KR101981389B1 - 기판 그립 장치. - Google Patents

기판 그립 장치. Download PDF

Info

Publication number
KR101981389B1
KR101981389B1 KR1020170080349A KR20170080349A KR101981389B1 KR 101981389 B1 KR101981389 B1 KR 101981389B1 KR 1020170080349 A KR1020170080349 A KR 1020170080349A KR 20170080349 A KR20170080349 A KR 20170080349A KR 101981389 B1 KR101981389 B1 KR 101981389B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
grip portion
grip
region
body frame
Prior art date
Application number
KR1020170080349A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20190001038A (ko
Inventor
한창수
신규식
황순웅
김현국
안보영
최정훈
Original Assignee
한양대학교 에리카산학협력단
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한양대학교 에리카산학협력단 filed Critical 한양대학교 에리카산학협력단
Priority to KR1020170080349A priority Critical patent/KR101981389B1/ko
Publication of KR20190001038A publication Critical patent/KR20190001038A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101981389B1 publication Critical patent/KR101981389B1/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67712Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations the substrate being handled substantially vertically
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02Articles
    • B65G2201/0214Articles of special size, shape or weigh
    • B65G2201/022Flat

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

기판 그립 장치가 제공된다. 상기 기판 그립 장치는, 바디 프레임, 상기 바디 프레임의 제1 측부에 배치되며, 기판의 제1 영역을 파지하는 제1 그립부, 상기 바디 프레임의 제2 측부에 배치되며, 상기 기판의 제2 영역을 파지하는 제2 그립부, 및 상기 기판의 파지 시, 상기 제1 그립부를 제1 방향으로, 그리고 상기 제2 그립부를 상기 제1 방향에 반대인 제2 방향으로 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다.

