KR101953395B1 - Tape expanding apparatus - Google Patents

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KR101953395B1 KR1020130111136A KR20130111136A KR101953395B1 KR 101953395 B1 KR101953395 B1 KR 101953395B1 KR 1020130111136 A KR1020130111136 A KR 1020130111136A KR 20130111136 A KR20130111136 A KR 20130111136A KR 101953395 B1 KR101953395 B1 KR 101953395B1
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도루 다카자와
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

본 발명의 목적은, 점착 테이프의 대향하는 2변을 협지하여 인장 점착 테이프를 확장시켜도 직교하는 2변이 축소하지 않으며, 직교하는 2변을 협지한 상태라도 점착 테이프를 충분히 확장시킬 수 있는 테이프 확장 장치를 제공하는 것이다.
본 발명은, 직사각형상의 테이프를 확장시키는 테이프 확장 장치로서, 테이프의 제1 변을 협지하는 제1 협지 수단과, 제1 변과 대향하는 테이프의 제2 변을 협지하는 제2 협지 수단과, 제1 변 및 상기 제2 변과 직교하는 테이프의 제3 변을 협지하는 제3 협지 수단과, 제3 변과 대향하는 테이프의 제4 변을 협지하는 제4 협지 수단과, 제1 협지 수단과 제2 협지 수단과 제3 협지 수단과 제4 협지 수단을 각각 협지하는 각 변에 대하여 직교하는 방향으로 이동시키는 확장 수단을 구비하고, 제1 협지 수단과 제2 협지 수단과 제3 협지 수단과 제4 협지 수단은, 각각 하측 협지 기구와 상측 협지 기구를 구비하며, 하측 협지 기구의 상부에는 협지한 변을 따르는 방향으로 회전하는 복수의 롤러가 배치되고, 상측 협지 기구의 하부에는 협지한 변을 따르는 방향으로 회전하는 복수의 롤러가 배치되어 있으며, 하측 협지 기구와 상측 협지 기구 중 어느 한쪽은, 2개의 롤러를 정해진 간격을 가지고 회전 가능하게 지지하는 지지 블록과, 지지 블록에 있어서의 2개의 롤러의 간격을 2등분하는 작용 위치를 압박하는 압박 수단을 구비하고 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to expand a tensile adhesive tape by sandwiching two opposite sides of an adhesive tape so that two orthogonal sides are not reduced, and a tape extension apparatus capable of sufficiently expanding an adhesive tape even when two orthogonal sides are sandwiched. To provide.
The present invention provides a tape expanding apparatus for expanding a rectangular tape, comprising: first clamping means for clamping a first side of a tape, second clamping means for clamping a second side of the tape facing the first side, and Third gripping means for sandwiching the first side and the third side of the tape orthogonal to the second side, fourth gripping means for sandwiching the fourth side of the tape facing the third side, first gripping means, and the first Expansion means for moving the second clamping means, the third clamping means, and the fourth clamping means in a direction orthogonal to each side of the clamping means, respectively; the first clamping means, the second clamping means, the third clamping means, and the fourth clamping means; The clamping means is provided with a lower clamping mechanism and an upper clamping mechanism, respectively, and a plurality of rollers rotating in a direction along a clamped side are disposed above the lower clamping mechanism, and a lower clamping mechanism is disposed below the upper clamping mechanism. Rotate A plurality of rollers are arranged, and either one of the lower gripping mechanism and the upper gripping mechanism has a support block for rotatably supporting the two rollers at predetermined intervals, and a gap between the two rollers in the support block. A pressing means for pressing the action position to be divided is provided.

Description

테이프 확장 장치{TAPE EXPANDING APPARATUS}Tape Expansion Unit {TAPE EXPANDING APPARATUS}

본 발명은 웨이퍼가 점착된 점착 테이프를 확장시켜 웨이퍼에 외력을 부여하기 위한 테이프 확장 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a tape expanding device for applying an external force to a wafer by expanding the adhesive tape to which the wafer is attached.

반도체 디바이스 제조 공정에서는, 대략 원판 형상인 반도체 웨이퍼의 표면에 격자형으로 배열된 스트리트라고 불리는 분할 예정 라인에 의해 복수의 영역이 구획되고, 이 구획된 영역에 IC, LSI 등의 디바이스를 형성한다. 그리고, 반도체 웨이퍼를 스트리트를 따라 절단함으로써 디바이스가 형성된 영역을 분할하여 개개의 디바이스를 제조하고 있다. 또한, 사파이어 기판의 표면에 질화갈륨계 화합물 반도체 등이 적층된 광 디바이스 웨이퍼도 정해진 분할 예정 라인을 따라 절단함으로써 개개의 발광 다이오드, 레이저 다이오드 등의 광 디바이스로 분할되어, 전기 기기에 널리 이용되고 있다.In the semiconductor device manufacturing process, a plurality of regions are partitioned by a division scheduled line called streets arranged in a lattice shape on the surface of a semiconductor wafer having a substantially disk shape, and devices such as IC and LSI are formed in the partitioned region. Subsequently, the semiconductor wafer is cut along the street to divide the region where the device is formed to manufacture individual devices. In addition, optical device wafers in which gallium nitride compound semiconductors and the like are stacked on the surface of a sapphire substrate are also cut into individual light emitting diodes, laser diodes, and the like by cutting along predetermined division lines, and are widely used in electrical equipment. .

전술한 반도체 웨이퍼나 광 디바이스 웨이퍼 등의 피가공물을 분할하는 방법으로서는, 이 피가공물에 대하여 투과성을 갖는 파장의 펄스 레이저 광선을 이용하여, 분할하여야 하는 영역의 내부에 집광점을 맞추어 조사하고, 피가공물의 내부에 스트리트를 따라 변질층을 연속적으로 형성하며, 이 변질층이 형성됨으로써 강도가 저하한 스트리트를 따라 외력을 부가하여, 피가공물을 분할하는 방법이 실용화되어 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조).As a method of dividing a workpiece such as the semiconductor wafer or the optical device wafer described above, a focused laser beam is irradiated to the inside of a region to be divided by using a pulsed laser beam having a wavelength that is transparent to the workpiece. The altered layer is continuously formed along the street inside the workpiece, and the method of dividing the workpiece by adding an external force along the street whose strength has decreased by forming the altered layer has been practically used (see, for example, Patent Document 1). ).

그리고, 변질층이 형성됨으로써 강도가 저하한 스트리트를 따라 외력을 부여하는 기술로서는, 웨이퍼가 점착된 점착 테이프를 확장시키고, 그 후, 점착 테이프를 확장시킨 상태로 환형의 프레임을 개개의 디바이스로 분할된 웨이퍼를 위요하여 점착 테이프에 점착하는 기술이 하기의 특허문헌 2에 기재되어 있다.Then, as a technique of applying external force along the street where the strength has decreased due to the formation of a deteriorated layer, the adhesive tape to which the wafer is attached is expanded, and then the annular frame is divided into individual devices while the adhesive tape is expanded. The technique of sticking to the adhesive tape based on the used wafer is described in Patent Document 2 below.

특허문헌 1: 일본 특허 제3408805호 공보Patent Document 1: Japanese Patent No. 3408805 특허문헌 2: 일본 특허 공개 제2006-229021호 공보Patent Document 2: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-229021

그리하여, 상기 특허문헌 2에 기재되어 있는 웨이퍼가 점착된 점착 테이프를 확장시키는 기술은, 점착 테이프의 대향하는 2변을 협지하여 인장하는 방법이기 때문에, 직교하는 2변이 축소하여 점착 테이프에 점착되어 개개의 분할된 디바이스가 손상된다고 하는 문제가 있다. 또한, 직교하는 2변을 협지한 상태로 대향하는 2변을 인장하면 점착 테이프가 충분히 확장되지 않는다고 하는 문제가 있다.Therefore, since the technique of expanding the adhesive tape to which the wafer described in the patent document 2 adheres is a method of sandwiching and stretching two opposite sides of the adhesive tape, the two orthogonal sides are reduced and adhered to the adhesive tape and are individually There is a problem that the divided device of is damaged. Moreover, when the two opposite sides are pulled in the state which sandwiched the two orthogonal sides, there exists a problem that an adhesive tape does not fully expand.

본 발명은 상기 사실을 감안하여 이루어진 것으로, 그 주된 기술적 과제는, 점착 테이프의 대향하는 2변을 협지하여 인장 점착 테이프를 확장시켜도 직교하는 2변이 축소하지 않으며, 직교하는 2변을 협지한 상태라도 점착 테이프를 충분히 확장시킬 수 있는 테이프 확장 장치를 제공하는 데 있다.This invention is made | formed in view of the said fact, The main technical subject is that even if the two sides which mutually oppose an adhesive tape and expand | stretch a tension adhesive tape do not shrink, orthogonal two sides do not shrink, The present invention provides a tape extension device capable of sufficiently expanding an adhesive tape.

