KR102154342B1 - 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치 - Google Patents

자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 롤러를 통하여 이송되는 기판이 기 정해진 위치로 자동 정렬되도록 하는 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치에 관한 것으로, 복수의 회전축에 삽입되어 회전되는 복수의 롤러를 포함하고, 각각의 롤러는 기판의 폭보다 긴 길이를 갖도록 원통형으로 형성되되 길이방향 중앙으로 갈수록 단면적이 작아지도록 형성되는 특징을 갖는다.

Description

자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치{Substrate Conveyor with Automatic Arrange Function}
본 발명은 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 롤러를 통하여 이송되는 기판이 기 정해진 위치로 자동 정렬되도록 하는 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로 인쇄회로기판(printed circuit board, PCB)은 증착, 세정, 건조 등 여러 가지 공정을 순차적으로 실시하며, 일 공정이 마무리되면, 기판은 매거진에 적재되어 다음 공정으로 이송되며, 이때, 밸트나 롤러와 같은 이송장치를 이용하여 기판을 매거진 등으로 적재시키고 있다.
도 1은 종래 기판 이송 장치를 도시한 도면이다. 도 1을 참조하면, 종래 기판 이송 장치(10)는 이송테이블(11) 상에 일정 간격을 두고 설치되며 회전 가능하도록 구성되는 복수 개의 회전축(12)과, 각각의 회전축(12)에 간격을 두고 설치되는 다수개의 이송롤러(20)를 포함한다. 그리고 이송롤러(20) 위에 놓여진 기판(P)은 회전축(12)의 회전에 의하여 일정속도로 회전하는 이송롤러(20)에 의하여 일 방향으로 이동된다.
한편, 일 방향으로 이동되는 기판(P)이 매거진 등에 적층되거나 이송롤러(20) 상에서 임의로 벗어나지 않도록 하기 위해서는 기판 이송 장치(10)를 통하여 이송되는 기판(P)이 이송롤러(20) 상의 정해진 위치로 오차가 없도록 정렬시켜야 한다. 그러나 종래 기판 이송 장치(10)는 기판(P)을 기 설정된 위치로 자동 정렬시킬 수 없는 문제점이 있다.
국내등록특허공보 제10-0725953호 국내등록특허공보 제10-1926520호
상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 롤러를 통하여 이송되는 기판이 기 정해진 위치로 자동 정렬되도록 하는 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 베이스; 상기 베이스의 상부에 회전되도록 위치되되, 복수 개가 병렬로 배열되는 회전축; 및 각각의 상기 회전축에 삽입되어 회전되는 롤러를 포함하고, 상기 롤러는 기판의 폭보다 긴 길이를 갖도록 원통형으로 형성되되 길이방향 중앙으로 갈수록 단면적이 작아지도록 형성되고, 상기 롤러의 상부에 안착된 상태로 상기 롤러의 회전 방향을 따라 전진되는 기판의 길이방향 양측은 중력에 의하여 상기 롤러의 외주연에서 슬라이딩 되어, 기판의 양측 사이의 중앙과 상기 롤러의 중앙이 상호 마주보도록 정렬되는 것을 특징으로 하는 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.
또한, 상기 기판의 양측 사이의 중앙과 상기 롤러의 중앙이 상호 마주보도록 정렬될 때, 상기 기판의 양측과 마주보는 상기 롤러의 외주연 양측에는 단차지도록 한 쌍의 단차부가 형성되고, 한 쌍의 상기 단차부 사이는 오목하게 형성되고, 한 쌍의 상기 단차부 사이에는 기판의 양측이 걸린 상태로 안내되는 것을 특징으로 하는 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.
또한, 복수 개의 상기 롤러는, 상기 단차부가 형성되는 안내롤러 및 상기 단차부가 형성되지 않은 정렬롤러를 포함하고, 상기 정렬롤러는 상기 기판의 양측이 경사진 상기 정렬롤러의 외주연을 따라 슬라이딩된 상태로 전진되도록 안내하고, 상기 안내롤러는 상기 기판의 양측이 한 쌍의 상기 단차부 사이에 걸린 상태로 전진되도록 안내하는 것을 특징으로 하는 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.
또한, 복수 개의 상기 정렬롤러는 기판의 진행방향 후방에 위치되고, 하나 이상의 상기 안내롤러는 기판의 진행방향 전방에 위치되는 것을 특징으로 하는 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.
