KR101552637B1 - Apparatus for transferring glass substrate having a magnetic stopper unit - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 유리기판 이송장치에 관한 것으로서 더욱 상세하게는 유리기판이 로딩되어 있는 이송 캐리어를 자성을 이용한 비접촉 방식으로 정지 및 정위치시킬 수 있는 자성 스토퍼유닛을 구비하는 유리기판 이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a glass substrate transferring apparatus, and more particularly, to a glass substrate transferring apparatus including a magnetic stopper unit capable of stopping and positively positioning a transfer carrier loaded with a glass substrate in a non-contact manner using magnetism.
일반적으로, 디스플레이 장치에 사용되는 유리기판은 증착, 린스, 세정 등과 같은 일련의 처리 공정을 거치게 된다. 이러한 일련의 유리기판 처리 공정은 인-라인으로 배치되어 있는 복수 개의 공정 챔버를 차례로 통과하며 진행된다. 이때, 수율을 높이기 위해서는 가능한 한 빠르게 유리기판이 해당 공정 챔버로 이송되어야 함과 아울러, 해당 공정 챔버에서 정확하게 처리되기 위해서는 유리기판이 해당 공정 챔버 내부로 진입한 후에는 정확하게 배치되어야 한다.
In general, a glass substrate used in a display device is subjected to a series of processing steps such as deposition, rinsing, cleaning, and the like. This series of glass substrate processing passes sequentially through a plurality of in-line arranged process chambers. In order to increase the yield, the glass substrate must be transferred to the process chamber as quickly as possible, and the glass substrate must be accurately positioned after the glass substrate has entered the process chamber in order to be accurately processed in the process chamber.
도 1은 종래의 유리기판 이송장치를 개략적으로 보여주는 도면이다. 1 is a schematic view of a conventional glass substrate transfer apparatus.
도시한 바와 같이, 도 1의 유리기판 이송장치는 이송 캐리어(11), 구동 롤러 어레이(21) 및 스토퍼유닛을 포함한다. 스토퍼유닛은 스토퍼(31) 및 스토퍼 실린더(32)를 포함한다.As shown, the glass substrate conveying apparatus of Fig. 1 includes a
유리기판은 이송 캐리어(11)에 안착된 상태로 구동 롤러 어레이(21)에 의하여 이송된다. 스토퍼 유닛은 구동 롤러 어레이(21)를 따라 이동하는 이송 캐리어(11)를 정지시킨다. 스토퍼 실린더(32)는 스토퍼(31)를 필요에 따라 상하로 이동시킨다. 스토퍼(31)가 상측으로 이동된 상태에서, 이송 캐리어(11)와 강제적 물리적으로 충돌되어 이송 캐리어(11)를 정지시킨다. The glass substrate is conveyed by the
하지만, 이와 같이, 캐리어(11)가 스토퍼에 강제적으로 충돌하게 되면, 충돌 충격에 의해 유리기판의 파손이 빈번히 발생되었다. 이를 방지하기 위해서는 캐리어(11)가 스토퍼(31)에 충돌되기 전, 캐리어(11)가 이동되는 속도를 줄여 주어야 하고, 따라서 구동 롤러 어레이(21)의 속도를 감속한다. 그러나 이렇게 되면, 구동 롤러 어레이(21)의 감속->정지->재가동 시간만큼 유리기판 처리 공정 시간의 증가를 초래하여, 결국, 생산성이 저하되는 문제가 발생하게 된다. 또한, 재가동을 위하여, 일단 정지된 구동 롤러를 다시 정상 속도로 증속시키는데 어려움이 있다. However, when the
또한, 이와 같이, 유리기판의 이송 속도를 자주 가변시키게 되면, 유리기판이 이송 중에 오정렬(misalignment)될 가능성이 있는데, 이 경우, 유리기판에 대한 정확한 처리 공정이 어렵게 되고, 결국에는 유리기판 불량으로 이어지게 된다.
In this case, if the feeding speed of the glass substrate is frequently varied, the glass substrate may be misaligned during the transfer. In this case, it is difficult to accurately process the glass substrate. As a result, .
도 2는 종래의 또 다른 유리기판 이송장치를 개략적으로 보여주는 도면이다. 2 is a schematic view showing another conventional glass substrate transfer apparatus.