Description

기판 그립 장치. {Device for Substrate Grip}
본 발명은 기판 그립 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 그립부들을 이용하여 내부에 공간이 형성된 기판을 파지하는 기판 그립 장치에 관련된 것이다.
산업현장에서 물품을 이송하는 자동화 설비가 현재 발전되고 있다. 그 중 물품을 그립핑(gripping)하여 이송하는 시스템은 사람을 대신해 손쉬운 작업, 정확한 위치, 작업자의 안전 및 생산성 향상을 위해 광범위하게 사용되고 있다.
이러한 이송 시스템은, 제품을 그립핑하여 이송하기 위해 그리퍼(gripper)를 포함하며, 그 작동 원리에 따라 마그네틱을 이용한 자석형 그리퍼와, 공압을 이용한 집게형 그리퍼, 진공을 이용한 흡착형 그리퍼 등이 대표적으로 활용되고 있다. 이중 진공을 이용한 흡착형 그리퍼는 제품의 외부 환경에 따른 변형 및 스크래치(scratch) 요인으로부터 비교적 안정성이 우수하여 자동차 부품산업, 반도체 산업 및 일선 기업체에서 많이 적용되어 사용되고 있는 실정이다.
또한, 이러한 진공 흡착형 그리퍼는 보통 3축 이상의 축으로 동작이 제어되는 산업용 로봇, 예를 들면 다관절 로봇 또는 병렬로봇(parallel robot)의 로봇아암 또는 로봇아암이 종단에 장착된 이펙터(end effector)에 장착되어 활용되고 있다. 진공 흡착형 그리퍼는 그립핑하고자 하는 대상물에 따라 이펙터와 연동하거나, 혹은 산업용 로봇의 드라이버 4축에 연동하여 수직/수평이동동작, 회전동작, 기울기 동작 등과 같은 3차원적인 동작이 요구됨에 따라 복합적인 동작영역에 대응하도록 설치된다.
이렇게 이송 시스템의 산업상 활용도가 높아짐에 따라, 다양한 기판 그립 및 이송 장치들이 개발되고 있다. 예를 들어, 대한 민국 특허 등록 번호 10-0712420(출원번호: 10-2006-0048832, 출원인: 전자부품연구원)에는, 공기가 흡입되고 배출되는 입구(Inlet)홈과, 상기 입구홈에 연 결된 채널홈과, 상기 채널홈에 연결된 그립홈이 형성되어 있는 하부 기판과; 상기 입구홈에 대응되는 관통홀이 형성되어 있고, 상기 하부 기판에 접합되어 있는 상부 기판으로 구성되는 그립 장치를 제공한다.
이 밖에도, 기판의 그립 및 이송 장치에 관한 다양한 기술들이 지속적으로 연구 개발되고 있다.
대한 민국 특허 등록 번호 10-0712420
본 발명이 해결하고자 하는 일 기술적 과제는, 기판의 이송 후 정확한 조립이 가능한 기판 그립 장치를 제공하는데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 기술적 과제는, 기판의 그립을 위한 정렬이 용이한 기판 그림 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 기술적 과제는, 넓은 파지 영역의 확보가 용이한 기판 그립 장치를 제공하는데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 기술적 과제는, 부품의 손상 위험이 낮은 기판 그립 장치를 제공하는데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 상술된 것에 제한되지 않는다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 기판 그립 장치를 제공한다.
일 실시 예에 따르면, 상기 기판 그립 장치는, 바디 프레임, 상기 바디 프레임의 제1 측부에 배치되며, 기판의 제1 영역을 파지하는 제1 그립부, 상기 바디 프레임의 제2 측부에 배치되며, 상기 기판의 제2 영역을 파지하는 제2 그립부, 및 상기 기판의 파지 시, 상기 제1 그립부를 제1 방향으로, 그리고 상기 제2 그립부를 상기 제1 방향에 반대인 제2 방향으로 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 기판 그립 장치는, 상기 바디 프레임의 제3 측부에 배치되며, 상기 기판의 제3 영역을 파지하는 제3 그립부, 및 상기 바디 프레임의 제4 측부에 배치되며, 상기 기판의 제4 영역을 파지하는 제4 그립부를 더 포함하되, 상기 기판의 파지 시 상기 구동부의 구동으로, 상기 제3 그립부는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향으로 이동하고, 상기 제4 그립부는 상기 제3 방향에 반대인 제4 방향으로 이동할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 제1 그립부 및 상기 제2 그립부 각각은, 상기 기판의 제1 영역 또는 제2 영역이 수용되는 수용 공간이 형성된 그리퍼, 상기 수용 공간을 사이에 두고 상기 수용 공간의 상부 및 하부에 배치되는 제1 및 제2 롤러(roller), 및 상기 제1 롤러의 상부와 상기 제2 롤러의 하부에 배치되며, 상기 수용 공간을 향해 상기 제1 롤러 및 상기 제2 