상기 주된 기술 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 따르면, 직사각형상의 테이프를 확장시키는 테이프 확장 장치에 있어서,In order to solve the said main technical subject, according to this invention, in the tape expansion apparatus which expands a rectangular tape,

테이프의 제1 변을 협지하는 제1 협지 수단과, 상기 제1 변과 대향하는 테이프의 제2 변을 협지하는 제2 협지 수단과, 상기 제1 변 및 상기 제2 변과 직교하는 테이프의 제3 변을 협지하는 제3 협지 수단과, 상기 제3 변과 대향하는 테이프의 제4 변을 협지하는 제4 협지 수단과, 상기 제1 협지 수단과 상기 제2 협지 수단과 상기 제3 협지 수단과 상기 제4 협지 수단을 각각 협지하는 각 변에 대하여 직교하는 방향으로 이동시키는 확장 수단을 구비하고,First clamping means for clamping a first side of the tape, second clamping means for clamping a second side of the tape facing the first side, and a tape orthogonal to the first side and the second side. Third gripping means for gripping the three sides, fourth gripping means for gripping the fourth side of the tape facing the third side, the first gripping means, the second gripping means, and the third gripping means; Expansion means for moving said fourth gripping means in a direction orthogonal to each side sandwiching each;

상기 제1 협지 수단과 상기 제2 협지 수단과 상기 제3 협지 수단과 상기 제4 협지 수단은, 각각 하측 협지 기구와 상측 협지 기구를 구비하며, 상기 하측 협지 기구의 상부에는 협지한 변을 따르는 방향으로 회전하는 복수의 롤러가 배치되고, 상기 상측 협지 기구의 하부에는 협지한 변을 따르는 방향으로 회전하는 복수의 롤러가 배치되며,The first clamping means, the second clamping means, the third clamping means and the fourth clamping means each have a lower clamping mechanism and an upper clamping mechanism, respectively, and a direction along the side of the lower clamping mechanism that is clamped. A plurality of rollers to be rotated in the direction is arranged, a plurality of rollers to rotate in the direction along the side sandwiched is disposed below the upper gripping mechanism,

상기 하측 협지 기구와 상측 협지 기구 중 어느 한쪽은, 2개의 롤러를 정해진 간격을 가지고 회전 가능하게 지지하는 지지 블록과, 상기 지지 블록에서의 2개의 롤러의 간격을 2등분하는 작용 위치를 압박하는 압박 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 테이프 확장 장치가 제공된다.Either of the said lower clamping mechanism and an upper clamping mechanism presses the support block which supports two rollers rotatably at predetermined intervals, and the action position which divides the space | interval of two rollers in the said support block into 2 parts. Provided is a tape extension device comprising means.

상기 압박 수단은, 2개의 지지 블록을 각각이 상기 작용 위치에서 회전 가능하게 지지하는 압박 블록과, 상기 압박 블록에서의 2개의 지지 블록의 상기 작용 위치를 2등분하는 압박 위치를 압박하는 액추에이터에 의해 구성되어 있다.The urging means includes a urging block for respectively supporting two support blocks rotatably at the acting position, and an actuator for urging the urging position for dividing the acting position of the two support blocks in the urging block into two parts. Consists of.

본 발명에 따라 구성된 테이프 확장 장치에 있어서, 제1 협지 수단과 제2 협지 수단과 제3 협지 수단과 제4 협지 수단은, 각각 하측 협지 기구와 상측 협지 기구를 구비하고, 하측 협지 기구의 상부에는 협지한 변을 따르는 방향으로 회전하는 복수의 롤러가 배치되어 있으며, 상측 협지 기구의 하부에는 협지한 변을 따르는 방향으로 회전하는 복수의 롤러가 배치되어 있기 때문에, 예컨대 점착 테이프의 제3 변 및 제4 변을 협지하여 확장시킬 때에, 제3 변 및 제4 변과 직교하는 제1 변 및 제2 변을 협지하는 제1 협지 수단 및 제2 협지 수단의 하측 협지 기구 및 상측 협지 기구에 의해 협지하고 있어도, 하측 협지 기구 및 상측 협지 기구에 배치된 복수의 롤러가 회전하기 때문에, 점착 테이프는 충분히 확장된다. 또한, 점착 테이프의 제1 변 및 제2 변을 협지하여 확장시킬 때에, 제1 변 및 제2 변과 직교하는 제3 변 및 제4 변을 협지하는 제3 협지 수단 및 제4 협지 수단의 하측 협지 기구 및 상측 협지 기구에 의해 협지하고 있어도, 하측 협지 기구 및 상측 협지 기구에 배치된 복수의 롤러가 회전하기 때문에, 점착 테이프는 충분히 확장된다.In the tape expansion device constructed in accordance with the present invention, the first clamping means, the second clamping means, the third clamping means, and the fourth clamping means each have a lower clamping mechanism and an upper clamping mechanism, respectively, Since a plurality of rollers rotating in the direction along the pinched side are arranged, and a plurality of rollers rotating in the direction along the pinched side are arranged at the lower part of the upper pinching mechanism, so that the third side and the first side of the adhesive tape, for example, When the four sides are sandwiched and expanded, the first and second clamping means for pinching the first and second sides perpendicular to the third and fourth sides are held by the lower clamping mechanism and the upper clamping mechanism. Even if it exists, since the some roller arrange | positioned at the lower clamping mechanism and the upper clamping mechanism rotates, an adhesive tape expands fully. Moreover, when clamping and extending the 1st side and 2nd side of an adhesive tape, the lower side of the 3rd clamping means and 4th clamping means which clamp the 3rd and 4th sides orthogonal to a 1st side and a 2nd side. Even if it pinches by the clamping mechanism and the upper clamping mechanism, since the some roller arrange | positioned at the lower clamping mechanism and the upper clamping mechanism rotates, an adhesive tape expands fully.

또한, 본 발명에 따른 테이프 확장 장치에 있어서, 하측 협지 기구와 상측 협지 기구 중 어느 한쪽은, 2개의 롤러를 정해진 간격을 가지고 회전 가능하게 지지하는 지지 블록과, 지지 블록에서의 2개의 롤러의 간격을 2등분하는 작용 위치를 압박하는 압박 수단을 구비하고 있기 때문에, 2개의 롤러를 지지하는 복수의 지지 블록은 각각 2개의 롤러의 간격을 2등분하는 작용 위치에서 압박되어, 한쌍을 이루는 모든 2개의 롤러는 상측 협지 기구 또는 하측 협지 기구의 하측 협지 부재에 배치된 복수의 롤러에 의해 점착 테이프의 각 변을 균일한 힘으로 협지할 수 있다.Moreover, in the tape expansion apparatus which concerns on this invention, either one of the lower clamping mechanism and the upper clamping mechanism is a support block which rotatably supports two rollers with a predetermined space | interval, and the space | interval of two rollers in a support block. Since it is provided with the press means which presses the acting position which divides into 2 parts, the several support block which supports two rollers is pressed at the acting position which divides the space | interval of two rollers into 2 parts, respectively, and all the two pairs The roller can clamp each side of an adhesive tape with a uniform force by the some roller arrange | positioned at the lower clamping member of an upper clamping mechanism or a lower clamping mechanism.

도 1은 본 발명에 따라 구성된 테이프 확장 장치의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 테이프 확장 장치를 구성하는 상측 협지 기구의 주요부 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 상측 협지 기구의 주요부를 분해하여 도시하는 사시도이다.
도 4는 도 1에 도시된 테이프 확장 장치의 협지 수단을 구성하는 하측 협지 기구 및 상측 협지 기구의 주요부를 확대하여 도시하는 정면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 테이프 확장 장치를 이용하여 실시하는 테이프 협지 공정의 설명도이다.
도 6은 도 1에 도시된 테이프 확장 장치를 이용하여 실시하는 제1 테이프 확장 공정의 설명도이다.
도 7은 도 1에 도시된 테이프 확장 장치를 이용하여 실시하는 제2 테이프 확장 공정의 설명도이다.
도 8은 제1 테이프 확장 공정 및 제2 테이프 확장 공정이 실시된 점착 테이프에 점착된 개개로 분할된 디바이스의 상태를 도시하는 설명도이다.
도 9는 도 1에 도시된 테이프 확장 장치를 이용하여 실시하는 프레임 장착 공정의 설명도이다.
도 10은 도 9에 도시된 프레임 장착 공정이 실시되어 개개로 분할된 디바이스 사이에 간격(s)이 형성된 웨이퍼(10)가 점착 테이프를 통해 환형의 프레임에 지지된 상태를 도시하는 단면도이다.
도 11은 테이프 확장 장치에 의해 확장되는 점착 테이프의 평면도이다.1 is a perspective view of a tape expansion device constructed in accordance with the present invention.
It is a perspective view of the principal part of the upper clamping mechanism which comprises the tape expansion apparatus shown in FIG.
FIG. 3 is an exploded perspective view showing main parts of the upper clamping mechanism shown in FIG. 2. FIG.
FIG. 4 is an enlarged front view of the main portions of the lower gripping mechanism and the upper gripping mechanism constituting the gripping means of the tape expanding device shown in FIG. 1.
It is explanatory drawing of the tape clamping process performed using the tape expansion apparatus shown in FIG.
FIG. 6 is an explanatory diagram of a first tape expansion step performed by using the tape expansion device shown in FIG. 1.
It is explanatory drawing of the 2nd tape expansion process performed using the tape expansion apparatus shown in FIG.
It is explanatory drawing which shows the state of the device divided | segmented individually adhered to the adhesive tape in which the 1st tape expansion process and the 2nd tape expansion process were performed.
FIG. 9 is an explanatory diagram of a frame mounting step performed using the tape expanding apparatus shown in FIG. 1. FIG.
FIG. 10 is a cross-sectional view showing a state in which the wafer 10 in which the space s is formed between the devices divided by the frame mounting process shown in FIG. 9 is supported by the annular frame through the adhesive tape.
It is a top view of the adhesive tape extended by a tape expansion apparatus.

이하, 본 발명에 따라 구성된 테이프 확장 장치의 적합한 실시형태에 대해서, 첨부 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, preferred embodiment of the tape expansion apparatus comprised in accordance with this invention is described in detail with reference to an accompanying drawing.

