KR102339970B1 - 핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치 - Google Patents

핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 저전력의 상태에서도 플라즈마를 구현할 수 있도록 하여 상처 치료나 세포 치료의 의료용 등을 포함한 마이크로웨이브 플라즈마를 이용하는 각종 소형 장치에 용이하게 적용할 수 있도록 구성되는 핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 상하부 개구되며 소정 단면 형상을 갖고 형성되는 핸드피스 하우징; 마이크로웨이브 제너레이터에 연결되며 상기 핸드피스 하우징의 내측에 구비되는 마이크로웨이브 전극 팁; 상기 마이크로웨이브 전극 팁 둘레에 구비되며 외부로부터의 플라즈마 가스를 그 마이크로웨이브 전극 팁 주변으로 공급하도록 구성되는 가스 분배 부재; 상기 핸드피스 하우징의 하부를 수용하면서 그 핸드피스 하우징이 거치되는 장착구를 갖고 형성되는 거치 하우징; 및 상기 핸드피스 하우징이 상기 거치 하우징에 거치된 상태에서 상기 마이크로웨이브 전극 팁 아래에 고전압 펄스 전기장을 인가하여 초기 플라즈마 방전을 개시하도록 구성되는 이그니션 모듈;을 포함하는 핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치가 제공된다.

Description

핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치 {LOW TEMPERATURE MICROWAVE PLASMA GENERATOR OF HAND TYPE}
본 발명은 핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 저전력의 상태에서도 플라즈마를 구현할 수 있도록 하여 상처 치료나 세포 치료의 의료용 등을 포함한 마이크로웨이브 플라즈마를 이용하는 각종 소형 장치에 용이하게 적용할 수 있도록 구성되는 핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치에 관한 것이다.
플라즈마는 반도체, 디스플레이 소자, 각종 부품의 표면처리 등에 널리 사용되어 왔으며, 더욱 그 응용성을 넓혀 생명공학 연구, 의료, 공기 청정, 소각로 등에도 사용되는 융합적인 기술분야로 자리매김하고 있다.
즉, 일반적으로 플라즈마 발생 장치는 양측 전극에 고주파 또는 고전압을 공급하면 양측 전극 사이에 기체분자가 양이온과 전자로 분리되도록 하는 장치로써, 이러한 양측 전극은 진공 상태에 설치되거나, 대기 중에 설치되기도 한다. 이러한 플라즈마 발생 장치는 반도체, PCB, 신소재 합성, 고분자의 표면처리, 금속의 표면처리, 환경 정화, 의료기기, 식료품의 살균 및 소독 기술 등에 적용되고 있으며, 그 적용 분야도 점점 확대되고 있다.
특히, 치아미백, 암세포 사멸, 혈액 응고속도 촉진 등의 의료 분야로의 영역을 확대하고 있는데, 종래 주로 사용되던 레이저의 경우, 열 손상에 의한 화상 및 작은 레이저 반경에 의한 넓은 면적 치료시의 균일한 치료가 불가한 단점이 있었다. 하지만, 플라즈마의 경우는 열 손상이 없고, 플라즈마 발생장치에 따라 넓은 면적의 치료 부위를 균일하고 효율적으로 처리가 가능한 장점이 있다.
플라즈마에서 발생하는 자외선(UV), 오존 등의 산소 라디칼, 일산화질소 등의 질소산화물, 전류와 하전 입자들 각각은 인체 치료에 있어서, 세포 면역 증가, 살균, 암세포 괴사, 혈액순환 증가 등의 효과를 제공하는 것으로 보고되고 있다.
이와 같이 의료용으로 사용되는 플라즈마 발생 장치는 인체에 직접 플라즈마를 조사하기 때문에 안정성이 요구된다.
예컨대 플라즈마를 발생시키기 위해서 인가되는 고전압의 누전에 따른 감전 사고의 방지가 요구된다. 플라즈마의 조사량을 용이하게 조절하여 인체에 손상을 주는 것을 방지하거나, 플라즈마의 조사량을 증가하여 필요한 조직을 태워서 외과용으로 사용 가능하도록 플라즈마 방출량의 용이한 조절이 요구된다.
