KR20160015894A - 플라즈마 발생 장치 및 휴대용 플라즈마 미용기기 - Google Patents

Abstract

본 발명은 플라즈마 발생 장치 및 휴대용 플라즈마 미용기기를 제공한다. 이 플라즈마 발생 장치는 끝이 뽀족한 바늘 형상의 탐침을 포함하고 고전압을 제공받아 방전을 수행하는 전원 전극; 상기 전원 전극의 둘레를 감싸도록 배치되고 외부 공기가 순환할 수 있도록 측면에 통풍구를 포함하고 통 형상의 접지 전극; 및 상기 접지 전극의 개방된 전면에 배치되고 상기 탐침의 연장 방향으로 이격되어 상기 전원 전극에 대향하여 배치되고 플라즈마를 생성하는 방전 공간을 제공하고 상기 탐침을 마주보는 영역에 관통홀을 포함하는 절연체로 형성된 전면 케이스를 포함한다.

Description

플라즈마 발생 장치 및 휴대용 플라즈마 미용기기 {Plasma Generation Apparatus And Portable Plasma Cosmetic Apparatus }

본 발명은 인체의 피부 또는 모공 안의 세균을 박멸하고, 유기물과 이물질을 제거하기 위한 휴대용 플라즈마 미용기기에 관한 것이다.

본 발명은 휴대용 플라즈마 미용기기에 관한 것으로, 더 구체적으로 소형화된 전원 소스로 배터리를 내부에 장착하고, 플라즈마 방전을 촉매시키는 가스를 투입하지 않아도 플라즈마가 발생하는 휴대성을 확보한 휴대용 플라즈마 미용기기에 관한 것이다.

한국공개실용신안 20-2011-0003121은 "플라즈마를 이용한 휴대용 미용기기"를 개시하고 있으며, 플라즈마를 발생시키기 위해서 촉매 가스를 주입하고, 접지 전극에 관통홀을 형성하여 플라즈마가 직접 피부에 전달된다. 따라서, 피부 손상이 발생할 수 있다.

한국등록특허 10-126232는 "플라즈마 피부재생장치"를 개시하고 있으며, 플라즈마를 발생시키기 위해서 촉매 가스를 주입하고, 접지 전극에 관통홀을 형성하여 플라즈마가 직접 피부에 전달된다. 따라서, 피부 손상이 발생할 수 있다.

물질 중 가장 낮은 에너지 상태는 고체이다. 고체가 에너지를 받아 차츰 액체로 되고 그 다음에는 기체로 전이된다. 이때 중성 기체에 이온화 에너지 이상의 충분한 에너지가 인가되면 이온화 및 전자와 이온의 재결합에 의하여 전자, 이온, 중성 원자 및 분자로 이루어진 플라즈마를 만들 수 있다.

플라즈마 내부에는 양전하(이온), 음전하(전자)가 거의 같은 양으로 혼재하여 자유 입자에 가까운 브라운운동을 하면서도 전기적으로는 중성을 유지하고 있기 때문에 전기적으로 이온화된 전도성 가스종이라고 불리 운다.

플라즈마는 플라즈마 밀도, 전자 온도, 종들 간의 열평형 정도, 발생방식, 응용분야 등 여러 구분 기준이 있지만 밀도와 전자온도로 분류하는 것이 가장 기본적이다.

플라즈마를 열평형 정도에 의해서 구분 하면 , 국부열평형(LTE; Local thermal equilibrium)과 비국부 열평형(non-LTE)으로 나눌 수 있고, 국부열평형이란 용어는 플라즈마 입자의 모두의 온도가 플라즈마의 국부적 영역에서 같은 열역학적 상태를 의미한다.

연구나 제조 공정을 위한 플라즈마는 대개 LTE나 non-LTE plasma 중 하나이며,일반적으로 전자를 열 플라즈마 후자를 저온 플라즈마라고 한다.

본 발명에서는 저온 플라즈마를 대상으로 하며, 저온 플라즈마 중 대기압 플라즈마에 속한다.

대기압 플라즈마 (atmospheric pressure plasma)는 주로 물질의 표면 개질 및 코팅, 환경 정화 등의 분야에서 활용되고 있다. 최근에는 생체 적용과 바이오 메디칼 분야의 응용 가능성으로 관련 연구가 확대되고 있다. 바이오 메디칼 분야에서 대기압 플라즈마 제트 장치가 많이 연구되고 있다.

플라즈마 제트의 전극 구조는 대부분 침형의 바늘 전극 구조로 전원 장치에 따라서 다양한 구성 방식이 연구되고 있다. 주로 외부로부터 불활성 가스가 주입되고 바늘 전극 구조에 고전압이 가해져 플라즈마가 발생한다. 소형의 원형 평행 평판의 중심에 작은 구멍을 설치한 유전체 장벽 방전(DBD: Dielectric Barrier Discharge) 방식의 플라즈마 제트 장치도 소개되고 있다.

플라즈마 제트의 전원장치는 구동 주파수에 따라 여러 종류가 소개되고 있다. 수십~수백 kHz의 저주파 방전의 전원장치로는 DC 펄스 전원과 AC 전원이 있다.

플라즈마 제트는 살균과 멸균을 목적으로 많이 사용한다. 산소 라디칼을 포함하는 플라즈마를 이용하여 치아 미백과 병원균 파괴, 혈액 응고 등으로 활용이 연구되고 있다. 이러한 바이오 메디칼 분야의 활용에서 주요한 이슈들은 장치의 소형화 및 제어의 용이성, 인체에 대한 안정성 확보이다.

생체의 세포나 인체에 직접 적용하기 위하여 전기적인 충격에 대한 안정성 확보가 중요한 과제이다. 그러므로 안정성 확보를 위해서는 고전압의 전극이 시료 및 인체에 직접 접촉되지 않아야 한다. 전극에 인가되는 구동 전압을 낮게 하고, 플라즈마 전류량을 1 ~ 2 mA의 작은 값으로 제어하여 생체에 대한 전기적인 충격이 없도록 해야 한다. 인체가 감지할 수 있는 최소 전류가 60Hz 상용 주파 교류에서 성인 남자의 경우 약 1mA이며, 주파수의 증가에 따라 감지 전류는 증가한다. 또한 고통을 느끼는 전류는 7 ~ 8 mA으로 그 이상의 높은 전류는 전기적뿐만이 아니라 열적으로도 위험한 요소가 된다.

