KR100589234B1 - 평판표시소자 제조를 위한 기판 처리 장치 - Google Patents

평판표시소자 제조를 위한 기판 처리 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 평판 표시 소자를 제조하기 위한 기판 상에 감광액을 도포하는 장치에 관한 것으로, 상기 장치는 기판지지부와 상기 기판지지부에 놓여진 기판이 정위치에 놓여지도록 기판의 위치를 정렬하는 기판정렬부를 가진다. 상기 기판정렬부는 네개의 이동정렬기를 가지며, 각각의 이동정렬기에는 기판에 접촉시 기판을 흡착하는 흡착부가 형성되어 있다.
기판, 정렬, 진공, 평판표시소자

Description

평판표시소자 제조를 위한 기판 처리 장치{SUBSTRATE TREATING APPARATUS FOR MANUFACTURING FLAT PANEL DISPLAY DEVICES}
도 1과 도 2는 일반적인 도포장치 사용시 문제점을 보여주는 도면;
도 3은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따라 도포 공정을 수행하는 장치의 평면도;
도 4는 도 3의 기판지지부의 단면도;
도 5는 도 3의 슬릿노즐의 사시도;
도 6과 도 7은 각각 도 3의 정렬기의 사시도와 저면도;
도 8 내지 도 10은 기판정렬부에 의해 기판이 정렬되는 과정을 순차적으로 보여주는 도면들; 그리고
도 11은 기판정렬부의 변형된 예를 보여주는 도포장치의 평면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
30 : 처리실 40 : 기판정렬부
100 : 기판지지부 200 : 슬릿노즐
300 : 리프트 핀 어셈불리 400 : 이동정렬부
420 : 정렬기 421 : 제 1로드
422 : 제 2로드 424 : 흡착부
424a : 갭부 424b : 진공라인
440 : 구동로드 460 : 구동부
500 : 고정정렬부
본 발명은 평판 표시 소자를 제조하는 장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 평판표시소자 제조를 위한 기판 상에 감광액을 도포하는 장치에 관한 것이다.
최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 가동된 정보를 표시하기 위해 디스플레이 장치를 가진다. 지금까지 디스플레이 장치로는 주로 브라운관(cathode ray tube) 모니터가 사용되었으나, 최근에는 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 평판 디스플레이 사용이 급격히 증대하고 있다. 평판 디스플레이는 다양한 종류가 있으며, 이들 중 전력 소모와 부피가 적고 저전압 구동형인 액정 표시 소자(liquid crystal display)가 널리 사용되고 있다.
액정 표시 소자를 제조하기 위해 수행되는 공정들 중 도포공정은 노광 광원에 반응하는 포토레지스트와 같은 감광액을 기판 상에 도포하는 공정이다. 일반적으로 도포공정은 도포부에 놓여진 기판의 일단에서 타단으로 슬릿노즐이 일정속도로 이동되면서 기판 상에 포토레지스트를 토출하면서 이루어진다.
도 1과 도 2는 일반적인 도포장치 사용시 문제점을 보여주는 도면이다. 도 1에서 점선은 기판지지부(600)에 놓여지는 기판(10)의 정위치를 나타낸다. 도포공정 진행시 기판이 정위치에 정확히 놓여지는 것은 중요하다. 그러나 기판(10)을 기판지지부(600) 상부로 반송하는 로봇의 위치가 틀어지거나 기판(10)이 기판지지부(600) 상에 놓여질 때 기판지지부(600)에서 미끄러져, 도 1에 도시된 바와 같이 기판(10)이 기판지지부(600)의 정위치에서 벗어나 놓여진 상태에서 도포공정이 진행되는 경우가 종종 발생된다. 이로 인해 슬릿노즐(도시되지 않음)에 의해 실제 감광액으로 도포되는 기판(10)의 영역이 최초 도포하고자 하는 기판의 영역과 달라져, 공정의 신뢰성이 저하된다. 또한, 기판(10)이 정위치에서 크게 벗어나는 경우에는 감광액이 기판지지부(600) 상으로 공급되어 기판지지부(600)를 오염시킨다.
