KR101293286B1 - Non-contact Plate Transferring Device - Google Patents

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KR101293286B1
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Abstract

본 발명은 다양한 검사 및 측정장비로부터 평판의 결함을 정확하면서도 용이하게 검출할 수 있으며, 간단한 구조로 가공이 용이함과 아울러 강한 부양력을 생성시킴에 따라 평판을 흔들림 없이 안전하게 이송시키면서 정확한 검사로 인해 제품의 불량률을 최소화하고 제품의 품질은 극대화함을 제공하도록, 내부로 고압의 유체가 공급될 수 있도록 횡방향으로 길게 유체공급로를 형성하고, 상기 유체공급로로부터 동일수직선상의 상면에는 복수의 노즐홈이 형성되며, 상기 노즐홈과 유체공급로를 서로 수직연결하여 유체가 상향이동가능하도록 토출로가 형성되는 메인플레이트와; 상기 메인플레이트의 토출로에 삽입되어 상부가 상기 노즐홈 상에 위치하도록 설치되고 상기 유체공급로를 따라 공급된 유체를 분사가능하도록 노즐구가 형성되는 노즐부재;를 포함하는 비접촉 평판 이송장치를 제공한다.The present invention can accurately and easily detect the defects of the plate from a variety of inspection and measuring equipment, and easy to process with a simple structure, and generates a strong flotation force to safely transport the plate without shaking, due to the accurate inspection of the product In order to minimize the defective rate and maximize the quality of the product, a fluid supply passage is formed long in the lateral direction so that a high pressure fluid can be supplied therein, and a plurality of nozzle grooves are formed on the upper surface in the same vertical line from the fluid supply passage. A main plate having a discharge path configured to vertically connect the nozzle groove and the fluid supply path to each other so as to move the fluid upwardly; It is inserted into the discharge path of the main plate is installed so that the upper portion is located on the nozzle groove and the nozzle member is formed to enable the injection of the fluid supplied along the fluid supply path; Provides a non-contact flat plate transport apparatus including a do.

Description

비접촉 평판 이송장치{Non-contact Plate Transferring Device}Non-contact Plate Transferring Device

본 발명은 비접촉 평판 이송장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 평판에 대해 인력과 척력을 함께 적용하여 부양이송하며 평판이송시 자중에 의해 쳐지거나 굽어지는 현상을 방지하여 이송하므로 다양한 검사 및 측정장비로부터 평판의 결함을 정확하면서도 용이하게 검출할 수 있으며, 간단한 구조로 가공이 용이함과 아울러 강한 부양력을 생성시킴에 따라 평판을 흔들림 없이 안전하게 이송시키면서 정확한 검사로 인해 제품의 불량률을 최소화하고 제품의 품질은 극대화하는 것이 가능한 비접촉 평판 이송장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a non-contact flat plate conveying apparatus, and more particularly, by applying the manpower and repulsive force to the flat plate to support the lifting and transfer by preventing the phenomenon of being hit or bent by the weight of the plate during transfer from various inspection and measurement equipment The defects of the plate can be detected accurately and easily, and the simple structure makes it easy to process and generates a strong flotation force, so that the plate can be safely transported without shaking, minimizing the defect rate of the product and maximizing the quality of the product by accurate inspection. It relates to a non-contact plate conveying apparatus that can be.

일반적으로, 인라인 검사장비(In-Line FPD Automatic Optical Inspection)는 TFT LCD 패널이나 PDP, 컬러필터 등의 디스플레이 패널(display panel) 등을 안내하면서 광학렌즈와 CCD 카메라를 사용하여 검사 대상물의 이미지를 캡쳐한 후 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 사용자가 찾아내고자 하는 각종 결함을 검출해 내는 장비이다. 이러한 인라인 검사장비는 크게 불량을 검출하는 스캔섹션(scan section)과 리뷰섹션(review section) 및 언로딩 섹션(unlaod section)으로 분할된다. 이와 같은 검사장비가 검사시스템으로서의 역할을 다하기 위해서는 검출한 결함의 위치와 크기를 정확하게 알아내는 것도 중요하지만, 스캔섹션에서부터 언로딩 섹션까지 평판을 안내하는 반송수단의 역할 또한 중요한 요소로 작용한다. 최근에는 평판을 안내하는 반송수단으로 엘씨디(LCD), 피디피(PDP), 디엘피(DLP), 에프피디(FPD) 등과 같은 평판패널을 공기부양시켜 이송하도록 구성되는 공기부양식 평판패널 이송장치가 실용화되어 이용되고 있는 실정이다.
In general, in-line FPD automatic optical inspection captures an image of an inspection object using an optical lens and a CCD camera while guiding a display panel such as a TFT LCD panel, a PDP, a color filter, etc. It is a device that detects various defects that a user wants to find by applying an image processing algorithm. The inline inspection equipment is largely divided into a scan section, a review section, and an unlaod section for detecting a defect. In order for such inspection equipment to function as an inspection system, it is important to accurately determine the position and size of the detected defect, but the role of the conveying means for guiding the plate from the scan section to the unloading section also plays an important role. Recently, as a conveying means for guiding a flat plate, an air-floating flat panel conveying device configured to convey and float a flat panel such as LCD, PDP, DLP, FPD, etc. The situation is practical and used.

상기와 같은 공기부양식 평판패널 이송장치와 관련하여 대한민국 특허등록 제10-0650290호에는, 고압의 압축에어가 공급되는 하부플레이트와, 상기 하부플레이트의 상부에 고정볼트에 의해서 고정되면서 에어가 분출되는 다수의 에어홀이 형성된 상부플레이트와, 상기 하부플레이트 및 상기 상부플레이트 사이에 배치되는 통상의 실리콘 가스켓으로 이루어진 비접촉 반송플레이트에 있어서, 상기 에어홀은 상기 상부플레이트의 하부면 상에 내측으로 수직하게 연장 형성되는 제1확장안내부와, 상기 제1확장안내부의 연장단에서 상기 상부플레이트의 내측으로 연장됨과 아울러 상기 제1확장안내부의 직경보다 작은 직경을 가지면서 내주면 상에는 암나사가 형성 제2확장안내부와, 상기 제2확장안내부의 연장단에서 상기 상부플레이트의 상부면을 관통하는 미세안내부를 구비하고, 상기 제1확장안내부 및 상기 제2확장안내부에는 상기 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 변화시켜 상기 미세안내부로 분출되게 하는 저항수단이 끼워지도록 구성되어 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 분출시킴에 따라 패널을 반송할 때 떨림현상을 줄일 수 있는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송플레이트가 개발되어 있다.
In connection with the air-floating flat panel conveying device as described above, the Republic of Korea Patent Registration No. 10-0650290, the air is ejected while being fixed by a fixed bolt on the upper plate and the lower plate is supplied with a high-pressure compressed air In a non-contact conveying plate consisting of an upper plate having a plurality of air holes and a conventional silicon gasket disposed between the lower plate and the upper plate, the air holes extend vertically inward on the lower surface of the upper plate. A second extension guide part formed on the inner circumferential surface of the first extension guide part formed on the inner circumferential surface of the first extension guide part and extending from the extended end of the first extension guide part to the inside of the upper plate and smaller than the diameter of the first extension guide part; And extending from the extended end of the second extension guide to the upper surface of the upper plate. It is provided with a fine guide portion, the first expansion guide portion and the second expansion guide portion is configured to be fitted with a resistance means for ejecting the high-pressure compressed air to a low flow rate of the high pressure to be ejected to the fine guide portion is compressed A non-contact conveying plate has been developed which can reduce the shaking phenomenon when conveying the panel by ejecting air at a low flow rate of high pressure.

또한, 관련기술로서 대한민국 특허등록 제10-0913298호에는 상부면상 가운데에는 길이방향으로 진공챔버가 형성되고, 그 양쪽에는 이격되게 분출챔버가 형성되어 상기 진공챔버에는 외부의 진공펌프에서 흡입력을 인가받으며, 상기 분출챔버에는 외부의 콤푸레샤에서 압축공기를 인가받는 베이스; 상기 분출챔버 위에 장착되고, 내부에는 상기 분출챔버와 연통되는 다수의 분출로가 밀폐되게 형성되며, 상기 각각의 분출로에는 상측으로 관통되어 압축공기를 분출시키는 분사공이 형성되는 분출플레이트; 및 상기 진공챔버위에 양측이 상기 분출플레이트와 맞닿게 장착되어 틈새를 형성하고, 내부에는 상기 진공챔버와 연통되는 다수의 흡입로가 양측으로 개방되게 형성되어 상기 틈새로 흡입력이 작용되는 진공플레이트;를 포함한 구성으로 피반송물이 안정되게 반송하고 평탄도를 맞출 수 있는 것을 특징으로 하는 반송플레이트가 공지되어 있다.
In addition, as a related technology, the Republic of Korea Patent Registration No. 10-0913298 has a vacuum chamber is formed in the center in the longitudinal direction on the upper surface, the ejection chamber is formed spaced on both sides of the vacuum chamber is applied to the suction force from the external vacuum pump The ejection chamber has a base for receiving compressed air from an external compressor; An ejection plate mounted on the ejection chamber, the ejection plate having a plurality of ejection passages communicating with the ejection chamber therein, the ejection plate penetrating upwards to eject compressed air; And a vacuum plate having both sides mounted on the vacuum chamber to be in contact with the jet plate to form a gap, and a plurality of suction paths communicating with the vacuum chamber open to both sides, so that suction force is applied to the gap. A conveying plate is known which can convey a conveyed object stably and adjusts flatness by the structure comprised.

