KR101979075B1 - 클린룸용 스택커 - Google Patents

Abstract

본 발명에 의한 클린룸용 스택커는, 하부 프레임에 수직하게 설치되며, 서로 이격되어 평행하게 마련되는 좌측 기둥 및 우측 기둥; 상기 좌측 기둥과 상기 우측 기둥 사이에 상하로 이동 가능하게 설치되는 캐리지; 상기 좌측 기둥에 설치되며, 상기 캐리지를 상하로 이동시키는 좌측 캐리지 구동부; 상기 우측 기둥에 설치되며, 상기 캐리지를 상하로 이동시키는 우측 캐리지 구동부; 일단은 상기 좌측 캐리지 구동부의 밸런스 웨이트에 고정되며, 타단은 상기 캐리지의 우측단 하면에 고정되는 좌측 균형부재; 일단은 상기 우측 캐리지 구동부의 밸런스 웨이트에 고정되며, 타단은 상기 캐리지의 좌측단 하면에 고정되는 우측 균형부재; 상기 캐리지의 우측단 아래에 설치되며, 상기 좌측 균형부재를 안내하는 좌측 아이들 부재; 및 상기 캐리지의 좌측단 아래에 설치되며, 상기 우측 균형부재를 안내하는 우측 아이들 부재;를 포함한다.

Description

클린룸용 스택커{Stacker for clean room}

본 발명은 스택커에 관한 것으로서 더욱 상세하게는 클린룸용 스택커에 관한 것이다.

평판 표시장치(Flat Panel Display) 중에서 액정표시장치는 텔레비전, 모니터, 노트북 컴퓨터 등 다양한 분야에 널리 사용되고 있다.

이러한 액정표시장치 산업의 발전과 보급은 액정표시장치의 크기와 해상도의 증가에 의해 가속되었으며, 현재는 가격 경쟁력을 높이기 위해 생산성 증대가 요구되고 있다.

이와 같은 액정표시장치는 여러 공정을 거치면서 제조된다. 예를 들면, 액정표시장치의 제조공정은 유리 기판상에 픽셀(Pixel) 단위의 신호를 인가하는 스위칭 소자들을 형성하는 TFT(Thin Film Transistor: 박막 트랜지스터) 공정, 색상을 구현하기 위한 컬러 RGB(Red, Green, Blue) 어레이를 형성하는 컬러 필터(Color Filter) 공정, 상기 각 공정을 거쳐 형성된 TFT 기판과 컬러 필터 기판 사이에 액정 셀(Cell)을 형성하는 액정 공정을 포함할 수 있다.

상기와 같은 액정표시장치의 제조 공정은 순차적으로 행하여 지며, 각 제조 공정을 거치기 위해 상기 기판이 각각의 제조 공정에 사용되는 제조 장비로 반송 또는 이송된다.

이때, 상기 각 기판들은 미세 먼지나 입자에 의해서도 쉽게 불량이 발생하기 때문에 상기 각 공정 사이를 이동하는 기판들은 매우 청정한 상태로 유지되어야 한다. 이를 위해 상기 기판들은 카세트에 수납된 상태로 공정 사이를 이동하도록 구성된다. 따라서, 기판들이 수납된 카세트 각 공정 사이를 이동하는 동안 일정 장소에 위치하며, 클린룸 환경을 제공하는 스토커 시스템의 내부에 저장될 수 있다.

스토커 시스템은 복수의 카세트가 수용되는 선반과 카세트를 선반에 로딩하거나 언로딩하는 클린룸용 스택커(또는 랙 마스터(rack master))를 포함할 수 있다.

이하, 첨부된 도 1을 참조하여 종래 기술에 따른 클린룸용 스택커에 대해 설명한다.

도 1은 종래 기술에 따른 클린룸용 스택커를 개략적으로 나타내는 도면이다.

도 1을 참조하면, 종래 기술에 의한 클린룸용 스택커(1)는 하부 프레임(10), 좌측 기둥(20), 우측 기둥(30), 상부 프레임(40), 캐리지(50), 및 포크(60)를 포함할 수 있다.

하부 프레임(10)은 스택커(1)의 베이스를 형성하며, 좌측 기둥(20) 및 우측 기둥(30)을 지지한다. 좌측 기둥(20) 및 우측 기둥(30)은 하부 프레임(10)의 상면에 수직하게 설치된다. 또한, 좌측 기둥(20)과 우측 기둥(30)은 일정 간격 이격되며 서로 평행하게 하부 프레임(10)에 설치된다. 상부 프레임(40)은 좌측 기둥(20)의 상단과 우측 기둥(30)의 상단을 연결한다.

캐리지(50)는 좌측 기둥(20)과 우측 기둥(30)의 사이에 상하로 이동 가능하게 설치된다. 포크(60)는 캐리지(50)의 상면에 설치되며, 상술한 카세트를 선반에 로딩하거나 언로딩할 수 있도록 형성된다.

캐리지(50)를 상하로 이동시키기 위해 캐리지 승강유닛이 마련된다. 캐리지 승강유닛은 좌측 기둥(20)에 설치되는 좌측 캐리지 구동부(70)와 우측 기둥(30)에 설치되는 우측 캐리지 구동부(80)를 포함한다.

좌측 캐리지 구동부(70)는 구동 풀리(71), 피동 풀리(72), 벨트(73,74), 및 모터를 포함할 수 있다. 구동 풀리(71)는 좌측 기둥(20)의 하단에 설치되며, 피동 풀리(72)는 좌측 기둥(20)의 상단에 설치된다. 구동 풀리(71)와 피동 풀리(72)는 벨트(73,74)의 내측에 설치되며, 벨트(73,74)가 이동할 수 있도록 지지한다. 벨트(73,74)에는 밸런스 웨이트가 설치되며, 벨트(73,74)의 일단은 캐리지(50)의 좌측부의 상단에 연결되며, 벨트(73,74)의 타단은 캐리지(50)의 좌측부의 하단에 연결된다. 모터는 구동 풀리(71)를 회전시킬 수 있도록 설치된다.

우측 캐리지 구동부(80)는 우측 기둥(30)에 설치되는 것 외에는 상술한 좌측 캐리지 구동부(70)와 동일하다.

따라서, 좌측 캐리지 구동부(70)와 우측 캐리지 구동부(80)의 모터가 회전하면, 좌측 및 우측 캐리지 구동부(70,80)의 구동 풀리(71,81)가 회전하게 된다. 구동 풀리(71,81)가 회전하면 구동 풀리(71,81)와 피동 풀리(72,82)에 의해 지지되는 벨트(73,,74,83,84)가 이동하게 된다. 벨트(73,74,83,84)가 이동하면, 벨트(73.74,83,84)의 양단이 고정된 캐리지(50)가 좌측 및 우측 캐리지 구동부(70,80)의 벨트(73,74,83,84)와 함께 상하로 이동하게 된다.

이와 같이 종래 기술에 의한 클린룸용 스택커(1)의 캐리지(50)는 좌측 및 우측 캐리지 구동부(70,80)에 의해 상하로 이동할 수 있다. 이때, 캐리지(50)에 설치된 포크(60)가 캐비넷을 취부하여 스토커 시스템의 선반에 로딩 또는 언로딩을 하므로 캐리지(50)는 하부 프레임(10)에 평행한 상태로 상하로 이동할 필요가 있다. 이를 위해, 종래 기술에 의한 클린룸용 스택커(1)의 제어부(미도시)는 좌측 및 우측 캐리지 구동부(70,80)에 마련된 2개의 모터를 동기 제어하고 있다.

그러나 노이즈 등에 의해 제어부가 2개의 모터의 동기 제어를 수행할 수 없는 경우에는 캐리지(50)가 기울어져 포크(60)가 스토커 시스템의 선반에 충돌하는 경우가 발생할 수 있다. 따라서, 이와 같이 제어부에 의한 소프트웨어적인 동기화가 수행되지 않는 경우에도 캐리지가 기울어지는 것을 방지할 수 있는 하드웨어적인 스택커의 구조가 필요하다.

이를 방지하기 위해 기울기 감지센서를 설치하여, 캐리지가 기울어지는 것을 감지하고 있으나, 이는 캐리지가 기울어진 후에 감지하는 것이므로 감지센서가 작동한 경우에는 이미 사고가 난 후이며, 추가로 더 큰 사고가 발생하는 것을 방지하기 위한 것이다.

따라서, 원천적으로 캐리지가 기울어지는 것을 방지할 수 있는 구조를 갖는 스택커가 요구되고 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 창안한 것으로서, 스택커의 좌측 및 우측 캐리지 구동부가 소프트웨어적으로 동기 제어되지 않는 경우에도 캐리지가 바닥면에 대해 수평을 유지할 수 있는 구조를 갖는 클린룸용 스택커를 제공하는 것을 그 과제로 한다.

상기와 같은 과제를 달성하기 위해, 본 발명의 일 측면에 따르는 클린룸용 스택커는, 하부 프레임에 수직하게 설치되며, 서로 이격되어 평행하게 마련되는 좌측 기둥 및 우측 기둥; 상기 좌측 기둥과 상기 우측 기둥 사이에 상하로 이동 가능하게 설치되는 캐리지; 상기 좌측 기둥에 설치되며, 상기 캐리지를 상하로 이동시키는 좌측 캐리지 구동부; 상기 우측 기둥에 설치되며, 상기 캐리지를 상하로 이동시키는 우측 캐리지 구동부; 일단은 상기 좌측 캐리지 구동부의 밸런스 웨이트에 고정되며, 타단은 상기 캐리지의 우측단 하면에 고정되는 좌측 균형부재; 일단은 상기 우측 캐리지 구동부의 밸런스 웨이트에 고정되며, 타단은 상기 캐리지의 좌측단 하면에 고정되는 우측 균형부재; 상기 캐리지의 우측단 아래에 설치되며, 상기 좌측 균형부재를 안내하는 좌측 아이들 부재; 및 상기 캐리지의 좌측단 아래에 설치되며, 상기 우측 균형부재를 안내하는 우측 아이들 부재;를 포함할 수 있다.

이때, 상기 좌측 캐리지 구동부는 상기 좌측 기둥의 하단부에 설치되는 좌측 캐리지 구동부재, 상기 좌측 기둥의 상단부에 설치되는 좌측 캐리지 피동부재, 및 상기 좌측 캐리지 구동부재와 상기 좌측 캐리지 피동부재에 감기며, 양단이 상기 캐리지의 좌측단에 고정되는 좌측 캐리지 동력전달부재를 포함하며, 상기 우측 캐리지 구동부는 상기 우측 기둥의 하단부에 설치되는 우측 캐리지 구동부재, 상기 우측 기둥의 상단부에 설치되는 우측 캐리지 피동부재, 및 상기 우측 캐리지 구동부재와 상기 우측 캐리지 피동부재에 감기며, 양단이 상기 캐리지의 우측단에 고정되는 우측 캐리지 동력전달부재를 포함할 수 있다.