본 발명의 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 피부에 자극을 최소화하면서 안정적인 미용효과를 제공하는 플라즈마 발생 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치는 끝이 뽀족한 바늘 형상의 탐침을 포함하고 고전압을 제공받아 방전을 수행하는 전원 전극; 상기 전원 전극의 둘레를 감싸도록 배치되고 외부 공기가 순환할 수 있도록 측면에 통풍구를 포함하고 통 형상의 접지 전극; 및 상기 접지 전극의 개방된 전면에 배치되고 상기 탐침의 연장 방향으로 이격되어 상기 전원 전극에 대향하여 배치되고 플라즈마를 생성하는 방전 공간을 제공하고 상기 탐침을 마주보는 영역에 관통홀을 포함하는 절연체로 형성된 전면 케이스를 포함한다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 내부에 케비티를 포함하고 상기 접지 전극에 결합하고 상기 접지 전극의 중심축 방향으로 연장되는 절연체로 형성된 통 형상의 케이스를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 케비티에 배치되는 액체 저장부; 및 상기 액체 저장부에 저장된 액체를 상기 방전 공간으로 이동시키는 후 상기 액체를 기화시키는 액체 전달부를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 액체 전달부가 제공하는 액체를 자연 기화 또는 강제 기화시키는 액체 기화부를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 케비티에 장착되고 충방전이 가능한 배터리; 및 상기 케비티에 장착되고 상기 배터리로부터 DC 전압을 제공 받아서 DC 고전압 전력을 상기 전원 전극에 공급하는 고전압 파워공급부를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 전원 전극은 고전압을 제공받는 직육면체 형상의 전원 전극 베이스; 대칭성을 가지도록 배열되고 상기 전원 전극 베이스의 일면에 장착되는 복수의 탐침; 및 상기 전원 전극 베이스의 일면에 대향하는 반대편의 타면에서 상기 전원 전극 베이스에서 돌출되어 끼움 결합하기 위한 전원 전극 돌출부를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 접지 전극은 속이 빈 사각통 형상의 몸체부; 상기 몸체부의 측면에 형성된 제1 통풍구; 상기 제1 통풍구와 이격되어 배치된 제2 통풍구; 및 상기 몸체부의 내측면에 배치된 "U" 자 형상의 내측 접지부내측 접지부기 몸체부의 일측면에서 중심축 방향으로 연장되는 보조 접지부 중에서 적어도 하나를 포함할 수있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제2 통풍구는 상기 몸체부의 전면과 상기 몸체부의 측면이 접촉하는 변에서 변의 일부가 함몰되어 형성될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 전면 케이스는 판 형상의 전면 케이스 베이스; 상기 전면 케이스 베이스에 상기 탐침과 정렬되어 형성되는 관통홀; 및 상기 전면 케이스 베이스의 가장 자리에서 전면 케이스 베이스의 배치 평면에서 돌출되도록 형성된 끼움 결합부를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 전원 전극과 상기 접지 전극 사이에서 상기 전원 전극을 감싸도록 배치되는 절연 부재를 더 포함할 수 있다. 상기 절연 부재는 상기 탐침을 노출시키고 상기 전원 전극의 직육면체 형상의 전원 전극 베이스의 3 측면을 둘러싸고 상기 전원 전극 베이스의 상부면을 노출시키는 제1 절연 부재; 및 상기 전원 전극의 노출된 상부면 상에 배치되는 제2 절연 부재를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 내부에 케비티를 포함하고 상기 접지 전극에 결합하고 상기 접지 전극의 중심축 방향으로 연장되는 절연체로 형성된 통 형상의 케이스를 더 포함할 수 있다.. 상기 케이스는 상기 접지 전극의 몸체부와 결합하고 내부에 함몰부를 포함하는 직육면체 형상의 하부 케이스; 및 상기 하부 케이스의 개방된 상부면과 결합하고 상기 보조 접지부와 결합하는 상부 케이스를 포함할 수 있다. 상기 하부 케이스는 직육면체 형상이고 상부에 함몰부가 형성된 하부 케이스 몸체부; 상기 하부 케이스 몸체부의 일단에 배치되고 직육면체 형상의 상기 전원 전극의 3 측면을 감싸도록 "U" 자 형상의 제1 절연 부재; 상기 제1 절연 부재가 결합하는 제1 결합부; 상기 함몰부와 상기 함몰부의 하부에 형성된 액체 전달 공간을 분리하는 층간 분리막; 및 상기 제1 결합부 상기 함몰부를 분리하는 격벽을 포함할 수 있다. 상기 케비티는 상기 함몰부와 상기 상부 케이스의 하부면에 의하여 형성되고, 상기 층간 분리막은 상기 함몰부와 상기 액체 전달 공간을 연결하는 관통홀을 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 함몰부에 장착되고 충방전이 가능한 배터리; 상기 함몰부에 장착되고 상기 배터리로부터 DC 전압을 제공 받아서 DC 고전압 전력을 공급하는 고전압 파워공급부; 상기 함몰부에 장착되고 기화시킬 액체를 저장하는 액체저장부; 및 상기 층간 분리막의 관통홀 및 상기 액체 전달 공간에 배치되어 상기 액체저장부의 액체를 상기 방전공간에 제공하는 액체 전달부를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 탐침은 도전체로 형성되고, 상기 탐침의 표면은 금 또는 백금으로 코팅될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 접지 전극은 플라스틱 재질로 형성되고, 상기 접지 전극의 표면은 도전체로 코팅될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치는 끝이 뽀족한 바늘 형상의 탐침을 포함하고 고전압을 제공받아 방전을 수행하는 전원 전극; 상기 전원 전극의 둘레를 감싸도록 배치되고 외부 공기가 순환할 수 있도록 측면에 적어도 두 개의 통풍구를 포함하고 통 형상의 접지 전극; 내부에 케비티를 포함하고 상기 접지 전극에 결합하고 상기 접지 전극의 중심축 방향으로 연장되는 절연체로 형성된 통 형상의 케이스; 상기 접지 전극의 개방된 전면에 배치되고 상기 탐침의 연장 방향으로 이격되어 상기 전원 전극에 대향하여 배치되고 플라즈마를 생성하는 방전 공간을 제공하고 상기 탐침을 마주보는 영역에 관통홀을 포함하는 절연체로 형성된 전면 케이스; 상기 케비티에 배치되는 액체 저장부; 및 상기 액체 저장부에 저장된 액체를 상기 방전 공간으로 이동시키는 후 상기 액체를 기화시키는 액체 전달부를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예 따른 휴대용 플라즈마 미용장치는 내부에 케비티를 포함하고 비전도성 재질로 형성된 케이스; 상기 케비티에 장착되고 충방전이 가능한 배터리; 상기 케비티에 장착되고 상기 배터리로부터 DC 전압을 제공 받아서 DC 고전압 전력을 공급하는 고전압 파워공급부; 상기 고전압 파워공급부로부터 DC 고전압 전력을 공급받아 플라즈마를 생성하는 바늘 형상의 탐침을 포함하는 전원 전극; 상기 전원 전극의 둘레에 상기 전원 전극과 이격되어 배치된 접지 전극; 상기 탐침에 정렬되어 형성된 관통홀을 포함하고 상기 전원 전극과 대향하여 배치되고 상기 접지 전극에 고정되는 비전도성 재질의 전면 케이스; 상기 케비티에 장착되고 기화시킬 액체를 저장하는 액체저장부; 및 상기 액체저장부의 액체를 상기 전원 전극과 상기 전면 케이스 사이의 방전 공간으로 이동시키는 액체 전달부를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 휴대용 플라즈마 미용 처리 방법은 바늘 형상의 탐침을 포함하는 전원 전극, 상기 전원 전극을 감싸는 통 형상의 접지 전극, 및 상기 접지 전극의 개방된 전면을 막고 관통홀을 포함하는 전면 케이스에 의하여 정의되는 방전 공간을 제공하는 단계; 상기 방전 공간에 물을 기화시켜 수증기를 제공하는 단계; 상기 전면 케이스를 인체의 피부에 접촉한 상태에 상기 전원 전극에 DC 고전압을 인가하여 방전 공간에 플라즈마를 형성하는 단계; 및 상기 접지 전극에 형성된 적어도 두 개의 통풍구를 통하여 상기 방전 공간에 대류 흐름을 제공하는 단계를 포함한다.

