KR102421555B1 - 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인 장치에 관한 것으로 z축 고정플레이트에 고정 설치되는 z축 구동부에 의하여 상기 z축 고정플레이트에 대하여 z축으로 슬라이딩 이동하는 z축 가동블럭을 포함하는 z축 얼라인유닛, 상기 z축 가동블럭 어느 일측에 결합되며 상면에 y축 레일이 형성되는 y축 고정블럭과 상기 y축 고정블럭에 설치되는 y축 구동부에 의하여 상기 y축 레일을 따라 y축으로 슬라이딩 이동하는 y축 가동블럭을 포함하는 y축 얼라인유닛, 상기 y축 가동블럭에 결합되며 전면에 x축 레일이 형성되는 x축 고정블럭과 상기 x축 고정블럭에 고정 설치되는 x축 구동부에 의하여 상기 x축 레일을 따라 x축으로 슬라이딩 이동하는 x축 가동블럭을 포함하는 x축 얼라인유닛 및 상기 x축 가동블럭에 결합되며 전면에 원호 형상의 θ축 레일이 형성되는 θ축 고정블럭과 상기 θ축 고정블럭에 고정 설치되는 θ축 구동부에 의하여 상기 θ축 레일을 따라 θ축으로 선회 이동하는 θ축 가동블럭을 포함한다.

Description

가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치{Align Apparatus For Automatic Replacement System Of Gas Cylinder}
본 발명은 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치에 관한 것으로 보다 상세하게는 지면과 수평인 누운 상태로 투입되는 비교적 대용량의 가스실린더를 자동으로 교체하여 공정 챔버 측에 연속적으로 가스를 공급할 수 있는 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체, 디스플레이 패널 등을 제조하는 공정은 용도에 따라 다양한 가스의 공급이 이루어지며 이러한 가스들은 대부분 유독성, 가연성 등이 비교적 높아 인체에 흡입되거나 대기 중에 노출되는 경우 안전사고 및 환경오염 등의 피해를 발생시킬 수 있다.
또한, 이러한 가스들은 단부에 가스출구포트 등이 구비되는 원통형의 실린더(이하, 가스실린더) 내부에 충전되어 보관 및 운반이 이루어지며 외부로 연장되는 가스 유로를 포함하는 커넥터 등에 연결되어 공정 챔버 측으로 가스의 공급이 이루어진다.
한편, 종래의 가스실린더 교체장치는 내부에 가스가 충전된 가스실린더의 가스출구포트를 공정 챔버 측으로 연장되는 배관과 연결하여 수동으로 밸브를 개폐하여 공정 챔버에 가스를 공급하도록 구성되었다.
그러나, 이러한 종래의 가스실린더 교체장치는 작업자의 숙련도에 따라 가스출구포트와 배관 연결부 사이에 누설이 발생할 수 있는 문제점이 있다.
이를 해결하기 위하여 대한민국 공개특허공보 제10-2019-0040922호에는 가스실린더 리프트에 가스실린더를 로딩하기만 하면 가스실린더를 가스실린더 연결 유닛에 자동으로 연결하고 가스실린더 내의 가스가 적정량 소진되면 가스실린더 연결 유닛으로부터 가스실린더를 자동으로 분리하여 언로딩할 수 있는 가스실린더 교체시스템이 개시되어 있다.
그러나 이러한 종래의 가스실린더 교체시스템은 가스실린더가 지면에 세워진 상태로 투입됨에 따라, 가스실린더 연결 유닛이 지상에서 비교적 높은 위치에 형성된다.
특히, 길이가 1,800mm 이상인 비교적 대용량의 가스실린더를 이러한 종래의 가스실린더 교체장치에 적용하는 경우 가스실린더 연결 유닛의 유지 보수를 위하여 장치를 분리하거나 작업자가 사다리나 지게차 등을 이용함에 따라 유지 보수성이 저하되는 문제점이 있다.
대한민국 공개특허공보 10-2019-0040922(공개일 2019.04.19.)
본 발명의 목적은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로 비교적 대용량의 가스실린더를 지면에 수평인 방향으로 스키드에 적재한 상태에서 이송하여 다양한 공정 챔버에 원활한 가스 공급을 수행할 수 있는 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 가스실린더의 가스출구포트와 일단이 공정 챔버 측으로 연결되는 가스 유로를 포함하는 커넥터가 견고하게 결합할 수 있도록 연결장치들을 정렬하기 위한 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치를 제공하는 것이다.
