KR102253559B1 - 분리 재생 장치 및 기판 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼(W) 상의 액체를 확실하게 제거할 수 있고, 또한 운전 비용의 저감을 도모하여, F 이온을 제거하는 것을 목적으로 한다.
분리 재생 장치는 제1 비점을 갖는 제1 불소 함유 유기 용제와, 제1 비점보다 낮은 제2 비점을 갖는 제2 불소 함유 유기 용제를 갖는 혼합 기체를 생성하는 초임계 처리 유닛(3)과, 제1 비점과 제2 비점 사이의 온도를 갖는 온수(34W)를 수납하고, 혼합 기체를 이 온수(34W) 중에 투입하여, 액체형의 제1 불소 함유 유기 용제와 기체형의 제2 불소 함유 유기 용제로 분리하는 증류 탱크(34)를 구비하고 있다. 초임계 처리 유닛(3)으로부터의 혼합 기체를 증류 탱크(34)로 유도하는 도입 라인(50)이 설치되고, 이 도입 라인(50)의 선단(50a)은 온수(34W) 중에 배치되어 있다.

Description

분리 재생 장치 및 기판 처리 장치 {SEPARATION AND REGENERATION APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}
본 발명은 초임계 상태 또는 아임계 상태의 고압 유체를 이용하여 기판의 표면에 부착된 액체를 제거할 때 이용되는 분리 재생 장치 및 기판 처리 장치에 관한 것이다.
기판인 반도체 웨이퍼(이하, 웨이퍼라고 함) 등의 표면에 집적 회로의 적층 구조를 형성하는 반도체 장치의 제조 공정에 있어서는, 약액 등의 세정액에 의해 웨이퍼 표면의 미소한 먼지나 자연 산화막을 제거하는 등, 액체를 이용하여 웨이퍼 표면을 처리하는 액 처리 공정이 마련되어 있다.
그러나 반도체 장치의 고집적화에 따라, 이러한 액 처리 공정에서 웨이퍼의 표면에 부착된 액체 등을 제거할 때에, 이른바 패턴 붕괴(pattern collapse)라고 불리는 현상이 문제가 되고 있다. 패턴 붕괴는, 웨이퍼 표면에 남은 액체를 건조시킬 때에, 패턴을 형성하는 요철의 예컨대 볼록부의 좌우(바꿔 말하면 오목부 내)에 남아 있는 액체가 불균일하게 건조함으로써, 이 볼록부를 좌우로 인장하는 표면 장력의 밸런스가 무너져 액체가 많이 남아 있는 방향으로 볼록부가 쓰러지는 현상이다.
이러한 패턴 붕괴의 발생을 억제하면서 웨이퍼 표면에 부착된 액체를 제거하는 수법으로서 초임계 상태나 아임계 상태(이하, 이들을 통합하여 고압 상태라고 함)의 유체를 이용하는 방법이 알려져 있다. 고압 상태의 유체(고압 유체)는, 액체와 비교하여 점도가 작고, 또한 액체를 추출하는 능력도 높은 것에 더하여, 고압 유체와 평형 상태에 있는 액체나 기체와의 사이에서 계면이 존재하지 않는다. 그래서, 웨이퍼 표면에 부착된 액체를 고압 유체로 치환하고, 그런 후, 고압 유체를 기체로 상태 변화시키면, 표면 장력의 영향을 받지 않고 액체를 건조시킬 수 있다.
출원인은, 회전하는 웨이퍼의 표면에 처리액을 공급하는 매엽식의 액 처리 유닛으로 액 처리를 행한 후, 건조 방지용의 액체에 의해 표면이 덮여진 상태의 웨이퍼를 고압 유체 처리 유닛에 반송하고, 그 처리 용기 내에서 건조 방지용의 액체를 제거하는 액 처리 장치를 개발하고 있다. 예컨대 특허문헌 1에서는, 액체와 고압 유체와의 치환성의 높음이나, 액 처리시의 수분의 반입 억제의 관점에서, 건조 방지용의 액체, 및 고압 유체의 양방에 불소 함유 유기 용제(특허문헌 1에서는 「불소 화합물」이라고 기재하고 있음)인 HFE(HydroFluoro Ether)를 이용하고 있다. 또한, 불소 함유 유기 용제는, 난연성인 점에서도 건조 방지용의 액체에 적합하다.
한편, HFE, HFC(HydroFluoro Carbon), PFC(PerFluoro Carbon), PFE(PerFluoro Ether) 등의 불소 함유 유기 용제는, IPA(IsoPropyl Alcohol) 등과 비교하여 고가이고, 웨이퍼 반송 중의 휘발 손실이 운전 비용의 상승으로 이어진다. 이 때문에, 건조 방지용의 액체 또는 고압 유체로서 이용되는 불소 함유 유기 용제를 사용 후에 불소 함유 유기 용제의 혼합 기체를 생성하고, 이 혼합 기체를 분리 재생하여 이용할 수 있으면, 운전 비용을 저감할 수 있어 좋다.
이 경우, 혼합 기체 중에는 불소 이온(F 이온)이 혼입되어 있는 경우가 있으며, 이 F 이온이 혼합 기체 중에 잔류하면, 불소 함유 유기 용제를 재생하여 이용할 때, F 이온에 의해 웨이퍼 상에 파티클이 발생해 버린다.
[특허문헌 1] 일본 특허 공개 제2011-187570호 공보
본 발명은 이러한 점을 고려하여 이루어진 것으로, 피처리체의 표면에 부착된 액체를 제거하기 위해서 사용한 불소 함유 유기 용제를 분리 재생하여 이용하고, 이것에 의해 운전 비용의 저감을 도모하며, 피처리체 상에 파티클을 발생시키는 일이 없는 분리 재생 장치 및 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 제1 비점을 갖는 제1 불소 함유 유기 용제와, 제1 비점보다 낮은 제2 비점을 갖는 제2 불소 함유 유기 용제를 갖는 혼합 기체를 생성하는 혼합 기체 생성부와, 상기 제1 비점과 상기 제2 비점 사이의 온도를 갖는 온수를 수납하고, 상기 혼합 기체를 이 온수 중에 투입하여, 액체형의 상기 제1 불소 함유 유기 용제와 기체형의 상기 제2 불소 함유 유기 용제로 분리하는 증류 탱크를 구비하고, 상기 혼합 기체 생성부로부터의 상기 혼합 기체를 상기 증류 탱크로 유도하는 도입 라인을 설치하며, 이 도입 라인의 선단을 상기 온수 중에 배치하여 상기 혼합 기체 중의 F 이온을 제거하는 것을 특징으로 하는 분리 재생 장치이다.
