KR101570471B1 - 유기발광 표시장치 및 이의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
유기발광 표시장치에 있어서, 유기막 패턴 위에 유기막 패턴을 커버하는 절연막 패턴이 구비되어 유기막 패턴으로부터 발생될 수 있는 가스에 의해 유기 발광층의 발광 기능이 저하되는 것이 방지된다. 또한, 유기발광 표시장치의 제조 방법에 있어서, 기판 위에 제 1 전극, 절연물질, 및 뱅크물질을 순차적으로 형성하고, 뱅크물질을 현상하여 화소영역들에 대응하는 뱅크 물질을 제거한 후, 뱅크 물질을 마스크로 이용하여 화소영역들에 대응하는 절연물질을 제거한다. 그 결과, 절연물질 및 뱅크물질 하부에 구비되는 제 1 전극이 외부로 노출되고, 노출된 제 1 전극 위에 유기발광층을 형성할 수 있다. 따라서, 화소영역들에 대응하는 절연물질을 제거시키는 포토리소그래피 공정을 생략할 수 있다.
Description
본 발명은 유기발광 표시장치 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 신뢰성이 향상된 유기발광 표시장치 및 상기한 유기발광 표시장치를 용이하게 제조할 수 있는 제조 방법에 관한 것이다.
평판표시장치(flat panel display)에 있어서, 최근에 유기발광 표시장치(organic light emitting display, OLED)가 각광받고 있다. 유기발광 표시장치는 저전압으로 구동이 가능하고, 경량화, 박형화, 광시야각, 및 고속 응답 등의 장점을 갖는다.
일반적으로, 유기발광 표시장치는 상부 전극, 하부 전극, 및 상기 상부 전극 및 상기 하부 전극 사이에 개재되어 광을 발생하는 유기 발광층을 포함하고, 상기 유기발광 표시장치는 상기 유기 발광층으로부터 발생되는 광을 이용하여 영상을 표시한다.
한편, 상기 유기발광층은 수분 또는 가스와 화학적 반응을 일으켜 상기 유기발광층의 발광 기능이 저하될 수 있다. 상기 유기발광층의 발광 기능이 저하되어 유기발광 표시장치의 신뢰성이 저하되는 것을 방지하기 위하여 상기 유기발광층 측으로 수분 또는 가스가 침투되는 것을 방지할 수 있는 화소 구조 및 이의 제조 방법이 연구되고 있다.
본 발명의 목적은 신뢰성이 향상된 유기발광 표시장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 상기한 유기발광 표시장치를 용이하게 제조할 수 있는 제조 방법을 제공하는 데 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유기발광 표시장치는, 다수의 화소영역들을 갖는 제 1 기판, 상기 제 1 기판 상부에 구비되는 구동 트랜지스터, 상기 구동 트랜지스터 상부에 구비되는 유기막을 포함한다.
또한, 상기 유기발광 표시장치는 상기 유기막의 상부에 구비되며 상기 구동 트랜지스터와 전기적으로 연결되는 제 1 전극, 상기 유기막의 상부에 구비되며 상기 화소영역들 각각에 대응하여 제 1 개구부가 형성된 절연막 패턴, 상기 절연막 패턴 상에 구비되어 상기 제 1 개구부와 대응하는 제 2 개구부가 형성된 뱅크 패턴, 상기 제 1 개구부 및 상기 제 2 개구부에 구비되는 유기발광층, 및 상기 유기발광층 상에 구비되는 제 2 전극을 포함한다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유기발광 표시장치의 제조 방법은 다음과 같다. 다수의 화소영역들을 갖는 제 1 기판을 준비하고, 상기 제 1 기 판 상부에 구동 트랜지스터를 형성하고, 상기 구동 트랜지스터의 상부에 유기막을 형성하고, 상기 화소영역들 각각에 제 1 전극을 상기 유기막의 상부에 형성한다.
상기 제 1 전극을 형성한 후에, 상기 제 1 전극 상부에 절연물질을 증착하고, 상기 절연물질 상부에 뱅크 물질을 증착하고, 상기 절연물질 및 상기 뱅크물질을 식각하여 제 1 개구부 및 제 2 개구부를 형성한다. 상기 제 1 개구부 및 상기 제 2 개구부에 유기발광층을 형성하고, 상기 유기발광층 상에 제 2 전극을 형성한다.
