KR101750572B1

KR101750572B1 - 진공 펌프

Info

Publication number: KR101750572B1
Application number: KR1020117027950A
Authority: KR
Inventors: 도오루 미와타; 게이이치 이시이; 가츠히데 마치다; 요시노부 오타치; 야스시 마에지마; 츠토무 다카아다
Original assignee: 에드워즈 가부시키가이샤
Priority date: 2009-08-21
Filing date: 2010-06-14
Publication date: 2017-06-23
Also published as: US10001126B2; JPWO2011021428A1; KR20120054564A; US20120143390A1; CN102472288A; EP2469096B1; EP2469096A4; EP2469096A1; CN102472288B; WO2011021428A1; JP5782378B2

Abstract

펌프에 배치된 온도 센서의 수보다 적은 수의 가열 장치 혹은 냉각 장치를 이용하여 온도 제어를 가능하게 한 진공 펌프를 제공한다.　 본 펌프 내의 각 타겟에 대해 온도 센서는 각각 1개씩 배치되어 있는 한편, 히터(147) 및 전자 밸브(163)는 1조만 배치되어 있다. 이러한 복수의 온도 센서 출력 신호에 기초하여 1조의 히터와 전자 밸브를 온도 센서에 우선 순위를 정한 형태로 제어한다. 이와 같이, 온도 센서에 우선 순위를 정함으로써, 우선 먼저 우선 순위가 높은 온도 센서가 배치된 타겟에 대해 신속한 온 오프 제어를 걸어 온도를 제어 범위 내로 수속시키고, 그 후, 우선 순위가 낮은 온도 센서가 배치된 타겟에 대한 온도를 제어 범위 내로 수속시킨다.

Description

진공 펌프{VACUUM PUMP}

본 발명은 가열 장치 혹은 냉각 장치를 구비한 진공 펌프에 관한 것이며, 특히 펌프에 배치된 온도 센서의 수보다 적은 수의 가열 장치 혹은 냉각 장치를 이용하여 온도 제어를 가능하게 한 진공 펌프에 관한 것이다.

근래의 일렉트로닉스의 발전에 따라, 메모리나 집적 회로와 같은 반도체의 수요가 급격하게 증대하고 있다.

이들 반도체는, 상당히 순도가 높은 반도체 기판에 불순물을 도프하여 전기적 성질을 부여하거나, 에칭에 의해 반도체 기판 상에 미세한 회로를 형성하는 등하여 제조된다.

그리고, 이들 작업은 공기 중의 먼지 등에 의한 영향을 피하기 위해 고진공 상태의 챔버 내에서 행해질 필요가 있다. 이 챔버의 배기에는, 일반적으로 진공 펌프가 이용되고 있지만, 특히 잔류 가스가 적고, 보수가 용이한 등의 점으로부터 진공 펌프 중 하나인 터보 분자 펌프가 다용되고 있다.

또, 반도체의 제조 공정에서는, 다양한 프로세스 가스를 반도체의 기판에 작용시키는 공정이 많이 있고, 터보 분자 펌프는 챔버 내를 진공으로 할 뿐만 아니라, 이들 프로세스 가스를 챔버 내로부터 배기하는데도 사용된다. 이 터보 분자 펌프의 종단면도를 도 6에 나타낸다.

도 6에 있어서, 터보 분자 펌프(100)는, 원통 형상의 외통(127)의 상단에 흡기구(101)가 형성되어 있다. 외통(127)의 안쪽에는, 가스를 흡인 배기하기 위한 터빈 블레이드에 의한 복수의 회전 날개(102a, 102b, 102c···)를 둘레부에 방사상으로 또한 다단으로 형성한 회전체(103)를 구비한다.

이 회전체(103)의 중심에는 로터축(113)이 부착되어 있고, 이 로터축(113)은, 예를 들면, 이른바 5축 제어의 자기 축받이에 의해 공중으로 부상 지지 또한 위치 제어되어 있다.

상측 반경 방향 전자석(104)은, 4개의 전자석이, 로터축(113)의 반경 방향의 좌표축이며, 서로 직교하는 X축과 Y축에 쌍을 이루어 배치되어 있다. 이 상측 반경 방향 전자석(104)에 근접 또한 대응되어 4개의 전자석으로 이루어지는 상측 반경 방향 센서(107)가 구비되어 있다. 이 상측 반경 방향 센서(107)는 회전체(103)의 반경 방향 변위를 검출하고, 도시를 생략한 제어 장치에 보내도록 구성되어 있다.

제어 장치에 있어서는, 상측 반경 방향 센서(107)가 검출한 변위 신호에 기초하여, PID 조절 기능을 갖는 보상 회로를 통해 상측 반경 방향 전자석(104)의 여자를 제어하고, 로터축(113)의 상측의 반경 방향 위치를 조정한다.

로터축(113)은, 고투자율재(철 등) 등에 의해 형성되고, 상측 반경 방향 전자석(104)의 자력에 의해 흡인되도록 되어 있다. 이러한 조정은, X축 방향과 Y축 방향으로 각각 독립하여 행해진다.

또, 하측 반경 방향 전자석(105) 및 하측 반경 방향 센서(108)가, 상측 반경 방향 전자석(104) 및 상측 반경 방향 센서(107)와 같이 배치되고, 로터축(113)의 하측의 반경 방향 위치를 상측의 반경 방향 위치와 같게 조정하고 있다.

또한, 축방향 전자석(106A, 106B)이, 로터축(113)의 하부에 구비한 원판 형상의 금속 디스크(111)를 상하에 끼워 배치되어 있다. 금속 디스크(111)는, 철 등의 고투자율재로 구성되어 있다. 로터축(113)의 축방향 변위를 검출하기 위해서 축방향 센서(109)가 구비되고, 그 축방향 변위 신호가 제어 장치에 보내지도록 구성되어 있다.

그리고, 축방향 전자석(106A, 106B)은, 이 축방향 변위 신호에 기초하여 제어 장치의 PID 조절 기능을 갖는 보상 회로를 통해 여자 제어되도록 되어 있다. 축방향 전자석(106A)과 축방향 전자석(106B)는, 자력에 의해 금속 디스크(111)를 각각 상방과 하방으로 한다.

이와 같이, 제어 장치는, 이 축방향 전자석(106A, 106B)이 금속 디스크(111)에 미치는 자력을 적당히 조절하고, 로터축(113)을 축방향으로 자기 부상시키고, 공간에 비접촉으로 유지하도록 되어 있다.

모터(121)는, 로터축(113)을 둘러싸도록 주상(周狀)으로 배치된 복수의 자극을 구비하고 있다. 각 자극은, 로터축(113)과의 사이에 작용하는 전자력을 통해 로터축(113)을 회전 구동하도록, 제어 장치에 의해 제어되어 있다.

또한, 예를 들면 하측 반경 방향 센서(108) 근방에, 도시를 생략한 위상 센서가 부착되어 있고, 로터축(113)의 회전의 위상을 검출하도록 되어 있다.

회전 날개(102a, 102b, 102c···)와 약간의 공극을 두고 복수매의 고정 날개(123a, 123b, 123c···)가 배치되어 있다. 회전 날개(102a, 102b, 102c···)는, 각각 배기 가스의 분자를 충돌에 의해 하방향으로 이송하기 위해, 로터축(113)의 축선에 수직인 평면으로부터 소정의 각도만큼 경사지게 형성되어 있다.

또, 고정 날개(123)도, 마찬가지로 로터축(113)의 축선에 수직인 평면으로부터 소정의 각도만큼 경사지게 형성되고, 또한 외통(127)의 안쪽을 향해 회전 날개 (102)의 단과 엇갈리게 배치되어 있다.

그리고, 고정 날개(123)의 일단은, 복수의 단이 쌓인 고정 날개 스페이서(125a, 125b, 125c···)의 사이에 끼워 넣어진 상태로 지지되어 있다.

고정 날개 스페이서(125)는 링 형상의 부재이며, 예를 들면 알루미늄, 철, 스테인리스, 동 등의 금속, 또는 이들 금속을 성분으로서 포함하는 합금 등의 금속에 의해 구성되어 있다.

고정 날개 스페이서(125)의 외주에는, 약간의 공극을 두고 외통(127)이 고정되어 있다. 외통(127)의 저부에는 베이스부(129)가 배치되고, 고정 날개 스페이서(125)의 하부와 베이스부(129)의 사이에는 나사 부착의 스페이서(131)가 배치되어 있다. 그리고, 베이스부(129) 중의 나사 부착의 스페이서(131)의 하부에는 배기구(133)가 형성되고, 외부에 연통되어 있다.

나사 부착의 스페이서(131)는, 알루미늄, 동, 스테인리스, 철, 또는 이들 금속을 성분으로 하는 합금 등의 금속에 의해 구성된 원통형의 부재이며, 그 내주면에 나선 형상의 나사 홈(131a)이 복수조 새겨져 있다.

나사 홈(131a)의 나선의 방향은, 회전체(103)의 회전 방향으로 배기가스의 분자가 이동했을 때에, 이 분자가 배기구(133)쪽으로 이송되는 방향이다.

회전체(103)의 회전 날개(102a, 102b, 102c···)에 이어지는 최하부에는 회전 날개(102d)가 수하되어 있다. 이 회전 날개(102d)의 외주면은, 원통 형상이고, 또한 나사 부착의 스페이서(131)의 내주면을 향해 돌출되어 있고, 이 나사 부착의 스페이서(131)의 내주면과 소정의 간극을 두고 근접되어 있다.

베이스부(129)는, 터보 분자 펌프(100)의 기저부를 구성하는 원반 형상의 부재이며, 일반적으로는 철, 알루미늄, 스테인리스 등의 금속에 의해 구성되어 있다.

베이스부(129)는 터보 분자 펌프(100)를 물리적으로 유지함과 더불어, 열의 전도로의 기능도 겸하고 있으므로, 철, 알루미늄이나 동 등의 강성이 있고, 열전도율도 높은 금속이 사용되는 것이 바람직하다.

이러한 구성에 있어서, 회전 날개(102)가 모터(121)에 의해 구동되어 로터축(113)과 함께 회전하면, 회전 날개(102)와 고정 날개(123)의 작용에 의해, 흡기구(101)를 통해서 챔버로부터의 배기가스가 흡기된다.

흡기구(101)로부터 흡기된 배기가스는, 회전 날개(102)와 고정 날개(123)의 사이를 통과하고, 베이스부(129)에 이송된다. 이 때, 배기가스가 회전 날개(102)에 접촉 또는 충돌할 때에 발생하는 마찰열이나, 모터(121)에서 발생한 열의 전도나 복사 등에 의해, 회전 날개(102)의 온도는 상승하지만, 이 열은, 복사 또는 배기가스의 기체 분자 등에 의한 전도에 의해 고정 날개(123)측에 전달된다.

고정 날개 스페이서(125)는, 외주부에서 서로 접합하고 있고, 고정 날개(123)가 회전 날개(102)로부터 받은 열이나 배기가스가 고정 날개(123)에 접촉 또는 충돌할 때에 발생하는 마찰열 등을 외통(127)이나 나사 부착의 스페이서(131)에 전달한다.

나사 부착의 스페이서(131)에 이송되어 온 배기가스는, 나사 홈(131a)에 안내되면서 배기구(133)로 보내진다.

또한, 상기에서는, 나사 부착의 스페이서(131)는 회전 날개(102d)의 외주에 배치하고, 나사 부착의 스페이서(131)의 내주면에 나사 홈(131a)이 새겨져 있다고 설명했다. 그러나, 이것과는 반대로 회전 날개(102d)의 외주면에 나사 홈이 새겨지고, 그 주위에 원통 형상의 내주면을 갖는 스페이서가 배치되는 경우도 있다.

또, 흡기구(101)로부터 흡인된 가스가 모터(121), 하측 반경 방향 전자석(105), 하측 반경 방향 센서(108), 상측 반경 방향 전자석(104), 상측 반경 방향 센서(107) 등으로 구성되는 전장부측에 침입하지 않고, 전장부는 주위를 스테이터 칼럼(122)으로 덮이고, 이 전장부 내는 퍼지 가스로 소정압으로 유지되어 있다.

이 때문에, 베이스부(129)에는 도시를 생략한 배관이 배치되고, 이 배관을 통해서 퍼지 가스가 도입된다. 도입된 퍼지 가스는, 보호 베어링(120)과 로터축(113)간, 모터(121)의 로터와 스테이터간, 스테이터 칼럼(122)과 회전체(103)간의 간극을 통해서 배기구(133)로 송출된다.

여기에, 터보 분자 펌프(100)는, 개개로 조정된 고유의 파라미터(예를 들면, 기종의 특정, 기종에 대응하는 모든 특성)에 기초한 제어를 필요로 한다. 이 제어 파라미터나, 에러 이력 등의 메인터넌스 정보 등을 저장하기 위해서, 상기 터보 분자 펌프(100)는, 그 본체 내에 전자 회로부(141)를 구비하고 있다. 전자 회로부(141)는, EEP－ROM 등의 반도체 메모리 및 그 액세스를 위한 반도체 소자 등의 전자 부품, 그 실장용의 기판(143) 등으로 구성된다.

이 전자 회로부(141)는, 터보 분자 펌프(100)의 하부를 구성하는 베이스부(129)의 중앙 부근에 수용되고, 기밀성의 바닥 덮개(145)에 의해 닫혀져 있다.

그런데, 프로세스 가스는, 반응성을 높이기 위해 고온 상태에서 챔버에 도입되는 경우가 있다. 그리고, 이러한 프로세스 가스는, 배기될 때에 냉각되어 어느 온도가 되면 고체가 되고 배기계에 생성물을 석출하는 경우가 있다.

그리고, 이런 종류의 프로세스 가스가 터보 분자 펌프(100) 내에서 저온이 되어 고체상이 되고, 터보 분자 펌프(100) 내부에 부착하여 퇴적하는 경우가 있다.

터보 분자 펌프(100) 내부에 프로세스 가스의 석출물이 퇴적하면, 이 퇴적물이 펌프 유로를 좁히고, 터보 분자 펌프(100)의 성능을 저하시키는 원인이 된다.

여기에, 상술한 생성물은 배기구 부근의 온도가 낮은 부분, 특히 회전 날개(102d) 및 나사 부착의 스페이서(131) 부근에서 응고, 부착하기 쉬운 상황에 있었다. 이 문제를 해결하기 위해서, 종래는 베이스부(129) 등의 외주에 히터(147)나 환상의 수냉관(149)을 권착시키고, 또한 예를 들면 베이스부(129)에 온도 센서(151)(예를 들면 서미스트)를 묻고, 이 온도 센서(151)의 신호에 기초하여 베이스부(129)의 온도를 일정한 높은 온도(설정 온도)로 유지하도록 히터(147)의 가열이나 수냉관(149)에 의한 냉각의 제어(이하 TMS라고 한다. TMS；Temperature　Management　System)가 행해지고 있다.

TMS의 설정 온도는 높은 쪽이 생성물이 퇴적하기 어렵기 때문에, 설정 온도는 가능한 한 높게 하는 것이 바람직하다.

한편, 이와 같이 베이스부(129)를 고온으로 했을 때에는, 전자 회로부(141)는, 배기 부하의 변동 등에 의해 주위 온도가 고온으로 변화한 경우 등에는 한계 온도를 초과하고, 반도체 메모리에 의한 기억 수단이 파괴될 우려가 있다. 이 때에는, 반도체 메모리가 망가지고, 이 메모리에 기억되어 있던 제어 파라미터나, 펌프 기동 시간, 에러 이력 등의 메인터넌스 정보 데이터가 지워진다.

메인트넌스 정보 데이터가 지워진 경우에는, 보수 점검의 시기나 터보 분자 펌프(100)의 교환 시기 등의 판단도 할 수 없게 된다. 따라서, 터보 분자 펌프(100)의 운용 상에 큰 지장이 발생한다.

또, 반도체 메모리에는 펌프 ID(식별 정보)가 기록되어 있고, 전원 투입시에는 제어 장치와 매칭을 행하고, 그 결과에 기초하여 운전을 실시하고 있다. 이 때문에, 이 펌프 ID 등의 데이터가 지워진 경우에는, 터보 분자 펌프(100)의 재기동을 할 수 없게 된다.

또, 마찬가지로 베이스부(129)를 고온으로 했을 때에는, 모터(121)가, 배기 부하의 변동 등에 따라서는, 자극을 구성하는 전자석 코일에 흐르는 전류가 증대하고 허용 온도를 초과할 우려가 있다. 이 때에는, 전자석 코일이 단선되고, 모터가 정지하거나 한다.

또한, 전자석 코일의 몰드 재료가 녹음으로써, 이 몰드 재료의 유지력이 저하한다. 그 결과, 전자석의 배치 위치가 어긋나고, 모터의 회전 구동력이 저하하거나 또는 모터의 회전이 정지하거나 한다.

그리고, 이 TMS의 한 제어 방법으로서 종래 특허 문헌 1에 나타내는 바와 같은 제어 방법이 개시되어 있다. 즉, 이 특허 문헌 1의 제어 수단은, 온도의 임계값으로서 설정 하한 온도와 설정 상한 온도를 미리 설정해 두고, 펌프 본체 내의 온도가 이 설정 하한 온도보다 낮을 때에만 히터를 작동 상태로 하고, 설정 상한 온도보다 높을 때에만 냉각 수단을 작동 상태로 함으로써, 설정 하한 온도와 설정 상한 온도 사이에 있을 때에 히터와 제어 밸브의 양방을 비통전 상태로 하고 온도 제어 에너지 손실을 작게 한 것이다.

또, 히터 및 밸브의 최저 가동 시간을 설정하고, 제어 수단이 히터를 작동 상태로 하고 나서 다음에 비작동 상태로 할 때까지의 시간 및 제어 밸브를 열린 상태로 하고 나서 다음의 닫힘 상태로 할 때까지의 시간이, 각각, 설정된 최저 작동 상태보다 길게 함으로써 히터 및 제어 밸브의 체터링을 방지한 것이다.

일본국 특허 공개 2002－257079호 공보

그러나, 특허 문헌 1에서는, 온도 제어해야 할 대상인 1개의 타겟으로 대해, 히터와 수냉관의 설비, 및 이 히터와 수냉관을 제어하는 제어 장치의 1세트가 존재한다. 즉 가열 수단과 냉각 수단과 제어 장치 세트가, 타겟의 수만큼 필요한 시스템이다. 그 때문에, 펌프 내에 복수의 타겟을 설정하고 각각에 온도 센서를 배치한 경우, 동수의 가열 수단과 냉각 수단과 제어 장치 세트가 필요했다. 따라서, 시스템이 대형화 및 복잡화되고, 설비 투자 비용이 증대한다고 하는 문제가 존재했다.

또, 복수의 타겟의 온도 제어를 위해, 동수의 가열 수단과 냉각 수단이 존재하는 경우, 동시에 가열과 냉각을 하는 타이밍이 있으면, 각각의 가열 에너지와 냉각 에너지가 서로 소멸시켜 에너지 손출이 생길 우려가 있었다.

본 발명은 이러한 종래의 과제를 감안하여 이루어진 것이며, 펌프에 배치된 온도 센서의 수보다 적은 수의 가열 장치 혹은 냉각 장치를 이용해 온도 제어를 가능하게 한 진공 펌프를 제공하는 것을 목적으로 한다.

이 때문에 본 발명(청구항 1)은, 피배기 장치의 가스를 배기하는 진공 펌프로서, 상기 진공 펌프의 상이한 개소에 배치된 복수의 온도 센서와, 상기 온도 센서의 수보다 적은 수의 냉각 수단 및/또는 가열 수단과, 상기 복수의 온도 센서가 출력하는 복수의 온도 신호에 기초하여 상기 냉각 수단 및/또는 상기 가열 수단을 제어하는 온도 제어 수단을 구비하여 구성했다.

냉각 수단이나 가열 수단은 온도 센서의 수보다 적은 수이다. 지금까지의 진공 펌프에 대한 제어 수법에서는 제어 대상과, 냉각 수단 혹은 가열 수단의 수를 항상 같게 할 필요가 있었지만, 본 발명에서는, 미리 설정된 규칙을 바탕으로 제어 신호를 생성함으로써, 이 수의 상이를 메우는 것을 가능하게 한 것이다.

이상에 의해, 복수의 타겟으로 대해, 가열 수단 혹은 냉각 수단의 수를 줄이고, 온도 제어 시스템의 소형화 및 코스트 저감을 할 수 있다. 또, 복수의 온도 센서에서 검출되는 온도 정보를 바탕으로, 가열 수단 혹은 냉각 수단에 대해서 동시에 상반되는 제어 지령이 도출된 경우에서도 불필요한 가열 에너지 혹은 냉각 에너지가 사용되지 않는다.

또, 본 발명(청구항 2)에서는, 상기 온도 제어 수단은, 상기 복수의 온도 신호 중, 온도 신호값이 미리 설정된 허용 범위의 밖에 있는 온도 신호를 제어 대상의 온도 신호로 하고, 그 제어 대상의 온도 신호에 기초하여 상기 냉각 수단 및/또는 상기 가열 수단을 제어하는 것을 특징으로 한다.

이와 같이, 미리, 각 온도 센서에 대해서, 그 온도 센서가 출력하는 온도 신호의 값의 허용 범위를 설정하고, 온도 신호의 값이 상승 혹은 하강하고, 이 허용 범위의 밖으로 나온 온도 신호를, 제어 대상의 온도로 하고, 냉각 수단 또는 가열 수단을 제어하도록 함으로써, 온도 센서의 수보다 적은 냉각 수단 또는 가열 수단으로, 진공 펌프의 온도 센서가 배치된 복수 개소의 온도를 제어하는 것이 가능해진다.

또한, 본 발명(청구항 3)에서는, 상기 온도 제어 수단은, 미리 설정된 상기 복수의 온도 신호의 우선 순위에 따라, 상기 복수의 온도 신호 중, 온도 신호값이 미리 설정된 허용 범위의 밖에 있는 복수의 온도 신호로부터, 상기 제어 대상의 온도 신호로 하는 온도 신호를 선택하고, 상기 제어 대상의 온도 신호에 기초하여 상기 냉각 수단 및/또는 상기 가열 수단을 제어하는 것을 특징으로 한다.

이와 같이, 온도 센서에 우선 순위를 정함으로써, 우선 먼저 우선 순위가 높은 온도 센서가 배치된 타겟에 대해 신속한 제어를 걸어 온도를 허용 범위 내로 수속시키고, 그 후, 다음에 우선 순위가 높은 온도 센서가 배치된 타겟의 온도를 허용 범위 내로 수속시키는 것이 가능해진다.

이상에 의해, 복수의 타겟에 대해, 가열 수단 혹은 냉각 수단의 수를 줄이고, 온도 제어 시스템의 소형화 및 코스트 저감을 할 수 있는 등의 효과를 얻을 수 있다.

또한, 본 발명(청구항 4)에서는, 상기 온도 제어 수단은, 상기 복수의 온도 신호 중, 온도 신호값이 미리 설정된 허용 범위의 밖에 있는 복수의 온도 신호에 각각 기초하는 복수의 제어 지령을 도출하고, 그 복수의 제어 지령의 합성 결과에 기초하여, 상기 냉각 수단 및/또는 상기 가열 수단을 제어하는 것을 특징으로 한다.

상기 복수의 제어 지령의 합성 결과로서는, 상기 복수의 제어 지령의 값의 합계값, 승산값, 평균값, 상기 복수의 제어 지령의 값의 각각에 가중을 한 합계값, 승산값, 평균값, 상기 냉각 수단 및/또는 상기 가열 수단을 온 오프 제어하는 경우에는, 온 지령 또는 오프 지령의 논리합, 논리적 등이 올라간다.

이와 같이 복수의 제어 지령의 합성 결과에 기초하여, 상기 냉각 수단 및/또는 상기 가열 수단을 제어함으로써, 온도 센서에 우열을 정하지 않고 대등의 관계를 유지하면서, 복수의 타겟에 대해, 가열 수단 혹은 냉각 수단의 수를 줄이는 것이 가능해지기 때문에, 온도 제어 시스템의 소형화 및 코스트 저감을 할 수 있는 등의 효과를 얻을 수 있다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 냉각 수단 혹은 가열 수단은 온도 센서의 수보다 적은 수로 구성했으므로, 온도 제어 시스템의 소형화 및 코스트 저감을 할 수 있다. 또, 복수의 온도 센서에서 검출되는 온도 정보를 바탕으로, 가열 수단 혹은 냉각 수단에 대해서 동시에 상반되는 제어 지령이 도출된 경우에서도 불필요한 가열 에너지 혹은 냉각 에너지가 사용되지 않는다.

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태인 터보 분자 펌프의 구성도(온도 센서 배치)이다.
도 2는 개략 전체 시스템 구성도이다.
도 3은 온도 센서에 우선 순위를 정한 형태에서의 온도 제어 타이밍 차트예이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시 형태인 터보 분자 펌프의 타이밍 차트이다.
도 5는 본 발명의 제3 실시 형태인 터보 분자 펌프의 타이밍 차트이다.
도 6은 터보 분자 펌프의 종단면도이다.

이하, 본 발명의 제1 실시 형태에 대해 설명한다. 도 1에, 본 발명의 제1 실시 형태인 터보 분자 펌프의 구성도, 도 2에 개략 전체 시스템 구성도를 나타낸다. 또한, 도 1 및 도 2는 이후의 각 실시 형태에 대해서도 마찬가지로 적용한다.

도 1 및 도 2에 있어서, 모터(121)에는, 그 온도를 측정하는 모터 온도 센서(153)(예를 들면 서미스트)가 내장되어 있다. 또, 베이스부(129)의 내부측 온도가 TMS 온도 센서(151)에 의해 측정되고, 가스 유로 온도가 설정 온도 이하가 되지 않도록 감시되는 한편으로, 베이스부(129)의 외부측 온도가 OP센서(155)에 의해 측정되고, 감시되도록 되어 있다. 그리고, 이들 모터 온도 센서(153), TMS 온도 센서(151), OP센서(155)의 검출 신호는 제어 장치(161)에 보내지도록 되어 있다.

또, 제어 장치(161)로부터는, 히터(147)에 대해 온 오프 제어 지령 신호를 보내거나, 수냉관(149)으로의 냉각수의 흐름을 제어하는 전자 밸브(163)에 대해 온 오프 제어 지령 신호를 보내거나 할 수 있도록 되어 있다. 전자 밸브(163)에 온 지령 신호를 보내면, 판이 열려 수냉관(149)에 냉각수가 흐르고, 오프 지령 신호를 보내면 판이 닫혀 수냉관(149)에 냉각수가 흐르지 않게 되어 있다.

다음에, 온도 제어의 타이밍 차트에 대해 설명한다. 본 펌프 내의 각 타겟에 대해 온도 센서는 각각 1개씩 배치되어 있는 한편, 히터(147) 및 전자 밸브(163)는 1조만 배치되어 있다. 본 실시 형태 1의 제어는, 이들 복수의 온도 센서 출력 신호에 기초하여 1조의 히터와 전자 밸브를 온도 센서에 우선 순위를 정한 형태로 제어하는 것이다.

온도 센서에 우선 순위를 정한 형태에서의 온도 제어 타이밍 차트예를 도 3에 나타낸다. 도 3에는, TMS 온도 센서(151)의 검출 신호와 OP센서(155)의 검출 신호를 각각 상단에, 하단에는 이 각 검출 신호를 바탕으로 신호 생성된 전자 밸브 제어 지령 신호와 히터 제어 지령 신호를 게재하고 있다. TMS 온도 센서(151)의 검출 신호와 OP센서(155)의 검출 신호에는 각각 설정 온도(201, 211)가 설치되어 있다.

그리고, 베이스부(129)의 내부측 온도를 이 설정 온도(201)에 머물게 하도록 TMS 온도 센서(151)에서 검출한 이 내부측 온도가 상승했을 때에, 히터(147)를 오프함과 더불어 전자 밸브(163)를 온하기 위해 설정 온도 상한값(203)이 설치되어 있다. 그리고, 이것과는 반대로 내부측 온도가 하강했을 때에, 히터(147)를 온하기 위해 설정 온도 하한값(205)이 설치되어 있다.

마찬가지로, 베이스부(129)의 외부측 온도를 설정 온도(211)에 머물게 하도록 OP센서(155)에서 검출한 이 외부측 온도가 상승했을 때에, 전자 밸브(163)를 온하기 위해 설정 온도 상한값(213)이 설치되어 있다. 그리고, 이것과는 반대로 외부측 온도가 하강했을 때에, 전자 밸브(163)를 오프하기 위해 설정 온도 하한값(215)이 설치되어 있다.

여기에, 히터(147)와 전자 밸브(163)를 제어할 때에, TMS 온도 센서(151)의 검출 신호에 기초하여 도출된 제어 지령을 OP센서(155)의 검출 신호에 기초하여 도출된 제어 지령보다 우선시킨다.

또한, 전자 밸브(163)의 오프는, OP센서(155)측에만 기초하여 제어하는 것으로 한다. 또, 설정 온도 상한값(203)과 설정 온도 하한값(205)간의 영역(A) 및 설정 온도 상한값(213)과 설정 온도 하한값(215)간의 영역(B)을, 온도 센서의 검출 신호의 허용 범위로 하고, 온도 센서의 검출 신호가 이 영역에 있을 때는, 히터(147)와 전자 밸브(163)의 제어 지령을 도출하지 않고, 앞의 지시를 계속하는 것으로 한다.

이하, 시계열을 따라 설명한다. 우선, 시각 t1에 있어서 TMS 온도 센서(151)의 검출 신호(베이스부(129)의 내부측 온도)가 설정 온도 상한값(203)을 초과함으로써, 전자 밸브(163)의 온 지령, 히터(147)의 오프 지령이 도출된다. 또, OP센서(155)의 검출 신호(베이스부(129)의 외부측 온도)가 이 t1에 있어서 설정 온도 상한값(213)을 초과하고 있고, 이 시점에서 전자 밸브(163)의 온 지령이 도출되지만, TMS 온도 센서(151)의 검출 신호(전자 밸브(163)의 온 지령)와 같으므로 전자 밸브(163)의 제어 신호로서는 온 지령 신호, 히터(147)의 제어 신호로서는 오프 지령 신호가 생성된다.

이 상태가 t2까지 이어지고, t2에서 OP센서(155)의 검출 신호가 설정 온도 상한값(213) 미만인 영역(B)으로 들어가지만, 영역(B)에서는 앞의 지시를 계속하기 때문에, t3에 이를 때까지 전자 밸브(163)의 온 신호, 히터(147)의 오프 신호가 계속된다.

t3에서는, OP센서(155)의 검출 신호가 설정 온도 하한값(215) 미만이 되기 때문에, 전자 밸브(163)의 오프 지령이 도출되지만, 온도 신호의 우선 순위에 따라, TMS 온도 센서(151)의 검출 신호를 OP센서(155)의 검출 신호보다 우선시키기 때문에, t4에서 TMS 온도 센서(151)의 검출 신호가 설정 온도 상한값(203) 미만이 될 때까지 전자 밸브(163)의 온 신호, 히터(147)의 오프 신호가 계속된다.

TMS 온도 센서(151)의 검출 신호가 영역 A에 있을 때는, OP센서(155)의 검출 신호에 기초하여 도출되는 전자 밸브(163)의 지령은 오프이기 때문에, t5에 이를 때까지 전자 밸브(163)의 제어 지령 신호로서 오프 지령 신호가 생성된다. t5로부터 t6에 이를 때까지는 영역 A와 영역 B가 겹치는 영역이며, 앞의 지시가 계속됨으로써 전자 밸브(163)의 제어 지령 신호로서 오프 지령 신호가 계속된다.

또한, t3로부터 t5의 사이에 있어서, 히터(147)가 오프되어 있음에도 불구하고, OP센서(155)의 검출 신호가 하강으로부터 상승으로 바뀌고 있다. 이것은, 히터(147)를 오프하고 있어도, 모터와 자기 축받이의 전류나 로터의 가스와의 마찰 등에 의해, 어느 정도 펌프가 가열되고, 또한 t3에서 전자 밸브(163)가 오프됨으로써, 펌프에 냉각수가 흐르고 있지 않기 때문이다.

t6에 있어서 OP센서(155)의 검출 신호가 다시 설정 온도 상한값(213)을 초과하고, 전자 밸브(163)의 온 지령이 도출되지만, 이 때 TMS 온도 센서(151)의 검출 신호는 영역 A에 있기 때문에, 전자 밸브(163)의 제어 지령 신호로서 온 신호가 생성된다. t7에 있어서는, TMS 온도 센서(151)의 검출 신호가 설정 온도 하한값(205) 미만이 되기 때문에, 히터(147)의 온 신호가 생성된다. 이하, 같은 처리가 반복된다.

이와 같이, 온도 센서에 우선 순위를 정함으로써, 우선 먼저 우선 순위가 높은 온도 센서가 배치된 타겟에 대해 신속한 온 오프 제어를 걸어 온도를 허용 범위 내로 수속시키고, 그 후, 우선 순위가 낮은 온도 센서가 배치된 타겟의 온도를 허용 범위 내로 수속시킨다.

이상에 의해, 복수의 타겟에 대해, 히터와 전자 밸브의 수를 줄이고, 온도 제어 시스템의 소형화 및 코스트 저감을 할 수 있다. 또, 복수의 온도 센서에서 검출되는 온도 정보를 바탕으로 도출되는 가열 수단이나 냉각 수단의 제어 지령에 대해, 동시에 상반되는 제어 지령이 도출된 경우에서도 불필요한 가열 에너지나 냉각 에너지가 사용되지 않는다.

또한, 상기에서는 2개의 온도 센서에 대해 1조의 히터와 전자 밸브를 온도 센서에 우선 순위를 정한 형태로 제어한다고 설명했지만, 3개 이상의 온도 센서에 대해서도 같은 제어가 가능하다.

다음에, 본 발명의 제2 실시 형태에 대해 설명한다. 도 4에, 본 발명의 제2 실시 형태인 터보 분자 펌프의 타이밍 차트를 나타낸다. 또한, 본 실시 형태의 구성도는 도 1, 도 2와 동일하여 생략한다. 도 4는, 모터 온도 센서(153)와 TMS 온도 센서(151)의 검출 신호를 상단에, 하단에는 이 각 검출 신호를 바탕으로 신호 생성된 전자 밸브 제어 지령 신호와 히터 제어 지령 신호를 게재하고 있다. 단, 히터 제어 지령 신호에 대해서는, 실시 형태 1과 동일하여 생략하고 있다.

모터 온도 센서(153)의 검출 신호와 TMS 온도 센서(151)의 검출 신호에는 각각 설정 온도(301, 311)가 설치되어 있다. 그리고, 모터(121)의 온도를 이 설정 온도(301)에 머물게 하도록 모터 온도 센서(153)에서 검출한 온도가 상승했을 때에, 전자 밸브(163)를 온하기 위해 설정 온도 상한값(303)이 설치되어 있다. 그리고, 이것과는 반대로 온도가 하강했을 때에, 전자 밸브(163)를 오프하기 위해 설정 온도 하한값(305)이 설치되어 있다.

마찬가지로 베이스부(129)의 내부측 온도를 설정 온도(311)에 머물게 하도록 TMS 온도 센서(151)에서 검출한 온도가 상승했을 때에, 전자 밸브(163)를 온하기 위해 설정 온도 상한값(313)이 설치되어 있다. 그리고, 이것과는 반대로 온도가 하강했을 때에, 전자 밸브(163)를 오프하기 위해 설정 온도 하한값(315)이 설치되어 있다.

여기에, 본 실시 형태에서는, 히터(147)와 전자 밸브(163)를 제어함에 있어서, 온 지령을 우선시키고 있다. 즉, 온 지령에 대해서는 논리합을 취하는 형태로 제어 신호를 생성하는 것이다.

또, 모터 온도 센서(153)에 의한 전자 밸브(163)의 제어 지령은, 설정 온도 상한값(303)을 초과해 버린 경우는, 설정 온도 하한값(305)을 밑돌 때까지 계속시키고, 또한, 설정 온도 하한값(305) 이하가 되어 버린 경우는, 설정 온도 상한값(303)을 웃돌 때까지 계속시킨다. 이 점에 대해서는, TMS 온도 센서(151)에 의한 전자 밸브(163)의 제어 지령에는 적용하지 않는다.

또한, 실시 형태 1과 같이, TMS 온도 센서(151)의 검출 신호가, 설정 온도 상한값(313)과 설정 온도 하한값(315)간의 영역(A)에 있을 때는, TMS 온도 센서(151)에 의한 전자 밸브(163)의 제어 지령은, 앞의 지령을 계속하는 것으로 한다.

이하, 시계열에 따라 설명한다. 우선, 시각 t1에 있어서 모터 온도 센서(153)의 검출 신호가 설정 온도 상한값(303)을 초과함으로써, 전자 밸브(163)의 온 지령이 도출된다. 그리고, 이 온 지령은 설정 온도 하한값(305)을 밑돌 때까지 계속한다.

또, TMS 온도 센서(151)의 검출 신호가 이 t1에 있어서 설정 온도 상한값(313)을 초과하고 있고, 이 시점에서 전자 밸브(163)의 온 지령이 도출되지만, 모터 온도 센서(153)의 검출 신호와 같으므로 전자 밸브(163)의 제어 신호로서는 온 지령 신호가 생성된다. 전자 밸브(163)를 제어함에 있어서, 온 지령을 우선시키고 있기 때문에, 전자 밸브(163)의 온 지령 신호는 모터 온도 센서(153)의 검출 신호가 설정 온도 하한값(305)을 밑도는 t2까지 계속한다.

그 후, t3에 이를 때까지는, 모터 온도 센서(153)의 검출 신호측에서는 전자 밸브(163)의 오프 지령이 도출되지만, TMS 온도 센서(151)의 검출 신호측이 설정 온도 상한값(313)을 초과하고 있는 상황이 계속되기 때문에 전자 밸브(163)의 온 지령이 도출된다. 이 경우, 전자 밸브(163)의 제어 지령 신호는 양 지령의 논리합으로서 전자 밸브(163)의 온 지령 신호가 생성된다. t3 이후 t4까지는, 모터 온도 센서(153)의 검출 신호측에서 전자 밸브(163)의 오프 지령이 도출되고 있다. 한편, TMS 온도 센서(151)의 검출 신호측은 영역 A이기 때문에, 전자 밸브(163)의 오프 지령 신호가 생성된다.

t4 이후 t5까지는, TMS 온도 센서(151)의 검출 신호측은, 전자 밸브(163)의 오프 지령이 도출되고 있고, 또한 모터 온도 센서(153)측은 전자 밸브(163)의 오프 지령이 도출되고 있으므로, 결과적으로 전자 밸브(163)의 오프 지령 신호가 계속된다.

t5 이후 t6까지는, TMS 온도 센서(151)측은 영역 A에 있고, 모터 온도 센서(153)측은 전자 밸브(163)의 오프 지령이 도출되어 있기 때문에, 전자 밸브(163)의 제어 지령 신호로서는, 오프 지령 신호가 계속된다. 그리고, t6에 있어서, TMS 온도 센서(151)측은 설정 온도 상한값(313)을 초과하고, 전자 밸브(163)의 온 지령이 도출되는 한편, 모터 온도 센서(153)측은 전자 밸브(163)의 오프 지령이 도출되고 있기 때문에, 양자의 논리합을 취하고, 전자 밸브(163)의 온 지령 신호가 생성된다.

t7 이후 t8까지는, 모터 온도 센서(153)측은 전자 밸브(163)의 온 지령이 도출되고, TMS 온도 센서(151)측은 영역 A에 있으므로, 계속해서 전자 밸브(163)의 온 지령 신호가 계속된다.

t8 이후에 있어서는, TMS 온도 센서(151)측은 설정 온도 하한값(315)을 밑돌지만, 모터 온도 센서(153)측이 여전히 전자 밸브(163)의 온 지령이 도출되고 있기 때문에, 전자 밸브(163)의 온 지령 신호가 계속된다. 이상에 의해, 온 지령을 우선한 제어여도 실시 형태 1과 같은 효과를 얻을 수 있다. 즉, 복수의 온도 센서에 기초하여, 전자 밸브(163) 및 히터(147)의 제어가 가능해지는 등의 효과를 나타낼 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 전자 밸브(163)에 대해서, 모터 온도 센서(153)의 검출 신호에 기초하는 온 지령과, TMS 온도 센서(151)의 검출 신호에 기초하는 온 지령의 논리합을 취하여, 온 지령 신호를 생성하는 경우를 예로 들어 설명했지만, 히터(147)에 대해서는, 모터 온도 센서(153)의 검출 신호에 기초하는 오프 지령과, TMS 온도 센서(151)의 검출 신호에 기초하는 오프 지령의 논리합을 취해 오프 지령 신호를 생성해도 된다.

다음에, 본 발명의 제3 실시 형태에 대해 설명한다. 도 5에, 본 발명의 제3 실시 형태인 터보 분자 펌프의 타이밍 차트를 나타낸다. 또한, 본 실시 형태의 구성도는 도 1, 도 2와 동일하므로 생략한다. 도 5는, 모터 온도 센서(153)의 검출 신호와 TMS 온도 센서(151)의 검출 신호를 상단에, 하단에는 이 각 검출 신호를 바탕으로 신호 생성된 전자 밸브 제어 지령 신호와 히터 제어 지령 신호를 게재하고 있다.

모터 온도 센서(153)의 검출 신호와 TMS 온도 센서(151)의 검출 신호에는 각각 설정 온도(301, 321)가 설치되어 있다. 그리고, 모터(121)의 온도를 이 설정 온도(301)에 머물게 하도록 모터 온도 센서(153)에서 검출한 온도가 상승했을 때에, 전자 밸브(163)를 온하기 위해 설정 온도 상한값(303)이 설치되어 있다. 그리고, 이것과는 반대로 온도가 하강했을 때에, 전자 밸브(163)를 오프하기 위해 설정 온도 하한값(305)이 설치되어 있다.

마찬가지로, 베이스부(129)의 내부측 온도를 설정 온도(321)에 머물게 하도록, TMS 온도 센서(151)의 검출 신호가 설정 온도(321)를 초과한 경우에는 히터(147)를 오프시킨다. 그리고, 일단 히터(147)를 오프시킨 경우에는, 설정 온도 하한값(325)을 밑돌 때까지 이 오프를 계속시킨다. 그 후, 검출 신호가 설정 온도 하한값(325)을 밑돌았을 때에 히터(147)를 온시킨다. 또, 설정 온도 상한값(323)을 초과하였을 때에 전자 밸브(163)를 온시키고, 온도가 설정 온도(321)를 밑돌면 전자 밸브(163)를 오프시키는 제어를 행한다. 그 후, 설정 온도 상한값(323)을 초과하였을 때에 전자 밸브(163)를 온시킨다.

여기에, 본 실시 형태에서는, 제2 실시 형태와 같이, 전자 밸브(163)를 제어함에 있어서, 온 지령을 우선시키고 있다. 즉, 온 지령 신호에 대해서는 논리합을 취하는 형태로 제어 지령 신호를 생성하는 것이다.

또한, 이상 가열이 발생하지 않는 한에 있어서, 히터(147)의 온 지령 신호를, 전자 밸브(163)와 같이, 복수의 온도 센서의 검출 신호의 각각에 대해서 도출되는 온 지령의 논리합을 취하는 형태로 생성해도 된다.

또, 모터 온도 센서(153)에 의한 전자 밸브(163)의 제어 지령은, 설정 온도 상한값(303)을 초과해 버린 경우에는, 설정 온도 하한값(305)을 밑돌 때까지 계속시킨다. 또한, 모터 온도 센서(153)에 의한 전자 밸브(163)의 제어 지령은, 설정 온도 하한값(305) 이하가 되어 버리는 경우에는, 설정 온도 상한값(303)을 웃돌 때까지 계속시킨다. 이 점에 대해서는, TMS 온도 센서(151)에 의한 전자 밸브(163)의 제어 지령에는 적용하지 않는다.

이하, 시계열에 따라 설명한다. 우선, 시각 t1에 있어서는, TMS 온도 센서(151)의 검출 신호가 설정 온도(321)를 초과하고 있으므로 히터(147)는 오프하고 있다. 또, 전자 밸브(163)는 오프하고 있다. t2에 있어서, 모터 온도 센서(153)의 검출 신호가 설정 온도 상한값(303)을 초과함으로써, 전자 밸브(163)의 온 지령이 도출된다. 그리고, 이 모터 온도 센서(153) 측에 있어서의 온 지령은 설정 온도 하한값(305)을 밑돌 때까지 계속한다. 한편, TMS 온도 센서(151)측은 시각 t2에 있어서 전자 밸브(163)의 오프 지령이 도출되고 있으므로, 쌍방의 온 지령의 논리합을 취한 결과, 전자 밸브(163)의 온 신호가 생성된다.

t3에 있어서, TMS 온도 센서(151)측은, 설정 온도 상한값(323)을 초과하기 때문에, 전자 밸브(163)의 온 지령이 도출되지만, 모터 온도 센서(153)측도 전자 밸브(163)의 온 지령이 도출되고 있기 때문에, 함께 온 지령이 도출되는 결과, 논리합을 취하여, 전자 밸브(163)의 온 신호가 생성된다.

t4에 있어서, TMS 온도 센서(151)측은, 설정 온도(321)보다 밑돌기 때문에, 전자 밸브(163)의 오프 지령이 도출되지만, 모터 온도 센서(153)측이 전자 밸브(163)의 온 지령이 도출되고 있기 때문에, 쌍방의 지령의 논리합을 취하여, 온 지령이 우선되고, 전자 밸브(163)는 온 신호가 생성된다.

t5에 있어서, TMS 온도 센서(151)의 검출 신호가 설정 온도 하한값(325)보다 밑돌고, 히터(147)의 온 지령이 도출되고, 히터(147)의 온 신호가 생성된다. 이 때, 모터 온도 센서(153)측은, 전자 밸브(163)가 온 지령인 채이므로, 전자 밸브(163)는 계속해서 온 신호가 생성된다.

t6에 있어서, TMS 온도 센서(151)의 검출 신호는, 설정 온도(321)를 초과하므로, 히터(147)의 오프 지령이 도출되고, 히터(147)는 오프된다. 모터 온도 센서(153)의 검출 신호는, 전자 밸브(163)의 온 지령이 계속해서 도출되고 있기 때문에, 전자 밸브(163)에는 계속해서 온 신호가 계속된다.

t7에 있어서, TMS 온도 센서(151)측에서는, 전자 밸브(163)의 오프 지령이 도출되고 있다. 이 때, 모터 온도 센서(153)측에서는, 설정 온도 하한값(305)을 밑돌기 때문에 전자 밸브(163)의 오프 지령이 도출되고, 함께 오프 지령이 도출되는 결과, 그 논리합을 취하고 제어 지령 신호로서 전자 밸브(163)의 오프 신호가 생성된다.

t8에 있어서, 모터 온도 센서(153)의 검출 신호가, 설정 온도 하한값(305)보다 밑돌고 있기 때문에, 전자 밸브(163)의 오프 지령이 계속해서 판단되지만, TMS 온도 센서(151)측에서 전자 밸브(163)의 온 지령이 판단되고 있기 때문에, 쌍방의 지령의 논리합을 취하여, 전자 밸브(163)의 온 신호가 생성된다.

t9에 있어서, TMS 온도 센서(151)측의 검출 신호가 설정 온도(321)를 밑돌기 때문에, 전자 밸브(163)의 오프 지령이 도출된다. 이에 대해, 모터 온도 센서(153)측은, 전자 밸브(163)의 오프 지령이 도출되고 있고, 양 지령 모두 오프이므로, 전자 밸브(163)는 오프된다. 이하 마찬가지로 반복된다. 이상에 의해, 제3 실시 형태에 있어서도 제2 실시 형태와 같은 효과를 얻을 수 있다.

100 : 터보 분자 펌프 121 : 모터
129 : 베이스부 147 : 히터
149 : 수냉관 151 : TMS 온도 센서
153 : 모터 온도 센서 155 : OP센서
161 : 제어 장치 163 : 전자 밸브
201, 211, 301, 311, 321 : 설정 온도
203, 213, 303, 313, 323 : 설정 온도 상한값
205, 215, 305, 315, 325 : 설정 온도 하한값

Claims

피배기 장치의 가스를 배기하는 진공 펌프(100)로서,
상기 진공 펌프(100)의 상이한 개소에 배치된 복수의 온도 센서(151, 153, 155)와,
상기 복수의 온도 센서가 출력하는 복수의 온도 신호에 기초하여 냉각 수단(149) 또는 가열 수단(147)을 제어하는 온도 제어 수단(161)을 구비하고,
상기 냉각 수단(149)의 수가 상기 온도 센서(151, 153, 155)의 수보다 적고, 또한 상기 가열 수단(147)의 수가 상기 온도 센서(151, 153, 155)의 수보다 적고,
상기 온도 제어 수단은, 미리 설정된 상기 복수의 온도 신호의 우선 순위에 따라, 먼저 상기 우선 순위가 높은 온도 신호를 미리 설정된 허용 범위 내에 수속시키고, 상기 우선 순위가 높은 상기 온도 신호가 상기 허용 범위 내에 있을 때에는, 상기 우선 순위가 낮은 온도 신호를 허용 범위 내로 수속시키고,
상기 우선 순위가 높은 상기 온도 신호를 출력하는 상기 온도 센서가 배치된 타겟과 상기 우선 순위가 낮은 상기 온도 신호를 출력하는 상기 온도 센서가 배치된 타겟이 동시에 냉각 또는 가열되는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
청구항 1에 있어서,
상기 온도 제어 수단(161)은,
상기 복수의 온도 신호 중, 온도 신호값이 미리 설정된 상기 허용 범위의 밖에 있는 온도 신호를 제어 대상의 온도 신호로 하고, 그 제어 대상의 온도 신호에 기초하여 상기 냉각 수단(149) 또는 상기 가열 수단(147)을 제어하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
청구항 2에 있어서,
상기 온도 제어 수단(161)은,
미리 설정된 상기 복수의 온도 신호의 상기 우선 순위에 따라,
상기 복수의 온도 신호 중, 온도 신호값이 미리 설정된 상기 허용 범위의 밖에 있는 복수의 온도 신호로부터, 상기 제어 대상의 온도 신호로 하는 온도 신호를 선택하고, 상기 제어 대상의 온도 신호에 기초하여 상기 냉각 수단(149) 또는 상기 가열 수단(147)을 제어하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 온도 제어 수단(161)은,
상기 복수의 온도 신호 중, 온도 신호값이 미리 설정된 상기 허용 범위의 밖에 있는 복수의 온도 신호에 각각 기초하는 복수의 제어 지령을 도출하고, 그 복수의 제어 지령의 합성 결과에 기초하여, 상기 냉각 수단(149) 또는 상기 가열 수단(147)을 제어하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
청구항 3에 있어서,
상기 온도 제어 수단(161)은,
상기 복수의 온도 신호 중, 온도 신호값이 미리 설정된 상기 허용 범위의 밖에 있는 복수의 온도 신호에 각각 기초하는 복수의 제어 지령을 도출하고, 그 복수의 제어 지령의 합성 결과에 기초하여, 상기 냉각 수단(149) 또는 상기 가열 수단(147)을 제어하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.