본 발명의 형태에 의하면, 피처리체의 표면에 부착된 액체를 확실하게 제거하여 패턴의 도괴(倒壞)를 방지할 수 있고, 또한 운전 비용의 저감을 도모할 수 있으며, 피처리체 상에 파티클이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 액 처리 장치의 횡단 평면도이다.
도 2는 액 처리 장치에 설치되어 있는 액 처리 유닛의 종단 측면도이다.
도 3은 액 처리 장치에 설치되어 있는 초임계 처리 유닛의 구성도이다.
도 4는 초임계 처리 유닛의 처리 용기의 외관 사시도이다.
도 5는 본 실시형태에 의한 분리 재생 장치를 도시한 개략 계통도이다.
도 6은 본 실시형태의 작용 시퀀스를 도시한 도면이다.
도 7은 비교예로서의 분리 재생 장치를 도시한 개략 계통도이다.
<기판 처리 장치>
먼저, 본 발명에 의한 분리 재생 장치가 편입된 기판 처리 장치에 대해서 설명한다.
기판 처리 장치의 일례로서, 기판인 웨이퍼(W)(피처리체)에 각종 처리액을 공급하여 액 처리를 행하는 액 처리 유닛(2)과, 액 처리 후의 웨이퍼(W)에 부착되어 있는 건조 방지용의 액체를 초임계 유체(고압 유체)와 접촉시켜 제거하는 초임계 처리 유닛(3)(고압 유체 처리 유닛)을 구비한 액 처리 장치(1)에 대해서 설명한다.
도 1은 액 처리 장치(1)의 전체 구성을 도시한 횡단 평면도이며, 상기 도면을 향해 좌측을 전방으로 한다. 액 처리 장치(1)에서는, 배치부(11)에 FOUP(100)가 배치되고, 이 FOUP(100)에 격납된 예컨대 직경 300 ㎜의 복수 매의 웨이퍼(W)가, 반입 반출부(12) 및 전달부(13)를 통해 후단의 액 처리부(14), 초임계 처리부(15)와의 사이에서 전달되며, 액 처리 유닛(2), 초임계 처리 유닛(3) 내에 차례대로 반입되어 액 처리나 건조 방지용의 액체를 제거하는 처리가 행해진다. 도면 중, 도면 부호 121은 FOUP(100)와 전달부(13) 사이에서 웨이퍼(W)를 반송하는 제1 반송 기구, 도면 부호 131은 반입 반출부(12)와 액 처리부(14), 초임계 처리부(15) 사이에서 반송되는 웨이퍼(W)가 일시적으로 배치되는 버퍼로서의 역할을 수행하는 전달 선반이다.
액 처리부(14) 및 초임계 처리부(15)는, 전달부(13)와의 사이의 개구부로부터 전후 방향을 향해 연장되는 웨이퍼(W)의 반송 공간(162)을 사이에 두고 형성되어 있다. 전방측에서 보아 반송 공간(162)의 좌측에 형성되어 있는 액 처리부(14)에는, 예컨대 4대의 액 처리 유닛(2)이 상기 반송 공간(162)을 따라 배치되어 있다. 한편, 반송 공간(162)의 우측에 형성되어 있는 초임계 처리부(15)에는, 예컨대 2대의 초임계 처리 유닛(3)이, 상기 반송 공간(162)을 따라 배치되어 있다.
웨이퍼(W)는, 웨이퍼 반송 공간(162)에 배치된 제2 반송 기구(161)에 의해 이들 각 액 처리 유닛(2), 초임계 처리 유닛(3) 및 전달부(13) 사이에서 반송된다. 제2 반송 기구(161)는, 기판 반송 유닛에 해당한다. 여기서 액 처리부(14)나 초임계 처리부(15)에 배치되는 액 처리 유닛(2)이나 초임계 처리 유닛(3)의 개수는, 단위 시간당의 웨이퍼(W)의 처리 매수나, 액 처리 유닛(2), 초임계 처리 유닛(3)에서의 처리 시간의 차이 등에 따라 적절히 선택되고, 이들 액 처리 유닛(2)이나 초임계 처리 유닛(3)의 배치수 등에 따라 최적의 레이아웃이 선택된다.
액 처리 유닛(2)은 예컨대 스핀 세정에 의해 웨이퍼(W)를 1장씩 세정하는 매엽식의 액 처리 유닛(2)으로서 구성되고, 도 2의 종단 측면도에 도시한 바와 같이, 처리 공간을 형성하는 외측 챔버(21)와, 이 외측 챔버 내에 배치되며, 웨이퍼(W)를 대략 수평으로 유지하면서 웨이퍼(W)를 연직축 주위로 회전시키는 웨이퍼 유지 기구(23)와, 웨이퍼 유지 기구(23)를 측둘레측으로부터 둘러싸도록 배치되며, 웨이퍼(W)로부터 비산한 액체를 받아내는 내측컵(22)과, 웨이퍼(W)의 상방 위치와 여기로부터 퇴피한 위치 사이를 이동 가능하게 구성되며, 그 선단부에 노즐(241)이 설치된 노즐 아암(24)을 구비하고 있다.
노즐(241)에는, 각종의 약액을 공급하는 처리액 공급부(201)나 린스액의 공급을 행하는 린스액 공급부(202), 웨이퍼(W)의 표면에 건조 방지용의 액체인 전처리용의 불소 함유 유기 용제의 공급을 행하는 전처리용의 불소 함유 유기 용제 공급부(203a)(전처리용의 유기 용제 공급부) 및 제1 불소 함유 유기 용제의 공급을 행하는 제1 불소 함유 유기 용제 공급부(203b)(제1 유기 용제 공급부)가 접속되어 있다. 전처리용의 불소 함유 유기 용제 및 제1 불소 함유 유기 용제는, 후술하는 초임계 처리에 이용되는 제2 불소 함유 유기 용제와는 상이한 것이 이용되며, 또한 전처리용의 불소 함유 유기 용제와, 제1 불소 함유 유기 용제와 제2 불소 함유 유기 용제 사이에는, 그 비점이나 임계 온도에 있어서 미리 결정된 관계가 있는 것이 채용되고 있으나, 그 상세에 대해서는 후술한다.