롤러에 탄성력을 제공하는 제1 및 제2 탄성체를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 그리퍼는, 상기 수용공간을 사이에 두고 마주 배치되는 제1 입구부와 제2 입구부를 포함하며, 상기 제1 입구부와 상기 제2 입구부에는 서로 마주하는 면에 홈이 형성될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 구동부는, 그 끝단이 상기 제1 그립부와 결합하며, 상기 제1 그립부를 상기 제1 방향으로 이동시키는 제1 피스톤 로드, 및 그 끝단이 상기 제2 그립부와 결합하며, 상기 제2 그립부를 상기 제2 방향으로 이동시키는 제2 피스톤 로드를 포함하고, 상기 제1 그립부는, 일 단이 상기 그리퍼와 결합하고, 상기 바디 프레임에 형성된 제1 가이드 공간에 삽입되어 상기 그리퍼의 상기 제1 방향의 이동을 안내하는 제1 가이드를 포함하며, 상기 제2 그립부는, 일 단이 상기 그리퍼와 결합하고, 상기 바디 프레임에 형성된 제2 가이드 공간에 삽입되어 상기 그리퍼의 상기 제2 방향의 이동을 안내하는 제2 가이드를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 구동부는 상기 기판의 파지 시, 상기 제1 및 제2 그립부를 동시에 이동시킬 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 기판 그립 장치는 바디 프레임, 구동부, 및 제1 내지 제4 그립부를 포함할 수 있다. 상기 구동부의 구동으로 상기 제1 내지 제4 그립부를 각각 제1 내지 제4 방향으로 동시에 이동시켜 기판을 파지할 수 있다. 이에 따라, 상기 기판 그립 장치는 상기 기판의 넓은 파지 영역 확보가 용이하고, 상기 기판의 파지를 위한 정렬이 용이할 수 있다. 결과적으로, 상기 기판 그립 장치는 상기 기판의 이송 후 정확한 조립이 가능하도록 제공될 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 기판 그립 장치를 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 기판 그립 장치를 나타내는 평면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 기판 그립 장치의 제1 그립부를 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 기판 그립 장치의 제1 그립부의 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 기판 그립 장치가 작동되기 전을 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 기판 그립 장치가 작동된 후를 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 제1 실시 예에 다른 기판 그립 장치가 작동된 후 제1 그립부의 단면도이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 기판 그립 장치의 사시도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명할 것이다. 그러나 본 발명의 기술적 사상은 여기서 설명되는 실시 예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화 될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소가 개재될 수도 있다는 것을 의미한다. 또한, 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.
또한, 본 명세서의 다양한 실시 예 들에서 제1, 제2, 제3 등의 용어가 다양한 구성요소들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 따라서, 어느 한 실시 예에 제 1 구성요소로 언급된 것이 다른 실시 예에서는 제 2 구성요소로 언급될 수도 있다. 여기에 설명되고 예시되는 각 실시 예는 그것의 상보적인 실시 예도 포함한다. 또한, 본 명세서에서 '및/또는'은 전후에 나열한 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용되었다.
명세서에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다. 또한, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 배제하는 것으로 이해되어서는 안 된다. 또한, 본 명세서에서 "연결"은 복수의 구성 요소를 간접적으로 연결하는 것, 및 직접적으로 연결하는 것을 모두 포함하는 의미로 사용된다.
또한, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다.
