KR100650290B1

KR100650290B1 - Noncontact conveying plate

Info

Publication number: KR100650290B1
Application number: KR1020050112169A
Authority: KR
Inventors: 원용연; 김현수
Original assignee: (주)넥스트인스트루먼트
Priority date: 2005-11-23
Filing date: 2005-11-23
Publication date: 2006-11-27

Abstract

A non-contact transfer plate is provided to reduce a quivering phenomenon in a panel transfer process by using an enhanced air hole structure and a resistive member. A non-contact transfer plate includes a lower plate, an upper plate with a plurality of air holes, and a conventional silicon gasket between the lower and upper plates. The air hole(110) is composed of a first expansion guide portion(112), a second expansion guide portion, and a fine guide portion(116). The second expansion guide portion(114) is prolonged from the first expansion guide portion to the fine guide portion. The diameter of the second expansion guide portion is smaller than that of the first expansion guide portion. The second expansion guide portion has a female screw. A resistive member(130) is inserted into the first and second expansion guide portions of the air hole.

Description

비접촉 반송플레이트{NONCONTACT CONVEYING PLATE}Non-Contact Conveying Plates {NONCONTACT CONVEYING PLATE}

도 1은 본 발명에 따른 비접촉 반송플레이트를 분해하여 나타낸 분해 사시도이고,1 is an exploded perspective view showing an exploded non-contact conveying plate according to the present invention,

도 2는 도 1의 선 A-A를 따라 도시된 단면도이며, 2 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG.

도 3은 도 2에 도시된 “B”를 확대하여 나타낸 도면이고, 3 is an enlarged view of “B” shown in FIG. 2;

도 4a 내지 4f는 도 2에 도시된 저유량형성체의 다양한 실시예를 보인 도면이며, 4A to 4F are views showing various embodiments of the low flow rate body shown in FIG.

도 5는 도 1에 도시된 상부플레이트의 다른 실시예를 보인 도면이고, 5 is a view showing another embodiment of the upper plate shown in FIG.

도 6은 도 5에 도시된 선 C-C를 따라 도시된 단면도이며, 그리고 6 is a cross-sectional view taken along the line C-C shown in FIG. 5, and

도 7은 도 2에 도시된 에어홀의 다른 실시예를 보인 도면이다. FIG. 7 is a view illustrating another embodiment of the air hole shown in FIG. 2.

<도면의주요부분에대한부호의설명>Explanation of symbols on the main parts of the drawing

100 : 비접촉 반송플레이트 112 : 제 1 확장안내부100: non-contact conveying plate 112: first extension guide

114 : 제 2 확장안내부 116 : 미세안내부114: second extension guide 116: fine guide

118 : 암나사 120 : 경사안내부118: female thread 120: inclined guide

130 : 저항수단 132 : 저항삽입체130: resistance means 132: resistance insert

134 : 저유량형성체 136 : 머리부134: low flow rate forming body 136: head

138 : 나사부 140 : 수나사138: thread 140: male thread

142 : 에어안내부 143 : 관통공142: air guide 143: through hole

144 : 저유량형성홈 150 : 진공수단144: low flow rate formation groove 150: vacuum means

152 : 제 1 진공안내라인 154 : 제 2 진공안내라인152: first vacuum guide line 154: second vacuum guide line

156 : 진공홀156: vacuum hole

본 발명은 비접촉 반송플레이트에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 피 운반체를 반송하기 위해서 공급되는 에어(air)를 고압의 저유량으로 공급할 수 있게 하는 저항수단과, 분출된 에어를 흡입하는 진공홀을 구비함으로써, 반송 중 피 운반체의 떨림 현상을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 피 운반체를 수직하게 배치한 상태로 반송이 가능하게 하는 비접촉 반송플레이트에 관한 것이다. The present invention relates to a non-contact conveying plate, and more particularly, has resistance means for supplying air to be transported to a carrier at a low flow rate at high pressure, and a vacuum hole for sucking the ejected air. Thereby, it is related with the non-contact conveyance plate which can prevent the shaking phenomenon of a to-be-carried body during conveyance, and enables conveyance with the to-be-carried body arrange | positioned vertically.

