KR102034551B1 - Electro Static Chuck including LED that arranges the object - Google Patents
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Abstract
발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척이 개시된다.
개시되는 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척은 대상체가 얹혀지는 척 몸체; 상기 척 몸체에 삽입되어 상기 대상체를 향해 빛을 조사하는 발광 부재; 및 상기 척 몸체의 상단부에 삽입되고, 상기 발광 부재에서 발광되는 상기 빛을 투영시키는 투영체;를 포함하고, 상기 척 몸체에 상기 투영체가 삽입된 상태에서 상기 척 몸체와 상기 투영체의 상면이 함께 표면 가공되어 형성된 것을 특징으로 한다.
개시되는 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척에 의하면, 정전척 상면이 평탄도를 위한 표면 가공 전, 정전척 상면 일부분에 투영체가 삽입되고 정전척 상면과 투영체가 함께 표면 가공됨으로써, 정전척 상면의 표면 평탄도를 더욱 높일 수 있고, 종래와 대비 쉽게 파손되지 않는 투영체를 제공하는 장점이 있다.Disclosed is an object alignment electrostatic chuck using a light emitting member.
The object aligning electrostatic chuck using the light-emitting member disclosed may include a chuck body on which the object is placed; A light emitting member inserted into the chuck body to irradiate light toward the object; And a projection body inserted into an upper end of the chuck body and projecting the light emitted from the light emitting member, wherein the chuck body and the upper surface of the projection body are together with the projection body inserted into the chuck body. It is characterized in that the surface is formed by processing.
According to the object-aligned electrostatic chuck using the light-emitting member disclosed, the surface of the upper surface of the electrostatic chuck is formed by inserting a projection into the portion of the upper surface of the electrostatic chuck and processing the surface together with the surface of the electrostatic chuck before the surface of the electrostatic chuck is processed for flatness. The flatness can be further increased, and there is an advantage of providing a projection that is not easily broken as compared with the prior art.
Description
본 발명은 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척에 관한 것이다.The present invention relates to an object alignment electrostatic chuck using a light emitting member.
정전척(ESC, Electro Static Chuck)이란, 정전기력(Electrostatic force)을 이용하여 디스플레이 패널, 웨이퍼와 같은 대상체를 고정하는 장치로, 예를 들어 디스플레이 패널의 레이어(Layer) 합착 공정이나 다른 자재의 합착 공정에 사용된다.Electrostatic chuck (ESC) is a device that fixes an object such as a display panel or a wafer by using an electrostatic force, for example, a layer bonding process of a display panel or a bonding process of another material. Used for
합착 공정에 있어서, 챔버 내에 정전척이 상, 하로 각각 구비되고 각각의 정전척에 디스플레이 패널, 웨이퍼, 부착 필름과 같은 대상체가 미리 얼라인(정렬)된 상태에서 정전력에 의해 흡착되어 있고, 정전척의 상하 이동(Shift move)에 의해 각각의 대상체가 서로 합착되는 것이다.In the bonding process, electrostatic chucks are provided up and down in the chamber, respectively, and objects such as a display panel, a wafer, and an attachment film are adsorbed by electrostatic power in a state in which the electrostatic chucks are aligned in advance. Each object is attached to each other by the vertical movement of the chuck.
여기서, 정전척 상단에 대상체를 얼라인시키는 방법은, 대상체가 정전척의 상단 공간에 배치되었을 때 정전척 상단부의 복수 개의 발광 소자에 의한 광이 대상체의 위치를 확인하고 미리 지정된 초점(위치)에 맞게 정전척의 척 베이스를 X/Y/theta 방향으로 조정하여 정전척 상단에 대상체가 얼라인되는 것이다.Here, the method of aligning the object on the top of the electrostatic chuck, when the object is disposed in the top space of the electrostatic chuck, light by a plurality of light emitting elements of the top of the electrostatic chuck to check the position of the object and to match a predetermined focus (position) The object is aligned on the top of the electrostatic chuck by adjusting the chuck base of the electrostatic chuck in the X / Y / theta direction.
이러한 정전척의 예로 제시될 수 있는 것이 아래에 제시된 특허문헌의 그 것들이다. Examples of such electrostatic chucks are those of the patent document set forth below.
종래의 정전척을 포함한 아래의 특허문헌을 살펴보면, 대상체가 얹혀지는 정전척의 상면이 평탄도를 위해 평평하게 가공되어져 있는데, 이러한 가공된 정전척의 상단부에는 이미 위에서 설명한 발광 소자가 복수 개 삽입되어 있고, 발광 소자의 발광된 빛이 정전척 상측 공간의 대상체에 비춰지도록 정전척의 상단부에 상기 빛이 투과될 수 있는 투영창을 별도로 형성된다. 즉, 이러한 투영창이 종래에는 정전척의 상면이 평탄도를 위해 평평하게 가공된 후, 미리 정해진 정전척 상면의 위치에 삽입되었다.Looking at the following patent documents, including the conventional electrostatic chuck, the upper surface of the electrostatic chuck on which the object is placed is processed for flatness, the upper end of the processed electrostatic chuck is already inserted a plurality of light emitting elements described above, A projection window through which the light can be transmitted is separately formed at an upper end of the electrostatic chuck so that the emitted light of the light emitting element is reflected on the object in the upper space of the electrostatic chuck. That is, such a projection window is conventionally processed at the position of the predetermined electrostatic chuck upper surface after the upper surface of the electrostatic chuck is processed flat for flatness.
위와 같이, 정전척의 상면이 표면 가공되어도 가공 후 삽입된 투영창이 돌출되어 평탄도를 떨어뜨리는 경우가 있었으며 특히, 투영창의 삽입시 투영창이 쉽게 깨지는 단점이 있었다.As described above, even when the upper surface of the electrostatic chuck is surface processed, the inserted projected window may protrude after processing, thereby decreasing flatness. In particular, the projected window is easily broken when the projection window is inserted.
또한, 이러한 투영창이 정전척에 단순히 삽입되어있어 정전척의 회전시 또는 임의로 쉽게 빠지는 경우가 발생하였다.In addition, such a projection window is simply inserted into the electrostatic chuck, which sometimes occurs when the electrostatic chuck rotates or is easily detached.