도면 대비 설명에 앞서 간략하게 설명하면, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 그립 장치는 구동부로부터 전달된 구동력에 의하여 그립부를 작동시키고, 이에 따라 내부에 공간이 형성된 기판을 파지(grip)할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 기판(10)은 Table PC, 스마트폰 등의 전자제품 내부 프레임(frame) 또는 부품일 수 있다. 상기 기판(10)이 Table PC, 스마트폰 등의 전자제품 내부 프레임(frame) 또는 부품에 제한되지 않음은 물론이다.
이하, 도 1 내지 도 7을 참조하며, 제1 실시 예에 따른 기판 그립 장치의 각 구성 및 동작에 관하여 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 기판 그립 장치를 나타내는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 기판 그립 장치를 나타내는 평면도이고, 도 3은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 기판 그립 장치의 제1 그립부를 나타내는 도면이고, 도 4는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 기판 그립 장치의 제1 그립부의 단면도이다. 도 3 및 도 4는 도 2의 A부분을 확대한 것을 나타내는 도면이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 상기 제1 실시 예에 따른 기판 그립 장치는 바디 프레임(100), 제1 내지 제 4 그립부(210, 220, 230, 240), 및 구동부(300)를 포함한다.
상기 바디 프레임(100)은 상기 제1 내지 제4 그립부(210, 220, 230, 240) 및 구동부(300)가 지지되기 위한 몸체로 제공될 수 있다. 상기 바디 프레임(100)의 각 측부에는 상기 제1 내지 제4 그립부(210, 220, 230, 240)가 결합된다. 그리고 상기 바디 프레임(100)의 상부면에는 구동부(300)가 결합한다. 이하 설명의 편의를 위하여 상기 제1 내지 제4 그립부(210, 220, 230, 240)가 배치되는 상기 바디 프레임(100)의 각 측부를 제1 내지 제4 측부(102, 104, 106, 108)라고 한다.
상기 구동부(300)는 상기 제1 내지 제4 그립부(210, 220, 230, 240)를 직선이동시킨다. 상기 구동부(300)는 제1 내지 제4 피스톤 로드(312, 314, 316, 318), 제1 내지 제4 실린더(322, 324, 326, 328)를 포함한다. 상기 제1 내지 제4 피스톤 로드(312, 314, 316, 318)는 상기 바디 프레임(100)의 상부면에 배치될 수 있다. 상기 제1피스톤 로드(312)는 제1방향(k1)으로 배치되고, 상기 제2피스톤 로드(314)는 제2 방향(k2)으로 배치되고, 상기 제3 피스톤 로드(316)는 제3 방향(k3)으로 배치되고, 상기 제4 피스톤 로드(318)는 제4 방향(k4)으로 배치된다.
상기 제1피스톤 로드(312)의 선단에는 상기 제1그립부(210)가 결합하고, 상기 제2피스톤 로드(314)의 선단에는 상기 제2 그립부(220)가 결합하고, 상기 제3 피스톤 로드(316)의 선단에는 상기 제3 그립부(230)가 결합하고, 상기 제4 피스톤 로드(318)의 선단에는 상기 제4 그립부(240)가 결합한다.
상기 제1 내지 제4 실린더(322, 324, 326, 328)는 상기 제1 내지 제4 피스톤 로드(312, 314, 316, 318)를 직선 이동시킨다. 실시 예에 의하면, 상기 제1 내지 제4 실린더(322, 324, 326, 328)는 공압에 의해 상기 제1 내지 제4 피스톤 로드(312, 314, 316, 318)를 직선 이동시킨다.
상기 제1그립부(210)는 상기 바디 프레임(100)의 상기 제1측부(102)에 위치하며, 상기 제1피스톤 로드(312)의 이동으로 상기 제1방향(k1)으로 직선이동한다. 상기 제1그립부(210)는 상기 기판(10)의 제1영역(10a)을 파지한다.
상기 제2그립부(220)는 상기 바디 프레임(100)의 상기 제2측부(104)에 위치하며, 상기 제2피스톤 로드(314)의 이동으로 상기 제2방향(k2)으로 직선이동한다. 상기 제2그립부(220)는 상기 기판(10)의 제2영역(10b)을 파지한다.
상기 제3그립부(230)는 상기 바디 프레임(100)의 상기 제3측부(106)에 위치하며, 상기 제3피스톤 로드(316)의 이동으로 상기 제3방향(k3)으로 직선이동한다. 상기 제3그립부(230)는 상기 기판(10)의 제1영역(10c)을 파지한다.
상기 제4그립부(240)는 상기 바디 프레임(100)의 상기 제4측부(108)에 위치하며, 상기 제4피스톤 로드(318)의 이동으로 상기 제4방향(k4)으로 직선이동한다. 상기 제4그립부(240)는 상기 기판(10)의 제4영역(10d)을 파지한다.
