KR101557507B1

KR101557507B1 - 탑재대

Info

Publication number: KR101557507B1
Application number: KR1020090097783A
Authority: KR
Inventors: 에이이치 시노하라
Original assignee: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Priority date: 2008-10-15
Filing date: 2009-10-14
Publication date: 2015-10-06
Also published as: TWI487047B; KR20100042235A; CN101728298B; JP5356769B2; TW201030871A; JP2010098056A; CN101728298A

Abstract

고전압 및 고전류를 사용하는 전기적 특성 검사에 의해 탑 플레이트(탑재체)가 변색되어도, 탑재대의 탑재체만을 교환하고 다른 구성부품을 교환할 필요가 없어서, 교환 비용을 절감할 수 있는 탑재체를 제공한다.

본 발명의 탑재대(20)는, 타이코 웨이퍼(W)의 전기적 특성 검사를 실행하기 위해, 타이코 웨이퍼(W)를 그의 환상 돌기를 하측으로 하여 탑재하는 탑재대로서, 타이코 웨이퍼(W)의 탑재면을 갖는 탑재체(21)와, 탑재체(21)가 고정된 절연체(22)를 구비하며, 탑재체(21)는 타이코 웨이퍼(W)의 환상 돌기와 끼워 맞춤되는 동시에 타이코 웨이퍼(W)의 하면과 접촉하도록 형성된 탑재부(21A)와, 탑재부(21A)의 외측에 형성되는 동시에 환상 돌기와 접촉하는 환상 평면부(21B)를 가지며, 탑재체(21)가 환상 평면부(21B) 측으로부터 장착된 나사 부재(23)에 의해 절연체(22)에 탈착 가능하게 연결 및 고정되어 있다.

Description

탑재대{MOUNTING TABLE}

본 발명은 웨이퍼 등의 피검사체의 전기적 특성 검사를 실행할 때에 피검사체를 탑재하는 탑재대에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 예컨대 타이코 웨이퍼(Taiko wafer)와 같이 외주연부의 환상 돌기로 둘러싸인 오목함몰부를 갖는 피검사체에 사용되는 탑재대에 관한 것이다.

검사 장치는 일반적으로 피검사체(예컨대, 웨이퍼)를 반송하는 로더실과, 로더실로부터 반송된 웨이퍼의 전기적 특성 검사를 실행하는 프로버실을 구비하고 있다. 로더실은 웨이퍼를 탑재하는 이동 가능한 탑재대와, 탑재대의 상방에 배치된 프로브 카드와, 웨이퍼의 복수의 전극 패드와 프로브 카드의 복수의 프로브와의 얼라인먼트를 실행하는 얼라인먼트 기구를 구비하며, 얼라인먼트 후의 웨이퍼의 복수의 전극 패드와 복수의 프로브를 전기적으로 접촉시켜서, 테스터로부터의 검사용 신호에 근거하여 소정의 전기적 특성 검사를 실행한다.

탑재대는, 예컨대 도 7의 (a)에 도시하는 바와 같이, 웨이퍼(도시되지 않음)를 탑재하는 탑 플레이트(1)와, 탑 플레이트(1)와 일체화된 절연체(2)를 구비하며, 승강체(3)를 통해 XY 스테이지(도시되지 않음) 상에서 승강 가능하게 구성되어 있다. 탑 플레이트(1)의 상면에는 흡착 수단이 형성되며, 흡착 수단을 통해 웨이퍼가 탑 플레이트의 상면에 흡착 및 고정된다.

웨이퍼의 전기적 특성 검사를 실행하는 때에는, 웨이퍼가 흡착 수단을 통해 탑 플레이트(1)의 상면에 흡착 및 고정된 후, 탑재대가 XY 스테이지를 거쳐서 수평 방향으로 이동하는 동시에 탑 플레이트(1)가 승강체를 통해 승강하며, 웨이퍼의 복수의 전극 패드와 프로브 카드의 복수의 프로브가 전기적으로 접촉하여, 소정의 전기적 특성 검사가 실행된다.

그리고, 탑 플레이트(1)는, 도 7의 (b)에 도시하는 바와 같이, 예컨대 산화알루미늄 등의 세라믹스 소결체(1A)와, 이 세라믹스 소결체(1A)의 상면에 형성된 금 등의 도전성 금속으로 구성되는 도체 피막(1B)을 구비하고 있다. 도체 피막(1B)은, 예컨대 이온 플레이팅(ion plating) 등에 의해 전극으로서 형성되어 있다. 전극(1B)은 테스터 측에 접속되며, 테스터 측으로부터 소정의 검사용 신호가 인가된다. 또한, 절연체(2)는 지르콘 코디어라이트(zirconcordierite) 등의 세라믹 소결체에 의해 형성되어 있다.