또한, 대한민국 특허등록 제10-0876337호에는 챔버가 형성된 하판과, 상기 하판의 상부면상에 겹쳐지며 상기 챔버와 연통되는 다수의 결합공을 갖는 중판과, 상기 중판의 상부면상에 겹쳐지며 상기 결합공들과 연통되는 에어분출공을 갖는 상판과, 상기 에어분출공으로 삽입 고정되고 상기 챔버의 에어를 수용하여 상기 에어분출공과의 사이 틈새로 유도하는 에어분출볼트를 포함하는 흡입력을 갖는 비접촉식 반송 플레이트에 있어서, 상기 에어분출볼트의 상단에는 상기 에어가 상측 사선방향으로 분출되도록 머리부가 형성되되, 상기 머리부의 하부면은 상측으로 연장될수록 벌어지는 사선이 형성되고, 상기 에어분출공의 상단은 라운딩되며, 상기 에어분출볼트의 상부면상에는 오목한 홈이 형성되어 반송과 동시에 소량의 흡입력이 발생되므로 미세한 떨림을 방지할 수 있는 것을 특징으로 하는 흡입력을 갖는 비접촉식 반송 플레이트가 공지되어 있다.
In addition, the Republic of Korea Patent Registration No. 10-0876337 has a lower plate formed with a chamber, a middle plate having a plurality of coupling holes overlapping on the upper surface of the lower plate and in communication with the chamber, overlapping the upper surface of the intermediate plate and the coupling hole In the non-contact conveying plate having a suction force comprising a top plate having an air ejection hole in communication with the field, and an air ejection bolt inserted into and fixed to the air ejection hole to receive the air in the chamber and guide the gap between the air ejection hole and the air ejection hole. A head portion is formed at an upper end of the air ejection bolt so that the air is ejected in an upward oblique direction, and a lower oblique line is formed as the lower surface of the head extends upward, and an upper end of the air ejection hole is rounded. A concave groove is formed on the upper surface of the ejection bolt, so a small amount of suction force is generated at the same time as the conveying bolt. BACKGROUND ART Non-contact conveying plates with suction force, which can prevent shaking, are known.

그러나, 상기와 같은 종래의 이송장치는 부양력에 의해 비접촉상태로 평판을 이송하기 때문에 얼룩이나 스크래치와 같은 흠집의 발생 없이도 평판을 이송하면서 검사 및 측정작업을 할 수 있다는 이점이 있지만, 반면에 부양력을 생성시키는 유체의 공급이 부재된 공간에서는 평판이 아래로 쳐지거나 굽어져 온전한 검사 및 측정작업이 어렵게 된다는 단점이 있었다. 즉, 평판에 부양력을 생성시키는 이송장치는 서로 간격을 두고 복수로 설치되어 이송장치 간의 떨어진 공간에 다양한 종류의 인라인 검사장비가 설치되는데, 이처럼 이송장치 간에 서로 떨어져 부양력의 생성이 없는 공간에서는 수평을 유지하던 평판이 갑자기 아래로 쳐지거나 굽어져 검사장비로부터 정확한 검사 및 측정결과를 얻지 못하고 평판의 결함을 온전히 찾아내지 못하거나 오차가 생기게 되는 문제점이 있었다.
However, the conventional conveying apparatus as described above has the advantage that the inspection and measurement work can be carried out while conveying the flat plate without the occurrence of scratches such as stains or scratches, because the flat plate is transported in a non-contact state by the flotation force. In the absence of the supply of the fluid to be produced, the flat plate is struck down or bent, which makes it difficult to perform an entire inspection and measurement. That is, a plurality of conveying devices that generate flotation on the plate are installed at a plurality of spaced apart from each other, and various types of inline inspection equipment are installed in the spaces between the conveying devices. The flat plate was suddenly struck down or bent, so that accurate inspection and measurement results could not be obtained from the inspection equipment, and there was a problem in that the flat plate could not be fully detected or had errors.

상기에서 전술한 문제는 다양한 종류의 평판 중에서도 강성이 있어서 쉽게 구부러지지 않는 리지드 평판(rigid plate)보다도 어느 정도의 강성은 있지만 자중만으로 쉽게 구부러지는 필름 등의 유연한 평판(flexible plate)에 크게 나타나게 된다. 또한, 최근에는 검사장비의 설비 및 온전한 검사와 측정 등의 이유로 이송장치 간의 간격을 가급적 넓혀 설치함에 따라 평판이 쳐지거나 굽어지는 현상으로부터 정확하면서도 온전한 검사 및 측정이 이루어질 수 있는 기술개발이 요구되는 실정이다.
The above-mentioned problem is large in rigidity among various kinds of flat plates, but the rigidity is somewhat greater than that of rigid plates, which are easily bent only by their own weight. In addition, in recent years, due to the installation of inspection equipment and the inspection and measurement, the gap between the transfer devices is widened as much as possible, so that the development of technology capable of accurate and intact inspection and measurement from flatness or bending phenomenon is required. to be.

상기와 같은 문제점을 해결하고자 이송 전에 평판을 접어(folding)준 다음 펼쳐 공급하므로 평판의 직진도를 높여 이송중 쳐지거나 굽어지는 현상을 방지하였으나, 이는 불필요하게 평판을 접어야하는 작업과 함께 검사 후에는 다시 펼쳐야하는 작업으로 인해 작업이 늦춰지고, 평판이 지속해서 접힌 상태를 유지하기 위해서는 확실하게 접어야하기 때문에 제품의 손상으로 인해 불량률의 증가 및 품질이 저하되는 등의 문제점이 있었다.
In order to solve the problems described above, the plate is folded and then unfolded before feeding, thereby increasing the straightness of the plate to prevent it from sagging or bending during the transfer. Due to the work that needs to be unfolded, the work is delayed, and in order to maintain the folded state continuously, there is a problem of increasing the defective rate and lowering the quality due to damage to the product.

또한, 종래의 이송장치는 부양력을 생성시키기 위해 척력을 생성할 에어와 함께 인력을 생성할 진공의 공급이 필요하므로 에어 및 진공을 발생시키거나 공급할 수 있는 각각의 장치가 필요하여 설비비용이 많이 소요된다는 문제점이 있었다. 따라서, 최근에는 에어 공급만으로 인력과 척력을 동시에 생성시킬 수 있는 이송장치가 개발되어 사용되고 있으나 평판을 부양토록 생성되는 부양력이 약하고, 구조 및 각 구성들이 복잡한 형상을 이루므로 이송장치의 제작과정에서 가공이 어렵다는 문제점이 있었다.
In addition, the conventional transfer device requires the supply of a vacuum to generate a manpower together with the air to generate the repulsive force to generate the buoyancy, so each device capable of generating or supplying air and vacuum requires a lot of equipment cost There was a problem. Therefore, in recent years, a feeder capable of simultaneously generating manpower and repulsive force by air supply has been developed and used. However, the flotation force generated to support a flat plate is weak, and the structure and each component form a complicated shape. There was a problem with this difficulty.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 미세하게 굽어진 상태를 계속해서 유지하면서 평판을 이송하여 검사장비가 위치한 부양력이 부재된 공간에서도 자중에 의해 쳐지거나 굽어지는 현상을 방지하므로, 다양한 장비로부터 검사 및 측정작업이 용이하여 평판의 각종결함을 정확하게 검출할 수 있고, 명확한 검사 및 측정에 따른 작업은 제품의 불량률을 최소화하면서 제품의 품질은 극대화하는 것이 가능한 비접촉 평판 이송장치를 제공하는데, 그 목적이 있다.
The present invention is to solve the problems as described above, and because it keeps the finely bent state to transfer the flat plate to prevent the phenomenon of being hit or bent by its own weight even in the absence of the flotation force in which the inspection equipment is located, It is easy to inspect and measure from the equipment, so it is possible to accurately detect various defects on the plate, and the operation according to the clear inspection and measurement provides a non-contact flat plate conveying device capable of maximizing product quality while minimizing the defect rate of the product. The purpose is.

뿐만 아니라, 본 발명은 이송시 부양력에 의해 평판이 자동으로 미세하게 굽어지면서 평판의 평형상태를 유지하며 부양이송함에 따라 이송 전에 평판을 접거나 이송 후 접힌 평판을 피는 작업이 불필요하여 작업의 편의성 및 신속성을 도모하고, 평판이 과도하게 접히는 현상을 방지하여 제품이 원상태를 그대로 유지할 수 있으므로 제품의 불량률을 줄이면서 품질은 높이는 것이 가능한 비접촉 평판 이송장치를 제공하기 위한 것이다.
In addition, the present invention maintains the flat state of the flat plate automatically bent by the flotation force during the transfer and maintain the equilibrium state of the flat plate by the transfer of flotation before the transfer or the need to avoid the folded plate after the transfer of convenience and ease of operation It is to provide a non-contact flat plate conveying device capable of increasing the quality while reducing the defect rate of the product because it is possible to promote rapidity, prevent the excessive flat plate folding phenomenon.