상기 제2 방향(k2)은 상기 제1 방향(k1)에 반대방향일 수 있다. 상기 제3 방향은(k3)은 상기 제1 및 제2 방향(k1, k2)에 수직한 방향일 수 있다. 상기 제4 방향(k4)은 상기 제3 방향(k3)에 반대방향일 수 있다.
상기 제1 내지 제4 그립부(210, 220, 230, 240)는 동일한 구조를 가질 수 있다. 상기 제1 내지 제4 그립부(210, 220, 230, 240)의 구체적인 구조에 대해 상기 제1그립부(210)를 예를 들어 설명한다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 제1 그립부(210)는, 그리퍼(212), 제1 및 제2 롤러(214a, 214b), 제1 및 제2 탄성체(216a, 216b), 및 제1 가이드(218)를 포함한다.
상기 그리퍼(212)는, 상기 기판(10)의 제1 영역(10a)이 수용되는 수용 공간(s)이 형성될 수 있다. 상기 그리퍼(212)는 제1 입구부(213a) 및 제2 입구부(213b)를 포함할 수 있다. 상기 제1 입구부(213a) 및 상기 제2 입구부(213b)는 상기 수용 공간(s)을 사이에 두고 서로 마주보며 배치될 수 있다. 상기 수용 공간은 일측이 개방된 형태일 수 있다. 예를 들어, 상기 수용 공간은 'ㄷ' 형태일 수 있다.
상기 제1 입구부(213a) 및 상기 제2 입구부(213b)는 서로 마주하는 면에 홈(groove)이 형성될 수 있다.
상기 그리퍼(212)는 상기 구동부(300)에서 전달된 구동력에 의해 상기 수용 공간(s)에 상기 기판(10)의 상기 제1 영역(10a)을 수용하고 파지할 수 있다.
상기 제1 및 제 2 롤러(214a, 214b)는 상기 수용 공간(s)을 사이에 두고 상기 수용 공간(s)의 상부 및 하부에 배치될 수 있다.
상기 제1 및 제2 롤러(214a, 214b)는 상기 기판(10)의 상기 제1 영역(10a)이 상기 수용 공간(s)으로 인입되는 경우, 회전될 수 있다. 상기 제1 및 제2 롤러(214a, 214b)가 회전됨에 따라, 상기 기판(10)이 용이하게 인입될 수 있다.
상기 제1 및 제2 탄성체(216a, 216b)는 상기 제1 롤러(214a)의 상부 및 상기 제2 롤러(214b)의 하부에 각각 배치될 수 있다. 실시 예에 의하면, 상기 제1 탄성체(216a)는 상기 제1롤러(214a)의 상부에서 아래 방향으로 탄성력을 상기 제1롤러(214a)에 전달하며, 상기 제2 탄성체(216b)는 상기 제2롤러(214b)의 하부에서 위쪽 방향으로 탄성력을 상기 제2롤러(214a)에 전달한다. 상기 제1 및 제2 탄성체(216a, 216b)의 탄성력에 의해, 상기 제1 및 제 2 롤러(214a, 214b)는 상기 기판(10)을 안정적으로 파지할 수 있다. 상기 제1 가이드(218)는 일단이 상기 그리퍼(212)와 결합되고, 타단이 상기 제1 가이드 공간(110)에 삽입될 수 있다. 상기 제1 가이드(218)는 상기 그리퍼(212)의 상기 제1 방향(k1)의 이동을 안내할 수 있다.
이하, 도 5내지 도 7을 참조하여 상술된 제1 실시 예에 따른 기판 그립 장치를 이용하여 기판을 파지하는 과정에 대해 설명한다.
도 5는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 기판 그립 장치가 기판을 그리핑하기 전을 나타내는 도면이고, 도 6은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 기판 그립 장치가 기판을 그리핑한 모습을 나타내는 도면이고, 도 7은 도 6에 따른 기판 그립 장치에서 제1 그립부를 나타내는 단면도이다.
도 5를 참조하면, 상기 기판 그립 장치는 로봇 암의 구동에 의해, 상기 기판(10)의 내부 공간 내측으로 이동한다. 상기 제1 내지 제4 그립부(210, 220, 230, 240)와 상기 기판(10)은 동일 높이에 위치할 수 있다.
도 6을 참조하면, 상기 구동부(300)의 구동으로 상기 제1 내지 제4 그립부(210, 220, 230, 240)가 각 방향으로 직선이동한다. 이때, 상기 제1 그립부(210) 및 상기 제2 그립부(220)의 이동거리는 동일할 수 있다. 상기 제3 그립부(230) 및 상기 제4 그립부(240)의 이동거리는 동일할 수 있다.
보다 구체적으로, 상기 제1 내지 제4 실린더(322, 324, 326, 328)는 외부에서 전달한 구동력으로 상기 제1 내지 제4 피스톤 로드(312, 314, 316, 318)를 이동시킬 수 있다. 예를 들어, 상기 구동력은 공압일 수 있다. 상기 구동력이 전달됨에 따라, 상기 제1 내지 제4 피스톤 로드(312, 314, 316, 318)는 상기 제1 내지 제4 실린더(322, 324, 326, 328)의 길이 방향을 따라 직선 이동 할 수 있다. 상기 제1 내지 제4 피스톤 로드(312, 314, 316, 318)가 이동되는 경우, 상기 제1 내지 제4 그립부(210, 220, 230, 240)는 제1 내지 제4 방향(k1, k2, k3, k4)으로 이동된다.
