KR101548375B1 - 약품 처리용 기판 이송 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 약품조 내에서 기판을 이송하는 약품 처리용 기판 이송 장치에 관한 것으로, 구동모터에 연결되어 회전하는 제1스프로킷부재, 상기 제1스프로킷부재와 이격되게 배치되며 회전 가능한 제2스프로킷부재, 상기 제1스프로킷부재와 상기 제2스프로킷부재에 양단이 각각 감기는 체인부재 및 상기 체인부재에 장착되어 무한궤도 이동하며 기판이 끼워져 고정되는 복수의 기판홀더부재를 포함하여 무한궤도 타입으로 다수의 기판을 연속적으로 이송시켜 다수의 기판을 약품처리하는 시간을 단축시키며 생산성을 향상시키고, 간단한 구조로 기판을 효율적으로 이송시켜 설치 비용과 유지 비용을 크게 줄인다.

Description

약품 처리용 기판 이송 장치{SUBSTRATE MOVING APPARATUS OF CHEMICAL TREATMENT}
본 발명은 약품 처리용 기판 이송 장치에 관한 것으로 더 상세하게는 리드 프레임 또는 PCB 등의 기판을 연속적으로 약품 처리할 수 있는 약품 처리용 기판 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 기판, 리드 프레임, PCB 등의 기판의 표면을 도금, 세척, 불순물 제거 등의 이유로 약품 처리를 하고 있다.
약품 처리를 위해 기판을 약품조 내에서 이송시키는 종래기술로는 국내특허공개 제2011-0045929호 '이송대상체 적재용 트레이 및 이를 이용한 이송유닛'(2011.05.04 공개)이 개시되었다.
도1은 상기 국내특허공개 제2011-0045929호 '이송대상체 적재용 트레이 및 이를 이용한 이송유닛'(2011.05.04 공개)을 도시한 도면으로서,
종(縱)방으로 복수의 장착부(11)를 갖고 횡(橫)방으로 상호 이격 배열된 두 지지체(10); 샤프트(21), 그리고 상기 샤프트(21) 양단부(兩端部)에 각각 결합되는 두 지지이송롤러(22)를 포함하고, 상기 샤프트(21)가 상기 두 지지체(10)에서 횡방의 동일 직선상에 위치한 양 장착부(11)들에 회전 가능하게 장착되되 상기 두 지지이송롤러(22)가 상기 두 지지체(10) 내측에 위치하게 되는 복수의 회전이송체(20); 상기 각 회전이송체(20)의 두 지지이송롤러(22)에 양단부가 지지되게 얹히는 이송대상체(1) 적재용 트레이(30); 및 상기 회전이송체(20)의 각 샤프트(21)를 회전시켜 상기 트레이(30)를 이송시키기 위한 구동수단(40);을 포함하여 이루어지되, 상기 트레이(30)는 사각 프레임(31), 그리고 상기 사각 프레임(31) 내에 종 또는 횡 방향으로 일정 간격을 두고 배열되거나, 격자(格子) 형태로 배열되는 다수의 와이어(322)를 갖는 서포트(32)로 이루어진 것을 특징으로 한다.
상기 상기 국내특허공개 제2011-0045929호 '이송대상체 적재용 트레이 및 이를 이용한 이송유닛'(2011.05.04 공개)은 약품조 내에 다수의 이송롤러를 배치하는 관계로 다수의 기판을 하나의 약품조 내로 처리하기 위해서는 약품조의 크기가 대형화되어 설치공간이 많이 소요되고, 설치 비용 및 유지 비용이 많이 드는 문제점이 있고, 기판의 연속적인 약품 처리가 불가능하고, 다수의 기판을 약품처리하는 데 있어 작업 시간이 오래 걸리는 문제점이 있다.