또한, 본 발명은 구조가 매우 간단하고 부양력을 생성시키는 수단이 간단한 형상을 이루므로 제작과정에서 가공이 용이하고, 유체의 흐름으로부터 높은 압력을 생성시킨 다음 급격한 유속으로의 이동이 가능한 구조를 이루어 강한 부양력을 생성시키므로 평판을 흔들림 없이 안전하게 이송시키는 것이 가능한 비접촉 평판 이송장치를 제공하기 위한 것이다.
In addition, the present invention is very simple in structure and the means for generating the buoyancy to form a simple shape is easy to process in the manufacturing process, create a high pressure from the flow of the fluid and then make a structure capable of moving to a rapid flow rate strong It is to provide a non-contact plate conveying device capable of safely transporting the plate without shaking because it generates the flotation force.

본 발명이 제안하는 비접촉 평판 이송장치는 내부로 고압의 유체가 공급될 수 있도록 횡방향으로 길게 유체공급로를 형성하고, 상기 유체공급로로부터 동일수직선상의 상면에는 복수의 노즐홈이 형성되며, 상기 노즐홈과 유체공급로를 서로 수직연결하여 유체가 상향이동가능하도록 토출로가 형성되는 메인플레이트와; 상기 메인플레이트의 토출로에 삽입되어 상부가 상기 노즐홈 상에 위치하도록 설치되고 상기 유체공급로를 따라 공급된 유체를 분사가능하도록 노즐구가 형성되는 노즐부재;를 포함하여 이루어진다.
The non-contact flat plate conveying apparatus proposed by the present invention forms a fluid supply path long in the lateral direction so that a high pressure fluid can be supplied therein, and a plurality of nozzle grooves are formed on the same vertical line from the fluid supply path. A main plate in which a discharge path is formed to vertically connect the nozzle groove and the fluid supply path to move the fluid upwardly; And a nozzle member inserted into the discharge path of the main plate so that an upper part is positioned on the nozzle groove and a nozzle hole is formed to enable injection of the fluid supplied along the fluid supply path.

상기 메인플레이트의 노즐홈은 상기 토출로에서 상기 메인플레이트의 상면으로 완만하게 연장연결되도록 형성하되 평판에 대향되는 방향을 향해 오목한 만곡면을 이루도록 형성된다.
The nozzle groove of the main plate is formed so as to extend gently connected to the upper surface of the main plate in the discharge path to form a concave curved surface toward the direction opposite to the flat plate.

상기 메인플레이트는 평판을 이송방향의 직각방향으로 양쪽 끝단이 상향하여 굽어진 상태를 유지하면서 이송될 수 있도록 상기 메인플레이트의 상면 중앙부분이 하측으로 미세하게 오목한 만곡면을 이루어 형성됨을 포함하고, 상기 메인플레이트의 상면 중 최고점을 이루는 양쪽 끝단과 최저점을 이루는 중앙부분 간의 단차 간격이 10~15㎛로 이루어진다.
The main plate includes a central surface of the upper surface of the main plate formed to form a curved concave to the lower side so that both ends of the flat plate in the perpendicular direction of the conveying direction can be conveyed while maintaining the curved state. The step gap between both ends forming the highest point of the upper surface of the main plate and the central part forming the lowest point is 10-15 μm.

상기 노즐부재는 상기 토출로에 삽입되도록 하부에 형성되어 상기 메인플레이트에 고정설치되는 체결부와, 상기 체결부의 지름보다 큰 지름을 이루어 상기 노즐홈 상에 안착하고 측면으로 복수의 노즐구가 형성되는 노즐머리부와, 상기 토출로에 연통하여 상기 노즐구를 향해 유체이동을 유도하도록 내부에 중공 형성되는 유로를 포함하여 이루어진다.
The nozzle member is formed at a lower portion to be inserted into the discharge path, and a fastening portion fixed to the main plate, and having a diameter larger than that of the fastening portion, is seated on the nozzle groove, and a plurality of nozzle holes are formed on the side surface. It comprises a nozzle head and a flow path formed in the hollow to induce fluid movement toward the nozzle in communication with the discharge path.

그리고, 상기 메인플레이트의 노즐홈과 상기 노즐부재의 사이에 설치되되 상기 토출로에 연통하도록 유입공이 형성되고, 상기 유입공으로 공급된 유체가 노즐구를 통해 분사될 수 있도록 방사형태의 톱니형 노즐로가 형성되는 와셔부재를 더 포함하여 이루어지는 것도 가능하다.
In addition, an inlet hole is formed between the nozzle groove of the main plate and the nozzle member so as to communicate with the discharge path, and a radial sawtooth nozzle so that the fluid supplied to the inlet hole can be injected through the nozzle hole. It is also possible to further comprise a washer member is formed.

또한, 상기 노즐부재는 상기 노즐홈에서 상기 와셔부재의 상면에 접촉하도록 위치하는 머리부와, 상기 토출로의 지름보다 작은 지름을 이루고 상기 메인플레이트의 하면으로 돌출되도록 길게 연장 형성되는 나사부를 포함하여 이루어진다.
In addition, the nozzle member includes a head portion positioned to contact the upper surface of the washer member in the nozzle groove, and a screw portion that is formed to extend to the lower surface of the main plate to form a diameter smaller than the diameter of the discharge passage; Is done.

그리고, 상기 노즐부재가 상기 메인플레이트의 토출로에 삽입된 후 고정가능하도록 상기 나사부의 돌출된 부분에 결합하는 체결너트를 더 포함하여 이루어진다.
The nozzle member further includes a fastening nut coupled to the protruding portion of the screw part to be fixed after being inserted into the discharge path of the main plate.

상기 와셔부재의 톱니형 노즐로는 상기 유입공에서 상기 노즐구까지 일직선으로 형성되는 직선형 유로로 이루어져 실시하는 것도 가능하고, 상기 유입공에서 상기 노즐구까지 물결형태로 형성되는 곡선형 유로로 이루어지는 형태로도 실시가능하다.
The washer-type nozzle of the washer member may be implemented as a straight flow path formed in a straight line from the inlet hole to the nozzle hole, and may be a curved flow path formed in a wave form from the inlet hole to the nozzle hole. Also possible.

상기 톱니형 노즐로는 상기 와셔부재의 상/하부면 중 적어도 어느 한쪽 면에 형성되어 이루어진다. 또한, 상기 톱니형 노즐로는 상기 와셔부재의 상하 양쪽 면에 각각 형성되어 이루어지도록 실시하는 것도 가능하다.
The serrated nozzle is formed on at least one of the upper and lower surfaces of the washer member. In addition, the toothed nozzle may be formed to be formed on each of the upper and lower surfaces of the washer member.

본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치에 의하면, 평판이 미세하게 굽어진 상태를 이송중 계속해서 유지할 수 있도록 메인플레이트의 상면이 미세한 만곡면을 이루므로, 검사장비가 위치함에 따른 메인플레이트의 부재로부터 평판에 부양력이 미치지 못하는 공간에서도 자중에 의해 평판이 쳐지거나 굽어지는 현상을 방지할 수 있도록 평판의 직진도를 극대화하고, 메인플레이트의 사이사이에 설치된 다양한 장비로부터 평판의 검사 및 측정작업이 용이하여 평판의 결함요소를 정확하게 검출할 수 있으며, 평판의 명확한 검사 및 측정으로 평판이 적용되는 제품의 불량률을 최소화함과 아울러 제품의 품질을 극대화할 수 있는 효과를 얻는다.
According to the non-contact flat plate conveying apparatus according to the present invention, since the upper surface of the main plate forms a fine curved surface so that the flat plate can be continuously maintained during the transfer, the flat plate from the member of the main plate according to the inspection equipment is located. Maximize the straightness of the plate to prevent the plate from falling or bending under its own weight even in the space where the flotation force does not reach. The plate can be easily inspected and measured from various equipment installed between the main plates. It is possible to accurately detect defects and to minimize the defect rate of the product to which the plate is applied through clear inspection and measurement of the plate and to maximize the quality of the product.

뿐만 아니라, 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치는 이송시 평판에 적용되는 부양력에 의해 저절로 미세하게 굽어지면서 평판이 평형상태를 지속적으로 유지한 채 이송됨에 따라 검사 및 측정하기 위한 평판의 이송 전에 평판을 굽히거나 이송 후 굽어진 평판을 피는 작업이 불필요하므로 작업의 편의성 및 신속성을 도모하는 것이 가능하고, 평판을 과도하게 접을 필요가 없으며 미세하게 굽힌 상태로 이송된 평판은 이송 후 원상태로 복원가능하기 때문에 평판의 불량률은 최소화하면서 그 품질은 극대화할 수 있는 효과가 있다.
In addition, the non-contact flat plate conveying apparatus according to the present invention is to be smoothly bent by the flotation force applied to the flat plate at the time of conveying the plate before the transfer of the plate for inspection and measurement as the plate is conveyed while maintaining the equilibrium constantly Since it is not necessary to avoid bending plate after bending or conveying, it is possible to improve the convenience and speed of work, and there is no need to fold the plate excessively, and the plate conveyed in finely bent state can be restored to its original state after transfer. The defect rate of the plate is minimized and the quality is maximized.