또한, 상호 인접한 한 쌍의 상기 롤러의 길이방향 중앙 사이에 위치되는 보조롤러와, 상기 보조롤러가 회전되도록 지지하는 회전지지부를 갖는 보조안내부재를 더 포함하고, 상기 보조롤러의 상측은 상기 롤러의 길이방향 중앙의 상측보다 상방에 위치되고, 상기 롤러의 길이방향 양측의 상측보다 하부에 위치되는 것을 특징으로 하는 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.
또한, 각각의 상기 회전축에 복수 개의 롤러가 직렬로 배열되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.
또한, 복수 개의 상기 롤러 중 기판의 진행방향 후방에 구비되는 롤러의 외측에 회전되도록 위치되는 보조회전축과, 상기 보조회전축에 끼워지는 하나 이상의 미끄럼방지롤러를 갖는 미끄럼방지부재를 더 포함하고, 상기 미끄럼방지롤러는 상기 미끄럼방지롤러의 외주연에 접촉되는 기판을 상기 롤러 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.
또한, 복수 개의 상기 롤러 중 기판의 진행방향 후방에 구비되는 롤러의 외측에 가이드판이 구비되되, 상기 롤러의 반대 방향에 위치되는 상기 가이드판의 일단부는 하방으로 라운드되도록 라운드부가 형성되고, 기판은 상기 라운드부를 따라 상기 가이드판 방향으로 슬라이딩된 후 상기 롤러로 공급되는 것을 특징으로 하는 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.
본 발명은 기판이 정렬롤러를 따라 전진될 때, 기판은 정렬롤러의 중앙 방향으로 정렬된 상태로 전진되는 효과가 있다.
또한, 기판은 전진 과정에서, 안내롤러의 단차부로 안내되므로, 안내부에 걸림 위치된 기판은 좌우 흔들림 없이 정 방향으로 전진되는 효과가 있다.
또한, 한 쌍의 롤러 사이에 보조롤러가 위치되므로, 상호 인접한 일 롤러에서 타 롤러 방향으로 기판이 전진될 때, 일 롤러를 지나간 기판은 보조롤러에 가이드된 상태로 안전하게 타 롤러로 이동되는 효과가 있다.
도 1은 종래 기판 이송 장치를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치의 롤러를 세부적으로 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치를 단면으로 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 6의 (a)는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치의 정렬롤러로 안내된 기판이 정렬롤러의 중앙 방향으로 슬라이딩되는 상태를 개략적으로 도시한 단면도이고, 도 6의 (b)는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치의 안내롤러로 안내된 기판이 안내롤러의 단차부에 걸리는 상태를 개략적으로 도시한 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치를 더욱 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치의 롤러를 세부적으로 도시한 도면이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치(100)는 기판(P)을 이송시키기 위한 것으로, 베이스(110), 롤러(130), 가이드판(150), 미끄럼방지부재(160) 및 보조안내부재(140)를 포함한다.
베이스(110)는 판형으로 형성되며 지면에서 이격되도록 위치될 수 있다. 그리고 베이스(110)의 양측에는 측벽부(112)가 세워지도록 형성된다. 베이스(110)의 상부에는 복수 개의 회전축(120)이 병렬로 배열되며, 회전축(120)의 양측은 측벽부(112)에 지지된 상태로 회전 가능하도록 위치된다. 회전축(120)은 통상의 구동모터(122: 도 5 도시)와 간접적으로 연결되어, 구동모터(122)가 회전되면, 회전축(120)이 구동모터(122)의 동력을 전달받아 회전되도록 구성된다.
롤러(130)는 각각의 회전축(120)에 삽입되어 회전되는 것으로, 정렬롤러(132)와 안내롤러(134)를 포함한다. 정렬롤러(132)는 예를 들면 모레시계와 같이 형성되는 것으로, 기판(P)의 폭보다 긴 길이를 갖도록 원통형으로 형성되되 길이방향 중앙으로 갈수록 단면적이 작아지도록 형성된다. 안내롤러(134) 또한, 정렬롤러(132)와 유사하게 형성되어, 기판(P)의 폭보다 긴 길이를 갖도록 원통형으로 형성되되 길이방향 중앙으로 갈수록 단면적이 작아지도록 형성된다. 다만, 안내롤러(134)는 단차부(134a)를 더 구비한다. 즉, 기판(P)의 양측 사이의 중앙과 안내롤러(134)의 중앙이 상호 마주보도록 위치될 때, 기판(P)의 양측과 마주보는 안내롤러(134)의 외주연 양측에 단차지도록 한 쌍의 단차부(134a)가 형성된다. 한 쌍의 상기 단차부(134a) 사이는 오목하게 형성되어, 기판(P)의 양측은 한 쌍의 상기 단차부(134a) 사이로 안내된다. 이때, 한 쌍의 단차부(134a) 사이의 폭과 기판(P)의 양측 사이의 폭은 상호 동일하도록 구성되어, 한 쌍의 단차부(134a) 사이로 안내된 기판(P)은 임의로 빠지지 않게 되는 효과가 있다. 이하에서 롤러(130)라 함은 정렬롤러(132) 또는 안내롤러(134)를 일컫는다.