본 발명은 정전척 상면이 평탄도를 위한 표면 가공 전, 정전척 상면 일부분에 투영체가 삽입되고 정전척 상면과 투영체가 함께 표면 가공됨으로써, 정전척 상면의 표면 평탄도를 더욱 높일 수 있고, 종래와 대비 쉽게 파손되지 않는 투영체를 제공하는 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.According to the present invention, the surface of the electrostatic chuck upper surface can be further improved by inserting a projection into the portion of the upper surface of the electrostatic chuck and processing the surface together with the surface of the electrostatic chuck before machining the surface for the flatness. An object of the present invention is to provide an object-aligned electrostatic chuck using a light emitting member that provides a projection that is not easily broken.
본 발명의 일 측면에 따른 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척은 대상체가 얹혀지는 척 몸체; 상기 척 몸체에 삽입되어 상기 대상체를 향해 빛을 조사하는 발광 부재; 상기 척 몸체의 상단부에 삽입되고, 상기 발광 부재에서 발광되는 상기 빛을 투영시키는 투영체; 및 상기 척 몸체의 일측에 배치되어 상기 척 몸체와 상기 투영체의 상면이 함께 표면 가공되어 형성된 상태에서 상기 척 몸체 상단 표면의 평탄도를 측정하는 평탄도 측정 부재;를 포함하고, 상기 척 몸체에 상기 투영체가 삽입된 상태에서 상기 척 몸체와 상기 투영체의 상면이 함께 표면 가공되어 형성된 것을 특징으로 한다.An object alignment electrostatic chuck using a light emitting member according to an aspect of the present invention includes a chuck body on which an object is placed; A light emitting member inserted into the chuck body to irradiate light toward the object; A projecting body inserted into an upper end of the chuck body and projecting the light emitted from the light emitting member; And a flatness measuring member disposed on one side of the chuck body and measuring the flatness of the upper surface of the chuck body in a state where the upper surface of the chuck body and the projection surface are formed together. Characterized in that the surface of the chuck body and the projection is surface-processed together with the projection is inserted.
본 발명의 일 측면에 따른 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척에 의하면, 대상체가 얹혀지는 척 몸체; 상기 척 몸체에 삽입되어 상기 대상체를 향해 빛을 조사하는 발광 부재; 및 상기 척 몸체의 상단부에 삽입되고, 상기 발광 부재에서 발광되는 상기 빛을 투영시키는 투영체;를 포함하고, 상기 척 몸체에 상기 투영체가 삽입된 상태에서 상기 척 몸체와 상기 투영체의 상면이 함께 표면 가공되는 것으로써, 정전척 상면이 평탄도를 위한 표면 가공 전, 정전척 상면 일부분에 투영체가 삽입되고 정전척 상면과 투영체가 함께 표면 가공되어 형성됨으로써, 정전척 상면의 표면 평탄도를 더욱 높일 수 있고, 종래와 대비 쉽게 파손되지 않는 투영체를 제공하는 효과가 있다.According to an object alignment electrostatic chuck using a light emitting member according to an aspect of the present invention, a chuck body on which an object is placed; A light emitting member inserted into the chuck body to irradiate light toward the object; And a projection body inserted into an upper end of the chuck body and projecting the light emitted from the light emitting member, wherein the chuck body and the upper surface of the projection body are together with the projection body inserted into the chuck body. The surface is processed, the surface of the electrostatic chuck is formed by inserting the projection into the portion of the upper surface of the electrostatic chuck and processing the surface together with the surface of the electrostatic chuck before the surface is processed for flatness. It can be, and there is an effect of providing a projection that is not easily broken compared to the conventional.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 투영체가 척 몸체에 삽입되기 전의 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척의 구조를 개략적으로 나타낸 도면.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 투영체가 척 몸체에 점차 삽입되는 모습을 보이는 도면.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 투영체가 척 몸체에 삽입된 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척의 구조를 개략적으로 나타낸 도면.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 상단 표면이 가공된 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척의 구조를 개략적으로 나타낸 도면.
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 척 몸체를 위에서 내려다본 도면.
도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 상기 척 몸체에 대상체가 얼라인된 모습을 위에서 내려다본 도면.
도 7은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 대상체가 합착체와 합착되기 전의 모습을 개략적으로 나타낸 도면.
도 8은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 대상체가 합착체와 합착된 모습을 개략적으로 나타낸 도면.
도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 상단 표면이 가공된 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척의 구조를 개략적으로 나타낸 도면.
도 10은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 일측 균형 부재 및 타측 균형 부재가 작동된 모습을 나타낸 도면.
도 11은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 투영체가 척 몸체에 삽입되기 전의 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척의 구조를 개략적으로 나타낸 도면.
도 12는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 도 11의 A에 대한 확대도.
도 13은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 투영체가 척 몸체에 삽입된 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척의 구조를 개략적으로 나타낸 도면.
도 14는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 도 13의 B에 대한 확대도.
도 15는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 투영체가 척 몸체에 삽입된 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척의 구조를 개략적으로 나타낸 도면.
도 16은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 상단 표면이 가공된 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척의 구조를 개략적으로 나타낸 도면.
도 17은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 평탄도 측정 부재가 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척의 상단 표면의 평탄도를 측정하는 모습을 보이는 도면.
도 18은 본 발명의 제 5 실시예에 따른 일측 기울기 감지 부재 및 타측 기울기 감지 부재를 포함하는 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척을 정면에서 바라본 도면.
도 19는 본 발명의 제 5 실시예에 따른 일측 기울기 감지 부재가 일측 기울기 센서를 감지하고 타측 기울기 감지 부재가 타측 기울기 센서를 감지하여 척 몸체의 기울어진 정도를 측정하는 것을 나타낸 도면.
도 20은 본 발명의 제 5 실시예에 따른 기울어진 척 몸체의 기울어진 정도를 일측 기울기 감지 부재 및 타측 기울기 감지 부재가 측정하는 것을 나타낸 도면.1 is a view schematically showing the structure of an object aligning electrostatic chuck using a light emitting member before the projection body is inserted into the chuck body according to the first embodiment of the present invention.