또한, 상기 좌측 균형부재는 상기 좌측 캐리지 동력전달부재와 중첩적으로 설치되고, 상기 우측 균형부재는 상기 우측 캐리지 동력전달부재와 중첩적으로 설치될 수 있다.

또한, 상기 좌측 균형부재와 상기 우측 균형부재는 각각 와이어, 체인, 타이밍 벨트, 벨트, 로프 중 하나로 형성될 수 있다.

본 발명의 다른 측면에 따르는 클린룸용 스택커는, 하부 프레임에 수직하게 설치되며, 서로 이격되어 평행하게 마련되는 좌측 기둥 및 우측 기둥; 상기 좌측 기둥과 상기 우측 기둥 사이에 상하로 이동 가능하게 설치되는 캐리지; 상기 좌측 기둥의 하단부 및 상단부에 각각 설치되는 좌측 캐리지 구동부재와 좌측 캐리지 피동부재; 상기 우측 기둥의 하단부 및 상단부에 각각 설치되는 우측 캐리지 구동부재와 우측 캐리지 피동부재; 상기 좌측 캐리지 구동부재와 상기 좌측 캐리지 피동부재에 감기며, 일단은 상기 캐리지의 제1단의 상면에 고정되며, 타단은 상기 캐리지의 제1단의 하면에 고정되는 좌측 캐리지 동력전달부재; 상기 우측 캐리지 구동부재와 상기 우측 캐리지 피동부재에 감기며, 일단은 상기 캐리지의 제2단의 상면에 고정되며, 타단은 상기 캐리지의 제2단의 하면에 고정되는 우측 캐리지 동력전달부재; 상기 좌측 캐리지 동력전달부재에서 분기되며, 일단이 상기 캐리지의 제2단의 하면에 고정되는 좌측 보조부재; 상기 캐리지의 아래에 설치되며, 상기 좌측 보조부재를 지지하는 좌측 아이들 부재; 상기 우측 캐리지 동력전달부재에서 분기되며, 일단이 상기 캐리지의 제1단의 하면에 고정되는 우측 보조부재; 및 상기 캐리지의 아래에 설치되며, 상기 우측 보조부재를 지지하는 우측 아이들 부재;를 포함할 수 있다.

본 발명의 또 다른 측면에 따르는 클린룸용 스택커는, 하부 프레임에 수직하게 설치되며, 서로 이격되어 평행하게 마련되는 좌측 기둥 및 우측 기둥; 상기 좌측 기둥과 상기 우측 기둥 사이에 상하로 이동 가능하게 설치되는 캐리지; 상기 좌측 기둥의 하단부 및 상단부에 각각 설치되는 좌측 캐리지 구동부재와 좌측 캐리지 피동부재; 상기 우측 기둥의 하단부 및 상단부에 각각 설치되는 우측 캐리지 구동부재와 우측 캐리지 피동부재; 상기 좌측 캐리지 구동부재와 상기 좌측 캐리지 피동부재에 감기며, 일단은 상기 캐리지의 좌측단의 상면에 고정되며, 타단은 상기 캐리지의 우측단의 하면에 고정되는 좌측 캐리지 동력전달부재; 상기 우측 캐리지 구동부재와 상기 우측 캐리지 피동부재에 감기며, 일단은 상기 캐리지의 우측단의 상면에 고정되며, 타단은 상기 캐리지의 좌측단의 하면에 고정되는 우측 캐리지 동력전달부재; 상기 캐리지의 우측단 아래에 설치되며, 상기 좌측 캐리지 동력전달부재를 지지하는 좌측 아이들 부재; 및 상기 캐리지의 좌측단 아래에 설치되며, 상기 우측 캐리지 동력전달부재를 지지하는 우측 아이들 부재;를 포함할 수 있다.

상기와 같은 구조를 갖는 본 발명의 일 실시예에 의한 클린룸용 스택커는 노이즈 등에 의해 제어부가 소프트웨어적으로 캐리지를 승강시키는 좌측 모터와 우측 모터를 동기 제어할 수 없는 경우에도 캐리지가 바닥면에 대해 기울어지지 않고 수평 상태를 유지한 채로 상승 및 하강할 수 있다.

따라서, 본 발명의 일 실시예에 의한 스택커는, 종래 기술에 의한 스택커에서 제어부가 좌측 모터와 우측 모터의 동기 제어를 할 수 없는 경우에 발생하는 캐리지의 기울어짐을 원천적으로 방지할 수 있으므로, 캐리지의 기울어짐에 의한 포크와 선반의 충돌을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.

따라서, 본 발명의 일 실시예에 의한 스택커는 캐리지의 기울어짐이 발생하지 않으므로 스택커를 사용하는 제조라인의 가동중지를 예방할 수 있다는 이점이 있다.

도 1은 종래기술에 의한 클린룸용 스택커를 나타내는 정면도;
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 클린룸용 스택커를 나타내는 정면도;
도 3은 도 2의 클린룸용 스택커의 측면도;
도 4는 도 2의 클린룸용 스택커를 선 Ⅰ-Ⅰ에서 절단하여 나타낸 단면도;
도 5a는 본 발명의 일 실시예에 의한 클린룸용 스택커의 균형부재의 일단에 설치되는 길이 및 장력 조절 구조를 나타낸 단면도;
도 5b는 본 발명의 일 실시예에 의한 클린룸용 스택커의 균형부재의 일단에 설치되는 락킹 방지 및 미세 기울어짐 감지 구조를 나타낸 단면도;
도 5c는 도 5b의 락킹 방지 및 미세 기울어짐 감지 구조를 선Ⅰ-Ⅰ을 따라 절단하여 나타낸 부분 단면도;
도 6은 본 발명의 일 실시예에 의한 클린룸용 스택커에서 캐리지가 상승한 경우를 나타내는 정면도;
도 7은 도 6의 클린룸용 스택커의 측면도;
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 의한 클린룸용 스택커를 나타내는 정면도;
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 클린룸용 스택커를 나타내는 정면도;
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 클린룸용 스택커를 나타내는 정면도;이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 클린룸용 스택커의 실시 예들에 대하여 상세하게 설명한다.

이하에서 설명되는 실시 예는 본 발명의 이해를 돕기 위하여 예시적으로 나타낸 것이며, 본 발명은 여기서 설명되는 실시 예들과 다르게 다양하게 변형되어 실시될 수 있음이 이해되어야 할 것이다. 다만, 이하에서 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성요소에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명 및 구체적인 도시를 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 발명의 이해를 돕기 위하여 실제 축척대로 도시된 것이 아니라 일부 구성요소의 치수가 과장되게 도시될 수 있다.

이하, 본 발명의 일 실시예에 의한 클린룸용 스택커를 도 2 내지 도 4를 참조하여 상세하게 설명한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 클린룸용 스택커를 나타내는 정면도이고, 도 3은 도 2의 클린룸용 스택커의 측면도이다. 도 4는 도 2의 클린룸용 스택커를 선 Ⅰ-Ⅰ에서 절단하여 나타낸 단면도이다.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 클린룸용 스택커(100)는 하부 프레임(110), 좌측 기둥(120), 우측 기둥(130), 상부 프레임(140), 캐리지(150)를 포함할 수 있다.

하부 프레임(110)은 클린룸용 스택커(100)의 베이스를 형성하며, 좌측 기둥(120)과 우측 기둥(130)을 지지한다. 하부 프레임(110)은 바닥에 설치된 레일(3)을 따라 X 방향으로 직선 이동할 수 있도록 설치될 수 있다. 따라서, 하부 프레임(110)에는 클린룸용 스택커(100)를 X 방향으로 직선 이동시킬 수 있는 X축 구동원(미도시)이 설치된다.

좌측 기둥(120)과 우측 기둥(130)은 하부 프레임(110)의 상면에 수직하게 설치된다. 또한, 좌측 기둥(120)과 우측 기둥(130)은 일정 간격 이격되며 서로 평행하게 하부 프레임(110)에 설치된다. 좌측 기둥(120)과 우측 기둥(130)은 대략 I자 형상의 단면을 갖는 기둥으로 형성될 수 있다. 우측 기둥(130)을 마주하는 좌측 기둥(120)의 일면에는 캐리지(150)의 상하 이동을 안내하는 가이드 부재(121)가 설치된다. 또한, 좌측 기둥(120)을 마주하는 우측 기둥(130)의 일면에도 캐리지(150)의 상하 이동을 안내하는 가이드 부재(131)가 설치된다. 좌측 기둥(120)과 우측 기둥(130) 각각에 설치되는 가이드 부재(121,131)는 엘엠 가이드(LM GUIDE)로 형성될 수 있다.

상부 프레임(140)은 좌측 기둥(120)의 상단과 우측 기둥(130)의 상단을 연결하도록 설치된다. 따라서, 하부 프레임(110), 좌측 프레임(120), 상부 프레임(140), 및 우측 프레임(130)이 한 개의 직사각 틀을 형성하므로 클린룸용 스택커(100)의 강성을 높일 수 있다.

캐리지(150)는 좌측 기둥(120)과 우측 기둥(130)의 사이에 상하로 직선 이동 가능하게 설치된다. 캐리지(150)는 대략 직사각형의 평판으로 형성되며, 캐리지(150)의 제1단과 제2단, 즉 캐리지(150)의 좌측단과 우측단은 좌측 기둥(120)과 우측 기둥(130)에 마련된 가이드 부재(121,131)에 슬라이드 가능하도록 형성된다. 예를 들어, 캐리지(150)의 양단에는 한 쌍의 승강 프레임(151,152)이 설치될 수 있다. 캐리지(150)의 제1단, 즉 좌측단에 설치되는 좌측 승강 프레임(151)은 캐리지(150)의 상면에 수직하게 마련되며, 좌측 기둥(120)을 마주하는 면에는 좌측 기둥(120)에 설치된 가이드 부재(121)에 의해 안내될 수 있는 피가이드 부재가 마련된다. 캐리지(150)의 제2단, 즉 우측단에 설치되는 우측 승강 프레임(152)은 캐리지(150)의 상면에 수직하게 좌측 승강 프레임(151)과 마주하도록 마련되며, 우측 기둥(130)을 마주하는 면에는 우측 기둥(130)에 설치된 가이드 부재(131)에 의해 안내될 수 있는 피가이드 부재가 마련된다. 즉, 좌측 승강 프레임(151)과 우측 승강 프레임(152)은 서로 평행하게 캐리지(150)의 양단에 마련된다.