일반적으로, 인라인 검사장비(In-Line FPD Automatic Optical Inspection)는 TFT LCD 패널이나 PDP, 컬러필터 등의 디스플레이 패널(display panel) 등을 안내하면서 광학렌즈와 CCD 카메라를 사용하여 검사 대상물의 이미지를 캡쳐한 후 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 사용자가 찾아내고자 하는 각종 결함을 검출해 내는 장비이다. In general, in-line FPD automatic optical inspection captures an image of an inspection object using an optical lens and a CCD camera while guiding a display panel such as a TFT LCD panel, a PDP, a color filter, etc. It is a device that detects various defects that a user wants to find by applying an image processing algorithm.

이러한 인라인 검사장비는 크게 불량을 검출하는 스캔섹션(scan section), 리뷰섹션(review section) 및 언로딩 섹션(unlaod section)으로 분할된다. 이러한 검사장비는 검사시스템으로서의 역할을 다하기 위해서는 검출한 결함의 위치와 크 기를 정확하게 알아내는 것도 중요하지만, 스캔섹션(scan section)에서부터 언로딩 섹션(unlaod section)까지 피 운반체(검사대상물)를 안내하는 반송수단의 역할 또한 중요한 요소로 작용한다. The inline inspection equipment is largely divided into a scan section, a review section and an unlaod section for detecting a defect. It is important for these inspection equipment to accurately identify the location and size of the detected defects in order to serve as an inspection system. However, the inspection equipment guides the carrier (test object) from the scan section to the unlaod section. The role of the conveying means is also an important factor.

종래 반송수단으로는 롤러(roller)의 회전력에 의해서 피 운반체를 반송하는 접촉식 반송수단이 개시된 바 있으나, 이는 롤러의 회전력에 의해서 반송이 이루어지므로 피 운반체에 스크래치 및 롤러 회전으로 인한 얼룩이 발생할 뿐만 아니라 마찰력이 작거나 회전력이 약하면 피 운반체가 미끄러지기 때문에 원활한 반송이 어려운 문제점이 있었다. 전술한 문제점을 해결하고자 최근에는 미세한 다수의 에어홀에 압축에어를 공급하고 에어홀에서 분출되는 에어로 피 운반체를 부상 반송하는 비접촉식 반송수단이 이용되고 있는 실정이다. Conventionally, the conveying means has been disclosed a contact conveying means for conveying the carrier by the rotational force of the roller (roller), which is carried out by the rotational force of the roller, not only does not cause stains due to scratches and roller rotation in the carrier If the friction force is small or the rotational force is weak, there is a problem that smooth conveyance is difficult because the carrier is slipped. Recently, in order to solve the above-mentioned problems, a non-contact conveying means for supplying compressed air to a plurality of fine air holes and floatingly conveying the air-carried object ejected from the air holes has been used.

그런데, 전술한 비접촉식 반송수단은 에어홀마다 분출되는 에어유량의 정밀한 제어가 어렵기 때문에 부분적으로 저압의 유량이 공급될 수 있다. 그 결과, 반송되는 피 운반체가 반송수단에 접촉되거나 또는, 반송수단에 흡착되어 스크래치가 발생하거나 파손 등의 문제로 인하여 공정수율이 저하되는 문제점이 있었다.However, the non-contact conveying means described above may be partially supplied with a low pressure flow rate because it is difficult to precisely control the air flow rate ejected for each air hole. As a result, there is a problem in that the process yield is lowered due to a problem such as a scratch or breakage caused by the carrier to be brought into contact with the conveying means or adsorbed by the conveying means.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 피 운반체를 반송하기 위해서 공급되는 에어(air)를 고압의 저유량으로 공급할 수 있게 하는 저항수단과, 분출된 에어를 흡입하는 진공홀을 구비함으로써, 반송 중 피 운반체의 떨림 현상을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 피 운반체를 수직하게 배치한 상태로 반송이 가능하게 하는 비접촉 반송플레이트를 제공하는데 있다. The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, the object of the present invention is to provide an air (air) to be supplied to convey the carrier to be carried out at a high flow rate and low flow rate, and By providing a vacuum hole that sucks air, it is possible to provide a non-contact conveying plate which can prevent the phenomenon of shaking of the carrier during conveyance, and enables conveyance in a state where the carrier is arranged vertically.

