KR101548375B1 - Substrate moving apparatus of chemical treatment - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a substrate transfer apparatus for a chemical treatment transferring a substrate inside a chemical tank. The substrate transfer apparatus comprises: a first sprocket member connected to a driving motor to be rotated; a second sprocket member spaced from the first sprocket member, capable of rotating; a chain member of which both ends are respectively wound by the first sprocket member and the second sprocket member; and a plurality of substrate holder members installed in the chain member to be moved in a caterpillar track wherein the substrate is inserted to fixate the substrate holder members. The present invention continuously transfers the substrates in the caterpillar track to reduce time consumed to chemically treat the substrate to improve productivity, and efficiently transfers the substrate with a simple structure to significantly reduce installation costs and maintenance costs.

Description

약품 처리용 기판 이송 장치{SUBSTRATE MOVING APPARATUS OF CHEMICAL TREATMENT}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a substrate transfer apparatus for chemical processing,

본 발명은 약품 처리용 기판 이송 장치에 관한 것으로 더 상세하게는 리드 프레임 또는 PCB 등의 기판을 연속적으로 약품 처리할 수 있는 약품 처리용 기판 이송 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a substrate transfer apparatus for chemical processing, and more particularly, to a substrate transfer apparatus for chemical processing capable of successively chemical processing a substrate such as a lead frame or a PCB.

일반적으로 반도체 기판, 리드 프레임, PCB 등의 기판의 표면을 도금, 세척, 불순물 제거 등의 이유로 약품 처리를 하고 있다.Generally, the surface of a substrate such as a semiconductor substrate, a lead frame, and a PCB is subjected to a chemical treatment for plating, washing, and removal of impurities.

약품 처리를 위해 기판을 약품조 내에서 이송시키는 종래기술로는 국내특허공개 제2011-0045929호 '이송대상체 적재용 트레이 및 이를 이용한 이송유닛'(2011.05.04 공개)이 개시되었다. As a conventional technique for transferring a substrate in a chemical tank for chemical treatment, Korean Patent Laid-Open Publication No. 2011-0045929 entitled " Tray for loading a conveying object and a conveying unit using the same "

도1은 상기 국내특허공개 제2011-0045929호 '이송대상체 적재용 트레이 및 이를 이용한 이송유닛'(2011.05.04 공개)을 도시한 도면으로서, FIG. 1 is a view showing the tray for loading a conveying object and the conveying unit using the same, which is disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 2011-0045929 (published May 4, 2011)

종(縱)방으로 복수의 장착부(11)를 갖고 횡(橫)방으로 상호 이격 배열된 두 지지체(10); 샤프트(21), 그리고 상기 샤프트(21) 양단부(兩端部)에 각각 결합되는 두 지지이송롤러(22)를 포함하고, 상기 샤프트(21)가 상기 두 지지체(10)에서 횡방의 동일 직선상에 위치한 양 장착부(11)들에 회전 가능하게 장착되되 상기 두 지지이송롤러(22)가 상기 두 지지체(10) 내측에 위치하게 되는 복수의 회전이송체(20); 상기 각 회전이송체(20)의 두 지지이송롤러(22)에 양단부가 지지되게 얹히는 이송대상체(1) 적재용 트레이(30); 및 상기 회전이송체(20)의 각 샤프트(21)를 회전시켜 상기 트레이(30)를 이송시키기 위한 구동수단(40);을 포함하여 이루어지되, 상기 트레이(30)는 사각 프레임(31), 그리고 상기 사각 프레임(31) 내에 종 또는 횡 방향으로 일정 간격을 두고 배열되거나, 격자(格子) 형태로 배열되는 다수의 와이어(322)를 갖는 서포트(32)로 이루어진 것을 특징으로 한다. Two supports 10 having a plurality of mounting portions 11 in a longitudinal direction and spaced apart from each other in a transverse direction; A shaft 21 and two support conveying rollers 22 that are respectively coupled to both ends of the shaft 21. The shaft 21 is supported by the two supports 10 in the same straight line A plurality of rotary transfer members 20 rotatably mounted on both mounting portions 11 located on the two supporting members 10 and positioned such that the two supporting conveying rollers 22 are positioned inside the two supporting members 10; A loading tray (30) for loading the conveying object (1) placed on both the support conveying rollers (22) of the conveying body (20) so that both ends thereof are supported; And driving means 40 for rotating the respective shafts 21 of the rotary transfer body 20 to transfer the trays 30. The tray 30 includes a rectangular frame 31, And a support 32 having a plurality of wires 322 arranged at regular intervals in the longitudinal or transverse direction in the square frame 31 or arranged in a lattice form.