종래의 도 7에 도시하는 탑재대는, 상술한 바와 같이 탑 플레이트(1)의 세라믹 소결체(1A)의 상면에 이온 플레이팅에 의해 전극(1B)이 형성되어 있기 때문에, 차량 탑재용 파워 디바이스 등과 같이 고전압 및 고전류를 인가하여 전기적 특성 검사를 실행하면, 웨이퍼의 하면에 덧붙여진 은(Ag) 등의 금속 피막의 금속 성분이 탑 플레이트(1)의 전극(1B)으로 이동하여 전극(1B)이 변색되고, 그 표면 저항이 높아지며, 검사의 신뢰성을 저하시키는 문제가 있었다. 그 때문에, 종래는 탑 플레 이트(1)가 변색되면, 탑재대를 새로운 것으로 교환하고 있다.

또한, 웨이퍼에 관하여 말하면, 최근의 웨이퍼는 극단적으로 얇아져서 그 반송이 어렵기 때문에, 웨이퍼 하면의 외주연부 전체에 걸쳐서 환상 돌기를 형성하고, 웨이퍼의 변형을 방지한 타이코 웨이퍼가 사용되고 있다. 이 타이코 웨이퍼의 경우에도 다른 웨이퍼의 경우와 동일하게 탑재대의 탑 플레이트(1)의 전극(1B)이 금속 성분에 의해 변색되는 문제가 있었다.

또한, 이러한 종류의 탑재대가 예컨대 특허문헌 1 및 2에 기재되어 있다. 특허문헌 1의 탑재대는 탑 플레이트가 석영, 폴리테트라플루오로에틸렌 등의 절연재에 의해 형성되고, 그 상면에 금 증착 등에 의해 형성된 도전체 층이 형성되며, 그 하면에 쉴드(shield) 부재가 배치되어 있다. 특허문헌 2에는 절연 재료로 이루어진 탑 플레이트의 상면에만 도체 피막이 형성된 탑재대가 기재되어 있다.

특허문헌 1 : 일본 특허 공개 제 1988-138745 호

특허문헌 2 : 일본 특허 공개 제 1987-291937 호

그러나, 종래의 탑재대의 경우에는 고전압 및 고전류를 사용하는 전기적 특성 검사를 반복하면, 웨이퍼로부터 탑 플레이트(1)로의 금속 성분의 이동에 의해 탑 플레이트(1)의 표면이 변색되고, 표면 저항이 높아지면 탑 플레이트(1) 이외의 본래 교환하지 않아도 되는 양호한 탑재대의 구성부품도 교환하기 때문에, 교환 비용이 높아지는 문제가 있었다.

본 발명은 상기의 문제를 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 고전압 및 고전류를 사용하는 전기적 특성 검사에 의해 탑 플레이트(탑재체)가 변색되어 오염되어도 탑재대의 탑재체만을 교환하며, 다른 구성부품을 교환할 필요가 없으므로, 교환 비용을 절감할 수 있는 탑재대를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 청구항 1에 기재된 탑재대는, 하면의 외주연부 전체 둘레에 걸쳐서 형성된 환상 돌기로 둘러싸이는 오목함몰부를 갖는 피검사체의 전기적 특성 검사를 실행하기 위해 상기 피검사체를 탑재하는 탑재대로서, 상기 피검사체의 탑재면을 갖는 탑재체와, 상기 탑재체가 착탈 가능하게 고정된 절연체를 구비하고, 상기 탑재체는, 상기 피검사체의 오목함몰부와 끼워 맞춤되고 또한 상기 탑재면이 상기 피검사체의 하면과 접촉하도록 형성된 탑재부와, 상기 탑재부의 외측에 형성되고 또한 상기 환상 돌기를 수납하는 환상 평면부를 가지며, 체결 부재를 사용하여 상기 탑재체가 상기 환상 평면부에서 상기 절연체에 고정되는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명의 청구항 2에 기재된 탑재대는, 청구항 1에 기재된 발명에 있어서, 크기가 상이한 복수의 상기 피검사체의 오목함몰부에 알맞은 탑재부를 갖는 탑재체를 복수 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명의 청구항 3에 기재된 탑재대는, 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 발명에 있어서, 상기 탑재체는 상기 탑재면에 도체 피막이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명의 청구항 4에 기재된 탑재대는, 청구항 3에 기재된 발명에 있어서, 상기 탑재체는 상기 도체 피막이 오염된 때에 교환되는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명에 의하면, 고전압 및 고전류를 사용하는 전기적 특성 검사에 의해 탑 플레이트(탑재체)가 변색되어 오염되어도 탑재대의 탑재체만을 교환하며, 다른 구성부품을 교환할 필요가 없어서, 교환 비용을 절감하는 것이 가능한 탑재대를 제공할 수 있다.

