KR102393805B1 - 가스실린더 자동교체시스템용 가스켓 공급회수장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 지면에 직교하도록 배치되는 가스출구포트와 커넥터 사이에 가스켓을 공급하기 위한 가스실린더 자동교체시스템용 가스켓 공급회수장치로서 전면에 형성되는 x축 레일을 따라 x축으로 슬라이딩 이동하는 x축 가동플레이트와 측면에 형성되는 y축 레일을 따라 y축으로 슬라이딩 이동하는 y축 가동플레이트와 상기 y축 레일 상측에 형성되는 제 1커버 가이드 레일을 포함하는 베이스 블록, 상기 x축 가동플레이트에 결합하여 그리퍼 제 1이송부에 의하여 z축으로 슬라이딩 이동하는 그리퍼 베이스와 상기 그리퍼 베이스에 설치되는 그리퍼 제 2이송부에 의하여 xz평면 상에서 y축을 중심으로 회전하는 방향(θ축)으로 선회 이동 하는 선회암과 상기 선회암의 단부에 결합되어 그러퍼 구동부에 의하여 좌우 폭이 조절됨에 따라 상기 가스켓(G)을 클램핑 또는 언클램핑하는 그리퍼, 측면에 가스켓이 로딩되는 로딩부와 상기 가스켓이 상기 로딩부 측으로 투입되도록 형성되는 가스켓 투입 레일과 z축 방향으로 형성되는 로딩블록 가이드 레일을 포함하는 로더 베이스와 로딩블록 구동부에 의하여 상기 로딩블록 가이드 레일을 따라 z축으로 슬라이딩 이동하는 로딩블록을 포함하여 상기 y축 가동플레이트에 결합하는 로더, 상기 가스켓 투입 레일에 연장되어 형성되어 복수 개의 가스켓이 일렬로 정렬되는 가스켓 레일을 포함하여 상기 로더에 결합하는 매거진 및 일측이 상기 y축 가동플레이트에 결합하고 타측이 상기 제 1커버 가이드 레일에 결합되어 상기 y축 가동플레이트의 슬라이딩 이동에 따라 z축으로 슬라이딩 이동하는 제 1커버와 힌지에 의하여 개폐되는 제 2커버를 포함하고 상기 y축 가동플레이트에 결합되어 상기 제 1커버 또는 상기 제 2커버에 의하여 상면이 개방 또는 폐쇄되는 회수함을 포함한다.
Description
본 발명은 가스실린더 교체시스템용 가스켓 공급회수장치에 관한 것으로 보다 상세하게는 누운 상태로 투입되는 가스실린더의 가스출구포트와 외부로 연장되는 가스 유로를 포함하는 커넥터 사이에 자동으로 가스켓을 공급하고 회수하는 가스실린더 교체시스템용 가스켓 공급회수장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체, 디스플레이 패널 등을 제조하는 공정은 용도에 따라 다양한 가스의 공급이 이루어지며 이러한 가스들은 대부분 유독성, 가연성 등이 비교적 높아 인체에 흡입되거나 대기 중에 노출되는 경우 안전사고 및 환경오염 등의 피해를 발생시킬 수 있다.
또한, 이러한 가스들은 단부에 가스출구포트 등이 구비되는 원통형의 실린더(이하, 가스실린더) 내부에 충전되어 보관 및 운반이 이루어지며 외부로 연장되는 가스 유로를 포함하는 커넥터에 연결되어 공정 챔버 측으로 가스의 공급이 이루어진다.
그러나, 가스출구포트와 커넥터 간의 결합이 견고하지 않은 경우 가스가 누설됨에 따라 안전 사고가 발생할 우려가 있다.
이에 따라, 대한민국 공개특허공보 제10-2019-0040922호에는 가스실린더 리프트에 가스실린더를 로딩하기만 하면 가스실린더를 가스실린더 연결 유닛에 자동으로 연결하고 가스실린더 내의 가스가 적정량 소진되면 가스실린더 연결 유닛으로부터 가스실린더를 자동으로 분리하여 언로딩할 수 있는 가스실린더 교체시스템이 개시되어 있다.
