KR101273511B1 - Non-contact Plate Transferring Device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 다양한 장비로부터 평판의 검사 및 측정작업이 용이하고 평판의 결함을 정확하게 검출할 수 있으며 강한 부양력을 생성시킴에 따라 평판을 흔들림 없이 안전하게 이송시켜 제품의 불량률을 최소화함은 물론 제품의 품질을 극대화함을 제공하도록, 내부로 고압의 유체가 공급될 수 있도록 가로로 길게 중공된 유체공급로를 형성하고, 상기 유체공급로로부터 공급된 유체가 분사되면서 평판에 부양력을 생성시킬 수 있도록 유체의 흐름을 유도하는 노즐홈이 상면에 복수로 형성되며, 상기 유체공급로와 노즐홈이 서로 연통하도록 수직연결하는 토출로가 형성되는 메인플레이트와; 상기 메인플레이트의 노즐홈 내에 위치하도록 머리부가 형성되고, 상기 머리부의 하단으로 연장되어 상기 메인플레이트의 토출로에 고정설치하도록 결합부가 형성되며, 상기 결합부의 외주연에는 상기 토출로로부터 수직으로 연통하여 유체공급이 가능하도록 제1노즐로가 형성되는 노즐부재와; 상기 노즐부재의 결합부에 결합하고 유체를 상기 노즐홈을 향해 분사할 수 있도록 둘레를 따라 적어도 1개 이상의 노즐구가 형성되며, 상기 노즐부재의 제1노즐로가 상기 노즐구에 연결되도록 상기 제1노즐로의 상측 선단으로 연통하는 제2노즐로가 형성된 와셔부재;를 포함하는 비접촉 평판 이송장치를 제공한다..The present invention is easy to inspect and measure the flat plate from a variety of equipment, it is possible to accurately detect the defects of the flat plate and generate a strong flotation force to safely transport the plate without shaking to minimize the defect rate of the product as well as to improve the quality of the product In order to provide maximization, a horizontally hollow fluid supply path is formed to be supplied with a high pressure fluid therein, and the fluid supplied from the fluid supply path is sprayed to generate flotation force on the plate. A main plate having a plurality of nozzle grooves to guide the upper surface, and a discharge path for vertically connecting the fluid supply path and the nozzle grooves to communicate with each other; The head is formed to be located in the nozzle groove of the main plate, the coupling portion is formed to extend to the lower end of the head portion to be fixed to the discharge path of the main plate, the outer periphery of the coupling portion communicates vertically from the discharge path A nozzle member in which a first nozzle is formed to enable fluid supply; At least one nozzle hole is formed along a circumference to be coupled to the engaging portion of the nozzle member and inject the fluid toward the nozzle groove, and the first nozzle of the nozzle member is connected to the nozzle hole. It provides a non-contact plate conveying apparatus comprising a; washer member formed with a second nozzle in communication with the upper end of the one nozzle.

Description

비접촉 평판 이송장치{Non-contact Plate Transferring Device}Non-contact Plate Transferring Device

본 발명은 비접촉 평판 이송장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 평판에 부양력을 가하여 부양이송하며 이송시 평판이 자중에 의해 쳐지거나 굽어지는 현상을 방지하므로 다양한 장비로부터 평판의 검사 및 측정작업이 용이하고 평판의 결함을 정확하게 검출할 수 있으며 강한 부양력을 생성시킴에 따라 평판을 흔들림 없이 안전하게 이송시켜 제품의 불량률을 최소화함은 물론 제품의 품질을 극대화하는 것이 가능한 비접촉 평판 이송장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a non-contact flat plate conveying apparatus, and more particularly, it is easy to inspect and measure the flat plate from a variety of equipment because the flotation is applied by applying a flotation force to the plate and prevents the plate from being struck or bent by its own weight. The present invention relates to a non-contact plate conveying device capable of accurately detecting a defect of a plate and generating a strong flotation force to safely transport the plate without shaking, thereby minimizing product defect rate and maximizing product quality.

일반적으로, 인라인 검사장비(In-Line FPD Automatic Optical Inspection)는 TFT LCD 패널이나 PDP, 컬러필터 등의 디스플레이 패널(display panel) 등을 안내하면서 광학렌즈와 CCD 카메라를 사용하여 검사 대상물의 이미지를 캡쳐한 후 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 사용자가 찾아내고자 하는 각종 결함을 검출해 내는 장비이다. 이러한 인라인 검사장비는 크게 불량을 검출하는 스캔섹션(scan section)과 리뷰섹션(review section) 및 언로딩 섹션(unlaod section)으로 분할된다. 이와 같은 검사장비가 검사시스템으로서의 역할을 다하기 위해서는 검출한 결함의 위치와 크기를 정확하게 알아내는 것도 중요하지만, 스캔섹션에서부터 언로딩 섹션까지 평판을 안내하는 반송수단의 역할 또한 중요한 요소로 작용한다. 최근에는 평판을 안내하는 반송수단으로 엘씨디(LCD), 피디피(PDP), 디엘피(DLP), 에프피디(FPD) 등과 같은 평판패널을 공기부양시켜 이송하도록 구성되는 공기부양식 평판패널 이송장치가 실용화되어 이용되고 있는 실정이다.
In general, in-line FPD automatic optical inspection captures an image of an inspection object using an optical lens and a CCD camera while guiding a display panel such as a TFT LCD panel, a PDP, a color filter, etc. It is a device that detects various defects that a user wants to find by applying an image processing algorithm. The inline inspection equipment is largely divided into a scan section, a review section, and an unlaod section for detecting a defect. In order for such inspection equipment to function as an inspection system, it is important to accurately determine the position and size of the detected defect, but the role of the conveying means for guiding the plate from the scan section to the unloading section also plays an important role. Recently, as a conveying means for guiding a flat plate, an air-floating flat panel conveying device configured to convey and float a flat panel such as LCD, PDP, DLP, FPD, etc. The situation is practical and used.

상기와 같은 공기부양식 평판패널 이송장치와 관련하여 대한민국 특허등록 제10-0650290호에는, 고압의 압축에어가 공급되는 하부플레이트와, 상기 하부플레이트의 상부에 고정볼트에 의해서 고정되면서 에어가 분출되는 다수의 에어홀이 형성된 상부플레이트와, 상기 하부플레이트 및 상기 상부플레이트 사이에 배치되는 통상의 실리콘 가스켓으로 이루어진 비접촉 반송플레이트에 있어서, 상기 에어홀은 상기 상부플레이트의 하부면 상에 내측으로 수직하게 연장 형성되는 제1확장안내부와, 상기 제1확장안내부의 연장단에서 상기 상부플레이트의 내측으로 연장됨과 아울러 상기 제1확장안내부의 직경보다 작은 직경을 가지면서 내주면 상에는 암나사가 형성 제2확장안내부와, 상기 제2확장안내부의 연장단에서 상기 상부플레이트의 상부면을 관통하는 미세안내부를 구비하고, 상기 제1확장안내부 및 상기 제2확장안내부에는 상기 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 변화시켜 상기 미세안내부로 분출되게 하는 저항수단이 끼워지도록 구성되어 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 분출시킴에 따라 패널을 반송할 때 떨림현상을 줄일 수 있는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송플레이트가 개발되어 있다.
In connection with the air-floating flat panel conveying device as described above, the Republic of Korea Patent Registration No. 10-0650290, the air is ejected while being fixed by a fixed bolt on the upper plate and the lower plate is supplied with a high-pressure compressed air In a non-contact conveying plate consisting of an upper plate having a plurality of air holes and a conventional silicon gasket disposed between the lower plate and the upper plate, the air holes extend vertically inward on the lower surface of the upper plate. A second extension guide part formed on the inner circumferential surface of the first extension guide part formed on the inner circumferential surface of the first extension guide part and extending from the extended end of the first extension guide part to the inside of the upper plate and smaller than the diameter of the first extension guide part; And extending from the extended end of the second extension guide to the upper surface of the upper plate. It is provided with a fine guide portion, the first expansion guide portion and the second expansion guide portion is configured to be fitted with a resistance means for ejecting the high-pressure compressed air to a low flow rate of the high pressure to be ejected to the fine guide portion is compressed A non-contact conveying plate has been developed which can reduce the shaking phenomenon when conveying the panel by ejecting air at a low flow rate of high pressure.

또한, 관련기술로서 대한민국 특허등록 제10-0913298호에는 상부면상 가운데에는 길이방향으로 진공챔버가 형성되고, 그 양쪽에는 이격되게 분출챔버가 형성되어 상기 진공챔버에는 외부의 진공펌프에서 흡입력을 인가받으며, 상기 분출챔버에는 외부의 콤푸레샤에서 압축공기를 인가받는 베이스; 상기 분출챔버 위에 장착되고, 내부에는 상기 분출챔버와 연통되는 다수의 분출로가 밀폐되게 형성되며, 상기 각각의 분출로에는 상측으로 관통되어 압축공기를 분출시키는 분사공이 형성되는 분출플레이트; 및 상기 진공챔버위에 양측이 상기 분출플레이트와 맞닿게 장착되어 틈새를 형성하고, 내부에는 상기 진공챔버와 연통되는 다수의 흡입로가 양측으로 개방되게 형성되어 상기 틈새로 흡입력이 작용되는 진공플레이트;를 포함한 구성으로 피반송물이 안정되게 반송하고 평탄도를 맞출 수 있는 것을 특징으로 하는 반송플레이트가 공지되어 있다.
In addition, as a related technology, the Republic of Korea Patent Registration No. 10-0913298 has a vacuum chamber is formed in the center in the longitudinal direction on the upper surface, the ejection chamber is formed spaced on both sides of the vacuum chamber is applied to the suction force from the external vacuum pump The ejection chamber has a base for receiving compressed air from an external compressor; An ejection plate mounted on the ejection chamber, the ejection plate having a plurality of ejection passages communicating with the ejection chamber therein, the ejection plate penetrating upwards to eject compressed air; And a vacuum plate having both sides mounted on the vacuum chamber to be in contact with the jet plate to form a gap, and a plurality of suction paths communicating with the vacuum chamber open to both sides, so that suction force is applied to the gap. A conveying plate is known which can convey a conveyed object stably and adjusts flatness by the structure comprised.

또한, 대한민국 특허등록 제10-0876337호에는 챔버가 형성된 하판과, 상기 하판의 상부면상에 겹쳐지며 상기 챔버와 연통되는 다수의 결합공을 갖는 중판과, 상기 중판의 상부면상에 겹쳐지며 상기 결합공들과 연통되는 에어분출공을 갖는 상판과, 상기 에어분출공으로 삽입 고정되고 상기 챔버의 에어를 수용하여 상기 에어분출공과의 사이 틈새로 유도하는 에어분출볼트를 포함하는 흡입력을 갖는 비접촉식 반송 플레이트에 있어서, 상기 에어분출볼트의 상단에는 상기 에어가 상측 사선방향으로 분출되도록 머리부가 형성되되, 상기 머리부의 하부면은 상측으로 연장될수록 벌어지는 사선이 형성되고, 상기 에어분출공의 상단은 라운딩되며, 상기 에어분출볼트의 상부면상에는 오목한 홈이 형성되어 반송과 동시에 소량의 흡입력이 발생되므로 미세한 떨림을 방지할 수 있는 것을 특징으로 하는 흡입력을 갖는 비접촉식 반송 플레이트가 공지되어 있다.
In addition, the Republic of Korea Patent Registration No. 10-0876337 has a lower plate formed with a chamber, a middle plate having a plurality of coupling holes overlapping on the upper surface of the lower plate and in communication with the chamber, overlapping the upper surface of the intermediate plate and the coupling hole In the non-contact conveying plate having a suction force comprising a top plate having an air ejection hole in communication with the field, and an air ejection bolt inserted into and fixed to the air ejection hole to receive the air in the chamber and guide the gap between the air ejection hole and the air ejection hole. A head portion is formed at an upper end of the air ejection bolt so that the air is ejected in an upward oblique direction, and a lower oblique line is formed as the lower surface of the head extends upward, and an upper end of the air ejection hole is rounded. A concave groove is formed on the upper surface of the ejection bolt, so a small amount of suction force is generated at the same time as the conveying bolt. BACKGROUND ART Non-contact conveying plates with suction force, which can prevent shaking, are known.