일 예로서, 좌측 기둥(120)과 우측 기둥(130)에 각각 마련된 가이드 부재(121,131)가 엘엠 가이드(LM Guide)인 경우, 좌측 및 우측 승강 프레임(120,130)에 각각 사용되는 피가이드 부재는 엘엠 블록(LM block)으로 형성될 수 있다. 따라서, 캐리지(150)는 좌측 기둥(120)과 우측 기둥(130)에 마련된 가이드 부재(121,131)를 따라 상하로 직선 이동을 할 수 있다.

이와 같은 캐리지(150)의 승강 이동(또는 상하 이동)을 위해 클린룸용 스택커(100)에는 캐리지 승강유닛이 마련된다. 캐리지 승강유닛은 캐리지(150)의 좌측 승강 프레임(151)을 구동하는 좌측 캐리지 구동부(170), 우측 승강 프레임(152)을 구동하는 우측 캐리지 구동부(180), 캐리지(150)의 수평을 유지하는 좌측 균형부재(191)와 우측 균형부재(192)를 포함한다.

좌측 캐리지 구동부(170)는 좌측 캐리지 구동부재(171), 좌측 캐리지 피동부재(172), 좌측 아이들부재(177), 좌측 캐리지 동력전달부재(173,174), 좌측 구동원(176)을 포함할 수 있다.

이하의 설명에서는 좌측 캐리지 구동부재(171)로 구동 풀리를 사용하고, 좌측 캐리지 피동부재(172)로 피동 풀리를 사용하며, 좌측 아이들부재(177)로 아이들 풀리를 사용하며, 좌측 캐리지 동력전달부재(173,174)로 벨트를 사용하고, 좌측 구동원(176)으로 모터를 사용한다.

따라서, 좌측 캐리지 구동부(170)는 좌측 구동 풀리(171), 좌측 피동 풀리(172), 좌측 벨트(173,174), 좌측 아이들 풀리(177), 및 좌측 모터(176)를 포함할 수 있다. 좌측 구동 풀리(171)는 좌측 기둥(120)의 하단부에 설치되고, 좌측 피동 풀리(172)는 좌측 기둥(120)의 상단부에 설치될 수 있다. 좌측 구동 풀리(171)와 좌측 피동 풀리(172)는 좌측 벨트(173,174)의 내측에 설치되어 좌측 벨트(173,174)를 지지하며 이동시킨다. 좌측 아이들 풀리(177)는 캐리지(150)의 하측에 좌측 구동 풀리(171)와 일정 간격 이격되도록 하부 프레임(110)에 설치된다. 즉, 좌측 아이들 풀리(177)는 좌측 구동 풀리(171)에서 대략 캐리지(150)의 길이만큼 이격되어 우측 기둥(130)에 인접하도록 하측 프레임(110)에 설치된다. 따라서, 좌측 아이들 풀리(177)는 캐리지(150)의 우측단 아래에 마련된다. 좌측 모터(176)는 좌측 구동 풀리(171)를 회전시킬 수 있도록 하부 프레임(110)에 설치된다.

좌측 벨트(173,174)는 좌측 피동 풀리(172)에 의해 지지되는 상부 벨트(174), 좌측 구동 풀리(171)에 의해 지지되는 하부 벨트(173), 및 상부 벨트(174)와 하부 벨트(173)를 연결하는 밸런스 웨이트(175)로 구성된다. 좌측 벨트(173,174)의 일단(174a)은 캐리지(150)의 좌측단의 상면에 연결되며, 좌측 벨트(173,174)의 타단(173b)은 캐리지(150)의 우측부의 하면에 연결된다. 구체적으로, 도 2에 도시된 바와 같이, 상부 벨트(174)의 일단(174a)은 캐리지(150)의 좌측 승강 프레임(151)의 상단에 고정되며, 상부 벨트(174)는 좌측 기둥(120)의 상단부에 설치된 좌측 피동 풀리(172)를 감도록 설치되며, 밸런스 웨이트(175)의 상단에 상부 벨트(174)의 타단(174b)가 고정된다. 하부 벨트(173)의 일단(173b)은 캐리지(150)의 좌측 승강 프레임(151)의 하단에 고정되며, 하부 벨트(173)는 좌측 기둥(120)의 하단부에 설치된 좌측 구동 풀리(171)를 감도록 설치되며, 밸런스 웨이트(175)의 하단에 하부 벨트(173)의 타단(173a)이 고정된다.

이때, 좌측 벨트(173,174)로는 타이밍 벨트가 사용될 수 있으며, 좌측 구동 풀리(171), 좌측 피동 풀리(172), 좌측 아이들 풀리(177)는 타이밍 풀리가 사용될 수 있다.

우측 캐리지 구동부(180)는 좌측 캐리지 구동부(170)와 유사하게 마련된다. 즉, 우측 캐리지 구동부(180)는 우측 캐리지 구동부재(181), 우측 캐리지 피동부재(182), 우측 아이들부재(187), 우측 캐리지 동력전달부재(183,184), 우측 구동원(186)을 포함할 수 있다.

이하의 설명에서는, 우측 캐리지 구동부(180)는 좌측 캐리지 구동부(170)와 동일하게, 우측 캐리지 구동부재(181)로 구동 풀리를 사용하고, 우측 캐리지 피동부재(182)로 피동 풀리를 사용하며, 우측 아이들부재(187)로 아이들 풀리를 사용하며, 우측 캐리지 동력전달부재(183,184)로 벨트를 사용하고, 우측 구동원(186)으로 모터를 사용하고 있다.

따라서, 우측 캐리지 구동부(180)는 우측 구동 풀리(181), 우측 피동 풀리(182), 우측 벨트(183,184), 우측 아이들 풀리(187), 및 우측 모터(186)를 포함할 수 있다. 우측 구동 풀리(181)는 우측 기둥(130)의 하단부에 설치되고, 우측 피동 풀리(182)는 우측 기둥(130)의 상단부에 설치될 수 있다. 우측 구동 풀리(181)와 우측 피동 풀리(182)는 우측 벨트(183,184)의 내측에 설치되어 우측 벨트(183,184)를 지지하며 이동시킨다. 우측 아이들 풀리(187)는 캐리지(150)의 하측에 우측 구동 풀리(181)와 이격되도록 하부 프레임(110)에 설치된다. 즉, 우측 아이들 풀리(187)는 우측 구동 풀리(181)에서 대략 캐리지(150)의 길이만큼 이격되어 좌측 기둥(120)에 인접하도록 하부 프레임(110)에 설치된다. 따라서, 우측 아이들 풀리(187)는 캐리지(150)의 좌측단의 아래에 마련된다. 우측 모터(186)는 우측 구동 풀리(181)를 회전시킬 수 있도록 하부 프레임(110)에 설치된다.

우측 벨트(183,184)는 우측 피동 풀리(182)에 의해 지지되는 상부 벨트(184), 우측 구동 풀리(181)에 의해 지지되는 하부 벨트(183), 및 상부 벨트(184)와 하부 벨트(183)를 연결하는 밸런스 웨이트(185)로 구성된다. 우측 벨트(183,184)의 일단(184a)은 캐리지(150)의 우측단의 상면에 연결되며, 우측 벨트(183,184)의 타단(183b)은 캐리지(150)의 우측단의 하면에 연결된다. 구체적으로, 도 2에 도시된 바와 같이, 상부 벨트(184)의 일단(184a)은 캐리지(150)의 우측 승강 프레임(152)의 상단에 고정되며, 상부 벨트(184)는 우측 기둥(130)의 상단부에 설치된 좌측 피동 풀리(182)를 감도록 설치되며, 밸런스 웨이트(185)의 상단에 상부 벨트(184)의 타단(184b)가 고정된다. 하부 벨트(183)의 일단(183b)은 캐리지(150)의 우측 승강 프레임(152)의 하단에 고정되며, 하부 벨트(183)는 우측 기둥(130)의 하단부에 설치된 우측 구동 풀리(181)를 감도록 설치되며, 밸런스 웨이트(185)의 하단에 하부 벨트(183)의 타단(183a)이 고정된다.

이때, 우측 벨트(183,184)로는 타이밍 벨트가 사용될 수 있으며, 우측 구동 풀리(181), 우측 피동 풀리(182), 우측 아이들 풀리(187)로는 타이밍 풀리가 사용될 수 있다.

캐리지(150)의 수평을 유지하기 위한 좌측 균형부재(191)는 좌측 벨트(173,174)의 밸런스 웨이트(175)의 하단과 캐리지(150)의 우측단의 하면을 연결하도록 설치된다. 즉, 좌측 균형부재(191)의 일단(191a)은 밸런스 웨이트(175)의 하단에 고정되고, 좌측 균형부재(191)는 좌측 벨트의 하부 벨트(173)의 상측으로 좌측 구동 풀리(171)를 감아 돌아 좌측 아이들 풀리(177)에 감긴 후, 좌측 균형부재(191)의 타단(191b)이 캐리지(150)의 우측단의 하면, 즉 우측 승강 프레임(152)의 하단에 고정된다. 따라서, 좌측 균형부재(191)는 하부 벨트(173)와 중첩적으로 설치될 수 있다. 다른 예로는, 좌측 균형부재(191)는 하부 벨트(173)의 일측에 설치될 수도 있다.

우측 균형부재(192)는 우측 벨트(183,184)의 밸런스 웨이트(185)의 하단과 캐리지(150)의 좌측단의 하면을 연결하도록 설치된다. 즉, 우측 균형부재(192)의 일단(192a)은 밸런스 웨이트(185)의 하단에 고정되고, 우측 균형부재(192)는 우측 벨트의 하부 벨트(183)의 상측으로 좌측 구동 풀리(181)를 감아 돌아 우측 아이들 풀리(187)에 감긴 후, 우측 균형부재(192)의 타단(192b)이 캐리지(150)의 좌측단의 하면, 즉 좌측 승강 프레임(151)의 하단에 고정된다. 따라서, 우측 균형부재(192)는 하부 벨트(183)와 중첩적으로 설치된다. 다른 예로는, 우측 균형부재(192)는 하부 벨트(183)의 일측에 설치될 수도 있다.

