KR20090069544A - 카세트 로딩 장치 및 카세트 로딩 방법 - Google Patents

카세트 로딩 장치 및 카세트 로딩 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판을 수납하기 위한 카세트의 로딩(loading) 장치에 관한 것으로, 특히 로딩된 카세트의 안착 상태가 틀어지거나, 대형화된 카세트의 경우 포트에 안착된 카세트가 이송 과정에서 발생되는 물리적인 충격에 의하여 사이드 바가 기울어져서 하부 프레임과 상부 프레임의 정렬 상태가 기울어져서 기판의 취출 과정에서 기판이 손상되는 문제를 방지하는 것을 목적으로 하는 발명으로,
상기 목적을 달성하기 위하여, 기판 수납용 카세트가 안착되는 포트와, 상기 카세트 내부로 기판을 이재할 수 있는 이재 로봇과, 상기 카세트의 상부 프레임의 정렬 상태를 측정하는 제 1 측정부와, 상기 카세트의 하부 프레임의 정렬 상태를 측정하는 제 2 측정부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
카세트, 카세트 로딩 장치, 측정부, 상부 프레임, 하부 프레임,

Description

카세트 로딩 장치 및 카세트 로딩 방법{Cassette Loading Apparatus and Method For Loading Cassette Using the Same}
본 발명은 기판을 수납하기 위한 카세트의 로딩(loading) 장치에 관한 것으로, 특히 로딩된 카세트가 틀어진 경우에 기판의 이동 과정에서 기판이 손상되는 문제를 방지할 수 있는 카세트의 로딩 장치에 관한 것이다.
정보화 사회의 발전에 따라, 시각적 정보를 표시하기 위하여 종래의 CRT(Cathode Ray Tube)를 대신하여, 여러 가지 평판 표시 장치가 주목을 받고 있으며, 이러한 평판 표시 장치들로는 PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display Device), LCD(Liquid Crystal Display Device, 이하 액정 표시 장치), OLED(Organic Light Emitting Diode, 이하 유기 발광 다이오드 표시장치) 등이 있다.
이와 같은, 평판 표시 장치들은 유리로 이루어진 글래스 기판(glass substrate)와 같은 하나의 기판에 다수의 패널이 설계되어 있어서, 한 번의 프로세스(process)를 통해 다수의 패널이 동시에 제작되도록 구성된다.
평판 표시 장치를 제조하기 위한 과정은, 증착 공정, 노광 공정, 식각 공정 등 다수의 공정으로 이루어지며, 이에 따라 다수의 패널이 설계되어 있는 기판은 단독적으로 이동되지 않고 복수의 기판을 수납하도록 설계된 카세트(cassette)에 수납되어 공정을 수행하는 장비로 이동된다.
또한, 상기 카세트는 AGV(Automatic Guided Vehicle)과 같은 운송 방식에 의하여, 증착 공정, 노광 공정, 식각 공정 등과 같은 각 공정을 수행하기 위한 장비로 이송되어지며, 각 장비에는 카세트를 로딩시키기 위한 카세트 로딩 장치를 구비한다.
도1는 기판을 수납한 카세트가 로딩된 카세트 로딩 장치를 도시한 도면이다. 참고로 이하의 도면에서 동일한 도면부호는 동일한 구성 요소를 지칭한다.
도1에서 알 수 있듯이, 카세트 로딩 장치는, 카세트(10)가 안착되는 포트(20)와, 상기 카세트 내부로 기판(1,2)을 수납 또는 취출하기 위하여 이재하는 이재 로봇(50)으로 구성된다.
상기 카세트(10)는, 서로 대향하도록 배치된 상부 프레임(12) 및 하부 프레임(13)과, 상기 상부 프레임 및 하부 프레임 사이 양 측면에 배치되어 상부 프레임 및 하부 프레임을 지지하는 사이드 바(14)로 구성되고, 상기 사이드 바의 카세트 내측에는 기판(1,2)을 수납하기 위한 다수의 슬롯(15)들이 구비된다.
또한, 사이드 바에 구비되어 수납된 기판이 자체의 하중에 의하여 중력 방향으로 처짐(sagging)이 발생하는 문제를 방지하기 위한 센터 바(16)를 더 구비할 수 있다.