또한, 웨이퍼 유지 기구(23)의 내부에도 약액 공급로(231)를 형성하고, 여기로부터 공급된 약액 및 린스액에 의해 웨이퍼(W)의 이면 세정을 행해도 좋다. 외측 챔버(21)나 내측컵(22)의 바닥부에는, 내부 분위기를 배기하기 위한 배기구(212)나 웨이퍼(W)로부터 뿌리쳐진 액체를 배출하기 위한 배액구(排液口; 221, 211)가 형성되어 있다.
액 처리 유닛(2)에서 액 처리를 끝낸 웨이퍼(W)에 대해서는, 건조 방지용의 전처리용의 불소 함유 유기 용제와 제1 불소 함유 유기 용제가 공급되고, 웨이퍼(W)는 그 표면이 제1 불소 함유 유기 용제로 덮여진 상태로, 제2 반송 기구(161)에 의해 초임계 처리 유닛(3)에 반송된다. 초임계 처리 유닛(3)에서는, 웨이퍼(W)를 제2 불소 함유 유기 용제의 초임계 유체와 접촉시켜 제1 불소 함유 유기 용제를 제거하고, 웨이퍼(W)를 건조하는 처리가 행해진다. 이하, 초임계 처리 유닛(3)의 구성에 대해서 도 3, 도 4를 참조하면서 설명한다.
초임계 처리 유닛(3)은, 웨이퍼(W) 표면에 부착된 건조 방지용의 액체(제1 불소 함유 유기 용제)를 제거하는 처리가 행해지는 처리 용기(3A)와, 이 처리 용기(3A)에 제2 불소 함유 유기 용제의 초임계 유체를 공급하는 초임계 유체 공급부(4A)(제2 유기 용제 공급부)를 구비하고 있다.
도 4에 도시한 바와 같이 처리 용기(3A)는, 웨이퍼(W)의 반입 반출용의 개구부(312)가 형성된 케이스형의 용기 본체(311)와, 처리 대상인 웨이퍼(W)를 횡방향으로 유지하는 것이 가능한 웨이퍼 트레이(331)와, 이 웨이퍼 트레이(331)를 지지하며, 웨이퍼(W)를 용기 본체(311) 내에 반입했을 때 상기 개구부(312)를 밀폐하는 덮개 부재(332)를 구비하고 있다.
용기 본체(311)는, 예컨대 직경 300 ㎜의 웨이퍼(W)를 수용 가능한, 200 ㎤∼10000 ㎤ 정도의 처리 공간이 형성된 용기이며, 그 상면에는, 처리 용기(3A) 내에 초임계 유체를 공급하기 위한 초임계 유체 공급 라인(351)과, 처리 용기(3A) 내의 유체를 배출하기 위한 개폐 밸브(342)가 개재된 배출 라인(341)(배출부)이 접속되어 있다. 또한, 처리 용기(3A)에는 처리 공간 내에 공급된 고압 상태의 처리 유체로부터 받는 내압에 대항하여, 용기 본체(311)를 향해 덮개 부재(332)를 밀어붙여, 처리 공간을 밀폐하기 위한 도시하지 않은 압박 기구가 설치되어 있다.
용기 본체(311)에는, 예컨대 저항 발열체 등으로 이루어지는 가열부인 히터(322)와, 처리 용기(3A) 내의 온도를 검출하기 위한 열전대 등을 구비한 온도 검출부(323)가 설치되어 있고, 용기 본체(311)를 가열함으로써, 처리 용기(3A) 내의 온도를 미리 설정된 온도로 가열하며, 이에 의해 내부의 웨이퍼(W)를 가열할 수 있다. 히터(322)는, 급전부(321)로부터 공급되는 전력을 변경함으로써, 발열량을 변화시키는 것이 가능하고, 온도 검출부(323)로부터 취득한 온도 검출 결과에 기초하여, 처리 용기(3A) 내의 온도를 미리 설정된 온도로 조절한다.
초임계 유체 공급부(4A)는, 개폐 밸브(352)가 개재된 초임계 유체 공급 라인(351)의 상류측에 접속되어 있다. 초임계 유체 공급부(4A)는, 처리 용기(3A)에 공급되는 제2 불소 함유 유기 용제의 초임계 유체를 준비하는 배관인 스파이럴관(411)과, 이 스파이럴관(411)에 초임계 유체의 원료인 제2 불소 함유 유기 용제의 액체를 공급하기 위한 제2 불소 함유 유기 용제 공급부(414)와, 스파이럴관(411)을 가열하여 내부의 제2 불소 함유 유기 용제를 초임계 상태로 하기 위한 할로겐 램프(413)를 구비하고 있다.
스파이럴관(411)은 예컨대 스테인리스제의 배관 부재를 길이 방향으로 나선형으로 감아 형성된 원통형의 용기이며, 할로겐 램프(413)로부터 공급되는 복사열을 흡수하기 쉽게 하기 위해서 예컨대 흑색의 복사열 흡수 도료로 도장되어 있다. 할로겐 램프(413)는, 스파이럴관(411)의 원통의 중심축을 따라 스파이럴관(411)의 내벽면으로부터 이격되어 배치되어 있다. 할로겐 램프(413)의 하단부에는, 전원부(412)가 접속되어 있고, 전원부(412)로부터 공급되는 전력에 의해 할로겐 램프(413)를 발열시키며, 주로 그 복사열을 이용하여 스파이럴관(411)을 가열한다. 전원부(412)는, 스파이럴관(411)에 설치된 도시하지 않은 온도 검출부와 접속되어 있고, 이 검출 온도에 기초해서 스파이럴관(411)에 공급하는 전력을 증감하여, 미리 설정한 온도로 스파이럴관(411) 내를 가열할 수 있다.
또한 스파이럴관(411)의 하단부로부터는 배관 부재가 연장되어 제2 불소 함유 유기 용제의 수용 라인(415)을 형성하고 있다. 이 수용 라인(415)은, 내압성을 구비한 개폐 밸브(416)를 통해 제2 불소 함유 유기 용제 공급부(414)에 접속되어 있다. 제2 불소 함유 유기 용제 공급부(414)는, 제2 불소 함유 유기 용제를 액체의 상태로 저류(貯留)하는 탱크나 송액 펌프, 유량 조절 기구 등을 구비하고 있다.