또한, 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치는 노즐홈이 형성된 메인플레이트에 노즐부재가 설치되는 매우 간단한 구조를 이루고 유체에 의해 부양력을 생성시키는 노즐홈 및 노즐부재의 형상이 간단하므로, 이송장치의 제작과정에서 가공이 매우 용이한 효과가 있다.
In addition, the non-contact flat plate conveying apparatus according to the present invention forms a very simple structure in which the nozzle member is installed on the main plate in which the nozzle groove is formed, and the shape of the nozzle groove and the nozzle member for generating the flotation force by the fluid is simple. There is a very easy effect in the process.

또한, 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치는 유체의 흐름으로 높은 압력의 유체를 생성시킨 다음 급격한 유속으로의 유체이동이 가능한 구조를 이루어 강력한 부양력을 생성시키므로 평판이 이송중에 흔들림이 없으며 평판을 안전하게 이송시킬 수 있는 효과가 있다.
In addition, the non-contact flat plate conveying apparatus according to the present invention generates a high-pressure fluid by the flow of the fluid and then a structure capable of moving the fluid at a rapid flow rate to generate a strong flotation force, so that the flat plate does not shake during transportation and transports the plate safely It can be effected.

또한, 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치는 유체를 분사시킬 수 있도록 유로가 형성된 와셔부재를 구성하므로, 유로의 가공이 보다 용이하여 제작의 편의성을 도모할 수 있는 효과가 있다.
In addition, since the non-contact flat plate conveying apparatus according to the present invention constitutes a washer member in which a flow path is formed so as to inject a fluid, there is an effect that the flow path can be more easily processed to facilitate manufacturing.

도 1은 본 발명에 따른 일실시예를 나타내는 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 일실시예를 나타내는 정단면도.
도 3은 본 발명에 따른 일실시예를 나타내는 부분확대단면도.
도 4는 본 발명에 따른 다른 실시예를 나타내는 측단면도.
도 5는 도 4에 있어서 와셔부재의 제1실시예를 나타내는 사시도.
도 6은 도 4에 있어서 와셔부재의 제2실시예를 나타내는 사시도.
도 7은 본 발명에 따른 다른 실시예에 있어서 와셔부재의 노즐로가 상하면에 형성된 상태를 나타내는 부분확대단면도.1 is a perspective view showing an embodiment according to the present invention;
Figure 2 is a front sectional view showing an embodiment according to the present invention.
Figure 3 is a partially enlarged cross-sectional view showing an embodiment according to the present invention.
Figure 4 is a side cross-sectional view showing another embodiment according to the present invention.
FIG. 5 is a perspective view showing a first embodiment of the washer member in FIG. 4; FIG.
FIG. 6 is a perspective view showing a second embodiment of the washer member in FIG. 4; FIG.
Figure 7 is a partially enlarged cross-sectional view showing a state in which the nozzle path of the washer member is formed on the upper and lower surfaces in another embodiment according to the present invention.

본 발명은 내부로 고압의 유체가 공급될 수 있도록 횡방향으로 길게 유체공급로를 형성하고, 상기 유체공급로로부터 동일수직선상의 상면에는 복수의 노즐홈이 형성되며, 상기 노즐홈과 유체공급로를 서로 수직연결하여 유체가 상향이동가능하도록 토출로가 형성되는 메인플레이트와; 상기 메인플레이트의 토출로에 삽입되어 상부가 상기 노즐홈 상에 위치하도록 설치되고 상기 유체공급로를 따라 공급된 유체를 분사가능하도록 노즐구가 형성되는 노즐부재;를 포함하여 이루어지는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.The present invention forms a fluid supply passage in the transverse direction so that the high-pressure fluid can be supplied to the inside, a plurality of nozzle grooves are formed on the same vertical line from the fluid supply passage, the nozzle groove and the fluid supply passage A main plate in which discharge paths are formed to vertically connect with each other to allow the fluid to move upwardly; And a nozzle member inserted into the discharge path of the main plate so that an upper portion is positioned on the nozzle groove, and a nozzle hole formed to enable injection of the fluid supplied along the fluid supply path. It is characterized by the technical configuration.

또한, 상기 메인플레이트의 노즐홈은 상기 토출로에서 상기 메인플레이트의 상면으로 완만하게 연장연결되도록 형성하되 평판에 대향되는 방향을 향해 오목한 만곡면을 이루도록 형성되는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.In addition, the nozzle groove of the main plate is formed so as to extend gently connected to the upper surface of the main plate in the discharge path, characterized in that the non-contact flat plate conveying device is formed to form a curved concave toward the direction facing the plate as a technical feature do.

또한, 상기 메인플레이트는 평판을 이송방향의 직각방향으로 양쪽 끝단이 상향하여 굽어진 상태를 유지하면서 이송될 수 있도록 상기 메인플레이트의 상면 중앙부분이 하측으로 미세하게 오목한 만곡면을 이루어 형성되는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.In addition, the main plate is a non-contact flat plate is formed by forming a curved surface in which the central portion of the upper surface of the main plate is finely concave downward so that both ends are bent upward in the direction perpendicular to the transfer direction The conveying device is characterized by a technical configuration.

또한, 상기 메인플레이트는 상기 메이플레이트의 상면 중 최고점을 이루는 양쪽 끝단과 최저점을 이루는 중앙부분 간의 단차 간격이 10~15㎛로 이루어지는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.In addition, the main plate is characterized by a non-contact flat plate conveying device consisting of a 10 to 15㎛ step distance between the two ends and the central portion forming the lowest point of the top surface of the may plate.

또한, 상기 노즐부재는 상기 토출로에 삽입되도록 하부에 형성되어 상기 메인플레이트에 고정설치되는 체결부와, 상기 체결부의 지름보다 큰 지름을 이루어 상기 노즐홈 상에 안착하고 측면으로 복수의 노즐구가 형성되는 노즐머리부와, 상기 토출로에 연통하여 상기 노즐구를 향해 유체이동을 유도하도록 내부에 중공 형성되는 유로를 포함하여 이루어지는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.In addition, the nozzle member is formed in the lower portion so as to be inserted into the discharge path and the fastening portion fixed to the main plate, the diameter larger than the diameter of the fastening portion is seated on the nozzle groove and a plurality of nozzle holes to the side The non-contact flat plate conveying apparatus which comprises the nozzle head part formed and the flow path formed hollow inside so that the fluid flows toward the said nozzle opening in communication with the said discharge path is characterized by the technical structure.

또한, 본 발명은 상기 메인플레이트의 노즐홈과 상기 노즐부재의 사이에 설치되되 상기 토출로에 연통하도록 유입공이 형성되고, 상기 유입공으로 공급된 유체가 노즐구를 통해 분사될 수 있도록 방사형태의 톱니형 노즐로가 형성되는 와셔부재를 더 포함하여 이루어지는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.In addition, the present invention is provided between the nozzle groove of the main plate and the nozzle member inlet hole is formed to communicate with the discharge path, the radial teeth so that the fluid supplied to the inlet hole can be injected through the nozzle hole A non-contact flat plate conveying apparatus further comprising a washer member formed with a mold nozzle is characterized by a technical configuration.

또한, 상기 노즐부재는 상기 노즐홈에서 상기 와셔부재의 상면에 접촉하도록 위치하는 머리부와, 상기 토출로의 지름보다 작은 지름을 이루고 상기 메인플레이트의 하면으로 돌출되도록 길게 연장 형성되는 나사부를 포함하여 이루어지는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.In addition, the nozzle member includes a head portion positioned to contact the upper surface of the washer member in the nozzle groove, and a screw portion that is formed to extend to the lower surface of the main plate to form a diameter smaller than the diameter of the discharge passage; A non-contact flat plate feeder is characterized by a technical configuration.

또한, 상기 노즐부재가 상기 메인플레이트의 토출로에 삽입된 후 고정가능하도록 상기 나사부의 돌출된 부분에 결합하는 체결너트를 더 포함하여 이루어지는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.In addition, the non-contact flat plate conveying apparatus further comprises a fastening nut coupled to the protruding portion of the screw portion to be fixed after the nozzle member is inserted into the discharge path of the main plate is characterized by a technical configuration.

또한, 상기 와셔부재의 톱니형 노즐로는 상기 유입공에서 상기 노즐구까지 일직선으로 형성되는 직선형 유로로 이루어지는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.In addition, the toothed nozzle of the washer member is characterized by a non-contact flat plate conveying device formed of a straight flow path formed in a straight line from the inlet hole to the nozzle hole.

또한, 상기 와셔부재의 톱니형 노즐로는 상기 유입공에서 상기 노즐구까지 물결형태로 형성되는 곡선형 유로로 이루어지는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.In addition, the toothed nozzle of the washer member is characterized by a non-contact flat plate conveying device made of a curved channel formed in a wave form from the inlet hole to the nozzle hole.

또한, 상기 톱니형 노즐로는 상기 와셔부재의 상/하부면 중 적어도 어느 한쪽 면에 형성되어 이루어지는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.In addition, the toothed nozzle is characterized by a non-contact flat plate conveying device formed on at least one of the upper and lower surfaces of the washer member.

또한, 상기 톱니형 노즐로는 상기 와셔부재의 상하 양쪽 면에 각각 형성되어 이루어지는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.
In addition, the toothed nozzle is characterized by a technical configuration of a non-contact flat plate conveying apparatus formed on each of the upper and lower surfaces of the washer member.

