KR20060039134A

KR20060039134A - 웨이퍼 카세트 어라인 장치

Info

Publication number: KR20060039134A
Application number: KR1020040088198A
Authority: KR
Inventors: 최교형
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2004-11-02
Filing date: 2004-11-02
Publication date: 2006-05-08

Abstract

웨이퍼 카세트가 카세트 지지대에 놓여질 때 웨이퍼의 밀림현상을 방지할 수 있는 카세트 지지대를 포함한 웨이퍼 카세트 어라인 장치를 개시한다. 본 발명에 의한 웨이퍼가 장착된 웨이퍼 카세트가 로딩되는 웨이퍼 카세트 어라인 장치는 상기 웨이퍼 카세트가 놓여지는 카세트 지지대와, 상기 카세트 지지대 하부를 받치는 받침대와, 상기 받침대의 웨이퍼 카세트에 웨이퍼가 삽입되는 방향에 설치되어, 카세트 지지대의 웨이퍼 카세트에 웨이퍼가 삽입되는 방향이 들려 카세트 지지대가 기울어지도록 하는 리프트 수단과, 상기 카세트 지지대 위에 상기 웨이퍼 카세트가 놓여지는 것을 감지하는 센서를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다. 따라서 카세트 지지대에 웨이퍼 카세트를 놓는 과정에서 발생하는 웨이퍼의 밀림 현상에 의한 웨이퍼 맵핑 에러와 웨이퍼 손상을 방지할 수 있고, 따라서 공정사고 및 설비에러를 미연에 방지할 수 있다.

웨이퍼 카세트, 웨이퍼, 카세트 지지대

Description

웨이퍼 카세트 어라인 장치 {Wafer cassette align apparatus}

도 1은 종래 기술에 의한 카세트 지지대와 웨이퍼 매핑 시스템의 사시도

도 2는 종래 카세트 지지대에 웨이퍼 카세트가 놓여진 상태를 나타낸 도면으로, 웨이퍼가 웨이퍼 카세트 밖으로 밀려나온 형상을 나타낸 도면

도 3은 본 발명에 의한 웨이퍼 카세트 어라인 장치와 그에 놓여진 웨이퍼 카세트를 나타낸 도면

도 4는 본 발명에 의한 피스톤이 설치된 받침대와 받침대 상부에 설치된 카세트 지지대의 단면도

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

301 : 웨이퍼 카세트 302 : 웨이퍼

304 : 지지대 305 : 발광소자

306 : 수광소자 307 : 센서

308 : 받침대 309 : 피스톤

본 발명은 웨이퍼 카세트 어라인 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게 설명하면 웨이퍼 카세트가 카세트 지지대에 놓여질 때 웨이퍼의 밀림현상을 방지할 수 있는 카세트 지지대를 포함한 웨이퍼 카세트 어라인 장치에 관한 것이다.

반도체 소자는 수많은 공정을 거쳐 제조된다. 실리콘 결정인 잉곳(Ingot)을 슬라이스(Slice)하여 웨이퍼를 만들고, 이 웨이퍼에 확산, 사진, 식각 및 박막 공정을 수회 되풀이함으로써, 웨이퍼 표면에 칩을 생성하게 된다. 이러한 공정을 진행하기 위해서 각 설비를 이동하는 웨이퍼는 웨이퍼 카세트에 장착되어 이동된다. 웨이퍼 카세트는 통상 25개의 슬롯으로 구성되어 각 슬롯에 웨이퍼를 이송한다.

설비의 카세트 지지대 위에 웨이퍼 카세트가 놓여지면 웨이퍼 카세트의 각 슬롯에 웨이퍼가 장착되었는지 검사하게 되는데, 이를 웨이퍼 매핑(Wafer Mapping)이라고 한다. 이렇게 웨이퍼 매핑을 거쳐 존재가 확인된 웨이퍼는 셔틀(Shuttle)에 의해 웨이퍼 카세트에서 언로딩 되어 설비 내로 로딩된 후 작업이 진행된다.

도 1은 종래 기술에 의한 카세트 지지대와 웨이퍼 매핑 시스템의 사시도 이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 웨이퍼 매핑 시스템의 발광소자(105)와 수광소자(106)는 웨이퍼 카세트(101)의 중앙에 위치하며 웨이퍼 카세트(101)를 사이에 두고 배치된다. 웨이퍼 카세트(101)는 보통 25개의 슬롯이 구비되어 있어 웨이퍼 카세트 1개는 통상 25매의 웨이퍼(102)를 장착한다. 이러한 웨이퍼 카세트(101) 는 설비의 카세트 지지대(104)에 놓여지게 되고, 카세트 지지대(104) 위에 놓여진 웨이퍼 카세트의 슬롯을 발광소자(105)와 수광소자(106)가 상하로 움직이며 각 슬롯에 웨이퍼가 장착되었는지 여부를 스캐닝 한다.