2 is a view showing a state in which the projection body is gradually inserted into the chuck body according to the first embodiment of the present invention.
3 is a view schematically illustrating the structure of an object aligning electrostatic chuck using a light emitting member having a projection body inserted into a chuck body according to a first embodiment of the present invention;
4 is a view schematically showing the structure of an object aligning electrostatic chuck using a light emitting member having a top surface processed according to a first embodiment of the present invention;
5 is a view from above of the chuck body according to the first embodiment of the invention;
6 is a view from above of an object aligned to the chuck body according to the first embodiment of the present invention;
7 is a view schematically showing the state before the object is bonded with the cemented body according to the first embodiment of the present invention.
8 is a view schematically showing a state in which the object is bonded to the cemented body according to the first embodiment of the present invention.
9 is a view schematically showing the structure of an object alignment electrostatic chuck using a light emitting member having a top surface processed according to a second embodiment of the present invention.
10 is a view showing a state in which one balance member and the other balance member is operated according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 11 schematically illustrates the structure of an object aligning electrostatic chuck using a light emitting member before the projection body is inserted into the chuck body according to the third embodiment of the present invention. FIG.
12 is an enlarged view of FIG. 11A according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 13 schematically illustrates a structure of an object aligning electrostatic chuck using a light emitting member having a projection body inserted into a chuck body according to a third embodiment of the present invention; FIG.
14 is an enlarged view of FIG. 13B according to the third embodiment of the present invention.
FIG. 15 schematically illustrates the structure of an object aligning electrostatic chuck using a light emitting member having a projection body inserted into a chuck body according to a fourth embodiment of the present invention; FIG.
FIG. 16 schematically illustrates a structure of an object alignment electrostatic chuck using a light emitting member having a top surface processed according to a fourth embodiment of the present invention; FIG.
17 is a view showing the flatness measurement member according to the fourth embodiment of the present invention to measure the flatness of the top surface of the object alignment electrostatic chuck using the light emitting member.
18 is a front view of an object aligning electrostatic chuck using a light emitting member including one tilt detection member and the other tilt detection member according to a fifth embodiment of the present invention;
19 is a view showing that one tilt detection member detects one tilt sensor and the other tilt detection member detects the other tilt sensor according to the fifth embodiment of the present invention to measure the degree of inclination of the chuck body.
20 is a view showing that one inclination sensing member and the other inclination sensing member measure the inclination of the inclined chuck body according to the fifth embodiment of the present invention.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척에 대하여 설명한다.Hereinafter, an object alignment electrostatic chuck using a light emitting member according to embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 투영체가 척 몸체에 삽입되기 전의 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 투영체가 척 몸체에 점차 삽입되는 모습을 보이는 도면이고, 도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 투영체가 척 몸체에 삽입된 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 상단 표면이 가공된 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 척 몸체를 위에서 내려다본 도면이고, 도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 상기 척 몸체에 대상체가 얼라인된 모습을 위에서 내려다본 도면이고, 도 7은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 대상체가 합착체와 합착되기 전의 모습을 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 8은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 대상체가 합착체와 합착된 모습을 개략적으로 나타낸 도면이다.1 is a view schematically showing a structure of an object aligning electrostatic chuck using a light emitting member before the projection body is inserted into the chuck body according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a view showing the projection body according to the first embodiment of the present invention. Figure 3 is a view showing a gradually inserted into the chuck body, Figure 3 is a schematic diagram showing the structure of the object alignment electrostatic chuck using a light emitting member is inserted into the chuck body according to the first embodiment of the present invention, Figure 4 FIG. 5 is a view schematically illustrating a structure of an object alignment electrostatic chuck using a processed light emitting member according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a top view of the chuck body according to the first embodiment of the present invention. 6 is a view showing an object aligned on the chuck body according to the first embodiment of the present invention from above, and FIG. 7 is a view showing the first embodiment of the present invention. FIG. 8 is a view schematically showing a state before an object is coalesced with a coalescer, and FIG. 8 is a view schematically showing a state in which the object is coalesced with the coalescence body according to the first embodiment of the present invention.
도 1 내지 도 8을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척(100)은 척 몸체(110)와, 발광 부재(120)와, 투영체(130)를 포함한다.1 to 8, the object aligning
도면번호 10은 상기 척 몸체(110)의 상면에 얹혀져 공정이 진행되는 웨이퍼와 같은 대상체이다.