발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시 예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다.
또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.
상술한 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 따른 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인 장치는 z축 고정플레이트에 고정 설치되는 z축 구동부에 의하여 상기 z축 고정플레이트에 대하여 z축으로 슬라이딩 이동하는 z축 가동블럭을 포함하는 z축 얼라인유닛, 상기 z축 가동블럭 어느 일측에 결합되며 상면에 y축 레일이 형성되는 y축 고정블럭과 상기 y축 고정블럭에 설치되는 y축 구동부에 의하여 상기 y축 레일을 따라 y축으로 슬라이딩 이동하는 y축 가동블럭을 포함하는 y축 얼라인유닛, 상기 y축 가동블럭에 결합되며 전면에 x축 레일이 형성되는 x축 고정블럭과 상기 x축 고정블럭에 고정 설치되는 x축 구동부에 의하여 상기 x축 레일을 따라 x축으로 슬라이딩 이동하는 x축 가동블럭을 포함하는 x축 얼라인유닛 및 상기 x축 가동블럭에 결합되며 전면에 원호 형상의 θ축 레일이 형성되는 θ축 고정블럭과 상기 θ축 고정블럭에 고정 설치되는 θ축 구동부에 의하여 상기 θ축 레일을 따라 θ축으로 선회 이동하는 θ축 가동블럭을 포함한다.
한편, 상기 z축 얼라인유닛은 상기 z축 가동블럭의 전방 측에 설치되는 z축 제 1가동부와 상기 z축 가동블럭의 후방 측에 설치되는 z축 제 2가동부를 포함하며, 상기 z축 가동블럭은 상기 z축 제 1가동부와 상기 z축 제 2가동부의 변위 차에 의하여 yz평면 상에서 x축을 중심으로 회전하는 방향(θ`축)으로 선회 이동할 수 있다.
또한, 상기 θ축 얼라인유닛은 일단이 상기 θ축 가동블럭에 결합되며, 타단이 상기 z축 가동블럭에 결합하는 댐퍼를 더 포함할 수 있다.
보다 구체적으로 상기 z축 가동블럭은 상기 y축 고정블럭이 배치되는 측과 반대 측에 상기 댐퍼의 타단이 결합하는 댐퍼 체결플레이트를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 댐퍼 체결플레이트는 상기 z축 가동블럭에 대하여 x축과 y축으로 각각 슬라이딩 이동할 수 있도록 형성되는 것이 바람직하다
상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치는 가스출구포트와 연결되는 연결장치들을 다축으로 정렬하여 가스실린더에 의한 가스공급 시 발생하는 가스의 누출을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 가스실린더 자동교체장치는 가스실린더의 이송과 정렬 및 가스공급을 자동으로 수행함에 따라 작업자의 숙련도에 따른 휴먼 에러를 차단하여 가스 누설에 따른 안전사고를 방지할 수 있다.
상술한 효과와 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스실린더 자동교체시스템에서 가스실린더가 스키드에 적재된 상태를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스실린더 자동교체시스템을 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치의 정면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치의 우측면도이다.
전술한 목적, 특징 및 장점은 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 후술되며, 이에 따라 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다.
본 발명을 설명함에 있어서 본 발명과 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 상세한 설명을 생략한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 도면에서 동일한 참조부호는 동일 또는 유사한 구성요소를 가리키는 것으로 사용된다.
이하에서 구성요소의 "상부 (또는 하부)" 또는 구성요소의 "상 (또는 하)"에 임의의 구성이 배치된다는 것은, 임의의 구성이 상기 구성요소의 상면 (또는 하면)에 접하여 배치되는 것뿐만 아니라, 상기 구성요소와 상기 구성요소 상에 (또는 하에) 배치된 임의의 구성 사이에 다른 구성이 개재될 수 있음을 의미할 수 있다.
또한 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 상기 구성요소들은 서로 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성요소 사이에 다른 구성요소가 "개재"되거나, 각 구성 요소가 다른 구성요소를 통해 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있는 것으로 이해되어야 할 것이다.
본 명세서에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, "구성된다" 또는 "포함한다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 여러 구성 요소들, 또는 여러 단계들을 반드시 모두 포함하는 것으로 해석되지 않아야 하며, 그 중 일부 구성 요소들 또는 일부 단계들은 포함되지 않을 수도 있고, 또는 추가적인 구성 요소 또는 단계들을 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다.