이상에 설명한 구성을 구비한 액 처리 유닛(2)이나 초임계 처리 유닛(3)을 포함하는 액 처리 장치(1)는, 도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이 제어부(5)에 접속되어 있다. 제어부(5)는 도시하지 않은 CPU와 기억부(5a)를 구비한 컴퓨터로 이루어지며, 기억부(5a)에는 액 처리 장치(1)의 작용, 즉 FOUP(100)로부터 웨이퍼(W)를 취출하여 액 처리 유닛(2)에서 액 처리를 행하고, 계속해서 초임계 처리 유닛(3)에서 웨이퍼(W)를 건조하는 처리를 행하고 나서 FOUP(100) 내에 웨이퍼(W)를 반입하기까지의 동작에 관계된 제어에 대한 스텝(명령)군이 짜여진 프로그램이 기록되어 있다. 이 프로그램은, 예컨대 하드 디스크, 컴팩트 디스크, 마그넷 옵티컬 디스크, 메모리 카드 등의 기억 매체에 저장되며, 거기로부터 컴퓨터에 인스톨된다.
다음으로, 액 처리 유닛(2)에서 웨이퍼(W)의 표면에 공급되는 전처리용의 불소 함유 유기 용제 및 제1 불소 함유 유기 용제와, 제1 불소 함유 유기 용제를 웨이퍼(W)의 표면으로부터 제거하기 위해서, 처리 용기(3A)에 초임계 유체의 상태로 공급되는 제2 불소 함유 유기 용제에 대해서 설명한다. 전처리용 불소 함유 유기 용제, 제1 불소 함유 유기 용제, 및 제2 불소 함유 유기 용제는, 모두 탄화수소 분자 중에 불소 원자를 포함하는 불소 함유 유기 용제이다.
전처리용의 불소 함유 유기 용제, 제1 불소 함유 유기 용제 및 제2 불소 함유 유기 용제의 조합의 예를 (표 1)에 나타낸다.
Figure 112015024374785-pat00001
(표 1)의 분류명 중, HFE(HydroFluoro Ether)는, 분자 내에 에테르 결합을 갖는 탄화수소의 일부의 수소를 불소로 치환한 불소 함유 유기 용제를 나타내고, HFC(HydroFluoro Carbon)는 탄화수소의 일부의 수소를 불소로 치환한 불소 함유 유기 용제를 나타낸다. 또한, PFC(PerFluoro Carbon)는, 탄화수소의 모든 수소를 불소로 치환한 불소 함유 유기 용제를 나타내고, PFE(PerFluoro Ether)는, 분자 내에 에테르 결합을 갖는 탄화수소의 모든 수소를 불소로 치환한 불소 함유 유기 용제이다.
이들 불소 함유 유기 용제 중, 하나의 불소 함유 유기 용제를 제2 불소 함유 유기 용제로서 선택했을 때, 제1 불소 함유 유기 용제에는, 이 제2 불소 함유 유기 용제보다 비점이 높은(증기압이 낮은) 것이 선택된다. 이에 의해, 건조 방지용의 액체로서 제2 불소 함유 유기 용제를 채용하는 경우와 비교하여, 액 처리 유닛(2)으로부터 초임계 처리 유닛(3)으로 반송되는 동안에, 웨이퍼(W)의 표면으로부터의 휘발하는 불소 함유 유기 용제량을 저감할 수 있다.
보다 적합하게는, 제1 불소 함유 유기 용제의 비점은 100℃ 이상(예컨대 174℃)인 것이 바람직하다. 비점이 100℃ 이상인 제1 불소 함유 유기 용제는, 웨이퍼(W) 반송 중의 휘발량이 보다 적기 때문에, 예컨대 직경 300 ㎜의 웨이퍼(W)의 경우에는 0.01 ㏄∼5 ㏄ 정도, 직경 450 ㎜의 웨이퍼(W)의 경우에는 0.02 ㏄∼10 ㏄ 정도의 소량의 불소 함유 유기 용제를 공급하는 것만으로, 수십초∼10분 정도 동안, 웨이퍼(W)의 표면이 젖은 상태를 유지할 수 있다. 참고로서, IPA에 의해 동일한 시간만큼 웨이퍼(W)의 표면을 젖은 상태로 유지하기 위해서는 10 ㏄∼50 ㏄ 정도의 공급량이 필요해진다.
또한, 2종류의 불소 함유 유기 용제를 선택했을 때, 그 비점의 고저는, 초임계 온도의 고저에도 대응하고 있다. 그래서, 초임계 유체로서 이용되는 제2 불소 함유 유기 용제로서, 제1 불소 함유 유기 용제보다 비점이 낮은 것을 선택함으로써, 저온에서 초임계 유체를 형성하는 것이 가능한 불소 함유 유기 용제를 이용하는 것이 가능해지고, 불소 함유 유기 용제의 분해에 의한 불소 원자의 방출이 억제된다.
<분리 재생 장치>
다음으로 기판 처리 장치에 편입된 본 실시형태에 의한 분리 재생 장치에 대해서 도 5 내지 도 7에 의해 설명한다.
도 5 내지 도 7에 도시한 바와 같이, 분리 재생 장치(30)는 웨이퍼(W)를 수납하고, 이 웨이퍼(W)에 대해서 제2 불소 함유 유기 용제를 공급하여 초임계 처리를 실시하는 초임계 처리 유닛(3)과, 초임계 처리 유닛(3)(혼합 기체 생성부)에 있어서 생성된 혼합 기체를 가열하여 분리하는 증류 탱크(34)를 구비하고 있다.
이 중 초임계 처리 유닛(3)에 있어서 생성된 혼합 기체는, 제1 불소 함유 유기 용제와 제2 불소 함유 유기 용제를 포함하고, 또한 초임계 처리 중에 혼입된 F 이온을 포함한다. 초임계 처리 유닛(3)으로부터의 혼합 기체는 도입 라인(50)을 통해 증류 탱크(34)에 보내진다. 또한 초임계 처리 유닛(3) 내에 있어서, 초임계 처리가 예컨대 압력 20 atm에서 실시되고, 초임계 처리 유닛(3) 내의 혼합 기체는 오리피스(54)에 의해 감압되어, 압력 1 atm의 증류 탱크(34)에 보내진다. 한편, 초임계 처리 유닛(3)으로부터의 혼합 기체는 도입 라인(50) 또는 오리피스(54)에 냉각 기구(도시하지 않음)를 추가하여 냉각한 후 증류 탱크(34)에 보내지도록 해도 좋다.
증류 탱크(34) 내에는 후술하는 바와 같이 온수(34W)가 수용되어 있고, 또한 초임계 처리 유닛(3)으로부터의 도입 라인(50)은, 그 선단(50a)이 온수(34W) 중에 위치하도록 배치되어 있다. 또한 증류 탱크(34)에는 온수(34W)의 수위를 측정하는 수위계(34b)가 부착되어 있다.