그러나, 이러한 종래의 가스실린더 교체시스템은 가스실린더가 지면에 수직으로 세워진 상태로 로딩 또는 언로딩되므로 길이가 1,800mm 이상인 비교적 대용량의 가스실린더를 이러한 종래의 가스실린더 교체장치에 적용하는 경우 가스실린더를 가스실린더 교체장치에 로딩하기 위하여 크레인 등의 장비가 필요할 뿐만 아니라 지면으로부터 비교적 높은 위치에 연결 유닛이 형성되어 가스실린더 교체장치의 유지 보수를 위하여 장치를 분리하거나 작업자가 사다리나 지게차 등을 이용함에 따라 유지 보수성이 저하되는 문제점이 있다.
이에 따라, 도 1에 도시되어 있는 바와 같이 가스실린더(C)가 지면에 누운 상태로 스키드(S)에 적재된 상태로 가스 공급이 이루어지는 가스실린더 교체시스템의 개발이 이루어지고 있다.
또한, 이러한 가스실린더 교체시스템은 가스출구포트가 지면에 수직인 방향에 위치함에 따라 커넥터 역시 지면에 수직으로 형성된다.
이에 따라, 지면에 수직인 방향으로 정렬되는 가스출구포트와 커넥터 사이에 가스켓을 자동으로 공급하고 회수할 수 있는 가스실린더 교체시스템용 가스켓 공급회수장치의 개발이 필요하다.
본 발명의 목적은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로 가스실린더가 누운 상태로 스키드에 적재되어 공급됨에 따라 지면에 수직인 방향으로 정렬되는 가스출구포트와 커넥터 사이에 가스켓을 자동으로 공급하고 회수할 수 있는 가스실린더 교체시스템용 가스켓 공급회수장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 오염된 가스켓의 회수 시 대기 중에 노출을 최소화할 수 있는 가스실린더 교체시스템용 가스켓 공급회수장치를 제공하는 것이다.
발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시 예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다.
또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.
상술한 과제를 해결하기 위하여 본 발명은 지면에 직교하도록 배치되는 가스출구포트와 커넥터 사이에 가스켓을 공급하기 위한 가스실린더 자동교체시스템용 가스켓 공급회수장치로서 전면에 형성되는 x축 레일을 따라 x축으로 슬라이딩 이동하는 x축 가동플레이트와 측면에 형성되는 y축 레일을 따라 y축으로 슬라이딩 이동하는 y축 가동플레이트와 상기 y축 레일 상측에 형성되는 제 1커버 가이드 레일을 포함하는 베이스 블록, 상기 x축 가동플레이트에 결합하여 그리퍼 제 1이송부에 의하여 z축으로 슬라이딩 이동하는 그리퍼 베이스와 상기 그리퍼 베이스에 설치되는 그리퍼 제 2이송부에 의하여 xz평면 상에서 y축을 중심으로 회전하는 방향(θ축)으로 선회 이동 하는 선회암과 상기 선회암의 단부에 결합되어 그러퍼 구동부에 의하여 좌우 폭이 조절됨에 따라 상기 가스켓(G)을 클램핑 또는 언클램핑하는 그리퍼 , 측면에 가스켓이 로딩되는 로딩부와 상기 가스켓이 상기 로딩부 측으로 투입되도록 형성되는 가스켓 투입 레일과 z축 방향으로 형성되는 로딩블록 가이드 레일을 포함하는 로더 베이스와 로딩블록 구동부에 의하여 상기 로딩블록 가이드 레일을 따라 z축으로 슬라이딩 이동하는 로딩블록을 포함하여 상기 y축 가동플레이트에 결합하는 로더, 상기 가스켓 투입 레일에 연장되어 형성되어 복수 개의 가스켓이 일렬로 정렬되는 가스켓 레일을 포함하여 상기 로더에 결합하는 매거진 및 일측이 상기 y축 가동플레이트에 결합하고 타측이 상기 제 1커버 가이드 레일에 결합되어 상기 y축 가동플레이트의 슬라이딩 이동에 따라 z축으로 슬라이딩 이동하는 제 1커버와 힌지에 의하여 개폐되는 제 2커버를 포함하고 상기 y축 가동플레이트에 결합되어 상기 제 1커버 또는 상기 제 2커버에 의하여 상면이 개방 또는 폐쇄되는 회수함을 포함한다.