도 11에는 테이프 확장 장치에 의해 확장되는 점착 테이프의 평면도가 도시되어 있다. 도시된 점착 테이프(1)는, 정방형(직사각형)으로 형성되어 있고, 제1 변(1a)과, 상기 제1 변(1a)과 대향하는 제2 변(1b)과, 상기 제1 변(1a) 및 상기 제2 변(1b)과 직교하는 제3 변(1c)과, 상기 제3 변(1c)과 대향하는 제4 변(1d)을 구비하고 있다. 이와 같이 형성된 점착 테이프(1)의 표면에는 점착층이 도포되어 있고, 이 표면의 중앙부에 웨이퍼(10)가 점착되어 있다. 한편, 웨이퍼(10)는, 도시된 실시형태에서는 표면(10a)에 복수의 스트리트(101)가 격자형으로 형성되어 있으며, 상기 복수의 스트리트(101)에 의해 구획된 복수의 영역에 각각 디바이스(102)가 형성된 반도체 웨이퍼로 이루어져 있고, 스트리트(101)를 따라 개개의 디바이스(102)로 분할되어 있는 것으로 한다.11 is a plan view of the adhesive tape expanded by the tape expanding device. The illustrated adhesive tape 1 is formed in a square (rectangular), the first side 1a, the second side 1b facing the first side 1a, and the first side 1a. ) And a third side 1c orthogonal to the second side 1b, and a fourth side 1d facing the third side 1c. The adhesive layer is apply | coated to the surface of the adhesive tape 1 formed in this way, and the wafer 10 is adhere | attached on the center part of this surface. On the other hand, in the illustrated embodiment, in the illustrated embodiment, a plurality of streets 101 are formed in a lattice shape on the surface 10a, and the devices 10 are each formed in a plurality of regions partitioned by the plurality of streets 101. It is assumed that the semiconductor wafer 102 is formed, and is divided into individual devices 102 along the street 101.

다음에, 전술한 개개의 디바이스(102)로 분할된 웨이퍼(10)가 점착되어 있는 점착 테이프(1)를 확장시키는 테이프 확장 장치에 대해서, 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명한다.Next, the tape expansion | stretching apparatus which expands the adhesive tape 1 to which the wafer 10 divided | segmented by the individual device 102 mentioned above is adhere | attached is demonstrated with reference to FIGS.

도 1에는, 본 발명에 따라 구성된 테이프 확장 장치의 일 실시형태의 사시도가 도시되어 있다.1 shows a perspective view of one embodiment of a tape expansion device constructed in accordance with the present invention.

도 1에 도시된 실시형태에서의 테이프 확장 장치(2)는, 고정 베이스(20)와, 상기 고정 베이스(20)의 중앙부 상면에 배치되어 상기 점착 테이프(1)를 배치하는 원형상의 유지 테이블(3)과, 상기 유지 테이블(3)에 배치된 상기 점착 테이프(1)를 협지하는 제1 협지 수단(4a)과 제2 협지 수단(4b)과 제3 협지 수단(4c)과 제4 협지 수단(4d)과, 상기 제1 협지 수단(4a)과 상기 제2 협지 수단(4b)과 상기 제3 협지 수단(4c)과 상기 제4 협지 수단(4d)을 각각 원형상의 유지 테이블(3)의 직경 방향으로 이동시키는 제1 테이프 확장 수단(5a)과 제2 테이프 확장 수단(5b)과 제3 테이프 확장 수단(5c)과 제4 테이프 확장 수단(5d)을 구비하고 있다. 또한, 도시된 실시형태에 있어서는, 제1 협지 수단(4a)은 상기 점착 테이프(1)의 제1 변(1a)을 협지하고, 제2 협지 수단(4b)은 제1 변(1a)과 대향하는 제2 변(1b)을 협지하며, 제3 협지 수단(4c)은 제1 변(1a) 및 제2 변(1b)과 직교하는 제3 변(1c)을 협지하고, 제4 협지 수단(4d)은 제3 변(1c)과 대향하는 제4 변(1d)을 협지한다. 한편, 제1 테이프 확장 수단(5a)과 제2 테이프 확장 수단(5b)과 제3 테이프 확장 수단(5c)과 제4 테이프 확장 수단(5d)은, 제1 협지 수단(4a)과 제2 협지 수단(4b)과 제3 협지 수단(4c)과 제4 협지 수단(4d)을 각각 협지하는 점착 테이프(1)의 각 변에 대하여 직교하는 방향으로 이동시킨다.The tape extending | stretching apparatus 2 in embodiment shown in FIG. 1 is the fixed holding | maintenance base 20 and the circular holding table which arrange | positions on the upper surface of the center part of the said fixing base 20, and arrange | positions the said adhesive tape 1 ( 3) and 1st clamping means 4a, 2nd clamping means 4b, 3rd clamping means 4c, and 4th clamping means which clamp the said adhesive tape 1 arrange | positioned at the said holding table 3; 4d, the first clamping means 4a, the second clamping means 4b, the third clamping means 4c, and the fourth clamping means 4d, respectively, of the circular holding table 3; A first tape expansion means 5a, a second tape expansion means 5b, a third tape expansion means 5c, and a fourth tape expansion means 5d are provided. Moreover, in the embodiment shown, the 1st clamping means 4a clamps the 1st side 1a of the said adhesive tape 1, and the 2nd clamping means 4b opposes the 1st edge 1a. The second side 1b is sandwiched, and the third sandwiching means 4c sandwiches the first side 1a and the third side 1c orthogonal to the second side 1b, and the fourth sandwiching means ( 4d) clamps the 4th side 1d which opposes the 3rd side 1c. On the other hand, the 1st tape expansion means 5a, the 2nd tape expansion means 5b, the 3rd tape expansion means 5c, and the 4th tape expansion means 5d are the 1st clamping means 4a and the 2nd clamping means. The means 4b, the third clamping means 4c, and the fourth clamping means 4d are moved in the direction orthogonal to each side of the adhesive tape 1 which sandwiches each other.

상기 고정 베이스(20)는 직사각형상으로 형성되고, 그 상면에는 서로 90도의 각도를 가지고 상기 원형상의 유지 테이블(3)의 중심을 향하여 형성된 제1 안내홈(201a)과 제2 안내홈(201b)과 제3 안내홈(201c)과 제4 안내홈(201d)이 형성되어 있다. 또한, 고정 베이스(20)의 상기 제1 안내홈(201a)과 제2 안내홈(201b)과 제3 안내홈(201c)과 제4 안내홈(201d)이 형성된 외주부는, 바깥쪽으로 돌출하여 형성되어 있다.The fixed base 20 is formed in a rectangular shape, the first guide groove 201a and the second guide groove 201b formed toward the center of the circular holding table 3 at an angle of 90 degrees with each other on the upper surface thereof. And the third guide groove 201c and the fourth guide groove 201d are formed. In addition, an outer circumferential portion formed with the first guide groove 201a, the second guide groove 201b, the third guide groove 201c, and the fourth guide groove 201d of the fixed base 20 is formed to protrude outward. It is.

상기 원형상의 유지 테이블(3)은, 고정 베이스(20)의 상면에 지지 수단(30)에 의해 지지되어 있다. 이 지지 수단(30)은, 도시된 실시형태에 있어서는 유지 테이블(3)을 상하 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다.The circular holding table 3 is supported by the support means 30 on the upper surface of the fixed base 20. This support means 30 is comprised so that the holding table 3 can move to an up-down direction in embodiment shown.