증류 탱크(34) 내의 온수(34W)는, 혼합 기체를 분리하는 기능과, 혼합 기체 중에 혼입된 F 이온을 흡수하여 제거하는 기능을 갖는다.
즉 초임계 처리 중에 생성되는 혼합 기체 중에는, F 이온이 혼입되는 경우가 있는데, 이 F 이온이 혼입된 혼합 기체를 그대로 방치하여 제1 불소 함유 유기 용제와 제2 불소 함유 유기 용제로 분리 재생하고, 재생한 제1 불소 함유 유기 용제와 제2 불소 함유 유기 용제를 재이용한 경우, 웨이퍼(W) 상에 파티클이 발생한다.
본 실시형태에 의하면, 증류 탱크(34) 내의 온수(34W)에 의해 혼합 기체 중의 F 이온을 제거하여, 재생한 제1 불소 함유 유기 용제와 제2 불소 함유 유기 용제로부터 F 이온을 제거할 수 있다.
증류 탱크(34)는 전술한 바와 같이, 혼합 기체 중의 제1 비점(예컨대 174℃)을 갖는 제1 불소 함유 유기 용제(예컨대 FC43)와, 제1 비점보다 낮은 제2 비점(예컨대 56℃)을 갖는 제2 불소 함유 유기 용제(예컨대 FC72)를 분리하여 액체형의 제1 불소 함유 유기 용제와 기체형의 제2 불소 함유 유기 용제를 생성하는 것이며, 내부에 제1 비점과 제2 비점 사이의 온도(예컨대 60℃∼80℃)를 갖는 온수(34W)가 수용되어 있다.
또한 증류 탱크(34) 내에는, 정기적으로 물 공급 라인(34c)으로부터 물이 보급되고, 증류 탱크(34) 내의 온수(34W)는 히터(34a)에 의해, 전술한 바와 같이 제1 비점과 제2 비점 사이로 유지되어 있다. 그리고 이 온수(34W)에 의해 혼합 기체를 분리하고, 혼합 기체 중에 혼입되는 F 이온을 제거한다. 한편, 제1 비점 및 제2 비점은 반드시 대기압에 있어서의 비점이 아니다. 예컨대, 증류 탱크(34)의 내압을 높게 한 경우에는, 주지와 같이 비점이 높아지기 때문에, 히터(34a)의 온도는 변화된 제1 비점 및 제2 비점 사이에 온도를 갖도록 한다.
또한 증류 탱크(34)로부터의 액체형의 제1 불소 함유 유기 용제는, 공급 라인(51)을 통해 제1 탱크(35)에 보내진다. 다음으로 제1 탱크 내의 제1 불소 함유 유기 용제는, 그 후 펌프(P)가 부착된 공급 라인(53)을 통해 제1 유수(油水) 분리기(39)에 보내진다. 제1 불소 함유 유기 용제는, 이 제1 유수 분리기(39)에 의해 유수 분리된다.
이 경우, 제1 유수 분리기(39)의 제1 불소 함유 유기 용제는, F 이온을 흡수한 물을 포함하고 있고, 제1 유수 분리기(39) 내에 있어서, F 이온을 흡수한 물은 제1 불소 함유 유기 용제로부터 분리된다.
제1 유수 분리기(39) 내의 F 이온을 흡수한 물은, 그 후 외측으로 배출되고, 제1 유수 분리기(39)에 있어서 물과 분리된 제1 불소 함유 유기 용제는, FC43 재생액으로서 액 처리 유닛(2)으로 공급 라인(38)을 통해 복귀되어 재차 이용된다.
한편, 증류 탱크(34) 내에서 생성된 기체형의 제2 불소 함유 유기 용제는, 공급 라인(52)을 통해 제2 탱크(36) 내에 보내진다.
제2 탱크(36) 내에는 물 덮개(36a)가 수납되고, 기체형의 제2 불소 함유 유기 용제는 제2 탱크(36) 내에 공급 라인(52)을 통해 보내지고, 물 덮개(36a)에 의해 냉각되어 액화하며, 물 덮개(36a)의 하방에 위치하는 공급 라인(52)의 선단으로부터 물 덮개(36a)의 하방으로 보내진다.
제2 탱크(36) 내에 있어서 액체형의 제2 불소 함유 유기 용제가 물 덮개(36a)의 하방에 저류되고, 제2 탱크(36) 내의 제2 불소 함유 유기 용제는 제2 유수 분리기(41)에 보내진다.
제2 유수 분리기(41)에 보내진 제2 불소 함유 유기 용제 중에는 F 이온을 혼입한 물이 포함되는 경우가 있고, 이 F 이온을 혼입한 물은 제2 유수 분리기(41) 내에서 제2 불소 함유 유기 용제로부터 분리된다.
제2 유수 분리기(41) 내의 F 이온을 혼입한 물은, 그 후 외측으로 방출된다.
제2 유수 분리기(41)에 의해 F 이온을 혼입한 물이 분리된 제2 불소 함유 유기 용제는, 그 후, 공급 라인(42)을 통해 공급 탱크(45)에 보내진다.
공급 라인(42)에는 활성탄을 포함하는 유기물 제거 필터(40a)와, 활성 알루미나를 포함하는 이온 제거 필터(40b)와, 파티클 제거 필터(40c)가 순차 부착되어 있다.
또한 공급 탱크(45) 내의 제2 불소 함유 유기 용제는, 펌프(46a)가 부착된 공급 라인(46)을 통해 FC72 재생액으로서 초임계 처리 유닛(3) 내로 복귀된다.
또한, 공급 라인(38) 및 공급 라인(46)에는, 제1 불소 함유 유기 용제의 농도를 측정하는 제1 농도계(61)와, 제2 불소 함유 유기 용제의 농도를 측정하는 제2 농도계(62)가 각각 설치되어 있다. 제1 농도계(61) 및 제2 농도계(62)로서는, 농도 변화에 대응하는 비중의 변화를 측정하는 비중계, 또는 농도 변화에 대응하는 굴절률의 변화를 측정하는 광학 측정기를 이용할 수 있다.
또한 분리 재생 장치(30)의 구성 요소, 예컨대, 펌프(46a, 53a) 및 증류 탱크(34) 등은 기억부(5a)를 갖는 제어부(5)에 의해 구동 제어된다.
<본 실시형태의 작용>
다음으로 이러한 구성으로 이루어지는 본 실시형태의 작용에 대해서 설명한다.