카세트(10)가 안착되는 포트(port)(20)에는, 카세트를 고정시키는 베이스 블 럭(22)이 카세트의 하부 프레임의 네 모서리에 대응되도록 구비된다.
카세트 내부로 기판을 수납시키기 위한 이재 로봇(50)은, 좌우 방향으로 이동 가능함과 동시에 회전할 수 있는 구동부(53)와, 상기 구동부와 연결되어 전후 방향으로 연장될 수 있는 로봇 암(51)과, 상기 로봇 암에 연결되어 기판을 지지 고정시킬 수 있는 로봇 핸드(52)로 구성된다.
즉, 기판(1,2)들은 예를 들면 진공 흡착 방식 등에 의하여, 로봇 핸드(52)에 고정되어 카세트의 슬롯에 삽입되거나, 또는 동일한 방식에 의하여 슬롯에 삽입된 기판이 카세트 외부로 취출될 수 있다.
이와 같이, 기판을 수납한 카세트는 포트에 안착되며, 이재 로봇에 의하여 카세트 내부의 기판을 차례로 이재하여 해당 공정을 수행하는 유닛(unit)으로 기판이 이재되어진다.
한 편, 평판 표시 장치를 형성하기 위한 기판들은 생산비 절감을 위하여 규모의 경제(Economy of scale)를 달성함과 동시에, 대형 TV와 같은 어플리케이션(application)을 구현하기 위하여 점점 대형화되고 있는 추세이며, 따라서 기판을 수납하기 위한 카세트 및 카세트를 이동시키는 장비 또한 대형화되고 있는 추세이다.
이와 같이, 기판과 카세트 등이 대형화 됨에 따라 카세트 자체의 하중이 증가하게 되었고, 이에 따라 카세트 로딩 장치에 안착된 카세트가 정확하게 안착되지 않음에 따라 여러 가지 문제가 발생하게 되었다.
특히, 기울어진 카세트를 정면에서 바라본 도2를 참조로 하여 설명하면, 대형화된 카세트의 경우 포트에 안착된 카세트가 이송 과정에서 발생되는 물리적인 충격에 의하여 사이드 바(14)가 기울어져서 하부 프레임(13)과 상부 프레임(12)의 정렬 상태가 기울어지게 되는 문제가 발생하였다.
이와 같이 상부 프레임 및 하부 프레임의 정렬 상태가 기울어지게 되면 카세트로부터 기판이 취출되거나, 카세트로 기판이 수납될 때 사이드 바와의 간섭에 의하여 기판이 손상될 위험이 있다.
본 발명은 이와 같은 문제들을 해결하기 위한 것으로,
이와 같이, 기판이 카세트 로딩 장치에 정위치에 안착하지 않거나, 상부 프레임 및 하부 프레임의 정렬 상태가 기울어진 카세트가 로딩되어 공정이 진행되는 것을 방지할 수 있는 카세트 로딩 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 실시예에 따른 카세트 로딩 장치는,
기판 수납용 카세트가 안착되는 포트와, 상기 카세트 내부로 기판을 이재할 수 있는 이재 로봇과, 상기 카세트의 상부 프레임의 정렬 상태를 측정하는 제 1 측정부와, 상기 카세트의 하부 프레임의 정렬 상태를 측정하는 제 2 측정부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
즉, 제 1 측정부 또는 제 2 측정부 가운데 어느 하나만을 이용한 측정만으로도 카세트의 로딩 상태가 정위치에 로딩되었는지 여부를 확인할 수 있으며,
제 1 측정부 및 제 2 측정부를 함께 사용한 측정을 통해, 카세트의 상부 프레임 및 하부 프레임의 정렬 상태를 확인할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 카세트 로딩 장치는, 카세트의 로딩 상태를 확인하여 카세트의 위치가 정위치가 아닐 경우 카세트의 위치를 보정할 수 있고, 동시에 카세트의 상부 프레임 및 하부 프레임의 정렬 상태가 기울어진 경우를 공정이 진행되기 전에 감지하여 기판의 손상을 방지함으로써 생산비를 저감시킬 수 있는 효과를 제공한다.