그리고 사용자가 플라즈마 발생 장치를 용이하게 취급할 수 있는 사용상의 편의성 및 소형화가 요구되고 있다. 특히 플라즈마 발생 장치를 내시경에 적용하기 위해서는 소형화와 플라즈마 방출량의 용이한 조절이 필수적이라 할 수 있다.
그러나 종래의 플라즈마 발생 장치의 경우, 플라즈마 발생 시 높은 전압이 요구됨으로 절연이 어려울 수 있으며, 유전체가 불소나 염소를 함유한 폴리머일 경우, 플라즈마 발생 시 생성된 불소 및 염소에 의해 심각한 부작용이 나타날 수 있다.
또한, 의료용 상처 치료 및 세포 처리를 위해 저전력으로 플라즈마를 구현하기 위해서는 초기 방전의 개시가 매우 어려운 한계가 따르는 문제점이 있다.
대한민국 공개특허공보 10-2019-0035052(2019.04.03. 공개) 대한민국 등록특허공보 10-1740821(2017.05.26. 공고) 대한민국 등록특허공보 10-1940012(2019.01.18. 공고) 대한민국 등록특허공보 10-1189481(2012.10.15. 공고)
따라서, 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위한 본 발명은, 저전력의 상태에서도 플라즈마를 구현할 수 있도록 하여 상처 치료나 세포 치료의 의료용 등을 포함한 마이크로웨이브 플라즈마를 이용하는 각종 소형 장치에 용이하게 적용할 수 있도록 구성되는 핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 해결과제는 이상에서 언급한 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 본 발명의 목적들 및 다른 특징들을 달성하기 위한 본 발명의 일 관점에 따르면, 상하부 개구되며 소정 단면 형상을 갖고 형성되는 핸드피스 하우징; 마이크로웨이브 제너레이터에 연결되며 상기 핸드피스 하우징의 내측에 구비되는 마이크로웨이브 전극 팁; 상기 마이크로웨이브 전극 팁 둘레에 구비되며 외부로부터의 플라즈마 가스를 그 마이크로웨이브 전극 팁 주변으로 공급하도록 구성되는 가스 분배 부재; 상기 핸드피스 하우징의 하부를 수용하면서 그 핸드피스 하우징이 거치되는 장착구를 갖고 형성되는 거치 하우징; 및 상기 핸드피스 하우징이 상기 거치 하우징에 거치된 상태에서 상기 마이크로웨이브 전극 팁 아래에 고전압 펄스 전기장을 인가하여 초기 플라즈마 방전을 개시하도록 구성되는 이그니션 모듈;을 포함하는 핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치가 제공된다.
본 발명에 있어서, 상기 가스 분배 부재는 상기 마이크로웨이브 전극 팁 둘레에 구비되고, 절연체로 형성되는 단면 링 형태의 링형 바디부, 및 상기 바디부에 간격을 갖고 복수 형성되되, 상기 마이크로웨이브 전극 팁과 평행하게 관통 형성되는 가스 분배공을 포함할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 거치 하우징은 상기 핸드피스 하우징이 거치되는 장착구가 형성되며, 상기 장착구를 통해 상기 핸드피스 하우징의 하부가 수용되는 함체형으로 이루어질 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 핸드피스 하우징과 장착구 중 하나에는 하나 이상의 거치 돌기가 형성되며, 상기 핸드피스 하우징과 장착구 중 다른 하나에는 상기 거치 돌기가 안착되는 거치 홈이 형성될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 이그니션 모듈은 상기 거치 하우징의 내부에 구비되어 고전압을 발생시키도록 구성되는 고전압 제너레이터; 및 상기 고전압 제너레이터의 일측에 구비되되, 상기 거치 하우징에 거치되는 마이크로웨이브 전극 팁에 대향하여 구비되어, 그 고전압 제너레이터의 전기 신호를 전달받아 고전압 펄스 전기장을 방출하도록 구성되는 고전압 전극 팁;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 거치 하우징에 상기 핸드피스 하우징이 거치된 상태에서, 상기 마이크로웨이브 전극 팁에 대한 상기 고전압 전극 팁의 대향 위치를 검출하기 위한 대향위치 검출모듈을 더 포함할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 대향위치 검출모듈은 상기 거치 하우징의 일측에 구비되는 검출부; 및 상기 검출부에 의해 검출된 결과를 표시하기 위한 표시부;를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치에 의하면 다음과 같은 효과를 제공한다.
