. 이러한, 지지대(130)는 투입구(110)와 인접한 지지대(130)의 일단부 소정영역에 걸림턱이 형성되어 반입용 컨베이어부(100a) 내로 투입된 캐리어 박스(10)를 지정된 장소에 놓을 수 있도록 안내하는 제 1 가이드부(131)와, 지지대(130)의 타단부에 소정영역에 걸림턱이 형성되어 스토커(1) 내부로 이송된 캐리어 박스(10)를 지정된 장소에 놓을 수 있도록 안내하는 제 2 가이드부(133)와, 지지대(130)의 중앙부분에서 길이방향으로 형성되어 제 1 가이드부(131)와 제 2 가이드부(132)를 연결하는 슬릿(slit)(135)으로 구성되어 있다.
또한, 감지부(140)는 광센서로, 도 1에 도시된 바와 같이 제 1 가이드부(131)와 제 2 가이드부(133) 소정영역에 설치되어 빛을 출력하는 발광소자(141)와 각 발광소자(141)의 대각선상에 설치되어 발광소자(141)에서 출력된 빛을 입력하는 수광소자(143)로 구성되어 있다.
캐리어 박스 이송부(170)는 도 2에 도시된 바와 같이 지지대(130)의 내부 공간에 설치되어 좌·우측으로 이동하는 수평 이송부(150)와, 수평 이송부(150)에 고정되며 상승·하강하고 수평 이송부(150)의 구동에 의해 슬릿(135)을 따라 캐리어 박스(10)를 제 1 가이드부(131)에서 제 2 가이드부(133)로 이송시키는 수직 이송부(160)로 구성되어 있다.
여기서, 수평 이송부(150)는 컨베이어로 축에 구동모터(151)가 설치되어 양방향으로 회전하는 구동롤러(153)와, 구동롤러(153)와 소정간격 이격된 영역에 설치되어 구동롤러(153)와 동일한 방향으로 회전하는 피동롤러(155)와, 구동롤러(153)와 피동롤러(155)의 외부에 소정의 인장력을 가지고 걸쳐진 컨베이어 벨트(157)로 구성되어 있다.
또한, 수직 이송부(160)는 컨베이어 벨트(157)에 고정된 모터(161)와, 컨베이어 벨트(157)와 수직이 되도록 일단이 모터(161)에 고정되며 모터(161)의 구동에 의해 상승·하강되는 축(163)과, 지지대(130)의 상부면에 설치되고 하부면이 축(163)의 타단에 고정되며 캐리어 박스(10)가 상부면에 놓여지는 운반대(165)로 구성되어 있다.
한편, 반출용 컨베이어부(100b)는 전면에 배출구(110')가 형성되어 있고, 캐리어 박스(10)가 완전히 반출되면 캐리어 박스(10)를 인출하라는 신호를 표시해주는 인출표시램프(120')가 설치되어 있다는 것을 제외하면 상기에서 설명한 반입용 컨베이어부의 구조와 동일하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 또한, 동일한 부재에 대해서는 반입용 컨베이어부와 동일한 번호를 부여한다.
도 3을 참조하여 캐리어 박스가 반입·반출되는 과정을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 반입용 컨베이어부를 통해 캐리어 박스가 스토커 내부로 반입되는 과정을 설명하면 다음과 같다.
작업자는 선행 공정이 완료된 캐리어 박스(10)를 반입용 컨베이어부(100a)로 투입시켜 도 3a에 도시된 바와 같이 운반대(165)가 위치해 있는 제 1 가이드부(131)에 캐리어 박스(10)를 놓는다. 이때, 제 1 가이드부(131)에 설치되어 있는 감지부(140)는 투입된 캐리어 박스(10)를 감지하여 스토커 설비의 제어부에게 신호를 전달한다.
한편, 캐리어 박스(10)의 투입을 완료한 작업자는 반입용 컨베이어부(100a)에 설치된 신호버튼(120)을 눌러 반입될 캐리어 박스(10)가 있음을 제어부에게 인식시켜 준다.
