KR101824561B1 - 이송장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 내식성을 향상시켜 불필요한 장비나 부품의 교체를 줄여줌으로써 생산비용 절감 및 생산성의 향상을 꾀할 수 있을 뿐만 아니라 이송벨트의 장력 및 수평 정도를 용이하게 조절할 수 있는 이송장치에 관한 것이다.
본 발명에 따르면 이송장치에 있어서, 동력발생수단과; 동력발생수단에 연결되어 축회전하는 제 1 샤프트에 장착되어 동작하는 구동수단과; 구동수단과 떨어져 위치하는 하나 또는 둘 이상의 제 2 샤프트에 장착되어 동작하는 피동수단; 및 구동수단과 피동수단을 연결하고, 구동수단의 회전력에 의해 동작되어 피동수단을 동작시키는 이송벨트를 포함하며, 상기 제 1 및 제 2 샤프트 중 적어도 하나는 열처리와 레이던트 처리된 것을 특징으로 하는 이송장치를 제공한다.

Description

이송장치{APPARATUS FOR TRANSFER}
본 발명은 이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 내식성을 향상시켜 불필요한 장비나 부품의 교체를 줄여줌으로써 생산비용 절감 및 생산성의 향상을 꾀할 수 있을 뿐만 아니라 이송벨트의 장력 및 수평 정도를 용이하게 조절할 수 있는 이송장치에 관한 것이다.
화석자원의 고갈과 환경오염에 대처하기 위해 최근 태양력 등의 청정에너지에 대한 관심이 높아지면서, 태양에너지를 전기에너지로 변환하는 태양전지에 대한 연구개발이 활력을 얻고 있다.
이러한 태양전지를 제조하기 위해서는 웨이퍼 등에 전극, 반도체층, 반사 방지막 등을 형성하게 되며, 웨이퍼를 각각의 공정에 투입하거나 반출하도록 이송시켜주기 위해 이송장치, 예를 들어 픽앤플레이스(Pick-and-Place) 타입 이송장치나 벨트타입 이송장치 등을 사용하게 된다.
이 중에서 웨이퍼에 충격을 주지 않도록 하기 위해 벨트타입 이송장치, 예를 들어 벨트 컨베이어가 많이 선호되고 있으며, 한국 공개특허 제10-2003-0080368호 "반도체 웨이퍼를 이동시키기 위한 컨베이어 벨트 구동 장비" 등과 같은 기술이 개시되어 있다.
그런데, 웨이퍼에 태양광이 닿는 면적을 최대한 넓히기 위해 인위적으로 줄무늬 형식의 스크래칭 작업을 하게 되는 텍스처(Texture) 공정과, 웨이퍼에 전도성을 띠게 하기 위해 불 인산 등 불순물을 주입하고, 고온처리한 후 불순물 도포과정에서 발생한 얇은 막(규산염 유리질; PSG)을 제거하는 PSG 공정에 사용되는 장비의 경우 각종 유독 가스와(F, Cl, H...) 산성, 염기성 화합물 혹은 화학품이 첨가된 물에 웨이퍼를 일정 시간 담가 두게 된다.
이때, 장비의 가스나 화학품이 첨가된 물이 장비 세팅시 이송장치에 옮겨지거나 가스, 물, 흄 등의 형태로 옮겨지게 되면 이송장치가 부식되는 문제가 발생하게 된다.
따라서, 장비의 수명이 짧아지고, 정비시간이 늘어나게 되어 태양전지의 생산비용이 상승하게 될 뿐만 아니라 생산성 또한 떨어지게 되는 단점이 있었다.
본 발명은 전술한 바와 같은 종래의 이송장치에서 기인되는 제반 문제점을 해결 보완하기 위한 것으로,
본 발명의 목적은 내식성을 향상시켜 불필요한 장비나 부품의 교체를 줄여줌으로써 생산비용 절감 및 생산성의 향상을 꾀할 수 있는 이송장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 이송벨트의 장력 및 수평 정도를 용이하게 조절할 수 있는 이송장치를 제공하는 데 있다.