공정진행 중에 기판(10)은 기판지지부(600) 상에 형성된 진공홀(620)들을 통해 제공되는 진공에 의해 기판지지부(600)에 흡착된다. 그러나 도 2에 도시된 바와 같이 기판지지부(600)에 놓여진 기판(10)의 가장자리 안쪽으로만 진공홀들(620)이 형성되기 때문에 기판(10)의 가장자리 부분은 기판지지부(600)로부터 이격될 수 있다. 이는 공정 진행시 기판(10)의 가장자리에 도포되는 감광액의 두께가 불균일하게 되는 원인이 된다.
본 발명은 기판이 기판지지부의 정위치에 놓여진 상태에서 도포공정을 수행하여 도포영역의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적 으로 한다.
또한, 본 발명은 공정진행시 기판의 가장자리가 기판지지부로부터 이격되어 감광액이 불균일한 두께로 도포되는 것을 방지할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명인 기판 처리 장치는 처리실, 상기 처리실 내에 위치되며 기판이 놓여지는 기판지지부를 가진다. 상기 기판지지부 상에는 기판정렬부가 제공되며, 상기 기판정렬부는 상기 기판지지부 상에 놓여진 상기 기판의 위치를 정렬하며, 공정진행시 상기 기판을 진공에 의해 고정시키는 흡착부를 가진다.
상기 기판정렬부는 상기 기판지지부 상에 설치된 적어도 하나의 이동정렬부를 가진다. 상기 이동정렬부는 상기 기판의 측면과 접촉되어 상기 기판을 밀어주며, 그 내부에는 진공라인이 형성되며 외측면에 진공펌프가 결합되는 적어도 하나의 진공포트를 가지는 정렬기를 가진다. 상기 정렬기는 구동부에 의해 구동되는 구동로드에 의해 직선 이동된다.
상기 정렬기는 상기 정렬기의 이동방향과 평행하게 형성되며, 상기 기판의 일측면과 접촉이 이루어지는 제 1로드와 상기 제 1로드로부터 상기 제 1로드와 수직하게 연장되어 형성되며 상기 기판의 일측면과 인접하는 측면과 접촉이 이루어지는 제 2로드를 가진다. 상기 제 1로드는 정위치에 위치되는 상기 기판의 일측면과 접촉되며 평평한 내측면을 가지는 수평부와 상기 수평부로부터 연장되며 상기 기판 의 모서리와 접촉되어 상기 기판의 이동을 안내하고 내측면이 경사진 경사부를 가진다.
상기 흡착부는 상기 기판과 접촉되는 내측면만이 개방되도록 상기 정렬기의 바닥면에 홈으로서 형성된 갭(gap)부와 상기 정렬기의 일측면에 형성되며 진공펌프가 연결된 관이 결합되는 진공포트, 그리고 상기 정렬기의 내부에 형성되며 상기 갭부와 상기 관을 연통하는 진공라인을 가진다. 상기 홈은 상기 홈은 개방된 내측면이 상기 기판의 인접하는 두개의 측면과 대향되도록 'ㄱ'자 형상으로 형성될 수 있다.
일 예에 의하면 상기 기판정렬부는 상기 이동정렬부를 4개 가지며 각각의 상기 기판정렬부는 각각 네 방향에서 상기 기판의 모서리를 향해 이동된다.
다른 예에 의하면, 상기 기판정렬부는 적어도 하나의 상기 이동정렬부와 상기 기판지지부 상의 정위치에 위치된 기판의 측면과 접촉되도록 고정 배치된 적어도 하나의 고정정렬부를 가진다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 3 내지 도 11을 참조하면서 보다 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
본 실시예에서 기판은 평판 표시(flat panel display) 소자를 제조하기 위한 것으로 직사각형의 평판이며, 평판 표시 소자는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display), FED(FieldEmission Display), 또는 ELD(Electro Luminescence Display) 일 수 있다.