본 발명에서는 가스 주입 없이도 플라즈마를 발생시켜서 휴대가 편리하고 사용도 간편하며, 가스를 교체하지 않아도 되기에 비용적인 측면에서 효과적이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치를 설명하는 개념도이다.
도 2a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치를 설명하는 사시도이다.
도 2b는 도 2a의 플라즈마 발생 장치에서 전면 케이스를 제거한 사시도이다.
도 3은 도 2a의 플라즈마 발생 장치의 분해 사시도이다.
도 4는 도 3의 접지 전극을 나타내는 사시도이다.
도 5는 도 3의 하부 케이스를 나타내는 사시도이다.
도 6은 도 2a의 I-I'선을 따라 자른 단면도이다.
도 7은 도 2a의 II-II'선을 따라 자른 단면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치의 작동으로 형성된 플럼(plume)의 분광 스펙트럼을 도시한 그래프이다.

RF 방전에 비하여, DC 방전은 비용이 저렴하고 간단한 구조를 제공할 수 있다. 대기압 방전을 안정적으로 수행하기 위하여, 촉매 가스가 사용된다. 한편, 촉매가스는 별도의 가스 저장 수단을 요구하여, 휴대하기 불편하며 넓은 공간을 요구한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 촉매가스를 사용하지 않고, 방전 공간에 외부 대기와 대류를 발생시켜 안정적인 플라즈마를 사용할 수 있는 플라즈마 미용장치를 제공한다. 특히, 공기에 들어있는 산소, 수소, 수분, 질소등이 반응 하여 플라즈마가 생성된다. 특히, 수분의 양은 플라즈마 방전을 안정화시키고 OH 라디칼(수산기)을 생성할 수 있다. OH 라디칼은 살균, 탈취 작용을 수행할 수 있다.

만약, 밀폐된 공간에 수분이 계속 공급되는 경우, 상기 수분은 포화 수증기압에 도달하면 더 이상 기화되지 않고 액체로 액화될 수 있다. 따라서, 방전 구조에 치명적인 역활을 할 수 있다. 따라서, 수분이 공급되는 상황에서, 밀폐된 방전 공간에 공기의 대류가 요구된다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 대기압 DC 방전이 수행되는 경우, 방전에 의하여 국부적으로 압력차가 발생하여, 이온풍(ion wind)이 발생할 수 있다. 이에 따라, 통풍구가 있는 경우, 수분이 계속 공급되는 상태에서 방전 공간은 대류 및 확산에 의하여 신선한 공기로 채워질 수 있다. 또한, 통풍구를 통하여 대류가 이루어지는 경우, 대기압 DC 방전 공간은 수증기의 응결을 억제할 수 있다.

또한, 대기압 DC 방전이 전원 전극과 접지로서 동작하는 인체에 사이에 직접 발생하는 경우, 약 1mA 이상의 전류가 피부로 흘를 수 있다. 이에 따라, 사용자는 고통을 느끼고 피부에 손상을 제공할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 대기압 DC 방전을 하는 경우, 전원 전극과 피부 사이에 흐르는 전류를 약 1mA 이하로 억제하면서, 피부는 전면 케이스의 관통홀을 통하여 OH 라디칼(수산기) 등과 같은 라디칼을 공급받을 수 있다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 도면들에 있어서, 구성요소는 명확성을 기하기 위하여 과장되어진 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치를 설명하는 개념도이다.

도 1을 참조하면, 플라즈마 발생 장치(100)는 전원 전극(130), 접지 전극(120), 및 전면 케이스(110)를 포함하고, 대기압에서 DC 글로우 방전을 수행한다. 상기 전원 전극(120)은 끝이 뽀족한 바늘 형상의 탐침(132)을 포함하고 고전압을 제공받아 방전을 수행한다. 상기 접지 전극(120)은 상기 전원 전극(130)의 둘레를 감싸도록 배치되고 외부 공기가 순환할 수 있도록 측면에 통풍구(121,122)를 포함하고 통 형상이다. 상기 전면 케이스(110)는 상기 접지 전극(120)의 개방된 전면에 배치되고 상기 탐침(132)의 연장 방향으로 이격되어 상기 전원 전극(130)에 대향하여 배치되고 플라즈마를 생성하는 방전 공간을 제공하고 상기 탐침(132)을 마주보는 영역에 관통홀(112)을 포함하는 절연체로 형성된다.