다음으로 본 발명의 실시예에 따른 카세트 로딩 장치에 대하여 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예에 따른 카세트 로딩 장치는, 기판 수납용 카세트가 안착되는 포트와, 상기 카세트 내부로 기판을 이재할 수 있는 이재 로봇과, 상기 카세트의 상부 프레임의 정렬 상태를 측정하는 제 1 측정부와, 상기 카세트의 하부 프레임의 정렬 상태를 측정하는 제 2 측정부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
즉, 본 발명의 실시예에 따른 카세트 로딩 장치는, 상부 프레임 또는 하부 프레임 가운데 어느 하나의 정렬 상태를 측정하여 카세트가 정위치에 로딩되었는지 여부를 확인할 수 있으며,
동시에 상부 프레임과 하부 프레임의 정렬 상태를 동시에 측정한 후 비교하여, 카세트의 상부 프레임과 하부 프레임의 정렬 상태가 기울어져 있는지를 확인할 수 있다.
다음으로 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명의 실시예에 따른 카세트 로딩 장치에 대하여 설명하기로 한다.
첨부된 도3a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 카세트 로딩 장치의 구성을 나타낸 사시도이다.
도3a으로부터 알 수 있듯이, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 카세트 로딩 장치는, 기판 수납용 카세트(110)가 안착되는 포트(120)와, 상기 카세트 내부로 기판(101, 102)을 이재할 수 있는 이재 로봇(150)과, 상기 카세트의 상부 프레임(113)의 정렬 상태를 측정하는 제 1 측정부(130)와, 상기 카세트의 하부 프레임(114)의 정렬 상태를 측정하는 제 2 측정부(140)와, 상기 제 1 측정부 및 제 2 측정부에서 측정된 값을 처리 및 이재 로봇을 제어하는 제어부(미도시)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 포트(120)에는 AGV(미도시) 등에 의하여 운반되어진 카세트가 로딩되어 안착될 수 있으며, 또한 상기 포트에는 로딩된 카세트의 위치에 대한 기준이 되는 베이스 블럭(122)이 구비된다.
상기 베이스 블럭(122)은 내마모성이 강한 플라스틱 재질로 형성될 수 있으며, 포트로부터 돌출되어 형성되고 카세트의 네 모서리에 대응되도록 형성된다.
즉, 상기 베이스 블럭의 내측에 카세트의 네 모서리가 밀착된 경우가, 카세트가 정위치에 로딩된 상태이다.
상기 카세트(110)는, 서로 대향하도록 배치된 상부 프레임(112) 및 하부 프레임(113)과, 상기 상부 프레임 및 하부 프레임 사이 양 측면에 배치되어 상부 프레임 및 하부 프레임을 지지하는 사이드 바(114)로 구성되고, 상기 사이드 바의 카세트 내측에는 기판(101,102)을 수납하기 위한 다수의 슬롯(115)들이 구비된다.
또한, 사이드 바에 구비되어 수납된 기판이 자체의 하중에 의하여 중력 방향으로 처짐(sagging)이 발생하는 문제를 방지하기 위한 센터 바(116)를 더 구비할 수 있다.
상기 이재 로봇(150)은, 좌우 방향으로 이동 가능함과 동시에 회전할 수 있는 구동부(153)와, 상기 구동부와 연결되어 전후 방향으로 연장될 수 있는 로봇 암(151)과, 상기 로봇 암에 연결되어 기판(101,102)을 지지 고정시킬 수 있는 로봇 핸드(152)로 구성된다.
즉, 기판을 로봇 핸드(152)에 구비된 진공 홀을 통해 진공력으로 흡착 고정 하여 기판을 이동시켜서 카세트의 슬롯(115)으로 기판을 삽입시키거나, 카세트 내부에 수납된 기판을 외부로 취출하게 된다.
상기 제 1 측정부(130) 및 제 2 측정부(140)은, 예를 들면, 도4와 같이, 레어저와 같은 빛을 조사하는 발광부(134) 및 반사되는 빛을 감지하는 수광부(136)를 구비한 헤드부(132)와, 상기 헤드부를 이동시키는 구동부(미도시) 및 상기 헤드부 와 구동부를 연결하는 연결부(미도시)로 구성이 되고,
발광부에서 조사한 빛이 물체에 의해 반사되어 돌아온 빛을 수광부를 통해 감지함으로써 거리를 측정하게 된다.