또한, 상기 로더는 상기 로딩부에 공급 또는 회수되는 가스켓을 감지하는 센서를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 매거진은 상기 가스켓 레일에 정렬되는 가스켓을 감지하는 센서를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 가스실린더 자동교체시스템용 가스켓 공급회수장치는 상기 매거진과 상기 로더와 상기 회수함은 y축을 기준하여 후방에서 전방에 순차적으로 배치되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 그리퍼는 상기 로더의 하측에 구비되어 상기 로딩부로부터 상기 가스출구포트와 상기 커넥터의 사이까지 또는 상기 로딩부로부터 상기 가스출구포트와 상기 커넥터의 사이로부터 상기 회수함까지 상기 가스켓을 이송할 수 있다.
상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 가스실린더 교체시스템용 가스켓 공급회수장치는 커넥터와 가스출구포트 사이에 자동으로 가스켓을 공급 또는 회수함으로써 가스실린더에 의한 가스공급 시 발생하는 가스의 누출을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 가스실린더 교체시스템용 가스켓 공급회수장치는 오염된 가스켓의 회수 시 대기 중에 노출을 최소화하여 작업 환경의 오염을 최소화할 수 있다.
상술한 효과와 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다.
상술한 효과와 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스실린더 자동교체시스템에서 가스실린더가 스키드에 적재된 상태를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스실린더 자동교체시스템을 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스실린더 교체장치용 가스켓 공급회수장치의 정면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스실린더 교체장치용 가스켓 공급회수장치의 전면 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스실린더 교체장치용 가스켓 공급회수장치의 후면 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스실린더 자동교체시스템을 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스실린더 교체장치용 가스켓 공급회수장치의 정면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스실린더 교체장치용 가스켓 공급회수장치의 전면 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스실린더 교체장치용 가스켓 공급회수장치의 후면 사시도이다.
전술한 목적, 특징 및 장점은 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 후술되며, 이에 따라 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다.
본 발명을 설명함에 있어서 본 발명과 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 상세한 설명을 생략한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 도면에서 동일한 참조부호는 동일 또는 유사한 구성요소를 가리키는 것으로 사용된다.
이하에서 구성요소의 "상부 (또는 하부)" 또는 구성요소의 "상 (또는 하)"에 임의의 구성이 배치된다는 것은, 임의의 구성이 상기 구성요소의 상면 (또는 하면)에 접하여 배치되는 것뿐만 아니라, 상기 구성요소와 상기 구성요소 상에 (또는 하에) 배치된 임의의 구성 사이에 다른 구성이 개재될 수 있음을 의미할 수 있다.
또한 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 상기 구성요소들은 서로 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성요소 사이에 다른 구성요소가 "개재"되거나, 각 구성 요소가 다른 구성요소를 통해 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있는 것으로 이해되어야 할 것이다.
본 명세서에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, "구성된다" 또는 "포함한다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 여러 구성 요소들, 또는 여러 단계들을 반드시 모두 포함하는 것으로 해석되지 않아야 하며, 그 중 일부 구성 요소들 또는 일부 단계들은 포함되지 않을 수도 있고, 또는 추가적인 구성 요소 또는 단계들을 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다.
명세서 전체에서, "A 및/또는 B" 라고 할 때, 이는 특별한 반대되는 기재가 없는 한, A, B 또는 A 및 B 를 의미하며, "C 내지 D" 라고 할 때, 이는 특별한 반대되는 기재가 없는 한, C 이상이고 D 이하인 것을 의미한다.
이하에서는, 본 발명의 몇몇 실시 예에 따른 가스실린더 자동교체시스템용 가스켓 공급회수장치를 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스실린더 자동교체시스템에서 가스실린더가 스키드에 적재된 상태를 도시한 사시도이며, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스실린더 자동교체시스템을 도시한 사시도이다.
또한, 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스실린더 교체장치용 가스켓 공급회수장치의 정면도이며, 도 4와 5는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스실린더 교체장치용 가스켓 공급회수장치의 전면 사시도와 후면 사시도이다.
우선, 본 발명에서 가스실린더(C)라 함은 도 1에 도시되어 있는 바와 같이 전체적으로 원통 형상으로 내부에 고압의 가스가 충전되어 있다.
또한, 상기 가스실린더(C)는 헤드부에 길이 방향으로 형성되는 밸브(C1)와 상기 밸브(C1)의 직교방향으로 형성되는 가스출구포트(C2) 등을 포함한다.