전원 전극(130)은 바늘 형상의 탐침(132)과 전원 전극 베이스(134)를 포함할 수 있다. 상기 전원 전극 베이스(134)는 다각 기둥 또는 원 기둥 형상일 수 있다. 상기 전원 전극 베이스(134)는 고전압 파워공급부(154)로부터 수 kV의 고전압을 공급받을 수 있다. 상기 탐침(132)은 하나 이상일 수 있다. 상기 탐침(132)은 구리, 금, 은, 철, 텅스텐등 의 전도성 재질일 수 있다. 상기 탐침(132)은 지름은 수백 마이크로 미터 내지 수 밀리미터일 수 있다. 바람직하게는 상기 탐침(132)의 지름은 2 mm일 수 있다. 상기 탐침(132)의 표면은 금 또는 백금으로 코팅될 수 있다. 상기 금 또는 백금 코팅은 오존 발생을 억제하고 상기 탐침(132)의 산화를 억제할 수 있다. 상기 탐침(132)은 대칭성을 가지고 배치될 수 있다. 상기 탐침(132)은 나사 결합을 통하여 상기 전원 전극 베이스(134)에 결합할 수 있다. 상기 탐침(132)은 상기 전원 전극 베이스(134)로부터 2 mm 내지 5 mm 정도 돌출될 수 있다. 상기 탐침(132)과 상기 전면 케이스(110) 사이의 거리는 5 mm 내지 10 mm일 수 있다.

절연 부재(140)는 상기 전원 전극 베이스(134)를 감싸도록 배치되어 상기 접지 전극(120)과 직접 접촉을 방지할 수 있다. 상기 절연 부재(140)는 단면이 사각형인 토로이드 형상일 수 있다. 상기 절연 부재(140)는 플라스틱 계열, 아크릴 계열, 또는 수지일 수 있다. 바람직하게는 상기 절연 부재는 ABS(Acrylonitrile Butadiene Styrene) 수지일 수 있다.

상기 접지 전극(120)은 상기 절연부재(140)를 감싸도록 배치될 수 있다. 상기 접지 전극(120)은 도전성 물질로 형성되거나, 절연 물질에 도전성 코팅을 통하여 형성될 수 있다. 상기 접지 전극(120)은 단면이 사각형인 토로이드 형상 또는 사각형 통 형상일 수 있다.

상기 접지 전극(120)은 사용자의 손의 접촉에 의하여 접지될 수 있다. 이에 따라, 상기 전원 전극의 탐침(132)과 상기 접지 전극(120) 사이에 방전이 개시될 수 있다. 상기 방전은 플라즈마를 생성하고, 상기 플라즈마는 라디칼과 이온들을 포함한다. 따라서, 생성된 라디칼은 피부의 표면을 살균할 수 있다. 방전이 개시된 상태에서, 사용자의 피부가 상기 전면 케이스(110)에 접근하는 경우, 방전 공간에서 생성된 라이칼은 상기 전면 케이스(110)의 관통홀(112)을 통하여 피부에 제공될 수 있다.

상기 접지 전극(120)은 통 형상의 측면에 제1 통풍구(121) 및 제2 통풍구(122)를 포함할 수 있다. 제1 통풍구(121)는 상기 전원 전극(130)에 인접하여 배치되고, 제2 통풍구(122)는 상기 전면 케이스(110)에 인접하여 배치될 수 있다. 상기 제1 통풍구(121)는 흡기구로 기능하고, 상기 제2 통풍구(122)는 배기로 기능할 수 있다. 상기 플라즈마 방전에 의하여, 이온 풍이 발생하여, 대류를 유도할 수 있다. 외부의 공기는 상기 제1 통풍구(121)를 통하여 유입되어, 방전을 통하여 라디칼을 형성할 수 있다. 라디칼은 피부에 제공되어, 살균 등을 작용할 수행하고, 상기 제2 통풍구(122)를 통하여 배기될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치는 리모트 플라즈마 방식을이용한다. 구체적으로, 플라즈마가 발생하는 부분과 피부에 작용하는 부분이 분리된다. 피부에는 직접적으로 플라즈마가 발생하지 않아, 플라즈마 발생 장치는 피부 자극없이 살균 등의 작용을 수행한다.

전면 케이스(110)는 상기 접지 전극(120)의 개방된 일면에 삽입되어 끼움 결합할 수 있다. 상기 전면 케이스(110)는 인체의 피부와 맞닫는 곳으로 피부에 접촉시 거부감이 없는 비전도성 재질을 사용한다. 상기 전면 케이스(110)는 인체 피부와 전원 전극(130) 사이의 아크 방전을 억제할 수 있다. 상기 전면 케이스(110)의 재질은 실리콘 수지 또는 세라믹이 바람직하다. 전면 케이스(110)의 관통홀(112)은 상기 탐침(132)에 대향하여 배치되는 것이 바람직하다. 이에 따라, 이온 풍은 상기 관통홀(112) 뒤에 있는 피부에 라디칼을 제공하여 살균 등의 작용을 수행할 수 있다.

상기 케이스(160)는 상지 접지 전극(120)과 결합하여 고정될 수 있다. 상기 케이스(160)는 절연체로 형성되고, 플라스틱 재질 또는 수지일 수 있다. 상기 케이스(160)는 내부에 케비티(161)를 포함할 수 있다. 상기 케이스(160)는 상기 접지 전극(120)과 턱을 가지지 않고 연속적으로 결합할 수 있다. 상기 접지 전극(120)이 사각 통 형상인 경우, 상기 케이스(160)는 동일한 외경을 가진 사각 통 형상일 수 있다. 상기 접지 전극(120)이 원통 형상인 경우, 상기 케이스(160)는 동일한 외경을 가진 원통 형상일 수 있다. 상기 케이스(160)는 상부 케이스(164)와 하부 케이스(162)로 분리될 수 있다. 상기 상부 케이스(164)는 상기 하부 케이스(162)의 뚜껑일 수 있다. 상기 케비티 내부에 배터리, 고전압 파워공급부(154), 및 액체저장부가 배치될 수 있다.