감지부(140)와 작업자에게 신호가 전달되면 제어부는 먼저 수직 이송부(160)에 상승신호를 전달한다. 제어부의 신호를 입력한 수직 이송부(160)는 도 3b에 도시된 바와 같이 캐리어 박스(10)가 올려진 운반대(165)가 제 1 가이드부(131)의 높이 보다 높게 위치하도록 축(163)을 상승시킨다.
이후, 제어부는 수평 이송부(150)에게 구동신호를 전달한다. 제어부의 신호를 입력한 수평 이송부(150)는 도 3c에 도시된 바와 같이 구동롤러(153)를 시계방향으로 회전시켜 컨베이어 벨트(157)에 고정되어 있는 수직 이송부(160)를 제 2 가이드부(133) 쪽으로 이동시킨다.
운반대(165)가 제 2 가이드부(133)에 위치하면 제어부는 다시 수직 이송부(160)에게 하강신호를 전달한다. 제어부의 하강신호를 입력한 수직 이송부(160)는 도 3d에 도시된 바와 같이 축(163)을 하강시켜 캐리어 박스(10)가 놓여진 운반대(165)를 제 2 가이드부(133)에 내려놓는다.
이때, 제 2 가이드부(133)에 설치되어 있는 감지부(140)는 캐리어 박스(10)를 감지하고 그 신호를 제어부에게 전달한다.
감지부(140)의 신호를 입력한 제어부는 로봇(50)에게 구동시호를 전달하여 제 2 가이드부(133)에 놓여져 있는 캐리어 박스(10)를 선반(30)에 적재시킨다.
한편, 반출용 컨베이어부(100b)를 통해 캐리어 박스가 스토커 내부로 반출되는 과정을 설명하면 다음과 같다.
제어부의 입력된 프로그램 또는 작업자의 요구에 의해서 제어부는 로봇(50)에게 신호를 전달한다. 제어부의 신호를 입력한 로봇(50)은 선반(30)에 적재된 캐리어 박스(10)를 이송하여 운반대(165)가 위치해 있는 제 2 가이드부(133)에 캐리어 박스(10)를 놓는다. 이때, 제 2 가이드부(133)에 설치되어 있는 감지부(140)는 캐리어 박스(10)를 감지하여 제어부에게 신호를 전달한다.
감지부(40)의 신호를 입력한 제어부는 수직 이송부(160)에 상승신호를 전달하며, 제어부의 신호를 입력한 수직 이송부(160)는 캐리어 박스(10)가 올려진 운반대(163)를 제 2 가이드부(133)의 보다 높게 상승시킨다.
이후, 제어부는 수평 이송부(150)에게 구동신호를 전달하며, 제어부의 신호를 입력한 수평 이송부(150)는 구동롤러(153)를 시계방향으로 회전시켜 컨베이어 벨트(157)에 고정되어 있는 수직 이송부(160)를 제 1 가이드부(131) 쪽으로 이동시킨다.
운반대(165)가 제 1 가이드부(131)에 위치하면 제어부는 다시 수직 이송부(160)에게 하강신호를 전달하며, 하강신호를 입력한 수직 이송부(160)는 캐리어 박스(10)가 놓여진 운반대(165)를 하강시켜 제 2 가이드부(133)가 위치한 지지대(130)에 내려놓는다.
이때, 제 1 가이드부(131)에 설치되어 있는 감지부(140)는 캐리어 박스(10)를 감지하고 그 신호를 제어부에게 전달한다.
감지부(140)의 신호를 입력한 제어부는 인출표시램프(120')를 동작시켜 작업자에게 캐리어 박스(10)를 반출하라는 신호를 전달한다.
그러나, 컨베이어부의 수평 이송부 및 수직 이송부는 기계장치이기 때문에 이를 유지 보수하는데 많은 비용이 소용된다.