도시한 바와 같이, 도 2의 이송장치는 캐리어, 구동 롤러 어레이(410) 및 가·감속유닛을 포함한다. 캐리어는 안착부(211)와 지지부를 포함한다. 지지부는 지지바(212)와 슬립바(213)를 포함한다. 가·감속유닛은 이동자석 및 고정자석을 포함한다. As shown, the conveying apparatus of Fig. 2 includes a carrier, a
이동자석(220)은 슬립바(124)의 양면의 중앙에 결합되어, 캐리어와 함께 이동될 수 있다. 고정자석(240)은 챔버(250)의 양측 내벽에 결합되어, 이동자석(220)과 인접하게 배치될 수 있다. The moving
캐리어는 기판 표면의 일정한 처리를 위해 챔버(50) 내부에서 이송되는 과정에서 가·감속될 수 있다. 이때, 캐리어의 관성으로 인해 슬립바(124)와 구동롤러(410) 사이에 슬립이 발생되는 것을 방지되도록, 미리 설정된 위치에 배치된 고정자석(240)은 이동자석(220)에 자기력을 제공할 수 있다.The carrier can be accelerated or decelerated in the course of being transported inside the chamber 50 for a certain treatment of the substrate surface. In order to prevent slippage between the slip bar 124 and the
예를 들어, 이동자석(220)은 영구자석일 수 있으며, 고정자석(240)은 전자석일 수 있다. 고정자석(240)은 캐리어가 가·감속되는 구간에 있을 때, 이동자석(220)에 자기력을 미칠 수 있는 범위 내에 배치될 수 있다.For example, the moving
따라서, 캐리어가 가·감속될 때, 고정자석(240)은 이동자석(220)에 인력 또는 척력을 제공하여, 구동 롤러 어레이(410)와 슬립바(124) 간에 슬립이 발생되는 것을 방지하고, 캐리어가 미리 설정된 위치에 위치되도록 할 수 있다.Thus, when the carrier is accelerated or decelerated, the
그러나, 상기 도 2의 이송장치에서는 캐리어와 스토퍼의 강제적 물리적 충돌에 의하여 유리기판의 파손의 염려는 해소할 수 있으나, 도 1의 장치에서 나타나는 기타 문제점들을 그대로 갖고 있다.
However, in the transferring apparatus of FIG. 2, the fear of breakage of the glass substrate due to the forced physical collision of the carrier and the stopper can be solved, but the other problems in the apparatus of FIG. 1 are inherent.
최근에는, 구동 롤러 어레이를 삭제하거나, 구동 롤러 어레이를 아이들러 롤러 어레이로 대체하고, 자기력만으로 캐리어를 이송하는 이송장치가 소개되고 있다. 이들 이송장치에서는, 다수의 자기식 이송유닛을 구비하여 종래의 접촉식 구동 롤러 어레이를 대체하고 있다. 그러나, 이러한 이송장치를 구축하기 위해서는, 기존의 구동 롤러 어레이를 기본 이송 수단으로 하여 구축된 이송 라인을 전면적으로 변경하여야 한다. 따라서, 설비 비용이 증가한다. 무엇보다도, 이송 라인의 전면적 변경에 따라 설비 가동이 중단되어야 하므로, 신규 설비로서 도입되는 것이 아닌 접촉식 구동 롤러 어레이를 갖는 기존 설비의 문제점을 해소하는 방안으로서는 채택될 수 없는 한계가 있다.In recent years, there has been introduced a transfer device which removes the drive roller array, replaces the drive roller array with an idler roller array, and transfers the carrier only by magnetic force. In these transfer devices, a plurality of magnetic transfer units are provided to replace the conventional contact type drive roller array. However, in order to construct such a conveying apparatus, the conveying line constructed by using the existing driving roller array as the basic conveying means must be changed over the whole. Therefore, the equipment cost increases. Above all, there is a limit that can not be adopted as a solution to the problem of the existing facility having the contact type drive roller array, which is not introduced as a new facility, because the operation of the facility should be stopped due to the change of the entire transfer line.
본 발명은 상술한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 유리기판이 로딩되어 있는 이송 캐리어를 자성을 이용한 비접촉 방식으로 정지 및 정위치시킬 수 있는 유리기판 이송장치를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a glass substrate transfer device capable of stopping and positively positioning a transfer carrier loaded with a glass substrate in a non- .