그러나, 상기와 같은 종래의 이송장치는 부양력에 의해 평판을 비접촉상태로 이송하기 때문에 얼룩이나 스크래치와 같은 흠집 없이도 평판을 이송할 수 있다는 이점이 있지만, 반면에 부양력을 생성시키는 유체의 공급이 부재된 공간에서는 평판이 아래로 과도하게 쳐지거나 굽어져 온전한 검사 및 측정작업이 어려운 단점이 있었다. 즉, 평판에 부양력을 생성시키는 이송장치는 복수로 설치하되 일정한 간격으로 서로 떨어져 설치되고 이송장치 간의 떨어진 공간에는 다양한 종류의 인라인 검사장비가 설치되어 이송 중인 평판을 검사하거나 측정하게 된다. 이처럼 이송장치 간에 서로 떨어져 부양력이 미치지 못하는 공간에서는 수평을 유지하며 이동중이던 평판이 갑자기 아래로 쳐지거나 굽어져 장비로부터 정확한 검사 및 측정결과를 얻지 못하고 평판의 결함을 온전히 찾아내지 못하거나 오차가 생기게 되는 문제점이 있었다.
However, the conventional conveying apparatus as described above has the advantage that the plate can be transported without any scratches such as stains or scratches because the plate is conveyed in a non-contact state by the flotation force, while the supply of fluid to generate the flotation force is absent. In the space, the plate was excessively bent or bent downward, making it difficult to inspect and measure intact. That is, a plurality of conveying devices for generating a floating force on the plate is installed apart from each other at regular intervals, and various types of in-line inspection equipment are installed in the space between the conveying devices to inspect or measure the plate being transported. In such a space where the floats are not separated from each other and the float cannot be leveled, the moving plate suddenly falls down or bends, and the inspection and measurement results cannot be obtained from the equipment, and the defects of the plate cannot be fully detected or an error occurs. There was a problem.

상기에서 전술한 문제는 다양한 종류의 평판 중에서도 강성이 있어서 쉽게 구부러지지 않는 리지드 평판(rigid plate)보다도 어느 정도의 강성은 있지만 자중만으로 쉽게 구부러지는 필름 등의 유연한 평판(flexible plate)에 크게 나타나게 된다. 또한, 최근에는 검사장비의 설비 및 온전한 검사와 측정 등의 이유로 이송장치 간의 간격을 가급적 넓혀 설치함에 따라 평판이 쳐지거나 굽어지는 현상으로부터 정확하면서도 온전한 검사 및 측정이 이루어질 수 있는 기술개발이 요구되는 실정이다.
The above-mentioned problem is large in rigidity among various kinds of flat plates, but the rigidity is somewhat greater than that of rigid plates, which are easily bent only by their own weight. In addition, in recent years, due to the installation of inspection equipment and the inspection and measurement, the gap between the transfer devices is widened as much as possible, so that the development of technology capable of accurate and intact inspection and measurement from flatness or bending phenomenon is required. to be.

상기와 같은 문제점을 해결하고자 이송시 평판의 직진도를 높이도록 이송 전에 평판을 미리 접어(folding)준 다음 펼쳐 평판이 소정의 굽어진 상태로 이송함에 따라 평판이 이송중에 쳐지거나 굽어지는 현상을 방지하도록 하였으나, 이는 불필요하게 평판을 접어야하는 작업과 함께 검사 후에는 다시 펼쳐야하는 작업으로 인해 작업이 늦춰지고, 평판이 지속해서 접힌 상태를 유지하기 위해서는 확실하게 접어야하기 때문에 제품의 손상될 위험도가 높으며 이로 인해 불량률의 증가 및 품질이 저하되는 등의 문제점이 있었다.
In order to solve the above problems, the plate is folded in advance and then unfolded so as to raise the straightness of the plate during the transfer to prevent the plate from being struck or bent during the transfer. However, this is delayed due to the work that unnecessarily needs to be folded together with the work that needs to be unfolded after inspection, and the risk of damage to the product is high because the work must be folded firmly in order to maintain the flat state. Due to this, there was a problem such as an increase in the defective rate and quality deterioration.

또한, 종래의 이송장치는 부양력을 생성시키기 위해 척력을 생성할 에어와 함께 인력을 생성할 진공의 공급이 필요하므로 에어 및 진공을 발생시키거나 공급할 수 있는 각각의 장치가 필요하여 설비비용이 많이 소요된다는 문제점이 있었다. 따라서, 최근에는 에어 공급만으로 인력과 척력을 동시에 생성시킬 수 있는 이송장치가 개발되어 사용되고 있으나 평판을 부양하기 위해 생성되는 부양력이 약하고, 이송장치의 구조 및 각 구성들이 복잡한 형상을 이루므로 제작과정에서 가공이 어렵다는 문제점이 있었다.
In addition, the conventional transfer device requires the supply of a vacuum to generate a manpower together with the air to generate the repulsive force to generate the buoyancy, so each device capable of generating or supplying air and vacuum requires a lot of equipment cost There was a problem. Therefore, in recent years, a transport device capable of simultaneously generating manpower and repulsive force by air supply has been developed and used. However, the flotation force generated to support a flat plate is weak, and the structure and components of the transport device form a complicated shape. There was a problem that processing is difficult.

더불어, 종래에 사용되었던 이송장치는 평판을 부양하기 위해 생성되는 부양력 중에서 평판을 끌어당기는 힘인 척력에 비해 평판을 밀어내는 힘인 인력이 상대적으로 크게 작용하므로 평판을 수평상태로 이송하지 못하는 문제점이 있었다. 즉, 공기의 흐름에 의해 생성되는 부양력 중에서 척력을 발생시키는 진공의 크기에 비해 인력을 발생시키도록 사방에서 흘러나와 서로 접촉하는 압력의 크기가 상대적으로 높게 발생하므로 평판이 균일하게 수평이송되지 못하고 이송중인 평판이 심하게 진동하는 문제점이 있었다.
In addition, the transfer apparatus used in the related art has a problem in that the flat plate does not move horizontally because the attraction force, which pushes the flat plate, is relatively large, compared to the repulsive force, which is the pulling force of the flat plate, among the floating force generated to support the flat plate. That is, since the pressures flowing from all sides and contacting each other are generated relatively higher than the magnitude of the vacuum that generates the repulsive force among the buoyancy generated by the flow of air, the flat plate cannot be transported evenly horizontally. There was a problem that the plate being vibrated violently.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 평판이 미세하게 굽어진 상태를 유지하며 이송되도록 구성하여 검사장비의 설치로 인해 부양력이 부재된 공간에서도 평판의 자중으로 쳐지거나 굽어지는 현상을 방지하고, 이는 다양한 장비로부터 평판의 검사 및 측정작업이 용이하여 각종결함을 정확하게 검출할 수 있으며, 명확한 검사 및 측정에 따른 작업으로 제품의 불량률을 최소화하면서 제품의 품질은 극대화하는 것이 가능한 비접촉 평판 이송장치를 제공하는데, 그 목적이 있다.
The present invention is to solve the above problems, the plate is configured to be transported while maintaining a finely bent state to prevent the phenomenon of being hit or bent by the weight of the plate even in the absence of buoyancy due to the installation of the inspection equipment It is easy to inspect and measure the flat plate from various equipments to accurately detect various defects, and it is a non-contact flatbed conveying device that can maximize the quality of the product while minimizing the defect rate of the product by working according to the clear inspection and measurement. To provide, the purpose is.

뿐만 아니라, 본 발명은 부양력에 의해 이송되는 과정에서 평판이 미세하게 자동으로 접힌 후 평형상태로의 부양이송이 가능함에 따라 평판을 이송하기 전에 접거나 이송된 후의 접힌 평판을 피는 작업이 불필요하여 작업의 편의성 및 신속성을 도모하고, 평판이 과도하게 접히는 현상을 방지하여 수평상태를 유지할 수 있으므로 제품의 불량률을 줄이면서 품질은 높이는 것이 가능한 비접촉 평판 이송장치를 제공하기 위한 것이다.
In addition, the present invention does not need to avoid the folded plate after the folded or conveyed before the transfer of the flat plate can be transferred to the equilibrium state after the plate is automatically finely folded in the process of the flotation force to work It is to provide a non-contact flat plate conveying device capable of improving the convenience and speed of the product, and preventing the plate from being excessively folded to maintain a horizontal state, thereby reducing the defect rate of the product and improving the quality.

또한, 본 발명은 결합구조가 매우 간단하고 부양력을 생성시키는 수단이 간단한 형상을 이루므로 제작과정에서 가공이 용이하고, 유체의 흐름으로부터 높은 압력을 생성시킨 다음 급격한 유속으로의 이동이 가능한 구조를 이루므로 강한 부양력을 생성시켜 평판을 흔들림 없이 안전하게 이송시키는 것이 가능한 비접촉 평판 이송장치를 제공하기 위한 것이다.
In addition, the present invention has a very simple coupling structure and the means for generating the buoyancy to form a simple shape is easy to process in the manufacturing process, to create a structure capable of generating a high pressure from the flow of the fluid and then move to a rapid flow rate Therefore, it is to provide a non-contact plate conveying device capable of generating a strong flotation force to safely transport the plate without shaking.

또한, 본 발명은 평판에 부양력을 생성하도록 공급되는 압력이 흘러나갈 수 있는 수단을 형성하여 공기가 흐르면서 서로 접하는 특정위치에서 압력이 과도하게 높아지는 현상을 방지하므로 평판에 부양력을 적용하는 인력과 척력의 비율이 서로 평형을 이뤄 평판의 진동량을 최소화하면서 수평이송하는 것이 가능한 비접촉 평판 이송장치를 제공하기 위한 것이다.
In addition, the present invention forms a means by which the pressure supplied to generate a flotation force on the plate to prevent the phenomenon of excessively high pressure at a specific position in contact with each other as the air flows, so that the force of the attraction and repulsive force applied to the plate It is to provide a non-contact plate conveying device capable of horizontal transfer while the ratio is balanced with each other to minimize the amount of vibration of the plate.