본 실시예에서 기판의 정위치는 도포공정이 수행하기 위해 기판지지부 상에서 기판이 놓여지도록 정해진 위치이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따라 도포공정을 수행하는 장치(1)의 평면도이고, 도 4는 도 3의 기판지지부(100)의 단면도이다. 도 3과 도 4를 참조하면, 장치(1)는 처리실(30), 기판지지부(100), 슬릿노즐(200), 리프트 핀 어셈불리(300), 그리고 기판정렬부(40)를 가진다. 처리실(30)은 도포공정이 수행되는 공간을 제공하며, 처리실(30) 내에는 공정 진행시 기판(10)이 놓여지는 기판지지부(100)가 위치된다. 기판지지부(100)는 직사각형의 판 형상을 가진다. 기판지지부(100)에는 복수의 진공홀들(142)이 형성되며, 기판지지부(100) 내에는 진공홀(142)로부터 연장된 진공라인(144)이 형성된다. 공정이 진행될 때 기판(10)은 진공에 의해 기판지지부에 고정된다. 기판지지부(100) 내에는 후술할 리프트 핀들(320)의 이동통로인 복수의 관통홀들(120)이 수직으로 형성된다.
이송로봇(도시되지 않음)에 의해 기판지지부(100) 상부로 이송된 기판(10)은 리프트 핀 어셈불리(300)에 의해 기판지지부(100) 상에 안착된다. 도 4를 참조하면, 리프트 핀 어셈불리(300)는 리프트 핀들(320), 받침대(340), 구동축(360), 그리고 구동실린더(380)를 가진다. 기판지지부(100) 하부에는 구동축(360)에 의해 지지되며, 구동축(360)의 이동에 의해 상하로 이동되는 받침대(340)가 배치된다. 구 동축은 유공압실린더나 모터와 같은 구동수단(380)에 의해 이동될 수 있다. 리프트 핀들(320)은 받침대에 고정 결합되어 기판지지부(100)에 형성된 관통홀들(120)을 통해 승강 또는 하강된다. 리프트 핀들(320)은 기판(10)의 크기에 따라 다양한 수로 제공될 수 있다. 이송로봇에 의해 기판(10)이 기판지지부(100) 상부로 이송되면, 구동축(360)이 승강되어 리프트 핀들(320)이 기판지지부(100) 상부면으로부터 돌출된다. 이송로봇의 하강에 의해 기판(10)은 그 후면이 리프트 핀들(320)의 끝단부에 놓인다. 이후에 리프트 핀들(320)이 기판지지부(100)에 형성된 홀(120)을 통해 하강되고 기판(10)은 기판지지부(100) 상에 놓여진다.
도 5는 도 3의 슬릿노즐(200)의 사시도이다. 슬릿노즐(200)은 기판(10)에 포토레지스트를 공급하는 부분이다. 슬릿노즐(200)은 폭이 점진적으로 감소되며 끝단에 토출구(222)가 형성된 토출부(220)와 토출부(220)로부터 연장되며 직육면체 형상을 가지는 몸체부(240)로 이루어진다. 슬릿노즐(200)은 기판(10)의 일측과 유사한 길이를 가지도록 길게 형성되며, 토출구(222)는 슬릿(slit)으로 형성된다.