이를 위해, 본 발명은, 로딩되는 유리기판의 이송을 지지하는 이송 캐리어; 상기 이송 캐리어를 일 방향을 따라 이동 가능하게 하는 롤러 어레이; 및 자성을 이용한 비접촉 방식을 통해, 상기 롤러 어레이를 따라 이동하는 상기 이송 캐리어를 정지시키는 스토퍼유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 이송장치를 제공한다.To this end, the invention comprises a transporting carrier for supporting the transport of the glass substrate to be loaded; A roller array for moving the transporting carrier along one direction; And a stopper unit for stopping the conveyance carrier moving along the roller array through a non-contact method using magnetic force.
여기서, 상기 스토퍼유닛은, 상기 이송 캐리어의 하부면에 설치되는 제1 자성체 및 상기 이송 캐리어의 이동 경로 중 적어도 한 지점에 설치되고, 발생되는 전자기력을 통해 상기 제1 자성체를 끌어 당기는 제2 자성체를 포함할 수 있다.Here, the stopper unit may include a first magnetic body provided on a lower surface of the conveying carrier, and a second magnetic body provided on at least one of a moving path of the conveying carrier and pulling the first magnetic body through an generated electromagnetic force .
이때, 상기 제1 자성체는 영구자석이고, 상기 제2 자성체는 전자석일 수 있다.Here, the first magnetic body may be a permanent magnet, and the second magnetic body may be an electromagnet.
또한, 상기 스토퍼유닛은 상기 제2 자성체의 전방에 설치되어, 상기 이송 캐리어의 진입 여부를 감지하는 감지센서를 더 포함할 수 있다.The stopper unit may further include a sensor disposed in front of the second magnetic body for detecting whether the carrier is moved or not.
아울러, 상기 이송 캐리어는, 상기 롤러 어레이 상에 안착되는 캐리어 몸체부 및 상기 캐리어 몸체부의 일측에 연결되고, 상기 유리기판의 가장자리를 파지하여 상기 유리기판을 세워진 상태로 이송시키는 유리기판 그립부를 포함할 수 있다.The transporting carrier may include a carrier body portion that is seated on the roller array and a glass substrate grip portion that is connected to one side of the carrier body portion and that grips an edge of the glass substrate to transport the glass substrate in a raised state .
이때, 상기 유리기판은 상기 롤러 어레이보다 상대적으로 낮은 위치에서 이송될 수 있다.At this time, the glass substrate can be transported at a relatively lower position than the roller array.
또한, 상기 롤러 어레이는 상기 이송 캐리어의 이동 경로를 따라 서로 평행하게 2열로 배열되어 있는 복수 개의 롤러로 이루어질 수 있다.Further, the roller array may be formed of a plurality of rollers arranged in two rows in parallel with each other along the movement path of the conveying carrier.
이때, 상기 복수 개의 롤러가 이루는 열과 열 사이에는 상기 이송 캐리어의 이동 경로를 따라 복수 개의 제3 자성체가 일렬로 배치되되, 상기 제3 자성체는 발생되는 전자기력을 통해, 상기 이송 캐리어가 상기 복수 개의 롤러를 타고 이동되도록 상기 제1 자성체를 밀어낼 수 있다.At this time, a plurality of third magnetic bodies are arranged in a row between the rows and the columns of the plurality of rollers, and the third magnetic bodies are arranged in a row along the movement path of the transport carriers, The first magnetic body can be pushed out to be moved by riding on the first magnetic body.
본 발명에 따르면, 유리기판이 로딩되어 있는 이송 캐리어를 자성을 이용한 비접촉 방식으로 처리 공정 구간에 정지 및 정위치시킴으로써, 유리기판에 가해지는 충격을 최소화하여 유리기판의 깨짐을 방지할 수 있고, 유리기판을 안정적으로 이송할 수 있으며, 유리기판에 대한 공정 처리 또한 원활하게 진행할 수 있다.According to the present invention, it is possible to prevent the breakage of the glass substrate by minimizing the impact applied to the glass substrate by stopping and positioning the transfer carrier in which the glass substrate is loaded in the non-contact manner by the magnetic process, The substrate can be stably transported, and the processing process on the glass substrate can proceed smoothly.
유리기판 처리 공정 시간의 증가를 초래하지 않아, 높은 생산성을 확보할 수 있다. 또한, 구동 롤러의 정지->정상 속도로의 증속이 필요치 않아, 재가동으로 인하여 수반되는 문제점을 야기하지 않는다. The time for the glass substrate processing step is not increased, and high productivity can be ensured. Further, it is not necessary to increase the speed of the drive roller to the normal speed so that it does not cause problems caused by restarting.