배터리(152)는 외부 전원으로부터 전력을 공급받아 충전될 수 있다. 또한, 상기 베터리(152)는 상기 고전압 파워공급부(154)에 DC 전압을 공급할 수 있다. 배터리는 리튬폴리머 건전지일 수 있다. 상기 배터리(152)는 직류전원단자에 의해 충전될 수 있다.

고전압 파워공급부(154)는 상기 베터리로부 DC 7~12V를 공급받아 DC 3~8kV의 고전압을 발생시킬 수 있다. 상기 고전압 파워공급부(154)는 상기 전원 전극(130)에 고전압을 인가할 수 있다.

액체저장부(156)는 액체를 저장하는 탱크이다. 상기 액체 저장부(156)는 물을 저장할 수 있다. 상기 액체 저장부(156)는 외부로부터 파이프로 연결하여 액체를 공급받을 수 있다. 상기 액체는 물일 수 있다.

액체 전달부(170)는 상기 액체 저장부(156)에 저장된 물을 상기 전원 전극(130)과 상기 접지 전극(120) 사이의 방전 공간으로 이동시킬 수 있다. 예를 들어, 상기 액체 전달부(170)는 다공성 재질과 상기 다공성 재질을 감싸는 파이프를 포함할 수 있다. 상기 다공성 재질은 스펀지(sponge)일 수 있다.

액체 기화부(174)는 상기 액체 전달부(170)가 이동시킨 액체를 기화시킬 수 있다. 상기 액체 기화부(174)는 초음파 진동자를 포함할 수 있다. 상기 초음파 진동자는 압전 소자일 수 있다. 상기 초음파 진동자는 물을 진동시켜 기화시킬 수 있다.

도 2a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치를 설명하는 사시도이다.

도 2b는 도 2a의 플라즈마 발생 장치에서 전면 케이스를 제거한 사시도이다.

도 3은 도 2a의 플라즈마 발생 장치의 분해 사시도이다.

도 4는 도 3의 접지 전극을 나타내는 사시도이다.

도 5는 도 3의 하부 케이스를 나타내는 사시도이다.

도 6은 도 2a의 I-I'선을 따라 자른 단면도이다.

도 7은 도 2a의 II-II'선을 따라 자른 단면도이다.

도 2 내지 도 7을 참조하면, 플라즈마 발생 장치(200)는 끝이 뽀족한 바늘 형상의 탐침(132)을 포함하고 고전압을 제공받아 방전을 수행하는 전원 전극(130), 상기 전원 전극(130)의 둘레를 감싸도록 배치되고 외부 공기가 순환할 수 있도록 측면에 통풍구(121,122)를 포함하고 통 형상의 접지 전극(120), 및 상기 접지 전극(120)의 개방된 전면에 배치되고 상기 탐침(132)의 연장 방향으로 이격되어 상기 전원 전극(130)에 대향하여 배치되고 플라즈마를 생성하는 방전 공간을 제공하고 상기 탐침을 마주보는 영역에 관통홀을 포함하는 절연체로 형성된 전면 케이스(110)를 포함한다.

상기 전원 전극(130)은 고전압을 제공받는 직육면체 형상의 전원 전극 베이스(134), 대칭성을 가지도록 배열되고 상기 전원 전극 베이스의 일면에 장착되는 복수의 탐침(132), 및 상기 전원 전극 베이스(134)의 일면에 대향하는 반대편의 타면에서 상기 전원 전극 베이스(134)에서 돌출되어 끼움 결합하기 위한 전원 전극 돌출부(136)를 포함할 수 있다.

상기 전원 전극 베이스(134)는 직육면체 형상이고, 일면(xy 평면)에 복수의 홈이 형성되고, 각 홈에 탐침이 삽이되어 고정된다. 상기 탐침(132)은 상기 전원 전극 베이스(134)와 나사결합할 수 있다. 상기 전원 전극 베이스(134)의 일면에 대향하는 타면에서 양의 x축 방향 및 음의 x축 방향으로 돌출된 전원 전극 돌출부(136)이 배치된다. 상기 전원 전극 돌출부(136)는 케이스 또는 절연 부재에 끼움 결합하여 상기 전원 전극(130)을 고정하면서 절연시킬 수 있다. 상지 전원 전극 베이스(134)의 재질은 알루미늄 또는 구리 재질일 수 있다.

상기 탐침(132)은 도전체로 형성되고 음의 z축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 탐침(132)의 재질은 텅스텐일 수 있다. 상기 탐침(132)의 표면은 금 또는 백금으로 코팅될 수 있다. 상기 금 또는 백금 코팅은 텅스텐의 산화를 억제하고, 오존의 과도한 생성을 억제할 수 있다.

상기 접지 전극(120)은 속이 빈 사각통 형상의 몸체부(125), 상기 몸체부(125)의 측면에 형성된 제1 통풍구(121), 상기 제1 통풍구(121)와 이격되어 배치된 제2 통풍구(122), 상기 몸체부(125)의 내측면에 배치된 "U" 자 형상의 내측 접지부(123), 및 상기 몸체부(125)의 일측면에서 중심축 방향으로 연장되는 보조 접지부(124)를 포함할 수 있다.

상기 몸체부(125)는 사각통 형상이고, 내부 중심 부위에 "U" 자 형상의 내측 접지부(123)가 배치된다. 상기 내측 접지부(123)는 상기 몸체부의 내측면을 따라 배치되고, 상기 전원 전극(130)을 감싸는 절연 부재(241,262)의 3 측면을 고정할 수 있다. 또한, 액체 전달부(170)의 일단은 상기 내측 접지부(123)와 함께 상기 절연 부재(241)를 감싸도록 배치될 수 있다.

제1 통풍구(121)는 상기 내측 접지부(123)에 인접하여 배치되고 상기 몸체부(125)를 관통하여 형성될 수 있다. 상기 제1 통풍구(121)는 각 측면에 하나 씩 형성될 수 있다. 따라서, 상기 제1 통풍구(121)는 슬릿 형상을 가질 수 있다. 상기 슬릿의 길이는 상기 탐침 사이의 거리와 실질적으로 동일할 수 있다. 상기 제1 통풍구(121)는 이온 풍이 발생한 경우, 흡입구로 동작할 수 있다.