본 발명은 이와 같이 종래기술이 갖는 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 무한궤도 구조로 기판의 연속적인 약품 처리가 가능하고, 간단한 구조를 가져 설치 비용과 유지 비용을 크게 줄인 약품 처리용 기판 이송 장치를 제공하는 데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 약품 처리용 기판 이송 장치는, 약품조 내에서 기판을 이송하는 약품 처리용 기판 이송 장치이며, 구동모터에 연결되어 회전하는 제1스프로킷부재;
상기 제1스프로킷부재와 이격되게 배치되며 회전 가능한 제2스프로킷부재;
상기 제1스프로킷부재와 상기 제2스프로킷부재에 양단이 각각 감기는 체인부재; 및
상기 체인부재에 장착되어 무한궤도 이동하며 기판이 끼워져 고정되는 복수의 기판홀더부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 상기 기판홀더부재는, 상기 체인부재 상에 장착되는 체인장착부; 및 상기 체인장착부 상에 세워지는 기판지지부;를 포함하며, 상기 체인장착부의 일단부 측에 상기 체인장착부의 타단부가 삽입되어 결합하는 결합홈부가 구비될 수 있다.
상기 기판홀더부재는, 상기 기판지지부가 상기 체인장착부의 일단부에 세워져 'ㄴ'자 형태를 가질 수 있다.
본 발명에서 상기 기판지지부에서 상기 체인장착부의 일단부 측을 향한 면에 기판의 단부 측을 파지하는 기판 파지부가 돌출될 수 있다.
본 발명에서 상기 기판 파지부는, 상단부에서 하단부로 경사진 가이드 면이 형성될 수 있다.
본 발명에서 상기 기판 파지부는, 상기 기판지지부의 일면에 이격되게 2열로 형성될 수 있다.
본 발명에서 상기 기판 파지부는 하단부로 상기 결합홈부가 형성되도록 하단부가 상기 체인장착부의 일단부 측에 돌출되게 형성될 수 있다.
본 발명에서 상기 기판홀더부재는 체인장착부가 다른 한 기판홀더부재의 체인장착부의 상기 결합홈부 내로 삽입되어 결합되는 형태로 상기 체인부재의 전체 길이에 연속적으로 결합되어 배치될 수 있다.
위와 같이 구성되는 본 발명은 무한궤도 타입으로 다수의 기판을 연속적으로 이송시켜 다수의 기판을 약품처리하는 시간을 단축시키며 생산성을 향상시키는 효과가 있다.
또한 본 발명은 간단한 구조로 기판을 효율적으로 이송시켜 설치 비용과 유지 비용을 크게 줄이는 효과가 있다.
도 1 은 종래기술에 따른 기판 이송 장치를 도시한 도면.
도 2 는 본 발명에 따른 약품 처리용 기판 이송 장치를 개략적으로 도시한 정면도와 평면도.
도 3 은 본 발명에 따른 약품 처리용 기판 이송 장치에서 기판홀더부재의 일 예를 도시한 사시도.
도 4 는 본 발명에 따른 약품 처리용 기판 이송 장치에서 기판홀더부재의 일 예를 도시한 측면도
도 5 는 본 발명에 따른 약품 처리용 기판 이송 장치에서 기판홀더부재의 일 예를 도시한 분해사시도
도 6 은 본 발명에 따른 약품 처리용 기판 이송 장치에서 기판홀더부재의 다른 예를 도시한 분해사시도
이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명을 상세히 설명하도록 한다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 구현예(態樣, aspect)(또는 실시예)들을 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
각 도면에서 동일한 참조부호, 특히 십의 자리 및 일의 자리 수, 또는 십의 자리, 일의 자리 및 알파벳이 동일한 참조부호는 동일 또는 유사한 기능을 갖는 부재를 나타내고, 특별한 언급이 없을 경우 도면의 각 참조부호가 지칭하는 부재는 이러한 기준에 준하는 부재로 파악하면 된다.
도 2를 참고하면, 본 발명에 따른 약품 처리용 기판 이송 장치는 약품조(3) 내에서 기판(1)을 이송하는 약품 처리용 기판 이송 장치이다.
본 발명에 따른 약품 처리용 기판 이송 장치는 약품조(3) 내에서 약품액 내부에 침지되어 이격되게 배치되는 제1스프로킷부재(10)와 제2스프로킷부재(20)를 포함하고,
상기 체인부재(30)와 상기 기판홀더부재(40)가 2열로 구비되어 기판(1)을 안정적으로 파지하여 약품조 내에서 이송한다.
상기 제1스프로킷부재(10)와 상기 제2스프로킷부재(20)는 상기 약품조(3) 내에서 회전 가능하게 배치되며, 상기 제1스프로킷부재(10)는 구동모터에 연결되어 회전하는 구동 스프로킷이며, 상기 제2스프로킷부재(20)는 체인부재(30)에 의해 상기 제1스프로킷부재(10)의 구동력을 전달받아 회전하는 종동스크로킷인 것을 일 예로 한다.