상기 제어부는, 상기 제 1 측정부 및 제 2 측정부로부터 측정된, 측정부와 상부 프레임 또는 하부 프레임 사이의 거리에 대한 측정값을 비교처리할 수 있으며, 이재 로봇 등을 제어하는 역할을 수행한다.
카세트가 정위치에 로딩되고 상부 프레임 및 하부 프레임이 기울어지지 않고 정확한 정렬 상태를 유지할 경우에, 제 1 측정부에서 상부 프레임까지의 거리와, 제 2 측정부에서 하부 프레임까지의 거리는 동일하도록 제 1 측정부 및 제 2 측정부를 배치하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제 1 측정부 및 제 2 측정부는 도3a와 같이 각각이 하나의 측정 유닛으로 구성되고, 각 측정 유닛이 카세트의 동일한 일측에 하나씩 구비될 수도 있으며, 도3b와 같이 각 측정 유닛이 카세트를 기준으로 서로 반대되는 측면, 예를 들면 제 1 측정부는 카세트의 좌측에 위치하고 동시에 제 2 측정부는 카세트의 우측에 위치하는 것도 가능할 것이다. 이와 같이, 제 1 측정부 및 제 2 측정부의 위 치를 카세트를 기준으로 반대 측면에 배치함으로써 제 1 측정부 및 제 2 측정부가 구동될 때 서로 간섭되는 것을 피할 수 있는 효과를 가진다.
또한, 도3c와 같이, 상기 제 1 측정부 및 제 2 측정부는 카세트를 기준으로 양측에 하나씩, 각각 한 쌍의 측정 유닛으로 구비되는 것도 가능할 것이다.
이와 같이, 제 1 측정부 및 제 2 측정부가 각각 한 쌍의 측정 유닛으로 구비되면, 보다 정확한 값을 측정할 수 있는 효과를 가진다.
또한, 도3d와 같이, 상기 제 1 측정부 및 제 2 측정부는 측정 유닛이 상부 프레임과 하부 프레임의 네 모서리에 모두 대응되도록 형성되는 것도 가능할 것이다.
즉, 각 모서리에 대응되도록 제 1 측정부 및 제 2 측정부가 구비되어서, 보다 빠른 속도로 측정을 실시할 수 있어서 공정 시간을 단축할 수 있음과 아울러, 보다 정확한 측정을 할 수 있는 효과를 가진다.
다음으로, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 카세트 로딩 장치에 대하여 설명하기로 한다.
본 발명의 제 2 실시예에 따른 카세트 로딩 장치는,
기판 수납용 카세트(110)가 안착되는 포트(120)와, 상기 카세트 내부로 기판(101, 102)을 이재할 수 있는 이재 로봇(150)과, 상기 카세트의 상부 프레임(113)의 정렬 상태를 측정하는 제 1 측정부(130)와, 상기 카세트의 하부 프레임(114)의 정렬 상태를 측정하는 제 2 측정부(140)와, 상기 포트에 안착된 카세트가 이재될 수 있는 더미 포트(250)와, 상기 제 1 측정부 및 제 2 측정부에서 측 정된 값을 처리 및 이재 로봇을 제어하는 제어부(미도시)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
카세트가 정위치에 로딩되고 상부 프레임 및 하부 프레임이 기울어지지 않고 정확한 정렬 상태를 유지할 경우에, 제 1 측정부에서 상부 프레임까지의 거리와, 제 2 측정부에서 하부 프레임까지의 거리는 동일하도록 제 1 측정부 및 제 2 측정부를 배치하는 것이 바람직하다.
상기 포트(120)에는 AGV(미도시) 등에 의하여 운반되어진 카세트가 로딩되어 안착될 수 있으며, 또한 상기 포트에는 로딩된 카세트의 위치에 대한 기준이 되는 베이스 블럭(122)이 구비된다.
상기 베이스 블럭(122)은 내마모성이 강한 플라스틱 재질로 형성될 수 있으며, 포트로부터 돌출되어 형성되고 카세트의 네 모서리에 대응되도록 형성된다.