이하, 도 1 내지 도 6에 도시하는 실시형태에 근거하여 본 발명을 설명한다. 또한, 각 도면 중, 도 1은 본 발명의 탑재대의 일 실시형태를 적용한 검사 장치의 일 예를 부분적으로 파단하여 도시하는 정면도이며, 도 2는 도 1에 도시하는 탑재대를 취출하여 도시하는 단면도이며, 도 3은 도 2에 도시하는 탑재대를 분해하여 도시하는 사시도이며, 도 4는 본 발명의 탑재대의 다른 실시형태를 도시하는 단면도이며, 도 5는 도 4에 도시하는 탑재대를 분해하여 도시하는 사시도이며, 도 6의 (a) 및 (b)는 각각 크기가 상이한 웨이퍼에 적합한 탑재체의 일부를 파단하여 도시하는 측면도이다.

제 1 실시형태

우선, 본 실시형태의 탑재대를 구비한 검사 장치에 대하여 도 1 내지 도 3을 참조하면서 설명한다. 검사 장치는, 예컨대 도 1에 도시하는 바와 같이, 피검사체 예컨대 타이코 웨이퍼(W)의 전기적 특성 검사를 실행하는 프로버실(10)과, 프로버실(10)에 타이코 웨이퍼(Taiko wafer)(W)를 반송하는 로더실(도시되지 않음)을 구비하고 있다. 본 실시형태에서 사용되는 타이코 웨이퍼(W)에는 예컨대 복수의 파워 디바이스가 형성되어 있다. 이 타이코 웨이퍼는 하면의 외주연부 전체 둘레에 걸쳐서 형성된 환상 돌기로 둘러싸인 오목함몰부를 가지며, 매우 얇게 형성되어 있는 본체부의 굽힘을 방지하여 취급이 용이한 구조로 되어 있다.

프로버실(10)은, 도 1에 도시하는 바와 같이, 타이코 웨이퍼(W)를 탑재하는 탑재대(20)와, 탑재대(20)를 X 및 Y 방향으로 이동시키는 XY 테이블(30)과, 탑재대(20)의 상방에 배치된 프로브 카드(40)와, 프로브 카드(40)의 복수의 프로브(41)와 탑재대(20) 상의 타이코 웨이퍼(W)의 복수의 전극 패드(도시되지 않음)와의 얼라인먼트를 실행하는 얼라인먼트 기구(도시되지 않음)와, 프로브 카드(40)의 상면의 복수의 단자 전극과 전기적으로 접속된 테스트 헤드(50)를 구비하며, 얼라인먼트 기구에 의해 탑재대(20) 상의 타이코 웨이퍼(W)의 복수의 전극 패드와 프로브 카드(40)의 복수의 프로브(41)와의 얼라인먼트를 실행한 후, 복수의 프로브(41)와 복수의 전극 패드를 전기적으로 접속시켜서 타이코 웨이퍼(W)에 형성된 파워 디바이스에 고전압 및 고전류를 인가하여 전기적 특성 검사를 실행한다. 탑재대(20)는 도 1에 도시하는 바와 같이 XY 테이블(30)에 마련된 승강체(20A)에 의해 승강하도록 되어 있다.

또한, 탑재대(20)는 도 1에 도시하는 바와 같이 테스트 헤드(50)에 동축 케이블(51)의 중심 도체를 거쳐서 전기적으로 접속되어 있다. 그리고, 검사 시에 프로브(41)로부터 반도체 웨이퍼(W)의 전극 패드에 검사용 신호를 인가하는 동시에 테스트 헤드(50)로부터 탑재대(20)의 탑재체에 검사용 신호를 인가하고, C-V법 등에 의해 반도체 웨이퍼(W)의 소정의 용량 측정 등을 실행한다.