한편, 하나의 회전축(120)에는 복수 개의 롤러(130)가 직렬로 배열되도록 구성되어, 경우에 따라 한꺼번에 복수 개의 기판(P)을 이동시킬 수 있을 것이다.
가이드판(150), 미끄럼방지부재(160) 및 보조안내부재(140)는 후술하기로 한다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치를 단면으로 도시한 도면이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 가이드판(150)은 판형으로 형성되며 복수 개의 상기 롤러(130) 중 기판(P)의 진행방향 후방에 구비되는 롤러(130)의 외측에 구비된다. 그리고 가이드판(150)을 지지하기 위하여 베이스(110)에서 가이드판(150) 방향으로 지지돌부(154)가 돌출 형성된다. 롤러(130)의 반대 방향에 위치되는 상기 가이드판(150)의 일단부는 하방으로 라운드되도록 라운드부(152)가 형성된다.
그리고 기판(P)이 라운드부(152)를 따라 가이드판(150) 방향으로 슬라이딩된 후 상기 롤러(130)로 공급된다. 이때, 가이드판(150)은 회전축(120)의 상측과 롤러(130) 양측의 상측 사이에 위치되어, 가이드판(150)을 따라 슬라이딩된 기판(P)은 롤러(130)의 상측에 안착된 상태로 롤러(130)의 회전 방향을 따라 용이하게 전진되는 효과가 있다.
미끄럼방지부재(160)는 복수 개의 상기 롤러(130) 중 기판(P)의 진행방향 후방에 구비되는 롤러(130)와 가이드판(150) 사이에 구비된다. 미끄럼방지부재(160)는 도 5에서 설명하기로 한다.
보조안내부재(140)는 보조롤러(144) 및 회전지지부(142)를 포함한다. 보조롤러(144)는 롤러(130)보다 작은 길이를 갖는 원통 형상으로 형성되며, 상호 수평하게 인접한 한 쌍의 롤러(130)의 길이방향 중앙 사이에 위치된다. 회전지지부(142)는 보조롤러(144)가 회전되도록 지지하는 것으로, 예를 들면 하측은 복수의 롤러(130) 사이를 따라 긴 형상으로 형성되며 상측은 각각의 보조롤러(144) 방향으로 돌출되도록 형성된다. 그리고 보조롤러(144)의 상측은 상기 롤러(130)의 길이방향 중앙의 상측보다 상방에 위치되고, 상기 롤러(130)의 길이방향 양측의 상측보다 하부에 위치된다. 즉, 보조롤러(144)의 상측은 롤러(130)의 길이방향 중앙의 상측과 롤러(130)의 길이방향 양측의 상측 사이에 위치된다. 이처럼 보조롤러(144)가 상호 마주보는 한 쌍의 롤러(130) 사이에 위치되되, 그 상측은 롤러(130)의 중앙보다 약간 상부에 위치되므로, 상호 인접한 일 롤러(130)에서 타 롤러(130) 방향으로 기판(P)이 이동될 때, 일 롤러(130)를 지나간 기판(P)은 보조롤러(144)에 가이드된 상태로 안전하게 타 롤러(130)로 이동되는 효과가 있다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 5를 참조하면, 미끄럼방지부재(160)는 복수 개의 상기 롤러(130) 중 기판(P)의 진행방향 후방에 구비되는 롤러(130)의 외측과 가이드판(150) 사이에 구비되는 것으로, 한 쌍의 측벽부(112) 사이에 회전 가능하도록 위치되며 축 형상으로 길게 형성되는 보조회전축(162)과, 보조회전축(162)에 끼워지는 원판 형상의 미끄럼방지롤러(166)를 포함한다. 미끄럼방지롤러(166)는 외주연이 마찰계수가 큰 재질로 구성되어, 기판(P)이 잘 미끄러지지 않도록 구성된다. 미끄럼방지롤러(166)는 한 쌍으로 구성되며 각각 롤러(130)와 대향되도록 위치된다. 그리고 한 쌍의 미끄럼방지롤러(166)의 양측에는 한 쌍의 가이드부(164)가 끼워진다. 보조회전축(162)은 구동모터(122)와 간접 연결되어, 구동모터(122)의 동력을 전달받아 회전되도록 구성된다. 그리고 보조회전축(162)이 회전되는 상태에서 기판(P)이 공급되면, 기판(P)은 한 쌍의 가이드부(164)에 가이드된 상태로 미끄럼방지롤러(166)의 외주연에 접촉되고, 미끄럼방지롤러(166)는 기판(P)을 롤러(130) 방향으로 용이하게 전진시키는 효과가 있다.