상기 상기 국내특허공개 제2011-0045929호 '이송대상체 적재용 트레이 및 이를 이용한 이송유닛'(2011.05.04 공개)은 약품조 내에 다수의 이송롤러를 배치하는 관계로 다수의 기판을 하나의 약품조 내로 처리하기 위해서는 약품조의 크기가 대형화되어 설치공간이 많이 소요되고, 설치 비용 및 유지 비용이 많이 드는 문제점이 있고, 기판의 연속적인 약품 처리가 불가능하고, 다수의 기판을 약품처리하는 데 있어 작업 시간이 오래 걸리는 문제점이 있다.The above-mentioned Korean Patent Laid-Open Publication No. 2011-0045929 entitled " Tray for loading a conveying object and a conveying unit using the same ", published on May 4, 2011, discloses a method of arranging a plurality of conveying rollers in a chemical tank, There is a problem in that the size of the chemical tank is enlarged to require a large installation space, and installation cost and maintenance cost are large, and the continuous chemical processing of the substrate is impossible, There is a problem that takes a long time.

본 발명은 이와 같이 종래기술이 갖는 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 무한궤도 구조로 기판의 연속적인 약품 처리가 가능하고, 간단한 구조를 가져 설치 비용과 유지 비용을 크게 줄인 약품 처리용 기판 이송 장치를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been conceived to solve the problems of the prior art as described above, and it is an object of the present invention to provide a substrate transfer apparatus for chemical processing, which can process a substrate continuously with chemicals in an endless track structure, .

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 약품 처리용 기판 이송 장치는, 약품조 내에서 기판을 이송하는 약품 처리용 기판 이송 장치이며, 구동모터에 연결되어 회전하는 제1스프로킷부재;According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate transfer apparatus for processing a substrate for transferring a substrate in a chemical tank, comprising: a first sprocket member connected to and rotated by a driving motor;

상기 제1스프로킷부재와 이격되게 배치되며 회전 가능한 제2스프로킷부재; A second sprocket member rotatably disposed to be spaced from the first sprocket member;

상기 제1스프로킷부재와 상기 제2스프로킷부재에 양단이 각각 감기는 체인부재; 및 A chain member having both ends wound on the first sprocket member and the second sprocket member, respectively; And

상기 체인부재에 장착되어 무한궤도 이동하며 기판이 끼워져 고정되는 복수의 기판홀더부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.And a plurality of substrate holder members which are mounted on the chain member and move in an endless track and in which the substrate is fitted and fixed.

본 발명에서 상기 기판홀더부재는, 상기 체인부재 상에 장착되는 체인장착부; 및 상기 체인장착부 상에 세워지는 기판지지부;를 포함하며, 상기 체인장착부의 일단부 측에 상기 체인장착부의 타단부가 삽입되어 결합하는 결합홈부가 구비될 수 있다.In the present invention, the substrate holder member may include: a chain mounting portion mounted on the chain member; And a substrate supporting part which is installed on the chain mounting part, and a coupling groove part for inserting and coupling the other end of the chain mounting part to the one end side of the chain mounting part can be provided.

상기 기판홀더부재는, 상기 기판지지부가 상기 체인장착부의 일단부에 세워져 'ㄴ'자 형태를 가질 수 있다. The substrate holder member may have the 'C' shape by standing on one end of the chain mounting portion.

본 발명에서 상기 기판지지부에서 상기 체인장착부의 일단부 측을 향한 면에 기판의 단부 측을 파지하는 기판 파지부가 돌출될 수 있다.In the present invention, the substrate holding portion for holding the end side of the substrate may protrude from a surface of the substrate supporting portion facing the one end side of the chain mounting portion.