또한, 하부 프레임(110)의 상부를 지나는 좌측 균형부재(191)의 일부와 우측 균형부재(192)의 일부가 서로 간섭되지 않도록 좌측 아이들 풀리(177)와 우측 아이들 풀리(187) 각각은 하부 프레임(110)의 중심선(CL)에 대해 반대측에 설치될 수 있다. 예를 들면, 도 4에 도시된 바와 같이 좌측 아이들 풀리(177)는 하부 프레임(110)의 중심선(CL)보다 위쪽에 설치된다. 이때, 좌측 균형부재(191)가 좌측 아이들 풀리(177)에 의해 안정적으로 안내될 수 있도록 좌측 균형부재(191)의 일단(191a)도 좌측 밸런스 웨이트(175)의 하단에 한쪽으로 치우치게 고정된다. 또한, 우측 아이들 풀리(187)는 하부 프레임(110)의 중심선(CL)보다 아래쪽에 설치된다. 이때, 우측 균형부재(192)가 우측 아이들 풀리(187)에 의해 안정적으로 안내될 수 있도록 우측 균형부재(192)의 일단(192a)도 밸런스 웨이트(185)의 하단에 한쪽으로 치우치게 고정된다. 따라서, 좌측 아이들 풀리(177)와 우측 아이들 풀리(187)는 Y축 방향으로 서로 이격되어 있으므로, 좌측 균형부재(191)와 우측 균형부재(192)는 서로 간섭되지 않는다.

상술한 좌측 균형부재(191)와 우측 균형부재(192)는 와이어, 체인, 타이밍 벨트, 벨트, 로프 등으로 형성할 수 있다. 또한, 좌측 아이들 부재(177)와 우측 아이들 부재(187)는 좌측 균형부재(191)와 우측 균형부재(192)의 이동을 안내 및 지지할 수 있도록 풀리, 스프라켓 등으로 형성할 수 있다.

좌측 및 우측 밸런스 웨이트(175,185)와 캐리지(150)를 연결하는 좌측 균형부재(191)와 우측 균형부재(192)(이하, 균형부재라 함)는 균형부재(191,192)의 길이와 장력을 조절할 수 있도록 밸런스 웨이트(175,185)와 캐리지(150)에 연결될 수 있다.

도 5a는 본 발명의 일 실시예에 의한 클린룸용 스택커의 균형부재의 일단에 설치되는 길이 및 장력 조절 구조를 나타낸 단면도이다.

도 5a를 참조하면, 균형부재(401)의 일단에는 고정 부재(410)가 설치된다. 고정 부재(410)는 고정부(411)와 나사부(412)를 포함한다. 고정부(411)에는 균형 부재(401)의 일단이 결합되는 고정 홈(413)이 마련되고, 나사부(412)의 외주면에는 수나사가 형성된다. 도 5a는 균형부재(401)로 와이어를 사용하는 경우를 도시하고 있다. 따라서, 고정 부재(410)의 고정 홈(413)에 와이어의 일단이 결합되어 있다. 고정 부재(410)의 나사부(412)를 고정 브라켓(420)에 마련된 고정 구멍(421)에 삽입한 후, 2개의 너트(431,432)를 나사부(412)에 체결하면, 고정 부재(410)는 고정 브라켓(420)에 고정된다. 구체적으로, 제1너트(431)를 고정 부재(420)의 나사부(412)에 체결하고, 고정 부재(410)를 고정 브라켓(420)의 고정 구멍(421)에 삽입한 후, 제2너트(432)를 고정 부재(410)의 나사부(412)에 체결하면, 고정 부재(410)를 고정 브라켓(420)에 고정할 수 있다. 고정 브라켓(420)은 밸런스 웨이트(175,185) 또는 캐리지(150)에 마련될 수 있다. 따라서, 고정 부재(410)의 나사부(412)에 체결되는 제1 및 제2너트(431,432)를 조절하면, 균형부재(401)의 길이와 장력을 조절할 수 있다.

도 5a에 도시된 길이 및 장력 구조는 균형부재(401)의 일단 또는 양단에 설치할 수 있다. 즉, 길이 및 장력 구조는 밸런스 웨이트(175,185)와 캐리지(150) 중 어느 한쪽 또는 양쪽에 설치할 수 있다.

또한, 밸런스 웨이트(175,185)와 캐리지(150)를 연결하는 균형부재(401)는 캐리지(150)의 락킹을 방지하거나 캐리지(150)의 미세 기울어짐을 감지할 수 있도록 밸런스 웨이트(175,185)와 캐리지(150)에 연결될 수 있다.

도 5b는 본 발명의 일 실시예에 의한 클린룸용 스택커의 균형부재의 일단에 설치되는 락킹 방지 및 미세 기울어짐 감지 구조를 나타낸 단면도이다. 도 5c는 도 5b의 락킹 방지 및 미세 기울어짐 감지 구조를 선Ⅰ-Ⅰ을 따라 절단하여 나타낸 부분 단면도이다.

도 5b를 참조하면, 락킹 방지 및 미세 기울어짐 감지 구조는 고정 부재(440), 고정 브라켓(450), 스프링(460), 스프링 커버(470), 너트(480), 감지센서(475)를 포함한다.

고정 부재(440)는 균형부재(401)의 일단에 설치되는 것으로서, 고정부(441)와 나사부(442)를 포함한다. 고정부(441)에는 균형부재(401)의 일단이 결합되는 고정 홈(443)이 마련되고, 나사부(442)의 외주면에는 수나사가 형성된다. 도 5b는 균형부재(401)로 와이어를 사용하는 경우를 도시하고 있다. 따라서, 고정 부재(440)의 고정 홈(443)에 와이어의 일단이 결합되어 있다. 고정 부재(440)가 선회하지 않도록 고정 부재(440)의 나사부(442)의 하부, 즉 고정부(441)와 인접하는 부분에는 나사부(442)의 표면을 일정 깊이로 평탄하게 가공한 평탄부(444)가 형성될 수 있다. 이때, 평탄부(444)가 마련된 고정 부재(440)의 단면은 도 5c에 도시된 바와 같이 D자 형상의 단면이 된다. 평탄부(444)의 일측으로 고정 브라켓(450)에는 회전방지부재(490)가 설치된다. 따라서, 회전방지부재(490)의 일측면이 고정 부재(440)의 평탄부(444)와 접촉하도록 설치하면, 고정 부재(440)가 회전하는 것을 방지할 수 있다.

고정 브라켓(450)은 밸런스 웨이트(175,185) 또는 캐리지(150)에 마련될 수 있다. 고정 브라켓(450)에는 고정 부재(440)가 삽입될 수 있는 고정 구멍(451)이 마련된다. 고정 구멍(451)의 일측에는 고정 부재(440)의 회전을 방지하는 회전방지부재(490)가 설치된다.

스프링(460)은 고정 부재(440)의 둘레에 설치된다. 즉, 고정 부재(440)의 나사부(442)가 스프링(460)의 중앙에 삽입된다. 스프링(460)은 압축 코일 스프링이 사용될 수 있다.

스프링 커버(470)는 일단이 막힌 중공의 원통형으로 형성되어, 내부에 스프링(460)을 수용할 수 있다. 스프링 커버(470)의 일단에는 고정 부재(440)가 통과할 수 있도록 관통공(471)이 마련된다. 스프링 커버(470)는 스프링(460)보다 길이가 짧도록 마련된다. 예를 들면, 스프링(460)이 완전히 압축되었을 때, 스프링 커버(470)의 타단이 고정 브라켓(450)과 접촉하도록 스프링 커버(470)의 길이를 정할 수 있다. 또한, 스프링 커버(470)의 외주면에는 도그(472)가 마련된다. 도그(472)의 일측으로는 스프링 커버(470)의 기울어짐을 감지할 수 있는 감지센서(475)가 설치된다. 감지센서(475)로는 리미트 스위치, 근접 센서 등이 사용될 수 있다.

너트(480)는 고정 부재(440)의 나사부(442)에 체결되며, 고정 부재(440), 스프링(460), 및 스프링 커버(470)를 고정 브라켓(450)에 고정시킨다. 풀림 방지를 위해 2개의 너트(480)를 고정 부재(440)의 나사부(442)에 체결한다.

도 5b에 도시된 바와 같이, 고정 부재(440)와 고정 브라켓(450)의 사이에는 스프링(460)이 개재되어 있으므로, 균형부재(401)는 탄성력이 인가된 상태로 밸런스 웨이트(175,185)나 캐리지(150)에 고정되게 된다. 따라서, 캐리지(150)가 상하로 이동하는 중에 락킹이 되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 스프링 커버(470)의 외주면에는 도그(472)가 마련되고, 스프링 커버(470)의 일측에는 도그(472)에 의해 동작하는 감지센서(475)가 설치되어 있으므로, 캐리지(150)의 상하 동작 중에 스프링 커버(470)가 기울어지면 도그(472)에 의해 감지센서(475)가 동작하게 된다. 따라서, 캐리지(150)가 상하 동작 중에 미세하게 기울어지는 것을 감지할 수 있다.

도 5b에 도시된 락킹 방지 및 미세 기울어짐 감지 구조는 균형부재(401)의 일단 또는 양단에 설치할 수 있다. 즉, 락킹 방지 및 미세 기울어짐 감지 구조는 밸런스 웨이트(175,185)와 캐리지(150) 중 어느 한쪽 또는 양쪽에 설치할 수 있다.

또는, 균형부재(401)의 일단은 도 5a에 도시된 길이 및 장력 조절구조로 설치하고, 균형부재(401)의 타단은 도 5b에 도시된 락킹 방지 및 미세 기울어짐 감지 구조로 설치할 수 있다. 예를 들면, 밸런스 웨이트(175,185)에 결합되는 균형부재(401)의 일단은 길이 및 장력 조절구조로 고정하고, 캐리지(150)에 결합되는 균형부재(401)의 타단은 락킹 방지 및 미세 기울어짐 감지 구조로 고정할 수 있다.

캐리지(150)의 상면에는 적재물을 취부하여 선반에 로딩하거나 언로딩할 수 있는 포크(160)가 설치된다. 여기서, 적재물은 액정표시장치를 제조하는데 필요한 기판, 글래스, 필름, 마스크, 포토 마스크, 또는 이러한 기판, 글래스, 필름, 마스크, 포토 마스크이 수납된 카세트 등을 포함한다.

포크(160)는 캐리지(150)에 대해 180도 내지 360도 회전 가능하며, Y 방향으로 직선 이동 가능하도록 마련된다. 따라서, 캐리지(150)에는 포크(160)를 회전시킬 수 있는 회전 구동원과 포크(160)를 직선 이동시킬 수 있는 직선 구동원이 마련된다.

이하, 상기와 같은 구조를 갖는 본 발명의 일 실시예에 의한 클린룸용 스택커의 동작에 대해 도 2 내지 도 7를 참조하여 상세하게 설명한다.

본 발명의 일 실시예에 의한 클린룸용 스택커(100)는 제어부에 의해 X,Y,Z 방향으로 이동하며, 기판, 카세트 등과 같은 적재물을 집어 스토커 시스템의 선반에 로딩하거나 선반으로부터 언로딩할 수 있다.