또한, 캐리어 박스를 스토커로 반입하거나 또는 스토커에서 반출할 때 반드시 지정된 컨베이어부를 사용해야 하므로 작업시간이 증가되었다.
이는, 반입될 캐리어 박스와 반출될 캐리어 박스가 서로 충돌하는 것을 방지하기 위해서 작업자와 로봇이 한 개의 지정된 컨베이어만을 점유하여 작업을 진행하기 때문에 캐리어 박스가 스토커로 완전히 반입되거나 스토커 외부로 완전히 반출될 때까지 다음 캐리어를 반입 또는 반출시킬 수 없다.
또한, 작업자 중 일부는 캐리어 박스가 반출될 때 캐리어 박스가 완전히 반출되었음을 알리는 인출표시램프가 작동하기 전에 캐리어 박스를 반출용 컨베이어에서 꺼내가기 때문에 기계적인 에러가 발생되어 스토커의 신뢰성을 저하시켰다.
이는, 인출표시램프가 동작하기 전에 작업자가 캐리어 박스를 꺼내가면 제어부는 이송도중 캐리어 박스가 떨어졌다고 판단하거나 또는 기계가 오동작한 것으로 판단하여 에러 신호를 발생시키기 때문이다.
따라서, 본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로써, 스토커 내부에서 반입 또는 반출될 캐리어 박스가 일시적으로 대기하는 복수개의 포트를 설치하여 스토커 설비의 유지보수 비용을 절감한 스토커 설비 구조를 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 각각의 포트에 작업진행 상태를 표시하는 표시부를 설치하여 전체 포트를 반입 및 반출 혼용으로 사용함으로써 작업시간을 단축시키고 스토커 설비의 신뢰성을 향상시킨 스토커 설비 구조를 제공하는데 있다.
도 1은 종래의 스토커 설비 구조를 개략적으로 나타낸 부분 절개 사시도이고,
도 2는 도 1을 A-A'선으로 절단한 종단면도이며,
도 3은 종래의 캐리어 박스 반입·반출 과정을 설명하기 위한 상태도이다.
도 4는 본 발명에 의한 스토커 설비 구조를 개략적으로 나타낸 부분 절개 사시도이고,
도 5는 도 4를 B-B'선으로 절단한 종단면도이다.
본 발명의 일측면에 의하면 외함 내부에 설치되어 외부에서 반입된 캐리어 박스가 적재되는 선반과, 상기 외함 내부의 천장과 바닥에 설치된 수평레일을 따라 이동되며 상기 외함 내부로 반입된 상기 캐리어 박스를 상기 선반에 적재하고 상기 외함 외부로 반출될 상기 캐리어 박스를 상기 지정된 장소로 이송하는 로봇과, 반입될 상기 캐리어 박스와 반출될 상기 캐리어 박스가 일시적으로 대기하는 적어도 한 개이상의 반입·반출 혼용 포트를 포함한다.
바람직하게 상기 반입·반출 혼용 포트는 상기 캐리어 박스를 반입·반출시키기 위해 상기 반입·반출 포트의 소정영역에 형성된 출입구와, 상기 스토커 내부에 설치되어 반입될 상기 캐리어 박스와 반출될 상기 캐리어 박스가 공동으로 놓여지는 지지대와, 상기 반입·반출 포트의 외부 소정영역에 설치되어 상기 캐리어 박스의 작업 진행상태를 알려주는 표시부로 구성된다.
바람직하게 표시부는 상기 지지대에 놓여진 상기 캐리어 박스의 반입을 상기 제어부에게 지시하는 반입지시부와, 상기 스토커 내부에 저장된 상기 캐리어 박스가 반출될 예정이라는 것을 표시해주는 포트사용표시부와, 상기 지지대에 놓인 상기 캐리어 박스가 반입용인지 반출용인지를 표시해 주는 반입표시부와 반출표시부로 이루어진다.
