KR19980034687A - 섀도우 마스크용 다매부 패턴 제조방법 - Google Patents

Abstract

섀도우 마스크용 다매부 패턴 제조방법으로서, 2매부 원판 유효부 포지티브 패턴과 1매부 원판 외주부 포지티브 패턴을 플로팅하는 공정과, 감광액이 도포된 대형건판에 상기 2매부 원판 유효부 포지티브 패턴을 노광하기 위하여 합착마크를 국부적으로 현상하는 공정과, 상기 1매부 원판 외주부 포지티브 패턴을 차광필름으로 차광시키는 공정과, 감광액이 도포된 대형건판의 패턴(A)에 상기 합착마크를 정확하게 맞추어 노광하는 공정과, 상기 차광시킨 1매부 원판 외주부 포지티브 패턴을 180° 돌려서 감광액이 도포된 대형건판의 패턴(B)에 상기 합착마크를 맞추어 노광하는 공정에 의하여 최종의 2매부 네가티브 패턴이 완성된다. 따라서, 종래기술에 비하여 반전 및 합성과정이 생략되므로 최종의 2매부 네가티브 패턴의 품질이 향상되며 제조에 소요되는 기간을 단축하므로 생산성이 향상되는 효과가 있으며 1매부 네가티브 패턴 2장을 수작업으로 절단하는 공정이 없기 때문에 실수에 의한 불량발생이 없다.

Description

섀도우 마스크용 다매부 패턴 제조방법

본 발명은 섀도우 마스크용 다매부 패턴 제조방법에 관한 것으로, 특히 마스트 패턴의 다매부 패턴 제조시 패턴의 합성과 반전공정을 생략하여 공정의 간소화 및 패턴의 품질향상을 도모할 수 있는 섀도우 마스크용 다매부 패턴 제조방법에 관한 것이다.

일반적으로 섀도우 마스크용 패턴은, 도 1에 나타낸 바와 같은 공정을 거쳐 이루어진다. 도 1은 종래의 섀도우 마스크용 패턴을 제조하기 위한 블록도의 일예이다.

먼저 요구사양 및 생산라인 특성을 고려한 설계단계와, 컴퓨터를 이용한 설계내용의 데이터를 위한 프로그래밍 단계와, 이 프로그래밍 데이터를 이용하여 패턴 제너레이터(pattern generator)로 감광액이 도포된 건판(10)에 섀도우 마스크 형상을 플로팅하는 플로팅 단계와, 상기 플로팅에 의하여 생성된 원판패턴을 이용하여 마스트 패턴을 제조하는 단계와, 이 마스트 패턴을 반전하여 섀도우 마스크 생산라인의 노광공정에 사용하는 워킹패턴을 제조하는 단계로 이루어진다.

일본국 특개평3-269504호에 의하면, 다매부 마스트 패턴 제조방법을 개시하고 있다. 도 2는 종래의 다매부 마스트 패턴 제조방법을 나타낸 공정 설명도이다. 이 도면에서 부호 10은 감광액이 도포된 플로팅용 건판, 20은 합성용 투명 유리판, 30은 섀도우 마스크의 유효부 패턴, 40은 섀도우 마스크의 외주부 패턴, 50은 감광액이 도포된 대형 건판을 각각 나타낸다. 도 2와 같이 플로팅에 의하여 1매부의 원판 포지티브 패턴을 만들고, 이것을 반전하여 같은 형상의 1매부 네가티브 패턴 2장을 만들어 적당한 크기로 잘라 대형 투명 유리판(20)에 접착제로 붙혀 합성 2매부 네가티브 패턴을 제작한다. 합성 2매부 네가티브 패턴을 반전하여 2매부 포지티브 패턴을 만들고 이것을 반전하여 최종적으로 2매부 네가티브 패턴을 만든다.

상기 도 2에 나타낸 바와 같이, 1매부의 원판 포지티브 패턴을 이용하여 최종의 2매부의 네가티브 패턴을 만드는 경우, 여러 번의 반전 또는 합성과정을 거치게 된다. 따라서 최종의 2매부의 네가티브 패턴의 품질은 저하될 수밖에 없으며 제조에 따른 시간이 길게 된다.