유기막 패턴 위에 유기막 패턴을 커버하는 절연막 패턴이 구비되어 유기막 패턴으로부터 발생될 수 있는 가스에 의해 유기 발광층의 발광 기능이 저하되는 것이 방지된다. 한편, 유기 발광층이 형성되는 영역을 정의하는 뱅크 패턴은, 뱅크막을 현상하여 예비 뱅크 패턴을 형성한 후, 예비 뱅크 패턴을 에치백하여 형성된다. 뱅크 패턴의 하부에 형성되는 절연막 패턴은 예비 뱅크 패턴을 마스크로 이용하여 패터닝된다. 따라서, 유기발광 표시장치를 제조할 때, 절연막 패턴을 형성하기 위한 포토리소그래피 공정을 생략할 수 있다.
이하 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 살펴보기로 한다. 상기한 본 발명의 목적, 특징 및 효과는 첨부된 도면과 관련된 실시예들을 통해서 용이하게 이해될 것이다. 다만 본 발명은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다양한 형태로 응용되어 변형될 수도 있다. 오히려 아래의 실시예들은 본 발명에 의해 개시된 기술 사상을 보다 명확히 하고 나아가 본 발명이 속하는 분야에서 평균적인 지식을 가진 당업자에게 본 발명의 기술 사상이 충분히 전달될 수 있도록 제공되는 것이다. 따라서 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 인해 한정되는 것으로 해석되어서는 안 될 것이다. 한편, 하기 실시예와 함께 제시된 도면은 명확한 설명을 위해서 다소 간략화되거나 과장된 것이며, 도면상에 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기발광 표시장치의 평면도이다.
도 1을 참조하면, 유기발광 표시장치(500)는 제 1 기판(200), 상기 제 1 기판(200)과 마주보는 제 2 기판(400), 및 상기 제 1 기판(200) 및 상기 제 2 기판(400) 사이에 개재되어 상기 제 1 기판(200) 및 상기 제 2 기판(400)을 결합시키는 결합부재(300)를 포함한다.
상기 제 1 기판(200)은 표시영역(DA) 및 상기 표시영역(DA)을 둘러싸는 결합영역(BA)을 갖는다. 상기 표시영역(DA)은 다수의 화소영역들로 이루어지고, 각 화소영역(도 2의 PA)에 화소(도 2의 PXL)가 구비된다. 상기 결합영역(BA)은 상기 제 1 기판(200) 및 상기 제 2 기판(400)이 결합하는 영역이고, 상기 결합영역(BA)에서 상기 제 1 기판(200) 및 상기 제 2 기판(400) 사이에 개재되는 상기 결합부재(300)에 의해 상기 제 1 기판(200) 및 상기 제 2 기판(400)이 결합된다.
또한, 상기 제 1 기판(200)은 게이트 본딩영역(GBA) 및 데이터 본딩영역(DBA)을 갖는다. 도 1에서는 도시되지 않았지만, 상기 유기발광 표시장치(500)는 상기 게이트 본딩영역(GBA)에서 상기 제 1 기판(200)과 전기적으로 연결되는 게이 트 구동부(미도시) 및 상기 데이터 본딩영역(DBA)에서 상기 제 1 기판(200)과 전기적으로 연결되는 데이터 구동부(미도시)를 더 포함할 수 있다. 상기 게이트 구동부 및 상기 데이터 구동부는 상기 제 1 기판(200) 측으로 상기 유기발광 표시장치(500)가 영상을 표시하는 데 사용되는 데이터를 제공한다.
도 2는 결합영역 및 표시영역에 대응하여 도 1에 도시된 유기발광 표시장치를 절취한 부분을 나타낸 단면도이다.
도 2를 참조하면, 제 1 기판(200)은 베이스기판(100), 스위칭 트랜지스터(TR1), 구동 트랜지스터(TR2), 제 1 전극(170) 및 유기발광층(EL)으로 이루어지는 화소(PXL), 유기막 패턴(140), 절연막 패턴(150), 뱅크 패턴(160), 및 제 2 전극(180)을 포함한다.
상기 스위칭 트랜지스터(TR1)는 상기 베이스기판(100)의 상부에 구비되고, 상기 스위칭 트랜지스터(TR1)는 제 1 게이트전극(GE1), 제 1 소오스전극(SE1), 제 1 드레인전극(DE1),및 제 1 액티브패턴(AP1)을 포함한다. 도 2에서는 구체적으로 도시되지 않았지만, 상기 베이스기판(100) 상에는 게이트신호를 전송하는 게이트라인(미도시)이 구비되고, 상기 제 1 게이트전극(GE1)은 상기 게이트라인으로부터 분기된다. 또한, 상기 게이트 라인의 상부에 상기 게이트 라인과 절연되어 데이터 신호를 전송하는 데이터 라인이 구비되고, 상기 제 1 소오스전극(SE1)은 상기 데이터 라인으로부터 분기된다.