전술한 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따르면 이송장치에 있어서, 동력발생수단과; 동력발생수단에 연결되어 축회전하는 제 1 샤프트에 장착되어 동작하는 구동수단과; 구동수단과 떨어져 위치하는 하나 또는 둘 이상의 제 2 샤프트에 장착되어 동작하는 피동수단; 및 구동수단과 피동수단을 연결하고, 구동수단의 회전력에 의해 동작되어 피동수단을 동작시키는 이송벨트를 포함하며, 상기 제 1 및 제 2 샤프트 중 적어도 하나는 열처리와 레이던트 처리된 것을 특징으로 하는 이송장치를 제공한다.
구동수단 또는 피동수단 중 어느 하나 또는 둘은, 철 재질로 이루어져 레이던트 처리되거나, 알루미늄 재질로 이루어져 하드-애노다이징 처리된 와셔 또는 스페이서 중 어느 하나 또는 둘을 더 포함하도록 구성될 수 있다.
구동수단 또는 피동수단 중 어느 하나 또는 둘은, 스테인리스 재질의 베어링을 더 포함하도록 구성될 수 있다.
상호 떨어져 배치되고, 마주보도록 장공이 형성되는 한 쌍의 패널; 및 장공을 관통하는 제 3 샤프트에 장착되고, 장공을 따라 이동가능하며, 이송벨트에 접하는 정도를 조절하여 이송벨트의 장력을 조절하는 장력조절수단; 을 더 포함하도록 구성될 수 있다.
장력조절수단은, 장공과 떨어져 패널에 장착되는 고정블럭과; 장공에 장착되어 장공을 따라 슬라이드 동작되는 이동블럭과; 이동블럭에 결합되는 제 3 샤프트에 장착되고, 이송벨트에 접하여 회전되는 구름부재; 및 고정블럭을 관통하여 이동블럭에 볼트 결합되며, 회전방향에 따라 이동블럭을 고정블럭에 가까워지거나 멀어지도록 슬라이드 이동시키는 연결볼트; 를 포함하도록 구성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 이송장치에 의하면, 내식성을 향상시켜 불필요한 장비나 부품의 교체를 줄여줌으로써 생산비용 절감 및 생산성의 향상을 꾀할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 이송벨트의 장력 및 수평 정도를 용이하게 조절할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 이송장치의 분해사시도이다.
도 2 내지 도 4는 도 1에 도시된 이송장치를 나타낸 도이다.
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 이송장치가 다수로 사용되는 상태를 나타낸 도이다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 이송장치를 나타낸 도이다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 이송장치를 나타낸 도이다.
이하 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 그러나 이들 도면은 예시적인 목적일 뿐, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 여기서, 본 명세서에서 지칭하는 이송장치는 텍스처나 PSG와 같은 화학적 처리 공정을 거친 태양전지 제조용 웨이퍼를 이송하는 벨트타입 이송장치인 것을 예로 들어 설명한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 이송장치의 분해사시도이고, 도 2 내지 도 4는 도 1에 도시된 이송장치를 나타낸 도이며, 도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 이송장치가 다수로 사용되는 상태를 나타낸 도이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 이송장치(100)는 크게 동력발생수단(10)과 구동수단(20), 피동수단(30) 및 이송벨트(40)를 포함하여 구성된다. 이 외에, 제 1 실시예에서는 구동수단(20)과 피동수단(30)이 연결되어 지지되도록 하는 한 쌍의 패널(50)과 이송벨트(40)의 장력을 조절하는 장력조절수단(60), 그리고 이송벨트(40)에 의해 이송되는 웨이퍼(도시하지 않음)를 감지하여 동력발생수단(10)을 제어할 수 있도록 하는 감지센서(70)를 더 포함하여 구성된다.
동력발생수단(10)은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 이송장치(100)가 구동될 수 있도록 구동력을 제공하는 구성요소로써 통상의 모터, 예를 들어 서보모터(servomotor)나 스텝 모터(stepper motor), AC모터, DC모터 등이 사용될 수 있으며, 본 발명에서는 서보모터를 사용하게 된다. 본 발명에서는 동력발생수단(10)의 보호, 동력발생수단(10)으로부터 발생하는 소음감소 등을 위해 커버(12)를 장착하여 사용한다.