명세서 전체에서, "A 및/또는 B" 라고 할 때, 이는 특별한 반대되는 기재가 없는 한, A, B 또는 A 및 B 를 의미하며, "C 내지 D" 라고 할 때, 이는 특별한 반대되는 기재가 없는 한, C 이상이고 D 이하인 것을 의미한다.
이하에서는, 본 발명의 몇몇 실시 예에 따른 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치를 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스실린더 자동교체장치에서 가스실린더가 스키드에 적재된 상태를 도시한 사시도이며, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스실린더 자동교체시스템을 도시한 사시도이다.
또한, 도 3과 도 4는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치의 정면도와 우측면도이다.
우선, 본 발명에서 가스실린더(C)라 함은 도 1에 도시되어 있는 바와 같이 전체적으로 원통 형상으로 내부에 고압의 가스가 충전되어 있다.
또한, 상기 가스실린더(C)는 헤드부에 길이 방향으로 형성되는 밸브(C1)와 상기 밸브(C1)의 직교방향으로 형성되는 가스출구포트(C2) 등을 포함한다.
또한, 스키드(S)는 상면에 상기 가스실린더(C)가 지면에 누운 상태로 적재되고 저면에 복수 개의 캐스터를 포함한다.
한편, 본 발명에 있어서, 가스실린더 자동교체시스템(1000)은 도 2에 도시되어 있는 바와 같이 상기 스키드(S)에 누운 상태로 적재된 상기 가스실린더(C)가 투입되어 상기 가스출구포트(C2)와 접속되어 가스를 공정챔버 측에 공급하는 커넥터 등의 연결장치 등이 포함할 수 있다.
이에 본 발명에 따른 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치는 상기 가스실린더 자동교체시스템(1000)에 내장되어 커넥터 등의 연결장치가 연결되어 이들을 상기 가스출구포트(C2)와 정렬하기 위한 것이다.
또한, 본 명세서에서 x축은 도 1과 도 2에 도시되어 있는 바와 같이 상기 스키드(S)의 일 측면에서 타 측면으로 향하는 방향을 의미한다.
또한, y축은 상기 가스실린더(C)가 상기 스키드(S)에 지면에 수평하게 적재된 상태에서 상기 가스실린더(C)의 길이 방향을 의미한다.
또한, z축은 상기 스키드(S)의 캐스터가 형성되는 저면에서 상기 가스실린더(C)가 적재되는 상면으로 향하는 방향을 의미한다.
또한, θ축은 도 3에 도시되어 있는 바와 같이 xz평면 상에서 y축을 기준으로 회전하는 방향을 의미한다.
또한, θ`축(요잉)은 도 4에 도시되어 있는 바와 같이 zy평면 상에서 x축을 기준으로 회전하는 방향을 의미한다.
도 3과 도 4를 참조하면 본 발명에 따른 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치는 z축 얼라인유닛(100)과 y축 얼라인유닛(200)과 x축 얼라인유닛(300) 및 θ축 얼라인유닛(400)을 포함한다.
보다 구체적으로 상기 z축 얼라인유닛(100)은 z축 고정플레이트(110)에 고정 설치되는 z축 구동부(120)에 의하여 상기 z축 고정플레이트(110)에 대하여 z축으로 슬라이딩 이동하는 z축 가동블럭(130)을 포함한다.
이때, 상기 z축 가동블럭(130)은 도 3에 도시되어 있는 바와 같이 상기 x축 고정 플레이트(110)와 평행한 플레이트에 양단이 각각 상측을 향하도록 형성되어 상기 가스실린더(C)의 저면과 양측면을 감싸도록 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 z축 얼라인유닛(100)은 상기 z축 가동블럭(130)의 전방 측에 설치되는 z축 제 1가동부(121)와 상기 z축 가동블럭(130)의 후방 측에 설치되는 z축 제 2가동부(122)를 포함한다.
또한, 상기 z축 구동부(120)는 상기 z축 제 1가동부(121)와 상기 z축 제 2가동부(122)를 각각 제어하며 유압 또는 공압 실린더를 포함한 가동 거리의 제어가 가능한 서버모터, 리니어모터 등이 적용될 수 있다.
이에 따라, 상기 z축 가동블럭(130)은 상기 z축 제 1가동부(121)와 상기 z축 제 2가동부(122)의 변위 차에 의하여 yz평면 상에서 x축을 중심으로 회전하는 방향(θ`축)으로 선회 이동할 수 있다.