첫째, 본 발명은 마이크로웨이브 발생기의 전극 팁에서 저전력의 상태로 플라즈마를 구현할 수 있어 플라즈마를 발생시키기 위해서 인가되는 고전압을 필요로 하지 않아 안정성을 확보할 수 있는 효과가 있다.
둘째, 본 발명은 저전력의 상태에서도 플라즈마를 구현할 수 있어 상처 치료나 세포 치료의 의료용 치료 장치 등 다양한 장치에 용이하게 적용할 수 있는 효과가 있다.
셋째, 본 발명은 저전력으로 구현됨으로써 사용상의 편의성 및 소형화를 도모할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어 질 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치의 구성을 설명하기 위하여 구성부들을 블록화하여 개략적으로 나타내는 개념도이다.
도 2는 본 발명에 따른 핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치의 구현 예시를 나타내는 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치의 구현 예시에 대한 단면도로서 도 2의 종단면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치를 구성하는 가스 분배 부재를 평면에서 바라본 도면이다.
도 5는 본 발명에 따른 핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치를 구성하는 거치 하우징의 배면도이다.
본 발명의 추가적인 목적들, 특징들 및 장점들은 다음의 상세한 설명 및 첨부도면으로부터 보다 명료하게 이해될 수 있다.
본 발명의 상세한 설명에 앞서, 본 발명은 다양한 변경을 도모할 수 있고, 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는바, 아래에서 설명되고 도면에 도시된 예시들은 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도는 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
또한, 명세서에 기재된 "...부", "...유닛", "...모듈" 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어나 소프트웨어 또는 하드웨어 및 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다.
또한, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
또한, 본원 명세서 전체에서, 어떤 단계가 다른 단계와 "상에"또는 "전에" 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 단계가 다른 단계와 직접적 시계열적인 관계에 있는 경우 뿐만 아니라, 각 단계 후의 혼합하는 단계와 같이 두 단계의 순서에 시계열적 순서가 바뀔 수 있는 간접적 시계열적 관계에 있는 경우와 동일한 권리를 포함한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치에 대하여 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치의 구성을 설명하기 위하여 구성부들을 블록화하여 개략적으로 나타내는 개념도이고, 도 2는 본 발명에 따른 핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치의 구현 예시를 나타내는 사시도이며, 도 3은 본 발명에 따른 핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치의 구현 예시에 대한 단면도로서 도 2의 종단면도이다. 도 4는 본 발명에 따른 핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치를 구성하는 가스 분배 부재를 평면에서 바라본 도면이며, 도 5는 본 발명에 따른 핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치를 구성하는 거치 하우징의 배면도이다
본 발명에 따른 핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치는, 도 1 내지 도 5에 나타낸 바와 같이, 크게 핸드피스 하우징(100); 마이크로웨이브 전극 팁(microwave electrode tip)(200); 가스 분배 부재(300); 거치 하우징(400); 및 이그니션 모듈(ignition module)(500);을 포함하여 구성된다.
구체적으로, 본 발명에 따른 핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치는, 도 1 내지 도 5에 나타낸 바와 같이, 상하부 개구되며 소정 단면 형상을 갖고 형성되는 핸드피스 하우징(100); 마이크로웨이브 제너레이터(microwave generator)(M/G)에 연결되며 상기 핸드피스 하우징(100)의 내측 하부에 구비되는 마이크로웨이브 전극 팁(microwave electrode tip)(200); 상기 마이크로웨이브 전극 팁(200) 둘레에 구비되며 외부에서 제공되는 플라즈마 가스를 그 마이크로웨이브 전극 팁(200) 주변으로 공급하도록 구성되는 가스 분배 부재(300); 상기 핸드피스 하우징(100)의 하부를 수용하면서 그 핸드피스 하우징(100)이 탈착 및 안착되는 장착구(410)를 갖고 형성되어 상기 핸드피스 하우징(100)이 거치되는 거치 하우징(400); 및 상기 거치 하우징(400) 내에 구비되고, 상기 마이크로웨이브 전극 팁(200) 아래에 고전압 펄스 전기장을 인가하여 초기 플라즈마 방전을 개시하도록 구성되는 이그니션 모듈(ignition module)(500);을 포함하는 것을 특징으로 한다.