상기 공압은 상기 제1 내지 제4 실린더(322, 324, 326, 328)에 전달되고, 상기 공압에 의해 상기 제1 내지 제4 피스톤 로드(312, 314, 316, 318)는 직선 이동을 하게 된다. 이때, 상기 제1 내지 제4 피스톤 로드(312, 314, 316, 318)와 결합된 상기 제1 내지 제4 그립부(210, 220, 230, 240)가 함께 상기 제1 내지 제4 방향(k1, k2, k3, k4)으로 각각 이동된다.
도 7을 참조하면, 상기 제1 및 제2 롤러(214a, 214b)는 상기 기판(10)의 상기 제1 영역(10a)이 상기 수용공간(s)으로 인입되는 경우, 상기 제1 및 제2 롤러(214a, 214b)는 상기 기판(10)과의 마찰력에 의해 회전될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1 그립부(210) 내부로 상기 제1 영역(10a)이 용이하게 인입될 수 있다. 상기 제1 및 제2 탄성체(216a, 216b)는 상기 수용 공간(s)을 향해 상기 제1 및 제2 롤러(214a, 214b)에 탄성력을 제공할 수 있다. 이에 따라, 상기 제1 그립부(210)는 상기 기판(10)을 견고하게 파지할 수 있다.
본 발명의 제1 실시 예에 따른 기판 그립 장치는 상기 바디 프레임(100), 상기 구동부(300), 및 상기 제1 내지 제4 그립부(210, 220, 230, 240)를 포함할 수 있다. 상기 구동부(300)의 구동으로 상기 제1 내지 제4 그립부(210, 220, 230, 240)를 각각 제1 내지 제4 방향(k1, k2, k3, k4)으로 동시에 이동시켜 파지할 수 있다. 이에 따라, 상기 기판 그립 장치는 상기 기판(10)의 넓은 파지 영역 확보가 용이할 수 있다.
또한, 상기 구동부(300)는 상기 기판(10)의 파지 시, 상기 제1 내지 제4 그립부(210, 220, 230, 240)를 동시에 이동시킬 수 있다. 이때, 상기 제1 그립부(210) 및 상기 제2 그립부(220)의 이동거리는 동일할 수 있다. 상기 제3 그립부(230) 및 상기 제4 그립부(240)의 이동거리는 동일할 수 있다. 이에 따라, 상기 기판(10)의 파지 시 상기 기판(10)의 정렬(align)이 용이할 수 있다.
즉, 상기 기판(10)이 기 설정된 지점에 놓이지 않더라도, 상기 기판 그립 장치는 상기 기판(10)을 그리핑하는 과정에서 상기 제1그립부(210)와 상기 제2그립부(220)가 상기 제1방향(k1) 및 상기 제2방향(k2)으로 동일 거리만큼 이동하여 기판을 그리핑하므로, 상기 제1방향(또는 상기 제2방향)으로 상기 기판(10)의 위치가 정렬될 수 있다. 또한, 상기 제3그립부(230)와 상기 제4그립부(240)가 상기 제3방향(k3) 및 상기 제4방향(k4)으로 동일 거리만큼 이동하여 기판을 그리핑하므로, 상기 제3방향(또는 상기 제4방향)으로 상기 기판(10)의 위치가 정렬될 수 있다.
결과적으로, 상기 기판 그립 장치는 상기 기판(10)의 이송 후 정확한 조립이 가능하도록 제공될 수 있다.
도 8은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 기판 그립 장치의 평면도이다.
도 8을 참조하면, 상기 제2 실시 예에 따른 기판 그립 장치는 바디 프레임(100), 구동부(300), 제1 그립부(210), 및 제2 그립부(220)로 구성될 수 있다.
제1그립부(210)는 바디 프레임(100)의 일 측부에 위치하고, 제2그립부(220)는 바디 프레임(100)의 타 측부에 위치한다. 구동부(300)는 제1그립부(210)를 제1방향(k1)으로 직선 이동시키고, 제2그립부(220)를 제2방향(k2)으로 직선이동시킨다. 제2방향(k2)은 제1방향(k1)의 반대 방향이다. 구동부(300)의 구동으로 제1그립부(210)는 기판(10)의 제1영역(10a)을 파지하고, 제2그립부(220)는 기판의 제2영역(10b)을 파지한다.
제1그립부(210)와 제2그립부(220)는 도 3 및 도 4에서 설명한 제1그립부(210)와 동일한 구조로 제공되며, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시 예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.
100: 바디 프레임
110: 제1 가이드 공간
120: 제2 가이드 공간
130: 제3 가이드 공간
140: 제4 가이드 공간
210: 제1 그립부
212: 그리퍼
213a, 213b: 제1, 제2 입구부
214a, 214b: 제1, 제2 롤러
216a, 216b: 제1, 제2 탄성체
218: 제1 가이드
300: 구동부
312, 314, 316, 318: 제1, 2, 3, 4 피스톤 로드
322, 324, 326, 328: 제1, 2, 3, 4 실린더
330: 결합공간