본 발명에서 상기 기판 파지부는, 상단부에서 하단부로 경사진 가이드 면이 형성될 수 있다.In the present invention, the substrate holding part may be formed with a guide surface inclined from the upper end to the lower end.

본 발명에서 상기 기판 파지부는, 상기 기판지지부의 일면에 이격되게 2열로 형성될 수 있다.In the present invention, the substrate holding part may be formed in two rows so as to be spaced apart from one surface of the substrate supporting part.

본 발명에서 상기 기판 파지부는 하단부로 상기 결합홈부가 형성되도록 하단부가 상기 체인장착부의 일단부 측에 돌출되게 형성될 수 있다.In the present invention, the substrate holding portion may have a lower end portion protruding from one end of the chain mounting portion so that the coupling groove is formed as a lower end portion.

본 발명에서 상기 기판홀더부재는 체인장착부가 다른 한 기판홀더부재의 체인장착부의 상기 결합홈부 내로 삽입되어 결합되는 형태로 상기 체인부재의 전체 길이에 연속적으로 결합되어 배치될 수 있다. In the present invention, the substrate holder member may be continuously connected to the entire length of the chain member in such a manner that the chain attaching portion is inserted into and engaged with the engaging groove portion of the chain mounting portion of another substrate holder member.

위와 같이 구성되는 본 발명은 무한궤도 타입으로 다수의 기판을 연속적으로 이송시켜 다수의 기판을 약품처리하는 시간을 단축시키며 생산성을 향상시키는 효과가 있다. The present invention configured as described above has the effect of shortening the time for chemical treatment of a plurality of substrates by continuously transferring a plurality of substrates in an endless track type, and improving productivity.

또한 본 발명은 간단한 구조로 기판을 효율적으로 이송시켜 설치 비용과 유지 비용을 크게 줄이는 효과가 있다.Further, the present invention has an effect of effectively reducing the installation cost and the maintenance cost by efficiently transporting the substrate with a simple structure.

도 1 은 종래기술에 따른 기판 이송 장치를 도시한 도면.
도 2 는 본 발명에 따른 약품 처리용 기판 이송 장치를 개략적으로 도시한 정면도와 평면도.
도 3 은 본 발명에 따른 약품 처리용 기판 이송 장치에서 기판홀더부재의 일 예를 도시한 사시도.
도 4 는 본 발명에 따른 약품 처리용 기판 이송 장치에서 기판홀더부재의 일 예를 도시한 측면도
도 5 는 본 발명에 따른 약품 처리용 기판 이송 장치에서 기판홀더부재의 일 예를 도시한 분해사시도
도 6 은 본 발명에 따른 약품 처리용 기판 이송 장치에서 기판홀더부재의 다른 예를 도시한 분해사시도BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 shows a prior art substrate transfer apparatus; Fig.
2 is a front view and a plan view schematically showing a substrate transfer apparatus for chemical processing according to the present invention.
3 is a perspective view showing an example of a substrate holder member in the substrate transfer apparatus for chemical treatment according to the present invention.
4 is a side view showing an example of a substrate holder member in the substrate transfer apparatus for chemical treatment according to the present invention
5 is an exploded perspective view showing an example of a substrate holder member in the substrate transfer apparatus for chemical treatment according to the present invention.
6 is an exploded perspective view showing another example of the substrate holder member in the substrate transfer apparatus for chemical treatment according to the present invention.

이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명을 상세히 설명하도록 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will now be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 구현예(態樣, aspect)(또는 실시예)들을 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.While the present invention has been described in connection with certain embodiments, it is obvious that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the invention. It is to be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but on the contrary, is intended to cover all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention.

각 도면에서 동일한 참조부호, 특히 십의 자리 및 일의 자리 수, 또는 십의 자리, 일의 자리 및 알파벳이 동일한 참조부호는 동일 또는 유사한 기능을 갖는 부재를 나타내고, 특별한 언급이 없을 경우 도면의 각 참조부호가 지칭하는 부재는 이러한 기준에 준하는 부재로 파악하면 된다.In the drawings, the same reference numerals are used for the same reference numerals, and in particular, the numerals of the tens and the digits of the digits, the digits of the tens, the digits of the digits and the alphabets are the same, Members referred to by reference numerals can be identified as members corresponding to these standards.