상기 척 몸체(110)는 그 상면(112)에 상기 대상체(10)가 얹혀지는 것으로, 바람직하게는 상기 대상체(10)보다 넓게 형성되어 상기 대상체(10)를 안전하게 받쳐준다.The
이러한 상기 척 몸체(110)에는 도 1에 도시된 바와 같이, 후술 설명될 상기 투영체(130)가 상기 척 몸체(110)의 상부에 삽입되도록 형성된 투영용 홈(111)과, 상기 투영체(130)가 상기 투영용 홈(111)에 삽입되어 상기 발광 부재(120)에 닿지 않도록 걸려 얹혀지는 얹힘 턱(114)과, 후술 설명될 상기 발광 부재(120)가 내장될 수 있는 발광용 홈(113)이 형성되어 있다.As illustrated in FIG. 1, the
상기 발광 부재(120)는 상기 척 몸체(110)의 상기 발광용 홈(113)에 삽입되어 상기 척 몸체(110)에 얹혀질 상기 대상체(10)를 향해 빛을 조사하여 상기 대상체(10)를 상기 척 몸체(110)의 상기 상면(112)에 비접촉 방식으로 정렬시키는 것이다.The
이러한 상기 발광 부재(120)는 상기 척 몸체(110)에 복수 개 삽입된 채 형성될 수 있다.The
상기 투영체(130)는 상기 척 몸체(110)의 상단부인 상기 투영용 홈(111)에 삽입되고, 상기 발광 부재(120)에서 발광되는 상기 빛을 투영시키는 것으로, 열팽창 계수가 낮고 빛의 투과율이 우수한 석영 또는 강도 및 변형율이 우수한 수지재 둘 중 하나 이상의 재질로 형성된다.The
바람직하게는 상기 투영체(130)는 상기 석영을 베이스로, 상기 수지재가 혼합되어 형성된다. 종래에는 상기 투영체(130)가 상기 석영 또는 유리로만 형성되었으나, 강도가 약하여 상기 척 몸체(110)에 결합시 잘 깨지는 문제점이 있었다. 그러나 상기와 같이 상기 석영에 상대적으로 강도가 높은 상기 수지재가 혼합되면, 상기 척 몸체(110)에 상기 투영체(130)를 삽입시 상기 투영체(130)가 잘 깨지지 않는 효과가 있다.Preferably, the
이러한 상기 투영체(130)가 상기 척 몸체(110)에 삽입될 때, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 투영용 홈(111)의 내측 공간에 상기 투영체(130)가 점차 진입하다가, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 얹힘 턱(114)의 상단에 상기 투영체(130)가 얹히게 된다. 그러면, 상기 발광용 홈(113)에 상기 투영체(130)가 도달하지 않고 걸려 상기 발광 부재(120)의 파손을 방지할 수 있다.When the
상기와 같이 형성된 상기 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척(100)은 상기 척 몸체(110)에 상기 투영체(130)가 삽입된 상태에서 상기 척 몸체(110)와 상기 투영체(130)의 상면(112, 131)이 함께 표면 가공되어 형성된다.The object alignment
종래에는 상기 척 몸체(110)에 상기 투영체(130)가 삽입되기 전, 상기 척 몸체(110)의 상기 상면(112)의 평탄도를 위해 표면 가공되어 있었다. 그런 다음 상기 투영체(130)가 상기 투영용 홈(111)에 삽입되면, 상기 투영체(130)의 상기 상면(131)이 평평하게 가공되어 있지 않아 상기 척 몸체(110)의 상기 상면(112)에 대한 평탄도를 떨어트리는 문제가 되었다. 특히 이러한 문제점이 상기 척 몸체(110)에 상기 대상체(10)를 얹혔을 시, 평평하지 않는 상기 투영체(130)의 상기 상면(131)에 의해 상기 대상체(10)가 들리는 문제로 이어지기도 하였다.Conventionally, before the
그러나 상기와 같이, 상기 척 몸체(110)의 상기 상면(112)이 미리 표면가공 되지 않고, 상기 척 몸체(110)에 상기 투영체(130)가 삽입된 상태에서 상기 척 몸체(110)와 상기 투영체(130)의 상면(112, 131)이 함께 표면 가공되면, 상기 척 몸체(110)의 상기 상면(112)에 대한 평탄도를 떨어트리지 않을 수 있고, 이로 인해 상기 척 몸체(110)에 상기 대상체(10)가 들리지 않고 밀착되어 얹혀질 수 있는 효과가 있다.However, as described above, the
이하에서는 상기 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척(100)을 이용하여 상기 척 몸체(110) 상면에 상기 대상체(10)를 얼라인(정렬) 후 합착 공정되는 과정에 대하여 도면을 참고하여 설명한다.Hereinafter, a process of attaching the
우선, 본 실시예에서의 상기 발광 부재(120)는 상기 대상체(10)의 얼라인을 위한 위치에서 상기 척 몸체(110)의 일정 부분에 삽입되었고, 자세히, 도 5에 도시된 상기 투영체(130) 하측 공간의 상기 척 몸체(110)에 삽입되어 있음으로 가정한다.First, the
상기와 같이 형성된 상태에서 우선, 상기 척 몸체(110) 상단 공간에 상기 대상체(10)가 배치된다.In the state formed as described above, first, the
그런 다음, 복수 개의 상기 발광 부재(120)의 상기 빛이 상기 투영체(130)를 투과하면서 상기 대상체(10)를 향해 발광된다. Then, the light of the plurality of light emitting
그러면, 복수 개의 상기 각 발광 부재(120)에서 발광된 상기 빛이 상기 대상체(10)의 위치를 확인하고 미리 지정된 얼라인 위치(초점)에 맞게 상기 척 몸체(110)가 엑스/와이/델타(X/Y/theta) 방향으로 조정된다.Then, the light emitted from each of the plurality of light emitting
바람직하게는 상기 척 몸체(110)는 상기 대상체(10)가 상기 미리 지정된 얼라인 위치에 맞도록 자동으로 방향이 조정되나, 작업자가 임의로 방향을 조정할 수 있도록 형성될 수도 있음은 물론이다.Preferably, the
본 실시예에서의 상기 미리 지정된 얼라인 위치는 상기 빛이 상기 대상체(10)의 각 모서리 부분을 향해 발광될 수 있는 것이나, 상기 미리 지정된 얼라인 위치는 변경 가능함은 물론이다.In the present exemplary embodiment, the predetermined alignment position may be that light may be emitted toward each corner portion of the
그런 다음, 상기 미리 지정된 얼라인 위치에 맞게 상기 대상체(10)가 얼라인되면 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 척 몸체(110)의 상기 상면(112)에 상기 대상체(10)가 얹혀진다.Then, when the
그러면, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 대상체(10)와 합착 공정을 실시할 합착체(30)가 흡착되어 있는 상단 정전척(20)과 상기 척 몸체(110) 사이에 상기 대상체(10)가 얼라인된 상태를 유지할 수 있다.Then, as illustrated in FIG. 7, the
여기서, 상기 합착체(30)란, 상기 대상체(10)에 부착될 수 있는 부착 필름으로 제공될 수 있다.Here, the cemented
그런 다음, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 상단 정전척(20) 또는 상기 척 몸체(110) 둘중 하나 이상이 상하 이동(Shift move)되어 상기 대상체(10)와 상기 합착체(30)가 서로 합착되는 것이다.Then, as shown in FIG. 8, at least one of the upper
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척에 대하여 설명한다. 이러한 설명을 수행함에 있어서 상기된 본 발명의 일 실시예에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고 여기서는 생략하기로 한다.Hereinafter, an object alignment electrostatic chuck using a light emitting member according to another embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In carrying out this description, the description overlapping with the contents already described in the above-described embodiment of the present invention will be replaced with the description thereof.