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위해서 본 발명은,In order to achieve the object of the present invention as described above, the present invention,

고압의 압축에어가 공급되는 하부플레이트와, 하부플레이트의 상부에 고정볼트에 의해서 고정되면서 에어가 분출되는 다수의 에어홀이 형성된 상부플레이트와, 하부플레이트 및 상부플레이트 사이에 배치되는 통상의 실리콘 가스켓으로 이루어진 비접촉 반송플레이트에 있어서, The lower plate to which the high pressure compressed air is supplied, the upper plate formed with a plurality of air holes through which air is ejected while being fixed by a fixing bolt on the upper part of the lower plate, and a conventional silicon gasket disposed between the lower plate and the upper plate. In the non-contact conveying plate made,

에어홀은 상부플레이트의 하부면 상에 내측으로 수직하게 연장 형성되는 제 1 확장안내부와, 제 1 확장안내부의 연장단에서 상부플레이트의 내측으로 연장됨과 아울러 제 1 확장안내부의 직경보다 작은 직경을 가지면서 내주면 상에는 암나사가 형성 제 2 확장안내부와, 제 2 확장안내부의 연장단에서 상부플레이트의 상부면을 관통하는 미세안내부를 구비하고, 제 1 확장안내부 및 제 2 확장안내부에는 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 변화시켜 상기 미세안내부로 분출되게 하는 저항수단이 끼워지는 비접촉 반송플레이트를 제공한다.The air hole extends inwardly and vertically inwardly on the lower surface of the upper plate, and extends inwardly of the upper plate at an extension end of the first extension guide and has a diameter smaller than the diameter of the first extension guide. A female screw formed on the inner circumferential surface thereof and having a second extension guide portion and a fine guide portion penetrating the upper surface of the upper plate at an extended end of the second extension guide portion, and the first expansion guide portion and the second expansion guide portion have high pressure. A non-contact conveying plate into which a resistance means for ejecting the compressed air to a low flow rate at high pressure to be ejected to the fine guide part is provided.

바람직하게는, 저항수단은 제 1 확장안내부 상에 배치되는 제 1 확장안내부와, 제 2 확장안내부에 끼워질 수 있도록 암나사에 대응하는 수나가가 외주면 상에 형성된 나사부로 이루어진 저항삽입체를 구비하고, 나사부의 수나사와 확장안내부의 암나사의 체결여유간격으로는 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 변화시키는 나선형의 에어안내부가 형성된다. Preferably, the resistance means includes a resistance insert comprising a first expansion guide portion disposed on the first extension guide portion and a threaded portion formed on the outer circumferential surface of the male screw corresponding to the female screw so as to be fitted to the second expansion guide portion. And a free space between the male thread of the screw portion and the female thread of the expansion guide portion, and a spiral air guide portion for changing the high pressure compressed air into a low pressure flow rate is formed.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 피 운반체를 반송하기 위해 서 공급되는 에어(air)를 고압의 저유량으로 공급할 수 있게 하는 저항수단과, 분출된 에어를 흡입하는 진공홀을 구비함으로써, 반송 중 피 운반체의 떨림 현상을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 피 운반체를 수직하게 배치한 상태로 반송이 가능하다. As described above, according to the present invention, by providing a resistance means for supplying the air to be transported to the carrier at a low flow rate of high pressure, and a vacuum hole for sucking the ejected air, The conveyance of the to-be-carried object can be prevented during conveyance, and conveyance can also be carried out in the state which the to-be-carried object was arrange | positioned vertically.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 비접촉 반송플레이트에 대해 설명한다. Hereinafter, a non-contact conveying plate according to a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 비접촉 반송플레이트를 분해하여 나타낸 분해 사시도이다.1 is an exploded perspective view showing an exploded non-contact conveying plate according to the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 비접촉 반송플레이트(100)는 하부플레이트(10)와, 하부플레이트(10)의 상부에 고정볼트(12)에 의해서 고정되는 상부플레이트(20)와, 하부플레이트(10) 및 상부플레이트(20) 사이에 배치되는 통상의 실리콘 가스켓(30)을 구비하는데, 하부플레이트(10)의 하부면 상에는 압축에어가 공급되는 에어공급피팅(14)이 장착되며, 상부플레이트(20)에는 하부플레이트(10)에 공급된 압축에어가 분출될 수 있는 다수의 에어홀(110)이 형성된다. Referring to FIG. 1, the non-contact conveying plate 100 according to the present invention includes a lower plate 10, an upper plate 20 fixed by a fixing bolt 12 on an upper portion of the lower plate 10, and a lower plate. A conventional silicon gasket 30 is disposed between the upper plate 20 and the upper plate 20. An air supply fitting 14 to which compressed air is supplied is mounted on a lower surface of the lower plate 10, and an upper plate. 20, a plurality of air holes 110 are formed through which compressed air supplied to the lower plate 10 may be ejected.