예를 들어, 제어부는 하부 프레임(110)에 마련된 X축 구동원(미도시)을 제어하여 스택커(100)의 포크(160)의 X 방향 위치를 결정하고, 좌측 캐리지 구동부(170)와 우측 캐리지 구동부(180)를 동기 제어하여 스택커(100)의 포크(160)의 Z 방향 위치를 결정한다. 이후, 제어부는 포크(160)의 회전 구동원과 직선 구동원을 제어하여 포크(160)의 Y 방향 위치를 결정함으로써 선반에 적재물을 로딩하거나, 선반으로부터 적재물을 언로딩한다.

이하, 도 2, 도 3, 도 6, 및 도 7을 참조하여, 제어부가 좌측 캐리지 구동부(170)와 우측 캐리지 구동부(180)를 제어하여 캐리지(150)를 상하로 직선 이동시키는 동작에 대해 상세하게 설명한다.

도 2 및 도 3에 도시된 클린룸용 스택커(100)의 경우, 캐리지(150)가 제1위치, 즉 Z 방향으로 최하단에 위치한다. 이 상태에서, 제어부는 좌측 캐리지 구동부(170)와 우측 캐리지 구동부(180)를 제어하여 캐리지(150)를 상승시킬 수 있다.

구체적으로, 제어부가 좌측 캐리지 구동부(170)의 좌측 모터(176)와 우측 캐리지 구동부(180)의 우측 모터(186)를 동기 제어하여 좌측 모터(176)의 샤프트와 우측 모터(186)의 샤프트를 회전시키면, 샤프트에 고정된 좌측 구동 풀리(171)와 우측 구동 풀리(181)가 회전하게 된다.

도 2에서 좌측 구동 풀리(171)가 반시계방향으로 회전하면, 좌측 벨트(173,174)가 오른쪽으로 이동한다. 그러면, 좌측 구동 풀리(171)와 좌측 피동 풀리(172)를 통해 캐리지(150)의 좌측단의 상면에 일단(174a)이 고정되고, 캐리지(150)의 좌측단의 하면에 타단(173b)이 고정된 좌측 벨트(173,174)에 의해 캐리지(150)가 상측으로 이동한다.

또한, 우측 구동 풀리(181)가 시계방향으로 회전하면, 우측 벨트(183,184)가 왼쪽으로 이동한다. 그러면, 우측 구동 풀리(181)와 우측 피동 풀리(182)를 통해 캐리지(150)의 우측단의 상면에 일단(184a)이 고정되고, 캐리지(150)의 우측단의 하면에 타단(183b)이 고정된 우측 벨트(183,184)에 의해 캐리지(150)가 상측으로 이동한다.

이때, 좌측 모터(176)와 우측 모터(186)는 제어부에 의해 동기 제어되므로, 캐리지(150)는 좌측 기둥(120)과 우측 기둥(130)에 마련된 가이드 부재(121,131)를 따라 부드럽게 상승할 수 있다.

또한, 본 발명이 일 실시예에 의한 클린룸용 스택커(100)는 좌측 균형부재(191)의 일단(191a)이 좌측 밸런스 웨이트(175)의 하단에 고정되고, 타단(191b)이 캐리지(150)의 우측단의 하면에 고정되어 있다. 그리고 우측 균형부재(192)의 일단(192a)이 우측 밸런스 웨이트(185)의 하단에 고정되고, 타단(192b)이 캐리지(150)의 좌측단의 하면에 고정되어 있다. 따라서, 캐리지(150)가 상측으로 이동하기 위해서는 좌측 벨트(173,174)와 우측 벨트(183,184)가 동일한 거리를 이동하여야 한다. 그러므로 제어부에 문제가 발생하여, 좌측 모터(176)와 우측 모터(186)의 동기 제어가 이루어지지 않는 경우에도, 캐리지(150)의 기울어짐이 발생하지 않고, 바닥면에 대해 수평 상태를 유지하면서 상승할 수 있다.

도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 캐리지(150)는 제2위치, 즉 Z 방향으로 최상단까지 상승할 수 있다.

도 6 및 도 7의 상태에서, 캐리지(150)를 하강시키고자 하는 경우에, 제어부는 좌측 모터(176)의 샤프트와 우측 모터(186)의 샤프트를 반대 방향으로 회전시킨다. 그러면, 좌측 구동 풀리(171)에 의해 좌측 벨트(173,174)가 이동하고, 우측 구동 풀리(181)에 의해 우측 벨트(183,174)가 이동하여 캐리지(150)가 하강할 수 있다.

이때, 좌측 벨트(173,174)의 일단(174a)은 캐리지(150)의 좌측단의 상면에 고정되고, 좌측 벨트(173,174)의 타단(173b)은 캐리지(150)의 좌측단의 하면에 고정된다. 좌측 균형부재(191)의 일단(191a)은 좌측 밸런스 웨이트(175)의 하단에 고정되고, 타단(191b)이 캐리지(150)의 우측단의 하면에 고정되어 있다. 또한, 우측 벨트(183,184)의 일단(184a)은 캐리지(150)의 우측단의 상면에 고정되고, 우측 벨트(183,184)의 타단(183b)은 캐리지(150)의 우측단의 하면에 고정된다. 우측 균형부재(192)의 일단(192a)은 우측 밸런스 웨이트(185)의 하단에 고정되고, 타단(192b)이 캐리지(150)의 좌측단의 하면에 고정되어 있다. 따라서, 캐리지(150)가 하측으로 이동하기 위해서는 좌측 벨트(173,174)와 우측 벨트(183,184)가 동일한 거리를 하측으로 이동하여야 한다. 따라서, 제어부에 문제가 발생하여, 좌측 모터(176)와 우측 모터(186)의 동기 제어가 이루어지지 않는 경우에도, 캐리지(150)는 바닥에 대해 기울어지지 않고, 바닥면에 대해 수평 상태를 유지하면서 하강할 수 있다.

이상에서는, 캐리지(150)를 구동하는 우측 캐리지 구동부(180)와 좌측 캐리지 구동부(170)로 타이밍 벨트와 타이밍 풀리를 사용한 경우에 대해 설명하였으나, 우측 캐리지 구동부(180)와 좌측 캐리지 구동부(170)는 이에 한정되지 않는다. 캐리지(150)를 구동할 수 있는 한 다양한 동력전달구조를 사용할 수 있다. 예를 들면, 좌측 캐리지 구동부와 우측 캐리지 구동부는 스프라켓과 체인 또는 와이어와 풀리를 사용하는 동력전달구조로 구성할 수도 있다.

이하, 도 8을 참조하여, 본 발명의 다른 실시예에 의한 클린룸용 스택커에 대해 상세하게 설명한다.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 의한 스택커를 나타내는 정면도이다.

도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 클린룸용 스택커(200)는 하부 프레임(210), 좌측 기둥(220), 우측 기둥(230), 상부 프레임(240), 캐리지(250), 캐리지 승강유닛을 포함할 수 있다.

본 실시예에 의한 클린룸용 스택커(200)의 하부 프레임(210), 좌측 기둥(220), 우측 기둥(230), 상부 프레임(240), 캐리지(250)의 구조와 기능은 상술한 실시예에 의한 클린룸용 스택커(100)의 하부 프레임(110), 좌측 기둥(120), 우측 기둥(130), 상부 프레임(140), 캐리지(150)와 동일하거나 유사하므로 상세한 설명은 생략한다.

캐리지 승강유닛은 캐리지(250)를 상하 이동시키기 위한 것으로서, 캐리지(250)의 좌측 승강 프레임(251)을 구동하는 좌측 캐리지 구동부(270)와 우측 승강 프레임(252)을 구동하는 우측 캐리지 구동부(280)를 포함한다.

좌측 캐리지 구동부(270)는 좌측 캐리지 구동부재(271), 좌측 캐리지 피동부재(272), 좌측 아이들부재(277), 좌측 캐리지 동력전달부재(273,274), 좌측 구동원(276)을 포함할 수 있다.

이하의 설명에서는 좌측 캐리지 구동부재(271)로 구동 풀리를 사용하고, 좌측 캐리지 피동부재(272)로 피동 풀리를 사용하며, 좌측 캐리지 동력전달부재(273,274)로 벨트를 사용하고, 좌측 구동원(276)으로 모터를 사용하고 있다.

따라서, 좌측 캐리지 구동부(270)는 좌측 구동 풀리(271), 좌측 피동 풀리(272), 좌측 벨트(273,274), 좌측 아이들 부재(277), 및 좌측 모터(276)를 포함할 수 있다. 좌측 구동 풀리(271)는 좌측 기둥(220)의 하단부에 설치되고, 좌측 피동 풀리(272)는 좌측 기둥(220)의 상단부에 설치될 수 있다. 좌측 구동 풀리(271)와 좌측 피동 풀리(272)는 좌측 벨트(273,274)의 내측에 설치되어 좌측 벨트(273,274)를 지지하며 이동시킨다. 좌측 아이들 부재(277)는 캐리지(250)의 하측에 좌측 구동 풀리(271)와 일정 간격 이격되도록 하부 프레임(210)에 설치된다. 즉, 좌측 아이들 부재(277)는 좌측 구동 풀리(271)에서 대략 캐리지(250)의 길이만큼 이격되어 우측 기둥(230)에 인접하도록 하부 프레임(210)에 설치된다. 좌측 모터(276)는 좌측 구동 풀리(271)를 회전시킬 수 있도록 하부 프레임(210)에 설치된다.

좌측 벨트(273,274)의 일단(274a)은 캐리지(250)의 좌측부의 상단에 고정되며, 좌측 벨트(273,274)의 타단(273b)은 캐리지(250)의 좌측부의 하면에 고정된다. 좌측 벨트(273,274)의 외면에는 좌측 아이들 부재(277)에 감겨 지지되는 좌측 균형부재(291)가 마련된다. 좌측 균형부재(291)는 좌측 벨트의 하부 벨트(273)에서 분기되는 형태로 마련될 수 있다.

구체적으로, 도 8에 도시된 바와 같이, 좌측 벨트의 상부 벨트(274)의 일단(274a)은 캐리지(250)의 좌측 승강 프레임(251)의 상단에 고정되며, 상부 벨트(274)는 좌측 기둥(220)의 상단부에 설치된 좌측 피동 풀리(272)를 감도록 설치되며, 타단(274b)은 밸런스 웨이트(275)의 상단에 고정된다. 좌측 벨트의 하부 벨트(273)의 일단(273a)은 밸런스 웨이트(275)의 하단에 고정되며, 하부 벨트(273)는 좌측 구동 풀리(271)를 감도록 설치되고, 타단(273b)은 캐리지(250)의 좌측 승강 프레임(251)의 하면에 고정된다. 또한, 좌측 균형부재(291)의 일단(291a)은 좌측 하부 벨트(273)에 고정되고, 좌측 균형부재(291)의 타단(291b)은 캐리지(250)의 하면의 우측부에 고정된다. 따라서, 캐리지(250)의 하면의 좌측과 우측에는 각각 좌측 하부벨트(273)의 타단(273b)과 좌측 균형부재(291)의 타단(291b)이 고정된다. 좌측 균형부재(291)는 캐리지(250)가 최고 상측에 위치할 때, 좌측 균형부재(291)의 일단(291a)이 분기된 좌측 하부 벨트(273)의 부분이 좌측 구동 풀리(271)에 의해 지지될 수 있는 길이로 형성할 수 있다.