본 발명이 제안하는 비접촉 평판 이송장치는 내부로 고압의 유체가 공급될 수 있도록 가로로 길게 중공된 유체공급로를 형성하고, 상기 유체공급로로부터 공급된 유체가 분사되면서 평판에 부양력을 생성시킬 수 있도록 유체의 흐름을 유도하는 노즐홈이 상면에 복수로 형성되며, 상기 유체공급로와 노즐홈이 서로 연통하도록 수직연결하는 토출로가 형성되는 메인플레이트와; 상기 메인플레이트의 노즐홈 내에 위치하도록 머리부가 형성되고, 상기 머리부의 하단으로 연장되어 상기 메인플레이트의 토출로에 고정설치하도록 결합부가 형성되며, 상기 결합부의 외주연에는 상기 토출로로부터 수직으로 연통하여 유체공급이 가능하도록 제1노즐로가 형성되는 노즐부재와; 상기 노즐부재의 결합부에 결합하고 유체를 상기 노즐홈을 향해 분사할 수 있도록 둘레를 따라 적어도 1개 이상의 노즐구가 형성되며, 상기 노즐부재의 제1노즐로가 상기 노즐구에 연결되도록 상기 제1노즐로의 상측 선단으로 연통하는 제2노즐로가 형성된 와셔부재;를 포함하여 이루어진다.
The non-contact plate feeder proposed by the present invention forms a hollow fluid supply path that is horizontally long so that a high pressure fluid can be supplied therein, and can generate a flotation force on the plate while the fluid supplied from the fluid supply path is injected. A main plate having a plurality of nozzle grooves on the upper surface thereof to guide the flow of the fluid so as to have a discharge path for vertically connecting the fluid supply path and the nozzle grooves to communicate with each other; The head is formed to be located in the nozzle groove of the main plate, the coupling portion is formed to extend to the lower end of the head portion to be fixed to the discharge path of the main plate, the outer periphery of the coupling portion communicates vertically from the discharge path A nozzle member in which a first nozzle is formed to enable fluid supply; At least one nozzle hole is formed along a circumference to be coupled to the engaging portion of the nozzle member and inject the fluid toward the nozzle groove, and the first nozzle of the nozzle member is connected to the nozzle hole. And a washer member having a second nozzle passage communicating with an upper end of the one nozzle passage.

상기 메인플레이트는 평판의 이송방향에 대하여 직각방향으로의 양쪽 끝단이 상향하며 중앙부분은 하측으로 오목하게 굽어진 상태를 평판이 유지하면서 이송될 수 있도록 상기 메인플레이트의 상면 중앙부분이 하측으로 미세하게 오목한 만곡면을 이루어 형성된다. 즉, 상기 메인플레이트는 상면 양쪽 끝단의 최고점과 상면 중앙부분의 최저점 간에 10~15㎛의 단차 간격을 형성토록 이루어진다.
The main plate has both ends at right angles to the conveying direction of the flat plate, and the central portion of the main plate is finely lowered so that the flat plate can be conveyed while the flat plate is kept concave downward. It is formed by forming a concave curved surface. That is, the main plate is formed to form a stepped gap of 10 to 15 μm between the highest point of both ends of the upper surface and the lowest point of the central portion of the upper surface.

상기 노즐홈은, 상기 메인플레이트에 의해 부양이송되는 평판으로부터 대향된 방향으로 오목한 만곡면을 형성하고 상기 메인플레이트의 상면으로 완만하게 연결되도록 이루어진다.
The nozzle groove is formed so as to form a concave curved surface in the opposite direction from the flat plate conveyed by the main plate and gently connected to the upper surface of the main plate.

상기 노즐홈은 상기 메인플레이트 상에 사선방향으로 등간격을 이루며 배열 배치되고, 상기 노즐홈 간의 이격된 간격마다 그 사이를 지나면서 상기 메인플레이트의 상면에 서로 교차하도록 사선으로 배열 배치되는 유체배출로를 포함하여 이루어진다.
The nozzle grooves are arranged at equal intervals on the main plate at equal intervals, and the fluid discharge paths are arranged diagonally so as to cross each other on the upper surface of the main plate while passing therebetween at spaced intervals between the nozzle grooves. It is made, including.

상기 와셔부재는 상기 노즐부재에 원활한 결속이 가능하도록 상기 결합부을 향해 내측으로 돌출되고 상기 제1노즐로에 대응하여 면 접촉하는 체결돌기를 포함하여 이루어진다.
The washer member includes a fastening protrusion that protrudes inward toward the coupling part and allows surface contact with the first nozzle to enable smooth engagement with the nozzle member.

상기 와셔부재는 하면과 상기 메인플레이트의 토출로 간에 직각을 이루어 상기 제2노즐로로부터 유체가 수평면을 따라 이동할 수 있도록 형성하여 구성하는 것이 가능하다. 또한, 상기 와셔부재는 하면이 예각을 이루며 한쪽을 향해 점점 하향하는 예각경사면을 형성하여 상기 제2노즐로로부터 유체가 경사면을 따라 이동할 수 있도록 구성하는 것도 가능하다.
The washer member may be configured to form a right angle between the lower surface and the discharge path of the main plate so that the fluid from the second nozzle can move along the horizontal plane. In addition, the washer member may be configured to allow the fluid from the second nozzle to move along the inclined surface by forming an acute inclined surface that is gradually lowered toward one side at an acute angle.

상기 와셔부재에 예각경사면을 형성하는 경우에 상기 메인플레이트의 노즐홈에는 상기 와셔부재의 예각경사면에 대응한 경사각을 이루며 상기 토출로에 연장 형성되는 예각경사구간을 포함하여 이루어진다.
When the acute inclined surface is formed on the washer member, the nozzle groove of the main plate includes an acute inclined section extending in the discharge path to form an inclined angle corresponding to the acute inclined surface of the washer member.

그리고, 본 발명은 상기 메인플레이트에서 상기 와셔부재가 안착되도록 상기 노즐홈 중앙부분이 상측으로 돌출 형성되는 단턱부를 포함하여 구성하는 것도 가능하다.
The present invention may also include a stepped portion in which the nozzle groove center portion protrudes upward so that the washer member is seated on the main plate.

상기 단턱부는 상단에 안착되는 상기 와셔부재의 지름에 대하여 동일한 지름으로 형성한다.
The stepped portion is formed with the same diameter with respect to the diameter of the washer member seated on the top.

그리고, 본 발명은 상기 노즐부재를 상기 메인플레이트 내에 고정 설치하도록 상기 노즐부재의 하단에 연장되고 외주연을 따라 수나사가 형성되는 체결부를 포함하여 구성하는 것도 가능하다.
In addition, the present invention may be configured to include a fastening portion extending to the lower end of the nozzle member and a male screw is formed along the outer circumference to fix the nozzle member in the main plate.

상기 메인플레이트의 유체공급로는 두 개의 열이 서로 연통하여 한 쌍을 이루고, 두 열의 상기 유체공급로 사이에 상기 노즐홈 및 토출로가 형성되며, 상기 노즐부재를 상기 토출로에 끼워 삽입한 후 상기 체결부가 결합될 수 있도록 암나사가 구비된 체결공이 형성되는 차단벽을 포함하여 이루어지는 것도 가능하다.
Two rows of fluid supply passages of the main plate communicate with each other to form a pair, and the nozzle groove and the discharge passage are formed between the two fluid supply passages, and the nozzle member is inserted into the discharge passage. It is also possible to include a blocking wall is formed with a fastening hole provided with a female screw so that the fastening portion can be coupled.

또한, 상기 메인플레이트의 하부에는 상기 노즐홈 및 토출로에 동일수직선상을 이루는 삽입공을 형성하고, 상기 메인플레이트의 하측에서 상기 삽입공으로 끼운 후 상기 노즐부재의 체결부에 나사 결합하여 고정하도록 암나사가 구비된 너트공이 형성되는 체결부재를 더 포함하여 구성하는 것도 가능하다.
In addition, a lower portion of the main plate is formed in the nozzle groove and the discharge path to form an insertion hole making the same vertical line, and inserted into the insertion hole in the lower side of the main plate and then screwed to the fastening portion of the nozzle member by female screw It is also possible to further comprise a fastening member is provided with a nut hole is provided.

본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치에 의하면, 평판이 미세하게 굽어진 상태를 유지하며 이송되도록 메인플레이트를 형상화하므로 검사장비의 설치로 인해 부양력이 부재된 공간에서도 평판이 자중으로 쳐지거나 굽어지는 현상을 방지하도록 이송시 평판의 직진도를 극대화하고, 이는 다양한 장비로부터 평판의 검사 및 측정작업이 용이하게 이루어져 평판의 각종결함을 정확하게 검출할 수 있으며, 평판의 명확한 검사 및 측정으로 제품의 불량률을 최소화하면서 제품의 품질을 극대화할 수 있는 효과를 얻는다.
According to the non-contact flat plate conveying apparatus according to the present invention, the main plate is shaped so that the flat plate is conveyed while maintaining a finely bent state, so that the flat plate is struck or bent by its own weight even in a space without buoyancy due to the installation of inspection equipment. Maximize the straightness of the plate during transportation to prevent it, and it is easy to inspect and measure the plate from various equipment, so that it is possible to accurately detect various defects of the plate, while minimizing the defect rate of the product by clearly checking and measuring the plate. The effect is to maximize the quality of the product.

뿐만 아니라, 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치는 부양력에 의해 이송되는 과정에서 평판이 미세하게 자동으로 접힌 후 평형상태로의 부양이송이 가능함에 따라 평판을 이송하기 전에 접거나 이송된 후의 접힌 평판을 피는 작업이 불필요하여 작업의 편의성 및 신속성을 도모하고, 평판이 과도하게 접히는 현상을 방지하여 수평상태를 유지할 수 있으므로 제품의 불량률을 최소화하면서 그 품질은 극대화할 수 있는 효과가 있다.
In addition, the non-contact flat plate conveying apparatus according to the present invention can be folded in the flat state after the transfer or flattened before the transfer of the flat plate can be transferred to the equilibrium after the plate is automatically finely folded in the process of the buoyancy The blood is not necessary, so the convenience and speed of the work can be promoted, and the flat plate can be prevented from being excessively folded to maintain the horizontal state, thereby minimizing the defective rate of the product and maximizing its quality.

또한, 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치는 평판에 부양력을 생성시키는 메인플레이트와 노즐부재 및 와셔부재가 간단한 형상을 이루고 결합구조가 매우 간단하므로 제작과정에서 가공이 용이하고, 유체의 흐름으로부터 높은 압력을 생성시킨 다음 급격한 유속으로의 이동이 가능한 구조를 이루므로 강한 부양력을 생성시켜 평판을 흔들림 없이 안전하게 이송시킬 수 있는 효과가 있다.
In addition, the non-contact flat plate conveying apparatus according to the present invention is easy to process in the manufacturing process because the main plate, the nozzle member and the washer member to create a buoyancy force on the flat plate and the coupling structure is very simple, high pressure from the flow of fluid After creating the structure to be able to move to a rapid flow rate has the effect of generating a strong flotation force to safely transport the plate without shaking.

또한, 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치는 평판에 부양력을 생성하도록 공급되는 압력이 흘러나갈 수 있는 유체배출로를 형성하여 유체가 흐르면서 서로 접하는 특정위치에서 압력이 과도하게 높아지는 현상을 방지하므로 평판에 부양력을 적용하는 인력과 척력의 비율이 서로 평형을 이뤄 평판의 진동량을 최소화하면서 수평이송할 수 있는 효과가 있다.
In addition, the non-contact flat plate conveying apparatus according to the present invention forms a fluid discharge path through which the pressure supplied to generate the flotation force can flow out of the plate to prevent the phenomenon of excessively high pressure at a certain position in contact with each other as the fluid flows to the plate The ratio of the attraction force and the repulsive force to apply the flotation force is balanced with each other, thereby minimizing the amount of vibration of the flat plate, which is effective in horizontal transfer.