또한, 유리기판의 이송 중 오정렬(misalignment) 요인을 차단하여, 유리기판에 대한 정확한 처리 공정을 확보하고, 유리기판 불량을 미연에 방지할 수 있다.In addition, it is possible to prevent misalignment factors during transfer of the glass substrate, ensure an accurate processing process for the glass substrate, and prevent glass substrate failure in advance.
도 1은 종래의 유리기판 이송장치를 보여주는 도면이다.
도 2은 종래의 또 다른 유리기판 이송장치를 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 유리기판 이송장치를 보여주는 정면도이다.
도 4는 도 3의 유리기판 이송장치를 개략적으로 나타낸 측면도.
도 5는 도 3의 유리기판 이송장치를 개략적으로 나타낸 정면도.1 is a view showing a conventional glass substrate transfer apparatus.
2 is a schematic view of another conventional glass substrate transfer apparatus.
3 is a front view showing a glass substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
Fig. 4 is a side view schematically showing the glass substrate transfer apparatus of Fig. 3; Fig.
Fig. 5 is a front view schematically showing the glass substrate transfer apparatus of Fig. 3; Fig.
이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 유리기판 이송장치에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, a glass substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
아울러, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단된 경우 그 상세한 설명은 생략한다.
In the following description of the present invention, detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 유리기판 이송장치를 보여주는 정면도이다.3 is a front view showing a glass substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 유리기판 이송장치는, 이송 캐리어(110), 롤러 어레이, 및 스토퍼유닛을 포함한다. 롤러 어레이는 종래의 이송장치와 달리, 구동 롤러 어레이(121) 외에 아이들러 롤러 어레이(122)를 포함한다. As shown, a glass substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention includes a
구동 롤러 어레이(121)는 이송 캐리어(110)를 이송시키는 기능을 수행한다. 아이들러 롤러 어레이(122)는 이송 캐리어(110)를 단순 지지한다. 구동 롤러 어레이(121)는 구동 롤러 어레이 구간을 형성한다. 아이들러 롤러 어레이(122)는 아이들러 롤러 어레이 구간을 형성한다. 이송 캐리어(110)가 구동 롤러 어레이 구간을 지날 때는 구동 롤러 어레이(121)에 의하여 이송된다. 이송 캐리어(110)가 아이들러 롤러 어레이 구간을 지날 때는 아이들러 롤러 어레이(122)는 이송 캐리어(110)를 구름 접촉하며 단순 지지한다. The
스토퍼유닛은 자성을 이용한 비접촉 방식을 통해, 아이들러 롤러 어레이 구간 내에 진입하여 상기 아이들러 롤러 어레이(122)에 의하여 지지되며 이동하는 상기 이송 캐리어(110)를 정지시킨다. 따라서, 아이들러 롤러 어레이는 스토퍼유닛과 인접한 구간에만 설치되는 것으로 충분하다. The stopper unit enters the idler roller array section through the non-contact type using magnetic force, and is stopped by the
롤러 어레이를 구동 롤러 어레이(121)와 아이들러 롤러 어레이(122)로 분리하여 구성함으로써, 구동 롤러 어레이(121)의 정지 없이 이송 캐리어(110)를 정지시킬 수 있다. 따라서, 유리기판 처리 공정 시간의 증가를 초래하지 않아, 높은 생산성을 확보할 수 있다. 또한, 구동 롤러의 정지->정상 속도로의 증속이 필요치 않아, 재가동으로 인하여 수반되는 문제점을 야기하지 않는다. 또한, 유리기판의 이송 중 오정렬(misalignment) 요인을 차단하여, 유리기판에 대한 정확한 처리 공정을 확보하고, 유리기판 불량을 미연에 방지할 수 있다. The conveying
또한, 본 발명은 도 1의 이송장치에서 스토퍼(31)에 인접하여 아이들러 롤러 어레이를 채용한 구조와 비교하여서도, 우수한 효과를 갖는다. 이러한 구조에서는, 캐리어가 아이들러 롤러 어레이 구간에 진입한 후 별도의 감속력이 제공되지 않으므로, 캐리어(11)가 감속되지 않은 채로 스토퍼에 강제적으로 충돌하게 되고, 그로 인하여 충돌 충격에 의해 유리기판의 파손이 발생하게 된다. 반면 캐리어가 아이들러 롤러 어레이와의 마찰력에 의하여 자연 감속되기까지 아이들러 롤러 어레이 구간 길이를 늘리는 것도 가능하지만, 이는 공정 시간 및 설비 공간의 증가를 수반한다. 따라서, 본 발명에서와 같이, 아이들러 롤러 어레이는 자성 스토퍼유닛과의 조합에 의해서만, 그 효과를 나타낼 수 있는 것이다.