구동수단(20)은 동력발생수단(10)에 연결되어 축회전하는 제 1 샤프트(22)에 장착되어 동작하는 구성요소이며, 하기에 서술하는 이송벨트(40)에 동력을 전달할 수 있도록 구동풀리(drive pulley, 24)가 제 1 샤프트(22)에 삽입되어 장착된다. 동력발생수단(10)의 축과 제 1 샤프트(22) 사이에는 축과 축이나 축과 동력 전달장치를 연결하는데 사용되는 축이음부재, 즉 커플링(coupling, 14)이 설치된다. 이러한 구동수단(20)은 마찰을 줄여주거나, 간격을 유지하는 등 보다 원활한 동작을 위해 베어링(ball bearing, B), 스페이서(spacer, S), 와셔(washer, W) 등이 제 1 샤프트(22)에 장착되어 사용된다.
피동수단(30)은 구동수단(20)과 떨어져 위치하는 하나 또는 둘 이상의 제 2 샤프트(32)에 장착되어 동작하는 구성요소이다. 피동수단(30)은 이송벨트(40)에 의해 동력을 전달받을 수 있도록 피동풀리(34)가 제 2 샤프트(32)에 삽입되어 장착되는데, 본 발명의 제 1 실시예에서는 한 쌍의 피동수단(30)이 사용된다. 피동수단(30) 또한 구동수단(20)과 마찬가지로 원활한 동작을 위해 제 2 샤프트(32)에 베어링(B), 스페이서(S), 와셔(W) 등이 장착된다. 이때, 본 발명의 제 1 실시예에서는 구동수단(20)과 한 쌍의 피동수단(30)에 의해 이루어지는 형상이 삼각 형상, 다시 말해서 구동수단(20)과 피동수단(30) 각각의 중심점을 잇는 가상의 선분이 삼각 형상을 이루도록 구성된다.
이때, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 이송장치(100)는 텍스처나 PSG와 같은 화학적 처리 공정 다음에 배치되어 사용되므로, 쉽게 부식될 우려가 있다. 따라서, 구동수단(20) 및 피동수단(30)에서 사용되는 구성요소, 즉 제 1 및 제 2 샤프트(22, 32)와 베어링(B), 스페이서(S), 와셔(W) 등은 내식성이 향상된 부품을 사용하는 것이 바람직하다. 이에, 본 발명에서는 제 1 및 제 2 샤프트(22, 32)의 경우 열 처리와 레이던트(raydent) 처리하여 사용하게 되며, 특히 레이던트 처리에 따라 우수한 방청력 및 내식성을 갖게 된다. 와셔(W)와 스페이서(S) 또한 내식성이 우수한 부품을 사용하는 것이 좋으며, 이에 철 재질로 이루어진 와셔(W)와 스페이서(S)의 경우 레이던트 처리를 하여 사용하고, 알루미늄 재질로 이루어진 와셔(W)와 스페이서(S)의 경우 알루미늄 표면을 전기, 화학적 방법을 통해 알루미나 세라믹으로 변화시켜 내마모성 등이 우수해지도록 하드-애노다이징(Hard-Anodizing) 처리하여 사용하게 된다. 그리고, 베어링(B)은 스테인리스 재질로 이루어지도록 하여 쉽게 부식되는 것을 방지한다.
이송벨트(40)는 구동수단(20)과 피동수단(30) 및 장력조절수단(60)을 연결하고, 구동수단(20)의 회전력에 의해 동작되어 피동수단(30) 및 장력조절수단(60)을 동작시키는 구성요소이다. 본 발명에서는 이송벨트(40)가 한 쌍으로 구성되어 패널(50)을 중심으로 하여 상호 떨어져 배치되며, 이러한 이송벨트(40)를 통해 웨이퍼, 예를 들어 태양전지의 생산에 사용되는 웨이퍼를 이송하게 된다. 이때, 웨이퍼의 틀어짐이나 위치의 변형을 방지할 수 있도록 평벨트를 사용하는 것이 좋다.