상기 제1 협지 수단(4a)과 제2 협지 수단(4b)과 제3 협지 수단(4c)과 제4 협지 수단(4d)은, 상기 고정 베이스(20)에 형성된 제1 안내홈(201a)과 제2 안내홈(201b)과 제3 안내홈(201c)과 제4 안내홈(201d) 상에 각각 배치되어 있다. 즉, 4개의 협지 수단(4a, 4b, 4c, 4d)은, 둘레 방향으로 서로 등각도를 가지고 배치되어 있다. 이와 같이 고정 베이스(20) 상에 배치된 제1 협지 수단(4a)과 제2 협지 수단(4b)과 제3 협지 수단(4c)과 제4 협지 수단(4d)은, 도시된 실시형태에 있어서는 동일한 구성이며, 각각 L자형으로 형성된 가동 베이스(41)와, 상기 가동 베이스(41)에 상하 방향으로 이동 가능하게 장착된 하측 협지 기구(42) 및 상측 협지 기구(43)와, 상기 하측 협지 기구(42) 및 상측 협지 기구(43)를 각각 상하 방향으로 이동시키는 제1 이동 기구(44) 및 제2 이동 기구(45)를 구비하고 있다. 가동 베이스(41)는, 이동부(411)와, 상기 이동부(411)의 상면으로부터 세워서 마련하여 형성된 지지부(412)로 이루어져 있다. 이동부(411)의 하면에는 각각 상기 제1 안내홈(201a), 제2 안내홈(201b), 제3 안내홈(201c), 제4 안내홈(201d)에 감합하는 피안내 레일(411a)이 마련되어 있고, 이 피안내 레일(411a)을 각각 상기 제1 안내홈(201a), 제2 안내홈(201b), 제3 안내홈(201c), 제4 안내홈(201d)에 감합함으로써, 가동 베이스(41)는 고정 베이스(20)에 각각 상기 제1 안내홈(201a), 제2 안내홈(201b), 제3 안내홈(201c), 제4 안내홈(201d)을 따라 이동 가능하게 구성된다. 또한, 이동부(411)에는, 암나사(411b)가 관통하여 형성되어 있다. 상기 지지부(412)의 내측의 면(서로 대향하는 측의 면)에는 상하 방향으로 연장되는 안내 레일(412a)이 마련되어 있고, 외측의 면에는 상하 방향으로 연장되는 긴 홈(412b)이 형성되어 있다. 또한, 안내 레일(412a)에는, 내측의 면으로부터 상기 긴 홈(412b)에 달하여 상하 방향으로 연장되는 긴 구멍(412c)이 형성되어 있다.The first clamping means 4a, the second clamping means 4b, the third clamping means 4c, and the fourth clamping means 4d include a first guide groove 201a formed in the fixed base 20; It is arrange | positioned on the 2nd guide groove 201b, the 3rd guide groove 201c, and the 4th guide groove 201d, respectively. That is, the four clamping means 4a, 4b, 4c, 4d are arrange | positioned at equal angles in the circumferential direction. Thus, in the embodiment shown, the 1st clamping means 4a, 2nd clamping means 4b, 3rd clamping means 4c, and 4th clamping means 4d arrange | positioned on the fixed base 20 are shown. A movable base 41 having the same configuration and having a L-shape respectively, a lower gripping mechanism 42 and an upper gripping mechanism 43 mounted to the movable base 41 so as to be movable in the vertical direction, and the lower gripping mechanism. The first moving mechanism 44 and the second moving mechanism 45 which move the 42 and the upper clamping mechanism 43 in the up-down direction, respectively, are provided. The movable base 41 consists of a moving part 411 and the support part 412 formed upright from the upper surface of the said moving part 411. Guide rails 411a fitted to the first guide grooves 201a, the second guide grooves 201b, the third guide grooves 201c, and the fourth guide grooves 201d, respectively, on the lower surface of the moving part 411. And the guide rails 411a are fitted to the first guide grooves 201a, the second guide grooves 201b, the third guide grooves 201c, and the fourth guide grooves 201d, respectively. The base 41 is configured to be movable along the first guide groove 201a, the second guide groove 201b, the third guide groove 201c, and the fourth guide groove 201d to the fixed base 20, respectively. do. A female screw 411b penetrates the moving part 411. A guide rail 412a extending in the vertical direction is provided on the inner surface (surface on the side facing each other) of the support portion 412, and an elongated groove 412b extending in the vertical direction is formed on the outer surface. . The guide rail 412a is formed with an elongated hole 412c extending from the inner surface to the elongated groove 412b and extending in the vertical direction.

상기 하측 협지 기구(42)는, 상기 가동 베이스(41)의 지지부(412)에 마련된 안내 레일(412a)을 따라 이동 가능하게 배치된 지지 아암(421)과, 상기 지지 아암(421)에 부착된 하측 협지 부재(422)로 이루어져 있다. 지지 아암(421)의 기단(基端)에는 상기 안내 레일(412a)과 감합하는 피안내홈(421a)이 형성되어 있고, 이 피안내홈(421a)을 안내 레일(412a)에 감합함으로써, 지지 아암(421)은 가동 베이스(41)의 지지부(412)의 안내 레일(412a)을 따라 상하 방향으로 이동 가능하게 구성된다. 또한, 지지 아암(421)의 베이스부에는 암나사(421b)를 구비한 암나사 블록(421c)이 마련되어 있고, 이 암나사 블록(421c)이 상기 긴 구멍(412c)을 삽입 관통하여 배치된다. 상기 하측 협지 부재(422)는, 도시된 실시형태에 있어서는 직육면체형으로 형성되어 있고, 길이 방향이 피안내 레일(411a)과 직교하는 방향을 향하여 배치되어 있다. 이와 같이 구성된 하측 협지 부재(422)의 협지면측인 상면에는, 하측 협지 부재(422)의 길이 방향으로 회전하는 복수의 롤러(423)가 배치되어 있다.The lower clamping mechanism 42 is attached to the support arm 421 movably disposed along the guide rail 412a provided on the support portion 412 of the movable base 41 and the support arm 421. It consists of a lower clamping member 422. A guide groove 421a is formed at the base end of the support arm 421 to fit the guide rail 412a. The guide groove 421a is supported by fitting the guide groove 421a to the guide rail 412a. The arm 421 is configured to be movable in the vertical direction along the guide rail 412a of the support portion 412 of the movable base 41. In addition, a female thread block 421c having a female thread 421b is provided in the base portion of the support arm 421, and the female thread block 421c is disposed through the long hole 412c. In the illustrated embodiment, the lower clamping member 422 is formed in a rectangular parallelepiped shape, and its longitudinal direction is disposed in a direction orthogonal to the guide rail 411a. A plurality of rollers 423 rotating in the longitudinal direction of the lower clamping member 422 are disposed on the upper surface of the lower clamping member 422 configured as described above.

상기 상측 협지 기구(43)는, 상기 가동 베이스(41)의 지지부(412)에 마련된 안내 레일(412a)을 따라 이동 가능하게 배치된 지지 아암(431)과, 상기 지지 아암(431)에 부착된 지지 커버(432)를 구비하고 있다. 지지 아암(431)의 기단에는 상기 안내 레일(412a)과 감합하는 피안내홈(431a)이 형성되어 있고, 이 피안내홈(431a)을 안내 레일(412a)에 감합함으로써, 지지 아암(431)은 가동 베이스(41)의 지지부(412)에 안내 레일(412a)을 따라 상하 방향으로 이동 가능하게 구성된다. 또한, 지지 아암(431)의 베이스부에는 암나사(431b)를 구비한 암나사 블록(431c)이 마련되어 있고, 이 암나사 블록(431c)이 상기 긴 구멍(412c)을 삽입 관통하여 배치된다.The upper clamping mechanism 43 is attached to the support arm 431 movably disposed along the guide rail 412a provided on the support portion 412 of the movable base 41 and the support arm 431. The support cover 432 is provided. A guide groove 431a is formed at the proximal end of the support arm 431 and the guide rail 412a fits. The support arm 431 is fitted by fitting the guide groove 431a to the guide rail 412a. The support part 412 of the movable base 41 is comprised so that it can move to an up-down direction along the guide rail 412a. In addition, a female thread block 431c having a female thread 431b is provided in the base portion of the support arm 431, and the female thread block 431c is disposed through the long hole 412c.

상기 지지 커버(432) 내에 배치되는 상측 협지 기구(43)의 구성 부재에 대해서, 도 2 및 도 3을 참조하여 설명한다. 도 2 및 도 3에 도시된 상측 협지 기구(43)는, 각각 2개의 롤러(433)를 정해진 간격을 가지고 회전 가능하게 지지하는 지지 블록(434)과, 상기 지지 블록에서의 2개의 롤러의 간격을 2등분하는 작용 위치를 압박하는 압박 수단(435)을 구비하고 있다. 지지 블록(434)은, 롤러 지지부(434a)와 상기 롤러 지지부(434a)에 상단으로부터 수평으로 연장되는 압박 작용부(434b)를 구비하고 있다. 롤러 지지부(434a)에는 2개의 지지축(433a)이 정해진 간격을 두고 배치되며, 이 2개의 지지축(433a)에 각각 롤러(433)가 회전 가능하게 지지되어 있다. 한편, 지지 블록(434)을 구성하는 압박 작용부(434b)에는, 2개의 지지축(433a)[2개의 롤러(433)]의 간격을 2등분하는 작용 위치에 축삽입 관통 구멍(434c)이 형성되어 있다. 이와 같이 구성된 지지 블록(434)은, 2개를 한쌍으로 하여 압박 수단(435)에 의해 압박되도록 되어 있다.The structural member of the upper clamping mechanism 43 arrange | positioned in the said support cover 432 is demonstrated with reference to FIG. 2 and FIG. The upper clamping mechanism 43 shown in FIGS. 2 and 3 includes a support block 434 for rotatably supporting two rollers 433 at predetermined intervals, and an interval between two rollers in the support block. The press means 435 which presses the action | position position which divides into 2 parts is provided. The support block 434 is provided with the roller support part 434a and the pressing action part 434b extended horizontally from the upper end to the said roller support part 434a. Two support shafts 433a are arranged at the roller support portion 434a at predetermined intervals, and the rollers 433 are rotatably supported by the two support shafts 433a, respectively. On the other hand, in the pressing action part 434b which comprises the support block 434, the axial insertion through-hole 434c is formed in the action position which divides the space | interval of two support shafts 433a (two rollers 433) into two. Formed. The supporting blocks 434 configured as described above are pressed by the pressing means 435 with two pairs.