이송로봇의 설정위치가 잘못되거나 기판(10)이 기판지지부(100)에 놓여질 때 기판(10)이 미끄러지면서 기판(10)이 정위치에서 벗어나 기판지지부(100) 상에 놓여질 수 있다. 기판정렬부(40)는 기판지지부(100)에 놓여진 기판(10)이 정위치에 위치되도록 기판을 정렬하는 부분이다. 도 3을 다시 참조하면, 기판정렬부(40)는 기판지지부(100) 상에 설치된 4개의 이동정렬부들(400)을 가진다. 기판의 제 1측면(12:도 8에 도시됨)과 마주보는 측면을 제 2측면(14)이라 칭하고, 제 3측면(16)과 마주보는 측면을 제 4측면(18)이라 할 때, 두개의 이동정렬부(400)는 기판의 제 3측면(16) 양쪽에 제 1측면(12) 또는 제 2측면(14)으로부터 일정거리 이격되도록 설치되고 다른 두개의 이동정렬부(400)는 제 4측면(18)의 양쪽에 제 1측면(12) 또는 제 2측면(14)으로부터 일정거리 이격되도록 설치된다.
각각의 이동정렬부(400)는 정렬기(420), 구동로드(440), 그리고 구동부(460)를 가진다. 도 6과 도 7은 각각 도 3의 정렬기의 사시도와 저면도이다. 도 6과 도 7에 도시된 바와 같이, 정렬기(420)는 기판(10)에 직접 접촉되어 기판(10)의 측면을 밀어주는 부분으로, 제 1로드(421)와 제 2로드(422)를 가지며, 정렬기(420)는 전체적으로 'ㄱ'자 형상으로 형성된다. 제 1로드(421)는 길이가 긴 직육면체 형상의 수평부(421a)와 수평부(421a)로부터 연장되며 바깥쪽으로 갈수록 폭이 점진적으로 줄어들도록 내측면이 경사진 경사부(421b)를 가진다. 제 1로드(421)는 그 길이방향이 정렬기(420)의 이동방향과 평행하게 배치되며, 기판(10)이 기판지지부(100)의 정위치에 위치될 때 제 1로드의 수평부(421a) 내측면은 기판의 제 3측면(16) 또는 제 4측면(18)과 접촉된다. 제 2로드(422)는 제 1로드(421)와 수직하게 배치되도록 제 1로드(421)로부터 연장되어 형성되며 길이가 긴 직육면체의 막대 형상을 가진다. 기판(10)이 기판지지부(100)의 정위치에 위치될 때, 제 2로드(422)의 내측면은 기판의 제 1측면(12) 또는 제 2측면(14)과 접촉된다.
정렬기(420)의 외측면에는 유공압실린더나 모터와 같은 구동부(460)에 의해 이동되는 구동로드(440)가 결합된다. 구동로드(440)는 제 2로드(422)의 외측면에 결합되며, 정렬기(420)의 이동방향과 평행하게 배치된다. 비록 도시되지는 않았으나 기판지지부(100) 상에는 가이드레일이 설치되고, 정렬기(420)는 가이드레일을 따라 안정적으로 직선 이동될 수 있다.
정렬기(420)는 제 1설정위치에서 제 2설정위치까지 이동되도록 설정된다. 정렬기(420)의 이동거리는 구동실린더(460)의 스트록(stroke)을 조절하거나 기판지지부(100) 상에 스토퍼(도시되지 않음)를 설치함으로써 설정될 수 있다. 제 1설정위치는 기판지지부(100) 상에 기판(10)이 놓여지기에 충분한 공간을 제공하도록 기판지지부(100) 상에 기판이 놓여지는 정위치로부터 일정거리 이격된 위치이고, 제 2설정위치는 정위치에 놓여진 기판(10)과 정렬기(410)가 접촉되도록 하는 위치이다. 제 2설정위치는 기판(10)의 크기에 따라 다양하게 조절될 수 있다.