본 실시형태에 있어서는, 전처리용의 불소 함유 유기 용제로서 HFE7300을 이용하고, 제1 불소 함유 유기 용제로서 FC43을 이용하며, 제2 불소 함유 유기 용제로서 FC72를 이용한 경우의 작용에 대해서 설명한다.
처음으로, FOUP(100)로부터 취출된 웨이퍼(W)가 반입 반출부(12) 및 전달부(13)를 통해 액 처리부(14)에 반입되고, 액 처리 유닛(2)의 웨이퍼 유지 기구(23)에 전달된다. 계속해서, 회전하는 웨이퍼(W)의 표면에 각종의 처리액이 공급되어 액 처리가 행해진다.
도 6에 도시한 바와 같이, 액 처리는, 예컨대 알칼리성의 약액인 SC1액(암모니아와 과산화수소수의 혼합액)에 의한 파티클이나 유기성의 오염 물질의 제거→린스액인 탈이온수(DeIonized Water: DIW)에 의한 린스 세정이 행해진다.
약액에 의한 액 처리나 린스 세정을 끝냈다면, 회전하는 웨이퍼(W)의 표면에 린스 공급부(202)로부터 IPA를 공급하여, 웨이퍼(W)의 표면 및 이면에 잔존하고 있는 DIW와 치환한다. 웨이퍼(W)의 표면의 액체가 충분히 IPA로 치환되었다면, 전처리용의 불소 함유 유기 용제 공급부(203a)로부터 회전하는 웨이퍼(W)의 표면에 전처리용의 불소 함유 유기 용제(HFE7300)를 공급한 후, 웨이퍼(W)의 회전을 정지한다. 회전 정지 후의 웨이퍼(W)는, 제1 불소 함유 유기 용제에 의해 그 표면이 덮여진 상태로 되어 있다. 이 경우, IPA는 DIW 및 HFE7300과의 조화성이 높고, HFE7300은 IPA 및 FC43과의 조화성이 높기 때문에, DIW를 IPA에 의해 확실하게 치환할 수 있고, 다음으로 IPA를 HFE7300에 의해 확실하게 치환할 수 있다. 다음으로 HFE7300을 FC43에 의해 용이하고 또한 확실하게 치환할 수 있다.
액 처리를 끝낸 웨이퍼(W)는, 제2 반송 기구(161)에 의해 액 처리 유닛(2)으로부터 반출되고, 초임계 처리 유닛(3)으로 반송된다. 제1 불소 함유 유기 용제로서, 비점이 높은(증기압이 낮은) 불소 함유 유기 용제를 이용하고 있기 때문에, 반송되는 기간 중에 웨이퍼(W)의 표면으로부터 휘발하는 불소 함유 유기 용제의 양을 적게 할 수 있다.
처리 용기(3A)에 웨이퍼(W)가 반입되기 전의 타이밍에 있어서, 초임계 유체 공급부(4A)는, 개폐 밸브(416)를 개방하여 제2 불소 함유 유기 용제 공급부(414)로부터 제2 불소 함유 유기 용제의 액체를 소정량 송액하고 나서 개폐 밸브(352, 416)을 폐쇄하여, 스파이럴관(411)을 밀봉 상태로 한다. 이때, 제2 불소 함유 유기 용제의 액체는 스파이럴관(411)의 하방측에 고여 있고, 스파이럴관(411)의 상방측에는 제2 불소 함유 유기 용제를 가열했을 때, 증발한 제2 불소 함유 유기 용제가 팽창하는 공간이 남겨져 있다.
그리고, 전원부(412)로부터 할로겐 램프(413)에 급전을 개시하여, 할로겐 램프(413)를 발열시키면, 스파이럴관(411)의 내부가 가열되어 제2 불소 함유 유기 용제가 증발하고, 또한 승온, 승압되어 임계 온도, 임계 압력에 도달하여 초임계 유체가 된다. 스파이럴관(411) 내의 제2 불소 함유 유기 용제는, 처리 용기(3A)에 공급되었을 때에, 임계 압력, 임계 온도를 유지하는 것이 가능한 온도, 압력까지 승온, 승압된다.
이렇게 해서 제2 불소 함유 유기 용제의 초임계 유체를 공급할 준비가 갖춰진 초임계 처리 유닛(3)에, 액 처리를 끝내어, 그 표면이 제1 불소 함유 유기 용제로 덮여진 웨이퍼(W)가 반입되어 온다.
처리 용기(3A) 내에 웨이퍼(W)가 반입되고, 덮개 부재(332)가 닫혀져 밀폐 상태가 되면, 웨이퍼(W)의 표면의 제1 불소 함유 유기 용제가 건조하기 전에 초임계 유체 공급 라인(351)의 개폐 밸브(352)를 개방하여 초임계 유체 공급부(4A)로부터 제2 불소 함유 유기 용제의 초임계 유체를 공급한다.
초임계 유체 공급부(4A)로부터 초임계 유체가 공급되어, 처리 용기(3A) 내가 제2 불소 함유 유기 용제의 초임계 유체 분위기가 되면, 초임계 유체 공급 라인(351)의 개폐 밸브(352)을 폐쇄한다. 초임계 유체 공급부(4A)는, 할로겐 램프(413)를 끄고, 도시하지 않은 탈압(脫壓) 라인을 통해 스파이럴관(411) 내의 유체를 배출하며, 다음의 초임계 유체를 준비하기 위해서 제2 불소 함유 유기 용제 공급부(414)로부터 액체의 제2 불소 함유 유기 용제를 받아들일 태세를 갖춘다.
한편, 처리 용기(3A)는, 외부로부터의 초임계 유체의 공급이 정지되고, 그 내부가 제2 불소 함유 유기 용제의 초임계 유체로 채워져 밀폐된 상태로 되어 있다. 이때, 처리 용기(3A) 내의 웨이퍼(W)의 표면에 주목하면, 패턴 내에 들어간 제1 불소 함유 유기 용제의 액체에, 제2 불소 함유 유기 용제의 초임계 유체가 접하고 있다.
이와 같이 제1 불소 함유 유기 용제의 액체와, 초임계 유체가 접한 상태를 유지하면, 서로 섞이기 쉬운 제1, 제2 불소 함유 유기 용제끼리가 혼합되고, 패턴 내의 액체가 초임계 유체로 치환된다. 이윽고 웨이퍼(W)의 표면으로부터 제1 불소 함유 유기 용제의 액체가 제거되고, 패턴의 주위에는, 제1 불소 함유 유기 용제와 제2 불소 함유 유기 용제의 혼합물의 초임계 유체의 분위기가 형성된다. 이때, 제2 불소 함유 유기 용제의 임계 온도에 가까운 비교적 낮은 온도에서 제1 불소 함유 유기 용제의 액체를 제거할 수 있기 때문에, 불소 함유 유기 용제가 거의 분해하지 않고, 패턴 등에 손상을 주는 불화수소의 생성량도 적다.