상기 체인부재(30)는 양 단부가 각각 상기 제1스프로킷부재(10)와 상기 제2스프로킷부재(20)에 감겨져 상기 제1스프로킷부재(10)의 구동력을 상기 제2스프로킷부재(20)로 전달하며 무한 궤도 이동한다.
상기 체인부재(30)에는 상기 기판홀더부재(40)가 볼트로 체결될 수 있도록 하는 브라켓(31)이 구비된다.
상기 기판홀더부재(40)는 엔지니어링 플라스틱으로 제조되는 것을 일 예로 한다.
상기 기판홀더부재(40)는 사이에 약품처리 대상인 기판(1)이 끼워져 삽입되는 기판삽입홈부가 구비된다.
도 3은 본 발명에 따른 약품 처리용 기판 이송 장치에서 기판홀더부재(40)의 일 예를 도시한 사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 약품 처리용 기판 이송 장치에서 기판홀더부재(40)의 일 예를 도시한 측면도이다.
도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 기판홀더부재(40)는, 상기 체인부재(30)의 상에 연속적으로 서로 결합되어 사이에 되어 사이에 기판(1)이 삽입되는 기판삽입홈부가 형성되는 예이다.
상기 기판홀더부재(40)는, 상기 체인부재(30) 상에 장착되는 체인장착부(41); 상기 체인장착부(41) 상에 세워지는 기판지지부(42);를 포함하여 'ㄴ'자 형태를 가지고, 상기 체인장착부(41)의 일단부 측에 상기 체인장착부(41)의 타단부가 삽입되어 결합하는 결합홈부(41a)가 구비되는 것이 바람직하다.
상기 체인장착부(41)에는 상, 하 방향으로 관통된 볼트구멍이 형성되어 상기 볼트구멍을 관통하는 장착볼트에 의해 상기 체인부재(30)에 볼트 결합으로 장착되는 것을 일 예로 한다.
즉, 상기 기판홀더부재(40)는 동일한 형상으로 다수 제조되어 어느 한 기판홀더부재(40)의 체인장착부(41)가 다른 한 기판홀더부재(40)의 체인장착부(41)의 상기 결합홈부(41a) 내로 삽입되어 결합됨으로써 상기 체인부재(30)의 전체 길이에 연속적으로 결합된다.
상기 체인부재(30)에 서로 연속적으로 결합된 상기 기판홀더부재(40)는, 상기 기판지지부(42) 사이에 기판삽입홈부가 형성되는 것이다.
또한, 상기 기판지지부(42)는 상기 체인장착부(41)의 일단부에 세워지며 상기 기판지지부(42)에서 상기 체인장착부(41)의 일단부 측을 향한 면에 기판(1)의 단부 측을 파지하는 기판 파지부(42a)가 돌출된다.
상기 기판 파지부(42a)는 다른 기판지지부(42)와의 사이에 상기 기판(1)을 끼워 고정하며 하단부로 상기 결합홈부(41a)가 형성되도록 하단부가 상기 체인장착부(41)의 일단부 측에 돌출되게 형성된다.
상기 기판 파지부(42a)는, 상단부에서 하단부로 경사진 가이드 면이 형성되어 상기 가이드면으로 상기 기판(1)을 하단부로 자연스럽게 안내하여 하단부에서 다른 기판지지부(42)와의 사이에 기판(1)을 안정적으로 끼워 고정할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
상기 기판 파지부(42a)는, 상기 기판지지부(42)의 일면에 이격되게 2열로 형성되어 기판을 안정적으로 끼워 고정할 수 있도록 형성된다.
상기 기판홀더부재(40)는, 상기 체인부재(30)에 볼트 체결로 장착되고, 상기 체인장착부(41)가 다른 기판홀더부재(40)의 체인장착부(41)가 서로 연속적으로 결합되어 상기 기판지지부(42)들의 사이에 각각 기판(1)이 상비되는 기판삽입홈부가 형성되어 각 기판삽입홈부 내로 다수의 기판(1)이 연속적으로 끼워져 고정되어 이동하는 것이다.