상술한 바와 같이 기판지지부(100)에는 진공라인(140)이 형성되어, 공정진행시 기판(10)은 진공에 의해 기판지지부(100)에 흡착된다. 그러나 기판지지부(100)에서 기판(10)의 가장자리와 대향되는 부분에는 진공홀이 형성되지 않아, 기판(10)의 가장자리 부분은 위쪽을 향해 휘어질 수 있다. 기판(10)의 가장자리가 기판지지부(100)로부터 이격시 공정에 악영향을 미칠 수 있다. 이를 방지하기 위해 본 발명의 정렬기(420)는 공정진행시 기판(10)의 측면을 흡착하는 흡착부(424)를 가진다. 도 7을 참조하면, 흡착부(424)는 갭(gap)부(424a), 진공라인(424b), 그리고 진공포트(424c)를 가진다. 흡착부(424)는 정렬기(420)의 바닥면에 얇은 깊이의 홈으로서 형성된다. 흡착부(424)는 정렬기(420)가 기판(10)과 접촉될 때 기판(10)의 측면과 마주보는 면이 개방되도록 형성되고, 흡착부(424)의 상부면에는 적어도 하나의 진공홀이 형성된다. 기판(10)의 인접하는 두 측면이 모두 정렬기(420)에 흡착되도록 흡착부(424)는 제 1로드의 수평부(421a)로부터 제 2로드(422)까지 'ㄱ'자 형상으로 형성된다. 정렬기의 제 2로드(422) 외측면에는 진공펌프가 연결된 진공관(도시되지 않음)이 결합되는 진공포트(424c)가 형성되며, 정렬기(420)의 내부에는 갭부(424a)와 진공관을 연통시키는 진공라인(424b)이 형성된다.
정렬기(420)가 기판(10)과 접촉되면 기판(10)의 측면, 정렬기(420)의 바닥면, 그리고 기판지지부(100) 상부면에 의해 둘러싸인 공간이 형성된다. 진공펌프가 동작되면서 상기 공간 내부는 저압이 형성되고 기판(10)은 정렬기(420)에 흡착된다.
선택적으로 정렬기(420)가 이동되면서 기판지지부(100) 상에 부착된 파티클을 제거하도록 정렬기(420)가 기판지지부(100) 상에서 이동되는 도중에 진공펌프가 동작될 수 있다.
다음에는 도 8 내지 도 10을 참조하여 기판정렬부(420)에 의해 기판(10)이 정렬되는 과정을 설명한다. 도 8은 기판(10)이 정위치에서 벗어나 기판지지부(100) 상에 놓여진 상태를 보여주고, 도 9a 내지 도 9c는 정렬기(420)가 이동됨에 따라 기판(10)이 정위치로 정렬되는 과정을 보여주며, 도 10은 기판(10)의 정렬이 완료된 상태를 보여준다. 도 8에서 점선은 기판지지부(100) 상에서 기판(10)의 정위치를 나타내고, 도 9a 내지 도 10에는 기판(10)의 한쪽 모서리와 하나의 이동정렬부(400)만을 도시하였다. 도 8에서 보는 바와 같이 최초 각각의 이동정렬부(400)에서 정렬기(420)는 제 1설정위치에 위치된다. 기판(10)이 기판지지부(100) 상에 놓여지면 정렬기(420)가 기판(10)을 향해 직선으로 이동된다. 도 9에서 보는 바와 같이 처음에 기판(10)의 모서리가 제 1로드의 경사부(421b) 내측면에 접촉된 다. 정렬기(420)가 계속적으로 이동됨에 따라 기판(10)의 모서리는 수평부(421a)의 내측면을 향해 경사부(421b) 내측면을 따라 이동되어 기판(10)의 일측면은 제 1로드의 수평부(421a) 내측면과 접촉되고, 이와 인접하는 기판의 측면은 제 2로드(422)의 내측면에 접촉된다. 모든 이동정렬부(400)에서 정렬기(420)가 제 2설정위치로 이동되면, 도 10에서 보는 바와 같이 기판(10)은 정위치로 정렬된다. 기판(10)이 정위치로 정렬되면, 기판(10)은 기판지지부(100) 및 정렬기(420)에 형성된 진공라인에 의해 기판지지부(100)에 흡착된다.
이동정렬부들(400)은 모두 동시에 이동되는 것이 바람직하다. 그러나 선택적으로 각각의 이동정렬부(400)가 순차적으로 이동될 수 있다.