도 2를 참고하면, 본 발명에 따른 약품 처리용 기판 이송 장치는 약품조(3) 내에서 기판(1)을 이송하는 약품 처리용 기판 이송 장치이다.Referring to FIG. 2, the substrate transfer apparatus for chemical processing according to the present invention is a substrate transfer apparatus for chemical processing that transfers the substrate 1 in the chemical tank 3.

본 발명에 따른 약품 처리용 기판 이송 장치는 약품조(3) 내에서 약품액 내부에 침지되어 이격되게 배치되는 제1스프로킷부재(10)와 제2스프로킷부재(20)를 포함하고, The substrate transfer apparatus for chemical treatment according to the present invention includes a first sprocket member 10 and a second sprocket member 20 immersed in the chemical liquid in the chemical tank 3 so as to be spaced apart from each other,

상기 체인부재(30)와 상기 기판홀더부재(40)가 2열로 구비되어 기판(1)을 안정적으로 파지하여 약품조 내에서 이송한다. The chain member 30 and the substrate holder member 40 are provided in two rows so that the substrate 1 is stably gripped and transported in the chemical tank.

상기 제1스프로킷부재(10)와 상기 제2스프로킷부재(20)는 상기 약품조(3) 내에서 회전 가능하게 배치되며, 상기 제1스프로킷부재(10)는 구동모터에 연결되어 회전하는 구동 스프로킷이며, 상기 제2스프로킷부재(20)는 체인부재(30)에 의해 상기 제1스프로킷부재(10)의 구동력을 전달받아 회전하는 종동스크로킷인 것을 일 예로 한다.The first sprocket member 10 and the second sprocket member 20 are rotatably disposed in the chemical tank 3 and the first sprocket member 10 is connected to a drive sprocket And the second sprocket member 20 is a driven scroll wheel which is rotated by receiving the driving force of the first sprocket member 10 by the chain member 30. [

상기 체인부재(30)는 양 단부가 각각 상기 제1스프로킷부재(10)와 상기 제2스프로킷부재(20)에 감겨져 상기 제1스프로킷부재(10)의 구동력을 상기 제2스프로킷부재(20)로 전달하며 무한 궤도 이동한다.The chain member 30 is wound around the first sprocket member 10 and the second sprocket member 20 at both ends so that the driving force of the first sprocket member 10 is transmitted to the second sprocket member 20 And moves in an infinite orbit.

상기 체인부재(30)에는 상기 기판홀더부재(40)가 볼트로 체결될 수 있도록 하는 브라켓(31)이 구비된다.The chain member (30) is provided with a bracket (31) for fastening the substrate holder member (40) with a bolt.

상기 기판홀더부재(40)는 엔지니어링 플라스틱으로 제조되는 것을 일 예로 한다.The substrate holder member 40 is made of engineering plastic.

상기 기판홀더부재(40)는 사이에 약품처리 대상인 기판(1)이 끼워져 삽입되는 기판삽입홈부가 구비된다.The substrate holder member 40 is provided with a substrate insertion groove into which a substrate 1 to be processed is inserted.

도 3은 본 발명에 따른 약품 처리용 기판 이송 장치에서 기판홀더부재(40)의 일 예를 도시한 사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 약품 처리용 기판 이송 장치에서 기판홀더부재(40)의 일 예를 도시한 측면도이다.FIG. 3 is a perspective view showing an example of a substrate holder member 40 in the substrate transferring apparatus for chemical treatment according to the present invention, and FIG. 4 is a perspective view of the substrate holder member 40 in the substrate transferring apparatus for chemical treatment according to the present invention. Fig. 8 is a side view showing an example.

도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 기판홀더부재(40)는, 상기 체인부재(30)의 상에 연속적으로 서로 결합되어 사이에 되어 사이에 기판(1)이 삽입되는 기판삽입홈부가 형성되는 예이다.2 to 4, the substrate holder member 40 is continuously formed on the chain member 30, and a substrate insertion groove portion in which the substrate 1 is inserted therebetween is formed Yes.