다음으로 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 도면에서 동일한 구성은 동일한 부호로 표시하고, 중복되는 상세한 설명은 생략한다.Next, a preferred embodiment of the non-contact plate transport apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the drawings, the same components are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

그러나, 본 발명의 실시예들은 여러 가지 다양한 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 한정되는 것으로 해석되지 않는다. 본 발명의 실시예들은 해당 기술분야에서 보통의 지식을 가진 자가 본 발명을 이해할 수 있도록 설명하기 위해서 제공되는 것이고, 도면에서 나타내는 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 예시적으로 나타내는 것이다.
However, embodiments of the present invention may be modified in many different forms, the scope of the invention is not to be construed as limited to the embodiments described below. Embodiments of the present invention are provided to explain those skilled in the art to understand the present invention, the shape of the elements shown in the drawings and the like are shown by way of example in order to emphasize more clear description.

먼저, 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치의 일실시예는 도 1 내지 도 3에 나타낸 바와 같이, 메인플레이트(10)와, 노즐부재(20)를 포함하여 이루어진다.
First, one embodiment of the non-contact flat plate conveying apparatus according to the present invention comprises a main plate 10 and a nozzle member 20, as shown in FIGS.

상기 메인플레이트(10)는 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 상자형상으로 이루어지고, 내부에는 외부로부터 공급되는 유체가 이동될 수 있는 이동통로로 유체공급로(15) 및 토출로(13)가 형성되며, 상면에 복수의 노즐홈(11)이 형성된다.
1 and 2, the main plate 10 is formed in a box shape, and the fluid supply passage 15 and the discharge passage 13 are moving passages through which the fluid supplied from the outside can move. Is formed, a plurality of nozzle grooves 11 are formed on the upper surface.

상기 메인플레이트(10)는 평판(P)의 이송방향인 길이에 비해 폭이 상대적으로 넓은 장방형의 직육면체로서, 소정의 두께를 갖되 비교적 무게가 가벼운 금속재질로 형성된다.
The main plate 10 is a rectangular rectangular parallelepiped having a relatively wider width than the length in the conveying direction of the flat plate P, and is formed of a metal material having a predetermined thickness but a relatively light weight.

상기 메인플레이트(10)는 평판(P)의 이송방향을 따라 복수로 설치된다. 즉, 상기 메인플레이트(10)는 평판(P)이 이송될 방향을 따라 소정의 등간격을 유지하면서 나열 배치된다.
The main plate 10 is provided in plurality along the conveying direction of the flat plate (P). That is, the main plates 10 are arranged side by side while maintaining a predetermined equal interval along the direction in which the flat plate P is to be transferred.

도면에 나타내지는 않았지만, 상기 메인플레이트(10)를 복수로 설치할 때는 일정한 개수가 균일하게 설치가능하도록 가장 기본이 되는 받침대로서 베이스프레임을 구성하는 것이 바람직하다.
Although not shown in the drawings, when the plurality of the main plate 10 is installed, it is preferable to configure the base frame as the most basic pedestal so that a certain number can be uniformly installed.

상기 유체공급로(15)는 별도의 유체발생장치(도면에 미도시)로부터 생성된 유체가 계속해서 공급가능한 통로로서, 상기 메인플레이트(10)의 한쪽 측면이 개방되어 내측으로 중공된 구조를 이루고 내부로 고압의 유체가 공급될 수 있도록 횡방향을 따라 길게 형성된다.
The fluid supply passage 15 is a passage through which fluid generated from a separate fluid generator (not shown) can be continuously supplied, and one side of the main plate 10 is opened to form a hollow structure inwardly. It is formed long along the transverse direction so that the high pressure fluid can be supplied to the inside.

상기 유체공급로(15)의 개방된 한쪽에는 유체발생장치와 연결하는 호스 등의 연결수단(17)이 설치되어 유체를 공급하게 형성된다.
An open side of the fluid supply passage 15 is provided with a connecting means 17 such as a hose connecting with the fluid generating device to supply the fluid.

상기 유체공급로(15)는 한 개의 공급라인으로 형성하는 것도 가능하고, 상기 유체공급로(15)를 한 개 이상인 복수의 공급라인으로 형성하는 것도 가능하다.
The fluid supply path 15 may be formed by one supply line, or the fluid supply path 15 may be formed by a plurality of supply lines.

상기 유체공급로(15)를 복수의 공급라인으로 형성하는 경우에는 한쪽 면이 각각 개방된 구조를 이루어 상기 유체공급로(15)의 공급라인 개수에 상응하는 연결수단(17)을 각각 설치하는 것이 가능하고, 상기 유체공급로(15)가 복수의 공급라인을 이루되 한 개의 개방된 구멍만을 형성하여 한 개의 연결수단(17)이 설치되고 개방된 한 개의 구멍으로부터 각각 복수의 공급라인을 향해 유체가 파생공급될 수 있도록 서로 연결된 구조로 형성하는 것도 가능하다.
In the case of forming the fluid supply passage 15 into a plurality of supply lines, it is possible to form connecting structures 17 corresponding to the number of supply lines of the fluid supply passage 15 by forming an open structure on one side thereof. The fluid supply path 15 forms a plurality of supply lines, but forms only one open hole so that one connection means 17 is installed and the fluid flows from the open hole toward the plurality of supply lines, respectively. It is also possible to form a structure that is connected to each other so that can be derived and supplied.

상기 노즐홈(11)은 상기 메인플레이트(10)의 상면에 복수로 형성되는 것으로서, 상기 유체공급로(15)로부터 동일 수직선상에 일치하도록 위치하고 폭 방향을 따라 등간격을 이루며 형성된다.
The nozzle grooves 11 are formed in plural on the upper surface of the main plate 10, and are formed on the same vertical line from the fluid supply path 15 and are formed at equal intervals along the width direction.

상기 메인플레이트(10)의 노즐홈(11)은 상기 토출로(13)에서 상기 메인플레이트(10)의 상면으로 완만하게 연장연결되도록 형성하는 것으로서, 구체적으로는 상기 메인플레이트(10)로 인해 부양이송되는 평판(P)으로부터 대향된 방향을 향해 오목하게 만곡면을 이루도록 형성된다.
The nozzle groove 11 of the main plate 10 is formed to be extended to be connected to the upper surface of the main plate 10 in the discharge path 13 gently, specifically, the support due to the main plate 10 It is formed so as to concave curved surface toward the opposite direction from the flat plate P to be conveyed.

상기 노즐홈(11)은 상기 노즐부재(20)로부터 분사되는 유체가 상기 메인플레이트(10)의 상면을 향해 원활하게 이동될 수 있도록 상기 메인플레이트(10)의 상면에 접어드는 한쪽 끝단이 소정의 곡면을 형성토록 이루어지는 것이 바람직하다.
The nozzle groove 11 has a curved surface at one end thereof folded into an upper surface of the main plate 10 so that the fluid injected from the nozzle member 20 can be smoothly moved toward the upper surface of the main plate 10. It is preferable to form a.

상기 토출로(13)는 상기 노즐홈(11)과 유체공급로(15)를 서로 수직연결하도록 형성된 것으로서, 상기 노즐홈(11)의 정중앙에서 수직으로 하향하여 상기 유체공급로(15)에 연통하도록 형성된다. 즉, 상기 유체공급로(15)에 공급된 유체는 상기 노즐홈(11)이 형성된 수직선상으로 상향이동하여 외부를 향해 분사가능한 구조를 이루게 된다.
The discharge path 13 is formed to vertically connect the nozzle groove 11 and the fluid supply path 15 to each other, and vertically downward from the center of the nozzle groove 11 to communicate with the fluid supply path 15. It is formed to. That is, the fluid supplied to the fluid supply passage 15 moves upward in a vertical line in which the nozzle groove 11 is formed to form a structure capable of spraying toward the outside.

상기 메인플레이트(10)는 도 2에서처럼 상면 중앙부분이 하측으로 미세하게 오목한 만곡면을 이루도록 형성된다. 상기 메인플레이트(10)는 평판(P)을 이송방향의 직각방향으로 양쪽 끝단이 상향하여 미세하게 굽어진 상태를 유지하면서 이송될 수 있도록 형성된다.
The main plate 10 is formed such that the upper surface center portion forms a curved surface that is finely concave downward as shown in FIG. 2. The main plate 10 is formed so that both ends of the flat plate (P) in a perpendicular direction in the conveying direction can be conveyed while maintaining a finely bent state.

상기 메인플레이트(10)는 상기 메인플레이트(10)의 상면 중 최고점을 이루는 양쪽 끝단과 최저점을 이루는 중앙부분 간에는 미세한 간격을 이루는데, 그 단차 간격(D)이 10~15㎛로 이루어진다. 바람직하게는, 단차 간격(D)이 15㎛를 이루도록 형성한다. 즉, 상기 메인플레이트(10)에 의해 이송되는 평판(P)은 양쪽 끝 부분이 중앙부분에 비해 10~15㎛ 더 높이 위치한 형태를 유지하면서 이송하게 된다.
The main plate 10 forms a minute gap between both ends forming the highest point of the upper surface of the main plate 10 and the central portion forming the lowest point, and the step difference D is 10 to 15 μm. Preferably, it forms so that the step | interval gap D may be 15 micrometers. That is, the flat plate (P) to be conveyed by the main plate 10 is transferred while maintaining the shape in which both ends are located 10 ~ 15㎛ higher than the central portion.