도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 상단 표면이 가공된 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 10은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 일측 균형 부재 및 타측 균형 부재가 작동된 모습을 나타낸 도면이다.FIG. 9 is a view schematically illustrating a structure of an object aligning electrostatic chuck using a light emitting member having a top surface processed according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 10 is a side balance member and the other side according to the second embodiment of the present invention. Figure showing the operation of the balance member.
도 9 내지 도 10을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척(200)은 척 몸체(210)와, 발광 부재(220)와, 투영체(230)와, 일측 균형 부재(240)와, 타측 균형 부재(250)를 포함한다.9 to 10, the object aligning
상기 일측 균형 부재(240)와 상기 타측 균형 부재(250)는 대상체가 상기 척 몸체(210)에 수직 하강시, 상기 대상체의 균형을 판단할 수 있는 것이다.The one
자세히, 상기 일측 균형 부재(240)는 상기 척 몸체(210)의 중심을 기준으로 상기 척 몸체(210)의 일측에 내장되어 상기 척 몸체(210)의 상면(212)을 향해 하강하는 상기 대상체의 일측 저면과 상기 척 몸체(210) 사이의 거리를 측정하는 것이고, 상기 타측 균형 부재(250)는 상기 일측 균형 부재(240)와 수평인 선상에서 상기 척 몸체(210)의 중심을 기준으로 상기 척 몸체(210)의 타측에 내장되어 상기 척 몸체(210)의 상면을 향해 하강하는 상기 대상체의 타측 저면과 상기 척 몸체(210) 사이의 거리를 측정하는 것이다.In detail, the one
본 실시예에서의 일측 방향은 도 9의 상기 발광 부재(220)를 기준으로 상기 일측 균형 부재(240)가 형성된 측을 말하고, 본 실시예에서의 타측 방향은 도 9의 상기 발광 부재(220)를 기준으로 상기 타측 균형 부재(250)가 형성된 측을 말한다.In this embodiment, one direction refers to a side on which the one
상기 일측 균형 부재(240)는 상기 척 몸체(210)의 상부를 향해 직선으로 일측 레이저 광(244)을 발사하고, 상기 일측 레이저 광(244)에 상기 대상체와 같은 물체가 인식되면 그 반사되는 거리로 상기 대상체와 상기 척 몸체(210) 사이의 거리인 일측 거리 값을 출력하는 일측 거리 감지 센서(242)와, 상기 일측 거리 감지 센서(242)의 상기 일측 레이저 광(244)이 투과되는 재질로 형성되고 상기 척 몸체(210)의 상면으로부터 상기 일측 거리 감지 센서(242)를 보호하는 일측 보호창(241)과, 상기 일측 거리 감지 센서(242)에서 출력된 상기 일측 거리 값을 미리 준비된 제어 시스템(미도시)으로 전송하는 일측 통신부(243)를 포함한다.The one-
상기 제어 시스템은 상기 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척(200) 외부에 형성된 것으로, 상기 일측 균형 부재(240) 및 상기 타측 균형 부재(250)에서 전송된 값을 이용하여 상기 대상체의 균형을 판단하는 것이다.The control system is formed outside the object alignment
상기 일측 거리 감지 센서(242)는 예를 들어, 직선으로 레이저 광을 발사하고 상기 레이저 광에 인식되는 물체의 거리를 측정하는 거리 측정용 레이저 센서로 형성될 수 있다.The one
상기 일측 보호창(241)은 상기 일측 레이저 광(244)이 투과될 수 있는 레이저 유리로 제작될 수 있다.The one
상기 일측 통신부(243)는 상기 제어 시스템과 유선 또는 무선으로 통신이 가능하며, 실시간으로 측정되는 상기 일측 거리 값을 상기 제어 시스템으로 바로 전송한다.The one
상기 타측 균형 부재(250)는 상기 척 몸체(210)의 상부를 향해 직선으로 타측 레이저 광(254)을 발사하고, 상기 타측 레이저 광(254)에 상기 대상체와 같은 물체가 인식되면 그 반사되는 거리로 상기 대상체와 상기 척 몸체(210) 사이의 거리인 타측 거리 값을 출력하는 타측 거리 감지 센서(252)와, 상기 타측 거리 감지 센서(252)의 상기 타측 레이저 광(254)이 투과되는 재질로 형성되고 상기 척 몸체(210)의 상면으로부터 상기 타측 거리 감지 센서(252)를 보호하는 타측 보호창(251)과, 상기 타측 거리 감지 센서(252)에서 출력된 상기 타측 거리 값을 미리 준비된 상기 제어 시스템으로 전송하는 타측 통신부(253)를 포함한다.The
상기 타측 거리 감지 센서(252)는 예를 들어, 직선으로 레이저 광을 발사하고 상기 레이저 광에 인식되는 물체의 거리를 측정하는 거리 측정용 레이저 센서로 형성될 수 있다.The other
상기 타측 보호창(251)은 상기 타측 레이저 광(254)이 투과될 수 있는 레이저 유리로 제작될 수 있다.The other
상기 타측 통신부(253)는 상기 제어 시스템과 유선 또는 무선으로 통신이 가능하며, 실시간으로 측정되는 상기 타측 거리 값을 상기 제어 시스템으로 바로 전송한다.The other
상기와 같이 형성되면, 상기 제어 시스템에서는 상기 대상체가 상기 척 몸체(210)에 안착될 때, 상기 일측 균형 부재(240)에서 상기 대상체에 대한 거리를 측정한 상기 일측 거리 값과 상기 타측 균형 부재(250)에서 상기 대상체에 대한 거리를 측정한 상기 타측 거리 값을 비교하여 그 오차를 계산하고 상기 오차를 분석하여 상기 대상체가 상기 척 몸체(210)에 수직 하강시, 상기 대상체의 균형을 판단한다. 여기서, 상기 오차가 '0'에 가까울수록 상기 대상체의 균형이 잘 맞다고 할 수 있다.When formed as described above, the control system, when the object is seated on the
상기와 같이, 상기 척 몸체(210)의 상면으로 하강되는 상기 대상체의 균형을 측정함으로써, 상기 대상체가 상기 척 몸체(210)로 안전하게 하강되는지 판단할 수 있는 효과가 있다.As described above, by measuring the balance of the object lowered to the upper surface of the
도 11은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 투영체가 척 몸체에 삽입되기 전의 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 12는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 도 11의 A에 대한 확대도이고, 도 13은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 투영체가 척 몸체에 삽입된 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 14는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 도13 의 B에 대한 확대도이다.FIG. 11 is a view schematically illustrating a structure of an object aligning electrostatic chuck using a light emitting member before a projection body is inserted into a chuck body according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 12 is a view of FIG. 11 according to a third embodiment of the present invention. A is an enlarged view of A, and FIG. 13 schematically illustrates the structure of an object aligning electrostatic chuck using a light emitting member having a projection body inserted into a chuck body according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 13 is an enlarged view of FIG. 13B according to the third embodiment.