그리고, 본 실시형태의 탑재대(20)는, 도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 타이코 웨이퍼(W)를 탑재하는 탑재체(종래의 탑 플레이트에 해당함)(21)와, 탑재체(21)가 착탈 가능하게 설치된 절연체(22)를 구비하며, 탑재체(21)가 복수(예컨대 4개)의 체결 부재(예컨대 나사 부재)(23)를 통해 절연체(22)에 대하여 체결 및 고정되어 있다. 도 2에 도시하는 바와 같이 탑재체(21)와 절연체(22)의 사이에는 절연 링(24)이 개재되고, 탑재체(21)와 절연체(22)는 절연 링(24)이 개재된 상태로 4개의 나사 부재(23)에 의해 체결되어 있다.

탑재체(21)에 대하여 더 설명하면, 탑재체(21)의 상면에는 도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이 타이코 웨이퍼(W)의 오목함몰부와 끼워 맞춤되는 탑재부(21A)가 융기하여 형성되며, 탑재체(21)의 상면의 탑재부(21A)의 외측에는 타이코 웨이퍼(W)의 환상 돌기가 접촉하는 환상 평면부(21B)로서 형성되어 있다. 이 환상 평면부(21B)는 환상 돌기의 폭과 실질적으로 동일한 폭으로 형성되어 있다. 그 때문에, 탑재체(21)의 상면에 타이코 웨이퍼(W)를 탑재하면, 탑재부(21A)가 타이코 웨이퍼(W)의 오목함몰부에 끼워 맞춤되어 타이코 웨이퍼(W)의 하면이 탑재부(21A)의 탑재면에 접촉하는 동시에 환상 돌기의 하면이 환상 평면부(21B)와 전 영역에서 접촉한다. 또한, 도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이 탑재체(21)의 환상 평면부(21B)에는 예컨대 4개의 나사 부재(23)의 헤드부가 끼워 넣어지는 절결부(21C)가 둘레 방향으로 등간격을 이격하여 형성되며, 각각의 절결부(21C)의 바닥면에는 나사 부재(23)가 관통하는 구멍이 형성되어 있다. 또한, 타이코 웨이퍼(W)의 환상 돌기는 탑재체(21)의 환상 평면부(21B)와 접촉하지 않는 구조인 것이 좋다.

또한, 도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이 탑재체(21)의 탑재면에는 방사상으로 분포하는 복수의 흡인 구멍(21D)이 형성되며(도 2에서는 그의 일부만이 표시됨), 이들 흡인 구멍(21D)은 도 2에 도시하는 바와 같이 탑재체(21)의 하면에 소정의 패턴으로 형성된 얕은 홈(21E)에 통하고 있다. 이들 홈(21E)은 서로 연통되어 있는 동시에 탑재체(21)의 하면에 접합된 커버(25)에 의해 밀봉되어 있다. 이 커버(25)는 도 2에 도시하는 바와 같이 체결 부재(예컨대 나사 부재)(26)에 의해 탑재체(21)의 하면에 접합된다. 그리고, 홈(21E)과 커버(25)에 의해 형성된 공간에는 배기 장치(도시되지 않음)가 접속되어 있고, 배기 장치가 공간 내를 배기하도록 되어 있다. 따라서, 탑재체(21) 상에 타이코 웨이퍼(W)를 탑재하고, 배기 장치로 흡인 구멍(21D) 및 공간 내의 공기를 배기하면, 타이코 웨이퍼(W)가 탑재부(21A)에 흡착 및 고정된다.

절연체(22)의 외주연부 전체 둘레에는 상방으로 돌출하는 환상 돌기(22A)가 형성되고, 이 환상 돌기(22A)의 상면에는 탑재체(21)의 4개소의 관통 구멍에 대응하는 나사 구멍(22B)이 형성되어 있다. 이 환상 돌기(22A)와 탑재체(21)의 외주연부의 하면의 사이에 절연 링(24)이 배치되고, 이 절연 링(24)에도 탑재체(21)의 4개소의 관통 구멍에 대응하는 관통 구멍이 형성되어 있다. 절연체(22)는 예컨대 종래와 동일하게 지르콘 코디어라이트 등의 세라믹 소결체로 이루어지는 절연 재료에 의해 형성되어 있다.