본 발명의 다른 측면에 의하면 외함 내부에 설치되어 외부에서 반입된 캐리어 박스가 적재되는 선반과, 상기 외함 내부의 천장과 바닥에 설치된 수평레일을 따라 이동하면서 내부로 반입된 상기 캐리어 박스를 상기 선반에 적재하고 외부로 반출될 상기 캐리어 박스를 상기 지정된 장소로 이송하는 로봇과, 선행 공정이 완료되어 반입될 상기 캐리어 박스가 일시적으로 대기하는 적어도 한 개이상의 반입용 포트와, 외부로 반출되기 위해 상기 로봇에 의해 이송된 상기 캐리어 박스가 일시적으로 대기하는 적어도 한 개이상의 반출용 포트를 포함한다.
바람직하게, 상기 반입 포트는 상기 캐리어 박스를 상기 스토커 내부로 반입시키기 위해 상기 반입 포트의 소정영역에 형성된 투입구와, 상기 스토커 내부에 설치되어 반입될 상기 캐리어 박스가 놓여지는 지지대와, 상기 반입 포트의 외부 소정영역에 설치되어 상기 지지대에 놓여진 상기 캐리어 박스의 반입을 상기 제어부에게 지시하는 반입지시부로 구성된다.
바람직하게 상기 반출 포트는 상기 캐리어 박스를 상기 스토커 외부로 반출시키기 위해 상기 반출 포트의 소정영역에 형성된 배출구와, 상기 스토커 내부에 설치되어 반출될 상기 캐리어 박스가 놓여지는 지지대로 구성된다.
이하, 본 발명에 의한 스토커의 구조 및 캐리어 박스의 반입·반출 방법에 대해 첨부된 도면 도 4 및 도 5를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 4는 본 발명에 의한 스토커 구조를 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 5는 도 5는 도 4를 B-B'선으로 절단한 종단면도이다.
도시된 바와 같이 스토커(1)는 스토커 외함(20)과, 스토커(1) 내부로 반입된 캐리어 박스(10)를 저장하기 위해서 스토커(1) 뒷부분에 다층으로 설치된 선반(30)과, 선반(30) 앞부분에 위치한 천장 및 바닥에 설치된 수평레일들(41)(43)을 따라 이동하면서 반입된 캐리어 박스(10)와 반출될 캐리어 박스(10)를 스토커(1) 내부에서 이송하는 로봇(50)과, 스토커(1) 내부의 하단부 소정영역에 설치되어 스토커(1) 외부로 반출될 캐리어 박스(10)와 스토커(1) 내부로 반입될 캐리어 박스(10)가 일시적으로 대기하는 적어도 한 개이상의 반입·반출 혼용 포트(200)로 구성되어 있다.
여기서, 로봇(50)은 수평레일들(41)(43) 각각에 설치되어 수평레일들(41)(43)을 따라 좌·우측으로 이동하는 하는 로봇 가이드들(51)(53)과, 각 로봇 가이드(51)(53)들 사이에 수직으로 설치된 복수개의 수직레일들(55)과, 수직레일들(55)을 따라 상승 또는 하강하면서 각층 선반(30)에 적재된 캐리어 박스(10)를 적재하거나 이재하는 로봇암(60)으로 구성되어 있다.
로봇암(60)은 수직레일들(55)을 따라 상승·하강하는 로봇암지지대(61)와, 로봇암지지대(61)의 상부면에 설치되어 360°회전하는 회전판(63)과, 회전판(63)의 상부면에 설치되어 반입·반출 혼용 포트(200) 및 선반(30)에 놓인 캐리어 박스(10)를 집을 수 있도록 절곡되는 암부(65)와, 암부(65)의 일단에 설치되며 캐리어 박스(10)에 끼워지는 홀더(67)로 구성되어 있다.
반입·반출 혼용 포트(200)는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 캐리어 박스(10)를 반입 또는 반출하기 위해서 스토커 외함(20)에 형성된 출입구(210)와, 캐리어 박스(10)의 반입·반출 진행 상태를 작업자와 스토커 설비의 제어부에게 표시해주는 표시부(220)와, 반출 또는 반입될 캐리어 박스(10)가 놓여지는 지지대(230)와, 지지대(230)의 소정영역에 설치되어 캐리어 박스(10)의 존재 유무를 감지하는 감지부(240)로 구성되어 있다.