상기 스위칭 트랜지스터(TR1)는 상기 게이트 라인으로부터 제공되는 게이트신호를 제공받아 턴-온 된다. 상기 스위칭 트랜지스터(TR1)가 턴-온 되면, 상기 데 이터 신호는 상기 제 1 소오스전극(SE1) 및 상기 제 1 액티브패턴(AP1)을 통해 상기 제 1 드레인전극(DE1) 측으로 전송된다.
상기 구동 트랜지스터(TR2)는 제 2 게이트 전극(GE2), 제 2 소오스 전극(SE2), 제 2 드레인 전극(DE2), 및 제 2 액티브 패턴(AP2)을 포함한다. 도 2에서는 구체적으로 도시되지 않았지만, 상기 베이스기판(100)의 상부에는 전원전압을 전송하는 전원공급 라인(미도시)이 구비되고, 상기 제 2 소오스전극(SE2)은 상기 전원공급 라인으로부터 분기된다.
상기 제 2 게이트 전극(GE2)은 제 1 연결전극(BE1)에 의해 상기 제 1 드레인전극(DE1)과 전기적으로 연결된다. 그 결과, 상기 스위칭 트랜지스터(TR1)가 턴-온 될 때, 상기 데이터신호는 상기 제 1 연결전극(BE1)을 통해 상기 제1 드레인전극(DE1)으로부터 상기 제 2 게이트전극(GE2) 측으로 전송되어 상기 구동 트랜지스터(TR2)를 턴-온 시킨다. 그 결과 상기 전원전압은 상기 제 2 소오스전극(SE2) 및 상기 제 2 액티브패턴(AP2)을 통해 상기 제 2 드레인전극(DE2) 측으로 전송된다.
제 1 콘택홀(CH1)에서 상기 제 2 드레인전극(DE2)은 제 2 연결전극(BE2)과 전기적으로 연결되고, 상기 제 2 연결전극(BE2)은 제 1 전극(170)과 전기적으로 연결되어 상기 제 2 드레인전극(DE2)은 상기 제 1 전극(170)과 전기적으로 연결된다. 한편, 본 발명의 제 1 실시예에서는, 상기 제 1 전극(170)은 상기 제 2 연결전극(BE2)에 의해 상기 제 2 드레인전극(DE2)과 전기적으로 연결된다. 하지만, 상기 제 1 콘택홀(CH1)에서 상기 제 1 전극(170)은, 상기 제 2 연결전극(BE2) 없이, 상기 제 2 드레인전극(DE2)과 직접적으로 전기적으로 연결될 수도 있다.
한편, 제 1 절연막(110)은 베이스 기판(100)의 상부에 구비되어 제 2 액티브패턴(AP2), 제 2 소오스전극(SE2), 및 제 2 드레인전극(DE2)을 커버한다. 제 2 절연막(120)은 상기 제 1 절연막(110)의 상부에 구비되어 제 1 게이트전극(GE1)을 커버한다. 제 3 절연막(130)은 상기 제 2 절연막(120)의 상부에 구비되어 제 1 소오스전극(SE1), 제 1 드레인전극(DE1), 및 제 2 게이트전극(GE2)을 커버한다.
상기 유기막 패턴(140)은 상기 스위칭 트랜지스터(TR1) 및 상기 구동 트랜지스터(TR2)의 상부에 구비되고, 상기 스위칭 트랜지스터(TR1) 및 상기 구동 트랜지스터(TR2)를 커버한다. 상기 유기막 패턴(140)은 감광성을 갖는 유기물질을 포함하고, 상기 유기막 패턴(140)은 영역에 따라 서로 다른 두께를 가질 수 있다. 보다 상세하게는, 상기 화소영역(PA)에서 상기 유기막 패턴(140)의 두께는 제 1 두께(T1)이고, 상기 결합영역(BA)에서 상기 유기막 패턴(140)의 두께는 상기 제 1 두께(T1) 보다 작은 제 2 두께(T2)이다.
상기 결합영역(BA)에서 상기 유기막 패턴(140)의 두께는 상기 화소영역(PA)에서 상기 유기막 패턴(140)의 두께보다 상기 제 1 두께(T1) 및 상기 제 2 두께(T2) 차이만큼 작다. 따라서, 상기 결합영역(BA)에서 상기 유기막 패턴(140)의 두께로 인하여 상기 유기발광 표시장치(500)의 셀 갭이 지나치게 증가하거나, 상기 유기발광 표시장치(500)의 셀 갭의 균일도가 저하되는 것이 방지된다.