또한, 상기 기판홀더부재(40)는 연속적으로 연결되고 상기 기판지지부(42)들 사이에 모두 기판(1)이 끼워지는 기판삽입홈부가 형성되므로 상기 기판삽입홈부로 기판(1)을 삽입시키는 작업이 원활하고, 기판(1)을 끼워 넣는 중에 잘못된 위치로 끼워지는 사고가 발생될 위험이 전혀없다.
도 6은 본 발명에 따른 약품 처리용 기판 이송 장치에서 기판홀더부재(40A)의 다른 예를 도시한 사시도이고, 도 5를 참고하면 상기 기판홀더부재(40)는, 체인에 장착되는 체인장착부(41); 및
상기 체인장착부(41)의 양단부 측에 각각 세워져 고정되는 제1기판지지부(43)와 제2기판지지부(44)를 포함하여 상기 제1기판지지부(43)와 상기 제2기판지지부(44) 사이에 기판(1)이 삽입되는 기판삽입홈부(45)가 형성된 'ㄷ'자형 형태일 수도 있다.
참고로, ㄷ자형 형태를 가지는 상기 기판홀더부재(40A)는 다른 기판홀더부재(40A)의 사이로 기판(1)이 삽입되는 경우 기판(1)이 제대로 파지되지 못하고 기판(1)이 파손되는 사고가 발생될 수 있는 단점이 있다.
그래서 도6에 도시된 'ㄷ'자 모양의 기판홀더부재 보다는 도2 내지 도5에 도시된 'ㄴ'자 모양의 기판홀더부재가 더 바람직할 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 따른 약품 처리용 기판 이송 장치는 무한궤도 타입으로 다수의 기판(1)을 연속적으로 이송시켜 다수의 기판(1)을 약품처리하는 시간을 단축시키며 생산성을 향상시킨다.
본 발명은 간단한 구조로 기판(1)을 효율적으로 이송시켜 설치 비용과 유지 비용을 크게 줄인다.
이상의 설명에서 제1스프로킷부재, 제2스프로킷부재, 체인부재과 구동모터의 구성과 관련된 통상의 공지된 기술은 생략되어 있으나, 당업자라면 용이하게 이를 추측 및 추론하고 재현할 수 있다.
또 이상에서 본 발명을 설명함에 있어 첨부된 도면을 참조하여 특정 형상과 구조를 갖는 접이 침대를 위주로 설명하였으나 본 발명은 당업자에 의하여 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능하고, 이러한 수정, 변경 및 치환은 본 발명의 보호범위에 속하는 것으로 해석되어야 한다.
1 : 기판 10 : 제1스프로킷부재
20 : 제2스프로킷부재 30 : 체인부재
40 : 기판홀더부재 41 : 체인장착부
41a : 결합홈부 42 : 기판지지부
42a : 기판 파지부 43 : 제1기판지지부
44 : 제2기판지지부

Claims (4)

  1. 약품조 내에서 기판을 이송하는 약품 처리용 기판 이송 장치이며, 구동모터에 연결되어 회전하는 제1스프로킷부재;
    상기 제1스프로킷부재와 이격되게 배치되며 회전 가능한 제2스프로킷부재;
    상기 제1스프로킷부재와 상기 제2스프로킷부재에 양단이 각각 감기는 체인부재; 및
    상기 체인부재에 장착되어 무한궤도 이동하며 기판이 끼워져 고정되는 복수의 기판홀더부재를 포함하되,

    상기 기판홀더부재는,
    상기 체인부재 상에 장착되는 체인장착부; 및
    상기 체인장착부 상에 세워지는 기판지지부;를 포함하며,
    상기 체인장착부의 일단부 측에 상기 체인장착부의 타단부가 삽입되어 결합하는 결합홈부가 구비되는 것을 특징으로 하는 약품 처리용 기판 이송 장치.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판홀더부재는, 상기 기판지지부가 상기 체인장착부의 일단부에 세워져 'ㄴ'자 형태를 가지는 것을 특징으로 하는 약품 처리용 기판 이송 장치.
  4. 청구항 1 또는 청구항 3에 있어서,
    상기 기판지지부에서 상기 체인장착부의 일단부 측을 향한 면에 기판의 단부 측을 파지하는 기판 파지부가 돌출되는 것을 특징으로 하는 약품 처리용 기판 이송 장치.
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