패널(50)은 일종의 판재로써, 한 쌍이 상호 떨어지게 배치되어 베이스(52)에 장착되는 구성요소이다. 각각의 패널(50)에는 일정 길이를 갖는 구멍, 즉 장공(50a)이 이송장치(100)의 이송경로를 따라 마주보게 형성된다.
장력조절수단(60)은 패널(50)에 형성된 장공(50a)을 관통하는 제 3 샤프트(61)에 장착되고, 장공(50a)을 따라 이동가능하며, 이송벨트(40)에 접하는 정도를 조절하여 이송벨트(40)의 장력을 조절하는 구성요소이며, 본 발명에서는 구동수단(20)과 피동수단(30) 각각의 중심점을 잇는 가상의 선분이 이루는 삼각 형상 내에 위치하도록 구성된다.
장력조절수단(60)은 크게 제 3 샤프트(61)와 고정블럭(63), 이동블럭(65), 구름부재(67) 및 연결볼트(69)를 포함하여 이루어진다.
제 3 샤프트(61)는 이송벨트(40) 각각의 장력조절이 용이하게 수행될 수 있도록 제 1 및 제 2 샤프트(22, 32)와는 다르게 각각의 패널(50)에 장착되도록 한 쌍으로 구성된다. 고정블럭(63)은 장공(50a)과 떨어져 패널(50)에 장착되는 부분이다. 이동블럭(65)은 패널(50)의 장공(50a)에 장착되어 장공(50a)을 따라 슬라이드 동작되는 부분이다. 구름부재(67)는 이동블럭(65)에 결합되는 제 3 샤프트(61)에 장착되고, 이송벨트(40)에 접하여 회전하게 되는데, 구동수단(20) 및 피동수단(30)의 반대방향으로 회전하게 된다. 이때, 장력조절수단(60)의 원활한 동작을 위해 제 3 샤프트(61)에는 베어링(B), 와셔(W) 등이 장착된다. 연결볼트(69)는 실질적으로 이송벨트(40)의 장력을 조절할 수 있는 부분으로, 고정블럭(63)을 관통하여 이동블럭(65)에 볼트 결합되며, 회전방향에 따라 이동블럭(65)을 고정블럭(63)에 가까워지거나 멀어지도록 슬라이드 이동시키게 된다. 여기서, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 이송장치(100)의 사용환경 등에 따라 장력조절수단(60)을 구성하는 제 3 샤프트(61)나 연결볼트(69), 베어링(B), 와셔(W) 등을 전술한 구동수단(20)이나 피동수단(30)과 같이 쉽게 부식되지 않도록 처리하여 사용할 수도 있다.
감지센서(70)는 한 쌍의 패널(50) 사이에 배치되어 이송벨트(40)에 의해 이송되는 웨이퍼를 감지하고, 이를 통해 동력발생수단(10)을 제어할 수 있도록 하는 구성요소이다.
즉, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 이송장치(100)에서는 작업자가 직접 이송장치를 제어하는 것 외에 자동적으로 이송장치(100)가 제어되도록 구성할 수 있는 것으로, 예를 들어 감지센서(70)를 통한 웨이퍼의 감지여부에 따라 동력발생수단(10)이 동작되도록 하거나, 정지하도록 할 수 있으며, 또한 동력발생수단(10)의 속도를 조절함으로써 웨이퍼의 이송속도를 조절하도록 구성할 수도 있다. 이러한 감지센서(70)는 센서브라켓(72)과 센서블럭(74)을 이용하여 이송장치에 고정 배치된다.
한편, 도 5에는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 이송장치가 다수로 사용되는 상태가 나타나 있다.
즉, 하나의 동력발생수단(10)을 이용하여 다수의 이송장치(100)가 동작될 수 있도록 제 1 샤프트(22)가 커플링(14)에 의해 각각 연결되는 것이다.
이러한 구성에 따른 본 발명의 제 1 실시예에 따른 이송장치(100)의 사용상태를 살펴보면, 이송벨트(40)를 이용하여 웨이퍼의 이송을 수행하다가 웨이퍼의 크기나 무게, 생산량 조절 등에 의해 이송벨트(40)의 장력을 조절, 즉 이송벨트(40)를 좀 더 팽팽한 상태로 조절해야 하는 경우가 발생할 수 있다.