여기서, 표시부(220)는 도 4에 도시된 바와 같이 출입구(210)의 상부에 설치되는 것으로, 지지대(230)에 반입될 캐리어 박스(10)가 놓여있음을 작업자가 제어부에게 인식시켜주는 반입지시부(221)와, 로봇(50)이 캐리어 박스(10)를 외부로 반출시킬 예정이라는 것을 작업자에게 미리 표시해주는 포트사용표시부(225)와, 같은 라인에서 작업하는 서로 다른 작업자에게 지지대(230)에 놓인 캐리어 박스(10)가 반입용인지 반출용인지를 알려주는 반입표시부(223)와 반출표시부(227)로 구성되어 있다.
바람직하게 반입지시부(221)는 버튼이고, 포트사용표시부(223)와 반입 및 반출표시부(225)(227)는 램프이다.
또한, 지지대(230)에는 모서리 각각에 걸림턱이 형성되어 있어 스토커(1) 내부로 투입된 캐리어 박스(10)가 지정된 장소에 놓을 수 있도록 안내하는 가이드부(231)가 형성되어 있다.
또한, 감지부(240)는 광센서로 가이드부(231) 소정영역에 설치되어 빛을 출력하는 발광소자(241)와, 각 발광소자(241)의 대각선상에 설치되어 발광소자(241)에서 출력된 빛을 입력하는 수광소자(243)로 구성되어 있다.
바람직하게, 포트를 종래에서와 같이 반입용 포트와 반출용 포트를 구분하여 사용해도 무방하다. 여기서, 반입용 포트와 반출용 포트를 구분하여 사용할 경우 표시부는 반입용 포트에 설치되어 제어부에게 반입될 캐리어 박스가 있음을 알려주는 반입지시부이다.
도 4 및 도 5를 참조하여 캐리어 박스의 반입·반출 과정을 설명하면 다음과 같다. 여기서는 반입·반출 혼용 포트에 대해서만 설명하기로 한다.
먼저, 캐리어 박스(10)가 스토커(1) 내부로 반입되는 과정을 설명하면 다음과 같다.
작업자는 선행 공정이 완료된 캐리어 박스(10)를 스토커(1) 내부로 투입시켜 가이드부(231)에 캐리어 박스(10)를 올려놓는다.
이때, 발광소자(241)에서 출력된 빛이 지지대(230)에 놓여진 캐리어 박스(10)에 의해 차단되어 수광소자(243)에 도달하지 못하므로 감지부(240)는 지지대(230) 위에 캐리어 박스(10)가 놓여져 있음 감지하고 그 신호를 제어부에게 전달한다.
한편, 작업자는 복수개의 반입·반출 혼용 포트들(200) 각각에 캐리어 박스(10)를 놓은 후 출입구(210) 상부면에 설치된 각각의 표시부(220)들 중 반입표시부(221)를 눌러 지지대(230)에 놓인 캐리어 박스(10)가 반입용이라는 것을 제어부에게 인식시켜 준다.
제어부는 감지부(240)에서 전달된 캐리어 박스(10) 감지신호와 작업자로부터 전달받은 캐리어 박스(10) 반입신호가 입력된 경우에 표시부(220)와 로봇(50)에게 동작신호를 전달한다.
여기서, 제어부의 동작신호를 입력한 표시부(220)는 같은 라인 내에서 작업하는 서로 다른 작업자에게 지지대(230) 위에 놓인 캐리어 박스(10)가 반입용이라는 것을 표시해주는 반입표시부(223)를 점등시키므로써 반입될 캐리어 박스(10)가 다른 작업자에 의해서 반출되는 사고를 미연에 방지한다.