한편, 상호 마주보도록 위치되는 복수 개의 정렬롤러(132)는 기판(P)의 진행방향 후방에 위치되고, 하나 이상의 상기 안내롤러(134)는 기판(P)의 진행방향 전방에 위치된다. 이는, 외부에서 공급되는 기판(P)이 먼저, 정렬롤러(132)를 지나가면서 기판(P)의 중앙이 정렬롤러(132)의 중앙 방향으로 오도록 정렬되고, 정렬롤러(132)의 중앙 방향으로 정렬된 기판(P)이 안내롤러(134)의 단차부(134a)에 걸린 상태로 안전하게 전진되도록 안내하기 위함이다. 안내롤러(134)는 예를 들면 2개가 구비될 수 있으며, 2개의 안내롤러(134) 사이에 정렬롤러(132)가 구비될 수도 있을 것이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치의 작용에 대하여 설명하기로 한다.
도 6의 (a)는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치의 정렬롤러로 안내된 기판(P)이 정렬롤러의 중앙 방향으로 슬라이딩되는 상태를 개략적으로 도시한 단면도이고, 도 6의 (b)는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치의 안내롤러로 안내된 기판(P)이 안내롤러의 단차부에 걸리는 상태를 개략적으로 도시한 단면도이다.
먼저, 도 5 및 도 6의 (a)를 참조하면, 기판(P)이 가이드판(150) 및 미끄럼방지롤러(166)를 지나 미끄럼방지롤러(166)와 마주보는 정렬롤러(132)에 위치된 후, 미끄럼방지롤러(166) 및 정렬롤러(132)의 회전에 의하여 전진 방향으로 이동된다. 이때, 각각의 정렬롤러(132)는 회전되면서 기판(P)의 양측이 경사진 정렬롤러(132)의 외주연을 따라 슬라이딩된 상태로 전진되도록 안내한다. 그 결과, 기판(P)은 정렬롤러(132)의 중앙 방향으로 안내된 상태로 전진되는 효과가 있다.
이어서, 도 5 및 도 6의 (b)를 참조하면, 안내롤러(134)는 회전되면서 기판(P)의 양측이 한 쌍의 단차부(134a) 사이에 걸린 상태로 전진되도록 안내한다.
이처럼, 외부에서 공급되는 기판(P)은 정렬롤러(132)를 지나가면서 기판(P)의 중앙이 정렬롤러(132)의 중앙 방향으로 오도록 안내되고, 정렬롤러(132)의 중앙 방향으로 정렬된 기판(P)은 안내롤러(134)의 단차부(134a)에 걸린 상태로 안전하게 전진되도록 안내되는 효과가 있다.
본 발명은 상기 실시예에서 상세히 설명되었지만, 본 발명을 이로 한정하지 않음은 당연하고, 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 청구범위의 범주에 속하는 것이라면 그 기술사상 역시 본 발명에 속하는 것으로 보아야 한다.