이러한 경우 작업자가 고정블럭(63)을 관통하여 이동블럭(65)에 볼트 결합되어 있는 연결볼트(69)를 드라이버(도시하지 않음) 등과 같은 공구를 이용하여 죄어주게 된다.
이때, 이송벨트(40)는 한 쌍으로 구성되므로 작업자가 이송벨트(40)의 장력을 각각 조절한다. 이와 같이 이송벨트(40)가 한 쌍으로 구성된다는 것은, 이송벨트(40)가 시간에 지남에 따라 재질이나 사용환경 등에 의해 연결볼트(69)를 동일한 회전수로 회전시키더라도 각각의 이송벨트(40)가 서로 다른 이송속도를 나타낼 경우 유리하게 사용될 수 있다. 다시 말해서, 각각의 이송벨트(40) 중 어느 하나를 다른 하나보다 빠르거나 느리게 제어하여 한 쌍의 이송벨트(40)가 동일한 속도로 동작되도록 제어할 수 있게 된다. 또한, 이러한 구성에 따라 이송벨트(40)의 장력 조절뿐만 아니라 이송벨트(40)의 수평 정도 또한 용이하게 조절할 수 있게 된다.
다음, 도 7의 (b)와 같이 이동블럭(65)이 장공(50a)을 따라 고정블럭(63)측을 향해 이동하게 되면, 결국 이송벨트(40)가 당겨지면서 이송벨트가 팽팽해지게 되는 것이다.
이와는 반대로, 이송벨트(40)가 좀 더 풀어지도록 하고자 할 경우 작업자가 연결볼트(69)를 풀어줌으로써 이동블럭(65)이 고정블럭(63)으로부터 멀어지도록 이동하게 되고, 결국 이송벨트(40)가 점차 풀어지게 된다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 이송장치를 나타낸 도이다.
먼저, 도 6에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 이송장치(100)는 전술한 제 1 실시예와 유사하게 구성되나, 제 1 실시예의 경우 동력발생수단(10)과 구동수단(20)이 제 1 샤프트(22)에 의해 연결되도록 구성되는 것에 비해 제 2 실시예에서는 동력발생수단(10)과 구동수단(20)이 구동벨트(16)에 의해 연결된다는 점에서 차이가 있다.
즉, 동력발생수단(10)과 제 1 샤프트(22)는 구동벨트(16)에 의해 연결되어 있고, 동력발생수단(10)으로부터 발생하는 동력이 구동벨트(16)를 통해 제 1 샤프트(22)에 전달되어 구동수단(20)이 구동되는 것이다.
이러한 본 발명의 제 2 실시예에 따른 이송장치(100)는 도 7에서 나타나는 것과 같이 다수의 이송장치(100)를 하나의 구동수단(20)을 이용하여 동작시킬 수 있다. 이러한 구성은 도 5에서 설명한 것과 유사하므로 여기에서는 상세한 설명을 생략한다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 이송장치를 나타낸 도이다.
도 8 및 도 9를 살펴보면, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 이송장치(100) 또한 제 1 및 제 2 실시예와 유사하게 구성된다.
다만, 제 3 실시예에서는 구동수단(20)과 피동수단(30) 각각의 중심점을 잇는 가상의 선분이 이루는 삼각 형상 내에 피동수단(30)이 하나 더 배치되어 있고, 장력조절수단(60)이 도면상 상하 방향으로 동작되어 이송벨트(40)의 장력을 조절하게 된다는 점에서 구분된다.
이러한 구성에 따라, 제 1 및 제 2 실시예에서는 장력조절수단(60)의 구름부재(67)가 구동수단(20)의 구동풀리(24)나 피동수단(30)의 피동풀리(34)와 반대방향으로 회전하게 되나, 제 3 실시예에서는 장력조절수단(60)의 구름부재(67) 뿐만 아니라 구동수단(20)과 피동수단(30) 각각의 중심점을 잇는 가상의 선분이 이루는 삼각 형상 내에 배치되는 피동수단(30)의 피동풀리(34) 또한 장력조절수단(60)의 구름부재(67)와 같은 방향으로 회전하게 된다.