상기 절연막 패턴(150)은 실리콘 질화물을 포함하고, 상기 절연막 패턴(150)에는 상기 화소영역(PA)에 대응하여 제 1 개구부(H1)가 형성된다. 또한, 상기 절연막 패턴(150)은 상기 유기막 패턴(140) 위에 구비되어 상기 유기막 패턴(140)을 커 버한다. 따라서, 상기 절연막 패턴(150)은 상기 유기막 패턴(140)으로부터 발생되어 상기 유기발광층(EL) 측으로 침투하는 가스를 차단할 수 있고, 그 결과 상기 절연막 패턴(150)은 상기 유기발광층(EL) 및 상기 가스가 상호 화학 반응하여 상기 유기발광층(EL)의 발광 기능이 저하되는 것을 방지한다.
상기 뱅크 패턴(160)은 상기 절연막 패턴(150) 위에 구비된다. 상기 뱅크 패턴(160)은 감광성을 갖는 유기물질을 포함할 수 있다. 상기 뱅크 패턴(160)에는 상기 제 1 개구부(H1)의 위치에 대응하여 제 2 개구부(H2)가 형성된다. 또한, 상기 결합영역(BA)에서 상기 뱅크 패턴(160)이 제거되어 제 3 개구부(H3)가 형성되고, 그 결과 상기 결합영역(BA)에서 결합부재(300)는 상기 절연막 패턴(150)과 접촉한다.
상기 화소(PXL)는 제 1 전극(170) 및 상기 제 1 전극(170) 상에 구비되는 유기발광층(EL)을 포함한다. 상기 제 1 전극(170)은 제 1 콘택홀(CH1)에서 상기 제 2 연결전극(BE2)과 전기적으로 연결된다. 따라서, 상기 구동 트랜지스터(TR2)가 턴-온 되면, 상기 전원전압은 상기 제 2 드레인전극(DE2) 및 상기 제 2 연결전극(BE2)을 통해 상기 제 1 전극(170) 측으로 전송된다. 상기 유기발광층(EL)은 상기 제 1 개구부(H1) 및 상기 제 2 개구부(H2) 내에 수용되어 상기 유기발광층(EL)의 하부는 상기 제 1 전극(170)과 접촉한다.
상기 제 2 전극(180)은 상기 유기발광층(EL) 및 상기 뱅크 패턴(160) 상에 구비되고, 그 결과 상기 제 1 전극(170) 및 상기 제 2 전극(180) 사이에 개재된 상기 유기발광층(EL)은 상기 제 1 전극(170) 및 상기 제 2 전극(180) 간의 전위차에 의해 발광한다.
한편, 본 발명의 제 1 실시예에서는, 상기 유기발광 표시장치(500)는 상부발광형(top-emission)으로 상기 유기발광층(EL)에서 발생된 광은 상기 제 2 기판(400)을 통해 외부로 출사된다. 따라서, 상기 제 2 전극(180)은, 인듐틴옥사이드 및 인듐징크옥사이드와 같은, 투명한 도전물을 포함하는 것이 바람직하고, 상기 제 1 전극(170)은, 알루미늄과 같은, 광을 반사시키는 금속을 포함하는 것이 바람직하다. 하지만, 상기 유기발광 표시장치(500)는 하부 발광형(bottom-emission)으로 상기 유기발광층(EL)에서 발생된 광은 상기 제 1 기판(200)을 통해 외부로 출사될 수도 있다. 상기 유기발광 표시장치(500)가 하부 발광형인 경우에, 상기 제 1 전극(170)은 투명한 도전물을 포함하고, 상기 제 2 전극(180)은 광을 반사시키는 금속을 포함하는 것이 바람직하다.
상기 제 2 기판(400)은 상기 제 1 기판(200)과 마주보도록 배열된다. 또한, 상기 제 2 기판(400)은 상기 결합영역(BA)에서 상기 제 1 기판(200) 및 상기 제 2 기판(400) 사이에 개재된 결합부재(300)에 의해 상기 제 1 기판(200)과 결합된다.