한편, 상기 y축 얼라인유닛(200)은 상기 z축 가동블럭(130) 어느 일측에 결합되며 상면에 y축 레일(211)이 형성되는 y축 고정블럭(210)과 상기 y축 고정블럭(210)에 설치되는 y축 구동부(220)에 의하여 상기 y축 레일을 따라 y축으로 슬라이딩 이동하는 y축 가동블럭(230)을 포함한다.
이에 따라, 상기 y축 가동블럭(230)은 상기 z축 가동블럭(130)의 어느 한 지점에 대하여 y축으로 슬라이딩 이동할 수 있다.
또한, 상기 y축 구동부(220)는 유압 또는 공압 실린더를 포함하여 공압 또는 유압으로 작동되는 서버모터나 리니어모터 등이 적용될 수 있다.
보다 바람직하게, 상기 y축 얼라인유닛(200)은 도 3에 도시되어 있는 바와 같이 상기 z축 가동블럭(130)의 일측에 형성되어 상기 z축 가동블럭(130)의 중앙부 측에 상기 가스실린더(C)의 일단이 투입될 수 있는 공간을 확보할 수 있다.
한편, 상기 x축 얼라인유닛(300)은 상기 y축 가동블럭(230)에 결합되며 전면에 x축 레일(311)이 형성되는 x축 고정블럭(310)과 상기 x축 고정블럭(310)에 고정 설치되는 x축 구동부(320)에 의하여 상기 x축 레일을 따라 x축으로 슬라이딩 이동하는 x축 가동블럭(330)을 포함한다.
이에 따라, 상기 x축 가동블럭(330)은 상기 y축 가동블럭(230)의 어느 한 지점에 대하여 x축으로 슬라이딩 이동할 수 있다.
또한, 상기 x축 얼라인유닛(300)은 상기 y축 얼라인유닛(200)의 상측에 위치하여 상기 z축 가동블럭(130)의 중앙부 측에 상기 가스실린더(C)의 일단이 투입될 수 있는 공간을 확보할 수 있다.
또한, 상기 x축 구동부(320)는 유압 또는 공압 실린더를 포함하여 공압 또는 유압으로 작동되는 서버모터나 리니어모터 등이 적용될 수 있다.
한편, 상기 θ축 얼라인유닛(400)은 상기 x축 가동블럭(330)에 결합되며 전면에 원호 형상의 θ축 레일(411)이 형성되는 θ축 고정블럭(410)과 상기 θ축 고정블럭(410)에 고정 설치되는 θ축 구동부(420)에 의하여 상기 θ축 레일을 따라 θ축으로 선회 이동하는 θ축 가동블럭(430)을 포함한다.
이에 따라, 상기 θ축 가동블럭(430)은 상기 z축 가동블럭(130)의 어느 한 지점에 대하여 선회 이동할 수 있다.
또한, 상기 θ축 구동부(420)는 유압 또는 공압 실린더를 포함하여 공압 또는 유압으로 작동되는 서버모터나 리니어모터 등이 적용될 수 있다.
또한, 상기 θ축 가동블럭(430)은 도 3에 도시되어 있는 바와 같이 상기 x축 고정 플레이트(110)와 평행한 플레이트에 양단이 각각 하측을 향하도록 형성되어 상기 가스실린더(C)의 상면과 양측면을 감싸도록 형성되는 것이 바람직하다.
보다 바람직하게 상기 θ축 얼라인유닛(400)은 일단이 상기 θ축 가동블럭(430)에 결합되며, 타단이 상기 z축 가동블럭(130)에 결합하는 댐퍼(440)를 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 댐퍼(440)는 가스 댐퍼 등을 포함한 다양한 댐핑 장치가 적용될 수 있다.
또한, 상기 z축 가동블럭(130)은 상기 y축 고정블럭(210)이 배치되는 측과 반대 측에 상기 댐퍼(440)의 타단이 결합하는 댐퍼 체결플레이트(131)를 더 포함하며, 상기 댐퍼 체결플레이트(131)는 상기 z축 가동블럭(130)에 대하여 x축과 y축으로 각각 슬라이딩 이동할 수 있다.
이에 따라, 상기 θ축 가동블럭(430)은 x축, y축, θ축 중 적어도 어느 한 방향으로 이동하는 경우에 상기 댐퍼(440)로 인하여 상기 θ축 고정블럭(410)과 비교적 원거리에 위치하는 측에 작용하는 진동을 저감시킬 수 있다.