보다 구체적으로, 상기 핸드피스 하우징(100)은 사용자가 손에 쥐고 사용할 수 있는 형태로 형성되되, 내부에 마이크로웨이브 전극 팁(200) 및 가스 분배 부재(300)가 수용될 수 있는 형상을 갖고 형성된다.
그리고 상기 핸드피스 하우징(100)은 접지(ground)되어 이루어진다.
또한, 상기 핸드피스 하우징(100)은 상기 마이크로웨이브 전극 팁(200)이 마이크로웨이브 제너레이터(M/G)에 연결되어 그 마이크로웨이브 제너레이터의 전기 신호를 제공하는 연결 라인(210)이 가이드되며, 상기 가스 분배 부재(300)로 가스를 제공받을 수 있게 형성된다.
도면에 나타낸 구현 예시에서는, 그 핸드피스 하우징(100)의 상단에 구성되는 연결구(110)를 통해 상기 연결 라인(210)이 가이드되고, 가스가 제공될 수 있도록 이루어질 수 있다.
이러한 핸드피스 하우징(100)은 그 하단 개구부가 마이크로웨이브 플라즈마를 발생시키는 마이크로웨이브 플라즈마 방출구로서 기능을 하게 된다.
다음으로, 상기 마이크로웨이브 전극 팁(microwave electrode tip)(200)은 하단부가 첨단으로 형성되며, 하부 주위에 아래에서 상세히 설명할 가스 분배 부재(300)가 구성된다.
다시 말해서, 상기 마이크로웨이브 전극 팁(200)은 공지의 마이크로웨이브 전극 팁으로 형성될 수 있으며, 다만 본 발명에서는 그 마이크로웨이브 전극 팁(200)의 하부가 아래에서 설명할 가스 분배 부재(300) 내에 수용 장착되도록 이루어진다.
계속해서, 상기 가스 분배 부재(300)는 상기 마이크로웨이브 전극 팁(200) 주위로 플라즈마 가스를 분배 공급하도록 구성되는 것으로, 도 1의 예시로 나타낸 바와 같이, 상기 마이크로웨이브 전극 팁(200) 둘레에 구비되며, 절연체로 형성되는 단면 링 형태의 링형 바디부(310), 및 상기 바디부(310)에 복수 형성되되, 상기 마이크로웨이브 전극 팁(200)과 평행하게 관통 형성되며, 간격을 갖고 형성되는 가스 분배공(320)을 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 링형 바디부(310)는 환형 링 형태뿐만 아니라 사각링 등을 포함한 다각형의 링 형태로 형성될 수 있다.
이러한 가스 분배 부재(300)는, 마이크로웨이브 제너레이터(M/G)에서 발생된 전기 신호가 마이크로웨이브 전극 팁(200)에 인가될 때, 마이크로웨이브 전극 팁(200)의 하단부에 효율적인 가스 공급으로 저전력의 상태로 플라즈마를 구현할 수 있게 하며, 마이크로웨이브 전극 팁(200)에 대한 절연체 역할을 동시에 구현할 수 있게 된다.
여기에서, 본 발명의 핸드피스 하우징(100)에는 상기 가스 분배 부재(300)를 통해 토출되는 플라즈마 가스의 양을 조절할 수 있는 조절구(조절 수단)이 구성될 수 있다.
다음으로, 상기 거치 하우징(400)은 상기 핸드피스 하우징(100)의 하부를 수용하면서 그 핸드피스 하우징(100)이 안정적으로 거치될 수 있게 형성되는 장착구(410)를 갖고 함체형으로 이루어진다.
예를 들면, 상기 거치 하우징(400)의 장착구(410)는 상기 핸드피스 하우징(100)의 외면에 상응하는 형상으로 형성되는 측면을 가지며 바닥이 개구된 관통부 또는 바닥 개구의 돔형 안착부로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 핸드피스 하우징(100)이 거치 하우징(400)의 장착구(410)에 안정적으로 거치 유지될 수 있도록 상기 핸드피스 하우징(100)의 외면 일부에 하나 이상의 거치 돌기가 형성되고, 상기 장착구(410)의 벽면에 상기 거치 돌기가 안착되는 거치 홈이 형성될 수 있다.