좌측 벨트(273,274)로는 타이밍 벨트가 사용될 수 있으며, 좌측 구동 풀리(271), 좌측 피동 풀리(272)는 타이밍 풀리가 사용될 수 있다. 좌측 균형부재(291)로는 와이어, 체인, 타이밍 벨트, 벨트, 로프 등이 사용될 수 있다. 또한, 좌측 아이들 부재(277)는 좌측 균형부재(291)의 이동을 안내 및 지지할 수 있도록 풀리, 스프라켓 등으로 형성할 수 있다.

우측 캐리지 구동부(280)는 좌측 캐리지 구동부(270)와 유사하게 마련된다. 즉, 우측 캐리지 구동부(280)는 우측 캐리지 구동부재(281), 우측 캐리지 피동부재(282), 우측 아이들 부재(287), 우측 캐리지 동력전달부재(283,284), 우측 구동원(286)을 포함할 수 있다.

이하의 설명에서는, 우측 캐리지 구동부(280)는 좌측 캐리지 구동부(270)와 동일하게, 우측 캐리지 구동부재(281)로 구동 풀리를 사용하고, 우측 캐리지 피동부재(282)로 피동 풀리를 사용하며, 우측 캐리지 동력전달부재(283,284)로 벨트를 사용하고, 우측 구동원(286)으로 모터를 사용하고 있다.

따라서, 우측 캐리지 구동부(280)는 우측 구동 풀리(281), 우측 피동 풀리(282), 우측 벨트(283,284), 우측 아이들 부재(287), 및 우측 모터(286)를 포함할 수 있다. 우측 구동 풀리(281)는 우측 기둥(230)의 하단부에 설치되고, 우측 피동 풀리(282)는 우측 기둥(230)의 상단부에 설치될 수 있다. 우측 구동 풀리(281)와 우측 피동 풀리(282)는 우측 벨트(283,284)의 내측에 설치되어 우측 벨트(283,284)를 지지하며 이동시킨다. 우측 아이들 부재(287)는 캐리지(250)의 하측에 우측 구동 풀리(281)와 이격되도록 하부 프레임(210)에 설치된다. 즉, 우측 아이들 부재(287)는 우측 구동 풀리(281)에서 대략 캐리지(250)의 길이만큼 이격되어 좌측 기둥(220)에 인접하도록 하부 프레임(210)에 설치된다. 또한, 우측 모터(286)는 우측 구동 풀리(281)를 회전시킬 수 있도록 하부 프레임(210)에 설치된다.

우측 벨트(283,284)의 일단(284a)은 캐리지(250)의 우측부의 상단에 고정되며, 우측 벨트(283,284)의 타단(283b)은 캐리지(250)의 좌측부의 하면에 고정된다. 우측 벨트(283,284)의 외면에는 우측 아이들 부재(287)에 감겨 지지되는 우측 균형부재(292)가 마련된다. 우측 균형부재(292)는 우측 벨트의 하부 벨트(283)에서 분기되는 형태로 마련될 수 있다.

구체적으로, 도 8에 도시된 바와 같이, 우측 벨트의 상부 벨트(284)의 일단(284a)은 캐리지(250)의 우측 승강 프레임(252)의 상단에 고정되며, 상부 벨트(284)는 우측 기둥(230)의 상단부에 설치된 우측 피동 풀리(282)를 감도록 설치되며, 타단(284b)은 밸런스 웨이트(285)의 상단에 고정된다. 우측 벨트의 하부 벨트(283)의 일단(283a)은 밸런스 웨이트(285)의 하단에 고정되며, 하부 벨트(283)는 우측 구동 풀리(281)를 감도록 설치되고, 타단(283b)은 캐리지(250)의 우측 승강 프레임(252)의 하면에 고정된다. 또한, 우측 균형부재(292)의 일단(292a)은 우측 하부 벨트(274)에 고정되고, 우측 균형부재(292)의 타단(292b)은 캐리지(250)의 하면의 좌측부에 고정된다. 따라서, 캐리지(250)의 하면의 우측과 좌측에는 각각 우측 하부벨트(283)의 타단(283b)과 우측 균형부재(292)의 타단(292b)이 고정된다. 우측 균형부재(292)는 캐리지(250)가 최고 상측에 위치할 때, 우측 균형부재(292)의 일단(292a)이 분기된 우측 하부 벨트(283)의 부분이 우측 구동 풀리(281)에 의해 지지될 수 있는 길이로 형성할 수 있다.

우측 벨트(283,284)로는 타이밍 벨트가 사용될 수 있으며, 우측 구동 풀리(281), 우측 피동 풀리(282)는 타이밍 풀리가 사용될 수 있다. 우측 균형부재(292)로는 와이어, 체인, 타이밍 벨트, 벨트, 로프 등이 사용될 수 있다. 또한, 우측 아이들 부재(287)는 우측 균형부재(292)의 이동을 안내 및 지지할 수 있도록 풀리, 스프라켓 등으로 형성할 수 있다.

또한, 캐리지(250)의 아래를 지나는 좌측 균형부재(291)와 우측 균형부재(292)가 서로 간섭되지 않도록 좌측 아이들 부재(277)와 우측 아이들 부재(287)은 Y 방향으로 이격되어 설치된다(도 4 참조).

도 8과 같이 캐리지(250)가 Z 방향으로 최하단에 위치하면, 제어부는 좌측 캐리지 구동부(270)와 우측 캐리지 구동부(280)를 제어하여 캐리지(250)를 상승시킬 수 있다.

구체적으로, 제어부가 좌측 캐리지 구동부(270)의 좌측 모터(276)와 우측 캐리지 구동부(280)의 우측 모터(286)를 동기 제어하여 좌측 모터(276)와 우측 모터(286) 각각의 샤프트를 회전시키면, 샤프트에 고정된 좌측 구동 풀리(271)와 우측 구동 풀리(281)가 회전하게 된다.

좌측 구동 풀리(271)가 반시계방향으로 회전하면, 좌측 하부 벨트(273)가 오른쪽으로 이동한다. 그러면, 좌측 구동 풀리(271)와 좌측 피동 풀리(272)를 통해 캐리지(250)의 좌측부 상단에 일단(274a)이 고정되고, 캐리지(250)의 하면의 좌측에 타단(273b)이 고정된 좌측 벨트(273,274)에 의해 캐리지(250)가 상측으로 이동한다.

또한, 우측 구동 풀리(281)가 시계방향으로 회전하면, 우측 하부 벨트(283)가 왼쪽으로 이동한다. 그러면, 우측 구동 풀리(281)와 우측 피동 풀리(282)를 통해 캐리지(250)의 우측부 상단에 일단(284a)이 고정되고, 캐리지(250)의 하면의 우측에 타단(283b)이 고정된 우측 벨트(283,284)에 의해 캐리지(250)가 상측으로 이동한다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 의한 클린룸용 스택커(200)는 좌측 벨트(273,274)의 타단(273b)이 캐리지(250)의 하면의 좌측에 고정되고, 좌측 균형부재(291)의 일단(291b)이 캐리지(250)의 하면의 우측에 고정된다. 또한, 우측 벨트(283,284)의 일단(283b)이 캐리지(250)의 하면의 우측에 고정되고, 우측 균형부재(292)의 일단(292b)이 캐리지(250)의 하면의 좌측에 고정되어 있다. 따라서, 캐리지(250)가 상하로 이동하기 위해서는 좌측 벨트(273,274)와 우측 벨트(283,284)가 동일한 거리를 이동하여야 한다. 그러므로 제어부에 문제가 발생하여, 좌측 모터(276)와 우측 모터(286)의 동기 제어가 이루어지지 않는 경우에도, 캐리지(250)의 기울어짐이 발생하지 않고, 바닥면에 대해 수평 상태를 유지하면서 상승 또는 하강할 수 있다.

이하, 도 9를 참조하여, 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 클린룸용 스택커에 대해 상세하게 설명한다.

도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 스택커를 나타내는 정면도이다.

도 9를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 클린룸용 스택커(300)는 하부 프레임(310), 좌측 기둥(320), 우측 기둥(330), 상부 프레임(340), 캐리지(350), 캐리지 승강유닛을 포함할 수 있다.

본 실시예에 의한 클린룸용 스택커(300)의 하부 프레임(310), 좌측 기둥(320), 우측 기둥(330), 상부 프레임(340), 캐리지(350)의 구조와 기능은 상술한 실시예에 의한 클린룸용 스택커(100)의 하부 프레임(110), 좌측 기둥(120), 우측 기둥(130), 상부 프레임(140), 캐리지(150)와 동일하거나 유사하므로 상세한 설명은 생략한다.

캐리지 승강유닛은 캐리지(350)를 상하 이동시키기 위한 것으로서, 캐리지(350)의 좌측 승강 프레임(351)을 구동하는 좌측 캐리지 구동부(370)와 우측 승강 프레임(352)을 구동하는 우측 캐리지 구동부(380)를 포함한다.

좌측 캐리지 구동부(370)는 좌측 캐리지 구동부재(371), 좌측 캐리지 피동부재(372), 좌측 아이들부재(377), 좌측 캐리지 동력전달부재(373,374), 좌측 구동원(376)을 포함할 수 있다.

좌측 캐리지 구동부재(371)로 구동 풀리를 사용하고, 좌측 캐리지 피동부재(372)로 피동 풀리를 사용하며, 좌측 아이들부재(377)로 아이들 풀리를 사용하며, 좌측 캐리지 동력전달부재(373,374)로 벨트를 사용하고, 좌측 구동원(376)으로 모터를 사용할 수 있다.