또한, 제어부에 신호를 입력한 로봇(50)은 암부(65)를 동작시켜 지지대(230) 위에 놓인 캐리어 박스(10)를 집는다. 이후, 로봇(50)은 수평레일들(41)(43)을 따라 캐리어 박스(10)가 적재될 위치로 이동되고, 캐리어 박스(10)가 적재될 위치로 로봇(50)이 이동되면 로봇암 지지대(61)는 수직레일들(55)을 따라 캐리어 박스(10)가 적재될 선반(30)까지 상승하여 지지대(230)에서 이송한 캐리어 박스(10)를 선반(30)에 적재시킨다.
한편, 스토커(1) 내부에 저장되어 있는 캐리어 박스(10)의 반출 과정에 대해 설명하면 다음과 같다.
제어부는 로봇(50)에게 작업을 지시하기 전에 표시부(220)에 신호를 전달하여 포트사용표시부(225)를 점등시킨다.
포트사용표시부(225)를 점등시키는 이유는 반입·반출 혼용으로 포트들(200)을 사용되기 때문이다. 즉, 제어부는 포트사용표시부(225)를 통해서 작업자에게 캐리어 박스(10)가 반출될 예정이라는 것을 미리 알려줘 작업자에게 캐리어 박스(10)의 반입 작업을 일정시간 동안 지연시키도록 지시하기 위해서이다.
만약, 포트사용표시부(225)가 없다면 작업자는 스토커(1)에서 캐리어 박스(10)가 언제 반출될지 알지 못하기 때문에 로봇(50)이 반출될 캐리어 박스(10)를 이송하고 있는 도중에도 작업자는 반입·반출 혼용 포트(200) 위에 캐리어 박스(10)를 올려놓을 수 있으므로 반출될 캐리어 박스(10)와 반입될 캐리어 박스(10)가 서로 충돌하여 캐리어 박스(10)에 적재되어 있던 웨이퍼들이 파손된다.
포트사용표시부(225)가 점등되면 제어부는 선반(30)에 적재되어 있는 캐리어 박스(10)를 이송하라는 신호를 로봇(50)에게 전달한다.
제어부의 신호를 입력한 로봇(50)은 로봇암 지지대(61)를 소정높이까지 상승시킨 후 로봇암(65)을 동작시켜 선반(30) 위에 저장된 캐리어 박스(10)를 집는다. 이후, 로봇(50)은 수평레일들(41)(43)을 따라 지지대(230)가 설치되어 있는 쪽으로 이동한 다음 로봇암 지지대(61)를 하강시킨다. 로봇암 지지대(61)가 하강되면 로봇(50)은 로봇암(60)을 동작시켜 이송된 캐리어 박스(10)를 지지대(230)에 올려놓는다.
여기서, 지지대(230)에 캐리어 박스(10)가 놓여지면 발광소자(241)에서 출력된 빛이 캐리어 박스(10)에 의해 차단되어 수광소자(243)에 도달하지 못하므로 감지부(240)는 지지대(230) 위에 캐리어 박스(10)가 놓여져 있음 감지하고 그 신호를 제어부에게 전달한다.
감지부(240)의 신호를 입력한 제어부는 표시부(220)에 반출표시부(227) 점등 신호를 전달한다. 이때, 표시부(220)는 제어부에서 지시한 반출표시부(227)는 점등시키고 포트사용표시부(225)는 소등시켜 지지대(230)에 놓여진 캐리어 박스들(10)이 반출용임을 작업자에게 알려줘 반출될 캐리어 박스(10)가 다시 스토커(1) 내부로 반입되는 것을 방지한다.
이와 같이 스토커(1)에 반입·반출 혼용 포트(200)를 적어도 한 개이상 설치하여 한번에 여러개의 캐리어 박스(10)를 반입 또는 반출시킬 수 있어 작업시간이 단축된다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 반입 또는 반출될 캐리어 박스가 반입·반출용 컨베이어 대신에 설치한 포트를 이용함으로써 스토커의 신뢰성을 향상시킬 수 있고 스토커의 유지 보수 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.