또한, 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치는 노즐구가 노즐홈에서 상측으로 떨어져 위치하므로 노즐구를 통해 분사되는 유체가 노즐홈에 마찰됨을 최소화함과 아울러 공기와 크게 접촉하여 와류를 생성하면서 흐르기 때문에 평판을 부양하기 위해 생성되는 진공도를 높일 수 있는 효과가 있다.
In addition, the non-contact flat plate conveying apparatus according to the present invention because the nozzle port is located away from the nozzle groove upwards, while the fluid sprayed through the nozzle hole minimizes the friction in the nozzle groove and flows in large contact with air to generate vortices. There is an effect that can increase the degree of vacuum generated to support the plate.

또한, 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치는 메인플레이트에 노즐부재를 압입하여 억지 끼움한 후 나사결합하는 구조를 이루므로 보다 견고한 결속력으로부터 지속해서 체결상태를 유지할 수 있는 효과가 있다.
In addition, the non-contact flat plate conveying apparatus according to the present invention has the effect of maintaining the fastening state continuously from a more solid binding force because it forms a structure for screwing the nozzle member by pressing the nozzle member to the main plate.

도 1은 본 발명에 따른 일실시예를 나타내는 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 일실시예를 나타내는 단면도.
도 3은 본 발명에 따른 일실시예를 나타내는 확대단면도.
도 4는 본 발명에 있어서 노즐부재와 와셔부재의 제1실시예가 분해된 상태를 나타내는 저면사시도.
도 5는 본 발명에 있어서 노즐부재와 와셔부재의 제2실시예가 분해된 상태를 나타내는 저면사시도.
도 6은 본 발명에 있어서 와셔부재의 제2실시예가 적용된 확대단면도.
도 7은 본 발명에 따른 다른 실시예를 나타내는 확대단면도.
도 8은 본 발명에 따른 또 다른 실시예의 제1실시예를 나타낸 확대단면도.
도 9는 본 발명에 따른 또 다른 실시예의 제2실시예를 나타낸 확대단면도.1 is a perspective view showing an embodiment according to the present invention;
2 is a cross-sectional view showing an embodiment according to the present invention.
Figure 3 is an enlarged cross-sectional view showing an embodiment according to the present invention.
Figure 4 is a bottom perspective view showing a disassembled state of the first embodiment of the nozzle member and the washer member in the present invention.
Figure 5 is a bottom perspective view showing a disassembled state of the second embodiment of the nozzle member and the washer member in the present invention.
Figure 6 is an enlarged cross-sectional view to which the second embodiment of the washer member is applied in the present invention.
Figure 7 is an enlarged cross-sectional view showing another embodiment according to the present invention.
Figure 8 is an enlarged cross-sectional view showing a first embodiment of another embodiment according to the present invention.
Figure 9 is an enlarged cross-sectional view showing a second embodiment of another embodiment according to the present invention.

본 발명은 내부로 고압의 유체가 공급될 수 있도록 가로로 길게 중공된 유체공급로를 형성하고, 상기 유체공급로로부터 공급된 유체가 분사되면서 평판에 부양력을 생성시킬 수 있도록 유체의 흐름을 유도하는 노즐홈이 상면에 복수로 형성되며, 상기 유체공급로와 노즐홈이 서로 연통하도록 수직연결하는 토출로가 형성되는 메인플레이트와; 상기 메인플레이트의 노즐홈 내에 위치하도록 머리부가 형성되고, 상기 머리부의 하단으로 연장되어 상기 메인플레이트의 토출로에 고정설치하도록 결합부가 형성되며, 상기 결합부의 외주연에는 상기 토출로로부터 수직으로 연통하여 유체공급이 가능하도록 제1노즐로가 형성되는 노즐부재와; 상기 노즐부재의 결합부에 결합하고 유체를 상기 노즐홈을 향해 분사할 수 있도록 둘레를 따라 적어도 1개 이상의 노즐구가 형성되며, 상기 노즐부재의 제1노즐로가 상기 노즐구에 연결되도록 상기 제1노즐로의 상측 선단으로 연통하는 제2노즐로가 형성된 와셔부재;를 포함하여 이루어지는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.The present invention forms a horizontally hollow fluid supply path so that the high-pressure fluid can be supplied to the inside, and induces the flow of the fluid to generate a float on the plate while the fluid supplied from the fluid supply path is injected A main plate having a plurality of nozzle grooves formed on an upper surface thereof and having a discharge path for vertically connecting the fluid supply path and the nozzle grooves to communicate with each other; The head is formed to be located in the nozzle groove of the main plate, the coupling portion is formed to extend to the lower end of the head portion to be fixed to the discharge path of the main plate, the outer periphery of the coupling portion communicates vertically from the discharge path A nozzle member in which a first nozzle is formed to enable fluid supply; At least one nozzle hole is formed along a circumference to be coupled to the engaging portion of the nozzle member and inject the fluid toward the nozzle groove, and the first nozzle of the nozzle member is connected to the nozzle hole. A non-contact plate conveying apparatus comprising a; washer member formed with a second nozzle passage communicating with the upper end of the one nozzle is characterized by a technical configuration.

또한, 상기 메인플레이트는 평판의 이송방향에 대하여 직각방향으로의 양쪽 끝단이 상향하며 중앙부분은 하측으로 오목하게 굽어진 상태를 평판이 유지하면서 이송될 수 있도록 상기 메인플레이트의 상면 중앙부분이 하측으로 미세하게 오목한 만곡면을 이루어 형성되는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.In addition, both ends of the main plate in an orthogonal direction with respect to the conveying direction of the flat plate are upward, and a central portion of the upper surface of the main plate is moved downward so that the flat plate can be conveyed while keeping the concave bent downward. A non-contact flat plate conveying apparatus formed of a finely concave curved surface is characterized by a technical configuration.

또한, 상기 노즐홈은 상기 메인플레이트에 의해 부양이송되는 평판으로부터 대향된 방향으로 오목한 만곡면을 형성하고 상기 메인플레이트의 상면으로 완만하게 연결되도록 이루어지는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.In addition, the nozzle groove is characterized by a non-contact flat plate conveying device which is formed to form a concave curved surface in the opposite direction from the flat plate conveyed by the main plate and connected smoothly to the upper surface of the main plate.

또한, 상기 노즐홈은 상기 메인플레이트 상에 사선방향으로 등간격을 이루며 배열 배치되고, 상기 노즐홈 간의 이격된 간격마다 그 사이를 지나면서 상기 메인플레이트의 상면에 서로 교차하도록 사선으로 배열 배치되는 유체배출로를 포함하여 이루어지는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.In addition, the nozzle grooves are arranged at equal intervals in the diagonal direction on the main plate, the fluid arranged in a diagonal line to cross each other on the upper surface of the main plate while passing therebetween at intervals between the nozzle grooves. A non-contact plate conveying apparatus including a discharge path is characterized by a technical configuration.

또한, 상기 와셔부재는 상기 노즐부재에 원활한 결속이 가능하도록 상기 결합부을 향해 내측으로 돌출되고 상기 제1노즐로에 대응하여 면 접촉하는 체결돌기를 포함하여 이루어지는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.In addition, the washer member is characterized in that the non-contact flat plate conveying device which comprises a fastening protrusion protruding inward toward the coupling portion to the surface contact to correspond to the first nozzle to enable a smooth binding to the nozzle member as a technical feature do.

또한, 본 발명은 상기 메인플레이트에서 상기 와셔부재가 안착되도록 상기 노즐홈 중앙부분이 상측으로 돌출 형성되는 단턱부를 포함하여 이루어지는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.In addition, the present invention is characterized by a technical configuration of a non-contact flat plate conveying device comprising a stepped portion protruding upward from the central portion of the nozzle groove so that the washer member is seated on the main plate.

또한, 본 발명은 상기 노즐부재를 상기 메인플레이트 내에 고정 설치하도록 상기 노즐부재의 하단에 연장되고 외주연을 따라 수나사가 형성되는 체결부를 포함하여 이루어지는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.In addition, the present invention is characterized by a technical configuration of a non-contact flat plate conveying device comprising a fastening portion extending to the lower end of the nozzle member and a male screw is formed along the outer circumference to fix the nozzle member in the main plate.

또한, 상기 메인플레이트의 유체공급로는 두 개의 열이 서로 연통하여 한 쌍을 이루고, 두 열의 상기 유체공급로 사이에 상기 노즐홈 및 토출로가 형성되며, 상기 노즐부재를 상기 토출로에 끼워 삽입한 후 상기 체결부가 결합될 수 있도록 암나사가 구비된 체결공이 형성되는 차단벽을 포함하여 이루어지는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.In addition, the fluid supply passages of the main plate are formed in a pair by communicating two rows with each other, the nozzle groove and the discharge passage are formed between the two fluid supply passages, and the nozzle member is inserted into the discharge passage. And then characterized in that the non-contact flat plate conveying device comprising a blocking wall is formed with a fastening hole is provided with a female thread so that the fastening portion can be coupled.

또한, 상기 메인플레이트의 하부에는 상기 노즐홈 및 토출로에 동일수직선상을 이루는 삽입공을 형성하고, 상기 메인플레이트의 하측에서 상기 삽입공으로 끼운 후 상기 노즐부재의 체결부에 나사 결합하여 고정하도록 암나사가 구비된 너트공이 형성되는 체결부재를 더 포함하여 이루어지는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.
In addition, a lower portion of the main plate is formed in the nozzle groove and the discharge path to form an insertion hole making the same vertical line, and inserted into the insertion hole in the lower side of the main plate and then screwed to the fastening portion of the nozzle member by female screw The non-contact flat plate feeder further comprises a fastening member having a nut hole provided with the technical feature of the configuration.

다음으로 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 도면에서 동일한 구성은 동일한 부호로 표시하고, 중복되는 상세한 설명은 생략한다.Next, a preferred embodiment of the non-contact plate transport apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the drawings, the same components are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

그러나, 본 발명의 실시예들은 여러 가지 다양한 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 한정되는 것으로 해석되지 않는다. 본 발명의 실시예들은 해당 기술분야에서 보통의 지식을 가진 자가 본 발명을 이해할 수 있도록 설명하기 위해서 제공되는 것이고, 도면에서 나타내는 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 예시적으로 나타내는 것이다.
However, embodiments of the present invention may be modified in many different forms, the scope of the invention is not to be construed as limited to the embodiments described below. Embodiments of the present invention are provided to explain those skilled in the art to understand the present invention, the shape of the elements shown in the drawings and the like are shown by way of example in order to emphasize more clear description.

먼저, 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치의 일실시예는 도 1 내지 도 6에 나타낸 바와 같이, 메인플레이트(10)와, 노즐부재(20)와, 와셔부재(30)를 포함하여 이루어진다.
First, an embodiment of the non-contact flat plate conveying apparatus according to the present invention comprises a main plate 10, a nozzle member 20, and a washer member 30, as shown in Figs.

상기 메인플레이트(10)는 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 직육면체의 상자형상으로 이루어지고, 외부 상면에는 복수의 노즐홈(11)이 형성되며, 내부에는 유체의 이동통로로서 유체공급로(15) 및 토출로(13)가 형성된다.
1 and 2, the main plate 10 is formed in a box shape of a rectangular parallelepiped, and a plurality of nozzle grooves 11 are formed on an outer upper surface thereof, and a fluid supply passage as a moving passage of fluid therein ( 15 and the discharge passage 13 are formed.