상기 노즐부재(20)는 도 1 내지 도 3에 나타낸 바와 같이, 상기 메인플레이트(10)의 토출로(13)에 삽입되어 고압의 유체를 외부로 분사하는 역할을 수행한다.
As shown in FIGS. 1 to 3, the nozzle member 20 is inserted into the discharge path 13 of the main plate 10 to inject a high pressure fluid to the outside.

상기 노즐부재(20)는 상기 토출로(13)에 삽입되어 상부가 상기 노즐홈(11) 상에 위치하도록 설치되고 상기 유체공급로(15)를 따라 상기 토출로(13)에 공급된 유체를 분사할 수 있도록 노즐구(26)가 형성된다.
The nozzle member 20 is inserted into the discharge path 13 so that an upper portion is positioned on the nozzle groove 11 and supplies the fluid supplied to the discharge path 13 along the fluid supply path 15. The nozzle hole 26 is formed so that it may inject.

상기 노즐부재(20)는 도 3에 나타낸 바와 같이, 체결부(23)를 비롯하여 노즐머리부(21) 및 유로(25)를 포함하여 이루어진다.
As shown in FIG. 3, the nozzle member 20 includes a fastening portion 23, a nozzle head 21, and a flow path 25.

상기 체결부(23)는 상기 노즐부재(20)가 상기 메인플레이트(10)의 토출로(13)에 삽입되도록 형성된다. 즉, 상기 체결부(23)의 외주연에는 수나사가 형성되어 상기 토출로(13)에 구비된 암나사에 결합하므로 상기 메인플레이트(10)에 고정설치하도록 형성된다.
The fastening part 23 is formed such that the nozzle member 20 is inserted into the discharge path 13 of the main plate 10. That is, a male screw is formed on the outer circumference of the fastening part 23 so as to be coupled to the female screw provided in the discharge path 13 so as to be fixed to the main plate 10.

상기 노즐머리부(21)는 상기 노즐부재(20)가 상기 체결부(23)에 의해 상기 토출로(13)로 결합하게 되면 자연히 상기 메인플레이트(10)의 노즐홈(11) 상에 안착하도록 형성된 것으로서, 상기 체결부(23)의 지름보다는 큰 지름을 이루고 측면 외주연에는 둘레를 따라 등간격을 이루며 복수의 노즐구(26)가 형성된다.
The nozzle head 21 is naturally seated on the nozzle groove 11 of the main plate 10 when the nozzle member 20 is coupled to the discharge path 13 by the fastening part 23. As formed, a plurality of nozzle holes 26 are formed at equal diameters along the periphery of the fastening portion 23 to form a diameter larger than the diameter of the side outer periphery.

상기 노즐머리부(21)의 상면에는 별도의 도구(예를 들면, 렌치 및 핀 등)를 사용하여 상기 노즐부재(20)에 회전력을 전달할 수 있는 체결홈(22)을 형성하는 것도 가능하다.
It is also possible to form a fastening groove 22 that can transmit a rotational force to the nozzle member 20 by using a separate tool (for example, a wrench and a pin) on the upper surface of the nozzle head 21.

상기 유로(25)는 상기 노즐부재(20)의 하면에서부터 상기 노즐구(26)까지 수직 및 수평으로 형성된 유체의 이동통로로서의 역할을 수행하도록 형성된다. 즉, 상기 유로(25)는 한쪽이 상기 토출로(13)에 연통하여 유체가 유입가능한 구조를 이루고, 상기 노즐구(26)를 향해 유체이동을 유도하도록 상기 노즐부재(20)의 내부에 중공 형성된다.
The flow path 25 is formed to serve as a movement path of the fluid formed vertically and horizontally from the lower surface of the nozzle member 20 to the nozzle hole 26. That is, one of the flow paths 25 communicates with the discharge path 13 to form a structure in which fluid can flow, and is hollowed inside the nozzle member 20 to induce fluid movement toward the nozzle hole 26. Is formed.

상기 유로(25)는 상기 토출로(13)에 연통하여 한 개의 수직형태의 유로(25)를 형성하고, 상기 노즐구(26)의 동일수평선상에서 상기 노즐구(26)의 개수에 상응하는 수평형태의 유로(25)가 복수로 파생되어 형성된 구조로 이루어진다.
The flow path 25 communicates with the discharge path 13 to form one vertical flow path 25 and is horizontally corresponding to the number of the nozzle holes 26 on the same horizontal line of the nozzle holes 26. Shaped flow path 25 is formed of a plurality derived structure.

상기 유로(25)는 상기 노즐부재(20)에 작은 직경으로 가공된 미세한 구멍으로, 공급되는 유체의 압력을 높여 분사할 수 있도록 형성된다.
The flow path 25 is a minute hole processed to a small diameter in the nozzle member 20, and is formed to be sprayed by increasing the pressure of the fluid supplied.

상기와 같이, 별도의 유체발생장치로부터 연결수단(17)을 통해 메인플레이트(10)로 공급된 유체는 유체공급로(15)를 따라 수평방향으로 이동하다가 토출로(13)가 형성된 위치에서 수직이동되고, 토출로(13)의 상단에 구성된 노즐부재(20)의 유로(25)를 거쳐 노즐구(26)로 분사함으로써, 고압의 유체가 노즐홈(11)의 만곡면을 따라 메인플레이트(10)의 상면으로 흐르면서 인력과 함께 척력이 생성되어 평판(P)을 부양이송하게 된다. 좀 더 구체적으로 설명하면, 외부로부터 유체가 메인플레이트(10)의 유체공급로(15)로 공급되면 유체는 토출로(13)를 거쳐 노즐부재(20)의 유로(25)에 유입되고, 미세한 직경의 유로(25)를 거쳐 노즐구(26)를 통해 분출되는 유체는 고압상태로 분사되면서 노즐홈(11)의 만곡면에 접하게 되며, 메인플레이트(10)의 상면을 향해 빠르게 흐르는 유체의 급격한 유속 때문에 메인플레이트(10)의 상면에는 주위의 압력보다 높은 압력이 형성되어 평판(P)을 밀어내는 척력이 생성되는 반면, 노즐홈(11)의 상측에는 주위의 압력보다 낮은 압력이 형성되므로 평판(P)을 당기는 인력이 생성되어 평판(P)을 부양시킨 상태로 이송하게 된다.
As described above, the fluid supplied from the separate fluid generator to the main plate 10 through the connecting means 17 moves in the horizontal direction along the fluid supply path 15 and is perpendicular to the position where the discharge path 13 is formed. It is moved and sprayed to the nozzle port 26 via the flow path 25 of the nozzle member 20 formed at the upper end of the discharge path 13, the high-pressure fluid along the curved surface of the nozzle groove 11 (the main plate ( Repulsive force is generated along with the attractive force as it flows to the upper surface of 10) to feed the plate P. In more detail, when fluid is supplied from the outside into the fluid supply path 15 of the main plate 10, the fluid flows into the flow path 25 of the nozzle member 20 via the discharge path 13, The fluid ejected through the nozzle port 26 through the diameter passage 25 is in contact with the curved surface of the nozzle groove 11 while being injected under high pressure, and the fluid flowing rapidly toward the upper surface of the main plate 10 suddenly. Due to the flow rate, a pressure higher than the surrounding pressure is formed on the upper surface of the main plate 10 to generate a repulsive force to push the flat plate P, while a pressure lower than the surrounding pressure is formed on the upper side of the nozzle groove 11. An attraction force for pulling (P) is generated and transferred to the state in which the plate (P) is supported.

즉, 상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치에 의하면, 평판이 미세하게 굽어진 상태를 이송중 계속해서 유지할 수 있도록 메인플레이트의 상면이 미세한 만곡면을 이루므로, 검사장비가 위치함에 따른 메인플레이트의 부재로부터 평판에 부양력이 미치지 못하는 공간에서도 자중에 의해 평판이 쳐지거나 굽어지는 현상을 방지할 수 있도록 평판의 직진도를 극대화하고, 메인플레이트의 사이사이에 설치된 다양한 장비로부터 평판의 검사 및 측정작업이 용이하여 평판의 결함요소를 정확하게 검출할 수 있으며, 평판의 명확한 검사 및 측정으로 평판이 적용되는 제품의 불량률을 최소화함과 아울러 제품의 품질을 극대화하는 것이 가능하다.
That is, according to the non-contact flat plate conveying apparatus according to the present invention configured as described above, because the upper surface of the main plate to form a fine curved surface so that the flat plate is continuously maintained during the transfer, the inspection equipment is located The flatness of the flat plate is maximized to prevent the flat plate from falling or bending due to its own weight even in a space that does not support the flat plate from the member of the main plate, and the flat plate is inspected from various equipment installed between the main plates. And it is easy to measure, it is possible to accurately detect the defects of the plate, it is possible to minimize the defect rate of the product to which the plate is applied and to maximize the quality of the product by clear inspection and measurement of the plate.