제2 통풍구(122)는 상기 제1 통풍구(121)와 z 축 방향으로 이격되어 형성될 수 있다. 상기 제2 통풍구(122)는 상기 몸체부(125)의 말단에 배치되는 것이 바람직하다. 따라서, 상기 전면 케이스(110)과 상기 몸체부(125)의 일면이 서로 결합하는 부위에 함몰 부위가 형성되고, 상기 함몰 부위는 상기 제2 통풍구(122)를 제공할 수 있다. 상기 제2 통풍구(122)의 크기는 상기 제1 통풍구(121)의 크기와 동일할 수 있다. 상기 제2 통풍구(122)는 상기 몸체부(125)의 앞면과 상기 몸체부(125)의 측면이 접촉하는 변에서 변의 일부가 함몰되어 형성될 수 있다.

보조 접지부(124)는 상기 몸체부(124)의 상부면에서 z축 방향으로 연장될 수 있다. 상기 보조 접지부(124)는 사용자의 손가락이 용이하게 접촉할 수 있도록 제공될 수 있다. 상기 보조 접지부(124)는 상부 케이스(260)에 형성된 상부 케이스 홈(264)에 삽입될 수 있다.

상기 전면 케이스(110)는 판 형상의 전면 케이스 베이스(116), 상기 전면 케이스 베이스(116)에 상기 탐침(132)과 정렬되어 형성되는 관통홀(112), 및 상기 전면 케이스 베이스(116)의 모서리에서 전면 케이스 베이스(116)의 배치 평면에서 돌출되도록 형성된 끼움 결합부(114)를 포함할 수 잇다.

상기 전면 케이스 베이스(116)는 사각 판 형상이고, 상기 전면 케이스 베이스(116)의 중심 부위에는 일정한 간격으로 대칭적으로 배치된 관통홀(112)이 배치될 수 있다. 상기 전면 케이스(110)는 절연체로 세라믹 또는 실리콘 수지일 수 있다. 상기 관통홀(112)의 개수는 4 개일 수 있다. 상기 관통홀(112)은 상기 탐침의 z축 방향으로 정렬될 수 있다. 상기 끼움 결합부(114)는 상기 전면 케이스 베이스(116)의 모서리 부위에서 z축 방향으로 돌출되도록 형성될 수 있다.

케이스(240, 260)는 내부에 케비티를 포함하고 상기 접지 전극(120)에 결합하고 상기 접지 전극(120)의 중심축 방향으로 연장되는 절연체로 형성된 통 형상이다.

상기 케이스(240, 260)는 상기 접지 전극(120)의 몸체부와 결합하고 내부에 함몰부(246)를 포함하는 직육면체 형상의 하부 케이스(240), 및 상기 하부 케이스(240)의 개방된 상부면과 결합하고 상기 보조 접지부(124)와 결합하는 상부 케이스(260)를 포함한다. 상기 상부 케이스(260)는 상기 하부 케이스(240)의 투껑으로 동작한다.

상기 하부 케이스(240)는 직육면체 형상이고 상부에 함몰부가 형성된 하부 케이스 몸체부(249), 상기 하부 케이스 몸체부(241)의 일단에 배치되고 직육면체 형상의 상기 전원 전극(130)의 3 측면을 감싸도록 "U" 자 형상의 제1 절연 부재(241), 상기 제1 절연 부재(241)가 결합하는 제1 결합부(244), 상기 함몰부(246)와 상기 함몰부의 하부에 형성된 액체 전달 공간(245a)을 분리하는 층간 분리막(248), 및 상기 제1 결합부(244)와 상기 함몰부(246)를 분리하는 격벽(247)을 포함한다. 상기 케비티는 상기 함몰부(246)와 상기 상부 케이스(260)의 하부면에 의하여 형성될 수 있다. 상기 층간 분리막(248)은 상기 함몰부(246)와 상기 액체 전달 공간(245a)을 연결하는 관통홀(245)을 포함할 수 있다.

하부 케이스 몸체부(240)는 z축 방향으로 연장되는 직육 면체 형상이다. 상기 하부 케이스 몸체부(249)의 상부면에서는 함몰부(246)가 형성되어 있다. 상기 함몰부(246)는 직육면체 형상일 수 있다. 상기 함몰부(246)의 내부에는 고전압 파워공급부(154), 배터리(152), 및 액체저장부(156)가 배치될 수 있다.

상기 제1 절연 부재(241)는 상기 전원 전극 베이스(134)를 양 측면 및 하부면에서 감싸도록 형성된 "U"자 형태일 수 있다. 상기 제1 절연 부재(241)는 상기 하부 케이스 몸체부(249)의 음의 z축 방향의 일단에 배치될 수 잇다.

상기 제1 결합부(244)는 상기 제1 절연 부재(241)를 지지하도록 배치될 수 있다. 상기 제1 결합부(244)는 상기 하부 케이스 몸체부(249)와 연속적으로 연결될 수 있다. 상기 제1 절연부재(241)는 상기 제1 결합부(244)의 내부에서 음의 z축 방향으로 돌출되도록 배치될 수 있다.

격벽(247)은 상기 제1 결합부(244)와 상기 함몰부(246)를 분리할 수 있다. 상기 격벽(247)은 상기 제1 절연 부재(241)와 일정한 간격을 유지할 수 있다. 상기 격벽(247)과 상기 제1 절연 부재(241) 사이의 공간에 상기 전원 전극 돌출부(136)가 삽입될 수 있다. 상기 격벽(247)의 중심에는 전기적 연결을 위한 함몰 부위(243)를 포함할 수 있다.

상기 층간 분리막(248)은 상기 함몰부(246)의 하부면을 형성할 수 있다. 상기 층간 분리막(248)은 상기 층간 분리막(248)의 하부에 액체 전달 공간을 형성할 수 있다. 상기 액체 전달 공간(245a)에서는 상기 액체 전달부(170)가 배치될 수 있다. 상기 층간 분리막(248)은 관통홀(245)을 포함하고, 상기 관통홀(245)을 통하여 상기 액체 전달부(170)가 상기 액체 저장부(156)에 접촉하여 액체를 공급받을 수 있다.

상기 상부 케이스(260)는 제2 절연 부재(262), 및 상기 제2 절연 부재(262)와 연결되는 상부 케이스 몸체부(266)를 포함할 수 있다. 상기 제2 절연 부재(262)와 접촉하는 상기 상부 케이스 몸체부(266)의 상부면에는 상부 케이스 홈(264)이 형성될 수 있다. 상기 상부 케이스 홈(264)에는 상기 보조 전극부(124)가 배치될 수 있다. 상기 보조 전극부(124)의 상부면과 상기 상부 케이스 몸체부(266)의 상부면은 동일한 평면일 수 있다.