여기서, 본 발명에서 도시하지는 않았으나 본 발명에서 사용되는 구동수단(20)의 구동풀리(24), 피동수단(30)의 피동풀리(34), 장력조절수단(60)의 구름부재(67)는 이송벨트(40)가 쉽게 벗겨지지 않고 용이하게 회전할 수 있도록 하는 크라운 롤러를 사용하는 것이 바람직하다.
이와 같이, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 하고, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10: 동력발생수단 12: 커버
14: 커플링 16: 구동벨트
20: 구동수단 22: 제 1 샤프트
24: 구동풀리 30: 피동수단
32: 제 2 샤프트 34: 피동풀리
40: 이송벨트 50: 패널
52: 베이스 50a: 장공
60: 장력조절수단 61: 제 3 샤프트
63: 고정블럭 65: 이동블럭
67: 구름부재 69: 연결볼트
70: 감지센서 72: 센서브라켓
74: 센서블럭 100: 이송장치
B: 베어링 S: 스페이서
W: 와셔

Claims (7)

  1. 동력발생수단;
    상기 동력발생수단에 연결되어 축회전하는 제 1 샤프트에 장착되어 동작하는 구동수단;
    상기 구동수단과 떨어져 위치하는 하나 또는 둘 이상의 제 2 샤프트에 장착되어 동작하는 피동수단;
    상기 구동수단과 상기 피동수단을 연결하고 상기 구동수단의 회전력에 의해 동작되어 상기 피동수단을 동작시키는 이송벨트;
    상호 떨어져 서로 마주보도록 배치되고 장공을 갖는 한 쌍의 패널;
    상기 한 쌍의 패널에 마련된 상기 장공을 관통하는 제 3 샤프트; 및
    상기 장공을 따라 이동가능하도록 상기 제 3 샤프트에 장착되고 상기 이송벨트에 접하는 정도를 조절하여 상기 이송벨트의 장력을 조절하는 장력조절수단을 포함하며,
    상기 제 1 및 제 2 샤프트 중 적어도 하나는 열처리와 레이던트(raydent) 처리된 것을 특징으로 하는 이송장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동수단 또는 상기 피동수단 중 어느 하나 또는 둘은,
    철 재질로 이루어져 레이던트 처리되거나, 알루미늄 재질로 이루어져 하드-애노다이징 처리된 와셔 또는 스페이서 중 어느 하나 또는 둘을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 구동수단 또는 상기 피동수단 중 어느 하나 또는 둘은,
    스테인리스 재질의 베어링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송장치.
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 장력조절수단은,
    상기 장공과 떨어져 상기 패널에 장착되는 고정블럭;
    상기 장공에 장착되어 상기 장공을 따라 슬라이드 동작되는 이동블럭;
    상기 이동블럭에 결합되는 상기 제 3 샤프트에 장착되고, 상기 이송벨트에 접하여 회전되는 구름부재; 및
    상기 고정블럭을 관통하여 상기 이동블럭에 볼트 결합되며, 회전방향에 따라 상기 이동블럭을 상기 고정블럭에 가까워지거나 멀어지도록 슬라이드 이동시키는 연결볼트를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송장치.
  6. 삭제
  7. 제 3 항에 있어서,
    상기 장력조절수단은,
    상기 장공과 떨어져 상기 패널에 장착되는 고정블럭;
    상기 장공에 장착되어 상기 장공을 따라 슬라이드 동작되는 이동블럭;
    상기 이동블럭에 결합되는 상기 제 3 샤프트에 장착되고, 상기 이송벨트에 접하여 회전되는 구름부재; 및
    상기 고정블럭을 관통하여 상기 이동블럭에 볼트 결합되며, 회전방향에 따라 상기 이동블럭을 상기 고정블럭에 가까워지거나 멀어지도록 슬라이드 이동시키는 연결볼트를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송장치.
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