압박 수단(435)은, 2개의 지지 블록(434)을 각각 작용 위치에 있어서 회전 가능하게 지지하는 압박 블록(436)과, 상기 압박 블록(436)에서의 2개의 지지 블록(434)의 작용 위치를 2등분하는 압박 위치를 압박하는 액추에이터(437)에 의해 구성되어 있다. 압박 블록(436)은, 상부벽(436a)과 측벽(436b 및 436c)과 단부벽(436d 및 436e)으로 이루어지고, 하측이 개방된 상자형으로 형성되어 있다. 이와 같이 형성된 압박 블록(436)의 측벽(436b)에 장착된 2개의 지지축(도시 생략)에 상기 지지 블록(434)을 구성하는 압박 작용부(434b)에 마련된 축삽입 관통 구멍(434c)이 각각 회전 가능하게 감합된다. 이와 같이 구성된 압박 블록(436)의 상부벽(436a)에는, 액추에이터(437)를 연결하기 위한 한쌍의 연결 부재(438a, 438b)가 장착되어 있다. 한쪽의 연결 부재(438a)에는 삽입 관통 구멍(438c)이 형성되고, 다른쪽의 연결 부재(438b)에는 나사 구멍(438d)이 형성되어 있다. 액추에이터(437)는, 도시된 실시형태에서는 에어 실린더 기구로 이루어지고, 그 피스톤 로드(437a)의 선단부에 연결 구멍(437b)이 형성되어 있다. 이와 같이 구성된 액추에이터(437)의 피스톤 로드(437a)의 선단부를 한쌍의 연결 부재(438a, 438b) 사이에 위치 부여하고, 연결 볼트(439)를 한쪽의 연결 부재(438a)에 형성된 삽입 관통 구멍(438c) 및 피스톤 로드(437a)의 선단부에 형성된 연결 구멍(437b)을 삽입 관통시켜, 다른쪽의 연결 부재(438b)에 형성된 나사 구멍(438d)에 나사 결합함으로써, 액추에이터(437)를 구성하는 피스톤 로드(437a)를 압박 블록(436)의 상부벽(436a)에 장착된 한쌍의 연결 부재(438a, 438b)에 연결한다. 이와 같이 구성된 액추에이터(437)는, 상기 지지 커버(432)의 상부벽에 부착된다.The press means 435 is a press block 436 which rotatably supports two support blocks 434 in an acting position, respectively, and the acting position of the two support blocks 434 in the press block 436. It is comprised by the actuator 437 which presses the press position which divides into 2 parts. The press block 436 consists of an upper wall 436a, the side walls 436b and 436c, and the end walls 436d and 436e, and is formed in the box shape which opened the lower side. The shaft insertion through-hole 434c provided in the pressing action part 434b which comprises the said support block 434 in the two support shafts (not shown) attached to the side wall 436b of the press block 436 formed in this way is Each is rotatably fitted. The pair of connecting members 438a and 438b for connecting the actuator 437 is attached to the upper wall 436a of the pressing block 436 configured as described above. An insertion through hole 438c is formed in one connecting member 438a, and a screw hole 438d is formed in the other connecting member 438b. The actuator 437 consists of an air cylinder mechanism in embodiment shown, and the connection hole 437b is formed in the front-end | tip of the piston rod 437a. The insertion end of the piston rod 437a of the actuator 437 configured as described above is positioned between the pair of connecting members 438a and 438b, and the connecting bolt 439 is formed in one connecting member 438a. The piston constituting the actuator 437 by inserting through the connecting hole 437b formed at the distal end portion of the 438c and the piston rod 437a and screwing into the screw hole 438d formed in the other connecting member 438b. The rod 437a is connected to a pair of connecting members 438a and 438b mounted to the upper wall 436a of the pressing block 436. The actuator 437 configured in this way is attached to the upper wall of the support cover 432.

이상과 같이 구성된 상측 협지 기구(43)는, 상기 하측 협지 기구(42)와 대향하여 배치된다. 그리고, 복수의 지지 블록(434)에 각각 2개씩 지지된 복수의 롤러(433)는, 상기 하측 협지 기구(42)의 하측 협지 부재(422)에 배치된 복수의 롤러(423)와 대향하도록 배치된다.The upper clamping mechanism 43 configured as described above is disposed to face the lower clamping mechanism 42. The plurality of rollers 433 supported by two of the plurality of support blocks 434, respectively, are disposed to face the plurality of rollers 423 disposed in the lower clamping member 422 of the lower clamping mechanism 42. do.

도 1로 되돌아가서 설명을 계속하면, 상기 하측 협지 기구(42)를 상하 방향으로 이동시키는 제1 이동 기구(44)는, 상기 가동 베이스(41)의 지지부(412)에 형성된 긴 홈(412b) 내에 안내 레일(412a)과 평행하게 배치되어 상기 지지 아암(421)의 베이스부에 마련된 암나사 블록(421c)의 암나사(421b)와 나사 결합하는 수나사 로드(441)와, 가동 베이스(41)의 지지부(412)에 배치되어 수나사 로드(441)의 일단부를 회전 가능하게 지지하는 베어링(442)과, 수나사 로드(441)의 타단에 연결되어 수나사 로드(441)를 회전 구동시키기 위한 펄스 모터(443)로 이루어져 있다. 이와 같이 구성된 제1 이동 기구(44)는, 펄스 모터(443)를 구동시켜 수나사 로드(441)를 일방향 또는 타방향으로 회동시킴으로써, 하측 협지 기구(42)를 안내 레일(412a)을 따라 상하 방향으로 이동시킨다.Returning to FIG. 1 and continuing description, the 1st moving mechanism 44 which moves the said lower clamping mechanism 42 to an up-down direction is an elongate groove | channel 412b formed in the support part 412 of the said movable base 41. As shown in FIG. A male thread rod 441 disposed in parallel with the guide rail 412a and screwed to the female thread 421b of the female thread block 421c provided in the base portion of the support arm 421, and a supporting portion of the movable base 41. A bearing 442 disposed at 412 to rotatably support one end of the male threaded rod 441, and a pulse motor 443 connected to the other end of the male threaded rod 441 to drive the male threaded rod 441 to rotate. Consists of The 1st moving mechanism 44 comprised in this way drives the pulse motor 443 to rotate the external threaded rod 441 to one direction or another direction, and the lower clamping mechanism 42 is moved up and down along the guide rail 412a. Move to.

상기 상측 협지 기구(43)를 상하 방향으로 이동시키는 제2 이동 기구(45)는, 상기 제1 이동 기구(44)와 동일한 구성으로 제1 이동 기구(44)의 상측에 배치되어 있다. 즉, 제2 이동 기구(45)는, 상기 가동 베이스(41)의 지지부(412)에 형성된 긴 홈(412b) 내에 안내 레일(412a)과 평행하게 배치되어 상기 지지 아암(431)의 베이스부에 마련된 암나사 블록(431c)의 암나사(431b)와 나사 결합하는 수나사 로드(451)와, 가동 베이스(41)의 지지부(412)에 배치되어 수나사 로드(451)의 일단부를 회전 가능하게 지지하는 베어링(452)과, 수나사 로드(451)의 타단에 연결되어 수나사 로드(451)를 회전 구동시키기 위한 펄스 모터(453)로 이루어져 있다. 이와 같이 구성된 제2 이동 기구(45)는, 펄스 모터(453)를 구동시켜 수나사 로드(451)를 일방향 또는 타방향으로 회동시킴으로써, 상측 협지 기구(43)를 안내 레일(412a)을 따라 상하 방향으로 이동시킨다.The 2nd moving mechanism 45 which moves the said upper clamping mechanism 43 to an up-down direction is arrange | positioned above the 1st moving mechanism 44 by the structure similar to the said 1st moving mechanism 44. As shown in FIG. That is, the second moving mechanism 45 is arranged in parallel to the guide rail 412a in the elongated groove 412b formed in the support portion 412 of the movable base 41, and is arranged in the base portion of the support arm 431. A male thread rod 451 for screwing into the female thread 431b of the provided female thread block 431c, and a bearing disposed at the support portion 412 of the movable base 41 to rotatably support one end of the male thread rod 451 ( 452 and a pulse motor 453 connected to the other end of the male screw rod 451 for driving the male screw rod 451 to rotate. The 2nd moving mechanism 45 comprised in this way drives the pulse motor 453 to rotate the external thread rod 451 to one direction or another direction, and the upper clamping mechanism 43 is moved along the guide rail 412a in the up-down direction. Move to.

상기 제1 협지 수단(4a), 제2 협지 수단(4b), 제3 협지 수단(4c), 제4 협지 수단(4d)을 각각 원형상의 유지 테이블(3)의 직경 방향으로 이동시키는 제1 테이프 확장 수단(5a), 제2 테이프 확장 수단(5b), 제3 테이프 확장 수단(5c), 제4 테이프 확장 수단(5d)은, 각각 상기 고정 베이스(20)에 형성된 상기 제1 안내홈(201a), 제2 안내홈(201b), 제3 안내홈(201c), 제4 안내홈(201d)을 따라 배치되어 있다. 이 제1 테이프 확장 수단(5a), 제2 테이프 확장 수단(5b), 제3 테이프 확장 수단(5c), 제4 테이프 확장 수단(5d)은, 각각 제1 안내홈(201a), 제2 안내홈(201b), 제3 안내홈(201c), 제4 안내홈(201d)과 평행하게 배치되어 상기 가동 베이스(41)의 이동부(411)에 형성된 암나사(411b)와 나사 결합하는 수나사 로드(51)와, 상기 고정 베이스(20)에 배치되어 수나사 로드(51)의 일단부를 회전 가능하게 지지하는 베어링(52)과, 수나사 로드(51)의 타단과 연결되어 수나사 로드(51)를 회전 구동시키기 위한 펄스 모터(53)로 이루어져 있다. 이와 같이 구성된 제1 테이프 확장 수단(5a), 제2 테이프 확장 수단(5b), 제3 테이프 확장 수단(5c), 제4 테이프 확장 수단(5d)은, 각각 펄스 모터(53)를 구동시켜 수나사 로드(51)를 일방향 또는 타방향으로 회동시킴으로써, 제1 협지 수단(4a), 제2 협지 수단(4b), 제3 협지 수단(4c), 제4 협지 수단(4d)을 각각 원형상의 유지 테이블(3)의 직경 방향으로 이동시킨다.1st tape which moves the said 1st clamping means 4a, the 2nd clamping means 4b, the 3rd clamping means 4c, and the 4th clamping means 4d in the radial direction of the circular holding table 3, respectively. The expansion means 5a, the second tape expansion means 5b, the third tape expansion means 5c, and the fourth tape expansion means 5d are each of the first guide grooves 201a formed in the fixed base 20. ), The second guide groove 201b, the third guide groove 201c, and the fourth guide groove 201d. The first tape expansion means 5a, the second tape expansion means 5b, the third tape expansion means 5c, and the fourth tape expansion means 5d are the first guide grooves 201a and the second guide, respectively. A male thread rod disposed in parallel with the groove 201b, the third guide groove 201c, and the fourth guide groove 201d to screw with the female screw 411b formed on the moving part 411 of the movable base 41. 51, a bearing 52 disposed on the fixed base 20 to rotatably support one end of the male threaded rod 51, and the other end of the male threaded rod 51 to rotate the male threaded rod 51. It consists of a pulse motor 53 to make. The 1st tape expansion means 5a, the 2nd tape expansion means 5b, the 3rd tape expansion means 5c, and the 4th tape expansion means 5d comprised in this way drive the pulse motor 53, respectively, By rotating the rod 51 in one direction or the other direction, the first holding means 4a, the second holding means 4b, the third holding means 4c, and the fourth holding means 4d are respectively formed in a circular holding table. It moves to the radial direction of (3).