이러한 거치 돌기와 거치 홈은 반대로 형성될 수도 있다. 즉, 상기 핸드피스 하우징(100)이 거치 하우징(400)의 장착구(410)에 안정적으로 거치 유지될 수 있도록 상기 핸드피스 하우징(100)의 외면 일부에 하나 이상의 거치 홈이 형성되고, 상기 장착구(410)의 벽면에 상기 거치 홈에 안착되는 거치 돌기가 형성될 수 있다.
그리고 상기 거치 하우징(400)은 그 내부에 이그니션 모듈(500)이 수용 구비되게 된다.
다음으로, 상기 이그니션 모듈(500)은 상기 거치 하우징(400) 내에 구비되어, 상기 마이크로웨이브 전극 팁(200) 아래에 고전압 펄스 전기장을 인가하여 초기 플라즈마 방전을 개시하도록 구성되는 것이다.
구체적으로, 상기 이그니션 모듈(ignition module)(500)은, 상기 거치 하우징(400)의 일측에 구비되어 고전압을 발생시키도록 구성되는 고전압 제너레이터(high voltage generator)(510), 및 상기 고전압 제너레이터(510)의 일측에 구비되되, 상기 거치 하우징(400)에 거치되는 마이크로웨이브 전극 팁(200)에 대향하여 구비되어, 그 고전압 제너레이터(510)의 전기 신호를 전달받아 고전압 펄스 전기장을 방출하도록 구성되는 고전압 전극 팁(high voltage electrode tip)(520)을 포함하여 구성된다.
여기에서, 도면에 나타낸 바와 같이 핸드피스 하우징(100)의 하단부가 상기 마이크로웨이브 전극 팁(200)보다 하부로 더 연장되어 형성되는 경우, 상기 고전압 전극 팁(520)이 상기 핸드피스 하우징(100)의 하단 개구에 일부가 삽입되게 핸드피스 하우징(100)이 거치 하우징(400)에 거치될 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치는, 상기 거치 하우징(400)에 핸드피스 하우징(100)이 거치된 상태에서, 상기 마이크로웨이브 전극 팁(200)이 고전압 전극 팁(520)에 대향하는 위치를 검출하기 위한, 즉 고전압 전극 팁(520)에 대한 마이크로웨이브 전극 팁(200)의 정확한 대향 위치를 검출하기 위한 대향위치 검출모듈을 더 포함할 수 있다.
상기 대향위치 검출모듈은 상기 거치 하우징(400)의 일측에 구성되는 광센서과 같은 검출부 및 상기 거치 하우징(400)의 타측에 구성되어 상기 검출부에 의해 검출된 결과를 표시하기 위한 표시부(예를 들면, 적색과 녹색의 LED)를 포함하여 구성될 수 있다.
이와 같은 대향위치 검출모듈은 상기 검출부를 통해 핸드피스 하우징(100)의 거치 위치를 검출하고, 정확한 위치의 거치 여부를 상기 표시부에 발광색 등을 통해 사용자가 인식할 수 있도록 이루어진다.
이에 따라, 사용자는 고전압 제너레이터(510)에서 전기 신호 발생 전, 즉 고전압 펄스 전기장 인가 전 사용자가 쉽게 인식할 수 있는 상태에서 조작할 수 있도록 한다.
상기 이그니션 모듈(500)은, 상기 거치 하우징(400)의 장착구(410)에 마이크로웨이브 전극 팁(200)을 구비한 핸드피스 하우징(100)이 거치되게 되면, 그 이니션 모듈(500)의 고전압 전극 팁(520)이 마이크로웨이브 전극 팁(200)에 대향하게 위치된 상태에서, 고전압 제너레이터(510)의 전기 신호로 고전압 전극 팁(520)에서 고전압 펄스 전기장이 인가되어 마이크로웨이브 전극 팁(200) 부분에서 초기 플라즈마가 방전을 개시하도록 이루어진다.