상기 기판홀더부재(40)는, 상기 체인부재(30) 상에 장착되는 체인장착부(41); 상기 체인장착부(41) 상에 세워지는 기판지지부(42);를 포함하여 'ㄴ'자 형태를 가지고, 상기 체인장착부(41)의 일단부 측에 상기 체인장착부(41)의 타단부가 삽입되어 결합하는 결합홈부(41a)가 구비되는 것이 바람직하다.The substrate holder member (40) includes a chain mounting portion (41) mounted on the chain member (30); And the other end portion of the chain mounting portion 41 is inserted into the one end side of the chain mounting portion 41, and the other end of the chain mounting portion 41 is inserted into the other end of the chain mounting portion 41 It is preferable that an engagement groove 41a is provided.

상기 체인장착부(41)에는 상, 하 방향으로 관통된 볼트구멍이 형성되어 상기 볼트구멍을 관통하는 장착볼트에 의해 상기 체인부재(30)에 볼트 결합으로 장착되는 것을 일 예로 한다. The chain mounting portion 41 is formed with a bolt hole penetrating in the upward and downward directions and is mounted to the chain member 30 by bolts through a mounting bolt passing through the bolt hole.

즉, 상기 기판홀더부재(40)는 동일한 형상으로 다수 제조되어 어느 한 기판홀더부재(40)의 체인장착부(41)가 다른 한 기판홀더부재(40)의 체인장착부(41)의 상기 결합홈부(41a) 내로 삽입되어 결합됨으로써 상기 체인부재(30)의 전체 길이에 연속적으로 결합된다. That is, a plurality of the substrate holder members 40 are manufactured in the same shape so that the chain attaching portion 41 of one substrate holder member 40 is engaged with the engaging groove portion 41 of the chain attaching portion 41 of the other substrate holder member 40 41a of the chain member 30 by being inserted into and joined to the entire length of the chain member 30.

상기 체인부재(30)에 서로 연속적으로 결합된 상기 기판홀더부재(40)는, 상기 기판지지부(42) 사이에 기판삽입홈부가 형성되는 것이다.The substrate holder member 40, which is continuously connected to the chain member 30, has a substrate insertion groove formed between the substrate supporting portions 42.

또한, 상기 기판지지부(42)는 상기 체인장착부(41)의 일단부에 세워지며 상기 기판지지부(42)에서 상기 체인장착부(41)의 일단부 측을 향한 면에 기판(1)의 단부 측을 파지하는 기판 파지부(42a)가 돌출된다.The substrate supporting part 42 is mounted on one end of the chain mounting part 41 and has an end side of the substrate 1 on a surface of the substrate supporting part 42 facing the one end side of the chain mounting part 41 And the substrate holding portion 42a to be held is protruded.

상기 기판 파지부(42a)는 다른 기판지지부(42)와의 사이에 상기 기판(1)을 끼워 고정하며 하단부로 상기 결합홈부(41a)가 형성되도록 하단부가 상기 체인장착부(41)의 일단부 측에 돌출되게 형성된다. The substrate holding portion 42a is fixed to the other substrate supporting portion 42 by sandwiching the substrate 1 therebetween and has a lower end portion on the one end side of the chain mounting portion 41 so that the coupling groove 41a is formed as a lower end portion Respectively.

상기 기판 파지부(42a)는, 상단부에서 하단부로 경사진 가이드 면이 형성되어 상기 가이드면으로 상기 기판(1)을 하단부로 자연스럽게 안내하여 하단부에서 다른 기판지지부(42)와의 사이에 기판(1)을 안정적으로 끼워 고정할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.The substrate grasping portion 42a has a guide surface inclined from an upper end portion to a lower end portion to guide the substrate 1 to the lower end portion naturally with the guide surface and to guide the substrate 1 from the lower end portion to the other substrate supporter 42, It is preferable to stably fix and fix the plate.

상기 기판 파지부(42a)는, 상기 기판지지부(42)의 일면에 이격되게 2열로 형성되어 기판을 안정적으로 끼워 고정할 수 있도록 형성된다.The substrate grasping portion 42a is formed in two rows so as to be spaced apart from one surface of the substrate supporter 42 so that the substrate can be stably held and fixed.