즉, 상기 베이스 블럭의 내측에 카세트의 네 모서리가 밀착되도록 안착된 경우가, 카세트가 정위치에 로딩된 상태이다.
상기 더미 포트(250)에는 별도로 구비된 카세트 이재 수단(미도시) 또는 AGV를 이용하여 상기 포트에 안착된 카세트가 재이재될 수 있다.
즉, 도2와 같이, 제 1 측정부에서 측정된 거리와, 제 2 측정부에서 측정된 거리를 비교하여, 두 측정값의 차이가 설정된 기준을 벗어난 경우에는, 도2와 같이카세트의 사이드 바가 기울어져서 상부 프레임과 하부 프레임의 정렬 상태가 어긋난 경우로 판단하여, 포트에 로딩된 카세트를 더미 포트로 재이재킨다.
이와 같이, 더미 포트에 재이재된 카세트는, 상부 프레임과 하부 프레임의 정렬 상태가 정상이 되도록 리페어(repair)하거나, 그 불량 상태가 심각한 경우에는 사용을 금지하는 등의 조치를 취하는 것이 가능할 것이다.
상기 더미 포트에도 역시, 카세트를 고정시키기 위하여 카세트의 네 모서리에 대응되는 베이스 블럭(255)이 구비된다.
상기 제어부는, 상기 제 1 측정부 및 제 2 측정부로부터 측정된, 측정부와 상부 프레임 또는 하부 프레임 사이의 거리에 대한 측정값을 비교처리하여 상기 카세트를 더미 포트로 이재할 것인지의 여부를 결정할 수 있으며, 이재 로봇 등을 제어하는 역할을 수행한다.
상기 이재 로봇(150)은, 좌우 방향으로 이동 가능함과 동시에 회전할 수 있는 구동부(153)와, 상기 구동부와 연결되어 전후 방향으로 연장될 수 있는 로봇 암(151)과, 상기 로봇 암에 연결되어 기판(101,102)을 지지 고정시킬 수 있는 로봇 핸드(152)로 구성된다.
즉, 기판을 로봇 핸드(152)에 구비된 진공 홀을 통해 진공력으로 흡착 고정하여 기판을 이동시켜서 카세트의 슬롯(115)으로 기판을 삽입시키거나, 카세트 내부에 수납된 기판을 외부로 취출하게 된다.
상기 제 1 측정부(130) 및 제 2 측정부(140)는 예를 들면, 도4와 같이, 레어저와 같은 빛을 조사하는 발광부(134) 및 반사되는 빛을 감지하는 수광부(136)를 구비한 헤드부(132)와, 상기 헤드부를 이동시키는 구동부(미도시) 및 상기 헤드부 및 구동부를 연결하는 연결부(미도시)로 구성된다.
이와 같이, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 카세트 로딩 장치는, 포트에 로딩 된 카세트가 재이재될 수 있는 더미 포트를 구비하여서,
제 1 측정부 및 제 2 측정부에서 측정된 측정값을 통해, 카세트의 사이드 바가 기울어져서 상부 프레임과 하부 프레임의 정렬 상태가 어긋난 경우로 판단될 경우, 포트에 로딩된 카세트를 더미 포트로 재이재시킴으로써, 기판의 손상을 방지함과 아울러 비용을 절감할 수 있는 효과를 제공한다..
다음으로, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 카세트 로딩 장치에 대하여 설명하기로 한다.
본 발명의 제 3 실시예에 따른 카세트 로딩 장치는,
기판 수납용 카세트가 안착되는 포트와, 상기 카세트 내부로 기판을 이재할 수 있는 이재 로봇과, 상기 카세트의 상부 프레임의 정렬 상태를 측정하는 제 1 측정부와, 상기 카세트의 하부 프레임의 정렬 상태를 측정하는 제 2 측정부와, 상기 포트에 로딩된 카세트의 안착 상태를 보정할 수 있는 보정 수단과, 상기 제 1 측정부 및 제 2 측정부에서 측정된 값을 처리하고 이재 로봇 및 보정 수단을 제어하는 제어부(미도시)을 포함하는 것을 특징으로 한다.