상기 메인플레이트(10)는 장방형의 직육면체로서 소정의 두께를 갖으며, 두께에 비해 중량을 최소화하도록 비교적 무게가 가벼운 금속재질로 형성한다.
The main plate 10 is a rectangular rectangular parallelepiped having a predetermined thickness, and formed of a relatively light metal material to minimize weight compared to the thickness.

상기 메인플레이트(10)는 평판(P)이 이송되는 방향으로 등간격을 이루며 복수로 설치된다. 즉, 상기 메인플레이트(10)는 서로 소정의 간격을 일정하게 유지하면서 고정설치되는 것으로, 일정구간에서 이송중인 평판(P)을 향해 검사하거나 측정가능하도록 별도의 장비가 위치할 수 있는 공간을 구비하게 된다.
The main plate 10 is provided in plurality at equal intervals in the direction in which the flat plate (P) is transferred. That is, the main plate 10 is fixedly installed while maintaining a predetermined interval from each other, and has a space in which a separate equipment can be located so as to be able to inspect or measure toward the plate (P) being transported in a certain section. Done.

상기 메인플레이트(10)는 도 2에 나타낸 바와 같이, 상면 중앙부분이 하측으로 미세하게 오목한 만곡면을 이루도록 형성된다. 즉, 상기 메인플레이트(10)의 상면이 만곡면을 이루므로 평판(P)이 이송과정에서 평판(P)의 이송방향에 대하여 직각방향으로의 양쪽 끝단이 상향하되 중앙부분은 하측으로 오목하게 굽어진 상태 즉, 상기 메인플레이트(10) 상면의 형상에 대응되는 상태를 유지하면서 이송될 수 있도록 형성된다.
As shown in FIG. 2, the main plate 10 is formed such that a central portion of the upper surface forms a curved surface that is finely concave downward. That is, since the upper surface of the main plate 10 forms a curved surface, both ends of the flat plate P in the perpendicular direction with respect to the conveying direction of the flat plate P are moved upward while the central portion is concave downward. In other words, it is formed to be transported while maintaining a state corresponding to the shape of the upper surface of the main plate 10.

상기 메인플레이트(10)는 가장 높은 곳에 위치하여 최고점(P1)을 이루는 상기 메인플레이트(10)의 상면 양쪽 끝단과 하측으로 오목하게 굽어져 가장 낮은 최저점(P2)을 이루는 상면 중앙부분의 사이에는 미세한 단차 간격(D)을 형성토록 이루어진다.
The main plate 10 is located in the highest position between the upper end of both ends of the upper surface of the main plate 10 to form the highest point (P1) and bent concave downward to form a minute between the center of the upper surface of the lowest lowest point (P2) It is made to form the step | interval gap D.

상기 메인플레이트(10)의 최고점(P1)과 최저점(P2)이 이루는 단차 간격은 10~15㎛로 형성된다. 즉, 상기 메인플레이트(10)에 의해 부양되는 평판(P)은 상기 메인플레이트(10)의 상면으로부터 동일한 간격을 유지하며 떨어져 이송되지만 상기 메인플레이트(10)의 상면에 상응하는 형상을 이루므로 평판(P)의 양쪽 끝 부분이 중앙부분에 비해 10~15㎛ 더 높이 위치한 상태로 굽어져 이송된다. 바람직하게는, 상기 메인플레이트(10) 상면의 단차 간격(D)이 15㎛를 이루도록 형성한다.
The stepped distance between the highest point P1 and the lowest point P2 of the main plate 10 is formed to be 10 ~ 15㎛. That is, the flat plate P supported by the main plate 10 is transported apart from the top surface of the main plate 10 while maintaining the same distance, but the flat plate P forms a shape corresponding to the top surface of the main plate 10. Both ends of (P) are bent and transported with 10 ~ 15㎛ higher than the center. Preferably, the step difference interval (D) of the upper surface of the main plate 10 is formed to form 15㎛.

상기와 같이 메인플레이트(10)의 상면이 만곡면을 형성하는 것에 의하여 평판(P)이 이송중에 메인플레이트(10)의 사이가 떨어져 부양력이 부재된 위치에서도 평형을 유지하므로 평판(P)이 쉽게 굽어지는 현상을 방지하는 것이 가능하다.
As described above, the upper surface of the main plate 10 forms a curved surface, so that the flat plate P is easily separated from the main plate 10 during the transfer and maintains an equilibrium even in the absence of the lifting force. It is possible to prevent the phenomenon of bending.

상기 유체공급로(15)는 상기 메인플레이트(10)의 한쪽 측면이 개방되어 내측으로 중공된 구조를 이루는 것으로, 내부로 고압의 유체가 공급될 수 있도록 가로로 길게 중공된다.
The fluid supply path 15 is one side of the main plate 10 is open to form a hollow structure, it is hollow horizontally long so that the high-pressure fluid can be supplied to the inside.

상기 유체공급로(15)에 유체를 공급함에는 외부에서 별도로 구비된 유체발생장치(도면에 미도시)를 통해 유체를 생성시키고, 상기 메인플레이트(10)의 유체공급로(15)와 유체발생장치를 연결하는 호스 등의 연결수단(5)을 거쳐 유체가 공급된다.
Supplying fluid to the fluid supply path 15 generates fluid through a fluid generator (not shown) separately provided from the outside, and the fluid supply path 15 and the fluid generator of the main plate 10 The fluid is supplied via a connecting means 5 such as a hose for connecting.

상기 노즐홈(11)은 상기 메인플레이트(10)로 공급되는 유체가 분사될 때에 상측 평판(P)을 향해 부양력이 가해질 수 있도록 유체의 흐름을 유도하는 역할을 수행한다.
The nozzle groove 11 serves to guide the flow of the fluid so that the buoyancy force is applied toward the upper plate (P) when the fluid supplied to the main plate 10 is injected.

상기 노즐홈(11)은 상기 메인플레이트(10)의 상면에 복수로 형성되고 상기 유체공급로(15)의 상측 동일수직선상에 위치한다.
The nozzle grooves 11 are formed in plural on the upper surface of the main plate 10 and are positioned on the same vertical line on the upper side of the fluid supply path 15.

상기 노즐홈(11)은 상기 토출로(13)의 상단에서 상기 메인플레이트(10)의 상면을 향해 완만하게 연결되도록 연장형성된 것으로, 상기 메인플레이트(10)에 의해 부양이송되는 평판(P)으로부터 대향된 방향으로 오목한 만곡면을 이루도록 형성된다.
The nozzle groove 11 is extended to be gently connected toward the upper surface of the main plate 10 at the upper end of the discharge path 13, from the plate (P) being carried by the main plate 10 It is formed to form a concave curved surface in the opposite direction.

상기 노즐홈(11)은 평판(P)에 부양력을 생성토록 분사된 유체가 상기 노즐홈(11)에서 상기 메인플레이트(10)의 상면을 향해 원활하게 흘러 이동될 수 있도록 상기 메인플레이트(10)의 상면에 접하는 상기 노즐홈(11)의 경계부분이 소정의 곡면을 이루도록 형성하는 것이 바람직하다.
The main plate 10 may allow the nozzle groove 11 to smoothly flow from the nozzle groove 11 toward the upper surface of the main plate 10 so that the fluid injected to generate the flotation force on the flat plate P may move. It is preferable to form a boundary portion of the nozzle groove 11 in contact with the upper surface of the predetermined surface.

상기 노즐홈(11)은 상기 메인플레이트(10)의 상면에 소정의 간격을 이루며 형성되는 것으로, 상기 노즐홈(11)은 상기 메인플레이트(10) 상에 도 1에 도시된 바와 같이 평면상에서 유체공급로(15)의 방향에 대해 사선방향으로 등간격을 이루며 배열 배치된다.
The nozzle groove 11 is formed at a predetermined interval on the upper surface of the main plate 10, the nozzle groove 11 on the main plate 10 as shown in FIG. Arranged at equal intervals in the diagonal direction with respect to the direction of the supply path 15.

상기 토출로(13)는 상기 유체공급로(15)와 노즐홈(11)이 서로 연통하도록 형성되는 것으로서, 상기 유체공급로(15)로부터 상기 노즐홈(11)에 수직으로 연결하여 상기 유체공급로(15)를 따라 수평방향으로 공급되는 유체의 이동이 상기 노즐홈(11)을 향해 상향할 수 있도록 수직방향으로 전환공급되는 연결통로로서의 역할을 수행한다.
The discharge passage 13 is formed such that the fluid supply passage 15 and the nozzle groove 11 communicate with each other, and are connected to the nozzle groove 11 vertically from the fluid supply passage 15 to supply the fluid. The fluid flows along the furnace 15 in the horizontal direction, and serves as a connection path that is converted and supplied in the vertical direction so that the movement of the fluid is upwardly directed toward the nozzle groove 11.

상기 메인플레이트(10)는 도 1 및 도 2에서처럼 상면에 평면상에서 유체공급로(15)의 방향에 대해 서로 교차하도록 사선으로 배열 배치되는 유체배출로(18)를 포함하여 이루어진다.
The main plate 10 includes a fluid discharge path 18 arranged diagonally so as to cross each other with respect to the direction of the fluid supply path 15 on a plane on the upper surface as shown in FIGS. 1 and 2.

상기 유체배출로(18)는 상기 메인플레이트(10)의 상면에서 상기 노즐홈(11) 간에 서로 이격된 간격마다 그 사이를 지나도록 형성되어 상기 노즐홈(11)을 거쳐 상기 메인플레이트(10)의 상면으로 이동된 유체를 외부로 배출한다.
The fluid discharge path 18 is formed to pass between the nozzle grooves 11 at intervals spaced from each other on the upper surface of the main plate 10 and passes through the nozzle grooves 11 to the main plate 10. The fluid moved to the upper surface of the tank is discharged to the outside.

상기와 같이 유체배출로(18)를 형성하는 것에 의하여, 상기 노즐홈(11)으로부터 상기 메인플레이트(10)의 상면으로 이동되는 유체를 바로 메인플레이트(10)의 외측으로 배출하므로 복수의 상기 노즐홈(11)으로부터 사방에서 흘러 이동된 유체가 서로 접촉하여 압력이 과도하게 높아지는 현상을 방지하고, 이는 평판(P)에 부양력을 생성시키는 인력과 척력이 서로 평형을 이뤄 평판(P)의 진동량을 최소화하므로 평판(P)의 평형이송이 가능하다.
By forming the fluid discharge path 18 as described above, the fluid moving from the nozzle groove 11 to the upper surface of the main plate 10 is discharged directly to the outside of the main plate 10, so that the plurality of nozzles The fluids flowing from all directions from the grooves 11 come into contact with each other to prevent the pressure from being excessively increased, which is caused by the attraction force and repulsive force that generate the buoyancy force in the flat plate P, and the vibration amount of the flat plate P. This minimizes the balance, so that the plate feed can be balanced.

상기 노즐부재(20)는 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 상기 메인플레이트(10)에 삽입되어 결합 설치되는 것으로, 상기 메인플레이트(10)의 노즐홈(11) 내에 위치하도록 형성되는 머리부(21)와, 상기 머리부(21)의 하단으로 연장되어 상기 메인플레이트(10)의 토출로(13)에 고정설치하도록 형성되는 결합부(23)를 포함하여 이루어진다.
3 and 4, the nozzle member 20 is inserted into and installed in the main plate 10, and is formed in the nozzle groove 11 of the main plate 10. And a coupling part 23 extending to the lower end of the head part 21 so as to be fixed to the discharge path 13 of the main plate 10.