상기 기판홀더부재(40)는, 상기 체인부재(30)에 볼트 체결로 장착되고, 상기 체인장착부(41)가 다른 기판홀더부재(40)의 체인장착부(41)가 서로 연속적으로 결합되어 상기 기판지지부(42)들의 사이에 각각 기판(1)이 상비되는 기판삽입홈부가 형성되어 각 기판삽입홈부 내로 다수의 기판(1)이 연속적으로 끼워져 고정되어 이동하는 것이다.The substrate holder member 40 is bolted to the chain member 30 and the chain attaching portions 41 of the other substrate holder member 40 are continuously engaged with each other, A substrate insertion groove portion in which the substrate 1 is mounted on each of the support portions 42 is formed so that a plurality of substrates 1 are successively inserted into the substrate insertion groove portions and fixedly moved.

또한, 상기 기판홀더부재(40)는 연속적으로 연결되고 상기 기판지지부(42)들 사이에 모두 기판(1)이 끼워지는 기판삽입홈부가 형성되므로 상기 기판삽입홈부로 기판(1)을 삽입시키는 작업이 원활하고, 기판(1)을 끼워 넣는 중에 잘못된 위치로 끼워지는 사고가 발생될 위험이 전혀없다.In addition, since the substrate holder member 40 is continuously connected and a substrate insertion groove portion in which the substrate 1 is sandwiched between the substrate support portions 42 is formed, the operation of inserting the substrate 1 into the substrate insertion groove portion There is no risk that an accident that the substrate 1 is inserted into the wrong position while the substrate 1 is inserted is generated.

도 6은 본 발명에 따른 약품 처리용 기판 이송 장치에서 기판홀더부재(40A)의 다른 예를 도시한 사시도이고, 도 5를 참고하면 상기 기판홀더부재(40)는, 체인에 장착되는 체인장착부(41); 및FIG. 6 is a perspective view showing another example of the substrate holder member 40A in the substrate transfer apparatus for chemical treatment according to the present invention. Referring to FIG. 5, the substrate holder member 40 includes a chain mounting portion 41); And

상기 체인장착부(41)의 양단부 측에 각각 세워져 고정되는 제1기판지지부(43)와 제2기판지지부(44)를 포함하여 상기 제1기판지지부(43)와 상기 제2기판지지부(44) 사이에 기판(1)이 삽입되는 기판삽입홈부(45)가 형성된 'ㄷ'자형 형태일 수도 있다.A first substrate supporting portion 43 and a second substrate supporting portion 44 which are erected and fixed on both end sides of the chain mounting portion 41 and which are disposed between the first substrate supporting portion 43 and the second substrate supporting portion 44 And a substrate insertion groove 45 into which the substrate 1 is inserted.

참고로, ㄷ자형 형태를 가지는 상기 기판홀더부재(40A)는 다른 기판홀더부재(40A)의 사이로 기판(1)이 삽입되는 경우 기판(1)이 제대로 파지되지 못하고 기판(1)이 파손되는 사고가 발생될 수 있는 단점이 있다. For reference, the substrate holder member 40A having a U-shaped shape is a structure in which when the substrate 1 is inserted between the other substrate holder members 40A, the substrate 1 is not gripped properly and the substrate 1 is damaged There is a disadvantage in that it may occur.

그래서 도6에 도시된 'ㄷ'자 모양의 기판홀더부재 보다는 도2 내지 도5에 도시된 'ㄴ'자 모양의 기판홀더부재가 더 바람직할 수 있다. Therefore, it is more preferable to use a substrate holder member having a 'C' shape as shown in FIGS. 2 to 5, rather than a 'C' shaped substrate holder member shown in FIG.

이상과 같이 본 발명에 따른 약품 처리용 기판 이송 장치는 무한궤도 타입으로 다수의 기판(1)을 연속적으로 이송시켜 다수의 기판(1)을 약품처리하는 시간을 단축시키며 생산성을 향상시킨다. As described above, the substrate transfer apparatus for chemical treatment according to the present invention shortens the time for chemical treatment of a plurality of substrates 1 by continuously transferring a plurality of substrates 1 in an endless track type, and improves productivity.