이에 따라 본 발명은 상기 이그니션 모듈(500)을 저전력으로 플라즈마를 구현함으로써 초기 방전의 개시가 어려운 점을 해결한 것이다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치에 의하면, 마이크로웨이브 발생기의 전극 팁에서 저전력의 상태로 플라즈마를 구현할 수 있어 플라즈마를 발생시키기 위해서 인가되는 고전압을 필요로 하지 않아 안정성을 확보할 수 있고, 저전력의 상태에서도 플라즈마를 구현할 수 있어 상처 치료나 세포 치료의 의료용 치료 장치 등 다양한 장치에 용이하게 적용할 수 있으며, 저전력으로 구현됨으로써 사용상의 편의성 및 소형화를 도모할 수 있는 이점이 있다.
상기한 바와 같은 실시 예들은 비록 한정된 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기를 기초로 다양한 기술적 수정 및 변형을 적용할 수 있다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.
본 명세서에서 설명되는 실시 예와 첨부된 도면은 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 예시적으로 설명하는 것에 불과하다. 따라서, 본 명세서에 개시된 실시 예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이므로, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아님은 자명하다. 본 발명의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당업자가 용이하게 유추할 수 있는 변형 예와 구체적인 실시 예는 모두 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100: 핸드피스 하우징
110: 연결구
200: 마이크로웨이브 전극 팁
210: 연결 라인
300: 가스 분배 부재
310: 링형 바디부
320: 가스 분배공
400: 거치 하우징
410: 장착구
500: 이그니션 모듈
510: 고전압 제너레이터
520: 고전압 전극 팁
M/G: 마이크로웨이브 제너레이터

Claims (7)

  1. 상하부 개구되며 소정 단면 형상을 갖고 형성되는 핸드피스 하우징;
    마이크로웨이브 제너레이터에 연결되며 상기 핸드피스 하우징의 내측에 구비되는 마이크로웨이브 전극 팁;
    상기 마이크로웨이브 전극 팁 둘레에 구비되며 외부로부터의 플라즈마 가스를 그 마이크로웨이브 전극 팁 주변으로 공급하도록 구성되는 가스 분배 부재;
    상기 핸드피스 하우징의 하부를 수용하면서 그 핸드피스 하우징이 거치되는 장착구를 갖고 형성되는 거치 하우징; 및
    상기 핸드피스 하우징이 상기 거치 하우징에 거치된 상태에서 상기 마이크로웨이브 전극 팁 아래에 고전압 펄스 전기장을 인가하여 초기 플라즈마 방전을 개시하도록 구성되는 이그니션 모듈;을 포함하는
    핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 가스 분배 부재는
    상기 마이크로웨이브 전극 팁 둘레에 구비되고, 절연체로 형성되는 단면 링 형태의 링형 바디부, 및
    상기 바디부에 간격을 갖고 복수 형성되되, 상기 마이크로웨이브 전극 팁과 평행하게 관통 형성되는 가스 분배공을 포함하는 것을 특징으로 하는
    핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 거치 하우징은
    상기 핸드피스 하우징이 거치되는 장착구가 형성되며, 상기 장착구를 통해 상기 핸드피스 하우징의 하부가 수용되는 함체형으로 이루어지는 것을 특징으로 하는
    핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 핸드피스 하우징과 장착구 중 하나에는 하나 이상의 거치 돌기가 형성되며,
    상기 핸드피스 하우징과 장착구 중 다른 하나에는 상기 거치 돌기가 안착되는 거치 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는
    핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 이그니션 모듈은
    상기 거치 하우징의 내부에 구비되어 고전압을 발생시키도록 구성되는 고전압 제너레이터; 및
    상기 고전압 제너레이터의 일측에 구비되되, 상기 거치 하우징에 거치되는 마이크로웨이브 전극 팁에 대향하여 구비되어, 그 고전압 제너레이터의 전기 신호를 전달받아 고전압 펄스 전기장을 방출하도록 구성되는 고전압 전극 팁;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는
    핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 거치 하우징에 상기 핸드피스 하우징이 거치된 상태에서, 상기 마이크로웨이브 전극 팁에 대한 상기 고전압 전극 팁의 대향 위치를 검출하기 위한 대향위치 검출모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는
    핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 대향위치 검출모듈은
    상기 거치 하우징의 일측에 구비되는 검출부; 및
    상기 검출부에 의해 검출된 결과를 표시하기 위한 표시부;를 포함하는 것을 특징으로 하는
    핸드형 저온 마이크로웨이브 플라즈마 발생 장치.
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