한편, 앞서 상술한 바와 같이, 상기 결합영역(BA)에서 상기 뱅크 패턴(160)에 상기 제 3 개구부(H3)가 형성되어 상기 결합부재(300)는 상기 결합영역(BA)에서 상기 절연막 패턴(150)과 접촉하고, 상기 절연막 패턴(150)은 실리콘질화물을 포함하고, 상기 뱅크 패턴(160)은 유기물을 포함한다. 상기 결합부재(300)가 고분자 물질을 포함하는 실런트인 경우에, 상기 결합부재(300) 및 상기 절연막 패턴(150) 간의 결합력은 상기 결합부재(300) 및 상기 뱅크 패턴(160) 간의 결합력보다 크다. 따라서, 상기 뱅크 패턴(160)에 상기 제 3 개구부(H3)를 형성하여 상기 결합부재(300)가 상기 절연막 패턴(150)과 결합하면, 외부로부터 상기 결합부재(300) 및 상기 절연막 패턴(150) 사이를 통해 상기 유기발광 표시장치(500) 측으로 유입되는 가스 및 수분을 보다 용이하게 차단할 수 있다.
한편, 데이터 본딩영역(DBA)에 대응하여 베이스기판(100)의 상부에 데이터 패드(DP)가 구비된다. 또한, 상기 데이터 패드(DP) 위에는 제 3 연결전극(BE3)이 구비되고, 상기 제 3 연결전극(BE3)은 제 2 콘택홀(CH2)에 의해 외부로 노출된다. 도 2에서는 도시되지 않았지만, 상기 제 2 콘택홀(CH2)을 통해 상기 제 3 연결전극(BE3)은 연성인쇄회로기판(미도시)의 패드와 전기적으로 연결될 수 있다.
도 3은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기발광 표시장치의 단면도이다. 도 3을 설명함에 있어서, 본 발명의 제 1 실시예의 설명에서 설명된 동일한 구성요소들에 대해서는 도면부호를 병기하고, 상기 구성요소들에 대한 중복된 설명은 생략한다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기발광 표시장치(도 2의 500)와 달리, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기발광 표시장치(501)는 결합영역(BA)에 대응하여 제거된 유기막 패턴(141)을 갖는다.
상기 결합영역(BA)에서 상기 유기막 패턴(141)이 모두 제거되면, 상기 결합영역(BA)에서 외부의 수분 또는 가스가 상기 유기막 패턴(141)을 통하여 상기 유기발광 표시장치(501) 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있고, 그 결과, 상기 수분 또는 상기 가스가 유기발광층(EL)과 화학반응하여 상기 유기발광층(EL)의 발광기능이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
도 4 내지 도 11들은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기발광 표시장치의 제조 방법을 나타내는 단면도들이다. 도 4 내지 도 11들을 설명함에 있어서, 도 1 및 도 2에서 설명된 동일한 구성요소들에 대해서는 도면부호를 병기하고, 상기 구성요소들에 대한 중복된 설명은 생략한다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 베이스 기판(100) 위에 구동 트랜지스터(TR2)를 형성하고, 상기 구동 트랜지스터(TR2)의 제 2 드레인 전극(DE2)과 전기적으로 연결되는 제 2 연결전극(BE2)을 형성한다.
상기 베이스 기판(100) 위에 상기 구동 트랜지스터(TR2) 및 상기 제 2 연결전극(BE2)을 형성한 후에, 상기 베이스기판(100)의 상부에 감광성을 갖는 유기막(142)을 형성한다. 상기 유기막(142)을 형성한 후에, 상기 유기막(142)을 제 1 슬릿마스크(320)를 이용하는 노광공정 및 현상공정을 거쳐 패터닝한다.
상기 제 1 슬릿마스크(320)는 차광부(321), 투광부(322), 및 반투광부(323)를 포함한다. 상기 차광부(321)는 광을 차단하고, 상기 투광부(322)는 광을 투과시킨다. 또한, 상기 반투광부(323)는 광을 투과시키지만, 상기 투광부(322) 보다 낮은 광투과율을 갖는다. 따라서, 상기 제 1 슬릿마스크(320)를 상기 유기막(142)의 상부에 배열하고, 상기 제 1 슬릿마스크(320)의 상부에서 상기 제 1 슬릿마스크(320)를 투과하여 상기 유기막(142) 측으로 진행하는 광을 조사한 후, 상기 유기막(142)을 현상하면, 영역별로 서로 다른 두께를 갖는 상기 유기막 패턴(140)이 형성된다.
상기 유기막 패턴(140)은 제 1 콘택홀(CH1)에서 모두 제거되어 제 2 연결전극(BE2)이 외부로 노출되고, 상기 유기막 패턴(140)은 제 2 콘택홀(CH2)에서 모두 제거되어 데이터 패드(DP)가 외부로 노출된다. 또한, 상기 유기막 패턴(140)은, 상기 제 1 콘택홀(CH1)이 형성된 영역을 제외한 표시영역(DA)에서 제 1 두께(T1)를 갖고, 상기 유기막 패턴(140)은 상기 결합영역(BA)에서 상기 제 1 두께(T1)보다 작은 제 2 두께(T2)를 갖는다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 유기막 패턴(140)을 형성한 후에, 제 2 콘택홀(CH2)에서 제 2 연결전극(BE2)과 전기적으로 연결되는 제 1 전극(170)을 형성한다. 상기 제 1 전극(170)을 형성한 후에, 유기막 패턴(140)의 상부에 상기 제 1 전극(170)을 커버하는 예비 절연막(151)을 형성한다.