발광소자(105)의 빛은 레이저와 같이 집광성이 좋은 빛을 조사한다. 조사되는 빛의 선폭은 웨이퍼(102)의 두께보다 작다. 따라서 웨이퍼 카세트(101)에 웨이퍼가 장착된 슬롯을 통과할 때는 반대편 수광소자(106)에서 빛이 검출되지 아니하고, 웨이퍼 카세트(101)의 슬롯에 웨이퍼(102)가 장착되지 아니한 경우에는 수광소자(106)에서 빛이 검출된다. 이렇게 한쌍의 발광소자(105)와 수광소자(106)가 상하로 움직이며 웨이퍼 카세트(101)의 슬롯들을 스캐닝하여 각 슬롯에 웨이퍼(102)가 장착되었는지의 여부를 감지한 후, 셔틀(Shuttle, 도시 안됨)이 웨이퍼(102)가 장착된 슬롯으로 이동하여, 웨이퍼(102)를 웨이퍼 카세트(101)로부터 언로딩한 후, 설비에 웨이퍼를 로딩한다.

그런데 카세트 지지대에 웨이퍼를 장착한 웨이퍼 카세트를 놓을 때 주의하지 않게 되면 웨이퍼가 웨이퍼 카세트 밖으로 밀려나오는 현상이 발생한다.

도 2는 종래 카세트 지지대에 웨이퍼 카세트가 놓여진 상태를 나타낸 도면으로, 웨이퍼 카세트 밖으로 웨이퍼가 밀려나온 형상을 나타낸 도면이다.

도 2에 도시된 바와 같이, 카세트 지지대(104)가 수평이므로 카세트 지지대에 웨이퍼 카세트(101)를 놓을 때에 주의하지 않으면 웨이퍼 카세트 내부의 웨이퍼(102)가 웨이퍼가 삽입되는 개구부를 통하여 밖으로 밀려나오게 된다.

그러면 웨이퍼 매핑 시스템의 발광소자(105)와 수광소자(106)가 상하로 움직 이며 각 슬롯에 웨이퍼가 장착되었는지 여부를 스캐닝 하는 과정에서 웨이퍼 맵핑 에러(Mapping error)가 발생하거나, 밀려나온 웨이퍼와 웨이퍼 매핑 시스템이 부딪혀서 웨이퍼(102)에 파손이 발생하는 문제가 있었다.

따라서, 본 발명의 목적은 상기한 종래의 문제점을 해결할 수 있는 반도체 제조 장비를 제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은 웨이퍼 카세트의 웨이퍼가 밀려나오지 않도록 하는 웨이퍼 카세트 어라인 장치를 제공하는데 있다.

상기한 목적들을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시 예적 양상(aspect)에 따른 웨이퍼가 장착된 웨이퍼 카세트가 로딩되는 웨이퍼 카세트 어라인 장치는, 상기 웨이퍼 카세트가 놓여지는 카세트 지지대와, 상기 카세트 지지대 하부를 받치는 받침대와, 상기 받침대의 웨이퍼 카세트에 웨이퍼가 삽입되는 방향에 설치되어, 카세트 지지대의 웨이퍼 카세트에 웨이퍼가 삽입되는 방향이 들려 카세트 지지대가 기울어지도록 하는 리프트 수단과, 상기 카세트 지지대 위에 상기 웨이퍼 카세트가 놓여지는 것을 감지하는 센서를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.

이하 첨부한 도면들을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예가 상세히 설명될 것이다. 실시예에서의 설명들은 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가지 는 자에게 본 발명의 보다 철저한 이해를 돕기 위한 의도 이외에는 다른 의도 없이 예를 들어 도시되고 한정된 것에 불과하므로, 그러한 설명들이 본 발명의 범위를 제한하는 용도로 사용되어서는 아니 됨은 명백하다.

이하, 도면을 중심으로 본 발명을 상세히 설명한다.

도 3은 본 발명에 의한 웨이퍼 카세트 어라인 장치와 그에 놓여진 웨이퍼 카세트를 나타낸 도면이다.

웨이퍼 카세트(301)는 웨이퍼가 삽입되는 방향과 반대 방향에는 웨이퍼의 크기보다 작게 개구부가 형성되어 있어 웨이퍼가 밀려나오지 않는다.