따라서, 탑재체(21)를 절연체(22) 상에 설치할 때에는, 우선 탑재체(21)의 하면에 나사 부재(26)를 통해 커버(25)를 접합하여 홈(21E)을 밀봉한다. 다음으로, 절연체(22)의 환상 돌기(22A)의 나사 구멍(22B)에 절연 링(24)의 관통 구멍을 맞춰서 배치하고, 절연 링(24)의 관통 구멍에 탑재체(21)의 절결부(21C)의 관통 구멍을 맞춰서 탑재체(21)를 탑재한다. 그 후에, 나사 부재(23)를 사용하여 탑재체(21) 및 절연 링(24)을 절연체(22)에 체결 및 고정함으로써 탑재대(20)로서 형성될 수 있다.

다음으로, 동작에 대하여 설명한다. 프로버실(10) 내에서 탑재대(20)가 로더실로부터 프리얼라인먼트된 타이코 웨이퍼(W)를 수취하면, 타이코 웨이퍼(W)의 오목함몰부와 탑재체(21)의 탑재부(21A)가 끼워 맞춤된다. 이때, 타이코 웨이퍼(W)의 하면이 탑재부(21A)의 탑재면과 접촉하는 동시에 타이코 웨이퍼(W)의 환상 돌기가 환상 평면(21B)의 전체 영역과 접촉한다. 이 상태에서 배기 장치가 구동하여 타이코 웨이퍼(W)를 탑재부(21A)의 탑재면에 흡착 고정한다. 다음으로, XY 테이블(30)이 작동하여 탑재대(20)가 X 방향 및 Y 방향으로 이동하고, 얼라인먼트 기구를 통해 타이코 웨이퍼(W)와 프로브 카드(40)의 프로브(41)와의 얼라인먼트를 실행한다.

그런 후에, 탑재대(20)가 프로브(41)의 바로 아래로 이동하고, 승강체(20A)를 통해 탑재대(20)가 상승하고, 타이코 웨이퍼(W)의 복수의 전극 패드와 복수의 프로브(41)가 접촉하며, 또한 탑재체(21)가 오버드라이브(overdrive)되어 타이코 웨이퍼(W)의 전극 패드와 프로브(41)가 전기적으로 접촉한다. 이 상태에서 테스트 헤드(50)로부터 프로브(41)를 거쳐서 타이코 웨이퍼(W)에 고전압(예컨대 5㎸) 및 고전류(예컨대 100A)의 고주파 신호를 인가하는 동시에 탑재체(21)에 검사용 신호를 인가하여, 파워 디바이스에 대하여 소정의 전기적 특성 검사를 실행한다.

타이코 웨이퍼(W)의 모든 파워 디바이스에 대하여 소정의 검사를 종료한 후, 탑재대(20)는 로더실 측으로 이동하고, 검사 완료의 타이코 웨이퍼를 로더실로 인도하는 동시에 다음 타이코 웨이퍼를 수취하여 상술한 검사를 반복한다. 검사를 반복하고 있으면, 타이코 웨이퍼(W) 하면의 금속(예컨대 은(Ag)) 피막으로부터 은(Ag)이 탑재체(21)의 도체 피막으로 이동하여 도체 피막이 금속에 의해 변색되고, 도체 피막의 표면 저항이 높아지며, 검사의 신뢰성을 저하시킬 우려가 있다. 이 경우, 본 실시형태에서는 조작자(operator)가 탑재체(21)만을 간단하게 교환할 수 있다. 즉, 탑재대(20)의 4개의 나사 부재(23)를 떼어냄으로써 탑재체(21)를 절연체(22)로부터 분리하여 분해할 수 있다. 다음으로, 새로운 탑재체(21)를 절연 링(24)을 거쳐서 나사 부재(23)에 의해 간단하게 절연체(22)에 체결하여 고정할 수 있다.