상기 노즐부재(20)는 상기 결합부(23)를 통해 상기 메인플레이트(10)의 토출로(13)에 결합할 때 상기 머리부(21)는 상기 노즐홈(11) 상에 위치할 수 있도록 상기 결합부(23)의 지름보다는 큰 지름을 이루며 형성된다.
When the nozzle member 20 is coupled to the discharge path 13 of the main plate 10 through the coupling portion 23 so that the head portion 21 can be located on the nozzle groove (11). It is formed to form a larger diameter than the diameter of the coupling portion (23).

상기 결합부(23)는 상기 머리부(21)의 하단에서 상기 토출로(13)에 삽입되어 위치하되 서로 억지 끼움 결합하도록 상기 결합부(23)와 토출로(13) 간에 서로 대응되는 지름을 이루며 형성된다.
The coupling part 23 is inserted into the discharge path 13 at the lower end of the head 21 and has a diameter corresponding to each other between the coupling part 23 and the discharge path 13 so as to be tightly coupled to each other. Formed.

상기 결합부(23)의 외주연에는 상기 토출로(13)로부터 수직으로 연통하여 유체공급이 가능하도록 제1노즐로(25)가 형성된다. 즉, 상기 제1노즐로(25)는 상기 결합부(23)의 둘레 표면상에 미세한 깊이를 갖는 홈 형태를 이루며 수직으로 형성되고 상기 결합부(23)의 외주를 따라 간격을 두고 복수로 형성된다.
At the outer circumference of the coupling part 23, a first nozzle path 25 is formed to communicate vertically from the discharge path 13 to supply fluid. That is, the first nozzle 25 is formed vertically in a groove shape having a fine depth on the circumferential surface of the coupling portion 23 and is formed in plurality at intervals along the outer circumference of the coupling portion 23. do.

상기 제1노즐로(25)는 홈 형태로 형성되는 것으로, 완만한 곡선을 이루어 만곡면의 형상으로 형성하는 것이 가능하고, 소정의 각을 이루는 사각면의 형상으로 형성하는 것도 가능하다.
The first nozzle 25 is formed in the shape of a groove, and may be formed in a shape of a curved surface by forming a gentle curve, or may be formed in a shape of a square surface forming a predetermined angle.

상기 와셔부재(30)는 상기 노즐부재(20)로 공급된 고압의 유체를 상기 노즐홈(11)을 향해 외부로 분사가능한 역할을 수행한다.
The washer member 30 serves to spray the high pressure fluid supplied to the nozzle member 20 toward the nozzle groove 11 to the outside.

상기 와셔부재(30)는 도 3 내지 도 6에 나타낸 바와 같이, 상기 노즐부재(20)의 결합부(23)에 결합하고 상기 메인플레이트(10)의 노즐홈(11)과 상기 노즐부재(20)의 머리부(21) 사이에 형성된다.
3 to 6, the washer member 30 is coupled to the engaging portion 23 of the nozzle member 20 and the nozzle groove 11 and the nozzle member 20 of the main plate 10. It is formed between the head 21 of the.

상기 와셔부재(30)에는 상기 메인플레이트(10) 내부에 공급되어 상기 노즐부재(20)로 이동된 유체를 상기 노즐홈(11)을 향해 분사할 수 있도록 노즐구(31)가 형성된다.
The washer member 30 is provided with a nozzle hole 31 to be supplied to the inside of the main plate 10 to inject the fluid moved to the nozzle member 20 toward the nozzle groove 11.

상기 노즐구(31)는 상기 와셔부재(30)의 둘레를 따라 적어도 1개 이상이 형성된다. 바람직하게는, 상기 노즐홈(11)의 사방을 향해 유체가 고르게 분사될 수 있도록 방향마다 각각 1개씩의 노즐구(31)를 형성한다.
At least one nozzle hole 31 is formed along the circumference of the washer member 30. Preferably, one nozzle hole 31 is formed in each direction so that the fluid can be evenly sprayed in all directions of the nozzle groove 11.

상기 와셔부재(30)에는 하면에 상기 노즐구(31)와 상기 노즐부재(20)가 서로 연통하여 유체가 이동될 수 있도록 연결하는 제2노즐로(35)가 형성된다. 즉, 상기 제2노즐로(35)는 상기 제1노즐로(25)의 상측 선단에 한쪽이 연통하여 상기 노즐구(31)를 향해 고압의 유체가 이동가능하도록 형성된다.
The washer member 30 has a second nozzle 35 formed at a lower surface thereof to connect the nozzle port 31 and the nozzle member 20 to each other so that the fluid can be moved. That is, the second nozzle 35 is formed such that one side of the second nozzle 35 is in communication with the upper end of the first nozzle 25 to move the high pressure fluid toward the nozzle port 31.

상기 와셔부재(30)는 상기 노즐부재(20)에 원활한 결속이 가능하도록 상기 결합부(23)을 향해 내측으로 돌출되는 체결돌기(37)를 포함하여 이루어진다.
The washer member 30 includes a fastening protrusion 37 protruding inward toward the coupling part 23 to enable smooth binding to the nozzle member 20.

상기 체결돌기(37)는 상기 제1노즐로(25)에 대응하여 면 접촉하는 것으로, 상기 제1노즐로(25)와 동일한 형상을 이루고, 상기 노즐부재(20)의 결합부(23)에 형성된 상기 제1노즐로(25)와 동일한 개수로 형성된다.
The fastening protrusion 37 is in surface contact with the first nozzle path 25, forms the same shape as the first nozzle path 25, and is coupled to the coupling part 23 of the nozzle member 20. It is formed in the same number as the first nozzle 25 formed.

상기 와셔부재(30)는 도 3 및 도 4에서처럼 하면과 상기 메인플레이트(10)의 토출로(13) 간에 직각을 이루도록 형성된다. 즉, 상기 와셔부재(30)는 상기 제2노즐로(35)가 전체적으로 동일한 크기를 이루어 상기 제2노즐로(35)로부터 유체가 수평면을 따라 이동할 수 있도록 형성된다.
The washer member 30 is formed to form a right angle between the lower surface and the discharge passage 13 of the main plate 10 as shown in FIGS. 3 and 4. That is, the washer member 30 is formed such that the second nozzle 35 has the same size as a whole so that fluid from the second nozzle 35 may move along the horizontal plane.

또한, 상기 와셔부재(30)의 제2실시예로서 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 상기 와셔부재(30)는 하면이 예각을 이루며 한쪽을 향해 점점 하향하는 예각경사면(32)을 형성하여 상기 제2노즐로(35)로부터 유체가 경사면을 따라 이동할 수 있도록 구성하는 것도 가능하다.
In addition, as shown in FIG. 5 and FIG. 6 as a second embodiment of the washer member 30, the washer member 30 forms an acute inclined surface 32 gradually lowering toward one side with an acute angle. It is also possible to configure the fluid from the second nozzle 35 to move along the inclined surface.

상기와 같이 와셔부재(30)에 예각경사면(32)을 형성하는 경우에 상기 메인플레이트(10)에는 도 6에서처럼 상기 와셔부재(30)의 예각경사면(32)에 대응한 경사각을 이루며 상기 노즐홈(11)과 토출로(13)의 사이 즉, 상기 노즐홈(11)의 하단과 상기 토출로(13)의 상단을 연결하도록 연장 형성되는 예각경사구간(12)을 포함하여 이루어진다.
When the acute inclined surface 32 is formed in the washer member 30 as described above, the main plate 10 has an inclination angle corresponding to the acute inclined surface 32 of the washer member 30 as shown in FIG. And an acute inclined section 12 extending between the 11 and the discharge path 13, that is, the lower end of the nozzle groove 11 and the upper end of the discharge path 13.

상기한 와셔부재(30)의 제2실시예에 있어서도 상기한 와셔부재(30)의 제1실시예로부터 예각경사면(32)을 형성한 것과 상기 메인플레이트(10)의 예각경사구간(12)이 더 형성되는 것을 제외하고는 상기한 제1실시예와 동일한 구성으로 실시하는 것이 가능하므로, 상세한 설명은 생략한다.
Also in the second embodiment of the washer member 30, the acute inclined surface 32 is formed from the first embodiment of the washer member 30 and the acute inclination section 12 of the main plate 10 is formed. Except for further formation, it can be carried out in the same configuration as in the above-described first embodiment, and thus detailed description thereof will be omitted.

상기와 같이 상기 와셔부재(30)에 예각경사면(32)을 형성하게 되면, 상기 예각경사면(32) 및 예각경사구간(12)으로부터 상기 토출로(13)의 중심선과 이루는 각도가 90°이하를 이루도록 형성되므로 상기 제2노즐로(35)도 예각을 형성하여 유체의 이동거리가 짧아지기 때문에 유체의 손실을 최소화하는 것이 가능하다.
When the acute inclined surface 32 is formed on the washer member 30 as described above, the angle formed with the centerline of the discharge path 13 from the acute inclined surface 32 and the acute inclined section 12 is 90 ° or less. Since the second nozzle 35 also forms an acute angle to shorten the moving distance of the fluid, it is possible to minimize the loss of the fluid.

상기와 같이, 본 발명은 유체발생장치로부터 생성된 유체가 연결수단(5)을 통해 메인플레이트(10) 내부로 공급되고, 메인플레이트(10)의 유체공급로(15)와 토출로(13)를 거쳐 이동된 유체는 노즐부재(20)의 제1노즐로(25)로 유입된 후 와셔부재(30)의 제2노즐로(35)를 거쳐 노즐홈(11)을 향해 노즐구(31)로 분사된다. 즉, 노즐부재(20)의 노즐구(31)로부터 외부를 향해 분사된 유체는 노즐홈(11)의 만곡면을 따라 메인플레이트(10)의 상면으로 흐르면서 인력과 척력이 생성되어 평판(P)을 부양이송하게 된다. 좀 더 구체적으로 설명하면, 메인플레이트(10)로 공급된 유체는 유체공급로(15)와 토출로(13)를 순차적으로 거쳐 노즐부재(20)의 제1노즐로(25)에 유입되고 와셔부재(30)의 제2노즐로(35)를 통해 노즐구(31)로 분사되는데, 이처럼 미세한 크기의 제1,2노즐로(25)(35)로부터 노즐구(31)를 통해 분사되는 유체는 고압상태로 분사된 후 노즐홈(11)의 만곡면에 접하며, 메인플레이트(10)의 상면을 향해 빠르게 흐르는 유체의 급격한 유속 때문에 메인플레이트(10)의 상면에는 주위보다 높은 압력이 형성됨에 따라 평판(P)을 밀어내는 척력이 생성되는 반면, 노즐홈(11)의 상측에는 주위보다 낮은 압력이 형성되므로 평판(P)을 당기는 인력이 생성되어 평판(P)을 부양시킨 상태로 이송하게 된다. 이때, 메인플레이트(10)의 상면으로 흐른 유체는 유체배출로(18)를 따라 이동되어 메인플레이트(10)로부터 배출된다.
As described above, in the present invention, the fluid generated from the fluid generator is supplied into the main plate 10 through the connecting means 5, and the fluid supply passage 15 and the discharge passage 13 of the main plate 10 are provided. The fluid moved through the first nozzle 25 of the nozzle member 20 flows into the nozzle hole 31 through the second nozzle 35 of the washer member 30 toward the nozzle groove 11. Is sprayed on. That is, the fluid injected toward the outside from the nozzle port 31 of the nozzle member 20 flows to the upper surface of the main plate 10 along the curved surface of the nozzle groove 11 to generate the attraction force and repulsive force to the flat plate (P). Dependent transfer will be. More specifically, the fluid supplied to the main plate 10 is introduced into the first nozzle furnace 25 of the nozzle member 20 through the fluid supply passage 15 and the discharge passage 13 in sequence and washer It is injected into the nozzle port 31 through the second nozzle 35 of the member 30, the fluid is injected through the nozzle port 31 from the first and second nozzles 25, 35 of such a fine size Is in contact with the curved surface of the nozzle groove 11 after being injected at a high pressure state, due to the rapid flow rate of the fluid flowing rapidly toward the upper surface of the main plate 10, as the pressure above the surroundings is formed on the upper surface of the main plate 10 While a repulsive force for pushing the flat plate P is generated, a pressure lower than the surroundings is formed on the upper side of the nozzle groove 11, so that an attraction force for pulling the flat plate P is generated and transported in a state in which the flat plate P is supported. . At this time, the fluid flowing to the upper surface of the main plate 10 is moved along the fluid discharge path 18 is discharged from the main plate 10.