또한, 캐리어 박스를 반입하는 작업자와 캐리어 박스를 반출하는 로봇이 전체의 포트를 공동으로 이용할 수 있도록 포트를 반입·반출 혼용으로 사용함으로써 작업시간을 단축시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (8)

  1. 외함 내부에 설치되어 외부에서 반입된 캐리어 박스가 적재되는 선반과;
    상기 외함 내부의 천장과 바닥에 설치된 수평레일을 따라 이동되며 상기 외함 내부로 반입된 상기 캐리어 박스를 상기 선반에 적재하고 상기 외함 외부로 반출될 상기 캐리어 박스를 상기 지정된 장소로 이송하는 로봇과;
    반입될 상기 캐리어 박스와 반출될 상기 캐리어 박스가 일시적으로 대기하는 적어도 한 개이상의 반입·반출 혼용 포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커 설비 구조.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 반입·반출 혼용 포트에 설치되어 상기 캐리어 박스의 유무를 상기 스토커 설비를 제어하는 제어부에게 알려주는 감지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커 설비 구조.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 반입·반출 혼용 포트는
    상기 캐리어 박스를 반입·반출시키기 위해 상기 반입·반출 포트의 소정영역에 형성된 출입구와;
    상기 스토커 내부에 설치되어 반입될 상기 캐리어 박스와 반출될 상기 캐리어 박스가 공동으로 놓여지는 지지대와;
    상기 반입·반출 포트의 외부 소정영역에 설치되어 상기 캐리어 박스의 작업 진행상태를 알려주는 표시부로 구성된 것을 특징으로 하는 스토커 설비 구조.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 표시부는
    상기 지지대에 놓여진 상기 캐리어 박스의 반입을 상기 제어부에게 지시하는 반입지시부와;
    상기 스토커 내부에 저장된 상기 캐리어 박스가 반출될 예정이라는 것을 표시해주는 포트사용표시부와;
    상기 지지대에 놓인 상기 캐리어 박스가 반입용인지 반출용인지를 표시해 주는 반입표시부와 반출표시부로 구성된 것을 특징으로 하는 스토커 설비 구조.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 반입지시부는 버튼이고, 상기 포트점유부와 상기 반입표시부와 상기 반출표시부는 램프인 것을 특징으로 하는 스토커 설비 구조.
  6. 외함 내부에 설치되어 외부에서 반입된 캐리어 박스가 적재되는 선반과;
    상기 외함 내부의 천장과 바닥에 설치된 수평레일을 따라 이동하면서 내부로 반입된 상기 캐리어 박스를 상기 선반에 적재하고 외부로 반출될 상기 캐리어 박스를 상기 지정된 장소로 이송하는 로봇과;
    선행 공정이 완료되어 반입될 상기 캐리어 박스가 일시적으로 대기하는 적어도 한 개이상의 반입용 포트와;
    외부로 반출되기 위해 상기 로봇에 의해 이송된 상기 캐리어 박스가 일시적으로 대기하는 적어도 한 개이상의 반출용 포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커 설비 구조.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 반입 포트는
    상기 캐리어 박스를 상기 스토커 내부로 반입시키기 위해 상기 반입 포트의 소정영역에 형성된 투입구와;
    상기 스토커 내부에 설치되어 반입될 상기 캐리어 박스가 놓여지는 지지대와;
    상기 반입 포트의 외부 소정영역에 설치되어 상기 지지대에 놓여진 상기 캐리어 박스의 반입을 상기 제어부에게 지시하는 반입지시부로 구성된 것을 특징으로 하는 스토커 설비 구조.
  8. 제 6 항에 있어서, 상기 반출 포트는
    상기 캐리어 박스를 상기 스토커 외부로 반출시키기 위해 상기 반출 포트의 소정영역에 형성된 배출구와;
    상기 스토커 내부에 설치되어 반출될 상기 캐리어 박스가 놓여지는 지지대로 구성된 것을 특징으로 하는 스토커 설비 구조.
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