뿐만 아니라, 본 발명은 이송시 평판에 적용되는 부양력에 의해 저절로 미세하게 굽어지면서 평판이 평형상태를 지속적으로 유지한 채 이송됨에 따라 검사 및 측정하기 위한 평판의 이송 전에 평판을 굽히거나 이송 후 굽어진 평판을 피는 작업이 불필요하므로 작업의 편의성 및 신속성을 도모하는 것이 가능하고, 평판을 과도하게 접을 필요가 없으며 미세하게 굽힌 상태로 이송된 평판은 이송 후 원상태로 복원가능하기 때문에 평판의 불량률은 최소화하면서 그 품질은 극대화하는 것이 가능하다.
In addition, the present invention according to the present invention is bent by the flotation force applied to the plate at the time of transfer, while the plate is transferred while maintaining the state of equilibrium, the plate is bent or transferred after the transfer of the plate for inspection and measurement It is possible to improve the convenience and speed of work because there is no need to avoid the flat plate, and it is not necessary to fold the plate excessively, and the plate conveyed in finely bent state can be restored to its original state after transfer, minimizing the defective rate of the plate. Its quality can be maximized.

또한, 본 발명은 노즐홈이 형성된 메인플레이트에 노즐부재가 설치되는 매우 간단한 구조를 이루고 유체에 의해 부양력을 생성시키는 노즐홈 및 노즐부재의 형상이 간단하므로, 이송장치의 제작과정에서 가공이 매우 용이하다.
In addition, the present invention forms a very simple structure in which the nozzle member is installed on the main plate formed with the nozzle groove, and the shape of the nozzle groove and the nozzle member for generating the flotation force by the fluid is simple, so the processing is very easy in the manufacturing process of the transfer device Do.

또, 본 발명은 유체의 흐름으로 높은 압력의 유체를 생성시킨 다음 급격한 유속으로의 유체이동이 가능한 구조를 이루어 강력한 부양력을 생성시키므로 평판이 이송중에 흔들림이 없으며 평판을 안전하게 이송시키는 것이 가능하다.
In addition, the present invention forms a structure capable of moving the fluid at a high flow rate after the high flow of the fluid to create a strong flotation force, so that the flat plate without shaking during transport, it is possible to safely transport the flat plate.

그리고, 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치의 다른 실시예는 도 4 내지 도 7에 나타낸 바와 같이, 톱니형 노즐로(35)가 형성된 와셔부재(30)를 더 포함하여 이루어진다.
And, another embodiment of the non-contact flat plate conveying apparatus according to the present invention further comprises a washer member 30 is formed with a toothed nozzle path 35, as shown in Figures 4 to 7.

상기 와셔부재(30)는 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 고리형상으로 이루어지고, 상기 노즐부재(40)에 끼워져 상기 노즐홈(11)과 상기 노즐부재(40)의 사이에 위치하도록 설치되며, 상기 와셔부재(30)의 중앙에는 상기 메인플레이트(10)의 토출로(13)와 연통하도록 유입공(31)이 형성된다.
As shown in FIGS. 4 and 5, the washer member 30 is formed in an annular shape, and is installed in the nozzle member 40 so as to be positioned between the nozzle groove 11 and the nozzle member 40. In the center of the washer member 30, an inlet hole 31 is formed to communicate with the discharge path 13 of the main plate 10.

상기 와셔부재(30)와 상기 노즐홈(11)의 사이에는 압력에 의해 유체가 새어나오는 현상을 방지 즉, 기밀성을 유지할 수 있도록 패킹(도면에 미도시)을 형성하는 것도 가능하다.
It is also possible to form a packing (not shown) between the washer member 30 and the nozzle groove 11 to prevent leakage of fluid due to pressure, that is, to maintain airtightness.

상기 노즐부재(40)는 도 4에서처럼 상기 노즐홈(11)에서 상기 와셔부재(30)의 상면에 접촉하도록 위치하는 머리부(41)와, 상기 토출로(13)의 지름보다 작은 지름을 이루고 상기 메인플레이트(10)의 하면으로 돌출되도록 길게 연장 형성되는 나사부(43)를 포함하여 이루어진다.
The nozzle member 40 has a diameter smaller than the diameter of the head 41 and the discharge passage 13 positioned to contact the upper surface of the washer member 30 in the nozzle groove 11, as shown in FIG. It includes a screw portion 43 is formed to extend to protrude to the lower surface of the main plate 10.

상기 노즐부재(40)의 머리부(41) 지름과 상기 와셔부재(30)의 지름은 동일한 크기로 형성하여 상기 톱니형 노즐로(35)의 한쪽 끝단이 어긋나지 않도록 형성하는 것이 바람직하다.
The diameter of the head 41 of the nozzle member 40 and the diameter of the washer member 30 is preferably the same size so that one end of the sawtooth nozzle path 35 does not deviate.

상기 노즐부재(40)는 상기 메인플레이트(10)의 토출로(13)에 삽입된 후 고정설치되도록 상기 메인플레이트(10)의 하면으로 돌출된 상기 나사부(43)에 결합하는 체결너트(48)를 더 포함하여 이루어진다.
The nozzle member 40 is inserted into the discharge path 13 of the main plate 10 and then fastened to the fastening nut 48 coupled to the screw portion 43 protruding from the lower surface of the main plate 10 to be fixedly installed. It further comprises.

상기와 같이 상기 노즐부재(40)를 상기 체결너트로 고정설치하도록 구성하는 것에 의하여, 상기 노즐부재(40)는 상기 메인플레이트(10)에 삽입된 후 부동상태를 유지시키고 상기 체결너트(48)를 상기 메인플레이트(10)의 하측에서 회전시켜 상기 노즐부재(40)를 고정하기 때문에 상기 노즐부재(40)의 회전에 의한 상기 와셔부재(30)와의 마찰로 상기 톱니형 노즐로(35)의 톱니가 갈리게 되는 현상을 미연에 방지하는 것이 가능하다.
By configuring the nozzle member 40 to be fixed to the fastening nut as described above, the nozzle member 40 is inserted into the main plate 10 to maintain a floating state and the fastening nut 48 Rotate at the lower side of the main plate 10 to fix the nozzle member 40, so that the toothed nozzle furnace 35 has a friction with the washer member 30 due to the rotation of the nozzle member 40. It is possible to prevent the tooth from being ground.

상기 와셔부재(30)의 톱니형 노즐로(35)는 상기 유입공(31)으로 공급된 유체가 노즐구(36)를 통해 분사될 수 있도록 방사형태로 형성된다. 이때, 상기 와셔부재(30)의 톱니형 노즐로(35) 및 노즐구(36)는 상기 와셔부재(30)에 상기 노즐부재(40)의 머리부(41)가 접촉하면서 상기 와셔부재(30)의 개방된 상면을 폐쇄하므로 형성된다.
The serrated nozzle path 35 of the washer member 30 is formed in a radial shape so that the fluid supplied to the inlet hole 31 can be injected through the nozzle hole 36. At this time, the toothed nozzle passage 35 and the nozzle hole 36 of the washer member 30 are in contact with the washer member 30 and the head 41 of the nozzle member 40 while the washer member 30 is in contact with the washer member 30. It is formed by closing the open upper surface of the).

상기 와셔부재(30)의 톱니형 노즐로(35)는 제1실시예로서 도 5에 나타낸 바와 같이, 상기 와셔부재(30)의 상면이 톱니형상을 이루며 상기 유입공(31)으로부터 상기 노즐구(36)를 향해 방사형태로 형성되되 상기 와셔부재(30)의 톱니형 노즐로(35)는 상기 유입공(31)에서 상기 노즐구(36)까지 일직선으로 형성되는 직선형 유로로 이루어진다.
As shown in FIG. 5 as a first embodiment, the toothed nozzle path 35 of the washer member 30 has a top surface of the washer member 30 in the form of a saw tooth, and the nozzle hole from the inlet hole 31. It is formed radially toward (36), but the toothed nozzle path 35 of the washer member 30 is formed of a straight flow path formed in a straight line from the inlet hole 31 to the nozzle hole (36).

또한, 상기 와셔부재(30)의 제2실시예로서 톱니형 노즐로(35)는 도 6에 나타낸 바와 같이, 상기 유입공(31)에서 상기 노즐구(36)까지 물결형태로 형성되는 곡선형 유로로 이루어지도록 구성하는 것도 가능하다.
In addition, as the second embodiment of the washer member 30, the serrated nozzle path 35 is curved in the form of a wave from the inlet hole 31 to the nozzle hole 36, as shown in FIG. It is also possible to comprise so that it may consist of a flow path.

상기와 같이 톱니형 노즐로(35)를 곡선형 유로로 형성하게 되면, 유체가 공급되어 상기 노즐구(36)를 통해 분사되는 과정에서 유체가 물결형태의 구불구불한 유로를 따라 이동할 때 면압의 영향을 받으므로 유체의 기압이 낮아져 결로현상 및 크랙이 생기는 현상을 미연에 방지하는 것이 가능하다.
When the toothed nozzle path 35 is formed as a curved flow path as described above, when the fluid is supplied and injected through the nozzle hole 36, the fluid moves along the wavy serpentine flow path. It is possible to prevent condensation and cracks by lowering the atmospheric pressure of the fluid.

상기 톱니형 노즐로(35)는 상기 와셔부재(30)의 상/하부면 중 적어도 어느 한쪽 면에 형성되도록 이루어지는 것이 가능하다. 즉, 상기 와셔부재(30)의 상면에 상기 톱니형 노즐로(35)를 형성하여 유체가 상기 와셔부재(30)의 상측으로 이동되면서 분사하도록 구성하는 것도 가능하고, 상기 톱니형 노즐로(35)를 상기 와셔부재(30)의 하면에 형성하여 유체가 상기 와셔부재(30)의 하측으로 이동하면서 분사되도록 구성하는 것도 가능하다.
The serrated nozzle path 35 may be formed on at least one of the upper and lower surfaces of the washer member 30. That is, the serrated nozzle path 35 may be formed on the upper surface of the washer member 30 so that the fluid may be injected while the fluid moves upward of the washer member 30. ) May be formed on the lower surface of the washer member 30 so that the fluid may be injected while moving to the lower side of the washer member 30.