이상 설명한 바와 같은 본 실시형태에 의하면, 타이코 웨이퍼(W)의 탑재면을 갖는 탑재체(21)와, 탑재체(21)가 고정된 절연체(22)를 구비하며, 탑재체(21)는 타이코 웨이퍼(W)의 오목함몰부와 끼워 맞춤되는 동시에 타이코 웨이퍼(W)의 하면과 접촉하도록 형성된 탑재부(21A)와, 탑재부(21A)의 외측에 형성되는 동시에 타이코 웨이퍼(W)의 환상 돌기를 수납하는 환상 평면부(21B)를 가지며, 나사 부재(23)를 사용하여 탑재체(21)가 환상 평면부(21B)에서 절연체에 고정되어 있기 때문에, 파워 디바이스에 고전압 및 고전류를 인가하여 전기적 특성 검사를 반복하여 실행하여, 탑재체(21)의 도체 피막이 타이코 웨이퍼(W)의 금속 성분에 의해 변색되고 표면 저항이 높아져도, 나사 부재(23)를 거쳐서 탑재체(21)만을 간단하게 교환할 수 있고, 절연체(22) 및 절연 링(24)을 계속하여 사용할 수 있어서, 탑재대(20)의 교환 비용을 절감할 수 있다.

제 2 실시형태

본 실시형태의 탑재대(20')는, 기본적으로는 타이코 웨이퍼(W)의 흡착 수단이 상이한 점 이외에는 제 1 실시형태에 준하여 구성되어 있다. 본 실시형태에서도 제 1 실시형태와 동일 또는 그에 상당하는 부분에는 동일 부호를 붙여서 설명한다.

즉, 본 실시형태의 탑재대(20')는 도 4 및 도 5에 도시하는 바와 같이 탑재체(21) 및 절연체(22)를 구비하고 있다. 탑재체(21)의 상면에는 제 1 실시형태와 동일하게 탑재부(21A) 및 환상 평면부(21B)가 형성되어 있다. 본 실시형태에서는 제 1 실시형태와 같은 커버(25)가 필요하지 않으며, 커버(25)로부터 절연체(22) 측으로 돌출하는 나사 부재(26)용의 공간을 생략할 수 있으므로, 절연 링(24)을 마련하지 않아도 좋다.

그리고, 본 실시형태의 타이코 웨이퍼(W)의 흡착 수단은, 탑재부(21A)의 탑재면에 형성된 복수의 환상 홈(21F)에 의해 타이코 웨이퍼(W)를 흡착하는 구조로 되어 있다. 즉, 복수의 환상 홈(21F)은 각각 도 4 및 도 5에 도시하는 바와 같이 탑재부(21A)의 탑재면의 중심을 둘러싸는 동심원 형상으로 형성되어 있다. 이들 환상 홈(21F)에는 탑재부(21A)의 표층부에 있는 유로(도시되지 않음)로부터 흡인 구멍(21D)이 각각 1개씩 개구되도록 형성되어 있다. 이들 흡인 구멍(21D)은 도 5에 도시하는 바와 같이 직경 방향으로 일직선상에 배치되고, 각각 서로 탑재부(21A)의 표층부의 유로를 통해 연통되어 있다. 직경 방향 외측의 흡인 구멍(21D)에는 탑재부(21A)의 내부에 배치된 흡인부(21G)가 연통되고, 흡인부(21G)에 접속된 배기 장치(도시되지 않음)를 통해 복수의 환상 홈(21F)으로부터 공기를 배기함으로써 타이코 웨이퍼를 탑재부(21A)에 흡착 및 고정하도록 되어 있다.

이상 설명한 바와 같은 본 실시형태에 의하면, 타이코 웨이퍼(W)의 흡착 수단을 간소화할 수 있는 것 외에, 본 실시형태에서도 제 1 실시형태와 동일한 작용 효과를 기대할 수 있다.

제 3 실시형태

본 실시형태의 탑재대(20")는 크기가 다른 타이코 웨이퍼(W)에 대응하는 탑 재체를 구비하고 있는 점 이외에는 제 1 및 제 2 실시형태에 준하여 구성되어 있다. 본 실시형태에서도 제 1 실시형태와 동일 또는 그에 상당하는 부분에는 동일 부호를 붙여서 설명한다.

본 실시형태의 탑재대(20")는 도 6의 (a) 및 (b)에 도시하는 바와 같이 타이코 웨이퍼(W)의 크기에 알맞은 탑재체(21)를 구비하고 있다. 도 6의 (a)에 도시하는 탑재체(21)는 예컨대 200㎜ 직경의 타이코 웨이퍼(W)에 사용되는 것으로서, 제 1 및 제 2 실시형태의 탑재대(20, 20') 각각의 탑재체(21)와 동일한 구조를 구비하고 있으므로, 그에 대한 설명을 생략한다.