도 3에 도시된 바와 같이, 카세트 지지대 아래에 카세트 지지대를 받치는 받침대(308)가 위치한다. 상기 받침대(308) 위의 카세트 지지대(304)가 웨이퍼가 삽입되는 방향이 들려서 10°에서 15°정도 한쪽으로 기울어지도록, 카세트 지지대와 받침대 사이의 웨이퍼가 삽입되는 방향으로 받침대에 적어도 하나의 피스톤(309)을 설치한다. 상기 피스톤(309)은 일실시예에 해당하고, 상기 피스톤 대신에 카세트 지지대(304)를 일정정도 들어올릴 수 있는 모든 리프트 수단이 가능하다.

그리하여 웨이퍼 카세트(301)가 한쪽 방향으로 기울어진 카세트 지지대(304)위에 올려지게 되면 카세트 내부의 웨이퍼는 밖으로 밀리지 않고 일정한 정렬상태를 이룬다. 그리고 카세트 지지대에 설치된 센서(307)가 웨이퍼 카세트가 카세트 지지대 위에 놓여진 것을 감지한 후, 피스톤(309)이 수축하여 카세트 지지대가 수평으로 된다.

도 4는 피스톤이 설치된 받침대와 받침대 상부에 설치된 카세트 지지대의 단 면도이다.

즉 웨이퍼 카세트(301)가 한쪽 방향이 기울어진 카세트 지지대(304)에 놓여지고 웨이퍼 카세트(301)안의 웨이퍼(302)가 일정한 정렬 상태를 이룬다. 센서(307)가 웨이퍼 카세트(301)가 카세트 지지대(304) 위에 놓여진 것을 감지하면 카세트 지지대를 한쪽 방향으로 기울어지게 하던 피스톤(309)이 수축하여 카세트 지지대(304)가 수평이 된다. 여기서 웨이퍼 카세트 안에 장착된 웨이퍼는 일정한 정렬상태를 이루고 있어 밖으로 밀려나오지 않게 되고, 웨이퍼 매핑 시스템의 발광소자(305)와 수광소자(306)가 상하로 움직이며 각 슬롯에 웨이퍼가 장착되었는지 여부를 스캐닝 하는 과정에서 웨이퍼 맵핑 에러(Mapping error)가 발생하지 않게 되고, 밀려나온 웨이퍼와 부딪혀서 웨이퍼(302)에 파손이 발생하는 문제가 발생하지 않게 된다.

그리하여 카세트 지지대(304) 위에 놓여진 웨이퍼 카세트의 슬롯을 발광소자(305)와 수광소자(306)가 상하로 움직이며 각 슬롯에 웨이퍼가 장착되었는지 여부를 스캐닝 한다. 발광소자(305)와 수광소자(306)가 상하로 움직이며 웨이퍼 카세트(301)의 슬롯들을 스캐닝하여 각 슬롯에 웨이퍼(302)가 장착되었는지의 여부를 감지한 후, 셔틀(Shuttle, 도시 안됨)이 웨이퍼(302)가 장착된 슬롯으로 이동하여, 웨이퍼(302)를 웨이퍼 카세트(301)로부터 언로딩한 후, 설비에 웨이퍼를 로딩한다.

한편, 본 명세서와 도면에 개시된 발명의 실시예들은 이해를 돕기 위해 특정 예를 예시한 것에 지나지 않으며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것이 아니다. 여기에 개시된 실시예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변화예 들이 실시 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 자에게는 자명한 사실이라 할 것이다.

상술한 바와 같이, 본 발명은 카세트 지지대에 웨이퍼 카세트를 놓는 과정에서 발생하는 웨이퍼의 밀림 현상에 의한 웨이퍼 맵핑 에러와 웨이퍼 손상을 방지할 수 있고, 따라서 공정사고 및 설비에러를 미연에 방지할 수 있다.

Claims

웨이퍼가 장착된 웨이퍼 카세트가 로딩되는 웨이퍼 카세트 어라인 장치에 있어서:

상기 웨이퍼 카세트가 놓여지는 카세트 지지대와;

상기 카세트 지지대 하부를 받치는 받침대와;

상기 받침대의 웨이퍼 카세트에 웨이퍼가 삽입되는 방향에 설치되어, 카세트 지지대의 웨이퍼 카세트에 웨이퍼가 삽입되는 방향이 들려 카세트 지지대가 기울어지도록 하는 리프트 수단과;

상기 카세트 지지대 위에 상기 웨이퍼 카세트가 놓여지는 것을 감지하는 센서를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 어라인 장치.
제1항에 있어서,

상기 카세트 지지대가 10°에서 15°정도 기울어지도록 상기 리프트 수단이 설치됨을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 어라인 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 리프트 수단은 피스톤임을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 어라인 장치.