상기 예비 절연막(151)은 절연물질(미도시)을 상기 제 1 전극(170)이 형성된 상기 제 1 베이스기판(100)에 증착시켜 형성될 수 있다. 상기 예비 절연막(151)을 형성한 후에, 상기 예비 절연막(151) 상에 예비 뱅크막(161)을 형성한다. 상기 예비 뱅크막(161)은 감광성을 갖는 뱅크 물질(미도시)을 상기 예비 절연막(151) 상에 증착시켜 형성될 수 있다. 상기 예비 뱅크막(161)은 상기 예비 절연막(151) 상에 제 3 두께(T3)로 형성된다.
상기 예비 뱅크막(161)을 형성한 후에, 상기 예비 뱅크막(161)을 제 2 슬릿마스크(330)를 이용하는 노광공정 및 현상공정을 거쳐 패터닝한다. 상기 제 2 슬릿마스크(330)는 차광부(331), 투광부(332), 및 반투광부(333)를 포함한다. 상기 차광부(331)는 제 1 콘택홀(CH1)이 형성되는 영역을 제외한 표시영역(DA) 및 제 2 콘 택홀(CH2)이 형성되는 영역을 제외한 데이터 본딩영역(DBA)에 대응하여 배열된다. 상기 투광부(332)는 상기 화소영역(PA) 및 데이터 패드(DP)가 외부로 노출되는 영역에 대응하여 배열된다. 상기 반투광부(333)는 상기 결합영역(BA)에 대응하여 배열된다.
상기 제 2 슬릿마스크(330)를 상기 예비 뱅크막(161) 상부에 배열하고, 상기 제 2 슬릿마스크(330)의 상부에서 상기 제 2 슬릿마스크(330)를 투과하여 상기 예비 뱅크막(161) 측으로 진행하는 광을 조사한다. 상기 예비 뱅크막(161)을 노광한 후, 상기 예비 뱅크막(161)을 현상하여 예비 뱅크 패턴(162)을 형성한다. 상기 예비 뱅크 패턴(162)은, 상기 화소 영역(PA)에 대응하는 제 2 개구부(H2)를 갖고, 제 2 콘택홀(CH2)의 위치에 대응하여 개구된다.
또한, 상기 예비 뱅크 패턴(162)은 영역별로 서로 다른 두께를 갖는다. 보다 상세하게는, 상기 예비 뱅크 패턴(162)은 상기 제 2 개구부(H2)가 형성된 영역을 제외한 표시영역(DA)에서 제 3 두께(T3)를 갖고, 상기 예비 뱅크 패턴(162)은 상기 결합영역(BA)에서 상기 제 3 두께(T3)보다 작은 제 4 두께(T4)를 갖는다.
도 8 및 도 9를 참조하면, 예비 뱅크 패턴(162)을 형성한 후에, 상기 예비 뱅크 패턴(162)을 마스크로 이용하여 예비 절연막(도 7의 151)을 패터닝하여 절연막 패턴(150)을 형성한다. 상기 절연막 패턴(150)에는 화소영역(PA)에 대응하여 제 1 개구부(H1)가 형성되어 제 1 전극(170)이 외부로 노출되고, 상기 절연막 패턴(150)은 제 2 콘택홀(CH2)에 대응하여 제거되어 데이터 패드(DP)가 외부로 노출된다.
상기 절연막 패턴(150)을 형성한 후에, 상기 예비 뱅크 패턴(162)을 제 4 두께(T4)만큼 제거하여 뱅크 패턴(160)을 형성한다. 그 결과, 상기 결합영역(BA)에서 상기 뱅크 패턴(160)은 모두 제거되어 상기 뱅크 패턴(160)에 제 3 개구부(H3)가 형성되고, 상기 뱅크 패턴(160)은 상기 제 3 두께(T3) 및 상기 제 4 두께(T4)의 차이에 해당하는 제 5 두께(T5)를 갖는다.
도 10 및 도 11을 참조하면, 제 1 개구부(H1) 및 제 2 개구부(H2)에 유기발광층을 채우고, 상기 유기발광층(EL) 및 상기 뱅크 패턴(160) 상에 제 2 전극(180)을 형성한다.