100: 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치
110: 베이스 112: 측벽부
120: 회전축 122: 구동모터
130: 롤러 132: 정렬롤러
134: 안내롤러 134a: 단차부
140: 보조안내부재 142: 회전지지부
144: 보조롤러 150: 가이드판
152: 라운드부 154: 지지돌부
160: 미끄럼방지부재 162: 보조회전축
164: 가이드부 166: 미끄럼방지롤러

Claims (8)

  1. 베이스;
    상기 베이스의 상부에 회전되도록 위치되되, 복수 개가 병렬로 배열되는 회전축; 및
    각각의 상기 회전축에 삽입되어 회전되는 롤러를 포함하고,
    상기 롤러는 기판의 폭보다 긴 길이를 갖도록 원통형으로 형성되되 길이방향 중앙으로 갈수록 단면적이 작아지도록 형성되고,
    상기 롤러의 상부에 안착된 상태로 상기 롤러의 회전 방향을 따라 전진되는 기판의 길이방향 양측은 중력에 의하여 상기 롤러의 외주연에서 슬라이딩 되어, 기판의 양측 사이의 중앙과 상기 롤러의 중앙이 상호 마주보도록 정렬되고,
    상기 기판의 양측 사이의 중앙과 상기 롤러의 중앙이 상호 마주보도록 정렬될 때, 상기 기판의 양측과 마주보는 상기 롤러의 외주연 양측에는 단차지도록 한 쌍의 단차부가 형성되고,
    한 쌍의 상기 단차부 사이는 오목하게 형성되고, 한 쌍의 상기 단차부 사이에는 기판의 양측이 걸린 상태로 안내되고,
    복수 개의 상기 롤러는, 상기 단차부가 형성되는 안내롤러 및 상기 단차부가 형성되지 않은 정렬롤러를 포함하고,
    상기 정렬롤러는 상기 기판의 양측이 경사진 상기 정렬롤러의 외주연을 따라 슬라이딩된 상태로 전진되도록 안내하고,
    상기 안내롤러는 상기 기판의 양측이 한 쌍의 상기 단차부 사이에 걸린 상태로 전진되도록 안내하는 것을 특징으로 하는 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치.
  2. 베이스;
    상기 베이스의 상부에 회전되도록 위치되되, 복수 개가 병렬로 배열되는 회전축; 및
    각각의 상기 회전축에 삽입되어 회전되는 롤러를 포함하고,
    상기 롤러는 기판의 폭보다 긴 길이를 갖도록 원통형으로 형성되되 길이방향 중앙으로 갈수록 단면적이 작아지도록 형성되고,
    상기 롤러의 상부에 안착된 상태로 상기 롤러의 회전 방향을 따라 전진되는 기판의 길이방향 양측은 중력에 의하여 상기 롤러의 외주연에서 슬라이딩 되어, 기판의 양측 사이의 중앙과 상기 롤러의 중앙이 상호 마주보도록 정렬되고,
    복수 개의 상기 롤러 중 기판의 진행방향 후방에 구비되는 롤러의 외측에 회전되도록 위치되는 보조회전축과, 상기 보조회전축에 끼워지는 하나 이상의 미끄럼방지롤러를 갖는 미끄럼방지부재를 더 포함하고,
    상기 미끄럼방지롤러는 상기 미끄럼방지롤러의 외주연에 접촉되는 기판을 상기 롤러 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치.
  3. 베이스;
    상기 베이스의 상부에 회전되도록 위치되되, 복수 개가 병렬로 배열되는 회전축; 및
    각각의 상기 회전축에 삽입되어 회전되는 롤러를 포함하고,
    상기 롤러는 기판의 폭보다 긴 길이를 갖도록 원통형으로 형성되되 길이방향 중앙으로 갈수록 단면적이 작아지도록 형성되고,
    상기 롤러의 상부에 안착된 상태로 상기 롤러의 회전 방향을 따라 전진되는 기판의 길이방향 양측은 중력에 의하여 상기 롤러의 외주연에서 슬라이딩 되어, 기판의 양측 사이의 중앙과 상기 롤러의 중앙이 상호 마주보도록 정렬되고,
    복수 개의 상기 롤러 중 기판의 진행방향 후방에 구비되는 롤러의 외측에 가이드판이 구비되되, 상기 롤러의 반대 방향에 위치되는 상기 가이드판의 일단부는 하방으로 라운드되도록 라운드부가 형성되고,
    기판은 상기 라운드부를 따라 상기 가이드판 방향으로 슬라이딩된 후 상기 롤러로 공급되는 것을 특징으로 하는 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    복수 개의 상기 정렬롤러는 기판의 진행방향 후방에 위치되고, 하나 이상의 상기 안내롤러는 기판의 진행방향 전방에 위치되는 것을 특징으로 하는 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 3 항 중에서 선택되는 어느 한 항에 있어서,
    상호 인접한 한 쌍의 상기 롤러의 길이방향 중앙 사이에 위치되는 보조롤러와, 상기 보조롤러가 회전되도록 지지하는 회전지지부를 갖는 보조안내부재를 더 포함하고,
    상기 보조롤러의 상측은 상기 롤러의 길이방향 중앙의 상측보다 상방에 위치되고, 상기 롤러의 길이방향 양측의 상측보다 하부에 위치되는 것을 특징으로 하는 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치.
  6. 제 1 항 내지 제 3 항 중에서 선택되는 어느 한 항에 있어서,
    각각의 상기 회전축에 복수 개의 롤러가 직렬로 배열되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 자동 정렬 기능을 갖는 기판 이송 장치.
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