KR19980057772U - 습식각처리장치 - Google Patents
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Abstract
순환관을 통하여 처리조 내부로 여러 종류의 케미컬이 혼합된 처리액이 공급되는 습식각처리장치에 있어서, 본 고안은 순환관에 설치되며, 처리액의 혼합비율이 측정되는 혼합비율측정부가 구비된 것이 특징이다.
Description
습식각장비(wet station)인 처리조 내에서 순환되는 처리액(세정액)은 보통 2~3종류의 약품을 혼합하여 사용하며, 처리액의 일예로 불산(HF)과 초순수(Deionized water)를 또는 수산화암모늄(NaOH)과 초순수를, 과산화수소(H2O2)와 초순수 등을 일정비율로 혼합하여 사용한다.
여기에서 혼합되는 각각의 약품의 비율에 따라 반도체웨이퍼의 식각량, 평탄도(uniformity)등이 달라진다.
도 1은 종래의 습식각처리장치를 개략적으로 설명하기 위한 도면으로, 첨부된 도면을 참조하여 설명하겠다.
여러 종류의 케미컬이 혼합된 처리액을 순환관으로 통과시키면서 처리조 내부로 공급시키는 종래의 습식각처리장치는 도 1과 같이, 정확한 량이 측정된 각각의 약품은 순환관을 통하여 균등하게 혼합되어 처리조(10) 바닥으로 부터 공급된다.
이때, 처리액은 처리조 외벽을 타고 흘러넘치면서 순환관 내에서 필터에 의해 필터링되며, 또한 펌프댐퍼를 통과되어 처리조 내로 재순환된다.
종래의 일반적인 혼합약품의 비율은 약품의 양을 미리 측정하여 혼합하지만, 일단 혼합된 후에는 그 약품이 원하는 비율로 혼합되었는지는 별도로 측정하는 장치가 없었기 때문에 알 수 없었다.
즉, 처리액에 혼합된 각각의 약품이 일정비율로 섞였는지 그렇지 않았는 지를 확인할 수 없었다.
본 고안은 습식각장비인 처리조 내에 공급된 처리액이 일정비율로 혼합되었는지의 여부를 알 수 있도록 약품의 혼합비율을 측정할 수 있는 습식각처리장치를 제공하는 데 있다.
도 1은 종래의 습식각처리장치를 개략적으로 도시한 도면이고,
도 2와 도 3은 본 고안의 습식각처리장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
10, 20. 처리조11, 21. 순환관
22. 제 1 연결관23. 제 2 연결관
24. 순수공급관25, 25-1. 감지센서
21-1, 22-1, 23-1, 24-1, 24-2. 개폐밸브
순환관을 통하여 처리조 내부로 여러 종류의 케미컬이 혼합된 처리액이 공급되는 습식각처리장치에 있어서, 본 고안은 순환관에 설치되며, 처리액의 혼합비율이 측정되는 혼합비율측정부가 구비된 것이 특징이다.
도 2는 본 고안의 습식각처리장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 3은 본 고안의 감지센서를 도시한 도면이다.
여러 약품이 혼합된 처리액이 공급되는 통로인 순환관이 설치된 본 고안의 습식각처리장치는 도 2와 도 3과 같이, 순환관(21)의 소정부위의 상부와 하부에 연결된 제 1 연결관(22)과, 제 2 연결관(23)과, 제 1 연결관과, 제 2 연결관에 각각 설치된 제 1 개폐밸브(22-1), 제 2 개폐밸브(23-1)와, 제 1 연결관과 제 2 연결관 사이의 순환관에 설치된 제 3 개폐밸브(21-1)와, 제 1 연결관과 제 2 연결관의 일단과 연결된 제 3 연결관(24)과, 제 3 연결관에 설치되며, 순환관에서 제 3 연결관 내로 공급된 처리액의 혼합비율이 감지센서(25)와, 감지센서에 의해 측정된 처리액의 혼합비율이 데이타로 표시되는 모니터와, 제 3 연결관의 양끝단에 설치된 제 4 개폐밸브(24-1)와 제 5 개폐밸브(24-2)로 구성된다.
이때, 제 3 연결관의 일측에는 순수탱크가 설치된다.
이와 같이 구성된 본 고안의 습식각처리장치를 통해 처리액의 혼합비율이 측정되는 과정을 살펴보면 다음과 같다.
우선, 제 2 개폐밸브(22-1)와 제 3 개폐밸브(23-1)를 오픈시키어 제 1 연결관(22)과 제 2 연결관(23) 내로 처리액이 공급되도록 하며, 제 1 연결관과 제 2 연결관 내의 처리액은 제 3 연결관 내로 유입된다. 이때, 제 4 개폐밸브(24-1)를 차단하여 순수가 공급되지 못하도록 한다.