또, 1매부 네가티브 패턴 2장을 절단하여 수작업으로 대형의 상기 투명 유리판(20)에 붙여서 합성 2매부 네가티브 패턴을 제작할 때, 도 2의 두 패턴(A),(B)간의 정밀한 위치선정이 어렵고 1매부의 네가티브 패턴을 절단하는 공정에서 작업자의 미숙련으로 실수할 경우 다시 1매부의 네가티브 패턴을 반전하여야 하는 문제가 있다.

본 발명은 상기 문제점을 감안하여 안출된 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 마스트 패턴의 다매부 패턴 제조시 패턴의 합성과 반전공정을 생략하여 공정의 간소화 및 패턴의 품질향상을 도모할 수 있는 섀도우 마스크용 다매부 패턴 제조방법을 제공함에 있다.

도 1은 종래의 섀도우 마스크용 패턴을 제조하는 일예를 나타낸 블록도.

도 2는 종래의 다매부 마스트 패턴 제조방법을 나타낸 공정 설명도.

도 3은 본 발명의 섀도우 마스크용 다매부 패턴 제조방법을 나타내는 공정 설명도.

도 4는 본 발명의 2매부 원판 유효부 포지티브 패턴을 노광하기 위하여 차광시킨 상태를 나타낸 설명도.

도 5는 본 발명의 1매부 원판 외주부 포지티브 패턴을 노광하기 위하여 차광시킨 상태를 나타낸 설명도.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

10:플로팅용 건판20:합성용 투명 유리판

30:섀도우 마스크의 유효부 패턴

40:섀도우 마스크의 외주부 패턴

50:감광액이 도포된 대형건판60:합착마크

70,80:차광필름A,B:패턴

Y:1매부 원판 외주부 포지티브 패턴

X:2매부 원판 유효부 포지티브 패턴

Z:최종의 2매부 네가티브 패턴

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 섀도우 마스크용 다매부 패턴 제조방법은, 2매부 원판 유효부 포지티브 패턴과 1매부 원판 외주부 포지티브 패턴을 플로팅하는 공정과, 감광액이 도포된 대형건판에 상기 2매부 원판 유효부 포지티브 패턴을 노광하기 위하여 합착마크를 국부적으로 현상하는 공정과, 상기 1매부 원판 외주부 포지티브 패턴을 차광필름으로 차광시키는 공정과, 감광액이 도포된 대형건판의 패턴(A)에 상기 합착마크를 정확하게 맞추어 노광하는 공정과, 상기 차광시킨 1매부 원판 외주부 포지티브 패턴을 180° 돌려서 감광액이 도포된 대형건판의 패턴(B)에 상기 합착마크를 맞추어 노광하는 공정에 의하여 최종의 2매부 네가티브 패턴이 완성되는 것을 특징으로 한다.

이러한 공정에서, 상기 1매부 원판 외주부 포지티브 패턴의 차광은, 유효부 패턴 크기보다 더 큰 차광필름으로 차광시키는 것이 좋고, 상기 패턴(A)의 노광시에는 패턴(B)에, 패턴(B)의 노광시에는 패턴(A)에 각각 노광되지 않도록 차광되는 것이 바람직하다.

따라서, 종래기술에 비하여 반전 및 합성과정이 생략되므로 최종의 2매부 네가티브 패턴의 품질이 향상하며 제조에 소요되는 기간을 단축하므로 생산성이 향상하는 효과가 있으며, 1매부 네가티브 패턴 2장을 수작업으로 절단하는 공정이 없기 때문에 실수에 의한 불량발생이 없다.

[실시예]

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 섀도우 마스크용 다매부 패턴 제조방법에 대하여 자세하게 설명한다. 종래 설명과 같은 부품에 대해서는 동일부호를 사용함으로써 설명상의 번잡함을 피하고자 한다.