상기 제2 절연 부재(262)의 하부면은 상기 전원 전극 베이스(134)의 상부면과 접촉할 수 있다. 상기 제2 절연 부재(262)의 상부면은 z 축 방향으로 진행함에 따라 상기 제2 절연 부재(262)의 상부면으로부터 y축 방향으로 돌출될 수 있다. 상기 제2 절연 부재(262)의 상부면은 상기 내측 접지부(123)와 접촉할 수 있다.

절연 부재(262,241)는 상기 전원 전극(130)과 상기 접지 전극(120) 사이에 배치되고 상기 전원 전극(130)을 감싸도록 배치될 수 있다. 상기 절연 부재(262,241)는 상기 탐침을 노출시키고 상기 전원 전극의 직육면체 형상의 전원 전극 베이스의 3 측면을 둘러싸고 상기 전원 전극 베이스(134)의 상부면을 노출시키는 제1 절연 부재(241), 및 상기 전원 전극의 노출된 상부면 상에 배치되는 제2 절연 부재(262)를 포함할 수 있다.

본 발명의 변형된 실시예에 따르면, 상기 접지 전극(120)은 플라스틱 재질로 형성되고, 상기 접지 전극(120)의 표면은 도전체로 코팅될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 휴대용 플라즈마 미용 처리 방법은 바늘 형상의 탐침(132)을 포함하는 전원 전극(130), 상기 전원 전극(130)을 감싸는 통 형상의 접지 전극(120), 및 상기 접지 전극(120)의 개방된 전면을 막고 관통홀(112)을 포함하는 전면 케이스(110)에 의하여 정의되는 방전공간(101)을 제공하는 단계; 상기 방전공간(101)에 물을 기화시켜 수증기를 제공하는 단계; 상기 전면 케이스(110)를 인체의 피부에 접촉한 상태에 상기 전원 전극에 DC 고전압을 인가하여 상기 방전공간(101)에 플라즈마를 형성하는 단계; 및 상기 접지 전극(120)에 형성된 적어도 두 개의 통풍구(121,122)를 통하여 상기 방전 공간에 대류 흐름을 제공하는 단계를 포함한다.

케이스(160) 내부의 케비티(161)에 저장된 물은 액체 전달부(170)를 통하여 상기 방전공간(101)으로 전달된다. 상기 전달된 액체는 기화되어 플라즈마 발생을 위한 기체를 제공한다. 또한, 상기 접지 전극(120)에 형성된 통풍구(121,122)는 상기 방전공간(101)에 대류를 제공하여 안정적인 방전을 유지하고 액체의 액화를 억제할 수 있다. 플라즈마는 수산화기를 생성하고, 생성된 수산화기는 이온풍 및 확산에 의하여 인체의 피부에 제공되어 살균 작용을 수행할 수 있다.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치의 작동으로 형성된 플럼(plume)의 분광 스펙트럼을 도시한 그래프이다.

도 8을 참조하면, 플라즈마는 발광하고, 플라즈마 방출광은 N2, OH-, N2+ 의 스펙트럼을 포함한다. 따라서, 수증기가 방전되어 수산화기를 형성할 수 있다.

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 이러한 실시예에 한정되지 않으며, 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 실시할 수 있는 다양한 형태의 실시예들을 모두 포함한다.

100: 플라즈마 발생 장치 110: 전면 케이스
120: 접지 전극 130: 전원 전극
140: 절연 부재 152: 배터리
154:고전압 파워공급부 156:액체저장부
160: 케이스 170: 액체전달부

Claims (17)