Claims (6)

  1. 바디 프레임;
    상기 바디 프레임의 제1 측부에 배치되며, 기판의 제1 영역을 파지하는 제1 그립부;
    상기 바디 프레임의 제2 측부에 배치되며, 상기 기판의 제2 영역을 파지하는 제2 그립부; 및
    상기 기판의 파지 시, 상기 제1 그립부를 제1 방향으로, 그리고 상기 제2 그립부를 상기 제1 방향에 반대인 제2 방향으로 직선 이동시키는 구동부를 포함하되,
    상기 제1 그립부 및 상기 제2 그립부 각각은,
    상기 기판의 제1 영역 또는 제2 영역이 수용되는 수용 공간이 형성된 그리퍼
    일 단이 상기 그리퍼와 결합하고, 상기 바디 프레임의 측부에 형성된 가이드 공간에 삽입되어 상기 그리퍼의 상기 이동을 안내하는 가이드를 포함하되,
    상기 제1영역 및 상기 제2 영역은 상기 기판의 내부에 형성된 공간에 위치되는 기판 그립 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 바디 프레임의 제3 측부에 배치되며, 상기 기판의 제3 영역을 파지하는 제3 그립부; 및
    상기 바디 프레임의 제4 측부에 배치되며, 상기 기판의 제4 영역을 파지하는 제4 그립부를 더 포함하되,
    상기 기판의 파지 시 상기 구동부의 구동으로,
    상기 제3 그립부는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향으로 직선 이동하고, 상기 제4 그립부는 상기 제3 방향에 반대인 제4 방향으로 직선 이동하는 기판 그립 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 그립부 및 상기 제2 그립부 각각은,
    상기 수용 공간을 사이에 두고 상기 수용 공간의 상부 및 하부에 배치되는 제1 및 제2 롤러(roller); 및
    상기 제1 롤러의 상부와 상기 제2 롤러의 하부에 배치되며, 상기 수용 공간을 향해 상기 제1 롤러 및 상기 제2 롤러에 탄성력을 제공하는 제1 및 제2 탄성체를 더 포함하는 기판 그립 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 그리퍼는, 상기 수용공간을 사이에 두고 마주 배치되는 제1 입구부와 제2 입구부를 포함하며,
    상기 제1 입구부와 상기 제2 입구부에는 서로 마주하는 면에 홈이 형성된 기판 그립 장치.
  5. 제3 항에 있어서,
    상기 구동부는,
    그 끝단이 상기 제1 그립부와 결합하며, 상기 제1 그립부를 상기 제1 방향으로 이동시키는 제1 피스톤 로드; 및
    그 끝단이 상기 제2 그립부와 결합하며, 상기 제2 그립부를 상기 제2 방향으로 이동시키는 제2 피스톤 로드를 포함하는 기판 그립 장치.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 구동부는 상기 기판의 파지 시, 상기 제1 및 제2 그립부를 동시에 이동시키는 기판 그립 장치.
KR1020170080349A 2017-06-26 2017-06-26 기판 그립 장치. KR101981389B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170080349A KR101981389B1 (ko) 2017-06-26 2017-06-26 기판 그립 장치.