도 1 내지 도 3에 도시된 실시형태에 있어서의 테이프 확장 장치(2)는 이상과 같이 구성되어 있고, 이하 그 작용에 대해서 설명한다.The tape expansion device 2 in embodiment shown to FIGS. 1-3 is comprised as mentioned above, and the operation | movement is demonstrated below.

상기 도 11에 도시된 표면 중앙부에 웨이퍼(10)[개개의 디바이스(102)로 분할되어 있음]가 점착되어 있는 점착 테이프(1)는, 도시하지 않은 반송 장치에 의해 유지 테이블(3) 상에 배치된다. 이때 점착 테이프(1)는, 제1 변(1a)을 제1 협지 수단(4a)을 향하게 하여, 제2 변(1b)을 제2 협지 수단(4b)을 향하게 하여, 제3 변(1c)을 제3 협지 수단(4c)을 향하게 하여, 제4 변(1d)을 제4 협지 수단(4d)을 향하게 하여 배치된다. 한편, 이때 유지 테이블(3)은, 상면이 상기 제1 협지 수단(4a), 제2 협지 수단(4b), 제3 협지 수단(4c), 제4 협지 수단(4d)을 구성하는 하측 협지 기구(42)의 하측 협지 부재(422)와 상측 협지 기구(43)의 복수의 지지 블록(434)의 중간 위치의 높이에 위치 부여되어 있다.The adhesive tape 1 to which the wafer 10 (divided into individual devices 102) is adhered to the surface center portion shown in FIG. 11 on the holding table 3 by a conveying device (not shown). Is placed. At this time, the adhesive tape 1 faces the 1st edge | side 1a toward the 1st clamping means 4a, and the 2nd edge | side 1b toward the 2nd clamping means 4b, and the 3rd edge | side 1c. Is arranged so as to face the third clamping means 4c and the fourth side 1d toward the fourth clamping means 4d. On the other hand, the holding table 3 has a lower clamping mechanism whose upper surface constitutes the first clamping means 4a, the second clamping means 4b, the third clamping means 4c, and the fourth clamping means 4d. It is positioned at the height of the intermediate position of the lower clamping member 422 of 42 and the several support block 434 of the upper clamping mechanism 43. As shown in FIG.

다음에, 제1 테이프 확장 수단(5a), 제2 테이프 확장 수단(5b), 제3 테이프 확장 수단(5c), 제4 테이프 확장 수단(5d)을 작동시켜 제1 협지 수단(4a), 제2 협지 수단(4b), 제3 협지 수단(4c), 제4 협지 수단(4d)의 하측 협지 기구(42) 및 상측 협지 기구(43)를 점착 테이프(1)를 협지할 수 있는 위치에 위치 부여한다. 그리고, 제1 협지 수단(4a), 제2 협지 수단(4b), 제3 협지 수단(4c), 제4 협지 수단(4d)을 구성하는 제1 이동 기구(44) 및 제2 이동 기구(45)를 작동시키며, 상측 협지 기구(43)를 구성하는 액추에이터(437)를 작동시켜 압박 블록(436)을 통해 지지 블록(434)을 아래쪽으로 압박한다. 이 결과, 도 4 및 도 5에 도시하는 바와 같이, 하측 협지 기구(42)의 하측 협지 부재(422)에 배치된 복수의 롤러(423)와 상측 협지 기구(43)의 복수의 압박 블록(436)에 의해 각각 압박되는 지지 블록(434)(도 3 참조)에 각각 지지된 2개씩의 롤러(433)에 의해 점착 테이프(1)의 각 변을 협지한다(테이프 협지 공정). 이때, 2개씩의 롤러(433)를 지지하는 복수의 지지 블록(434)은, 각각 2개의 롤러(433)의 간격을 2등분하는 작용 위치에서 압박되기 때문에, 한쌍을 이루는 모든 2개의 롤러(433)는 하측 협지 기구(42)의 하측 협지 부재(422)에 배치된 복수의 롤러(423)에 의해 점착 테이프(1)의 각 변을 균일한 힘으로 협지할 수 있다.Next, the first tape expansion means 5a, the second tape expansion means 5b, the third tape expansion means 5c, and the fourth tape expansion means 5d are operated to operate the first clamping means 4a and the first tape extension means 5a. The lower clamping mechanism 42 and the upper clamping mechanism 43 of the second clamping means 4b, the third clamping means 4c, and the fourth clamping means 4d are positioned at positions where the adhesive tape 1 can be clamped. Grant. And the 1st moving mechanism 44 and the 2nd moving mechanism 45 which comprise the 1st clamping means 4a, the 2nd clamping means 4b, the 3rd clamping means 4c, and the 4th clamping means 4d. ) And the actuator 437 constituting the upper gripping mechanism 43 to actuate the supporting block 434 downward through the pressing block 436. As a result, as shown to FIG. 4 and FIG. 5, the some clamping block 436 of the several roller 423 and the upper clamping mechanism 43 arrange | positioned at the lower clamping member 422 of the lower clamping mechanism 42 is shown. Each side of the adhesive tape 1 is clamped by the two rollers 433 supported by the support block 434 (refer to FIG. 3) respectively pressed by (). At this time, since the plurality of support blocks 434 supporting the two rollers 433 are pressed at an action position that divides the intervals of the two rollers 433 into two equal parts, all two rollers 433 in a pair ) Can sandwich each side of the adhesive tape 1 with a uniform force by a plurality of rollers 423 disposed on the lower gripping member 422 of the lower gripping mechanism 42.

도 4 및 도 5에 도시하는 바와 같이, 하측 협지 기구(42)의 하측 협지 부재(422)에 배치된 복수의 롤러(423)와 상측 협지 기구(43)의 복수의 압박 블록(436)에 의해 각각 압박되는 지지 블록(434)에 각각 지지된 2개씩의 롤러(433)에 의해 점착 테이프(1)의 각 변을 협지하였다면, 예컨대 제3 테이프 확장 수단(5c) 및 제4 테이프 확장 수단(5d)을 작동시켜, 도 6에 도시하는 바와 같이, 제3 협지 수단(4c) 및 제4 협지 수단(4d)을 구성하는 하측 협지 기구(42) 및 상측 협지 기구(43)를 도 6에서 화살표 A1 및 화살표 A2로 나타내는 방향(도 6에 있어서 좌우 방향)으로 이동시킨다. 이 결과, 점착 테이프(1)는, 화살표 A1 및 화살표 A2로 나타내는 방향(도 6에 있어서 좌우 방향)으로 인장되어 확장된다(제1 테이프 확장 공정). 이때, 제3 협지 수단(4c) 및 제4 협지 수단(4d)을 구성하는 하측 협지 기구(42) 및 상측 협지 기구(43)에 협지된 점착 테이프(1)의 제3 변(1c) 및 제4 변(1d)과 직교하는 제1 변(1a) 및 제2 변(1b)을 협지하는 제1 협지 수단(4a) 및 제2 협지 수단(4b)의 하측 협지 기구(42)를 구성하는 하측 협지 부재(422)에 배치된 복수의 롤러(423) 및 상측 협지 기구(43)를 구성하는 복수의 압박 블록(436)에 의해 각각 압박되는 지지 블록(434)에 각각 지지된 2개의 롤러(433)는, 길이 방향[제1 변(1a) 및 제2 변(1b)을 따르는 방향]으로 회전하도록 배치되어 있기 때문에, 점착 테이프(1)가 화살표 A1 및 화살표 A2로 나타내는 방향(도 6에 있어서 좌우 방향)으로 인장되어 확장되면, 하측 협지 기구(42)를 구성하는 하측 협지 부재(422)에 배치된 복수의 롤러(423) 및 상측 협지 기구(43)를 구성하는 복수의 압박 블록(436)에 의해 각각 압박되는 지지 블록(434)에 각각 지지된 2개의 롤러(433)가 회전한다. 따라서, 점착 테이프(1)의 제3 변(1c) 및 제4 변(1d)을 협지하여 확장시킬 때에, 제3 변(1c) 및 제4 변(1d)과 직교하는 제1 변(1a) 및 제2 변(1b)을 협지하는 제1 협지 수단(4a) 및 제2 협지 수단(4b)의 하측 협지 기구(42) 및 상측 협지 기구(43)에 의해 협지되고 있어도, 하측 협지 기구(42)를 구성하는 하측 협지 부재(422)에 배치된 복수의 롤러(423) 및 상측 협지 기구(43)를 구성하는 복수의 압박 블록(436)에 의해 각각 압박되는 지지 블록(434)에 각각 지지된 2개의 롤러(433)가 회전하기 때문에, 점착 테이프(1)는 충분히 확장된다.As shown to FIG. 4 and FIG. 5, by the some roller 423 arrange | positioned at the lower clamping member 422 of the lower clamping mechanism 42, and the several clamping block 436 of the upper clamping mechanism 43. As shown in FIG. If each side of the adhesive tape 1 is sandwiched by two rollers 433 respectively supported by the supporting blocks 434 which are respectively pressed, for example, the third tape expansion means 5c and the fourth tape expansion means 5d. 6, the lower clamping mechanism 42 and the upper clamping mechanism 43 constituting the third clamping means 4c and the fourth clamping means 4d are indicated by arrows A1 in FIG. And the direction indicated by arrow A2 (left and right directions in FIG. 6). As a result, the adhesive tape 1 is stretched and expanded in the directions indicated by arrows A1 and A2 (left-right direction in FIG. 6) (first tape expanding step). At this time, the 3rd side 1c and the 1st of the adhesive tape 1 clamped by the lower clamping mechanism 42 and the upper clamping mechanism 43 which comprise the 3rd clamping means 4c and the 4th clamping means 4d. Lower side which comprises the lower clamping mechanism 42 of the 1st clamping means 4a and the 2nd clamping means 4b which clamp the 1st side 1a and the 2nd side 1b orthogonal to 4 sides 1d. Two rollers 433 each supported by a plurality of rollers 423 disposed on the holding member 422 and a supporting block 434 respectively pressed by the plurality of pressing blocks 436 constituting the upper holding mechanism 43. ) Is arranged to rotate in the longitudinal direction (direction along the first side 1a and the second side 1b), so that the adhesive tape 1 is indicated by the arrows A1 and A2 (in FIG. 6). When extended and extended in the left-right direction, the several pressure which comprises the several roller 423 and the upper clamping mechanism 43 arrange | positioned at the lower clamping member 422 which comprise the lower clamping mechanism 42 Each supported two rollers 433 on the support block 434 being pressed by the respective blocks 436 rotates. Therefore, when the 3rd side 1c and 4th side 1d of the adhesive tape 1 are pinched and expanded, the 1st side 1a orthogonal to the 3rd side 1c and the 4th side 1d And the lower clamping mechanism 42 even if the lower clamping mechanism 42 and the upper clamping mechanism 43 of the first clamping means 4a and the second clamping means 4b which clamp the second side 1b are held. Supported by a plurality of rollers 423 disposed on the lower clamping member 422 constituting the upper clamping member 422 and a plurality of pressing blocks 436 constituting the upper clamping mechanism 43, respectively. Since the two rollers 433 rotate, the adhesive tape 1 expands sufficiently.