본 발명은 간단한 구조로 기판(1)을 효율적으로 이송시켜 설치 비용과 유지 비용을 크게 줄인다. The present invention efficiently transports the substrate 1 with a simple structure, which greatly reduces installation cost and maintenance cost.

이상의 설명에서 제1스프로킷부재, 제2스프로킷부재, 체인부재과 구동모터의 구성과 관련된 통상의 공지된 기술은 생략되어 있으나, 당업자라면 용이하게 이를 추측 및 추론하고 재현할 수 있다.In the above description, conventionally known techniques relating to the constitution of the first sprocket member, the second sprocket member, the chain member and the drive motor are omitted, but those skilled in the art can easily guess, deduce, and reproduce this.

또 이상에서 본 발명을 설명함에 있어 첨부된 도면을 참조하여 특정 형상과 구조를 갖는 접이 침대를 위주로 설명하였으나 본 발명은 당업자에 의하여 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능하고, 이러한 수정, 변경 및 치환은 본 발명의 보호범위에 속하는 것으로 해석되어야 한다.While the present invention has been described with reference to the accompanying drawings, it is to be understood that the present invention is not limited thereto. Various modifications, And should be construed as falling within the scope of protection of the present invention.

1 : 기판 10 : 제1스프로킷부재
20 : 제2스프로킷부재 30 : 체인부재
40 : 기판홀더부재 41 : 체인장착부
41a : 결합홈부 42 : 기판지지부
42a : 기판 파지부 43 : 제1기판지지부
44 : 제2기판지지부1: substrate 10: first sprocket member
20: second sprocket member 30: chain member
40: substrate holder member 41: chain mounting portion
41a: engaging groove portion 42:
42a: substrate holding portion 43: first substrate supporting portion
44: second substrate supporting part

Claims (4)

약품조 내에서 기판을 이송하는 약품 처리용 기판 이송 장치이며, 구동모터에 연결되어 회전하는 제1스프로킷부재;
상기 제1스프로킷부재와 이격되게 배치되며 회전 가능한 제2스프로킷부재;
상기 제1스프로킷부재와 상기 제2스프로킷부재에 양단이 각각 감기는 체인부재; 및
상기 체인부재에 장착되어 무한궤도 이동하며 기판이 끼워져 고정되는 복수의 기판홀더부재를 포함하되,

상기 기판홀더부재는,
상기 체인부재 상에 장착되는 체인장착부; 및
상기 체인장착부 상에 세워지는 기판지지부;를 포함하며,
상기 체인장착부의 일단부 측에 상기 체인장착부의 타단부가 삽입되어 결합하는 결합홈부가 구비되는 것을 특징으로 하는 약품 처리용 기판 이송 장치.A substrate transfer apparatus for chemical processing that transfers a substrate in a chemical tank, comprising: a first sprocket member connected to and rotated by a drive motor;
A second sprocket member rotatably disposed to be spaced from the first sprocket member;
A chain member having both ends wound on the first sprocket member and the second sprocket member, respectively; And
And a plurality of substrate holder members mounted on the chain member and moving in an endless track,

Wherein the substrate holder member comprises:
A chain mounting portion mounted on the chain member; And
And a substrate support portion mounted on the chain mounting portion,
And a coupling groove portion for coupling the other end of the chain mounting portion to the other end of the chain mounting portion is provided on one end side of the chain mounting portion. 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 기판홀더부재는, 상기 기판지지부가 상기 체인장착부의 일단부에 세워져 'ㄴ'자 형태를 가지는 것을 특징으로 하는 약품 처리용 기판 이송 장치.The method according to claim 1,
Wherein the substrate holder member is configured such that the substrate support portion is formed at one end of the chain mounting portion and has an " a " shape. 청구항 1 또는 청구항 3에 있어서,
상기 기판지지부에서 상기 체인장착부의 일단부 측을 향한 면에 기판의 단부 측을 파지하는 기판 파지부가 돌출되는 것을 특징으로 하는 약품 처리용 기판 이송 장치.The method according to claim 1 or 3,
Wherein a substrate gripping portion for gripping an end side of the substrate is projected from a surface of the substrate supporting portion facing the one end side of the chain mounting portion.
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