상기 제 2 전극(180)을 형성한 후에, 결합영역(BA)에 대응하여 상기 제 1 기판(200) 및 제 2 기판(400) 사이에 결합부재(300)를 형성한 후, 상기 결합부재(300)를 이용하여 상기 제 1 기판(200) 및 상기 제 2 기판(400)을 결합한다.
도 12는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기발광 표시장치의 제조 방법을 나타내는 단면도이다. 보다 상세하게는, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기발광 표시장치의 제조 방법과 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기발광 표시장치의 제조 방법을 비교했을 때, 도 5에서 나타내는 유기막 패턴의 제조 방법만 서로 상이하다. 따라서, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기발광 표시장치의 제조 방법을 설명함에 있어서, 유기막 패턴 외의 구성요소들에 대한 제조 방법은 생략된다.
도 4 및 도 12를 참조하면, 베이스기판(100)의 상부에 감광성을 갖는 유기막(142)을 전면적으로 형성한 후에, 상기 유기막(142)을 제 3 슬릿마스크(340)를 이용하는 노광공정 및 현상공정을 거쳐 패터닝한다.
상기 제 3 슬릿마스크(340)는 차광부(321), 투광부(322), 및 반투광부(323)를 포함한다. 상기 차광부(321)는 제 1 콘택홀(CH1)이 형성되는 영역을 제외한 표시영역(DA)에 대응하여 배열되고, 상기 투광부(322)는 상기 제 1 콘택홀(CH1)이 형성되는 영역, 상기 결합영역(BA), 및 데이터 패드(DP)가 외부로 노출되는 영역에 대응하여 배열된다. 또한, 상기 반투광부(323)는 상기 데이터 패드(DP)가 외부로 노출되는 영역을 제외한 상기 데이터본딩 영역(DBA)에 대응하여 배열된다.
상기 제 3 슬릿마스크(340)를 상기 유기막(142)의 상부에 배열하고, 상기 제 3 슬릿마스크(340)의 상부에서 상기 제 3 슬릿마스크(340)를 투과하여 상기 유기막(142) 측으로 진행하는 광을 조사한다. 상기 유기막(142)을 노광한 후, 상기 유기막(142)을 현상하여 영역별로 서로 다른 두께를 갖는 상기 유기막 패턴(141)이 형성된다.
상기 유기막 패턴(145)은 제 1 콘택홀(CH1)에서 모두 제거되어 제 2 연결전극(BE2)이 외부로 노출되고, 상기 유기막 패턴(141)은 제 2 콘택홀(CH2)에서 모두 제거되어 데이터 패드(DP)가 외부로 노출된다. 또한, 상기 유기막 패턴(141)은 결합영역(BA)에서 모두 제거된다.
상기 결합영역(BA)에서 상기 유기막 패턴(141)이 모두 제거되면, 상기 결합영역(BA)에 대응하여 위치한 상기 유기막 패턴(141)을 통하여 외부의 수분 또는 가스가 유기발광 표시장치 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있다.
이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구범위의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기발광 표시장치의 평면도이다.
도 2는 결합영역 및 표시영역에 대응하여 도 1에 도시된 유기발광 표시장치를 절취한 부분을 나타낸 단면도이다.
도 3은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기발광 표시장치의 단면도이다.
도 4 내지 도 11들은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기발광 표시장치의 제조 방법을 나타내는 단면도들이다.
도 12는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기발광 표시장치의 제조 방법을 나타내는 단면도이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
140 -- 유기막 패턴 150 -- 절연막 패턴
160 -- 뱅크 패턴 170 -- 제 1 전극
180 -- 제 2 전극 200 -- 제 1 기판
300 -- 결합부재 400 -- 제 2 기판
500 -- 유기발광 표시장치 EL -- 유기발광층
DA -- 표시영역 PA -- 화소영역
DBA -- 데이터 본딩영역 BA -- 결합영역
DP -- 데이터 패드
Claims (17)
- 다수의 화소영역들 및 상기 다수의 화소 영역들을 둘러싸는 결합영역을 갖는 제 1 기판;상기 제 1 기판 상부에 구비되는 구동 트랜지스터;상기 구동 트랜지스터 상부에 구비되고, 상기 결합영역에서 제거된 유기막;상기 유기막의 상부에 구비되며 상기 구동 트랜지스터와 전기적으로 연결되어 있는 제 1 전극;상기 유기막의 상부에 구비되며, 상기 화소영역들 각각에 대응하여 제 1 개구부가 형성된 절연막 패턴;상기 절연막 패턴 상에 구비되고, 상기 제 1 개구부와 대응하는 제 2 개구부가 형성된 뱅크 패턴;상기 제 1 개구부 및 상기 제 2 개구부에 구비되는 유기발광층; 및상기 유기발광층 상에 구비되는 제 2 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치.