도 11 내지 도 14를 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척(300)은 척 몸체(310)와, 발광 부재(320)와, 투영체(330)와, 접착층(360)을 포함한다.11 to 14, the object aligning
상기 접착층(360)은 상기 투영체(330)가 상기 척 몸체(310) 내부로 삽입되어 얹혀지는 얹힘 턱(314)의 상단부에 형성되고, 일정압력이상을 받으면 파손되어 그 내부에 저장된 접착제(360a)가 흘러나오는 것이다.The
도면번호 315는 상기 접착층(360)의 상기 접착제(360a)가 흘러나올 때, 상기 발광 부재(320)를 향해 상기 접착제(360a)가 흘러 상기 발광 부재(320)를 오염시키지 않도록 얹힘 턱(314)의 상기발광 부재(320) 쪽 모서리 부분에서 상기 투영체(330)를 향해 일정길이 돌출된 흐름 방지 돌기이다. 상기와 같이 형성되면, 상기 접착층(360)이 일정 압력 이상 받아 파손되어 상기 접착제(360a)가 흘러나와도 상기 흐름 방지 돌기(315)에 의해 상기 접착제(360a)가 상기 발광 부재(320)로 흐르는 현상을 방지할 수 있다.
상기와 같이 형성되면, 상기 투영체(330)가 투영용 홈에 삽입되어 상기 얹힘 턱(314)에 얹혀질 때, 상기 접착층(360)이 상기 투영체(330)에 의해 압착되어 상기 접착층(360)의 외부가 터지면서 그 내부에 수용된 상기 접착제(360a)가 흘러나오게 된다.When formed as described above, when the
그러면, 상기 접착제(360a)가 점차 굳으면서 상기 투영체(330)가 상기 얹힘 턱(314)에 견고하게 결합될 수 있다.Then, as the adhesive 360a gradually hardens, the
여기서, 상기 접착층(360)이 깨지면서 발생되는 파편 조각(360b)이 상기 접착제(360a)와 함께 상기 투영체(330)와 상기 얹힘 턱(314) 사이에 분포됨으로써, 상기 투영체(330)와 상기 얹힘 턱(314)의 결합력을 더욱 증대시켜준다.Here, the
상기와 같이, 상기 접착층(360)에 의해 상기 투영체(330)가 상기 얹힘 턱(314)에 견고가게 결합될 수 있어 임의로 상기 투영체(330)가 상기 척 몸체(310)에서 분리되는 현상이 방지될 수 있다.As described above, the
도 15는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 투영체가 척 몸체에 삽입된 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 16은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 상단 표면이 가공된 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 17은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 평탄도 측정 부재가 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척의 상단 표면의 평탄도를 측정하는 모습을 보이는 도면이다.FIG. 15 is a view schematically illustrating a structure of an object aligning electrostatic chuck using a light emitting member having a projection body inserted into a chuck body according to a fourth embodiment of the present invention, and FIG. 16 is a top surface according to the fourth embodiment of the present invention. FIG. 17 is a view schematically illustrating a structure of an object alignment electrostatic chuck using a processed light emitting member, and FIG. 17 illustrates a flatness measurement of a top surface of an object alignment electrostatic chuck using a light emitting member according to a fourth embodiment of the present invention. This figure shows how to.