또한, 스키드(S)는 상면에 상기 가스실린더(C)가 지면에 누운 상태로 적재되고 저면에 복수 개의 캐스터를 포함한다.
한편, 본 발명에 있어서, 가스실린더 자동교체시스템(1000)은 도 2에 도시되어 있는 바와 같이 상기 스키드(S)에 누운 상태로 적재된 상기 가스실린더(C)가 투입되어 상기 가스출구포트(C2)와 접속되어 가스를 공정챔버 측에 공급하는 커넥터 등의 장치 등이 포함할 수 있다.
이에 본 발명에 따른 가스실린더 자동교체시스템용 가스켓 공급회수장치는 도 2와 도 3에 도시되어 있는 바와 같이 지면에 수직으로 정렬되는 상기 가스출구포트(C2)와 상기 커넥터(CN) 사이에 가스켓(G)을 공급 또는 회수하기 위한 것이다.
한편, 본 명세서에서 x축은 도 1과 도 2에 도시되어 있는 바와 같이 상기 스키드(S)의 일 측면에서 타 측면으로 향하는 방향을 의미한다.
또한, y축은 상기 가스실린더(C)가 상기 스키드(S)에 지면에 수평하게 적재된 상태에서 상기 가스실린더(C)의 길이 방향을 의미한다.
또한, z축은 상기 스키드(S)의 캐스터가 형성되는 저면에서 상기 가스실린더(C)가 적재되는 상면으로 향하는 방향을 의미한다.
또한, θ축은 도 3에 도시되어 있는 바와 같이 xz평면 상에서 y축을 기준으로 회전하는 방향을 의미한다.
도 3 내지 도 5를 참조하면 본 발명에 따른 가스실린더 자동교체시스템용 가스켓 공급회수장치는 베이스 블록(100)과 그리퍼(200)와 로더(300)와 매거진(400) 및 회수함(500)을 포함한다.
보다 구체적으로 상기 베이스 블록(100)은 전면에 형성되는 x축 레일(111)을 따라 x축으로 슬라이딩 이동하는 x축 가동플레이트(110)와 측면에 형성되는 y축 레일(121)을 따라 y축으로 슬라이딩 이동하는 y축 가동플레이트(120)와 상기 y축 레일(121) 상측에 형성되는 제 1커버 가이드 레일 (130)을 포함한다.
이때, 상기 x축 가동플레이트(110)는 z축을 기준으로 상기 y축 가동플레이트(120) 보다 상측에 형성된다.
또한, 상기 y축 가동플레이트(120) 측에 일정 간격 이격되어 상기 가스출구포트(C2)와 상기 커넥터(CN)가 정렬된다.
한편, 상기 그리퍼(200)는 상기 x축 가동플레이트(110)에 결합하여 그리퍼 제 1이송부(211)에 의하여 z축으로 슬라이딩 이동하는 그리퍼 베이스(210)와 상기 그리퍼 베이스(210)에 설치되는 그리퍼 제 2이송부(221)에 의하여 xz평면 상에서 y축을 중심으로 회전하는 방향(θ축)으로 선회 이동 하는 선회암(220)과 상기 선회암(220)의 단부에 결합된다.
또한, 그리퍼(200)는 상기 선회암(220)에 설치되는 그리퍼 구동부(230)에 의하여 좌우 폭이 조절됨에 따라, 상기 가스켓(G)을 클램핑 또는 언클램핑 할 수 있다.
이때, 상기 그리퍼(200)는 대한민국 등록특허공보 제10-2132169호(공고일 2020.07.10)에 개시되어 있는 가스실린더의 가스공급장치용 가스켓 투입/투출 모듈의 핑거 그립퍼 등과 같이 공지된 다양한 파지 수단이 적용될 수 있다.
또한, 상기 로더(300)는 측면에 가스켓(G)이 로딩되는 로딩부(311)와 상기 가스켓(G)이 상기 로딩부(311) 측으로 투입되도록 형성되는 가스켓 투입 레일(312)과 z축 방향으로 형성되는 로딩블록 가이드 레일(313)을 포함하는 로더 베이스(310)와 로딩블록 구동부(321)에 의하여 상기 로딩블록 가이드 레일(313)을 따라 z축으로 슬라이딩 이동하는 로딩블록(320)을 포함하여 상기 y축 가동플레이트(120)에 결합한다.