도 3은 본 발명의 섀도우 마스크용 다매부 패턴 제조방법을 나타내는 공정 설명도이다. 2매부 원판 유효부 포지티브 패턴(X)과 1매부 원판 외주부 포지티브 패턴(Y)을 플로팅한다.

도 4는 본 발명의 2매부 원판 유효부 포지티브 패턴(X)을 노광하기 위하여 차광시킨 상태를 나타낸 설명도이다. 감광액이 도포된 대형건판(50)에 상기 2매부 원판 유효부 포지티브 패턴(X)을 노광하여 도 3에 나타낸 바와 같이 합착마크(60)를 국부적으로 현상한다.

도 5는 본 발명의 1매부 원판 외주부 포지티브 패턴(Y)을 노광하기 위하여 차광시킨 상태를 나타낸 설명도이다. 상기 1매부 원판 외주부 포지티브 패턴(Y)을 유효부 패턴(30) 크기보다 더 크게 차광필름(80)으로 차광시킨 1매부 원판 외주부 포지티브 패턴(Y)을 감광액이 도포된 대형건판(50)의 패턴(A)에 상기 합착마크(60)를 정확하게 맞추어 노광한다. 이 때, 상기 다른 패턴(B)에는 노광되지 않도록 주의하면서 차광한다.

다시 상기 차광시킨 1매부 원판 외주부 포지티브 패턴(Y)을 180° 돌려서 감광액이 도포된 대형건판(50)의 패턴(B)에 상기 합착마크(60)를 정확하게 맞추어 노광한다. 이 때, 상기 패턴(A)에는 노광되지 않도록 주의하면서 차광한다.

이러한 공정을 거쳐서 최종의 2매부 네가티브 패턴(Z)이 완성되는 것이다.

상술한 바와 같이 본 발명의 섀도우 마스크용 다매부 패턴 제조방법에 의하면, 종래기술에 비하여 반전 및 합성과정이 생략되므로 최종의 2매부 네가티브 패턴의 품질이 향상하며 제조에 소요되는 기간을 단축하므로 생산성이 향상하는 효과가 있으며 1매부 네가티브 패턴 2장을 수작업으로 절단하는 공정이 없기 때문에 실수에 의한 불량발생이 없다.

또, 합착마크에 의한 왼쪽/오른쪽 패턴의 정확한 위치선정을 달성하여 더 좋은 제품의 양산이 가능하다.

이제까지 구조적인 상세한 내용 및 그로부터 얻어지는 다기능 이점을 포함한 본 발명의 원리를 나타내었다. 본 발명의 섀도우 마스크용 다매부 패턴 제조방법을 섀도우 마스크의 제조에 적용하는 것은, 이 기술분야에서 숙련된 자라면 잘 알 수 있을 것이다.

Claims (3)

1. 2매부 원판 유효부 포지티브 패턴과 1매부 원판 외주부 포지티브 패턴을 플로팅하는 공정과,

   감광액이 도포된 대형건판에 상기 2매부 원판 유효부 포지티브 패턴을 노광하여 합착마크를 국부적으로 현상하는 공정과,

   상기 1매부 원판 외주부 포지티브 패턴을 차광필름으로 차광시키는 공정과,

   감광액이 도포된 대형건판의 패턴(A)에 상기 합착마크를 정확하게 맞추어 노광하는 공정과,

   상기 차광시킨 1매부 원판 외주부 포지티브 패턴을 180° 돌려서 감광액이 도포된 대형건판의 패턴(B)에 상기 합착마크를 맞추어 노광하는 공정에 의하여 최종의 2매부 네가티브 패턴이 완성되는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크용 다매부 패턴 제조방법.
2. 제1항에 있어서,

   상기 1매부 원판 외주부 포지티브 패턴의 차광은, 유효부 패턴 크기보다 더 큰 차광필름으로 차광시키는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크용 다매부 패턴 제조방법.
3. 제1항에 있어서,

   상기 패턴(A)의 노광시에는 패턴(B)에, 패턴(B)의 노광시에는 패턴(A)에 각각 노광되지 않도록 차광되는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크용 다매부 패턴 제조방법.