따라서, 좌측 캐리지 구동부(370)는 좌측 구동 풀리(371), 좌측 피동 풀리(372), 좌측 벨트(373,374), 좌측 아이들 풀리(377), 및 좌측 모터(376)를 포함할 수 있다. 좌측 구동 풀리(371)는 좌측 기둥(320)의 하단부에 설치되고, 좌측 피동 풀리(372)는 좌측 기둥(320)의 상단부에 설치될 수 있다. 좌측 구동 풀리(371)와 좌측 피동 풀리(372)는 좌측 벨트(373,374)의 내측에 설치되어 좌측 벨트(373,374)를 지지하며 이동시킨다. 좌측 아이들 풀리(377)는 캐리지(350)의 하측에 좌측 구동 풀리(371)와 일정 간격 이격되도록 하부 프레임(310)에 설치된다. 즉, 좌측 아이들 풀리(377)는 좌측 구동 풀리(371)에서 대략 캐리지(350)의 길이만큼 이격되어 우측 기둥(330)에 인접하도록 하측 프레임(310)에 설치된다. 좌측 모터(376)는 좌측 구동 풀리(371)를 회전시킬 수 있도록 하부 프레임(310)에 설치된다.

좌측 벨트(373,374)의 일단(374a)은 캐리지(350)의 좌측부의 상단에 고정되며, 좌측 벨트(373,374)의 타단(373b)은 캐리지(350)의 우측부의 하면에 고정된다. 구체적으로, 도 8에 도시된 바와 같이, 좌측 벨트의 상부 벨트(374)의 일단(374a)은 캐리지(350)의 좌측 승강 프레임(351)의 상단에 고정되며, 상부 벨트(374)는 좌측 기둥(320)의 상단부에 설치된 좌측 피동 풀리(372)를 감도록 설치되며, 타단(374b)은 밸런스 웨이트(375)의 상단에 고정된다. 좌측 벨트의 하부 벨트(373)의 일단(373a)은 밸런스 웨이트(375)의 하단에 고정되며, 하부 벨트(373)는 좌측 구동 풀리(371)를 감도록 설치되고, 캐리지(350)의 하측으로 연장되어 좌측 아이들 풀리(377)에 감긴 후, 하부 벨트(373)의 타단(373b)이 캐리지(350)의 우측 승강 프레임(352)의 하면에 고정된다.

좌측 벨트(373,374)로는 타이밍 벨트가 사용될 수 있으며, 좌측 구동 풀리(371), 좌측 피동 풀리(372)는 타이밍 풀리가 사용될 수 있다. 도 8에서 캐리지(350)의 하부에 대응하며, 좌측 구동 풀리(371)와 접촉하지 않는 하부 벨트(373)의 연장 부분은 와이어, 체인, 평벨트, 로프 등으로 형성할 수 있다. 이때, 좌측 아이들 부재(377)는 하부 벨트(373)의 연장 부분의 이동을 안내 및 지지할 수 있도록 풀리, 스프라켓 등으로 형성할 수 있다.

우측 캐리지 구동부(380)는 좌측 캐리지 구동부(370)와 유사하게 마련된다. 즉, 우측 캐리지 구동부(380)는 우측 캐리지 구동부재(381), 우측 캐리지 피동부재(382), 우측 아이들부재(387), 우측 캐리지 동력전달부재(383,384), 우측 구동원(386)을 포함할 수 있다.

우측 캐리지 구동부재(381)로 구동 풀리를 사용하고, 우측 캐리지 피동부재(382)로 피동 풀리를 사용하며, 우측 아이들부재(387)로 아이들 풀리를 사용하며, 우측 캐리지 동력전달부재(383,384)로 벨트를 사용하고, 우측 구동원(386)으로 모터를 사용할 수 있다.

따라서, 우측 캐리지 구동부(380)는 우측 구동 풀리(381), 우측 피동 풀리(382), 우측 벨트(383,384), 우측 아이들 풀리(387), 및 우측 모터(386)를 포함할 수 있다. 우측 구동 풀리(381)는 우측 기둥(330)의 하단부에 설치되고, 우측 피동 풀리(382)는 우측 기둥(330)의 상단부에 설치될 수 있다. 우측 구동 풀리(381)와 우측 피동 풀리(382)는 우측 벨트(383,384)의 내측에 설치되어 우측 벨트(383,384)를 지지하며 이동시킨다. 우측 아이들 풀리(387)는 캐리지(350)의 하측에 우측 구동 풀리(381)와 일정 간격 이격되도록 하부 프레임(310)에 설치된다. 즉, 우측 아이들 풀리(387)는 우측 구동 풀리(381)에서 대략 캐리지(350)의 길이만큼 이격되어 좌측 기둥(320)에 인접하도록 하측 프레임(310)에 설치된다. 우측 모터(386)는 우측 구동 풀리(381)를 회전시킬 수 있도록 하부 프레임(310)에 설치된다.

우측 벨트(383,384)의 일단(384a)은 캐리지(350)의 우측부의 상단에 고정되며, 우측 벨트(383,384)의 타단(383b)은 캐리지(350)의 우측부의 하면에 고정된다. 구체적으로, 도 9에 도시된 바와 같이, 우측 벨트의 상부 벨트(384)의 일단(384a)은 캐리지(350)의 우측 승강 프레임(352)의 상단에 고정되며, 상부 벨트(384)는 우측 기둥(330)의 상단부에 설치된 우측 피동 풀리(382)를 감도록 설치되며, 타단(384b)은 밸런스 웨이트(385)의 상단에 고정된다. 우측 벨트의 하부 벨트(383)의 일단(383a)은 밸런스 웨이트(385)의 하단에 고정되며, 하부 벨트(383)는 우측 구동 풀리(381)를 감도록 설치되고, 캐리지(350)의 하측으로 연장되어 우측 아이들 풀리(387)에 감긴 후, 하부 벨트(383)의 타단(383b)이 캐리지(350)의 좌측 승강 프레임(351)의 하면에 고정된다.

우측 벨트(383,384)로는 타이밍 벨트가 사용될 수 있으며, 우측 구동 풀리(381), 우측 피동 풀리(382)는 타이밍 풀리가 사용될 수 있다. 도 9에서 캐리지(350)의 하부에 대응하며, 우측 구동 풀리(381)와 접촉하지 않는 하부 벨트(383)의 연장 부분은 와이어, 체인, 평벨트, 로프 등으로 형성할 수 있다. 이때, 우측 아이들 부재(387)는 하부 벨트(383)의 연장 부분의 이동을 안내 및 지지할 수 있도록 풀리, 스프라켓 등으로 형성할 수 있다.

도 9와 같이 캐리지(350)가 Z 방향으로 최하단에 위치하면, 제어부는 좌측 캐리지 구동부(370)와 우측 캐리지 구동부(380)를 제어하여 캐리지(350)를 상승시킬 수 있다.

구체적으로, 제어부가 좌측 캐리지 구동부(370)의 좌측 모터(376)와 우측 캐리지 구동부(380)의 우측 모터(386)를 동기 제어하여 좌측 모터(376)와 우측 모터(386) 각각의 샤프트를 회전시키면, 샤프트에 고정된 좌측 구동 풀리(371)와 우측 구동 풀리(381)가 회전하게 된다.

좌측 구동 풀리(371)가 반시계방향으로 회전하면, 좌측 하부 벨트(373)가 오른쪽으로 이동한다. 그러면, 좌측 구동 풀리(371)와 좌측 피동 풀리(372)를 통해 캐리지(350)의 좌측부 상단에 일단(374a)이 고정되고, 캐리지(350)의 하면의 좌측에 타단(373b)이 고정된 좌측 벨트(373,374)에 의해 캐리지(350)가 상측으로 이동한다.

또한, 우측 구동 풀리(381)가 시계방향으로 회전하면, 우측 하부 벨트(383)가 왼쪽으로 이동한다. 그러면, 우측 구동 풀리(381)와 우측 피동 풀리(382)를 통해 캐리지(350)의 우측부 상단에 일단(384a)이 고정되고, 캐리지(350)의 하면의 우측에 타단(383b)이 고정된 우측 벨트(383,384)에 의해 캐리지(350)가 상측으로 이동한다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 의한 클린룸용 스택커(300)는 좌측 벨트(373,374)의 타단(373b)이 캐리지(350)의 하면의 우측에 고정되고, 우측 벨트(383,384)의 일단(383b)이 캐리지(350)의 하면의 좌측에 고정되어 있다. 따라서, 캐리지(350)가 상하로 이동하기 위해서는 좌측 벨트(373,374)와 우측 벨트(383,384)가 동일한 거리를 이동하여야 한다. 그러므로 제어부에 문제가 발생하여, 좌측 모터(376)와 우측 모터(386)의 동기 제어가 이루어지지 않는 경우에도, 캐리지(350)의 기울어짐이 발생하지 않고, 바닥면에 대해 수평 상태를 유지하면서 상승 또는 하강할 수 있다.

이상에서는, 클린룸용 스택커의 캐리지의 수평을 유지하기 위한 좌측 균형부재와 우측 균형부재가 캐리지의 아래쪽에 설치된 경우에 대해 설명하였으나, 좌측 균형부재와 우측 균형부재는 캐리지의 위쪽에 설치될 수도 있다.

예를 들면, 도 10에는 좌측 균형부재와 우측 균형부재가 캐리지의 위쪽에 설치된 클린룸용 스택커(100')가 도시되어 있다.

도 10을 참조하면, 좌측 균형부재(191')는 좌측 벨트(173,174)의 밸런스 웨이트(175)의 상단과 캐리지(150)의 우측단의 상면을 연결하도록 설치되고, 우측 균형부재(192')는 우측 벨트(183,184)의 밸런스 웨이트(185)의 상단과 캐리지(150)의 좌측단의 상면을 연결하도록 설치될 수 있다.

구체적으로, 좌측 균형부재(191')의 일단(191'a)은 밸런스 웨이트(175)의 상단에 고정되고, 좌측 균형부재(191)는 좌측 벨트의 상부 벨트(173)의 상측으로 좌측 피동 풀리(172)를 감아 돌아 좌측 아이들 풀리(177')에 감긴 후, 좌측 균형부재(191')의 타단(191'b)이 캐리지(150)의 우측단의 상면, 즉 우측 승강 프레임(152)의 상단에 고정된다. 따라서, 좌측 균형부재(191')는 좌측 벨트의 상부 벨트(173)와 중첩적으로 설치될 수 있다.

또한, 우측 균형부재(192')의 일단(192'a)은 밸런스 웨이트(185)의 상단에 고정되고, 우측 균형부재(192')는 우측 벨트의 상부 벨트(183)의 상측으로 우측 피동 풀리(182)를 감아 돌아 우측 아이들 풀리(187')에 감긴 후, 우측 균형부재(192')의 타단(192'b)이 캐리지(150)의 좌측단의 상면, 즉 좌측 승강 프레임(151)의 상단에 고정된다. 따라서, 우측 균형부재(192')는 우측 벨트의 상부 벨트(183)와 중첩적으로 설치될 수 있다.