Further, the present invention has an excellent effect in comparison with the structure in which the idler roller array is employed adjacent to the
도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 유리기판 이송장치(100)는 액정디스플레이(LCD), 플라즈마 디스플레이(PDP), 유기EL 등과 같은 평판 디스플레이(FPD)에 사용되는 판유리로 이루어진 유리기판(S)을 이송하는 장치이다. 여기서, 평판 디스플레이용 유리기판(S)은 일련의 처리 공정, 예컨대, 노광, 현상, 에칭, 스트립, 린스, 세정 등과 같은 처리 공정을 순차적으로 거치게 되는데, 유리기판(S)이 이와 같은 일련의 처리 공정을 거치기 위해서는 각각의 처리 공정이 진행되는 장소, 예컨대, 공정 챔버들로 옮겨가야 된다. 즉, 본 발명의 실시 예에 따른 유리기판 이송장치(100)는 공정 효율성 향상을 위해 인-라인(in-line)으로 배치되어 있는 복수 개의 공정 챔버 각각으로 유리기판(S)을 이송시켜, 해당 처리 공정이 원활하게 진행될 수 있도록 하는 역할을 하는 장치이다.4 and 5, the glass
이송 캐리어(110)는 로딩(loading)되는 유리기판(S)을 지지하는 수단이다. 이때, 본 발명의 실시 예에서, 이송 캐리어(110)에 로딩되는 유리기판(S)은 예컨대, 대형의 판유리일 수 있다. 이 경우, 유리기판(S)을 수평으로 눕힌 상태로 이의 양측을 잡고 이동하게 되면, 대형 유리기판(S)의 자중에 의해 유리기판(S)이 휘어지는 문제가 발생될 수 있다. 따라서, 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 이송 캐리어(110)는 유리기판(S)을 세워진 상태로 로딩시킨다.The
이러한 이송 캐리어(110)는 캐리어 몸체부(111) 및 유리기판 그립부(112)를 포함하여 형성될 수 있다.The
캐리어 몸체부(111)는 이송 캐리어(110)의 이동을 가능하게 하는 롤러 어레이 상에 안착되는 이송 캐리어(110)에서, 실질적으로 롤러 어레이와 접촉되는 이송 캐리어(100)의 일측 부분이다. 이러한 캐리어 몸체부(111)는 롤러 어레이 상에 안착되어, 롤러 어레이를 타고 이동되고, 이에 따라, 이송 캐리어(110)에 로딩되어 있는 유리기판(S) 또한 이송된다. 또한, 캐리어 몸체부(111)는 세워진 상태의 유리기판(S)을 파지하는 유리기판 그립부(112)를 지지하는 역할을 한다.The
한편, 캐리어 몸체부(111)의 하부면에는 스토퍼유닛의 제1 자성체(131)가 고정 설치되는데, 이에 대해서는 하기에서 보다 상세히 설명하기로 한다.On the other hand, the first
유리기판 그립부(112)는 롤러 어레이 상에 안착되는 이송 캐리어(110)에서, 유리기판(S)을 실질적으로 지지하는 이송 캐리어(100)의 타측 부분이다. 유리기판 그립부(112)는 캐리어 몸체부(111)의 일측 가장자리에 연결될 수 있다. 이때, 도 5에 도시한 바와 같이, 유리기판 그립부(112)는 대략 "ㄱ"자 형태로 형성되어 캐리어 몸체부(111)의 일측 가장자리에 연결될 수 있다. 이러한 유리기판 그립부(112)는 유리기판(S)의 일측 가장자리를 파지하여 유리기판(S)을 세워진 상태로 이송시킨다. 구체적으로 도시하진 않았지만, 유리기판 그립부(112)에서 유리기판(S)을 파지하는 부분은 유리기판(S)의 전, 후면에 밀착되는 집게, 클램프 등과 같은 다양한 형태로 이루어질 수 있는 바, 본 발명의 실시 예에서는 유리기판 그립부(112)에서 유리기판(S)을 파지하는 부분을 특별히 어느 한 형태로 한정하지 않는다.The glass
한편, 도 2에 도시한 바와 같이, 대형 판유리로 이루어진 유리기판(S)은 유리기판 그립부(112)에 의해 세워진 상태에서 이송되므로, 유리기판(S)은, 이송 캐리어(110)가 타고 이동하는 롤러 어레이보다 상대적으로 낮은 위치에서 이송된다. 즉, 본 발명의 실시 예에 따른 유리기판 이송장치(100)는 유리기판(S)을 받쳐 지지한 채 이송시키는 방식이 아닌, 유리기판(S)을 위에서 잡고 일 방향을 따라 끌어주는 방식으로 유리기판(S)을 이송시킨다.