도 15 내지 도 17을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척(400)은 척 몸체(410)와, 발광 부재(420)와, 투영체(430)와, 평탄도 측정 부재(470)를 포함한다.15 to 17, the object aligning
상기 평탄도 측정 부재(470)는 상기 척 몸체(410)의 일측 또는 타측에 배치되어 상기 척 몸체(410)와 상기 투영체(430)의 상면(411, 431)이 함께 표면 가공되어 형성된 상태에서 상기 척 몸체(410) 상단 표면의 평탄도를 측정하는 것으로, 평탄도 측정 센서(471)와, 가공 통신부(472)를 포함한다.The
상기 평탄도 측정 센서(471)는 상기 상면(411, 431)에 밀착되게 상기 상면(411, 431)의 수평된 방향인 레이저 광(473)을 발사하는 것으로, 상기 레이저 광(473)을 이용하여 상기 상면(411, 431)의 평탄도를 판단한다.The
예를 들어, 상기 상면(411, 431)의 표면가공을 마친 상태에서, 상기 레이저 광(473)이 더 이상 상기 상면(411, 431)의 수평된 방향으로 계속 발사되면 상기 상면(411, 431)이 매우 평평하다고 판단한다. 그러나, 상기 상면(411, 431)의 표면가공을 마친 상태에서 상기 상면(411, 431)에 돌기와 같은 장애물이 형성되어 있을 시, 상기 장애물에 상기 레이저 광(473)이 반사되어 상기 레이저 광(473)이 더이상 상기 상면(411, 431)의 수평된 방향으로 발사되지 못하므로, 상기 상면(411, 431)의 평탄도가 낮음으로 판단한다.For example, when the surface processing of the
상기 가공 통신부(472)는 상기 평탄도 측정 센서(471)에서 상기 상면(411, 431)의 평탄도를 측정하여 판단된 정보를 미리 준비된 제어 시스템(미도시)으로 전송하는 것으로, 상기 제어 시스템과 유선 또는 무선으로 통신이 가능하다.The
상기 제어 시스템은 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척(400)의 외부에 형성되어 있으며, 상기 가공 통신부(472)에서 전송된 정보를 작업자에게 알람 또는 모니터를 통해 알려줄 수 있다.The control system is formed outside the object aligning
상기 척 몸체(410)의 상면에는 대상체가 안전하게 얹혀져 밀착되기 위해 상기 척 몸체(410)와 상기 투영체(430)의 상면(411, 431)이 함께 표면 가공되어 형성된다. 그러나 종래에는 상기 상면(411, 431)의 평탄도를 위한 가공 후, 상기 상면(411, 431)이 평평하게 가공되어 있는지 확인할 수 없었고, 임의 사고로 상기 상면(411, 431)의 표면 가공이 잘못된다 하더라도 상기 작업자가 알 수 없어 이러한 상태에서 이후 공정이 이루어졌다.An
상기와 같이 상기 평탄도 측정 부재(470)가 상기 상면(411, 431)의 평탄도를 측정해줌으로써, 상기 상면(411, 431)의 평탄도를 위한 가공 후, 상기 상면(411, 431)이 평평하게 가공되어 있는지 확인할 수 있고, 나아가 상기 상면(411, 431)의 표면 가공이 잘못되었을 시, 재 가공을 실시하도록 상기 작업자에게 알려줄 수 있다.As described above, the
도 18은 본 발명의 제 5 실시예에 따른 일측 기울기 감지 부재 및 타측 기울기 감지 부재를 포함하는 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척을 정면에서 바라본 도면이고, 도 19는 본 발명의 제 5 실시예에 따른 일측 기울기 감지 부재가 일측 기울기 센서를 감지하고 타측 기울기 감지 부재가 타측 기울기 센서를 감지하여 척 몸체의 기울어진 정도를 측정하는 것을 나타낸 도면이고, 도 20은 본 발명의 제 5 실시예에 따른 기울어진 척 몸체의 기울어진 정도를 일측 기울기 감지 부재 및 타측 기울기 감지 부재가 측정하는 것을 나타낸 도면이다.FIG. 18 is a front view of an object aligning electrostatic chuck using a light emitting member including one tilt detection member and the other tilt detection member according to a fifth embodiment of the present invention, and FIG. 19 illustrates a fifth embodiment of the present invention. FIG. 20 is a view illustrating one tilt sensor detecting one tilt sensor and another tilt sensor sensing the other tilt sensor and measuring tilt of the chuck body, and FIG. 20 is a tilt diagram according to the fifth embodiment of the present invention. Figure 1 shows that one tilt detection member and the other tilt detection member measures the degree of inclination of the progress body.
도 18 내지 도 20을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척(500)은 척 몸체(510)와, 발광 부재와, 투영체와, 일측 기울기 감지 부재(580)와, 타측 기울기 감지 부재(590)를 포함한다.Referring to FIGS. 18 to 20, the object aligning
상기 척 몸체(510)의 일측에는 상기 척 몸체(510)의 일측에 내장 또는 부착되고, 일정 자극 강도의 자성을 띄는 자성체로 형성된 일측 균형 소자(515)와, 상기 일측 균형 소자(515)와 수평인 선상에서 상기 척 몸체(510)의 타측에 내장 또는 부착되고, 상기 일측 균형 소자(515)와 동일하게 일정 자극 강도의 자성을 띄는 자성체로 형성된 타측 균형 소자(516)가 형성되어 있다.One side of the
본 실시예에서의 일측 방향은 도 18의 상기 척 몸체(510)를 기준으로 상기 일측 기울기 감지 부재(580)가 형성된 측을 말하고, 본 실시예에서의 타측 방향은 도 18의 상기 척 몸체(510)를 기준으로 상기 타측 기울기 감지 부재(590)가 형성된 측을 말한다.In this embodiment, the one direction refers to the side on which the one side
상기 일측 기울기 감지 부재(580)는 상기 척 몸체(510)와 일정간격 이격되도록 상기 척 몸체(510)의 일측에 배치되어 상기 일측 균형 소자(515)의 높낮이를 감지하는 것으로, 일측 기울기 몸체(581)와, 복수개의 일측 감지 센서(582)를 포함한다.The one side
상기 일측 기울기 몸체(581)는 상기 척 몸체(510)의 높이보다 상대적으로 높고 길게 형성되고 상기 척 몸체(510)와 일정간격 이격되도록 상기 척 몸체(510)의 일측에 배치된다. 또한 이러한 상기 일측 기울기 몸체(581)에는 후술 설명될 상기 일측 감지 센서(582)가 복수 개 결합되어 있다.The one
상기 일측 감지 센서(582)는 자성을 띄는 상기 일측 균형 소자(515)를 인식할 수 있는 것으로, 예를 들어 일정 값 이상의 자성을 감지하는 홀센서로 제공될 수 있다.The one-
이러한 상기 일측 감지 센서(582)는 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 일측 기울기 몸체(581)의 높이를 따라 상기 일측 기울기 몸체(581)에 일정 간격으로 복수개 형성된다.As illustrated in FIG. 18, the one
상기와 같이 형성되면, 상기 일측 균형 소자(515)의 높낮이에 따라 복수 개의 상기 일측 감지 센서(582) 중 일부가 상기 일측 균형 소자(515)를 인식하고, 인식된 상기 일측 감지 센서(582)의 위치에 따라 상기 일측 균형 소자(515)의 높이를 측정한다. When formed as described above, according to the height of the one-
상기 타측 기울기 감지 부재(590)는 상기 일측 기울기 감지 부재(580)와 대칭된 위치에 배치된 것으로, 상기 척 몸체(510)와 일정간격 이격되도록 상기 척 몸체(510)의 타측에 배치되어 상기 타측 균형 소자(516)의 높낮이를 감지한다. 이러한 상기 타측 기울기 감지 부재(590)는 타측 기울기 몸체(591)와, 복수개의 타측 감지 센서(592)를 포함한다.The other
상기 타측 기울기 몸체(591)는 상기 척 몸체(510)의 높이보다 상대적으로 길게 형성되고 상기 척 몸체(510)와 일정간격 이격되도록 상기 척 몸체(510)의 타측에 배치된다. 또한 상기 타측 기울기 몸체(591)에는 후술 설명될 상기 타측 감지 센서(592)가 복수 개 결합되어 있다.The