도 6의 (b)에 도시하는 탑재체(21)는 150㎜ 직경의 웨이퍼(W)에 사용되는 것이다. 이 탑재체(21)의 외경은 도 6의 (a)에 도시하는 탑재체(21)의 외경과 동일한 크기로 형성되며, 그 탑재부(21A)가 150㎜ 직경의 웨이퍼와 끼워 맞춤되는 외경으로 형성되어 있다. 그 때문에, 탑재부(21A)를 둘러싸는 환상 평면부(21B)가 도 6의 (a)에 도시하는 것보다도 넓은 폭으로 형성되어 있다. 그리고, 환상 평면부(21B)의 외주연부를 따라서 4개의 나사 부재를 설치하는 절결부(21C)가 둘레 방향으로 등간격을 이격하여 형성되어 있다. 탑재부(21A)의 외경은 타이코 웨이퍼(W)의 크기에 대응하여 복수로 준비되어 있다.

따라서, 타이코 웨이퍼(W)의 크기가 200㎜로부터 150㎜로 바뀌는 경우에는 도 6의 (a)에 도시하는 탑재체(21)를 도 6의 (b)에 도시하는 탑재체(21)로 교환하는 것만으로 타이코 웨이퍼(W)의 사이즈 변경에 대응할 수 있다. 이와 같이 본 실시형태의 탑재대(20")는 복수 종류의 타이코 웨이퍼(W)의 사이즈에 알맞은 탑재 체(21)를 준비하고 있으므로, 하나의 탑재대(20)가 사이즈가 다른 복수의 타이코 웨이퍼(W)에 대응할 수 있다.

또한, 본 발명은 상기의 실시형태에 하등의 제한됨 없이, 필요에 따라 적절히 설계 변경할 수 있다.

본 발명은 하면의 외주연부 전체 둘레에 걸쳐서 형성된 환상 돌기로 둘러싸인 오목함몰부를 갖는 피검사체의 전기적 특성 검사에 사용되는 검사 장치에 바람직하게 이용할 수 있다.

도 1은 본 발명의 탑재대의 일 실시형태를 적용한 검사 장치의 일 예를 부분적으로 파단하여 도시하는 정면도,

도 2는 도 1에 도시하는 탑재대를 취출하여 도시하는 단면도,

도 3은 도 2에 도시하는 탑재대를 분해하여 도시하는 사시도,

도 4는 본 발명의 탑재대의 다른 실시형태를 도시하는 단면도,

도 5는 도 4에 도시하는 탑재대를 분해하여 도시하는 사시도,

도 6의 (a) 및 (b)는 각각 크기가 상이한 타이코 웨이퍼에 적합한 탑재체의 일부를 파단하여 도시하는 측면도,

도 7의 (a) 및 (b)는 각각 종래의 탑재대의 일 예를 도시하는 도면으로서, (a)는 그 측면도이며, (b)는 (a)에 도시하는 탑재대의 탑재체의 단면의 일부를 확대하여 도시하는 단면도.

※도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※

20 : 탑재대 21 : 탑재체

21A : 탑재부 21B : 환상 평면부

22 : 절연체 23 : 나사 부재(체결 부재)

W : 타이코 웨이퍼(피검사체)

Claims

하면의 외주연부 전체 둘레에 걸쳐서 형성된 환상 돌기로 둘러싸이는 오목함몰부를 갖는 피검사체의 전기적 특성 검사를 실행하기 위해 상기 피검사체를 탑재하는 탑재대에 있어서,

상기 피검사체의 탑재면을 갖는 탑재체와,

상기 탑재체가 착탈 가능하게 고정된 절연체를 구비하고,

상기 탑재체는, 상기 피검사체의 오목함몰부와 끼워 맞춤되고 또한 상기 탑재면이 상기 피검사체의 하면과 접촉하도록 형성된 탑재부와, 상기 탑재부의 외측에 형성되고 또한 상기 환상 돌기를 수납하는 환상 평면부를 가지며, 체결 부재를 사용하여 상기 탑재체가 상기 환상 평면부의 하면에서 상기 절연체에 고정되는 것을 특징으로 하는

탑재대.
제 1 항에 있어서,

크기가 상이한 복수의 상기 피검사체의 오목함몰부에 알맞은 탑재부를 갖는 탑재체를 복수 구비하고 있는 것을 특징으로 하는

탑재대.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 탑재체는 상기 탑재면에 도체 피막이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는

탑재대.
제 3 항에 있어서,

상기 탑재체는 상기 도체 피막이 오염된 때에 교환되는 것을 특징으로 하는

탑재대.