이렇게 해서, 웨이퍼(W)의 표면으로부터 제1 불소 함유 유기 용제의 액체가 제거되는 데 필요한 시간이 경과했다면, 배출 라인(341)의 개폐 밸브(342)을 개방하여 처리 용기(3A) 내로부터 불소 함유 유기 용제를 배출한다. 이때, 예컨대 처리 용기(3A) 내가 제2 불소 함유 유기 용제의 임계 온도 이상으로 유지되도록 히터(322)로부터의 급열량을 조절한다. 이 결과, 제2 불소 함유 유기 용제의 임계 온도보다 낮은 비점을 갖는 제1 불소 함유 유기 용제를 액화시키지 않고, 혼합 유체를 초임계 상태 또는 기체의 상태로 배출할 수 있고, 유체 배출시의 패턴 붕괴의 발생을 피할 수 있다.
초임계 유체에 의한 처리를 끝냈다면, 액체가 제거되어 건조한 웨이퍼(W)를 제2 반송 기구(161)로 취출하고, 반입시와는 반대의 경로로 반송하여 FOUP(100)에 격납하며, 상기 웨이퍼(W)에 대한 일련의 처리를 끝낸다. 액 처리 장치(1)에서는, FOUP(100) 내의 각 웨이퍼(W)에 대하여, 전술한 처리가 연속해서 행해진다.
이 동안에, 초임계 처리 유닛(3) 내에 있어서 초임계 처리 중에 혼합 배기가 생성되고, 초임계 처리 유닛(3) 내의 혼합 배기는, 도입 라인(50)을 통해 증류 탱크(34) 내에 보내진다.
이 경우, 초임계 처리 유닛(3) 내의 압력은 20 atm으로 되어 있고, 초임계 처리 유닛(3)으로부터의 혼합 배기는 오리피스(54)에 의해 감압되고, 1 atm의 압력이 되어 도입 라인(50)의 선단(50a)으로부터 증류 탱크(34) 내의 온수(34W) 중에 보내진다.
초임계 처리 유닛(3) 내에서 생성되어, 증류 탱크(34)에 보내지는 혼합 배기 중에는, 제1 비점(174℃)을 갖는 제1 불소 함유 유기 용제(FC43)와, 제1 비점보다 낮은 제2 비점(56℃)을 갖는 제2 불소 함유 유기 용제(FC72)가 포함되어 있다. 또한 초임계 처리 유닛(3) 내에서의 초임계 처리 중, 혼합 기체에는, F 이온이 혼입된다. 이 F 이온을 방치하여 혼합 기체를 제1 불소 함유 유기 용제와 제2 불소 함유 유기 용제로 분리하고, 이들 제1 불소 함유 유기 용제와 제2 불소 함유 유기 용제를 재이용한 경우, 웨이퍼(W) 상에 F 이온에 기인하는 파티클이 발생한다.
본 실시형태에 의하면, 후술과 같이 증류 탱크(34) 내에 있어서, 혼합 기체 중의 F 이온을 효과적으로 제거할 수 있다.
이하, 증류 탱크(34)의 작용에 대해서 설명한다. 증류 탱크(34) 내에는 온수(34W)가 수용되어 있고, 또한 초임계 처리 유닛(3)으로부터의 도입 라인(50)은, 그 선단(50a)이 온수(34W) 중에 위치하도록 배치되어 있다.
여기서 증류 탱크(34) 내의 온수(34W)는, 혼합 기체를 분리하는 기능과, 혼합 기체 중에 혼입된 F 이온을 흡수하여 제거하는 기능을 갖는다.
즉 초임계 처리 중에 생성되는 혼합 기체 중에는, F 이온이 혼입되어 있으나, 증류 탱크(34) 내의 온수(34W)에 의해 혼합 기체 중의 F 이온을 제거하여, 재생한 제1 불소 함유 유기 용제와 제2 불소 함유 유기 용제로부터 F 이온을 제거할 수 있다.
또한 증류 탱크(34) 내의 온수(34W)는 제1 불소 함유 유기 용제(예컨대 FC43)의 제1 비점(174℃)과, 제2 불소 함유 유기 용제(예컨대 FC72)의 제2 비점(56℃) 사이의 온도(예컨대 60℃∼80℃)를 갖기 때문에, 이 온수(34W)에 의해 혼합 기체를 액체형의 제1 불소 함유 유기물과 기체형의 제2 불소 함유 유기물로 효과적으로 분리할 수 있다.
이 동안에, 증류 탱크(34) 내에는, 정기적으로 물 공급 라인(34c)으로부터 물이 보급되고, 증류 탱크(34) 내의 온수(34W)는 히터(34a)에 의해, 제1 비점과 제2 비점 사이로 유지되어 있다. 이와 같이 하여, 온수(34W)에 의해 혼합 기체를 분리하고, 혼합 기체 중에 혼입되는 F 이온을 제거할 수 있다. 한편, 제1 비점 및 제2 비점은 반드시 대기압에 있어서의 비점이 아니다. 예컨대, 증류 탱크(34)의 내압을 높게 한 경우에는, 주지와 같이 비점이 높아지기 때문에, 히터(34a)의 온도는 변화된 제1 비점 및 제2 비점 사이에 온도를 갖도록 한다.
다음으로 증류 탱크(34)로부터의 액체형의 제1 불소 함유 유기 용제는, 공급 라인(51)을 통해 제1 탱크(35)에 보내진다. 다음으로 제1 탱크 내의 제1 불소 함유 유기 용제는, 그 후 펌프(P)가 부착된 공급 라인(53)을 통해 제1 유수 분리기(39)에 보내진다. 제1 불소 함유 유기 용제는, 이 제1 유수 분리기(39)에 의해 유수 분리된다.
이 경우, 제1 유수 분리기(39)의 제1 불소 함유 유기 용제는, F 이온을 흡수한 물을 포함하고 있고, 제1 유수 분리기(39) 내에 있어서, F 이온을 흡수한 물은 제1 불소 함유 유기 용제로부터 분리된다.