본 실시예에서 기판정렬부(40)는 네 개의 이동정렬부(400)를 구비하는 것으로 설명하였으나 이와 달리 대각선으로 마주보는 두개의 이동정렬부(400)만을 구비할 수 있다.
도 11은 도 3의 기판정렬부(40)의 변형된 예를 보여주는 도포공정을 수행하는 장치(10)의 평면도이다. 도 10을 참조하면, 기판정렬부(40)는 적어도 하나의 이동정렬부(400)와 고정정렬부(500)를 가진다. 이동정렬부(400)는 상술한 실시예와 동일하므로 상세한 설명은 생략한다. 고정정렬부(500)는 제 1로드(521)와 제 2로드(522)를 가지며, 전체적으로 'ㄱ'자 형상으로 형성된다. 제 2로드(522)는 제 1로드(521)의 일단으로부터 제 1로드(521)와 수직한 방향으로 연장되도록 형성된다. 고정정렬부(500)는 기판지지부(100)의 정위치에 놓여진 기판(10)의 인접하는 측면들이 제 1로드(521)와 제 2로드(522)와 접촉되도록 하는 위치에 배치된다. 고 정정렬부(500)는 이동정렬부(400)와 동일하게 흡착부를 가질 수 있다.
기판정렬부(40)는 하나의 고정정렬부(500)와 세 개의 이동정렬부(400)를 가질 수 있다. 기판(10)이 기판지지부(100)의 정위치에서 벗어난 상태로 놓여지면, 세개의 이동정렬부(400)가 기판(10)을 향해 직선 이동되어 기판(10)을 정위치시킨다. 선택적으로 기판정렬부(40)는 두 개 또는 세 개의 고정정렬부(500)를 가질 수 있다.
상술한 실시예에서는 기판에 포토레지스트와 같은 감광액을 도포하는 장치를 예로 들어 설명하였으나, 본 발명의 장치는 기판을 기판지지부 상에 위치시킨 상태에서 공정을 수행하는 모든 장치에 사용될 수 있다.
본 발명에 의하면, 기판이 정위치에 놓여진 상태에서 도포공정이 수행되므로, 도포공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 의하면 정렬기에 기판의 측면이 흡착 고정되므로 공정진행시 기판의 가장자리가 기판지지부로부터 이격되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (13)

  1. 평판표시소자 제조에 사용되는 기판을 처리하는 장치에 있어서,
    기판이 놓여지는 기판지지부와; 그리고
    상기 기판지지부 상에 놓여진 상기 기판의 위치를 정렬하는 기판정렬부를 가지되,
    상기 기판정렬부는 정렬된 기판의 측면을 진공흡착하는 흡착부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 기판정렬부는 상기 기판지지부 상에 설치된 적어도 하나의 이동정렬부를 가지며,
    상기 이동정렬부는,
    상기 기판의 측면과 접촉되어 상기 기판을 밀어주는 정렬기와;
    상기 정렬기에 결합되며 상기 정렬기를 이동시키는 구동로드를 구비하되,
    상기 흡착부는 상기 정렬기에 제공되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 정렬기는,
    상기 정렬기의 이동방향과 평행하게 제공되며, 상기 기판의 일측면과 접촉이 이루어지는 제 1로드와;
    상기 제 1로드로부터 수직하게 연장되도록 제공되며, 상기 기판의 일측면과 인접하는 측면과 접촉이 이루어지는 제 2로드를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 제 1로드는,
    정위치에 위치되는 상기 기판의 일측면과 접촉되며, 평평한 내측면을 가지는 수평부와;
    상기 수평부로부터 연장되며, 상기 기판의 모서리와 접촉되어 상기 기판의 이동을 안내하는, 그리고 내측면이 경사진 경사부를 가지는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  5. 제 3항에 있어서,
    상기 흡착부는,
    상기 기판과 접촉되는 내측면만이 개방되도록 상기 정렬기의 바닥면에 홈으로서 형성된 갭(gap)부와;
    상기 정렬기의 일측면에 형성되며 진공펌프가 연결된 관이 결합되는 진공포 트와;