On the other hand, as shown in Fig. 2, the glass substrate S made of a large plate glass is conveyed in a standing state by the glass
구동 롤러 어레이(121)는 유리기판(S)을 지지한 채로 안착되는 이송 캐리어(110)를 일 방향, 즉, 인-라인으로 배치되어 있는 각종 공정 챔버 쪽으로 이동 가능하게 하는 장치이다. 본 발명의 실시 예에서, 이러한 구동 롤러 어레이(121)는 유리기판(S)을 공정 챔버로 향하게 하는 이송 캐리어(110)의 이동 경로를 따라 서로 평행하게 2열로 배열되어 있는 복수 개의 롤러로 이루어진다. 즉, 구동 롤러 어레이(121)는 이송 캐리어(110)의 이동 경로를 제공한다. 도시하진 않았지만, 이러한 구동 롤러 어레이(121)를 이루는 복수 개의 롤러는 유리기판 이송장치(100)의 외관을 이루는 프레임에 장착될 수 있다. 구동 롤러 어레이(121)는 체인, 벨트 등을 매개하여 적어도 2개가 연동되어 상기 이송 캐리어를 등속 이송시킬 수 있다. The driving
이때, 이송되는 유리기판(S)을 공정 처리하기 위해서는 해당 공정 챔버에 유리기판(S)을 정확한 위치에 정지시켜야 한다. 이를 위해, 본 발명의 실시 예에서는 이송 캐리어(110)의 이동 경로 중 적어도 어느 한 지점, 즉, 공정 처리가 진행되는 구간 혹은 공정 챔버에, 유리기판(S)이 진입된 경우 이송 캐리어(110)의 캐리어 몸체부(111) 하부면에 고정 설치되어 있는 제1 자성체(131)와의 상호 작용을 통해 이송 캐리어(110)의 이동을 멈추게 하는 제2 자성체(132)가 형성되는데, 이에 대해서는 하기에서 보다 상세히 설명하기로 한다.
At this time, in order to process the transferred glass substrate S, the glass substrate S should be stopped at the correct position in the process chamber. For this, in the embodiment of the present invention, when the glass substrate S is introduced into at least one of the moving paths of the transporting
스토퍼유닛은 자성을 이용한 비접촉 방식을 통해 2열로 배열되어 있는 복수 개의 롤러로 이루어진 아이들러 롤러 어레이(122)를 따라 이동하는 이송 캐리어(110)를 정지시킨다. 본 발명의 실시 예에서, 이러한 스토퍼유닛은 제1 자성체(131) 및 제2 자성체(132)를 포함하여 형성될 수 있다.The stopper unit stops the conveying
여기서, 제1 자성체(131)는 이송 캐리어(110)의 하부면에 설치된다. 이러한 제1 자성체(131)는 영구자석으로 이루어질 수 있다. 이때, 이송 캐리어(110)의 하부면 가장자리는 2열로 배열되어 있는 복수 개의 롤러와 접촉되므로, 제1 자성체(131)는 복수 개의 롤러가 이루는 열과 열 사이의 간격보다 좁은 폭으로 형성되는 것이 바람직하다.Here, the first
또한, 제2 자성체(132)는 이송 캐리어(110)의 이동 경로 중 적어도 어느 한 지점, 즉, 공정 처리가 진행되는 구간, 예컨대, 해당 공정 챔버 내부에 설치될 수 있다. 이때, 제2 자성체(132)는 복수 개의 롤러가 이루는 열과 열 사이의 프레임(미도시)에 설치될 수 있다. 이러한 제2 자성체(132)는 발생되는 전자기력을 통해 이송 캐리어(110)의 하부면에 설치되어 있는 제1 자성체(131)를 끌어 당기게 된다.The second
한편, 스토퍼유닛은 제2 자성체(132)의 전방, 즉, 제2 자성체(132)를 기준으로 볼 때, 이송 캐리어(110)가 진입되는 쪽에 설치되어 이송 캐리어(110)의 진입 여부를 감지하는 감지센서(133)를 포함할 수 있다.On the other hand, the stopper unit is installed on the side where the conveying
본 발명의 실시 예에 따른 유리기판 이송장치(100)는 제1 자성체(131), 제2 자성체(132) 및 감지센서(133)로 이루어진 스토퍼유닛을 통한 비접촉 방식으로 롤러 어레이를 따라 이동 혹은 해당 구간에 진입하는 이송 캐리어(110)를 원하는 위치에 정지시킬 수 있다.The glass