즉, 상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치에 의하면, 평판이 미세하게 굽어진 상태를 유지하며 이송되도록 메인플레이트를 형상화하므로 검사장비의 설치로 인해 부양력이 부재된 공간에서도 평판이 자중으로 쳐지거나 굽어지는 현상을 방지하도록 이송시 평판의 직진도를 극대화하고, 이는 다양한 장비로부터 평판의 검사 및 측정작업이 용이하게 이루어져 평판의 각종결함을 정확하게 검출할 수 있으며, 평판의 명확한 검사 및 측정으로 제품의 불량률을 최소화하면서 제품의 품질을 극대화하는 것이 가능하다.
That is, according to the non-contact flat plate conveying apparatus according to the present invention configured as described above, because the main plate is shaped so that the flat plate is conveyed while maintaining a finely bent state, the flat plate is self-weight even in a space without buoyancy due to the installation of inspection equipment Maximize the straightness of the plate during transport to prevent struck or bent, and it is easy to inspect and measure the plate from various equipment, so that various defects of the plate can be accurately detected, and the plate can be clearly inspected and measured. It is possible to maximize the quality of the product while minimizing the defective rate of the product.

뿐만 아니라, 본 발명은 부양력에 의해 이송되는 과정에서 평판이 미세하게 자동으로 접힌 후 평형상태로의 부양이송이 가능함에 따라 평판을 이송하기 전에 접거나 이송된 후의 접힌 평판을 피는 작업이 불필요하여 작업의 편의성 및 신속성을 도모하고, 평판이 과도하게 접히는 현상을 방지하여 수평상태를 유지할 수 있으므로 제품의 불량률을 최소화하면서 그 품질은 극대화하는 것이 가능하다.
In addition, the present invention does not need to avoid the folded plate after the folded or conveyed before the transfer of the flat plate can be transferred to the equilibrium state after the plate is automatically finely folded in the process of the flotation force to work It is possible to maximize the quality while minimizing the defective rate of products because it can maintain the level of convenience and speed, and can prevent the plate from being excessively folded to maintain a horizontal state.

또한, 본 발명은 평판에 부양력을 생성시키는 메인플레이트와 노즐부재 및 와셔부재가 간단한 형상을 이루고 결합구조가 매우 간단하므로 제작과정에서 가공이 용이하고, 유체의 흐름으로부터 높은 압력을 생성시킨 다음 급격한 유속으로의 이동이 가능한 구조를 이루므로 강한 부양력을 생성시켜 평판을 흔들림 없이 안전하게 이송시키는 것이 가능하다.
In addition, the present invention is easy to process in the manufacturing process, because the main plate and the nozzle member and the washer member to generate the buoyancy force on the flat plate and the coupling structure is very simple, generates a high pressure from the flow of the fluid and then the rapid flow rate It is possible to move the plate securely without shaking by creating a strong flotation force because it forms a structure that can move to.

또한, 본 발명은 평판에 부양력을 생성하도록 공급되는 압력이 흘러나갈 수 있는 유체배출로를 형성하여 유체가 흐르면서 서로 접하는 특정위치에서 압력이 과도하게 높아지는 현상을 방지하므로 평판에 부양력을 적용하는 인력과 척력의 비율이 서로 평형을 이뤄 평판의 진동량을 최소화하면서 수평이송하는 것이 가능하다.
In addition, the present invention forms a fluid discharge path through which the pressure supplied to generate a float on the plate to prevent the pressure is excessively increased in a specific position in contact with each other as the fluid flows, so that the force applied to the float and the plate The ratio of the repulsive force is balanced with each other, so it is possible to move horizontally while minimizing the amount of vibration of the plate.

그리고, 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치의 다른 실시예는 도 7에 나타낸 바와 같이, 상기 메인플레이트(10)에서 상기 와셔부재(30)가 안착되도록 상기 노즐홈(11) 중앙부분이 상측으로 돌출 형성되는 단턱부(14)를 포함하여 이루어진다.
And, in another embodiment of the non-contact flat plate conveying apparatus according to the present invention, as shown in Figure 7, the central portion of the nozzle groove 11 protrudes upwards so that the washer member 30 is seated on the main plate 10. It comprises a stepped portion 14 is formed.

상기 단턱부(14)는 상단에 안착되는 상기 와셔부재(30)의 지름에 대하여 동일한 지름을 갖도록 형성되어 상기 노즐구(31)를 온전히 구비토록 한다.
The stepped portion 14 is formed to have the same diameter with respect to the diameter of the washer member 30 seated on the upper end so as to be provided with the nozzle hole 31 completely.

상기 단턱부(14)의 돌출 높이는 상기 와셔부재(30)와 함께 상기 노즐부재(20)가 안착된 후 상기 머리부(21)의 상면이 상기 메인플레이트(10)의 상면보다 낮은 수평선상에 위치하도록 형성된다.
The protruding height of the stepped portion 14 is located on the horizontal line lower than the upper surface of the main plate 10 after the nozzle member 20 is seated together with the washer member 30. It is formed to.

즉, 상기한 다른 실시예와 같이 본 발명을 구성하면, 노즐구가 노즐홈에서 상측으로 떨어져 위치하므로 노즐구를 통해 분사되는 유체가 노즐홈에 마찰됨을 최소화함과 아울러 공기와 크게 접촉하여 와류를 생성하면서 흐르기 때문에 평판을 부양하기 위해 생성되는 진공도를 높이는 것이 가능하다.
That is, when the present invention is configured as in the other embodiment described above, since the nozzle hole is located at an upper side away from the nozzle groove, the fluid sprayed through the nozzle hole is minimized in friction with the nozzle groove, and the vortex is greatly contacted with air. Since it flows as it is generated, it is possible to increase the degree of vacuum generated to support the plate.

상기한 다른 실시예에 있어서도 상기한 구성 이외에는 상기한 일실시예와 마찬가지의 구성으로 실시하는 것이 가능하므로, 상세한 설명은 생략한다.
Also in the above-described other embodiments, the present invention can be implemented in the same configuration as the above-described embodiment except for the above-described configuration, and thus detailed description thereof will be omitted.

그리고, 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치의 또 다른 실시예는 도 8 및 도 9에 나타낸 바와 같이, 상기 노즐부재(20)는 상기 메인플레이트(10) 내에 고정 설치하도록 외주연을 따라 수나사가 형성되는 체결부(28)를 포함하여 이루어진다.
And, according to another embodiment of the non-contact flat plate conveying apparatus according to the present invention, as shown in Figures 8 and 9, the nozzle member 20 is formed with a male screw along the outer circumference to be fixedly installed in the main plate 10 It comprises a fastening portion 28 is made.

상기 체결부(28)는 상기 노즐부재(20)의 하단에 연장되어 형성된다. 즉, 상기 노즐부재(20)의 결합부(23) 하단으로 연장되어 상기 메인플레이트(10)에 결합하면 상기 토출로(13)의 하측으로 연장된 위치에서 상기 유체공급로(15) 상에 위치한다.
The fastening portion 28 is formed to extend to the lower end of the nozzle member 20. That is, when it is extended to the lower end of the coupling portion 23 of the nozzle member 20 and coupled to the main plate 10, it is positioned on the fluid supply passage 15 at a position extending downward of the discharge passage 13. do.

상기 노즐부재(20)는 도 8에 나타낸 바와 같이, 상기 체결부(28)를 통해 상기 메인플레이트(10) 내에 직접적으로 체결하여 고정설치하도록 구성하는 것이 가능하다. 즉, 상기 메인플레이트(10)의 유체공급로(15)는 두 개의 열이 서로 연통하여 한 쌍을 이루고, 두 열의 상기 유체공급로(15) 사이에 상기 노즐홈(11) 및 토출로(13)가 형성되며, 상기 노즐부재(20)를 상기 토출로(13)에 끼워 삽입한 후 상기 체결부(28)가 결합될 수 있도록 암나사가 구비된 체결공(17)이 형성되는 차단벽(16)을 포함하여 이루어진다.
As illustrated in FIG. 8, the nozzle member 20 may be configured to be directly fixed and installed in the main plate 10 through the fastening part 28. That is, the fluid supply path 15 of the main plate 10 is paired by two rows communicating with each other, and the nozzle groove 11 and the discharge path 13 between the two fluid supply paths 15 of the two rows. And a blocking wall 16 in which a fastening hole 17 having a female thread is formed to insert the nozzle member 20 into the discharge path 13 and to be coupled to the fastening portion 28. )

또한, 상기 노즐부재(20)는 도 9에 나타낸 바와 같이, 상기 메인플레이트(10)의 하부에는 상기 노즐홈(11) 및 토출로(13)에 동일수직선상을 이루는 삽입공(19)을 형성하고, 상기 메인플레이트(10)의 하측에서 상기 삽입공(19)으로 끼운 후 상기 노즐부재(20)의 체결부(28)에 나사 결합하는 체결부재(40)를 더 포함하여 이루어진다.
In addition, the nozzle member 20 is formed in the lower portion of the main plate 10, the insertion hole 19 forming the same vertical line in the nozzle groove 11 and the discharge passage 13, as shown in FIG. And a fastening member 40 which is screwed into the fastening portion 28 of the nozzle member 20 after being inserted into the insertion hole 19 from the lower side of the main plate 10.

상기 체결부재(40)는 상기 노즐부재(20)의 체결부(28)에 나사 결합하여 고정하도록 암나사가 구비된 너트공(41)이 형성된다.
The fastening member 40 is formed with a nut hole 41 is provided with a female screw to be fixed by screwing to the fastening portion 28 of the nozzle member 20.

상기와 같이 체결부재(40)를 형성하게 되면, 상기 메인플레이트(10)로 압입된 상기 노즐부재(20)를 상기 체결부재(40)의 조작에 의해 고정하므로, 상기 노즐부재(20)의 조작으로 인해 상기 메인플레이트(10)의 토출로(13) 및 와셔부재(30)와 맞닿아 서로 마모나 손상되는 현상을 방지하는 것이 가능하다.
When the fastening member 40 is formed as described above, the nozzle member 20 press-fitted into the main plate 10 is fixed by the operation of the fastening member 40, so that the operation of the nozzle member 20 is performed. As a result, the discharge path 13 and the washer member 30 of the main plate 10 may be in contact with each other to prevent a phenomenon of being worn or damaged.