다음에, 상기 도 6에 도시된 점착 테이프(1)의 제3 변(1c) 및 제4 변(1d)을 협지하여 확장시킨 상태로, 도 7에 도시하는 바와 같이 제1 협지 수단(4a) 및 제2 협지 수단(4b)을 구성하는 하측 협지 기구(42) 및 상측 협지 기구(43)를 도 7에 있어서 화살표 B1 및 화살표 B2로 나타내는 방향(도 7에 있어서 상하 방향)으로 이동시킨다. 이 결과, 점착 테이프(1)는, 화살표 B1 및 화살표 B2로 나타내는 방향(도 7에 있어서 상하 방향)으로 인장되어 확장된다(제2 테이프 확장 공정). 이때, 제1 협지 수단(4a) 및 제2 협지 수단(4b)을 구성하는 하측 협지 기구(42) 및 상측 협지 기구(43)에 협지된 점착 테이프(1)의 제1 변(1a) 및 제2 변(1d)과 직교하는 제3 변(1c) 및 제4 변(1d)을 협지하는 제3 협지 수단(4c) 및 제4 협지 수단(4d)의 하측 협지 기구(42)의 하측 협지 부재(422)에 배치된 복수의 롤러(423)와 상측 협지 기구(43)의 복수의 압박 블록(436)에 의해 각각 압박되는 지지 블록(434)에 각각 지지된 2개의 롤러(433)는, 길이 방향[제3 변(1c) 및 제4 변(1d)을 따르는 방향]으로 회전하도록 배치되어 있기 때문에, 점착 테이프(1)가 화살표(B1 및 B2)로 나타내는 방향(도 7에 있어서 상하 방향)으로 인장되어 확장되면, 하측 협지 기구(42)를 구성하는 하측 협지 부재(422)에 배치된 복수의 롤러(423) 및 상측 협지 기구(43)를 구성하는 복수의 압박 블록(436)에 의해 각각 압박되는 지지 블록(434)에 각각 지지된 2개의 롤러(433)가 회전한다. 따라서, 점착 테이프(1)의 제1 변(1a) 및 제2 변(1b)을 협지하여 확장시킬 때에, 제1 변(1a) 및 제2 변(1b)과 직교하는 제3 변(1c) 및 제4 변(1d)을 협지하는 제3 협지 수단(4c) 및 제4 협지 수단(4d)의 하측 협지 기구(42) 및 상측 협지 기구(43)에 의해 협지되고 있어도, 하측 협지 기구(42)를 구성하는 하측 협지 부재(422)에 배치된 복수의 롤러(423) 및 상측 협지 기구(43)를 구성하는 복수의 압박 블록(436)에 의해 각각 압박되는 지지 블록(434)에 각각 지지된 2개의 롤러(433)가 회전하기 때문에, 점착 테이프(1)는 충분히 확장된다.Next, in the state where the 3rd side 1c and the 4th side 1d of the adhesive tape 1 shown in the said FIG. 6 were pinched and expanded, the 1st clamping means 4a as shown in FIG. And the lower gripping mechanism 42 and the upper gripping mechanism 43 constituting the second gripping means 4b in the directions indicated by arrows B1 and B2 in FIG. 7 (up and down directions in FIG. 7). As a result, the adhesive tape 1 is stretched and expanded in the directions indicated by arrows B1 and B2 (up-down direction in FIG. 7) (second tape expansion step). At this time, the 1st side 1a and 1st of the adhesive tape 1 clamped by the lower clamping mechanism 42 and the upper clamping mechanism 43 which comprise the 1st clamping means 4a and the 2nd clamping means 4b are made. Lower clamping member of the lower clamping mechanism 42 of the third clamping means 4c and the fourth clamping means 4d which clamp the third and fourth sides 1c and 4d which are orthogonal to the two sides 1d. The two rollers 433 supported by the support blocks 434 respectively pressed by the plurality of rollers 423 disposed in the 422 and the plurality of pressing blocks 436 of the upper clamping mechanism 43 each have a length. Since it is arrange | positioned so that it may rotate in the direction (direction along 3rd side 1c and 4th side 1d), the direction in which the adhesive tape 1 is shown by the arrows B1 and B2 (up-down direction in FIG. 7) , The plurality of rollers 423 disposed on the lower clamping member 422 constituting the lower clamping mechanism 42 and the plurality of pressing blocks 436 constituting the upper clamping mechanism 43 respectively. Pressure Each of the two rollers 433 supported by the support block 434 is rotated. Therefore, when the 1st side 1a and the 2nd side 1b of the adhesive tape 1 are sandwiched and extended, the 3rd side 1c orthogonal to the 1st side 1a and the 2nd side 1b is extended. And the lower clamping mechanism 42 even if the lower clamping mechanism 42 and the upper clamping mechanism 43 of the third clamping means 4c and the fourth clamping means 4d clamp the fourth side 1d. Supported by the plurality of rollers 423 disposed on the lower clamping member 422 constituting the upper clamping member 422 and the plurality of pressing blocks 436 constituting the upper clamping mechanism 43, respectively. Since the two rollers 433 rotate, the adhesive tape 1 expands sufficiently.

한편, 전술한 실시형태에 있어서는, 점착 테이프(1)의 제1 변(1a) 및 제2 변(1b)과 제3 변(1c) 및 제4 변(1d)을 협지한 상태로, 점착 테이프(1)의 제3 변(1c) 및 제4 변(1d)을 확장시키는 제1 테이프 확장 공정과, 점착 테이프(1)의 제1 변(1a) 및 제2 변(1b)을 확장시키는 제2 테이프 확장 공정을 나누어 실시하는 예를 나타내었지만, 제1 테이프 확장 공정과 제2 테이프 확장 공정을 동시에 실시하여도 좋다.On the other hand, in embodiment mentioned above, the adhesive tape in the state which pinched | interposed the 1st side 1a and the 2nd side 1b of the adhesive tape 1, and the 3rd side 1c and the 4th side 1d. 1st tape expansion process which expands the 3rd side 1c and 4th side 1d of (1), and the agent which expands the 1st side 1a and 2nd side 1b of the adhesive tape 1 Although the example which divided and performed 2 tape expansion process was shown, you may implement simultaneously a 1st tape expansion process and a 2nd tape expansion process.

이상과 같이 점착 테이프(1)의 제3 변(1c) 및 제4 변(1d)과 제1 변(1a) 및 제2 변(1b)을 확장시킴으로써, 도 8에 도시하는 바와 같이 점착 테이프(1)에 점착된 웨이퍼(10)가 개개로 분할되어 있는 디바이스(102) 사이에는, 간극(S)이 형성된다.As shown in FIG. 8, by extending the 3rd side 1c, 4th side 1d, 1st side 1a, and 2nd side 1b of the adhesive tape 1 as above, an adhesive tape ( A gap S is formed between the devices 102 in which the wafers 10 adhered to 1) are individually divided.