또한, 상부 프레임(140)의 아래를 지나는 좌측 균형부재(191')의 일부와 우측 균형부재(192')의 일부가 서로 간섭되지 않도록 좌측 아이들 풀리(177')와 우측 아이들 풀리(187') 각각은 상부 프레임(140)의 중심선에 대해 반대측에 설치될 수 있다.

이와 같이 캐리지(150)의 수평을 유지하기 위한 좌측 균형부재(191')와 우측 균형부재(192')를 캐리지(150)의 위쪽과 상부 프레임(140)의 아래쪽 사이에 설치한 경우에도 상술한 실시예와 동일하게, 제어부에 문제가 발생하여, 좌측 모터(176)와 우측 모터(186)의 동기 제어가 이루어지지 않는 경우에도, 캐리지(150)의 기울어짐이 발생하지 않고, 바닥면에 대해 수평 상태를 유지하면서 상승 또는 하강할 수 있다.

도 10에 도시된 상술한 실시예에 의한 클린룸용 스택커(100')의 다른 구조는 도 2에 도시된 실시예에 의한 클린룸용 스택커(100)와 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의한 클린룸용 스택커는 제어부가 소프트웨어적으로 캐리지를 승강시키는 좌측 모터와 우측 모터를 동기 제어할 수 없는 경우에도 캐리지가 바닥면에 대해 수평 상태를 유지한 채로 상승 및 하강할 수 있다.

따라서, 상술한 구조를 갖는 본 발명의 일 실시예에 의한 클린룸용 스택커는 캐리지가 좌측 벨트와 우측 벨트에 의해 균형이 잡힌 상태로 상승 및 하강을 하므로, 종래 기술에 의한 스택커에서 좌측 모터와 우측 모터가 동기 제어되지 않는 경우에 발생하는 캐리지의 기울어짐에 의한 포크와 선반의 충돌이 발생하지 않는다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 의한 클린룸용 스택커는 캐리지의 경사에 의해 발생하는 포크의 충돌을 미연에 방지할 수 있으므로, 스택커에 의해 제조라인이 가동중지되는 것을 방지할 수 있다.

상기에서 본 발명은 예시적인 방법으로 설명되었다. 여기서 사용된 용어들은 설명을 위한 것이며, 한정의 의미로 이해되어서는 안 될 것이다. 상기 내용에 따라 본 발명의 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서 따로 부가 언급하지 않는 한 본 발명은 청구범위의 범주 내에서 자유로이 실시될 수 있을 것이다.

1,100,200,300; 클린룸용 스택커 10,110,210,310; 하부 프레임
20,120,220,320; 좌측 기둥 30,130,230,330; 우측 기둥
40,140,240,340; 상부 프레임 50,150,250,350; 캐리지
60,160,260,360; 포크 70,170,270,370; 좌측 캐리지 구동부
71,81; 구동 풀리 72,82; 피동 풀리
73,83; 벨트 151,251,351; 좌측 승강 프레임
152,252,352; 우측 승강 프레임 171,271,371; 좌측 구동 풀리
172,272,372; 좌측 피동 풀리 173,273,373; 좌측 하부 벨트
174,274,374; 좌측 상부 벨트 175,275,375; 밸런스 웨이트
176,276,376; 좌측 모터 177,277,377; 좌측 아이들 풀리
181,281,381; 우측 구동 풀리 182,282,382; 우측 피동 풀리
183,283,383; 우측 하부 벨트 184,284,384; 우측 상부 벨트
185,285,385; 밸런스 웨이트 186,286,386; 우측 모터
187,287,387; 우측 아이들 풀리 191,291; 좌측 균형부재
192,292; 우측 균형부재

Claims (7)

1. 하부 프레임에 수직하게 설치되며, 서로 이격되어 평행하게 마련되는 좌측 기둥 및 우측 기둥;
   상기 좌측 기둥과 상기 우측 기둥 사이에 상하로 이동 가능하게 설치되는 캐리지;
   상기 좌측 기둥에 설치되며, 상기 캐리지를 상하로 이동시키는 좌측 캐리지 구동부;
   상기 우측 기둥에 설치되며, 상기 캐리지를 상하로 이동시키는 우측 캐리지 구동부;
   일단은 상기 좌측 캐리지 구동부의 밸런스 웨이트의 하단에 고정되며, 타단은 상기 캐리지의 우측단 하면에 고정되는 좌측 균형부재;
   일단은 상기 우측 캐리지 구동부의 밸런스 웨이트의 하단에 고정되며, 타단은 상기 캐리지의 좌측단 하면에 고정되는 우측 균형부재;
   상기 캐리지의 우측단 아래에 설치되며, 상기 좌측 균형부재를 안내하는 좌측 아이들 부재; 및
   상기 캐리지의 좌측단 아래에 설치되며, 상기 우측 균형부재를 안내하는 우측 아이들 부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸용 스택커.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 좌측 캐리지 구동부는 상기 좌측 기둥의 하단부에 설치되는 좌측 캐리지 구동부재, 상기 좌측 기둥의 상단부에 설치되는 좌측 캐리지 피동부재, 및 상기 좌측 캐리지 구동부재와 상기 좌측 캐리지 피동부재에 감기며, 양단이 상기 캐리지의 좌측단에 고정되는 좌측 캐리지 동력전달부재를 포함하며,
   상기 우측 캐리지 구동부는 상기 우측 기둥의 하단부에 설치되는 우측 캐리지 구동부재, 상기 우측 기둥의 상단부에 설치되는 우측 캐리지 피동부재, 및 상기 우측 캐리지 구동부재와 상기 우측 캐리지 피동부재에 감기며, 양단이 상기 캐리지의 우측단에 고정되는 우측 캐리지 동력전달부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸용 스택커.
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 좌측 균형부재는 상기 좌측 캐리지 동력전달부재와 중첩적으로 설치되고, 상기 우측 균형부재는 상기 우측 캐리지 동력전달부재와 중첩적으로 설치되는 것을 특징으로 하는 클린룸용 스택커.
4. 제 1 항에 있어서,
   상기 좌측 균형부재와 상기 우측 균형부재의 적어도 일단에는
   길이 및 장력 조절 구조 또는 락킹 방지 및 미세 기울어짐 감지 구조가 마련된 것을 특징으로 하는 클린룸용 스택커.
5. 하부 프레임에 수직하게 설치되며, 서로 이격되어 평행하게 마련되는 좌측 기둥 및 우측 기둥;
   상기 좌측 기둥과 상기 우측 기둥 사이에 상하로 이동 가능하게 설치되는 캐리지;
   상기 좌측 기둥의 하단부 및 상단부에 각각 설치되는 좌측 캐리지 구동부재와 좌측 캐리지 피동부재;
   상기 우측 기둥의 하단부 및 상단부에 각각 설치되는 우측 캐리지 구동부재와 우측 캐리지 피동부재;
   상기 좌측 캐리지 구동부재와 상기 좌측 캐리지 피동부재에 감기며, 일단은 상기 캐리지의 좌측단의 상면에 고정되며, 타단은 상기 캐리지의 좌측단의 하면에 고정되는 좌측 캐리지 동력전달부재;
   상기 우측 캐리지 구동부재와 상기 우측 캐리지 피동부재에 감기며, 일단은 상기 캐리지의 우측단의 상면에 고정되며, 타단은 상기 캐리지의 우측단의 하면에 고정되는 우측 캐리지 동력전달부재;
   상기 좌측 캐리지 동력전달부재에서 분기되며, 일단이 상기 캐리지의 우측단의 하면에 고정되는 좌측 균형부재;
   상기 캐리지의 아래에 설치되며, 상기 좌측 균형부재를 지지하는 좌측 아이들 부재;
   상기 우측 캐리지 동력전달부재에서 분기되며, 일단이 상기 캐리지의 좌측단의 하면에 고정되는 우측 균형부재; 및
   상기 캐리지의 아래에 설치되며, 상기 우측 균형부재를 지지하는 우측 아이들 부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸용 스택커.
6. 하부 프레임에 수직하게 설치되며, 서로 이격되어 평행하게 마련되는 좌측 기둥 및 우측 기둥;
   상기 좌측 기둥과 상기 우측 기둥 사이에 상하로 이동 가능하게 설치되는 캐리지;
   상기 좌측 기둥의 하단부 및 상단부에 각각 설치되는 좌측 캐리지 구동부재와 좌측 캐리지 피동부재;
   상기 우측 기둥의 하단부 및 상단부에 각각 설치되는 우측 캐리지 구동부재와 우측 캐리지 피동부재;
   좌측 밸런스 웨이트로 연결되어 상기 좌측 캐리지 구동부재와 상기 좌측 캐리지 피동부재에 감기며, 일단은 상기 캐리지의 좌측단의 상면에 고정되며, 타단은 상기 캐리지의 우측단의 하면에 고정되는 좌측 캐리지 동력전달부재;
   우측 밸런스 웨이트로 연결되어 상기 우측 캐리지 구동부재와 상기 우측 캐리지 피동부재에 감기며, 일단은 상기 캐리지의 우측단의 상면에 고정되며, 타단은 상기 캐리지의 좌측단의 하면에 고정되는 우측 캐리지 동력전달부재;
   상기 캐리지의 우측단 아래에 설치되며, 상기 좌측 캐리지 동력전달부재를 지지하는 좌측 아이들 부재; 및
   상기 캐리지의 좌측단 아래에 설치되며, 상기 우측 캐리지 동력전달부재를 지지하는 우측 아이들 부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸용 스택커.
7. 하부 프레임에 수직하게 설치되며, 서로 이격되어 평행하게 마련되는 좌측 기둥 및 우측 기둥;
   상기 좌측 기둥과 상기 우측 기둥 사이에 상하로 이동 가능하게 설치되는 캐리지;
   상기 좌측 기둥에 설치되며, 상기 캐리지를 상하로 이동시키는 좌측 캐리지 구동부;
   상기 우측 기둥에 설치되며, 상기 캐리지를 상하로 이동시키는 우측 캐리지 구동부;
   일단은 상기 좌측 캐리지 구동부의 밸런스 웨이트의 상단에 고정되며, 타단은 상기 캐리지의 우측단 상면에 고정되는 좌측 균형부재;
   일단은 상기 우측 캐리지 구동부의 밸런스 웨이트의 상단에 고정되며, 타단은 상기 캐리지의 좌측단 상면에 고정되는 우측 균형부재;
   상기 캐리지의 우측단 위쪽에 설치되며, 상기 좌측 균형부재를 안내하는 좌측 아이들 부재; 및
   상기 캐리지의 좌측단 위쪽에 설치되며, 상기 우측 균형부재를 안내하는 우측 아이들 부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸용 스택커.
   

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