즉, 상기한 또 다른 실시예와 같이 본 발명을 구성하면, 메인플레이트에 노즐부재를 압입하여 억지 끼움한 후 나사결합하는 구조를 이루므로 보다 견고한 결속력으로부터 지속해서 체결상태를 유지하는 것이 가능하다.
That is, when the present invention is configured as in the other embodiment described above, the nozzle member is press-fitted into the main plate and then screwed into the main plate, thereby making it possible to maintain the fastening state continuously from the stronger binding force.

상기한 또 다른 실시예에 있어서도 상기한 구성 이외에는 상기한 일실시예 및/또는 다른 실시예와 마찬가지의 구성으로 실시하는 것이 가능하므로, 상세한 설명은 생략한다.
Also in the above-described other embodiments, the present invention can be implemented in the same configuration as in the above-described embodiment and / or other embodiments, except for the above-described configuration, and thus detailed description thereof will be omitted.

상기에서는 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다.
In the above, a preferred embodiment of the non-contact flat plate conveying apparatus according to the present invention has been described, but the present invention is not limited thereto, and various modifications can be made within the scope of the claims and the detailed description of the invention and the accompanying drawings. This also belongs to the scope of the present invention.

10 : 메인플레이트 11 : 노즐홈 12 : 예각경사구간
13 : 토출로 14 : 단턱부 15 : 유체공급로
16 : 차단벽 17 : 체결공 18 : 유체배출로
19 : 삽입공 20 : 노즐부재 21 : 머리부
32 : 예각경사면 23 : 결합부 25 : 제1노즐로
28 : 체결부 30 : 와셔부재 31 : 노즐구
35 : 제2노즐로 37 : 체결돌기 40 : 체결부재
41 : 너트공 5 : 연결수단 P : 평판
P1 : 최고점 P2 : 최저점 D : 단차 간격10: main plate 11: nozzle groove 12: acute inclined section
13: discharge path 14: step 15: fluid supply path
16: blocking wall 17: fastening hole 18: fluid discharge path
19: insertion hole 20: nozzle member 21: head
32: acute inclined surface 23: coupling portion 25: the first nozzle
28 fastening part 30 washer member 31 nozzle hole
35: second nozzle 37: fastening protrusion 40: fastening member
41: nut hole 5: connecting means P: flat plate
P1: Highest Point P2: Lowest Point D: Step Clearance

Claims (15)

내부로 고압의 유체가 공급될 수 있도록 가로로 길게 중공된 유체공급로를 형성하고, 상기 유체공급로로부터 공급된 유체가 분사되면서 평판에 부양력을 생성시킬 수 있도록 유체의 흐름을 유도하는 노즐홈이 상면에 복수로 형성되며, 상기 유체공급로와 노즐홈이 서로 연통하도록 수직연결하는 토출로가 형성되는 메인플레이트와;
상기 메인플레이트의 노즐홈 내에 위치하도록 머리부가 형성되고, 상기 머리부의 하단으로 연장되어 상기 메인플레이트의 토출로에 고정설치하도록 결합부가 형성되며, 상기 결합부의 외주연에는 상기 토출로로부터 수직으로 연통하여 유체공급이 가능하도록 제1노즐로가 형성되는 노즐부재와;
상기 노즐부재의 결합부에 결합하고 유체를 상기 노즐홈을 향해 분사할 수 있도록 둘레를 따라 적어도 1개 이상의 노즐구가 형성되며, 상기 노즐부재의 제1노즐로가 상기 노즐구에 연결되도록 상기 제1노즐로의 상측 선단으로 연통하는 제2노즐로가 형성된 와셔부재;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
The nozzle groove which forms a fluid supply path that is hollow horizontally to supply the high pressure fluid to the inside, and induces the flow of fluid so as to generate a float on the plate while the fluid supplied from the fluid supply path is injected A plurality of main plates formed on an upper surface thereof and having a discharge path configured to vertically connect the fluid supply path and the nozzle groove to communicate with each other;
The head is formed to be located in the nozzle groove of the main plate, the coupling portion is formed to extend to the lower end of the head portion to be fixed to the discharge path of the main plate, the outer periphery of the coupling portion communicates vertically from the discharge path A nozzle member in which a first nozzle is formed to enable fluid supply;
At least one nozzle hole is formed along a circumference to be coupled to the engaging portion of the nozzle member and inject the fluid toward the nozzle groove, and the first nozzle of the nozzle member is connected to the nozzle hole. And a washer member having a second nozzle passage communicating with an upper end of the one nozzle passage.
청구항 1에 있어서,
상기 메인플레이트는, 평판의 이송방향에 대하여 직각방향으로의 양쪽 끝단이 상향하며 중앙부분은 하측으로 오목하게 굽어진 상태를 평판이 유지하면서 이송될 수 있도록 상기 메인플레이트의 상면 중앙부분이 하측으로 오목한 만곡면을 이루어 형성되는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
The method according to claim 1,
The main plate has both ends in a direction perpendicular to the conveying direction of the flat plate and the central portion of the main plate is concave downward so that the flat plate can be conveyed while the flat plate is kept concave downward. Non-contact plate conveying apparatus, characterized in that formed by the curved surface.
청구항 2에 있어서,
상기 메인플레이트는, 상면 양쪽 끝단의 최고점과 상면 중앙부분의 최저점 간에 10~15㎛의 단차 간격을 형성토록 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
The method according to claim 2,
The main plate is a non-contact flat plate transport apparatus, characterized in that to form a step gap of 10 ~ 15㎛ between the highest point of both ends of the upper surface and the lowest point of the central portion of the upper surface.
청구항 1에 있어서,
상기 노즐홈은, 상기 메인플레이트에 의해 부양이송되는 평판으로부터 대향된 방향으로 오목한 만곡면을 형성하고 상기 메인플레이트의 상면으로 완만하게 연결되도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
The method according to claim 1,
The nozzle groove is a non-contact flat plate conveying apparatus, characterized in that to form a concave curved surface in the opposite direction from the flat plate conveyed by the main plate to be smoothly connected to the upper surface of the main plate.
청구항 1에 있어서,
상기 노즐홈은, 상기 메인플레이트 상에 평면상에서 유체공급로(15)의 방향에 대해 사선방향으로 등간격을 이루며 배열 배치되는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
The method according to claim 1,
And the nozzle grooves are arranged on the main plate at equal intervals in a diagonal direction with respect to the direction of the fluid supply path (15) on a plane.
청구항 1에 있어서,
상기 메인플레이트는, 상기 노즐홈 간의 이격된 간격마다 그 사이를 지나면서 상기 메인플레이트의 상면에 서로 교차하도록 평면상에서 유체공급로(15)의 방향에 대해 사선으로 배열 배치되는 유체배출로를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
The method according to claim 1,
The main plate includes a fluid discharge passage arranged diagonally with respect to the direction of the fluid supply passage 15 on a plane to cross each other on the upper surface of the main plate while passing therebetween at spaced intervals between the nozzle grooves. Non-contact plate conveying apparatus, characterized in that made.
청구항 1에 있어서,
상기 와셔부재는, 상기 노즐부재에 원활한 결속이 가능하도록 상기 결합부을 향해 내측으로 돌출되고 상기 제1노즐로에 대응하여 면 접촉하는 체결돌기를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
The method according to claim 1,
The washer member is a non-contact flat plate conveying apparatus, characterized in that it comprises a fastening protrusion protruding inward toward the coupling portion to allow a smooth engagement with the nozzle member and the surface contact corresponding to the first nozzle.
청구항 1에 있어서,
상기 와셔부재는, 하면과 상기 메인플레이트의 토출로 간에 직각을 이루어 상기 제2노즐로로부터 유체가 수평면을 따라 이동할 수 있도록 형성되는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
The method according to claim 1,
The washer member is a non-contact flat plate conveying apparatus, characterized in that formed at right angles between the lower surface and the discharge path of the main plate to move the fluid along the horizontal plane from the second nozzle.
청구항 1에 있어서,
상기 와셔부재는, 하면이 예각을 이루며 한쪽을 향해 점점 하향하는 예각경사면을 형성하여 상기 제2노즐로로부터 유체가 경사면을 따라 이동할 수 있도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
The method according to claim 1,
The washer member is a non-contact flat plate conveying apparatus, characterized in that the lower surface forms an acute inclined surface gradually downward toward an acute angle to move the fluid from the second nozzle along the inclined surface.
청구항 9에 있어서,
상기 메인플레이트의 노즐홈에는, 상기 와셔부재의 예각경사면에 대응한 경사각을 이루며 상기 토출로에 연장 형성되는 예각경사구간을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
The method according to claim 9,
The nozzle groove of the main plate, non-contact flat plate conveying apparatus comprising an acute inclined section extending to the discharge path to form an inclination angle corresponding to the acute inclined surface of the washer member.
청구항 1 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서,
상기 메인플레이트에서 상기 와셔부재가 안착되도록 상기 노즐홈 중앙부분이 상측으로 돌출 형성되는 단턱부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
The method according to any one of claims 1 to 10,
And a stepped portion in which the nozzle groove center portion protrudes upward so that the washer member is seated on the main plate.
청구항 11에 있어서,
상기 단턱부는, 상단에 안착되는 상기 와셔부재의 지름에 대하여 동일한 지름으로 형성되는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
The method of claim 11,
The stepped portion is non-contact flat plate transport apparatus, characterized in that formed with the same diameter with respect to the diameter of the washer member seated on the top.
청구항 1 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서,
상기 노즐부재는, 상기 메인플레이트 내에 고정 설치하도록 상기 노즐부재의 하단에 연장되고 외주연을 따라 수나사가 형성되는 체결부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
The method according to any one of claims 1 to 10,
The nozzle member is a non-contact flat plate conveying apparatus, characterized in that it comprises a fastening portion extending to the lower end of the nozzle member to be fixedly installed in the main plate, the male screw is formed along the outer circumference.
청구항 13에 있어서,
상기 메인플레이트의 유체공급로는 두 개의 열이 서로 연통하여 한 쌍을 이루고, 두 열의 상기 유체공급로 사이에 상기 노즐홈 및 토출로가 형성되며, 상기 노즐부재를 상기 토출로에 끼워 삽입한 후 상기 체결부가 결합될 수 있도록 암나사가 구비된 체결공이 형성되는 차단벽을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
The method according to claim 13,
Two rows of fluid supply passages of the main plate communicate with each other to form a pair, and the nozzle groove and the discharge passage are formed between the two fluid supply passages, and the nozzle member is inserted into the discharge passage. Non-contact plate conveying apparatus characterized in that it comprises a blocking wall is formed with a fastening hole provided with a female screw so that the fastening portion can be coupled.
청구항 13에 있어서,
상기 메인플레이트의 하부에는 상기 노즐홈 및 토출로에 동일수직선상을 이루는 삽입공을 형성하고, 상기 메인플레이트의 하측에서 상기 삽입공으로 끼운 후 상기 노즐부재의 체결부에 나사 결합하여 고정하도록 암나사가 구비된 너트공이 형성되는 체결부재를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
The method according to claim 13,
The lower part of the main plate is formed with the insertion hole forming the same vertical line in the nozzle groove and the discharge path, and inserted into the insertion hole from the lower side of the main plate is provided with a female screw to be screwed to the fastening portion of the nozzle member Non-contact plate conveying apparatus characterized in that it further comprises a fastening member is formed nut hole.
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