상기 타측 감지 센서(592)는 자성을 띄는 상기 타측 균형 소자(516)를 인식할 수 있는 것으로, 예를 들어 일정 값 이상의 자성을 감지하는 홀센서로 제공될 수 있다.The
이러한 상기 타측 감지 센서(592)는 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 타측 기울기 몸체(591)의 높이를 따라 상기 타측 기울기 몸체(591)에 일정 간격으로 복수개 형성된다.As illustrated in FIG. 18, the
상기와 같이 형성되면, 상기 타측 균형 소자(516)의 높낮이에 따라 복수 개의 상기 타측 감지 센서(592) 중 일부가 상기 타측 균형 소자(516)를 인식하고, 인식된 상기 타측 감지 센서(592)의 위치에 따라 상기 타측 균형 소자(516)의 높이를 측정한다.When formed as described above, according to the height of the
상기와 같이 형성되면, 예를 들어 상기 척 몸체가 수평이 아닌 다른 기울기로 기울면, 도 20에 도시된 바와 같이, 상기 일측 균형 소자(515)의 높이가 측정되었던 상기 일측 감지 센서(582)가 변경되고, 상기 타측 균형 소자(516)의 높이가 측정되었던 상기 타측 감지 센서(592)가 변경된다. 그러면 상기 척 몸체의 수평이 맞지 않음을 판단할 수 있고 이를 작업자에게 알람 기능을 통해 알려줄 수 있다.When formed as described above, for example, when the chuck body is inclined at an inclination other than horizontal, as shown in FIG. 20, the one-
여기서, 알람 기능은 부저나 비상등, 다른 통신 프로그램 등을 이용한 알람 기능이 될 수 있다.Here, the alarm function may be an alarm function using a buzzer, an emergency light, another communication program, and the like.
또한, 상기 일측 균형 소자(515)가 변동되는 높이에 따라 감지되는 상기 일측 감지 센서(582)를 카운팅하여 상기 일측 균형 소자(515)의 높이를 측정할 수 있고, 상기 타측 균형 소자(516)가 변동되는 높이에 따라 감지되는 상기 타측 감지 센서(592)를 카운팅하여 상기 타측 균형 소자(516)의 높이를 측정할 수 있고, 측정된 상기 일측 균형 소자(515)의 높이 및 상기 타측 균형 소자(516)의 높이를 이용하여 상기 척 몸체(510)의 기울기를 계산할 수도 있다.In addition, the height of the one
상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.While the invention has been shown and described with respect to specific embodiments thereof, those skilled in the art can variously modify the invention without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. And that it can be changed. Nevertheless, it will be clearly understood that all such modifications and variations are included within the scope of the present invention.
본 발명의 일 측면에 따른 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척에 의하면, 정전척 상면이 평탄도를 위한 표면 가공 전, 정전척 상면 일부분에 투영체가 삽입되고 정전척 상면과 투영체가 함께 표면 가공됨으로써, 정전척 상면의 표면 평탄도를 더욱 높일 수 있고, 종래와 대비 쉽게 파손되지 않는 투영체를 제공할 수 있으므로, 그 산업상 이용 가능성이 높다고 하겠다.According to the object-aligned electrostatic chuck using the light emitting member according to an aspect of the present invention, before the surface of the electrostatic chuck is processed for flatness, a projection is inserted into a portion of the upper surface of the electrostatic chuck and the electrostatic chuck upper surface and the projection are surface processed together. Since the surface flatness of the upper surface of the electrostatic chuck can be further increased, and the projection which is not easily broken as compared with the conventional one can be provided, the industrial applicability is high.
100 : 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척
110 : 척 몸체
120 : 발광 부재
130 : 투영체
240 : 일측 균형 감지 부재
250 : 타측 균형 감지 부재
360 : 접착층
470 : 평탄도 측정 부재100: object alignment electrostatic chuck using a light emitting member
110: chuck body
120: light emitting member
130: projection
240: one-sided balance detection member
250: other balance detection member
360: adhesive layer
470: flatness measuring member
Claims (5)
상기 척 몸체에 삽입되어 상기 대상체를 향해 빛을 조사하는 발광 부재;
상기 척 몸체의 상단부에 삽입되고, 상기 발광 부재에서 발광되는 상기 빛을 투영시키는 투영체; 및
상기 척 몸체의 일측에 배치되어 상기 척 몸체와 상기 투영체의 상면이 함께 표면 가공되어 형성된 상태에서 상기 척 몸체 상단 표면의 평탄도를 측정하는 평탄도 측정 부재;를 포함하고,
상기 척 몸체에 상기 투영체가 삽입된 상태에서 상기 척 몸체와 상기 투영체의 상면이 함께 표면 가공되어 형성된 것을 특징으로 하는 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척.A chuck body on which the object is placed;
A light emitting member inserted into the chuck body to irradiate light toward the object;
A projecting body inserted into an upper end of the chuck body and projecting the light emitted from the light emitting member; And
And a flatness measuring member disposed on one side of the chuck body and measuring the flatness of the upper surface of the chuck body in a state where the upper surface of the chuck body and the projection surface are formed together.
Electrostatic chuck using a light emitting member, characterized in that formed in the state that the projection is inserted into the chuck body surface processing of the upper surface of the chuck body and the projection.
상기 투영체는
석영 또는 수지재 둘 중 하나 이상의 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 발광 부재를 이용한 대상체 정렬 정전척.The method of claim 1,
The projection is
Electrostatic chuck using the light emitting member, characterized in that formed of at least one of quartz or resin material.
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2017
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