    상기 정렬기의 내부에 형성되며, 상기 갭부와 상기 관을 연통하는 진공라인을 가지는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 홈은 개방된 내측면이 상기 기판의 인접하는 두개의 측면과 대향되도록 'ㄱ'자 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  7. 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판정렬부는 상기 이동정렬부를 4개 가지며,
    각각의 상기 기판정렬부는 각각 네 방향에서 상기 기판의 모서리를 향해 이동되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  8. 제 1항 내지 제 6항 중 어느 하나 항에 있어서,
    상기 기판정렬부는 상기 기판지지부 상의 정위치에 위치된 기판의 측면과 접촉되도록 고정 배치된 고정정렬부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  9. 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 장치는 상기 기판 상에 감광액을 도포하는 장치인 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  10. 평판표시소자 제조에 사용되는 기판 상에 감광액을 도포하는 공정을 수행하는 장치에 있어서,
    기판이 놓여지는 기판지지부와;
    상기 기판지지부에 형성된 홀을 통해 상하로 이동되며, 상기 기판을 상기 기판지지부에 안착시키는 리프트 핀을 가지는 리프트 핀 어셈블리와;
    상기 기판지지부 상에 놓여진 상기 기판에 감광액을 분사하는 슬릿노즐과; 그리고
    상기 기판지지부에 놓여진 상기 기판의 위치를 정렬하는 복수의 이동정렬부를 가지는 기판정렬부를 구비하되,
    상기 이동정렬부는,
    상기 기판의 측면과 접촉되어 상기 기판을 밀어주는, 그리고 정렬된 기판의 측면을 진공흡착하는 흡착부를 가지는 정렬기와;
    상기 정렬기에 결합되며 상기 정렬기를 이동시키는 구동로드를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 정렬기는 서로 수직하게 형성된 제 1로드와 제 2로드를 가지며,
    상기 제 1로드는 상기 기판의 일측면과 접촉이 이루어지고, 상기 제 2로드는 상기 기판의 일측면과 인접하는 타측면과 접촉이 이루어지며,
    상기 제 1로드는 상기 정렬기가 이동되는 방향과 평행한 방향으로 배치되며, 상기 기판이 상기 경사면을 따라 이동되면서 정렬되도록 상기 제 1로드의 끝단부는 상기 기판과 마주보는 측면이 일정경사를 가지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  12. 제 10항에 있어서,
    상기 흡착부는 상기 정렬기의 바닥면에 상기 기판의 일측면 및 타측면과 마주보는 면이 개방되도록 형성되며, 진공라인과 연결되는 진공홀이 형성된 일정깊이의 홈으로써 제공되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  13. 평판표시소자 제조에 사용되는 기판을 처리하는 장치에 있어서,
    기판이 놓여지는 기판지지부와; 그리고
    상기 기판지지부 상에 놓여진 상기 기판의 위치를 정렬하는 기판정렬부를 가지되,
    상기 기판정렬부는 상기 기판지지부 상에 설치되는, 그리고 상기 기판의 측면과 접촉되어 상기 기판을 밀어주는 이동가능한 정렬기를 가지는 적어도 하나의 이동정렬부를 가지며,
    상기 정렬기는 상기 정렬기의 이동방향과 평행하게 제공되며 상기 기판의 일측면과 접촉이 이루어지는 제 1로드 및 상기 제 1로드로부터 수직하게 연장되도록 제공되며 상기 기판의 일측면과 인접하는 측면과 접촉이 이루어지는 제 2로드를 구비하며,
    상기 제 1로드는 정위치에 위치되는 상기 기판의 일측면과 접촉되며 평평한 내측면을 가지는 수평부 및 상기 수평부로부터 연장되며 상기 기판의 모서리와 접촉되어 상기 기판의 이동을 안내하도록 내측면이 경사진 경사부를 가지는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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