또한, 상기 톱니형 노즐로(35)는 도 7에 나타낸 바와 같이, 상기 와셔부재(30)의 상하 양쪽 면에 각각 형성되어 유체가 상기 와셔부재(30)의 상측과 함께 하측으로도 동시에 분사될 수 있도록 구성하는 것도 가능하다.
In addition, as shown in FIG. 7, the toothed nozzle path 35 is formed on both upper and lower surfaces of the washer member 30 so that the fluid can be simultaneously sprayed to the lower side together with the upper side of the washer member 30. It is also possible to configure so that.

즉, 상기한 다른 실시예와 같이 본 발명을 구성하면, 유체를 분사시킬 수 있도록 유로가 형성된 와셔부재를 구성하므로, 유로의 가공이 보다 용이하여 제작의 편의성을 도모하는 것이 가능하다.
That is, when the present invention is constituted as in the other embodiment described above, since the washer member is formed in which a flow path is formed so that the fluid can be injected, the flow path can be more easily processed, and the manufacturing convenience can be achieved.

상기한 다른 실시예에 있어서도 상기한 구성 이외에는 상기한 일실시예와 마찬가지의 구성으로 실시하는 것이 가능하므로, 상세한 설명은 생략한다.
Also in the above-described other embodiments, the present invention can be implemented in the same configuration as the above-described embodiment except for the above-described configuration, and thus detailed description thereof will be omitted.

상기에서는 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다.
In the above, a preferred embodiment of the non-contact flat plate conveying apparatus according to the present invention has been described, but the present invention is not limited thereto, and various modifications can be made within the scope of the claims and the detailed description of the invention and the accompanying drawings. This also belongs to the scope of the present invention.

10 : 메인플레이트 11 : 노즐홈 13 : 토출로
15 : 유체공급로 17 : 연결수단 20,40 : 노즐부재
21 : 노즐머리부 22 : 체결홈 23 : 체결부
25 : 유로 26,36 : 노즐구 30 : 와셔부재
31 : 유입공 35 : 톱니형 노즐로 41 : 머리부
43 : 나사부 48 : 체결너트
P : 평판 D : 단차 간격10: main plate 11: nozzle groove 13: discharge path
15 fluid supply path 17 connecting means 20,40 nozzle member
21: nozzle head 22: fastening groove 23: fastening portion
25 flow path 26,36 nozzle port 30 washer member
31: inlet hole 35: serrated nozzle 41: head
43: threaded portion 48: tightening nut
P: Plate D: Step Clearance

Claims (12)

내부로 고압의 유체가 공급될 수 있도록 횡방향으로 길게 유체공급로를 형성하고, 상기 유체공급로로부터 동일수직선상의 상면에는 복수의 노즐홈이 형성되며, 상기 노즐홈과 유체공급로를 서로 수직연결하여 유체가 상향이동가능하도록 토출로가 형성되는 메인플레이트와;
상기 메인플레이트의 토출로에 삽입되어 상부가 상기 노즐홈 상에 위치하도록 설치되고 상기 유체공급로를 따라 공급된 유체를 분사가능하도록 노즐구가 형성되는 노즐부재;를 포함하고,
상기 메인플레이트의 노즐홈은, 상기 토출로에서 상기 메인플레이트의 상면으로 완만하게 연장연결되도록 형성하되 평판에 대향되는 방향을 향해 오목한 만곡면을 이루도록 형성되는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
A fluid supply path is formed to extend in a lateral direction so that a high pressure fluid can be supplied therein, and a plurality of nozzle grooves are formed on an upper surface of the same vertical line from the fluid supply path, and the nozzle groove and the fluid supply path are vertically connected to each other. A main plate on which a discharge path is formed to move the fluid upwardly;
And a nozzle member inserted into the discharge path of the main plate so that an upper portion is positioned on the nozzle groove, and a nozzle hole is formed to enable injection of the fluid supplied along the fluid supply path.
The nozzle groove of the main plate is formed so as to extend gently connected to the upper surface of the main plate in the discharge path, characterized in that formed to form a curved concave toward the direction opposite to the flat plate.
삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 메인플레이트는, 평판을 이송방향의 직각방향으로 양쪽 끝단이 상향하여 굽어진 상태를 유지하면서 이송될 수 있도록 상기 메인플레이트의 상면 중앙부분이 하측으로 미세하게 오목한 만곡면을 이루어 형성되는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
The method according to claim 1,
The main plate is characterized in that the central portion of the upper surface of the main plate is formed to form a concave curved surface to the lower side so that the flat plate can be transferred while keeping both ends in the perpendicular direction of the conveying direction bent upwardly Non-contact flat plate feeder.
청구항 3에 있어서,
상기 메인플레이트는, 상기 메인플레이트의 상면 중 최고점을 이루는 양쪽 끝단과 최저점을 이루는 중앙부분 간의 단차 간격이 10~15㎛로 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
The method according to claim 3,
The main plate is a non-contact flat plate transport apparatus, characterized in that the step gap between the two ends forming the highest point of the upper surface of the main plate and the central portion forming the lowest point is 10 ~ 15㎛.
청구항 1에 있어서,
상기 노즐부재는, 상기 토출로에 삽입되도록 하부에 형성되어 상기 메인플레이트에 고정설치되는 체결부와, 상기 체결부의 지름보다 큰 지름을 이루어 상기 노즐홈 상에 안착하고 측면으로 복수의 노즐구가 형성되는 노즐머리부와, 상기 토출로에 연통하여 상기 노즐구를 향해 유체이동을 유도하도록 내부에 중공 형성되는 유로를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
The method according to claim 1,
The nozzle member is formed at a lower portion to be inserted into the discharge path, and a fastening portion fixed to the main plate and a diameter larger than the diameter of the fastening portion, are seated on the nozzle groove, and a plurality of nozzle holes are formed on the side surface. And a flow passage formed in the hollow so as to communicate with the nozzle head and the fluid flow toward the nozzle in communication with the discharge path.
청구항 1에 있어서,
상기 메인플레이트의 노즐홈과 상기 노즐부재의 사이에 설치되되 상기 토출로에 연통하도록 유입공이 형성되고, 상기 유입공으로 공급된 유체가 노즐구를 통해 분사될 수 있도록 방사형태의 톱니형 노즐로가 형성되는 와셔부재를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
The method according to claim 1,
An inlet hole is formed between the nozzle groove of the main plate and the nozzle member to communicate with the discharge path, and a radial sawtooth nozzle path is formed so that the fluid supplied to the inlet hole can be injected through the nozzle hole. Non-contact plate conveying apparatus characterized in that it further comprises a washer member.
청구항 6에 있어서,
상기 노즐부재는, 상기 노즐홈에서 상기 와셔부재의 상면에 접촉하도록 위치하는 머리부와, 상기 토출로의 지름보다 작은 지름을 이루고 상기 메인플레이트의 하면으로 돌출되도록 길게 연장 형성되는 나사부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
The method of claim 6,
The nozzle member includes a head portion positioned to contact the upper surface of the washer member in the nozzle groove, and a screw portion extending to be formed to have a diameter smaller than the diameter of the discharge passage and protrude to the lower surface of the main plate. Non-contact flat plate feeder, characterized in that.
청구항 7에 있어서,
상기 노즐부재가 상기 메인플레이트의 토출로에 삽입된 후 고정가능하도록 상기 나사부의 돌출된 부분에 결합하는 체결너트를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
The method of claim 7,
And a fastening nut coupled to the protruding portion of the screw portion so that the nozzle member is inserted into the discharge path of the main plate and fixed thereto.
청구항 6에 있어서,
상기 와셔부재의 톱니형 노즐로는, 상기 유입공에서 상기 노즐구까지 일직선으로 형성되는 직선형 유로로 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
The method of claim 6,
The toothed nozzle of the washer member is a non-contact plate conveying apparatus, characterized in that the straight passage formed in a straight line from the inlet to the nozzle hole.
청구항 6에 있어서,
상기 와셔부재의 톱니형 노즐로는, 상기 유입공에서 상기 노즐구까지 물결형태로 형성되는 곡선형 유로로 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
The method of claim 6,
The toothed nozzle of the washer member is a non-contact flat plate conveying apparatus, characterized in that it consists of a curved flow path formed in a wave form from the inlet hole to the nozzle hole.
청구항 6 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서,
상기 톱니형 노즐로는, 상기 와셔부재의 상/하부면 중 적어도 어느 한쪽 면에 형성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
The method according to any one of claims 6 to 10,
The toothless nozzle is formed on at least one of the upper and lower surfaces of the washer member.
청구항 6 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서,
상기 톱니형 노즐로는, 상기 와셔부재의 상하 양쪽 면에 각각 형성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
The method according to any one of claims 6 to 10,
The serrated nozzle is a non-contact plate conveying apparatus, characterized in that formed on the upper and lower surfaces of the washer member, respectively.
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