한편, 디바이스의 세로 및 가로의 치수가 상이하고, 웨이퍼에 배치된 디바이스의 종렬과 횡렬의 수가 상이한 경우라도, 배치된 디바이스의 수에 대응하여 점착 테이프(1)의 제1 변(1a) 및 제2 변(1b)의 확장량과 제3 변(1c) 및 제4 변(1d)의 확장량을 조정함으로써, 개개로 분할되어 있는 디바이스 사이의 간극(S)을 일정하게 할 수 있으며, 간극을 일직선 상에 형성할 수 있다.On the other hand, even when the vertical and horizontal dimensions of the device are different and the number of vertical and horizontal columns of the devices arranged on the wafer is different, the first side 1a and the first side of the adhesive tape 1 correspond to the number of the arranged devices. By adjusting the expansion amount of the two sides 1b and the expansion amounts of the third side 1c and the fourth side 1d, the gap S between the devices divided individually can be made constant, and the gap It can form on a straight line.

다음에, 전술한 점착 테이프(1)에 점착된 웨이퍼(10)가 개개로 분할되어 있는 디바이스(102) 사이에 간극(S)을 형성한 상태로, 도 9에 도시하는 바와 같이 웨이퍼(10)가 수용되는 크기의 개구부(70)를 갖는 환형의 프레임(7)을 점착 테이프(1)의 점착층이 코팅된 표면에 장착한다(프레임 장착 공정). 이 결과, 도 10에 도시하는 바와 같이 개개로 분할된 디바이스(102) 사이에 간격(s)이 형성된 웨이퍼(10)는, 환형의 프레임(7)의 개구부(70)에 수용되고, 점착 테이프(1)를 통해 환형의 프레임(7)에 의해 지지되게 된다. 이와 같이 하여, 점착 테이프(1)의 표면에 환형의 프레임(7)을 장착하였다면, 점착 테이프(1)를 환형의 프레임(7)의 외주를 따라 절단한다. 그리고, 환형의 프레임(7)에 점착 테이프(1)를 통해 지지된 웨이퍼(10)[디바이스(102) 사이에 간격(s)이 형성되어 있음]는, 디바이스를 픽업하는 픽업 공정으로 반송된다.Next, as shown in FIG. 9, the wafer 10 is formed with a gap S formed between the devices 102 in which the wafers 10 adhered to the adhesive tape 1 described above are individually divided. An annular frame 7 having an opening 70 of a size in which is accommodated is mounted on the surface coated with the adhesive layer of the adhesive tape 1 (frame mounting process). As a result, the wafer 10 in which the space | interval s was formed between the device 102 divided | segmented individually as shown in FIG. 10 is accommodated in the opening part 70 of the annular frame 7, and the adhesive tape ( It is supported by the annular frame 7 through 1). In this way, if the annular frame 7 is mounted on the surface of the adhesive tape 1, the adhesive tape 1 is cut along the outer periphery of the annular frame 7. And the wafer 10 supported by the adhesive tape 1 in the annular frame 7 (the space | interval s is formed between the devices 102) is conveyed by the pick-up process which picks up a device.

이상, 본 발명을 도시된 실시형태에 기초하여 설명하였지만, 본 발명은 실시형태에만 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 취지의 범위에서 여러가지의 변형은 가능하다. 전술한 실시형태에 있어서는, 2개의 롤러(433)를 회전 가능하게 지지하는 복수의 지지 블록(434) 및 복수의 지지 블록(434)을 압박하는 복수의 압박 수단(435)을 상측 협지 기구(43)에 배치한 예를 나타내었지만, 복수의 지지 블록(434) 및 복수의 압박 수단(435)은 하측 협지 기구(42)에 배치하여도 좋다.As mentioned above, although this invention was demonstrated based on embodiment shown, this invention is not limited only to embodiment, A various change is possible in the range of the meaning of this invention. In the above-described embodiment, the upper gripping mechanism 43 includes a plurality of support blocks 434 rotatably supporting the two rollers 433 and a plurality of pressing means 435 for pressing the plurality of support blocks 434. Although the example arrange | positioned at ()) was shown, you may arrange | position the some support block 434 and the some pressing means 435 to the lower clamping mechanism 42. As shown in FIG.

또한, 전술한 실시형태에 있어서는, 스트리트(101)를 따라 분할된 웨이퍼(10)가 점착된 점착 테이프(1)를 확장시키는 예를 나타내었지만, 본 발명에 따른 테이프 확장 장치는 스트리트(101)를 따라 내부에 개질층이 형성된 웨이퍼가 점착된 점착 테이프를 확장시켜, 웨이퍼를 개질층이 형성된 스트리트를 따라 분할하는 경우에 이용하여도 좋다.In addition, in the above-mentioned embodiment, although the example in which the wafer 10 divided along the street 101 expands the adhesive tape 1 adhered to it is shown, the tape expansion device according to the present invention is a street extension 101. Therefore, you may use when the adhesive tape in which the wafer with a modified layer was formed inside was expanded, and a wafer is divided along the street in which the modified layer was formed.

1: 점착 테이프 2: 테이프 확장 장치
20: 고정 베이스 3: 원형상의 유지 테이블
4a: 제1 협지 수단 4b: 제2 협지 수단
4c: 제3 협지 수단 4d: 제4 협지 수단
41: 가동 베이스 42: 하측 협지 기구
422: 하측 협지 부재 423: 롤러
43: 상측 협지 기구 433: 롤러
434: 지지 블록 435: 압박 수단
436: 압박 블록 437: 액추에이터
44: 제1 이동 기구 45: 제2 이동 기구
5a: 제1 테이프 확장 수단 5b: 제2 테이프 확장 수단
5c: 제3 테이프 확장 수단 5d: 제4 테이프 확장 수단
7: 환형의 프레임 10: 웨이퍼1: adhesive tape 2: tape expansion unit
20: fixed base 3: circular holding table
4a: first means for clamping 4b: second means for clamping
4c: third clamping means 4d: fourth clamping means
41: movable base 42: lower gripping mechanism
422: lower gripping member 423: roller
43: upper clamping mechanism 433: roller
434: support block 435: pressing means
436: compression block 437: actuator
44: first moving mechanism 45: second moving mechanism
5a: first tape expansion means 5b: second tape expansion means
5c: third tape expansion means 5d: fourth tape expansion means
7: annular frame 10: wafer

Claims (2)

직사각형상의 테이프를 확장시키는 테이프 확장 장치에 있어서,
테이프의 제1 변을 협지하는 제1 협지 수단과,
상기 제1 변과 대향하는 테이프의 제2 변을 협지하는 제2 협지 수단과,
상기 제1 변 및 상기 제2 변과 직교하는 테이프의 제3 변을 협지하는 제3 협지 수단과,
상기 제3 변과 대향하는 테이프의 제4 변을 협지하는 제4 협지 수단, 그리고
상기 제1 협지 수단과 상기 제2 협지 수단과 상기 제3 협지 수단, 상기 제4 협지 수단을 각각 협지하는 각 변에 대하여 직교하는 방향으로 이동시키는 확장 수단
을 구비하고, 상기 제1 협지 수단과 상기 제2 협지 수단과 상기 제3 협지 수단과 상기 제4 협지 수단은, 각각 하측 협지 기구와 상측 협지 기구를 포함하며, 상기 하측 협지 기구의 상부에는 협지한 변을 따르는 방향으로 회전하는 복수의 롤러가 배치되고, 상기 상측 협지 기구의 하부에는 협지한 변을 따르는 방향으로 회전하는 복수의 롤러가 배치되며,
상기 하측 협지 기구와 상측 협지 기구 중 어느 한쪽은, 2개의 롤러를 정해진 간격을 가지고 회전 가능하게 지지하는 지지 블록과, 상기 지지 블록에서의 2개의 롤러의 간격을 2등분하는 작용 위치를 압박하는 압박 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 테이프 확장 장치.In the tape expansion device which expands a rectangular tape,
First clamping means for clamping a first side of the tape,
Second gripping means for gripping a second side of the tape facing the first side;
Third gripping means for sandwiching a third side of the tape orthogonal to the first side and the second side;
Fourth clamping means for clamping a fourth side of the tape opposite the third side, and
Expansion means for moving the first clamping means, the second clamping means, the third clamping means, and the fourth clamping means in a direction orthogonal to each side of the clamping means, respectively.
The first clamping means, the second clamping means, the third clamping means, and the fourth clamping means each include a lower clamping mechanism and an upper clamping mechanism, and the upper clamping means is clamped on an upper portion of the lower clamping mechanism. A plurality of rollers rotating in the direction along the side is disposed, and a plurality of rollers rotating in the direction along the pinched side is disposed below the upper gripping mechanism,
Either of the said lower clamping mechanism and an upper clamping mechanism presses the support block which supports two rollers rotatably at predetermined intervals, and the action position which divides the space | interval of two rollers in the said support block into 2 parts. Tape extending apparatus comprising a means. 제1항에 있어서, 상기 압박 수단은, 2개의 지지 블록을 각각이 작용 위치에서 회전 가능하게 지지하는 압박 블록과, 상기 압박 블록에서의 2개의 지지 블록의 작용 위치를 2등분하는 압박 위치를 압박하는 액추에이터를 포함하는 것인 테이프 확장 장치.2. The pressing unit according to claim 1, wherein the pressing unit presses the pressing block for rotatably supporting the two supporting blocks in the acting position, and the pressing position for dividing the working position of the two supporting blocks in the pressing block into two. Tape expansion device comprising an actuator to.
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