또한, 상기 로더(300)는 상기 로딩부(311)에 공급 또는 회수되는 가스켓(G)을 감지하는 센서를 더 포함할 수도 있다.
한편, 상기 매거진(400)은 상기 가스켓 투입 레일(312)에 연장되어 형성되어 복수 개의 가스켓(G)이 일렬로 정렬되는 가스켓 레일(410)을 포함하여 상기 로더(300)에 결합한다.
이때, 상기 가스켓 투입 레일(312)애 반대 측에 형성되는 상기 가스켓 레일(410)의 단부에는 상기 매거진(400)으로 가스켓(G)을 투입하기 위한 통로가 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 가스켓 레일(410)은 상기 가스켓 투입 레일(312) 측으로 갈수록 하향 경사지도록 형성되어 가스켓(G)이 상기 가스켓 레일(410)을 따라 상기 로더(300) 측으로 공급될 수 있다.
또한, 상기 매거진(400)은 상기 가스켓 레일(410)에 정렬되는 가스켓(G)을 감지하는 센서를 더 포함할 수도 있다.
한편, 상기 회수함(500)은 일측이 상기 y축 가동플레이트(120)에 결합하고 타측이 상기 제 1커버 가이드 레일(130)에 결합되어 상기 y축 가동플레이트(120)의 슬라이딩 이동에 따라 z축으로 슬라이딩 이동하는 제 1커버(510)와 힌지에 의하여 개폐되는 제 2커버(520)를 포함하고 상기 y축 가동플레이트(120)에 결합되어 상기 제 1커버(510) 또는 상기 제 2커버(520)에 의하여 상면이 개방 또는 폐쇄될 수 있다.
보다 바람직하게 상기 제 2커버(520)는 도 4에 도시되어 있는 바와 같이 힌지에 의하여 전면으로 개방되도록 형성되어 상기 제 1커버(510)와 중첩되는 것이 방지될 수 있다.
또한, 상기 회수함(500)은 리브나 홈 등의 기구 구조를 통하여 상기 y축 가동플레이트(120)로부터 용이하게 탈착도록 구성되는 것이 바람직하다.
이에 따라, 상기 회수함(500)은 기 사용되어 오염된 가스켓(G)이 누적되면 상기 y축 가동플레이트(120)로부터 분리하고 상기 제 2커버(520)를 통하여 상면을 폐쇄함으로써 상기 오염된 가스켓(G)이 외부로 노출되는 시간을 최소화할 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 따른 가스실린더 자동교체시스템용 가스켓 공급회수장치는 상기 매거진(400)과 상기 로더(300)와 상기 회수함(500)이 y축을 기준하여 후방에서 전방에 순차적으로 배치된다.
또한, 상기 그리퍼(200)는 상기 로더(300)의 하측에 구비되어 상기 로딩부(311)로부터 상기 가스출구포트(C)와 상기 커넥터(CN)의 사이까지 또는 상기 로딩부(311)로부터 상기 가스출구포트(C)와 상기 커넥터(CN)의 사이로부터 상기 회수함(500)까지 상기 가스켓(G)을 이송할 수 있다.
상기한 바와 같이 구성되는 본 발명에 따른 가스실린더 자동교체시스템용 가스켓 공급회수장치의 작동 방법을 가스켓 공급과 가스켓 회수로 구분하여 설명하면 하기와 같다.
우선, 상기 가스켓 매거진(400)에 정렬된 가스켓(G)이 가스켓 레일(410)을 따라 상기 가스켓 투입 레일(312)로 공급된다.
이때, 상기 로딩블록(320)은 상기 가스켓 투입 레일(312) 보다 하측에 위치한 상태에서 상기 가스켓 투입 레일(312)을 거쳐 상기 로딩블록(320) 상측에 상기 가스켓(G)이 위치하면 상기 로딩블록 구동부(321)에 의하여 상승한다.
이에 따라, 상기 가스켓(G)은 상기 로딩부(311)에 위치하며, 상기 가스켓(G)의 후방에 정렬된 가스켓(G)은 상기 로딩블록(320)에 의하여 상기 가스켓 투입 레일(312)에 위치하여 대기한다.