도6과 같이, 상기 보정 수단(180)은 연결부(184)에 의하여 구동부(미도시)에 연결된 클램프(182)로 구성될 수 있다.
즉, 도6에서처럼 카세트가 베이스 블럭 상부에 걸치도록 안착된 경우에,
제 1 측정부 및 제 2 측정부가, 카세트의 상부 프레임 및 하부 프레임의 네 모서리와 측정부 사이의 거리를 모두 측정하여 카세트의 안착 상태가 불량하다고 판단이 되면, 상기 보정수단을 이용하여 카세트의 하부 프레임에 물리적인 힘을 가 하여 카세트의 안착 상태를 보정하는 것이 가능할 것이다.
상기 보정수단은 카세트의 네 모서리에 대응되도록 구비될 수 있으며,
상기 구동부는 상기 보정 수단을 x축, y축, z축 전 방향으로 이동시키는 것이 가능할 것이다.
상기 제어부는, 상기 제 1 측정부나 제 2 측정부로부터 측정된, 측정부와 상부 프레임 또는 하부 프레임 사이의 거리에 대한 측정값을 비교처리하여 상기 카세트의 안착 상태를 보정할 것인지를 결정할 수 있으며, 이재 로봇 및 보정 수단등을 제어하는 역할을 수행한다.
이와 같이, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 카세트 로딩 장치는,
포트에 안착된 카세트의 안착 상태를 보정할 수 있는 보정 수단을 더 포함하여서, 카세트의 안착 상태가 불량할 경우 이를 보정하여 불량을 방지할 수 있는 효과를 제공한다.
다음으로 본 발명의 실시예에 따른 카세트 로딩 방법에 대하여 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예에 따른 카세트 로딩 방법은,
포트 상에 카세트를 로딩시키는 단계와, 상기 카세트의 상부 프레임과 제 1 측정부 사이의 거리를 측정하는 단계와, 상기 카세트의 하부 프레임과 제 2 측정부 사이의 거리를 측정하는 단계와, 상기 제 1 측정부 및 제 2 측정부의 측정값을 제어부에서 비교하는 단계와, 상기 두 측정값의 차이가 설정된 기준보다 큰 경우 상기 카세트를 더미 포트로 이재하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 포트 상에 카세트를 로딩시키는 단계는, 예를 들면, AGV(미도시) 등에 의하여 다른 장비 또는 스토커(stocker)로부터 운반되어진 카세트가 로딩되는 것이 가능할 것이다.
상기 제 1 측정부 및 제 2 측정부를 이용하여 상부 프레임 및 하부 프레임과 측정부 사이의 거리를 측정하는 단계는, 앞에서 설명한 바와 같이, 레이저 등을 이용하여 측정하는 것이 가능할 것이다.
또한, 상기 제어부에서 측정된 값을 비교하는 단계는, 제어부에 저장되어 설정된 측정값의 차이에 대한 범위 안에 두 측정값의 차이가 속하는지를 판단하고, 만약 두 측정값의 차이가 설정된 범위를 벗어날 경우 상기 카세트를 더미 포트로 이재하도록 판단한다.
이와 같이, 카세트를 더미 포트로 이재하도록 결정되면, 상기 제어부는 이재 수단등을 구동하여서 상기 포트 상의 카세트를 더미 포트로 이재시키고, 이후에 상기 카세트에 대한 리페어 등을 수행하게 된다.
이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 카세트 로딩 방법은, 하부 프레임 뿐만 아니라 상부 프레임에 대한 측정도 동시에 실시하여서, 카세트의 안착 상태가 불량한 경우 뿐만 아니라, 카세트의 프레임 자체가 변형된 경우를 감지하여 불량을 예방할 수 있는 효과를 가진다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 카세트 로딩 방법은,
포트 상에 카세트를 로딩시키는 단계와, 상기 카세트의 상부 프레임과 제 1 측정부 사이의 거리를 측정하는 단계와, 상기 카세트의 하부 프레임과 제 2 측정부 사이의 거리를 측정하는 단계와, 상기 제 1 측정부 또는 제 2 측정부의 측정값을 제어부에서 설정된 값과 비교하는 단계와, 상기 측정값 가운데 어느 하나의 값이 설정된 값과 다를 경우 상기 카세트의 안착 상태를 보정하는 단계와, 상기 상부 프레임 및 제 1 프레임 사이의 거리와 하부 프레임 및 제 2 프레임 사이의 거리를 재측정하는 단계와, 재측정된 측정값의 차이가 설정된 기준보다 큰 경우 상기 카세트를 더미 포트로 이재하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
이와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 카세트 로딩 방법은,
상기 제 1 측정부 또는 제 2 측정부의 측정값을 제어부에서 설정된 값과 비교하는 단계와, 상기 측정값 가운데 어느 하나의 값이 설정된 값과 다를 경우 상기 카세트의 안착 상태를 보정하는 단계를 더 포함하고 있어서,
카세트의 안착 상태가 비정상적으로 로딩된 경우에 발생되는 불량을 방지할 수 있는 효과를 제공한다.