즉, 감지센서(133)로부터 센싱된 이송 캐리어(110)의 진입 신호가 메인 컨트롤러(미도시)에 전달되면, 메인 컨트롤러(미도시)는 제2 자성체(132)를 구동하는 신호를 출력하고, 이에 따라, 제2 자성체(132)에는 전류가 공급되어, 전자기력이 발생된다. 이와 같이 제2 자성체(132)에 전자기력이 발생되면, 이동되는 이송 캐리어(110)의 하부면에 고정 설치되어 있는 영구자석인 제1 자성체(131)가 제2 자성체(132)의 전자기력에 반응하여, 제1 자성체(131)와 제2 자성체(132) 사이에 전자기적인 인력이 작용하게 되고, 이로 인해, 이동되는 이송 캐리어(110)의 이동 속도는 감소하게 된다. 그리고 제1 자성체(131)와 제2 자성체(132)가 이루는 최단 거리 구간에 이송 캐리어(110)가 도달하게 되면, 제1 자성체(131)와 제2 자성체(132) 사이에 작용하는 인력이 최대가 되어, 이송 캐리어(110)는 그 위치에서 멈추게 된다. 이때, 제1 자성체(131)와 제2 자성체(132)가 이루는 최단 거리 구간은 제2 자성체(132) 상에 제1 자성체(131)가 수직하게 위치되는 구간이다.The main controller (not shown) outputs a signal for driving the second
이와 같이, 제1 자성체(131)와 제2 자성체(132) 간의 자성을 이용한 비접촉 방식으로 이송 캐리어(110)를 원하는 구간에 정지시키게 되면, 유리기판(S)에 가해지는 충격을 최소화하여 유리기판(S)의 깨짐을 방지할 수 있음은 물론, 공정 처리 구간에 유리기판(S)을 정위치시킬 수 있어, 유리기판(S)에 대한 원활한 공정 처리가 가능해진다.
When the conveying
이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시 예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.While the invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. This is possible.
그러므로 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.Therefore, the scope of the present invention should not be limited by the described embodiments, but should be determined by the scope of the appended claims as well as the appended claims.
100: 유리기판 이송장치 110: 이송 캐리어
111: 캐리어 몸체부 112: 유리기판 그립부
121: 구동 롤러 어레이 122: 아이들러 롤러 어레이
131: 제1 자성체
132: 제2 자성체 133: 감지센서
10: 유리기판100: Glass substrate transfer device 110: Transfer carrier
111: carrier body part 112: glass substrate grip part
121: Driving roller array 122: Idler roller array
131: first magnetic body
132: second magnetic body 133: detection sensor
10: glass substrate
Claims (8)
상기 이송 캐리어를 일 방향을 따라 이동 가능하게 하는 롤러 어레이; 및
상기 롤러 어레이를 따라 이동하는 상기 이송 캐리어를 정지시키는 스토퍼유닛;을 포함하고,
상기 롤러 어레이는 상기 이송 캐리어를 이송시키는 구동 롤러 어레이와, 상기 이송 캐리어를 단순 지지하는 아이들러 롤러 어레이를 포함하여 상기 구동 롤러 어레이로 이루어지는 구동 롤러 어레이 구간과 상기 아이들러 롤러 어레이로 이루어지는 아이들러 롤러 어레이 구간을 형성하고,
상기 스토퍼유닛은 자성을 이용한 비접촉 방식을 통해, 상기 아이들러 롤러 어레이 구간 내에 진입하여 상기 아이들러 롤러 어레이에 의하여 지지되며 이동하는 상기 이송 캐리어를 정지시키는 것을 특징으로 하는 자성 스토퍼유닛을 구비하는 유리기판 이송장치.A transporting carrier for supporting a glass substrate to be loaded;
A roller array for moving the transporting carrier along one direction; And
And a stopper unit for stopping the conveyance carrier moving along the roller array,
Wherein the roller array includes a driving roller array for transferring the conveying carriers and an idler roller array for simply supporting the conveying carriers, and a driving roller array section including the driving roller array and an idler roller array section including the idler roller array Forming,
Wherein the stopper unit enters the idler roller array section through a non-contact type using magnetic force, stops the transport carrier supported by the idler roller array, and moves the stopper unit. .