이후, 상기 그리퍼(200)가 상기 그리퍼 제 1이송부(211) 및 상기 그리퍼 제 2이송부(221)에 의하여 상기 로딩부(311) 측으로 이동하여 상기 로딩부(311)에 위치한 상기 가스켓(G)을 파지한 후 도 3에 도시되어 있는 바와 같이 상기 가스켓(G)이 상면을 향하도록 위치하며 상기 x축 가동플레이트(110)와 상기 그리퍼 제 1이송부(211)에 의하여 상기 가스출구포트(C2)와 상기 커넥터(CN) 사이로 이동하고, 상기 그리퍼 제 1이송부(211)에 의하여 상승하여 상기 커넥터(CN)에 상기 가스켓(G)을 삽입시킨다.
이후, 상기 그리퍼(200)는 상기 로딩부(311) 측으로 이동한 상태로 대기한 상태에서, 상기 가스출구포트(C2)와 상기 커넥터(CN)가 접속됨에 따라 가스 공급이 이루어진다.
한편, 상기한 바와 같이 가스 공급이 완료되면, 상기 가스출구포트(C2)와 상기 커넥터(CN)가 분리되고 상기 그리퍼(200)는 상기 가스출구포트(C2)와 상기 커넥터(CN) 사이의 위치로 이동하여 사용이 완료된 상기 가스켓(G)을 파지하여 상기 로딩부(311) 측으로 복귀한다.
이때, 상기 y축 가동플레이트(120)가 후방으로 슬라이딩 이동함에 따라, 상기 회수함(500)은 상기 로더(300)의 위치에 놓이며, 상기 제 1커버(510)는 상기 제 1커버 가이드 레일(130)에 의하여 상측으로 슬라이딩 이동함에 따라 상기 회수함(500)의 상면이 개방된다.
이에 따라, 사용이 완료된 상기 가스켓(G)은 상기 그리퍼(200)에 의하여 상기 회수함(500) 내로 이송 및 배출이 완료된다.
이후, 상기 y축 가동플레이트(120)가 전방으로 슬라이딩 이동함에 따라, 상기 회수함(500)은 상기 제 1커버(510)에 의하여 상면이 폐쇄됨으로써 사용이 완료되어 오염된 상기 가스켓(G)의 외부 노출 시간을 최소화할 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 대해서 예시한 도면을 참조로 하여 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시 예와 도면에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 통상의 기술자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 자명하다.
아울러 앞서 본 발명의 실시 예를 설명하면서 본 발명의 구성에 따른 작용 효과를 명시적으로 기재하여 설명하지 않았을 지라도, 해당 구성에 의해 예측 가능한 효과 또한 인정되어야 함은 당연하다.
C. 가스실린더
C1. 밸브
C2. 가스출구포트
CN. 커넥터
G. 가스켓
S. 스키드
100. 베이스 블록
110. x축 가동플레이트
111. x축 레일
120. y축 가동플레이트
121. y축 레일
130. 제 1커버 가이드 레일
200. 그리퍼
210. 그리퍼 베이스
211. 그리퍼 제 1이송부
220. 선회암
221. 그리퍼 제 2이송부
230. 그리퍼 구동부
300. 로더
310. 로더 베이스
311. 로딩부
312. 가스켓 투입 레일
313. 로딩블록 가이드 레일
320. 로딩블록
321. 로딩블록 구동부
400. 매거진
410. 가스켓 레일
500. 회수함
510. 제 1커버
520. 제 2커버
C1. 밸브
C2. 가스출구포트
CN. 커넥터
G. 가스켓
S. 스키드
100. 베이스 블록
110. x축 가동플레이트
111. x축 레일
120. y축 가동플레이트
121. y축 레일
130. 제 1커버 가이드 레일
200. 그리퍼
210. 그리퍼 베이스
211. 그리퍼 제 1이송부
220. 선회암
221. 그리퍼 제 2이송부
230. 그리퍼 구동부
300. 로더
310. 로더 베이스
311. 로딩부
312. 가스켓 투입 레일
313. 로딩블록 가이드 레일
320. 로딩블록
321. 로딩블록 구동부
400. 매거진
410. 가스켓 레일
500. 회수함
510. 제 1커버
520. 제 2커버
Claims (5)
- 지면에 직교하도록 배치되는 가스출구포트(C)와 커넥터(CN) 사이에 가스켓(G)을 공급하기 위한 가스실린더 자동교체시스템용 가스켓 공급회수장치에 있어서,
전면에 형성되는 x축 레일(111)을 따라 x축으로 슬라이딩 이동하는 x축 가동플레이트(110)와 측면에 형성되는 y축 레일(121)을 따라 y축으로 슬라이딩 이동하는 y축 가동플레이트(120)와 상기 y축 레일(121) 상측에 형성되는 제 1커버 가이드 레일 (130)을 포함하는 베이스 블록(100);
상기 x축 가동플레이트(110)에 결합하여 그리퍼 제 1이송부(211)에 의하여 z축으로 슬라이딩 이동하는 그리퍼 베이스(210)와 상기 그리퍼 베이스(210)에 설치되는 그리퍼 제 2이송부(221)에 의하여 xz평면 상에서 y축을 중심으로 회전하는 방향(θ축)으로 선회 이동 하는 선회암(220)과 상기 선회암(220)의 단부에 결합되어 그리퍼 구동부(230)에 의하여 좌우 폭이 조절됨에 따라 상기 가스켓(G)을 클램핑 또는 언클램핑하는 그리퍼(200);
측면에 가스켓(G)이 로딩되는 로딩부(311)와 상기 가스켓(G)이 상기 로딩부(311) 측으로 투입되도록 형성되는 가스켓 투입 레일(312)과 z축 방향으로 형성되는 로딩블록 가이드 레일(313)을 포함하는 로더 베이스(310)와 로딩블록 구동부(321)에 의하여 상기 로딩블록 가이드 레일(313)을 따라 z축으로 슬라이딩 이동하는 로딩블록(320)을 포함하여 상기 y축 가동플레이트(120)에 결합하는 로더(300);
상기 가스켓 투입 레일(312)에 연장되어 형성되어 복수 개의 가스켓(G)이 일렬로 정렬되는 가스켓 레일(410)을 포함하여 상기 로더(300)에 결합하는 매거진(400); 및
일측이 상기 y축 가동플레이트(120)에 결합하고 타측이 상기 제 1커버 가이드 레일(130)에 결합되어 상기 y축 가동플레이트(120)의 슬라이딩 이동에 따라 z축으로 슬라이딩 이동하는 제 1커버(510)와 힌지에 의하여 개폐되는 제 2커버(520)를 포함하고 상기 로더(300)를 기준으로 상기 매거진(400)과 대향되도록 상기 y축 가동플레이트(120)에 결합되어 상기 제 1커버(510) 또는 상기 제 2커버(520)에 의하여 상면이 개방 또는 폐쇄되는 회수함(500);을 포함하는 가스실린더 자동교체시스템용 가스켓 공급회수장치.
- 제 1항에 있어서,
상기 로더(300)는 상기 로딩부(311)에 공급 또는 회수되는 가스켓(G)을 감지하는 센서를 더 포함하는 가스실린더 자동교체시스템용 가스켓 공급회수장치.
- 제 1항에 있어서,
상기 매거진(400)은 상기 가스켓 레일(410)에 정렬되는 가스켓(G)을 감지하는 센서를 더 포함하는 가스실린더 자동교체시스템용 가스켓 공급회수장치.
- 제 1항에 있어서,
상기 매거진(400)과 상기 로더(300)와 상기 회수함(500)은 y축을 기준하여 후방에서 전방에 순차적으로 배치되는 가스실린더 자동교체시스템용 가스켓 공급회수장치.
- 제 1항에 있어서,
상기 그리퍼(200)는 상기 로더(300)의 하측에 구비되어 상기 로딩부(311)로부터 상기 가스출구포트(C)와 상기 커넥터(CN)의 사이까지 또는 상기 로딩부(311)로부터 상기 가스출구포트(C)와 상기 커넥터(CN)의 사이로부터 상기 회수함(500)까지 상기 가스켓(G)을 이송하는 가스실린더 자동교체시스템용 가스켓 공급회수장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020200157705A KR102393805B1 (ko) | 2020-11-23 | 2020-11-23 | 가스실린더 자동교체시스템용 가스켓 공급회수장치 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR102393805B1 true KR102393805B1 (ko) | 2022-05-04 |
Family
ID=81584122
Family Applications (1)
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Country Status (1)
Country | Link |
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KR (1) | KR102393805B1 (ko) |
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