보다 바람직하게 본 발명에 따른 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치는 상기 z축 가동블럭(130)의 상면이나 상기 상기 θ축 가동블럭(430)의 내측면에 상기 가스실린더(C)의 밸브(C1)를 개폐하거나 상기 가스출구포트(C2)에 탈부착되어 공정챔버 측으로 가스를 공급하기 위한 커넥터 등의 연결장치들이 결합될 수 있다.
이에 따라, 상기 연결장치들은 본 발명에 따른 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치에 의하여 상기 밸브(C1) 또는 가스출구포트(C2) 등에 대향되도록 정렬될 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 대해서 예시한 도면을 참조로 하여 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시 예와 도면에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 통상의 기술자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 자명하다.
아울러 앞서 본 발명의 실시 예를 설명하면서 본 발명의 구성에 따른 작용 효과를 명시적으로 기재하여 설명하지 않았을 지라도, 해당 구성에 의해 예측 가능한 효과 또한 인정되어야 함은 당연하다.
C. 가스실린더
C1. 밸브
C2. 가스출구포트
S. 스키드
100. z축 얼라인유닛
110. z축 고정플레이트
120. z축 구동부
121. z축 제 1가동부
122. z축 제 2가동부
130. z축 가동블럭
131. 댐퍼 체결플레이트
200. y축 얼라인유닛
210. y축 고정플레이트
211. y축 레일
220. y축 구동부
230. y축 가동블럭
300. x축 얼라인유닛
310. x축 고정플레이트
311. x축 레일
320. x축 구동부
330. x축 가동블럭
400. θ축 얼라인유닛
410. θ축 고정플레이트
411. θ축 레일
420. θ축 구동부
430. θ축 가동블럭
440. 댐퍼

Claims (5)

  1. z축 고정플레이트(110)에 고정 설치되는 z축 구동부(120)에 의하여 상기 z축 고정플레이트(110)에 대하여 z축으로 슬라이딩 이동하는 z축 가동블럭(130)과 상기 z축 가동블럭(130)의 전방 측에 설치되는 z축 제 1가동부(121)와 상기 z축 가동블럭(130)의 후방 측에 설치되는 z축 제 2가동부(122)를 포함하며, 상기 z축 제 1가동부(121)와 상기 z축 제 2가동부(122)의 변위 차에 의하여 yz평면 상에서 x축을 중심으로 회전하는 방향(θ`축)으로 선회 이동하는 z축 얼라인유닛(100);
    상기 z축 가동블럭(130) 어느 일측에 결합되며 상면에 y축 레일(211)이 형성되는 y축 고정블럭(210)과 상기 y축 고정블럭(210)에 설치되는 y축 구동부(220)에 의하여 상기 y축 레일을 따라 y축으로 슬라이딩 이동하는 y축 가동블럭(230)을 포함하는 y축 얼라인유닛(200);
    상기 y축 가동블럭(230)에 결합되며 전면에 x축 레일(311)이 형성되는 x축 고정블럭(310)과 상기 x축 고정블럭(310)에 고정 설치되는 x축 구동부(320)에 의하여 상기 x축 레일을 따라 x축으로 슬라이딩 이동하는 x축 가동블럭(330)을 포함하는 x축 얼라인유닛(300); 및
    상기 x축 가동블럭(330)에 결합되며 전면에 원호 형상의 θ축 레일(411)이 형성되는 θ축 고정블럭(410)과 상기 θ축 고정블럭(410)에 고정 설치되는 θ축 구동부(420)에 의하여 상기 θ축 레일을 따라 θ축으로 선회 이동하는 θ축 가동블럭(430)을 포함하는 θ축 얼라인유닛(400);을 포함하는 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 θ축 얼라인유닛(400)은 일단이 상기 θ축 가동블럭(430)에 결합되며, 타단이 상기 z축 가동블럭(130)에 결합하는 댐퍼(440)를 더 포함하는 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 z축 가동블럭(130)은 상기 y축 고정블럭(210)이 배치되는 측과 반대 측에 상기 댐퍼(440)의 타단이 결합하는 댐퍼 체결플레이트(131)를 더 포함하는 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 댐퍼 체결플레이트(131)는 상기 z축 가동블럭(130)에 대하여 x축과 y축으로 각각 슬라이딩 이동할 수 있는 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치.
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