한편, 이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
도1은 종래의 카세트 로딩 장치를 설명하기 위한 사시도.
도2는 상부 프레임과 하부 프레임의 정렬 상태가 틀어진 카세트의 정면도.
도3a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 카세트 로딩 장치의 사시도.
도3b 내지 도3d는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 카세트 로딩 장치의 사시도.
도4는 측정부의 일례를 도시한 도면.
도5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 카세트 로딩 장치의 사시도.
도6은 보정 수단의 일례를 도시한 도면.

Claims (8)

  1. 기판 수납용 카세트가 안착되는 포트;
    상기 카세트 내부로 기판을 이재할 수 있는 이재 로봇;
    상기 카세트의 상부 프레임의 정렬 상태를 측정하는 제 1 측정부;
    상기 포트에 구비되어 상기 카세트의 하부 프레임의 정렬 상태를 측정하는 제 2 측정부; 및
    상기 제 1 측정부 및 제 2 측정부에서 측정된 값을 처리 및 이재 로봇을 제어하는 제어부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 로딩 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 측정부 및 제 2 측정부 각각은, 하나의 측정 유닛으로 구성되고, 각 측정 유닛은 카세트의 양 측면 가운데 동일 측면에 배치되는 것을 특징으로 하는 카세트 로딩 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 측정부 및 제 2 측정부 각각은, 한 쌍의 측정 유닛으로 구성되고, 상기 한 쌍의 측정 유닛 각각은 카세트의 양 측면에 하나씩 배치되는 것을 특징으로 하는 카세트 로딩 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 측정부 및 제 2 측정부 각각은, 상부 프레임 및 하부 프레임의 네 모서리에 대응되도록 두 쌍의 측정 유닛으로 구비되는 것을 특징으로 하는 카세트 로딩 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 포트에 안착된 카세트가 재이재될 수 있는 더미 포트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 로딩 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 포트에 안착된 카세트의 안착 상태를 보정할 수 있는 보정 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 로딩 장치.
  7. 포트 상에 카세트를 로딩시키는 단계;
    상기 카세트의 상부 프레임과 제 1 측정부 사이의 거리를 측정하는 단계;
    상기 카세트의 하부 프레임과 제 2 측정부 사이의 거리를 측정하는 단계;
    상기 제 1 측정부 및 제 2 측정부의 측정값을 제어부에서 비교하는 단계; 및
    상기 두 측정값의 차이가 설정된 범위보다 큰 경우 상기 카세트를 더미 포트로 이재하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 로딩 방법.
  8. 포트 상에 카세트를 로딩시키는 단계;
    상기 카세트의 상부 프레임과 제 1 측정부 사이의 거리를 측정하는 단계;
    상기 카세트의 하부 프레임과 제 2 측정부 사이의 거리를 측정하는 단계;
    상기 제 1 측정부 또는 제 2 측정부의 측정값을 제어부에서 설정된 값과 비교하는 단계;
    상기 측정값 가운데 어느 하나의 값이 설정된 값과 다를 경우 상기 카세트의 안착 상태를 보정하는 단계;
    상기 상부 프레임 및 제 1 프레임 사이의 거리와 하부 프레임 및 제 2 프레임 사이의 거리를 재측정하는 단계; 및
    상기 재측정된 측정값의 차이가 설정된 기준보다 큰 경우 상기 카세트를 더미 포트로 이재하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 로딩 방법.
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