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170080349A KR101981389B1 (ko) 2017-06-26 2017-06-26 기판 그립 장치.

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20190001038A KR20190001038A (ko) 2019-01-04
KR101981389B1 true KR101981389B1 (ko) 2019-05-22

Family

ID=65017730

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170080349A KR101981389B1 (ko) 2017-06-26 2017-06-26 기판 그립 장치.

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101981389B1 (ko)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000031250A (ja) * 1998-07-13 2000-01-28 Nikon Corp 搬送装置及び搬送方法
JP2006026826A (ja) 2004-07-16 2006-02-02 Aoi Electronics Co Ltd ナノグリッパ装置
JP2006026827A (ja) 2004-07-16 2006-02-02 Aoi Electronics Co Ltd 測長機能付きナノグリッパ装置
JP2017030136A (ja) 2015-07-30 2017-02-09 日本精工株式会社 テーブル装置、位置決め装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、及び精密機械

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100712420B1 (ko) 2006-05-30 2007-04-27 전자부품연구원 그리퍼 및 그를 구비한 그립 장치
KR20090029402A (ko) * 2007-09-18 2009-03-23 세메스 주식회사 기판 이송 장치
KR20120058198A (ko) * 2010-11-29 2012-06-07 주식회사 케이씨텍 대면적 기판의 지지장치
KR20150089174A (ko) * 2014-01-27 2015-08-05 주식회사 선익시스템 기판의 클램핑 장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000031250A (ja) * 1998-07-13 2000-01-28 Nikon Corp 搬送装置及び搬送方法
JP2006026826A (ja) 2004-07-16 2006-02-02 Aoi Electronics Co Ltd ナノグリッパ装置
JP2006026827A (ja) 2004-07-16 2006-02-02 Aoi Electronics Co Ltd 測長機能付きナノグリッパ装置
JP2017030136A (ja) 2015-07-30 2017-02-09 日本精工株式会社 テーブル装置、位置決め装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、及び精密機械

Also Published As

Publication number Publication date
KR20190001038A (ko) 2019-01-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108687791B (zh) 夹具以及机器人***
US11908123B2 (en) Object inspection apparatus and object inspection method using same
WO2017113364A1 (zh) 多工位传递机械手机构
KR101411546B1 (ko) 폭 조절수단이 구비된 진공흡착 그리퍼
KR101399507B1 (ko) 정형물 그리핑용 작업툴
US4778329A (en) Robot with floating XY plane arm
US11325667B2 (en) System for changing height of hanger mounting plate
US20220134582A1 (en) Robotic processing system
US9687985B2 (en) Robot hand having workpiece positioning function, robot system, and method of positioning and gripping workpiece
WO2017113411A1 (zh) Usb金属外壳的扩管传递冲床
US11305436B2 (en) Lateral gripper
WO2017203945A1 (ja) ワーク把持装置およびワーク把持方法
KR101981389B1 (ko) 기판 그립 장치.
KR101251585B1 (ko) 범용 박스 핸들링 로봇 핸드
WO2020008744A1 (ja) 搬送装置
CN215183895U (zh) 一种晶片载盘搬运用吸附机械手
JP6789394B2 (ja) 部品反転装置
JP2012200806A (ja) ハンド装置
CN205552571U (zh) 一种用于工业搬运机器人手臂机构
CN107984490B (zh) 真空吸盘机械手
CN109926780B (zh) 一种多平面同步焊接工装
CN219135702U (zh) 手爪及移载装置
CN216360242U (zh) 一种fpc夹持装置
CN220515946U (zh) 组装设备
CN211056008U (zh) 柔性连接搬运装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant