KR101608509B1 - 액처리 장치 및 액처리 방법 - Google Patents

Abstract

사용하지 않은 도포액 노즐 선단부를 건조 억제 용제로 봉지하여 장시간 건조를 방지하는 처리를 용이하게 최적의 상태로 조정하고, 흡인 용제층의 양으로 설정되는 장시간 동안 더미 디스펜스를 행하지 않아도 되도록 하는 것에 있다. 기판 유지부에 대략 수평으로 유지된 기판의 표면에, 도포액 노즐로부터 도포액을 공급하여 상기 기판의 표면을 향해 토출(吐出)시켜 도포막을 형성하는 액처리를 하는 액처리 장치(방법)에 있어서, 도포액 노즐(10) 선단부를 촬상하는 수단을 마련하고, 미리 장시간 건조를 방지하는 처리를 행하는 경우의 도포액의 위치, 건조 억제 용제의 위치를 촬상 영상이 표시되는 화면 중으로 삽입되는 소프트 스케일(121a)에 의해 설정을 행함으로써, 육안에 의존하지 않고 설정치에 기초하여 디스펜스 제어하고, 상기 도포액 노즐의 선단부 내의 도포액의 건조 억제의 조정을 행한다.

Description

액처리 장치 및 액처리 방법{LIQUID PROCESSING APPARATUS AND LIQUID PROCESSING METHOD}

본 발명은, 액처리 장치 및 액처리 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 디바이스 또는 FPD 기판의 제조 프로세스 중 하나인 기판 상에 레지스트 패턴을 형성하는 공정은 기판, 예를 들면 반도체 웨이퍼(이하, 웨이퍼라고 함)에 레지스트막을 형성하고, 포토 마스크를 이용하여 이 레지스트막을 노광한 후 현상 처리를 행함으로써 원하는 패턴을 얻는 일련의 공정에 의해 행해지고, 이들 일련의 공정은 종래로부터 도포, 현상 장치에 의해 행해지고 있다.

예를 들면, 도포액으로서 레지스트액을 도포하는 도포 유닛에서는 기판 유지부인 스핀 척의 주위를 둘러싸도록 컵체가 설치되어 있고, 이 스핀 척에 유지된 웨이퍼의 대략 중앙에 레지스트액을 공급하여 스핀 척을 회전시킴으로써 레지스트액의 스핀 코팅 또는 털어내기 건조, 또한 사이드 린스 등의 처리가 행해지도록 되어 있다.

웨이퍼로의 레지스트액의 공급은 공급 유닛으로부터 공급된 레지스트액을 노즐(도포액 노즐)로부터 토출(吐出)함으로써 행해진다. 그리고 이 노즐은 웨이퍼의 반입출 동작에 방해가 되지 않도록 통상 시에는 웨이퍼의 반입출 경로로부터 떨어진 위치에 대기하고, 레지스트액을 토출할 때에만 스핀 척에 유지된 웨이퍼 중앙까지 반송하는 구성으로 되어 있는 경우가 많다.

이들 도포 유닛은 레지스트막을 형성하는 하지막의 종류 또는 형성되는 막두께 등의 조건에 따라 복수 종(種)의 레지스트액이 이용되고 있다. 이들 종류가 상이한 레지스트액마다 도포 노즐을 구비하고, 공통된 구동 암에 의해 도포 노즐의 대기 위치와 레지스트액의 도포 처리를 행하는 처리 위치와의 사이에서 이동시키는 구성으로 되어 있다. 이 구성은 구동 암에 의해 도포 노즐의 교환 작업이 필요해져 동작 공정이 많아지고 기판에 대한 토출 위치의 조정도 개별적으로 행해야 하므로 번거롭다.

이러한 점에서 도포 유닛에는 도포 유닛을 일렬로 복수 배열하여 구성하고, 여기서 사용되는 도포 노즐의 복수를 일체로 한 구성으로 하고, 상술한 일렬로 배열된 복수의 도포 유닛 간을 공통으로 이동할 수 있는 구동 암에 장착한 구조의 레지스트 도포 장치가 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).

통상적으로 이들 복수의 도포액 노즐의 선단(先端) 상태는 레지스트와 대기(大氣)와의 계면의 오염 억제 또는 건조 억제를 위해 레지스트액을 후방 흡입(suck back)한 상태로 대기하게 된다. 또한, 이들 복수의 도포액 노즐에서 도포 프로세스에서 사용되지 않는데도 구동 암에 의해 이동되는 복수의 도포액 노즐에 대해서는 도포액 노즐 상태를 각각 확인하는 것이 바람직하고, 또한 복수의 노즐이 일체적으로 이동하기 때문에, 예를 들면 액의 적하(滴下) 또는 건조의 리스크를 저감시킬 필요가 있다. 이러한 점에서 특허 문헌 1에서는 도포액 노즐 선단(先端)을 용제(溶劑)로 봉지(封止)하여 공기층을 형성함으로써 레지스트액의 건조를 방지하는 것도 생각되고 있다.

이와 같이 구성함으로써, 종래는 레지스트액의 액의 종류 또는 포함되는 용제에 따라 건조 정도가 상이한 레지스트액의 더미 디스펜스(Dummy Dispense)를 레지스트의 특성에 따라 각각 설정했지만, 도포액 노즐 선단에서 용제에 의해 동일하게 봉지함으로써, 도포액 노즐의 레지스트 자체가 직접 외부 공기인 대기와 접하지 않아도 되므로 도포액 노즐의 건조 리스크가 저감되었기 때문에 장시간 더미 디스펜스를 행하지 않아도 되는 방법이 생각되고 있다.

특허 문헌 1 : 일본특허공개공보 2006－302934호(도 3, 도 4, 도 8)

본 발명은 사용하지 않는 도포액 노즐 내부를 레지스트의 특성(레지스트 종류, 점도)에 따라 차례로 소정의 레지스트액, 봉지 공기층 및 용제층이 되도록 액 흡인 동작을 행하는 것에 있으며, 이에 따라 흡인 용제층의 양으로 설정되는 장시간 동안에 더미 디스펜스를 행하지 않아도 되도록 하고(장시간의 대기 상태), 또한 액 누수 적하(適下)에 의한 프로세스 불량을 예방하기 위해 후방 흡입을 행하는 작업을 복수의 노즐에 각각 개별적으로 정확한 양으로 또한 단시간에 설정할 수 있는 장치 및 방법을 제공한다.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 일 실시예의 액처리 장치는, 기판 유지부에 대략 수평으로 유지된 기판의 표면에 도포액 노즐로부터 도포액을 공급하여 상기 기판의 표면을 향해 토출시켜 도포막을 형성하는 액처리를 하는 액처리 장치에 있어서, 상기 기판 유지부에 유지된 기판의 상방으로 이동 가능하게 구성된 상기 도포액 노즐을 반송하는 노즐 반송 기구와, 상기 도포액 노즐을 대기 위치에서 대기시키기 위한 노즐 배스와, 상기 노즐 배스에서, 상기 도포액 노즐로부터 도포액의 토출 동작 또는 도포액과 상기 도포액의 건조 억제 용제의 흡인 동작과 건조 억제 용제의 배출 동작을 디스펜스 제어하는 디스펜스 제어부와, 상기 디스펜스 제어부를 제어하는 제어부와, 상기 제어부에 설치되고 상기 도포액 노즐을 촬상하는 촬상 수단에 의해 촬상된 노즐 화상 데이터를 해석 판단하는 판정 처리부와, 상기 도포액 노즐이 촬상된 노즐 화상 데이터의 표시 및 설정치의 입력을 행하기 위한 조작 표시부와, 상기 조작 표시부에 상기 촬상 수단에서 얻어진 상기 도포액 노즐 화상의 수직 방향의 길이에 중합시켜 고정 표시할 수 있는 눈금치를 가지는 소프트 스케일을 구비하고, 상기 판정 처리부는, 상기 조작 표시부에서 상기 도포액 노즐 내의 도포액과 건조 억제 용제를 최적의 위치가 되도록 상기 소프트 스케일의 눈금치로 설정된 설정치와, 상기 제어부에 의해 작동 중인 도포액 노즐 상태를 촬상하고 상기 도포액 노즐 내에서 도포액과 건조 억제 용제의 각각의 흡인 위치를 비교하여 판정 처리하고, 상기 제어부는 상기 판정 처리에 기초하여 상기 디스펜스 제어부를 제어하여 상기 도포액 노즐 선단부 내의 도포액의 건조 억제 조정을 행하도록 하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 일 실시예의 액처리 방법은, 기판 유지부에 대략 수평으로 유지된 기판의 표면에, 도포액 노즐로부터 도포액을 공급하여 상기 기판의 표면을 향해 토출시켜 도포막을 형성하는 액처리를 하는 액처리 방법에 있어서, 상기 도포액 노즐을 대기시키기 위한 노즐 배스에 도포액 노즐을 이동시켜 대기시키는 공정과, 상기 도포액 노즐로부터 도포액의 토출 동작 또는 도포액과 상기 도포액의 건조 억제 용제의 흡인 동작과 건조 억제 용제의 배출 동작을 디스펜스 제어하는 디스펜스 제어 공정과, 상기 도포액 노즐을 촬상하는 촬상 수단에 의해 촬상된 노즐 화상 데이터를 해석 판단하는 판정 처리 공정과, 상기 촬상 수단에서 얻어진 상기 도포액 노즐 화상의 수직 방향의 길이에 중합시켜 고정 표시할 수 있는 눈금치를 가지는 소프트 스케일에 상기 도포액 노즐이 촬상된 노즐 화상 데이터를 표시시키 고, 설정치의 입력을 행하는 조작 표시 공정을 구비하고, 상기 판정 처리 공정은, 상기 조작 표시 공정에서 상기 도포액 노즐 내의 도포액과 건조 억제 용제를 최적의 위치가 되도록 상기 소프트 스케일의 눈금치로 설정된 설정치와, 작동 중인 도포액 노즐 상태를 촬상하고 상기 도포액 노즐 내에서 도포액과 건조 억제 용제의 각각의 흡인 위치를 비교하여 판정 처리하고, 상기 판정 처리 공정의 결과에 기초하여 상기 디스펜스 제어 공정을 제어하고, 상기 도포액 노즐의 선단부 내의 도포액의 건조 억제의 조정을 행하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 사용하지 않은 도포액 노즐의 선단부 내의 도포액의 건조 억제가 용이하도록 최적의 상태로 노즐 상태를 유지할 수 있으므로, 로트의 전환에 의해 상이한 도포액을 준비하게 되어도 더미 디스펜스 동작에 시간을 들이지 않아도 된다. 또한, 정밀하게 조정함으로써 차회(次回) 더미 디스펜스를 행하는 설정도 보다 정확해지기 때문에 장치 가동 상태를 관리하기 쉬워지고, 나아가서는 생산성의 향상도 도모되고, 또한 촬상되는 화상을 표시 장치로 확인할 수 있기 때문에 장치 조작자(오퍼레이터)에 의해서도 상태를 정확하게 확인할 수 있다. 또한, 노즐 배스에 도포액의 토출 홀과 건조 억제 용제의 흡인 홀을 전환하기 위한 회동 기구를 설치함으로써, 처리 기판 상을 이동하는 노즐 반송 기구에 구동부를 설치하지 않기 때문에 기구부가 복잡해지지 않고 구동 기구로부터의 발진 파티클에 의한 결함 문제도 없어진다.

이하에, 본 발명의 일 실시예를 첨부 도면에 기초하여 설명한다. 여기서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 액처리 장치를 웨이퍼에 레지스트액을 도포하는 도포 유닛에 적용한 실시예에 대해 설명한다. 우선 실시예에 따른 도포 유닛의 구성의 개요를 설명한다. 도 1(a)는 도포 유닛(1)의 개략 평면도이며, 도 1(b)는 이 종단면도이다. 또한 도 2는 도포 유닛(1) 내의 액처리부(2)와 이 액처리부(2)에 도포액을 공급하는 공급 유닛(7)과의 관계를 도시한 구성도이다.

도 1에 도시한 바와 같이, 본 실시예에 따른 도포 유닛(1)은 편평한 상자 형상의 케이스(30) 내에 가로 방향(도 중의 Y 방향)으로 일렬로 배열된 3 개의 액처리부(2a, 2b, 2c)와, 이들의 액처리부(2a, 2b, 2c)에 레지스트액 또는 시너 등의 도포액을 공급하는 복수개의 노즐(10)과, 이 노즐(10)을 반송하기 위한 노즐 반송 기구(10a)와, 노즐(10)을 대기시키는 노즐 배스(bath)(14)와, 웨이퍼(W)에 도포된 레지스트막의 주연부를 제거하기 위한 엣지·비드·리무버(Edge Bead Remover: EBR) 기구(6)를 구비하고 있다.

액처리부(2(2a, 2b, 2c))는 공통된 구성을 구비하고 있고, 기판 유지부로서의 스핀 척(41)과, 이 스핀 척(41)에 유지되는 웨이퍼(W)를 둘러싸도록 설치된 컵체(5)를 구비하고 있다. 이하, 액처리부(2)의 구성에 대해 설명한다.

스핀 척(41)은 웨이퍼(W)의 이면측 중앙부를 흡인 흡착하여 수평으로 유지하기 위한 기판 유지부로서의 역할을 한다. 도 2에 도시한 바와 같이, 스핀 척(41)은 축부(42)를 개재하여 구동 기구(스핀 척 모터)(43)에 연결되어 있고, 웨이퍼(W)를 유지한 상태에서 회전 및 승강 가능하게 구성되어 있다. 스핀 척(41)의 측방에는 승강 기구(44a)에 연결된 승강 핀(44)이 웨이퍼(W)의 이면을 지지하여 승강 가능하도록 설치되어 있고, 후술하는 반송 수단(반송 암(A3))과의 협동 작용에 의해 케이스(30)의 외부로부터 반입되어 온 웨이퍼(W)의 전달을 행할 수 있도록 되어 있다. 또한, 도 1(a)에 도시한 부호 30a는 반송 수단에 대향하여 케이스(30) 벽면에 형성된 웨이퍼(W)의 반입출구이다.

컵체(5)는 스핀 코팅 등을 할 때에 웨이퍼(W)를 회전시킴으로써 비산된 미스트(mist)가 케이스(30) 내로 비산되는 것을 억제하고 도포 유닛(1) 외로 배출시키는 역할을 완수한다. 컵체(5)는 도너츠 형상의 외관을 구비하고 있고, 그 내부는 도 2에 도시한 바와 같은 구조로 되어 있다.

컵체(5)의 내부 구조를 설명하면, 도너츠 형상의 컵 본체(50)의 내부에는, 도 2에 도시한 바와 같이, 경사진 링 형상의 제 1 링 부재(51)와 제 2 링 부재(52)가 설치되어 있고, 이들 링 부재(51, 52) 간의 간극(間隙)은 웨이퍼(W)로부터 비산한 미스트를 포함한 기체가 통류(通流)하는 기체 유로(51a)로 되어 있다. 또한, 제 2 링 부재(52)는 스핀 척(41)에 유지된 웨이퍼(W)의 주연부 하방에 위치하도록 설치되어 있고, 그 상면이 「역 V 자」형상으로 굴곡되어 있다. 이 제 2 링 부재(52)의 외측 단면(端面)에는 컵 본체(50)의 저부의 액받이부(54)로 진입하도록 하방으로 연장된 단판(端板)(53)이 설치되어 있다. 이에 의해 웨이퍼(W)로부터 비산된 레지스트액의 일부는 제 2 링 부재(52) 및 단판(53)의 표면을 따라 액받이부(54)로 안내되도록 되어 있다.

컵 본체(50)의 하부측은 액받이부(54)로 되어 있고, 그 저부에는 컵체(5) 내 를 통류한 기류를 배기하기 위한, 예를 들면 2 개의 배기 포트(55)와, 액받이부(54)에 모인 레지스트액을 배출하기 위한 드레인 포트(56)가 설치되어 있다. 배기 포트(55)는 도시하지 않은 배기 덕트에 접속되어 있고, 또한 각 액처리부(2a, 2b, 2c)의 배기 포트(55)와 접속된 배기 덕트는 케이스(30) 외에서 배기 용력(用力) 설비에 접속되어 있다.

여기서 배기 포트(55)는, 도 2에 도시한 바와 같이, 액받이부(54) 내의 상방에 연장되어 있고, 액받이부(54)로부터 배기 포트(55)로의 일류(溢流)를 방지하기 위한 일류 방지벽(54a)을 구성하고 있다. 또한, 드레인 포트(56)도 도시하지 않은 드레인 관에 접속되어 있고, 레지스트액을 도포 유닛(1) 외로 배출할 수 있도록 되어 있다.

또한, 도 1(b)에 도시한 바와 같이, 컵체(5)와 대향하는 케이스(30)의 천장부에는 필터 유닛(31)이 장착되어 있고, 필터 유닛(31)으로부터, 예를 들면 청정 공기를 소정 유량으로 공급함으로써 케이스(30) 내에 청정 공기의 다운 플로우가 형성되도록 되어 있다. 청정 공기의 일부는 케이스(30) 내에 설치된 도시하지 않은 배기부로부터 배기되지만, 나머지 청정 공기는 컵체(5) 내로 유입되어 도 2의 컵체(5) 단면도 내에 화살표로 나타낸 바와 같은 기류를 형성하여 배기 포트(55)로부터 배출되도록 되어 있다.

이어서, 도포액 노즐(10)(이하, 노즐(10)이라고 함) 및 그 반송 기구의 구성에 대해 설명한다. 노즐(10)은 스핀 척(41)에 유지된 웨이퍼(W) 표면으로 레지스트액을 공급하는 역할을 한다. 도 3은 노즐(10)과 이 노즐(10)을 유지하는 노즐 암(11)의 상세한 구성을 도시한 사시도이다. 본 실시예에서의 도포 유닛(1)은, 예를 들면 농도 또는 성분이 상이한 10 종류의 레지스트액과, 웨이퍼(W) 상에서 레지스트액을 쉽게 퍼지도록 하기 위한 시너(이하, 이들을 총칭하여 도포액이라고 함)를 공급할 수 있도록 11 개의 노즐(10)을 구비하고 있다. 또한, 도 1(a) 및 도 2에서는 도시의 편의상 노즐(10)의 개수를 생략하여 도시하고 있다.

도 1(a)에 도시한 바와 같이, 노즐 반송 기구(10a)는 노즐(10)을 유지하는 노즐 암(11)과, 이 노즐 암(11)을 지지하는 기대(12)와, 기대(12)의 주행 궤도를 형성하는 레일(13)과, 레일(13) 상에서 기대(基臺)(12)를 이동시키는 기구(도시하지 않음)로 구성되어 있다.

도 3에 도시한 바와 같이, 노즐 암(11)은 11 개의 노즐(10)을 유지하는 노즐 헤드부(11a)와 이 노즐 헤드부(11a)를 지지하는 암 부(11b)로 구성되어 있다. 노즐 헤드부(11a)의 선단부 하면에는 상술한 노즐(10)의 기부(基部)가 감입 가능한 형상으로 되어 있고, 노즐(10)의 기부를 삽입하는 것만으로 각각의 노즐(10)을 유지할 수 있도록 되어 있다. 이 결과, 11 개의 노즐(10)은 선단부를 하향으로 한 상태로 일렬로 배열되고, 또한 이들 배열 방향이 도 1(a)에 도시한 노즐(10)의 반송 방향과 일치하도록 배치된다. 한편, 노즐 헤드부(11a)의 기부측에는 후술하는 공급 유닛(7)의 공급관(71)이 접속되어 있고, 노즐 헤드부(11a) 내부를 거쳐 노즐(10)로 도포액을 공급할 수 있도록 되어 있다.

암 부(11b)는 스핀 척(41)에 유지된 웨이퍼(W)의 대략 중앙부의 상방에서 노즐(10)을 반송할 수 있도록 노즐 헤드부(11a)와 기대(12)의 사이에 개재된 지지 부 재이다. 기대(12)는 노즐 암(11)을 이동시키는 슬라이더로서의 역할을 한다. 기대(12)는 도시하지 않은 승강 기구를 구비하고 있고, 암 부(11b)의 기부는 이 승강 기구에 장착되어 있다. 이에 의해 노즐 암(11)은 도 1(b)에 도시한 Z 방향을 자유롭게 승강할 수 있도록 되어 있다. 또한, 레일(13)은 액처리부(2)의 측방에 각 액처리부(2a, 2b, 2c)의 배열 방향과 평행하게 부설되어 있다. 여기서 도포 유닛(1)은 도포액의 공급을 행하지 않을 때에 노즐(10)을 재치하여 대기시키기 위한 노즐 배스(14)를 구비하고 있고, 레일(13)은 이 노즐 배스(14)와, 그로부터 가장 먼 액처리부(2a)에 유지된 웨이퍼(W)로 도포액을 공급 가능한 위치와의 사이에 기대(12)가 이동 가능한 길이를 가지고 있다. 또한, 노즐 배스(14)는 노즐(10)의 대기 중에 레지스트액이 건조되지 않도록 시너 분위기로 되어 있다.

또한, 기대(12)를 이동시키는 기구는, 예를 들면 레일(13)을 따라 배설한 권취 회전축에 기대(12)를 고정시킨 도시하지 않은 반송 벨트를 감고, 이 권취 회전축 중 하나에 예를 들면 모터 등의 구동 기구(도시하지 않음)를 접속시킨 구조로 되어 있고, 권취 회전축의 회전 방향과 회전수를 조정함으로써 원하는 위치로 기대(12)를 이동시킬 수 있도록 되어 있다.

이상의 구성에 의해, 레일(13) 상에서 기대(12)를 이동시킴으로써 일렬로 배열되어 유지된 노즐(10)을 노즐 배스(14)와 액처리부(2a, 2b, 2c)의 대략 중앙부를 연결한 직선 상에서 반송할 수 있다. 이에 따라 어떠한 액처리부(2a, 2b, 2c)에 웨이퍼(W)가 유지되어 있는 경우에도 기대(12)의 정지 위치를 조정함으로써 원하는 도포액을 공급하는 노즐(10)을 웨이퍼(W)의 대략 중앙부 상방까지 이동시키고, 그 위치로부터 웨이퍼(W)로 도포액을 공급할 수 있다.

이어서 EBR 기구(6)의 설명을 한다. EBR 기구는 웨이퍼(W)에 도포된 레지스트막의 주연부의 박리 등을 방지하기 위해 레지스트막을 제거하는 린스액을 웨이퍼(W) 주연부로 공급하는 역할을 한다. 각각의 액처리부(2a, 2b, 2c)에 설치된 EBR 기구(6)는 각각 대략 공통된 구성을 가지고 있고, 도 1(a)에 도시한 바와 같이, 린스액을 토출하는 노즐을 유지하는 EBR 암(61)과, 이 EBR 암(61)을 이동시키는 기대(62)와, 기대(62)의 주행 궤도를 형성하는 레일(63)과, 린스액의 공급을 행하지 않을 때에 노즐(10)을 재치하여 대기시키는 EBR 노즐 배스(64)를 구비하고 있다.

이어서, 노즐(10)로 도포액을 공급하는 공급 유닛(7)의 구성에 대해 도 2를 참조하여 설명한다. 공급 유닛(7)은, 예를 들면 도포액을 저장한 도시하지 않은 공급 탱크와, 이 공급 탱크로 가스를 공급하여 그 내부를 가압하는 방식 또는 전동 펌프에 의해 공급하는 방식에 의해 공급 탱크 내의 도포액을 도포 유닛(1)을 향하여 송액하기 위한 도시하지 않은 가압부를 포함한 도포액 공급 기구(70)(도포액 공급부)를 도포액의 종류에 대응하는 수만큼 구비하고 있다.

각각의 도포액 공급 기구(70)는 도포액의 공급 차단을 전환하기 위한 유량 조정부인 에어 오퍼레이티드 밸브(72)와, 도포액을 공급하지 않을 때에 노즐(10)의 선단부로부터 도포액을 인입하기 위한 처리액 흡인부인 후방 흡입 밸브(73)를 개재하여 공급관(71)에 의해 각 노즐(10)에 접속되어 있고, 10 종류의 레지스트액과 시너를 전환하여 공급할 수 있도록 되어 있다. 또한, 도 2에서는 도시의 편의상 시너를 공급하는 도포액 공급 기구(70)가 도면의 왼쪽으로부터 2 번째의 노즐(10)에 접 속되어 있지만, 실제로는 도 3에 도시한 바와 같은 도면의 왼쪽으로부터6 번째의 노즐(10)에 접속되어 있다. 이는 레지스트액의 도포 전에 매회 공급되는 시너와, 시너의 공급 후에 공급되는 레지스트액을 각각 공급하는 노즐(10)을 이 순서대로 웨이퍼(W)의 중심으로 이동시킬 때에 기대(12)의 평균 이동 거리를 최단으로 하기 위한 것이다. 이 도포액 공급 기구(70)와 에어 오퍼레이티드 밸브(72)와 후방 흡입 밸브(73)는 관련되어 구동 및 개폐 동작을 행하고, 토출량, 토출 시간 및 흡인량, 흡인 시간을 제어하기 위한 디스펜스 제어부(119)에 접속되어 있다.

또한, 도 2에 도시한 바와 같이, 공급 유닛(7)의 디스펜스 제어부(119)는 도포 유닛(1) 또는 각 기기의 동작을 통괄 제어하는 제어부(9)와 접속되어 있다. 또한, 제어부(9)는 본 실시예에 따른 도포 유닛(1)을 구비하는 도포, 현상 장치 전체의 동작을 통괄 제어하는 기능도 겸비하고 있다.

이상의 구성에 기초하여 도포 유닛(1)에 의해 웨이퍼(W)에 레지스트액을 도포하는 동작에 대해 간단히 설명한다. 외부의 반송 수단에 의해 3 개의 반입출구(30a) 중 어느 하나로부터 케이스(30) 내로 반입된 웨이퍼(W)는 승강 핀(44)에 의해 이면측이 지지되고, 반송 수단을 케이스(30) 밖으로 퇴피(退避)시키고, 승강 핀(44)을 하강시킴으로써, 반입된 반입출구(30a)에 대응하는 액처리부(2(2a, 2b, 2c))의 스핀 척(41)으로 전달된다.

그리고, 노즐 반송 기구(10a)를 작동시켜 노즐 배스(14) 상에 대기시킨 노즐 암(11)을 들어 올려 도 1의 Y 방향으로 반송한다. 이어서 시너를 공급하는 노즐(10)이 웨이퍼(W)의 대략 중앙 상방의 위치에 도달하면 노즐 암(11)의 이동을 정 지시키고, 그 위치에서 노즐 암(11)을 강하시킨다. 그 후, 정지되어 있는 웨이퍼(W) 상에 노즐(10)로부터 시너를 공급한 후, 해당 처리에서 도포되는 레지스트액의 공급 노즐(10)이 웨이퍼(W)의 대략 중앙 상방에 위치하도록 노즐 암(11)을 이동시킨다. 이 이동 동작과 병행하여 스핀 척(41)을, 예를 들면 고속 회전시키고, 그 회전 중인 웨이퍼(W) 상으로 레지스트액을 공급, 정지시켜 웨이퍼(W)의 지름 방향으로 퍼지는 스핀 코팅을 행한다.

계속해서, 스핀 척(41)을 저속으로 회전시켜 스핀 코팅된 레지스트막의 막 두께를 균일하게 하고, 이어서 재차 고속 회전시킴으로써 코팅한 레지스트액의 털어내기 건조를 행한다. 그 동안 노즐 반송 기구(10a)는 상술한 경로와는 반대 경로로 노즐 암(11)을 이동시키고, 도포액의 공급이 완료된 노즐(10)을 노즐 배스(14)에서 대기시킨다.

한편, 털어내기 건조가 완료된 웨이퍼(W)에 대해서는 대응하는 EBR 기구(6)를 가동시켜, 린스액 노즐을 EBR 노즐 배스(64)로부터 웨이퍼(W)의 주연부까지 반송하고, 여기에 린스액을 도포하고 스핀 척(41)을 회전시킴으로써 웨이퍼(W) 주연부에 도포된 레지스트막을 제거한 후, 레지스트액의 경우와 마찬가지로 린스액의 털어내기 건조를 행하여 일련의 액처리를 완료한다.

린스액 노즐을 EBR 노즐 배스(64)까지 퇴피시킨 후 레지스트막이 형성된 웨이퍼(W)는 반입시와는 반대 순서로 반송 수단으로 전달되고 도포 유닛(1)으로부터 반출된다. 이리 하여 각 액처리부(2a, 2b, 2c)에는 도포, 현상 장치에 정해진 웨이퍼(W)의 반송 사이클에 따라 웨이퍼(W)가, 예를 들면 24 초 간격으로 차례로 반송 되고 동일한 처리가 행해진다. 또한, 노즐(10)은 하나의 액처리부(2)에서 웨이퍼(W) 상에 도포액(시너 및 레지스트액)의 토출을 끝낸 후, 예를 들면 도포 유닛(1)의 일단(一端)에 위치하는 노즐 배스(14)로 퇴피되어 레지스트액의 건조를 억제하고 있다.

이어서, 도 1(b)의 노즐 배스(14)의 구성에 대해 설명한다. 도 4를 참조하여 설명한다. 도 4(a)는 노즐 배스(14)의 상면에서 본 도면이다. 노즐 배스(14)에는 노즐 반송 기구(10a)에 설치된 노즐(10)의 복수의 노즐 선단부의 수에 대응하는, 더미 디스펜스 시에 액을 토출하기 위한 복수의 더미 디스펜스 홀(100)과, 이 더미 디스펜스 홀(100)과 마찬가지로 노즐 선단으로부터, 예를 들면 시너를 흡인하기 위한 복수의 용제 흡인 홀(101)을 구비하고 있다. 도 4(b)는 더미 디스펜스를 실시한 경우를 나타내는, 노즐 반송 기구(10a)를 복수의 더미 디스펜스 홀(100)에 대향시켜 하강시키고 더미 디스펜스를 실행시킬 때의 노즐 배스(14)의 단면도(도 4(a)의 I - I 선에 따른 단면도)이다. 더미 디스펜스 홀(100)의 하방에는 복수의 더미 디스펜스 홀(100)과도 공통으로 연결되는 공통 드레인 유로(103)가 설치되어 있고, 프로세스 결함이 되는 요인 저감을 위해 정기적으로 레지스트액을 노즐(10)로부터 토출시켜 폐기시키고 있다. 이 폐기된 레지스트액은 공통 드레인 유로(103)를 통과하여 도시하지 않은 폐액 라인으로 유출되도록 되어 있다.

노즐 배스(14)는 A 점을 중심으로 하여 회동 기구(110)에 의해 노즐 배열 방향과 직교하는 수직면 상에서 45도 회동(回動)하도록 구성되어 있다. 도 4(c)는 회동한 노즐 배스(14)의 단면도이다. 복수의 용제 흡인 홀(101)의 하방에는 개별적으 로 복수의 제 1 용제 저장부(102)가 설치되어 있다. 이 제 1 용제 저장부(102)에는 복수의 제 1 용제 저장부(102)와 연통된 유로에 의해 버퍼실로 구성된 제 2 용제 저장부(105)와, 이 제 2 용제 저장부(105)에 예를 들면 시너를 공급하는 용제 공급 홀(106)이 설치되어 있고, 공급된 용제는 제 2 용제 저장부를 통과하여 제 1 용제 저장부(102)에 모이도록 구성되어 있다. 또한, 제 1 용제 저장부(102)와 공통 드레인 유로(103)는 연통로(104)로 연통되어 있고, 제 1 용제 저장부(102)로 용제가 공급되는 타이밍에서 흘러 넘친 용제가 공통 드레인 유로(103)로 흐르도록 구성되어 있고, 용제의 공급 시에는 공통 드레인 유로(103)도 세정을 할 수 있도록 되어 있다.

노즐(10)은 상하 방향으로 이동 가능하며, 대기 위치에 있어서 노즐 배스(14)의 용제 흡인 홀(101)과 더미 디스펜스홀(100)은 노즐 배스(14)를 회동시킴으로써 노즐(10)의 하강 위치를 공용할 수 있는 위치에 설정된다. 노즐 배스(14)를 회동시켜 용제 흡인 홀(101)이 상방을 향한 상태일 때에 노즐 반송 기구(10a)를 하강시켜 노즐(10)을 제 1 용제 저장부(102)에 선단부를 침지(侵漬)하고 용제를 소정량 흡인시킨다. 이와 같이 구성함으로써, 도포 노즐의 수평 방향의 위치를 변경하지 않고 도포 노즐의 토출 위치와 건조 억제 용제의 흡인 위치를 전환할 수 있다.

이상으로 설명한 구성을 구비하고 있는 본 실시예에 따른 도포 유닛(1)의 노즐 헤드(11a) 및 노즐(10)을, 예를 들면 노즐 배스(14)의 위치에서 광학적으로 촬상하고, 노즐(10)의 건조 또는 오염에 대한 더미 디스펜스를 실행하는 횟수를 늘리지 않도록 도 5에 도시된 건조 방지 처치로 노즐(10) 내에 설정되는 레지스트액 위 치(111), 공기층(112)의 위치(폭), 건조 억제 용제층(113)의 위치(폭), 후방 흡입 폭(114)(양)의 적절한 동작을 실행하는 기능을 구비하고 있다. 이하, 이들 기능의 상세한 사항에 대해 설명한다.

노즐(10) 선단부의 내외 상태를 촬상하는 수단으로서, 노즐 반송 기구(10a)의 노즐암(11)에는, 도 3에 도시한 바와 같이, 노즐 헤드부(11a)에 유지된 노즐(10)의 화상을 이미지 센서로 측방으로부터 촬상하기 위한 촬상 수단과, 노즐(10)을 향해 LED 조명을 비추기 위한 프리즘을 이용한 프리즘 조명(200)을 가지고 있다. 예를 들면, 촬상 수단으로서의 CCD 혹은 CMOS 카메라 등의 카메라(17)가 고정 부재(18)를 개재하여 고정되어 있다. 이 카메라(17)는 서로의 그림자가 되지 않고 각 노즐(10)의 선단부를 촬상할 수 있도록, 도 3에 도시한 바와 같이, 노즐 헤드부(11a)에 유지된 노즐(10)의 배열 방향과 대략 직교하는 방향으로부터 노즐(10)을 촬상하는 구성으로 되어 있다. 또한, 카메라(17)는, 예를 들면 광각 렌즈를 구비하고 있고, 일렬로 배열된 모든 노즐(10)의 선단부를 촬상 영역에 넣고, 또한 각각의 선단부에 초점이 맞도록 설정되어 있다.

노즐(10)을 노즐 배스(14)로 이동시켰을 때에 전회의 더미 디스펜스의 동작 실시 후에, 도 5에 도시한 바와 같이, 프로세스에 사용되지 않은 노즐(10)의 건조 방지 처치를 행하고 나서 소정의 가동 시간이 경과한 상태, 예를 들면 8 시간 후에 노즐 배스(14)의 상방에서 프리즘 조명(200)을 점등시켜 카메라(17)로 노즐(10)을 일괄적으로 촬상한다. 이 촬상 데이터를 이용하여 복수의 노즐(10)의 각각에 대해 개별적으로 최적의 장시간 동안에 더미 디스펜스를 하지 않는 처치를 실시하는 방 법에 대해 이하에 그 상세한 사항을 설명한다.

촬상된 복수의 노즐(10)의 촬상 데이터는 제어부(9)로 송출된다. 제어부(9)는 제어부 내부에 화상 처리된 도포 노즐 상태를 해석 처리 및 판단 처리 등을 행하는 프로그램인 판정 처리부(121)를 구비한다. 또한, 제어부(9)에는 표시 조작부(120)가 접속되어 있다. 이 표시 조작부(120)는 제어부(9)의 지시에 기초하여 유저에게 각종의 안내 표시 또는 설정치의 입력 및 본 발명의 동작 상태를 모니터하는 화상을 표시하는 역할을 하고 있다. 제어부(9)에 의해 출력되는 촬상 데이터가 표시되는 표시 조작부(120)에는, 도 6에 도시한 바와 같이, 제어부(9)의 소프트웨어의 프로그램에 의해 표시 조작부(120) 내의 특정 위치에 고정된, 예를 들면 1 mm 간격으로 구획된 복수의 소프트 스케일(눈금)(121a ~ 121c)을 노즐(10)의 길이에 맞추어 표시할 수 있도록 되어 있다. 이 특정 위치란 촬상된 복수의 노즐(10)의 길이, 간격, 수에 기초하고 있다. 그리고, 도 6(b) 및 도 6(c)에 도시한 바와 같이, 실제 촬상한 복수의 노즐(10)의 화상(122)을 표시시키고, 화면 고정되어 있는 소프트 스케일(121a ~ 121c)과 중합(重合)시켜 함께 표시시킨다. 이 때 소프트 스케일(121a ~ 121c)의 하단과 노즐 화상의 수직 방향의 노즐(10) 선단이 일치하도록 카메라(17)의 장착 위치를 하드적으로 미세 조정함으로써 도 6(b) 및 도 6(c)와 같이 중합은 완료된다. 또한, 본 발명에서, 제어부가 직접 디스펜스 제어해도 좋다. 소프트 스케일의 표시는 도포 노즐과 쌍으로 표시하지 않아도 도포 노즐의 선단까지의 길이가 동일하면 노즐 표시부의 측방으로부터 도포 노즐에 대해 공통의 눈금 표시선을 표시해도 좋다.

이어서 도 7에 하나의 노즐(10)에 대해 설정하는 방법을 설명하지만, 다른 노즐에 대해서도 동일하다. 또한, 도 5와 동일한 번호는 그대로 사용하여 설명하는 것으로 한다. 우선, 먼저 모니터 화면 상의 소프트 스케일(121a ~ 121c)(이하, 121a를 대표로 설명한다.)과 노즐(10)이 맞춰져 있는 상태에서, 장시간 동안 더미 디스펜스를 하지 않는 노즐(10) 내부의 처치가 되도록 3 개의 설정을 행한다. Set1은 제 1 설정 높이인 노즐 선단으로부터 레지스트액 선단까지의 거리, Set2는 제 2 설정 높이인 건조 억제 용제 상단까지의 거리, SET3은 제 3 설정 높이인 후방 흡입 폭을 복수의 노즐(10)에 대해 개별적으로 설정할 수 있다. 이 설정은 제어부(9)에 설정되어 노즐 반송 기구(10a)의 동작이 행해지고, 그로부터 디스펜스 제어부(119)로 제어 신호가 송출되어 동작 신호가 출력되게 된다. 이 설정치는 소프트 스케일(121a)의 눈금치에 기초하여 설정이 행해지고 화상 처리되는 상태가 판정되면서 디스펜스 제어부(119)를 조정할 수 있도록 구성되어 있다. 또한, 도 7에서, 부호 111은 레지스트액층, 부호 112는 공기층, 부호 113은 건조 억제 용제층, 부호 114는 후방 흡입 폭이다.

예를 들면, 도 8에 도시하는 바와 같이, 노즐 선단을 기준으로 하여 그 노즐 선단으로부터의 거리를 제 1 설정치인 Set1을 8 mm, 제 2 설정치인 Set2를 5 mm, 제 3 설정치인 Set3을 2 mm로 하면, 완료된 상태는 공기층(112)의 폭이 3 mm, 건조 억제 용제층(113)의 폭이 3 mm, 후방 흡입폭이 2 mm가 되는 것이다.

이어서, 도 9에서 일련의 동작의 상태를 노즐 선단 상태와 에어 오퍼레이티드 밸브(72) 및 후방 흡입 밸브 상태를 병기하여 차례로 설명한다. 노즐 배스(14) 에서 더미 디스펜스홀(100)에 노즐(10)을 삽입하도록 노즐 암(11)을 하강시키고, 레지스트액을 더미 디스펜스 토출하고 노즐 암(11)을 상승시킨다(도 9(a) 참조). 이 때의 상태를 촬상하여 화상 해석하여 판정 처리부(121)에서 제로 위치를 정한다(도 9(b) 참조). 이하, 설정 동작의 판정에는 판정 처리부(121)로부터의 신호가 출력되어 있는 것으로 한다.

이어서, 공기층(112)의 확보를 위해 후방 흡입을 작동하여 레지스트를 흡인하여 상승시킨다(도 9(c) 참조). 이 흡인 상태는 촬상되고 화상 처리에 의해 Set1과 Set2의 차이인 8 mm - 5 mm = 3 mm 상태가 되도록 2 개의 확인점인 노즐(10) 선단의 제로 기준 위치가 되는 뷰포인트(130), 레지스트액 액면(液面) 위치가 되는 뷰포인트(131) 간의 거리가 소프트 스케일(121a)에 의해 3 mm가 된 시점에서 후방 흡입의 흡인 동작이 정지된다(도 9(d) 참조). 이어서, 노즐 배스(14)의 용제 흡인 홀(101)이 수직 방향을 향하도록 회동시키고, 동시에 용제 공급 홀(106)로부터 용제가 공급된다. 이에 따라 제 1 용제 저장부(102)로 새롭게 용제가 공급된다.

이어서, 도 9(e)에 도시한 바와 같이, 노즐 암(11)을 하강시켜 노즐(10)을 용제 흡인 홀(101)의 미리 설정된 하강 위치인 노즐(10) 선단이 용제 액면에 침지되는 위치까지 진입시킨다. 후방 흡입 동작에 의해 용제의 흡인을 행하지만, 이 위치에서는 촬상하여 상태 확인을 할 수 없기 때문에, 후방 흡입을 작동시켜 소정량, 예를 들면, 소프트 스케일치로 5 mm 정도가 될 정도로 흡인 동작을 행한다(도 9(f) 참조).

다음에, 노즐 암(11)을 상승시켜 노즐(10)이 촬상되고, 설정치보다 많이 흡 인되어 있는 용제를 후방 흡입 동작으로 흡인된 양을 되돌리는 동작을 행하면서 화상 처리를 하여 소정량이 되도록 용제를 적하 배출시켜 용제 흡인 홀에 버리게 된다(도 9(g) 참조). 이 때에 Set2와 Set3의 차이인 5 mm - 2 mm = 3 mm가 되도록 화상 처리로 디스펜스 제어부(119)의 제어가 행해지고, 소프트 스케일치와 맞춰진 건조 억제 용제층이 3 mm가 되도록 조정된다(도 9(h) 참조). 이와 같이 확인점인 뷰포인트 (130)는 상기 뷰포인트(131)와 공기층 하방 단면(端面)(건조 억제 용제 상방 액면)의 뷰포인트(132), 뷰포인트(130)와의 위치 확인에 의해 행해지지만, 뷰포인트(130, 132)만의 화상 인식으로도 가능하다.

이어서, 건조 억제 용제가 프로세스 중의 이동 상태에서 액 누수를 발생시키지 않도록 후방 흡입을 행한다. 이 때에 Set3의 위치가 2 mm가 되도록 도 9(h)에 도시한 상태로부터 도 9(i) 상태가 되도록 상술한 바와 같이, 촬상하면서 화상 처리에 의해 흡인 동작을 행하여 소프트 스케일치와 맞춰져 뷰포인트(130, 131, 132), 건조 억제 용제 하방 액면의 뷰포인트(133)가 되도록 흡인 동작을 행한다. 이 경우 뷰포인트(130, 133)만의 화상 인식으로도 가능하다. 이와 같이 구성함으로써, 화면 상에 표시되는 소프트 스케일에 기초하여 원하는 건조 억제 용제 등의 위치가 설정되는 도포 노즐의 완성 상태를 이미지화하여 설정치를 입력할 수 있다.

이상의 일련의 동작 시의 화상은, 화상 판정 처리를 행하면서 디스펜스 제어를 동작시키고 있다. 이에 따라 복수의 노즐(10)의 최적의 약액의 대기 상태를 개별적으로 설정하는 것이 가능하다. 이들 더미 디스펜스 실행 동작에 의한 대기 동작은, 처리 로트(processing lot)의 반송 개시 전에 실행되고 정기적인 시간 설정 또는 기판의 처리 매수 설정에 의해 기동되는 것이다. 이 동작은 한 번 설정된 설정치에 기초하여 동작에 재현성을 가지고 있다. 특히, 종래 더미 디스펜스 실행 동작에 의한 대기 동작은, 건조 억제 용제의 흡인량이 정확하게 확인되지 않았기 때문에, 도포 처리에 사용되지 않은 노즐(10)의 대기 가능한 최장 시간에 대해 트러블 리스크를 저감시키기 위해 짧게 설정되어 있었다. 본 발명은, 레지스트의 종류 또는 점도에 따라 소프트 스케일과 조정 동작을 조합함으로써 정확하게 공기층의 양 또는 건조 억제 용제의 양을 컨트롤할 수 있으므로, 복수의 노즐(10)의 대기 가능 시간을 정확하게 파악할 수 있고 또한, 적정한 시간을 정확히 설정할 수 있다. 또한, 뷰포인트(130)를 기점으로 한 다음의 뷰포인트까지의 액면의 이동 시간을 계측할 수도 있으므로, 흡인 시간의 적절한 조정도 가능하다. 이와 같이 구성함으로써, 장치 메인터넌스 담당자의 육안으로 조정을 행하던 도포 노즐 선단의 상태를 정밀하게 조정할 수 있게 되어 장시간에 걸쳐 처리액의 건조를 방지할 수 있다.

이에 따라, 육안 조정이 어려운 장소의 조정을 단시간에 끝내는 것이 가능해져, 더미 디스펜스에 수반되는 실행하고 있는 동안의 대기 시간의 발생 등 프로세스 처리의 효율 저하를 최대한 억제할 수 있으므로 생산성도 향상되게 된다.

이어서, 도포, 현상 장치에 상술한 도포 유닛(1)을 적용한 일례에 대해 간단히 설명한다. 도 10은 도포, 현상 장치에 노광 장치가 접속된 시스템의 평면도이며, 도 11은 이 시스템의 사시도이다. 또한, 도 12는 이 시스템의 종단면도이다. 이 장치에는 캐리어 블록(S1)이 설치되어 있고, 그 재치대(80a) 상에 재치된 밀폐형 캐리어(80)로부터 전달받아 암(C)이 웨이퍼(W)를 취출하여 처리 블록(S2)으로 전달하고, 처리 블록(S2)으로부터 전달받아 암(C)이 처리 완료 웨이퍼(W)를 수취하여 캐리어(80)로 되돌리도록 구성되어 있다.

상기 처리 블록(S2)은, 도 11에 도시한 바와 같이, 이 예에서는 현상 처리를 행하기 위한 제 1 블록(DEV층)(B1), 레지스트막의 하층측에 형성되는 반사 방지막의 형성 처리를 행하기 위한 제 2 블록(BCT층)(B2), 레지스트막의 도포를 행하기 위한 제 3 블록(COT층)(B3), 레지스트막의 상층측에 형성되는 반사 방지막의 형성을 행하기 위한 제 4 블록(TCT층)(B4)을 아래로부터 순서대로 적층하여 구성되어 있다.

제 2 블록(BCT층)(B2)과 제 4 블록(TCT층)(B4)은 각각 반사 방지막을 형성하기 위한 약액을 스핀 코팅에 의해 도포하는 본 발명에 따른 도포 유닛(1)과, 이 도포 유닛(1)에서 행해지는 처리의 전 처리 및 후 처리를 행하기 위한 가열·냉각계의 처리 유닛군과, 상기 도포 유닛(1)과 처리 유닛군의 사이에 설치되고 이들 사이에서 웨이퍼(W)의 전달을 행하는 반송 암(A2, A4)으로 구성되어 있다. 제 3 블록(COT층)(B3)에 대해서도 상기 약액이 레지스트액인 것을 제외하면 동일한 구성이다.

한편, 제 1 블록(DEV층)(B1)에 대해서는 도 12에 도시한 바와 같이, 하나의 DEV층(B1) 내에 현상 유닛이 2 단으로 적층되어 있다. 그리고, 해당 DEV층(B1) 내에는 이들 2 단의 현상 유닛으로 웨이퍼(W)를 반송하기 위한 반송 암(A1)이 설치되어 있다. 즉, 2 단의 현상 유닛에 대해 반송 암(A1)이 공통화되어 있는 구성으로 되어 있다.

또한 처리 블록(S2)에는, 도 10 및 도 12에 도시한 바와 같이, 선반 유닛(U5)이 설치되고, 캐리어 블록(S1)으로부터의 웨이퍼(W)는 상기 선반 유닛(U5) 중 하나의 전달 유닛, 예를 들면 제 2 블록(BCT층)(B2)이 대응하는 전달 유닛(CPL2)으로 상기 선반 유닛(U5)의 근방에 설치된 승강 가능한 제 1 전달 암(D1)에 의해 차례대로 반송된다. 제 2 블록(BCT층)(B2) 내의 반송 암(A2)은 이 전달 유닛(CPL2)으로부터 웨이퍼(W)를 수취하여 각 유닛(반사 방지막 유닛 및 가열·냉각계의 처리 유닛군)으로 반송하고, 이들 유닛에서 웨이퍼(W)에는 반사 방지막이 형성된다

그 후, 웨이퍼(W)는 선반 유닛(U5)의 전달 유닛(BF2), 전달 암(D1), 선반 유닛(U5)의 전달 유닛(CPL3) 및 반송 암(A3)을 거쳐 제 3 블록(COT층)(B3)으로 반입되어 레지스트막이 형성된다. 또한 웨이퍼(W)는 반송 암(A3) → 선반 유닛(U5)의 전달 유닛(CPL3) → 전달 암(D1)을 거쳐 선반 유닛(U5)에서의 전달 유닛(BF3)으로 전달된다. 또한, 레지스트막이 형성된 웨이퍼(W)는 제 4 블록(TCT층)(B4)에서 추가로 반사 방지막이 형성되는 경우도 있다. 이 경우는, 웨이퍼(W)는 전달 유닛(CPL4)을 거쳐 반송 암(A4)으로 전달되고, 반사 방지막이 형성된 후 반송 암(A4)에 의해 전달 유닛(TRS4)으로 전달된다.

한편, DEV층(B1) 내의 상부에는 선반 유닛(U5)에 설치된 전달 유닛(CPL11)으로부터 선반 유닛(U6)에 설치된 전달 유닛(CPL12)으로 웨이퍼(W)를 직접 반송하기 위한 전용 반송 수단인 셔틀 암(E)이 설치되어 있다. 레지스트막 또는 추가로 반사 방지막이 형성된 웨이퍼(W)는 전달 암(D1)을 거쳐 전달 유닛(BF3, TRS4)으로부터 수취되어 전달 유닛(CPL11)으로 전달되고, 이로부터 셔틀 암(E)에 의해 선반 유닛(U6)의 전달 유닛(CPL12)으로 직접 반송되고, 인터페이스 블록(S3)으로 도입되게 된다. 또한 도 12 중의 CPL이 붙은 전달 유닛은 온도 조절용의 냉각 유닛을 겸하고 있고, BF가 붙은 전달 유닛은 복수매의 웨이퍼(W)가 재치 가능한 버퍼 유닛을 겸하고 있다.

이어서, 웨이퍼(W)는 인터페이스 암(B)에 의해 노광 장치(S4)로 반송되고, 여기서 소정의 노광 처리가 행해진 후, 선반 유닛(U6)의 전달 유닛(TRS6)에 재치되어 처리 블록(S2)으로 되돌려진다. 되돌려진 웨이퍼(W)는 제 1 블록(DEV층)(B1)에서 현상 처리가 행해지고, 반송 암(A1)에 의해 선반 유닛(U5)의 전달대(TRS1)로 전달된다. 그 후, 제 1 전달 암(D1)에 의해 선반 유닛(U5)에서의 전달 암(C)의 액세스 범위인 전달대로 반송되고, 전달 암(C)을 거쳐 캐리어(80)로 되돌려진다. 또한, 도 10에서 U1 ~ U4는 각각 가열부와 냉각부를 적층시킨 열계 유닛군이다.

도 1(a)는 본 발명에서의 도포 유닛을 도시하는 평면도, 도 1(b)는 그 종단면도이다.

도 2는 상기 도포 유닛 내의 액처리부와 도포액을 공급하는 공급 유닛을 도시한 구성도이다.

도 3은 본 발명에서의 도포액을 공급하는 도포 노즐을 노즐 암에 장착한 상태를 도시하는 사시도이다.

도 4(a) 도포 노즐 대기 위치가 되는 노즐 배스의 개략 평면도, 도 4(b)는 도 4(a)의 I - I 선에 따른 단면도, 도 4(c)는 용제 공급시의 단면도이다.

도 5는 도포 노즐 선단부에 설정되는 액의 상태를 도시하는 단면도이다.

도 6(a)는 본 발명에서의 소프트 스케일의 모니터 화면에의 표시를 도시하는 도, 도 6(b)는 소프트 스케일과 도포 노즐의 모니터 화면에의 표시를 도시하는 도 및 도 6(c)는 소프트 스케일과 도포 노즐의 모니터 화면에의 확대 표시를 도시하는 도이다.

도 7은 도포 노즐 상태를 설정하는 경우의 소프트 스케일로 설정되는 개략 확대 단면도이다.

도 8은 설정 상태를 도시하는 개략 확대 단면도이다.

도 9는 도포 노즐이 디스펜스 제어되는 상태을 도시하는 개략 확대 단면도이다.

도 10은 상기 도포 유닛을 적용한 도포, 현상 장치의 실시예를 도시하는 평 면도이다.

도 11은 상기 도포, 현상 장치의 사시도이다.

도 12는 상기 도포, 현상 장치의 종단면도이다.

Claims (11)

1. 기판 유지부에 수평으로 유지된 기판의 표면에 도포액 노즐로부터 도포액을 공급하여 상기 기판의 표면을 향해 토출(吐出)시켜 도포막을 형성하는 액처리를 하는 액처리 장치에 있어서,

   상기 기판 유지부에 유지된 기판의 상방으로 이동 가능하게 구성된 상기 도포액 노즐을 반송하는 노즐 반송 기구와,

   상기 도포액 노즐을 대기 위치에서 대기시키기 위한 노즐 배스와,

   상기 노즐 배스에서, 상기 도포액 노즐로부터 도포액의 토출 동작 또는 도포액과 상기 도포액의 건조 억제 용제의 흡인 동작과 건조 억제 용제의 배출 동작을 디스펜스 제어하는 디스펜스 제어부와,

   상기 디스펜스 제어부를 제어하는 제어부와,

   상기 제어부에 설치되고 상기 도포액 노즐을 촬상하는 촬상 수단에 의해 촬상된 노즐 화상 데이터를 해석 판단하는 판정 처리부와,

   상기 도포액 노즐이 촬상된 노즐 화상 데이터의 표시 및 설정치의 입력을 행하기 위한 조작 표시부와,

   상기 조작 표시부에 상기 촬상 수단에서 얻어진 상기 도포액 노즐 화상의 수직 방향의 길이에 중합시켜 고정 표시할 수 있는 눈금치를 가지는 소프트 스케일

   을 구비하고,

   상기 판정 처리부는, 상기 조작 표시부에서 상기 도포액 노즐 내의 도포액과 건조 억제 용제를 미리 정해진 위치가 되도록 상기 소프트 스케일의 눈금치로 설정된 설정치와, 상기 제어부에 의해 작동 중인 도포액 노즐 상태를 촬상하고 상기 도포액 노즐 내에서 도포액과 건조 억제 용제의 각각의 흡인 위치를 비교하여 판정 처리하고, 상기 제어부는 상기 판정 처리에 기초하여 상기 디스펜스 제어부를 제어하여 상기 도포액 노즐 선단부 내의 도포액의 건조 억제 조정을 행하도록 하고,

   상기 노즐 배스는, 상기 도포액 노즐의 도포액을 토출하는 홀과, 상기 건조 억제 용제를 흡인하는 홀을 구비하고, 상기 도포액을 토출하는 홀의 위치와 상기 건조 억제 용제를 흡인하는 홀의 위치를 전환하는 회동(回動) 기구를 구비하여 이루어지고,

   상기 도포 노즐이 건조 억제 용제를 흡인할 때에, 상기 회동 기구에 의해 상기 노즐 배스를 회동시켜 상기 도포액 노즐의 도포액을 토출하는 홀의 위치로부터 건조 억제 용제를 흡인하는 홀의 위치로 전환하고, 상기 노즐 배스의 내부에 설치되는 건조 억제 용제의 저장부로부터 흡인을 행하는 것을 특징으로 하는 액처리 장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 노즐 반송 기구에 상기 도포액 노즐은 복수 설치되고, 각각의 도포액 노즐에 대해 상기 설정치의 입력, 판정 처리 및 디스펜스 제어를 할 수 있는 것을 특징으로 하는 액처리 장치.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 설정치는 제 1 설정치와 제 2 설정치와 제 3 설정치로 구분되고, 상기 제 1 설정치는 도포 노즐의 선단으로부터 상기 도포 노즐 내로 흡인되는 도포액의 하단(下端) 액면(液面)까지의 거리이며, 제 2 설정치는 상기 선단으로부터 흡인되는 건조 억제 용제의 상단(上端) 액면까지의 거리이며, 제 3 설정치는 상기 선단으로부터 흡인되는 건조 억제 용제의 하단 액면까지의 거리인 것을 특징으로 하는 액처리 장치.
4. 제 3 항에 있어서,

   상기 도포액의 하단 액면과 상기 건조 억제 용제의 상단 액면의 사이에는 공기층이 제공되는 것을 특징으로 하는 액처리 장치.
5. 제 3 항에 있어서,

   상기 제 3 설정치는 건조 억제 용제를 상기 도포액 노즐 선단으로부터 후방 흡입한 거리인 것을 특징으로 하는 액처리 장치.
6. 삭제
7. 제 1 항에 있어서,

   상기 노즐 배스는, 상기 건조 억제 용제를 흡인하는 홀에 저장부를 가지고, 상기 건조 억제 용제를 회동시키면 상기 도포액 노즐의 도포액을 토출하는 홀의 하부에 설치되는 도포액을 폐액하는 유로에 상기 건조 억제 용제를 유통시키는 유로를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 액처리 장치.
8. 기판 유지부에 수평으로 유지된 기판의 표면에, 도포액 노즐로부터 도포액을 공급하여 상기 기판의 표면을 향해 토출시켜 도포막을 형성하는 액처리를 하는 액처리 방법에 있어서,

   상기 도포액 노즐을 대기시키기 위한 노즐 배스로 도포액 노즐을 이동시켜 대기시키는 공정과,

   상기 도포액 노즐로부터 도포액의 토출 동작 또는 도포액과 상기 도포액의 건조 억제 용제의 흡인 동작과 건조 억제 용제의 배출 동작을 디스펜스 제어하는 디스펜스 제어 공정과,

   상기 도포액 노즐을 촬상하는 촬상 수단에 의해 촬상된 노즐 화상 데이터를 해석 판단하는 판정 처리 공정과,

   상기 촬상 수단에서 얻어진 상기 도포액 노즐 화상의 수직 방향의 길이에 중합시켜 고정 표시할 수 있는 눈금치를 가지는 소프트 스케일에 상기 도포액 노즐이 촬상된 노즐 화상 데이터를 표시시키고, 설정치의 입력을 행하는 조작 표시 공정

   을 구비하고,

   상기 판정 처리 공정은, 상기 조작 표시 공정에서 상기 도포액 노즐 내의 도포액과 건조 억제 용제를 미리 정해진 위치가 되도록 상기 소프트 스케일의 눈금치로 설정된 설정치와, 작동 중의 도포액 노즐 상태를 촬상하고 상기 도포액 노즐 내에서 도포액과 건조 억제 용제의 각각의 흡인 위치를 비교하여 판정 처리하고, 상기 판정 처리 공정의 결과에 기초하여 상기 디스펜스 제어 공정을 제어하고, 상기 도포액 노즐의 선단부 내의 도포액의 건조 억제의 조정을 행하고,

   상기 디스펜스 제어 공정은, 건조 억제 용제를 흡인할 때에 상기 노즐 배스에 설치되는 회동 기구를 회동시키는 공정을 포함하고, 상기 도포액 노즐의 도포액을 토출하는 홀의 위치로부터 건조 억제 용제를 흡인하는 홀의 위치로 회동시킨 후에 노즐 배스의 내부에 설치되는 건조 억제 용제의 저장부로부터 흡인을 행하는 것을 특징으로 하는 액처리 방법.
9. 제 8 항에 있어서,

   상기 조작 표시 공정에서의 상기 설정치의 설정은, 제 1 설정치와 제 2 설정치와 제 3 설정치로 구분되고, 상기 제 1 설정치는 도포액 노즐의 선단으로부터 상기 도포액 노즐 내로 흡인되는 도포액의 하단 액면까지의 거리이며, 제 2 설정치는 상기 선단으로부터 흡인되는 건조 억제 용제의 상단 액면까지의 거리이며, 제 3 설정치는 상기 선단으로부터 흡인되는 건조 억제 용제의 하단 액면까지의 거리인 것을 특징으로 하는 액처리 방법.
10. 삭제
11. 기판 유지부에 수평으로 유지된 기판의 표면에 도포액 노즐로부터 도포액을 공급하여 상기 기판의 표면을 향해 토출(吐出)시켜 도포막을 형성하는 액처리를 하는 액처리 장치에 있어서,

    상기 기판 유지부에 유지된 기판의 상방으로 이동 가능하게 구성된 상기 도포액 노즐을 반송하는 노즐 반송 기구와,

    상기 도포액 노즐을 대기 위치에서 대기시키기 위한 노즐 배스와,

    상기 노즐 배스에서, 상기 도포액 노즐로부터 도포액의 토출 동작 또는 도포액과 상기 도포액의 건조 억제 용제의 흡인 동작과 건조 억제 용제의 배출 동작을 디스펜스 제어하는 디스펜스 제어부와,

    상기 디스펜스 제어부를 제어하는 제어부와,

    상기 제어부에 설치되고 상기 도포액 노즐을 촬상하는 촬상 수단에 의해 촬상된 노즐 화상 데이터를 해석 판단하는 판정 처리부와,

    상기 도포액 노즐이 촬상된 노즐 화상 데이터의 표시 및 설정치의 입력을 행하기 위한 조작 표시부와,

    상기 조작 표시부에 상기 촬상 수단에서 얻어진 상기 도포액 노즐 화상의 수직 방향의 길이에 중합시켜 고정 표시할 수 있는 눈금치를 가지는 소프트 스케일

    을 구비하고,

    상기 판정 처리부는, 상기 조작 표시부에서 상기 도포액 노즐 내의 도포액과 건조 억제 용제를 미리 정해진 위치가 되도록 상기 소프트 스케일의 눈금치로 설정된 설정치와, 상기 제어부에 의해 작동 중인 도포액 노즐 상태를 촬상하고 상기 도포액 노즐 내에서 도포액과 건조 억제 용제의 각각의 흡인 위치를 비교하여 판정 처리하고, 상기 제어부는 상기 판정 처리에 기초하여 상기 디스펜스 제어부를 제어하여 상기 도포액 노즐 선단부 내의 도포액의 건조 억제 조정을 행하도록 하고,

    상기 설정치는 제 1 설정치와 제 2 설정치와 제 3 설정치로 구분되고, 상기 제 1 설정치는 도포 노즐의 선단으로부터 상기 도포 노즐 내로 흡인되는 도포액의 하단(下端) 액면(液面)까지의 거리이며, 제 2 설정치는 상기 선단으로부터 흡인되는 건조 억제 용제의 상단(上端) 액면까지의 거리이며, 제 3 설정치는 상기 선단으로부터 흡인되는 건조 억제 용제의 하단 액면까지의 거리이고,

    상기 제 3 설정치는 건조 억제 용제를 상기 도포액 노즐 선단으로부터 후방 흡입한 거리인 것을 특징으로 하는 액처리 장치.

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