제1 유수 분리기(39) 내의 F 이온을 흡수한 물은, 그 후 외측으로 배출되고, 제1 유수 분리기(39)에 있어서 물과 분리된 제1 불소 함유 유기 용제는, FC43 재생액으로서 액 처리 유닛(2)으로 공급 라인(38)을 통해 복귀되어 재차 이용된다.
한편, 증류 탱크(34) 내에서 생성된 기체형의 제2 불소 함유 유기 용제는, 공급 라인(52)을 통해 제2 탱크(36) 내에 보내진다.
제2 탱크(36) 내에는 물 덮개(36a)가 수납되고, 기체형의 제2 불소 함유 유기 용제는 제2 탱크(36) 내에 공급 라인(52)을 통해 보내지고, 물 덮개(36a)에 의해 냉각되어 액화한다. 다음으로 제2 불소 함유 유기 용제는, 물 덮개(36a)의 하방에 위치하는 공급 라인(52)의 선단으로부터 물 덮개(36a)의 하방으로 보내진다.
이 동안에, 제2 탱크(36) 내의 유기물은, 제2 탱크(36) 상방으로부터 유기 배기로서 외측으로 방출된다.
제2 탱크(36) 내에 있어서 액체형의 제2 불소 함유 유기 용제가 물 덮개(36a)의 하방에 저류되고, 제2 탱크(36) 내의 제2 불소 함유 유기 용제는 제2 유수 분리기(41)에 보내진다.
제2 유수 분리기(41)에 보내진 제2 불소 함유 유기 용제 중에는 F 이온을 혼입한 물이 포함되는 경우가 있고, 이 F 이온을 혼입한 물은 제2 유수 분리기(41) 내에서 제2 불소 함유 유기 용제로부터 분리된다.
제2 유수 분리기(41) 내의 F 이온을 혼입한 물은, 그 후 외측으로 방출된다.
제2 유수 분리기(41)에 의해 F 이온을 혼입한 물이 분리된 제2 불소 함유 유기 용제는, 그 후, 공급 라인(42)을 통해 공급 탱크(45)에 보내진다.
다음으로 공급 탱크(45) 내의 제2 불소 함유 유기 용제는, 펌프(46a)가 부착된 공급 라인(46)을 통해 FC72 재생액으로서 초임계 처리 유닛(3) 내로 복귀된다.
다음으로 본 실시형태에 대한 비교예로서의 분리 재생 장치를 도 7에 의해 설명한다. 도 7에 도시한 비교예는 온수(34W)를 수용한 증류 탱크(34) 대신에, 히터(64a)를 가지며 온수를 포함하지 않는 증류 탱크(64)를 설치한 것이다.
도 7에 도시한 비교예에 있어서, 다른 구성은 도 5에 도시한 본 실시형태와 거의 동일하다.
도 7에 도시한 비교예에 있어서, 증류 탱크(64)에 보내지는 혼합 기체는 증류 탱크(64)의 히터에 의해 가열되어, 제1 불소 함유 유기 용제(FC43)와 제2 불소 함유 유기 용제(FC72)로 분리된다. 그러나, 증류 탱크(64) 내에서 혼합 기체 중의 F 이온이 제거되는 일은 없다.
이에 비하여 본 실시형태에 의하면, 증류 탱크(34) 내에 온수(34W)가 수용되어 있기 때문에, 이 온수(34W)에 의해 혼합 기체 중의 F 이온을 효과적으로 제거할 수 있고, 또한 혼합 기체를 제1 불소 함유 유기 용제와 제2 불소 함유 유기 용제로 확실하게 분리할 수 있다.
W: 웨이퍼 1: 액 처리 장치
2: 액 처리 유닛 3: 초임계 처리 유닛(혼합 기체 생성부)
3A: 처리 용기 4A: 초임계 유체 공급부
5: 제어부 30: 분리 재생 장치
34: 증류 탱크 34W: 온수
34a: 히터 35: 제1 탱크
36: 제2 탱크 39: 유수 분리기
41: 유수 분리기 45: 공급 탱크

Claims (6)

  1. 분리 재생 장치에 있어서,
    제1 비점을 갖는 제1 불소 함유 유기 용제와, 제1 비점보다 낮은 제2 비점을 갖는 제2 불소 함유 유기 용제를 갖는 혼합 기체를 생성하는 혼합 기체 생성부; 및
    상기 제1 비점과 상기 제2 비점 사이의 온도를 갖는 온수를 수납하고, 상기 혼합 기체를 이 온수 중에 투입하여, 액체형의 상기 제1 불소 함유 유기 용제와 기체형의 상기 제2 불소 함유 유기 용제로 분리하는 증류 탱크
    를 포함하며,
    상기 혼합 기체 생성부로부터의 상기 혼합 기체를 상기 증류 탱크로 유도하는 도입 라인을 설치하며, 이 도입 라인의 선단을 상기 온수 중에 배치하여 상기 혼합 기체 중의 F 이온을 제거하는 것인, 분리 재생 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 증류 탱크로부터의 상기 제1 불소 함유 유기 용제를 저류(貯留)하는 제1 탱크와, 상기 증류 탱크로부터의 상기 제2 불소 함유 유기 용제를 액화하여 저류하는 제2 탱크를 더 포함하는, 분리 재생 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제2 탱크는, 상기 제2 불소 함유 유기 용제를 덮는 물 덮개를 수납하는 것인, 분리 재생 장치.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 제1 탱크 및 상기 제2 탱크에 제1 유수(油水) 분리기 및 제2 유수 분리기가 각각 접속되어 있는 것인, 분리 재생 장치.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 혼합 기체 생성부는, 피처리체에 대하여 초임계 처리를 실시하는 초임계 처리 유닛을 갖는 것인, 분리 재생 장치.
  6. 기판 처리 장치에 있어서,
    피처리체에 제1 비점을 갖는 제1 불소 함유 유기 용제를 공급하여 액 처리를 행하는 액 처리 유닛;
    액 처리 후의 피처리체에 부착되어 있는 제1 불소 함유 유기 용제의 액체를 제1 비점보다 낮은 제2 비점을 갖는 제2 불소 함유 유기 용제의 초임계 유체와 접촉시켜 제거하는 초임계 처리 유닛; 및
    상기 액 처리 유닛에서 액 처리된 피처리체를 상기 초임계 처리 유닛에 반송하는 기판 반송 유닛
    을 포함하며,
    상기 초임계 처리 유닛에 제1항에 기재된 분리 재생 장치가 포함되어 있는 것인, 기판 처리 장치.
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