- 제1항에 있어서, 상기 뱅크 패턴에는 상기 결합영역에 대응하는 제3 개구부가 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.
- 제2항에 있어서,상기 제1기판과 마주하는 제2 기판; 및상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 사이에 구비되어 상기 결합영역에 배치되고, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판을 결합시키는 결합부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.
- 제 3 항에 있어서, 상기 결합영역에서 상기 결합부재는 상기 제 3 개구부를 통해 상기 절연막 패턴과 접촉하는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치.
- 제 4 항에 있어서, 상기 절연막 패턴은 실리콘질화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 뱅크 패턴은 감광물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서, 상기 절연막 패턴은 상기 유기막으로부터 발생되어 상기 유기발광층 측으로 이동하는 가스를 차단하는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치.
- 다수의 화소영역들 및 상기 다수의 화소 영역들을 둘러싸는 결합영역을 갖는 제 1 기판을 준비하는 단계;상기 제 1 기판 상부에 구동 트랜지스터를 형성하는 단계;상기 구동 트랜지스터의 상부에 유기막을 형성하는 단계;상기 결합영역에서 상기 유기막을 제거하여 유기막 패턴을 형성하는 단계;상기 화소영역들 각각에 제 1 전극을 상기 유기막 패턴의 상부에 형성하는 단계;상기 제 1 전극 상부에 절연 물질을 증착하는 단계;상기 절연물질 상부에 뱅크 물질을 증착하는 단계;상기 절연 물질 및 상기 뱅크 물질을 식각하여 제 1 개구부 및 제 2 개구부를 형성하는 단계;상기 제1 개구부 및 상기 제2 개구부에 유기발광층을 형성하는 단계; 및상기 유기발광층 상에 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치의 제조 방법.
- 제 9 항에 있어서, 상기 제 1 개구부 및 제 2 개구부를 형성하는 단계는,상기 화소 영역들에 대응하는 상기 뱅크 물질을 식각하는 단계; 및상기 뱅크 물질을 마스크로 이용하여 상기 화소 영역들에 대응하는 상기 절연 물질을 식각하는 단계를 포함하고,상기 제 1 개구부 및 상기 제 2 개구부에 의해 상기 제 1 전극이 외부로 노출되는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치의 제조 방법.
- 제 10 항에 있어서,제 2 기판을 준비하는 단계;상기 결합영역에 대응하여 상기 제 1 기판 및 상기 제 2 기판 사이에 결합부재를 형성하여 상기 제 1 기판 및 상기 제2 기판을 결합하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치의 제조 방법.
- 제 11 항에 있어서, 상기 뱅크 물질을 식각하는 단계는,상기 뱅크 물질을 부분적으로 제거하여, 상기 화소영역들 경계에 대응하여 상기 뱅크 물질을 제 1 두께로 남기고, 상기 결합영역에 대응하여 상기 뱅크 물질을 상기 제 1 두께 보다 작은 제 2 두께로 남기고, 상기 화소영역들에 대응하여 상기 뱅크 물질을 모두 제거하는 단계; 및상기 화소영역들 경계에 남겨진 상기 뱅크 물질을 상기 제 1 두께와 상기 제 2 두께 차이만큼 제거하고, 상기 결합영역에 남겨진 상기 뱅크 물질을 상기 제 1 두께와 상기 제 2 두께 차이만큼 제거하여 상기 결합영역에 상기 뱅크 물질을 모두 제거하여 제 3 개구부를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치의 제조 방법.
- 제 12 항에 있어서, 상기 결합영역에서 상기 결합부재는 상기 제 3 개구부를 통해 상기 절연물질과 접촉하는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치의 제조 방법.
- 제 9 항에 있어서, 상기 절연물질은 실리콘질화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치의 제조 방법.
- 제 12 항에 있어서, 상기 뱅크물질은 감광성 물질을 포함하고, 상기 뱅크물질은 슬릿마스크 또는 하프톤 마스크를 이용하여 현상되어 상기 제 1 두께 및 상기 제 2 두께로 남겨지는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치의 제조 방법.
- 삭제
- 제 9 항에 있어서, 상기 절연물질은 상기 유기막으로부터 발생되어 상기 유기발광층 측으로 이동하는 가스를 차단하는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치의 제조 방법.
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