그리고 제 3 연결관 내의 처리액은 감지센서에 의해 혼합된 약품의 각각의 비율이 감지한다.
이때, 감지센서는 도 3과 같이, 센서부분(25-1)에 처리액이 통과되면서 처리액에 혼합된 약품의 전도성이 측정되어 약품의 비율이 측정된다.
그리고 전도성센서에 의해 측정된 처리액의 혼합비율 측정 데이타는 모니터를 통하여 표시된다.
따라서 작업자는 모니터에 표시된 데이타를 읽고 처리액의 혼합비율을 인식할 수 있다.
이러한 처리액의 혼합비율 측정작업이 완료되면, 제 3 연결관에 설치된 제 4 개폐밸브(24-1)를 오픈시킴에 따라 제 3 연결관 내로 순수가 유입된다.
제 3 연결관(24)내로 유입된 순수는 감지센서(25)의 센서부분(25-1)에 잔재된 처리액을 크리닝하면서 센서를 보호하게 된다.
센서부분이 약품에 장기간 노출될 시 수명단축이 되는 원인이 되기 때문에 주기적으로 센서를 크리닝하여야 한다.
본 고안의 습식각처리장치에서는 혼합약품의 전도성을 측정하여 처리액의 혼합비율을 측정하는 것으로, 혼합약품 비율의 이상유무에 따라 사용을 중단할 수 있고, 또한 약품비율 이상시에는 필요한 약품만을 추가공급할 수 있으므로 처리액을 버리지 않고 재사용할 수 있다.
그리고 약품의 교체 및 원하는 시간에 약품의 상태를 측정가능하다.
본 고안은 습식각처리장치에 관한 것으로, 특히 습식각장비 내로 순환되는 처리액에 혼합된 각각의 약품의 비율을 측정하기에 적당한 습식각처리장치에 관한 것이다.
Claims (4)
- 여러 종류의 약품이 혼합된 처리액을 순환관으로 통과시키면서 처리조 내부로 공급시키는 습식각처리장치에 있어서,상기 순환관에 설치되며, 상기 처리액의 혼합비율을 측정하는 혼합비율측정부가 구비된 것이 특징인 습식각처리장치.
- 청구항 1에 있어서, 상기 혼합비율측정부로는상기 순환관의 소정부위의 상부와 하부에 연결된 제 1 연결관과, 제 2 연결관과,상기 제 1 연결관과 상기 제 2 연결관의 일단과 연결된 제 3 연결관과,상기 제 3 연결관에 설치되며, 제 3 연결관 내로 공급된 처리액의 혼합비율이 감지되는 감지센서와,상기 감지센서에 의해 측정된 처리액의 혼합비율이 데이타로 표시되는 모니터가 구비되어서, 상기 처리액의 혼합비율이 측정된 것이 특징인 습식각처리장치.
- 청구항 2에 있어서,상기 감지센서는 전도성센서인 것이 특징인 습식각처리장치.
- 청구항 2에 있어서,상기 제 3 연결관은 순수탱크와 연결설치하여서 순수에 의해 상기 감지센서가 세정된 것이 특징인 습식각처리장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019970002071U KR200145916Y1 (ko) | 1997-02-12 | 1997-02-12 | 습식각처리장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019970002071U KR200145916Y1 (ko) | 1997-02-12 | 1997-02-12 | 습식각처리장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19980057772U true KR19980057772U (ko) | 1998-10-15 |
| KR200145916Y1 KR200145916Y1 (ko) | 1999-06-15 |
Family
ID=19495480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019970002071U KR200145916Y1 (ko) | 1997-02-12 | 1997-02-12 | 습식각처리장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR200145916Y1 (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100441249B1 (ko) * | 2001-07-27 | 2004-07-21 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조 공정에서의 티오씨 측정 장치 및 그 측정 방법 |
| KR100479300B1 (ko) * | 1998-02-05 | 2005-07-07 | 삼성전자주식회사 | 티오씨분석기의티씨응축용케미컬 |
-
1997
- 1997-02-12 KR KR2019970002071U patent/KR200145916Y1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100479300B1 (ko) * | 1998-02-05 | 2005-07-07 | 삼성전자주식회사 | 티오씨분석기의티씨응축용케미컬 |
| KR100441249B1 (ko) * | 2001-07-27 | 2004-07-21 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조 공정에서의 티오씨 측정 장치 및 그 측정 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR200145916Y1 (ko) | 1999-06-15 |
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