1. 끝이 뽀족한 바늘 형상의 탐침을 포함하고 고전압을 제공받아 방전을 수행하는 전원 전극;
   상기 전원 전극의 둘레를 감싸도록 배치되고 외부 공기가 순환할 수 있도록 측면에 통풍구를 포함하고 통 형상의 접지 전극; 및
   상기 접지 전극의 개방된 전면에 배치되고 상기 탐침의 연장 방향으로 이격되어 상기 전원 전극에 대향하여 배치되고 플라즈마를 생성하는 방전 공간을 제공하고 상기 탐침을 마주보는 영역에 관통홀을 포함하는 절연체로 형성된 전면 케이스를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
2. 제1 항에 있어서,
   내부에 케비티를 포함하고 상기 접지 전극에 결합하고 상기 접지 전극의 중심축 방향으로 연장되는 절연체로 형성된 통 형상의 케이스를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
3. 제2 항에 있어서,
   상기 케비티에 배치되는 액체 저장부; 및
   상기 액체 저장부에 저장된 액체를 상기 방전 공간으로 이동시키는 후 상기 액체를 기화시키는 액체 전달부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
4. 제3 항에 있어서,
   상기 액체 전달부가 제공하는 액체를 자연 기화 또는 강제 기화시키는 기화부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
5. 제3 항에 있어서,
   상기 케비티에 장착되고 충방전이 가능한 배터리; 및
   상기 케비티에 장착되고 상기 배터리로부터 DC 전압을 제공 받아서 DC 고전압 전력을 상기 전원 전극에 공급하는 고전압 파워공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
6. 제1 항에 있어서,
   상기 전원 전극은:
   고전압을 제공받는 직육면체 형상의 전원 전극 베이스;
   대칭성을 가지도록 배열되고 상기 전원 전극 베이스의 일면에 장착되는 복수의 탐침; 및
   상기 전원 전극 베이스의 일면에 대향하는 반대편의 타면에서 상기 전원 전극 베이스에서 돌출되어 끼움 결합하기 위한 전원 전극 돌출부를 포함하는 것을 특징으로 플라즈마 발생 장치.
7. 제1 항에 있어서,
   상기 접지 전극은:
   속이 빈 사각통 형상의 몸체부;
   상기 몸체부의 측면에 형성된 제1 통풍구;
   상기 제1 통풍구와 이격되어 배치된 제2 통풍구; 및
   상기 몸체부의 내측면에 배치된 "U" 자 형상의 내측 접지부내측 접지부기 몸체부의 일측면에서 중심축 방향으로 연장되는 보조 접지부 중에서 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
8. 제7 항에 있어서,
   상기 제2 통풍구는 상기 몸체부의 전면과 상기 몸체부의 측면이 접촉하는 변에서 변의 일부가 함몰되어 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
9. 제1 항에 있어서,
   상기 전면 케이스는:
   판 형상의 전면 케이스 베이스;
   상기 전면 케이스 베이스에 상기 탐침과 정렬되어 형성되는 관통홀; 및
   상기 전면 케이스 베이스의 가장 자리에서 전면 케이스 베이스의 배치 평면에서 돌출되도록 형성된 끼움 결합부를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
10. 제1 항에 있어서,
    상기 전원 전극과 상기 접지 전극 사이에서 상기 전원 전극을 감싸도록 배치되는 절연 부재를 더 포함하고,
    상기 절연 부재는:
    상기 탐침을 노출시키고 상기 전원 전극의 직육면체 형상의 전원 전극 베이스의 3 측면을 둘러싸고 상기 전원 전극 베이스의 상부면을 노출시키는 제1 절연 부재; 및
    상기 전원 전극의 노출된 상부면 상에 배치되는 제2 절연 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
11. 제7 항에 있어서,
    내부에 케비티를 포함하고 상기 접지 전극에 결합하고 상기 접지 전극의 중심축 방향으로 연장되는 절연체로 형성된 통 형상의 케이스를 더 포함하고,
    상기 케이스는:
    상기 접지 전극의 몸체부와 결합하고 내부에 함몰부를 포함하는 직육면체 형상의 하부 케이스; 및
    상기 하부 케이스의 개방된 상부면과 결합하고 상기 보조 접지부와 결합하는 상부 케이스를 포함하고,
    상기 하부 케이스는:
    직육면체 형상이고 상부에 함몰부가 형성된 하부 케이스 몸체부;
    상기 하부 케이스 몸체부의 일단에 배치되고 직육면체 형상의 상기 전원 전극의 3 측면을 감싸도록 "U" 자 형상의 제1 절연 부재;
    상기 제1 절연 부재가 결합하는 제1 결합부;
    상기 함몰부와 상기 함몰부의 하부에 형성된 액체 전달 공간을 분리하는 층간 분리막; 및
    상기 제1 결합부 상기 함몰부를 분리하는 격벽을 포함하고,
    상기 케비티는 상기 함몰부와 상기 상부 케이스의 하부면에 의하여 형성되고,
    상기 층간 분리막은 상기 함몰부와 상기 액체 전달 공간을 연결하는 관통홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
12. 제11 항에 있어서,
    상기 함몰부에 장착되고 충방전이 가능한 배터리;
    상기 함몰부에 장착되고 상기 배터리로부터 DC 전압을 제공 받아서 DC 고전압 전력을 공급하는 고전압 파워공급부;
    상기 함몰부에 장착되고 기화시킬 액체를 저장하는 액체저장부; 및
    상기 층간 분리막의 관통홀 및 상기 액체 전달 공간에 배치되어 상기 액체저장부의 액체를 상기 방전공간에 제공하는 액체 전달부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
13. 제1 항에 있어서,
    상기 탐침은 도전체로 형성되고, 상기 탐침의 표면은 금 또는 백금으로 코팅된 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
14. 제1 항에 있어서,
    상기 접지 전극은 플라스틱 재질로 형성되고, 상기 접지 전극의 표면은 도전체로 코팅된 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
15. 끝이 뽀족한 바늘 형상의 탐침을 포함하고 고전압을 제공받아 방전을 수행하는 전원 전극;
    상기 전원 전극의 둘레를 감싸도록 배치되고 외부 공기가 순환할 수 있도록 측면에 적어도 두 개의 통풍구를 포함하고 통 형상의 접지 전극;
    내부에 케비티를 포함하고 상기 접지 전극에 결합하고 상기 접지 전극의 중심축 방향으로 연장되는 절연체로 형성된 통 형상의 케이스;
    상기 접지 전극의 개방된 전면에 배치되고 상기 탐침의 연장 방향으로 이격되어 상기 전원 전극에 대향하여 배치되고 플라즈마를 생성하는 방전 공간을 제공하고 상기 탐침을 마주보는 영역에 관통홀을 포함하는 절연체로 형성된 전면 케이스;
    상기 케비티에 배치되는 액체 저장부; 및
    상기 액체 저장부에 저장된 액체를 상기 방전 공간으로 이동시키는 후 상기 액체를 기화시키는 액체 전달부를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
16. 내부에 케비티를 포함하고 비전도성 재질로 형성된 케이스;
    상기 케비티에 장착되고 충방전이 가능한 배터리;
    상기 케비티에 장착되고 상기 배터리로부터 DC 전압을 제공 받아서 DC 고전압 전력을 공급하는 고전압 파워공급부;
    상기 고전압 파워공급부로부터 DC 고전압 전력을 공급받아 플라즈마를 생성하는 바늘 형상의 탐침을 포함하는 전원 전극;
    상기 전원 전극의 둘레에 상기 전원 전극과 이격되어 배치된 접지 전극;
    상기 탐침에 정렬되어 형성된 관통홀을 포함하고 상기 전원 전극과 대향하여 배치되고 상기 접지 전극에 고정되는 비전도성 재질의 전면 케이스;
    상기 케비티에 장착되고 기화시킬 액체를 저장하는 액체저장부; 및
    상기 액체저장부의 액체를 상기 전원 전극과 상기 전면 케이스 사이의 방전 공간으로 이동시키는 액체 전달부를 포함하는 것을 특징으로 하는 휴대용 플라즈마 미용장치.
17. 바늘 형상의 탐침을 포함하는 전원 전극, 상기 전원 전극을 감싸는 통 형상의 접지 전극, 및 상기 접지 전극의 개방된 전면을 막고 관통홀을 포함하는 전면 케이스에 의하여 정의되는 방전 공간을 제공하는 단계;
    상기 방전 공간에 물을 기화시켜 수증기를 제공하는 단계;
    상기 전면 케이스를 인체의 피부에 접촉한 상태에 상기 전원 전극에 DC 고전압을 인가하여 방전 공간에 플라즈마를 형성하는 단계; 및
    상기 접지 전극에 형성된 적어도 두 개의 통풍구를 통하여 상기 방전 공간에 대류 흐름을 제공하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 휴대용 플라즈마 미용 처리 방법.

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