상기 스토퍼유닛은,
상기 이송 캐리어에 설치되는 제1 자성체, 및
상기 이송 캐리어의 이동 경로 중 적어도 한 지점에 설치되고, 상기 제1 자성체를 끌어 당기는 제2 자성체를 포함하는 것을 특징으로 하는 자성 스토퍼유닛을 구비하는 유리기판 이송장치.The method according to claim 1,
The stopper unit includes:
A first magnetic body provided on the transport carrier, and
And a second magnetic body that is provided at least one of a movement path of the transfer carrier and pulls the first magnetic body.
상기 제1 자성체는 영구자석이고, 상기 제2 자성체는 전자석인 것을 특징으로 하는 자성 스토퍼유닛을 구비하는 유리기판 이송장치.3. The method of claim 2,
Wherein the first magnetic body is a permanent magnet, and the second magnetic body is an electromagnet.
상기 스토퍼유닛은 상기 제2 자성체의 전방에 설치되어, 상기 이송 캐리어의 진입 여부를 감지하는 감지센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자성 스토퍼유닛을 구비하는 유리기판 이송장치.3. The method of claim 2,
Wherein the stopper unit further comprises a detection sensor installed in front of the second magnetic body for detecting whether the transfer carrier enters or exits.
상기 롤러 어레이는 상기 이송 캐리어의 이동 경로를 따라 서로 평행하게 2열로 배열되어 있는 복수 개의 롤러로 이루어지는 것을 특징으로 하는 자성 스토퍼유닛을 구비하는 유리기판 이송장치.3. The method of claim 2,
Wherein the roller array comprises a plurality of rollers arranged in two rows in parallel with each other along a movement path of the transporting carrier.
상기 이송 캐리어는,
상기 롤러 어레이 상에 안착되는 캐리어 몸체부, 및
상기 캐리어 몸체부의 일측에 연결되고, 상기 유리기판의 가장자리를 파지하여 상기 유리기판을 세워진 상태로 이송시키는 유리기판 그립부를 포함하는 것을 특징으로 하는 자성 스토퍼유닛을 구비하는 유리기판 이송장치.The method according to claim 1,
The transfer carrier
A carrier body portion seated on the roller array, and
And a glass substrate grip portion connected to one side of the carrier body portion and gripping an edge of the glass substrate to transport the glass substrate in a raised state.
상기 유리기판은 상기 롤러 어레이보다 상대적으로 낮은 위치에서 이송되는 것을 특징으로 하는 자성 스토퍼유닛을 구비하는 유리기판 이송장치.The method according to claim 6,
Wherein the glass substrate is transported at a relatively lower position than the roller array.
상기 구동 롤러 어레이는 적어도 2개가 연동되어 상기 이송 캐리어를 등속 이송시키는 것을 특징으로 하는 자성 스토퍼유닛을 구비하는 유리기판 이송장치.The method according to claim 1,
Wherein at least two of the drive roller arrays are interlocked to transfer the transporting carrier at a constant speed.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020140093343A KR101552637B1 (en) | 2014-07-23 | 2014-07-23 | Apparatus for transferring glass substrate having a magnetic stopper unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020140093343A KR101552637B1 (en) | 2014-07-23 | 2014-07-23 | Apparatus for transferring glass substrate having a magnetic stopper unit |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR101552637B1 true KR101552637B1 (en) | 2015-09-11 |
Family
ID=54248120
Family Applications (1)
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| KR1020140093343A KR101552637B1 (en) | 2014-07-23 | 2014-07-23 | Apparatus for transferring glass substrate having a magnetic stopper unit |
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| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101552637B1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3904248A1 (en) * | 2020-04-27 | 2021-11-03 | B&R Industrial Automation GmbH | Support structure for a planar motor |
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2014
- 2014-07-23 KR KR1020140093343A patent/KR101552637B1/en active IP Right Grant
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