도 2는 도 1의 선 A-A를 따라 도시된 단면도이며, 그리고 도 3은 도 2에 도시된 “B”를 확대하여 나타낸 도면이다. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG. 1, and FIG. 3 is an enlarged view of “B” shown in FIG. 2.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 비접촉 반송플레이트(100)는 각각의 에어홀(110)에 장착되는 저항수단(120)을 더 구비한다. 1 to 3, the non-contact conveying plate 100 according to the first embodiment of the present invention further includes resistance means 120 mounted to each air hole 110.

이를 위해서 에어홀(110)은 상부플레이트(20)의 하부면 상에서 내측으로 수직하게 연장 형성되는 제 1 확장안내부(112)와, 제 1 확장안내부(112)의 연장단에 서 마찬가지로 상부플레이트(20)의 내측으로 수직하게 연장 형성되는 제 2 확장안내부(114)와, 제 2 확장안내부(114)의 연장단에서 상부플레이트(20)를 상부면을 관통하는 미세안내부(116)로 이루어진다. 제 2 확장안내부(114)는 제 1 확장안내부(112)의 직경보다 작은 직경으로 형성되면서 내주면 상에는 암나사(118)가 형성된다. To this end, the air hole 110 extends in a vertical direction inwardly on the lower surface of the upper plate 20 and the upper plate similarly at the extended end of the first expansion guide 112. The second extension guide part 114 extending vertically inwardly of the 20 and the fine guide part 116 penetrating through the upper surface of the upper plate 20 at the extended end of the second extension guide part 114. Is made of. The second extension guide part 114 is formed with a diameter smaller than the diameter of the first extension guide part 112, and a female screw 118 is formed on the inner circumferential surface thereof.

또한, 에어홀(110)은 제 2 확장안내부(114)와 미세안내부(116) 사이에 경사안내부(120)를 더 형성한다. 경사안내부(120)는 제 2 확장안내부(114)의 연장단에서 미세안내부(116)의 하단 측으로 방사상 좁아지게 연장되어 형성된다. In addition, the air hole 110 further forms an inclined guide part 120 between the second extended guide part 114 and the fine guide part 116. The inclined guide part 120 is formed to extend radially narrow from the extended end of the second extended guide part 114 toward the lower end of the micro guide part 116.

한편, 저항수단(130)은 제 1 확장안내부(112)에서부터 제 2 확장안내부(114)에 걸쳐 배치되는 저항삽입체(132)와, 저항삽입체(132)에 끼워지면서 제 1 확장안내부(112) 상에 배치되는 저유량형성체(134)를 구비한다. On the other hand, the resistance means 130 is inserted into the resistor inserting body 132 and the resistance inserting body 132 disposed from the first extended guide portion 112 to the second extended guide portion 114, the first extended guide And a low flow rate formation body 134 disposed on the portion 112.

저항삽입체(132)는 제 1 확장안내부(112) 상에 배치되는 머리부(136)와, 머리부(136)에 일체로 형성되며 외주면 상에는 제 2 확장안내부(114)에 형성된 암나사(118)에 끼워질 수 잇도록 대응하는 수나사(140)가 형성된 나사부(138)를 구비한다. 이때, 제 2 확장안내부(114)에 끼워진 나사부(138)는 암나사(118)와 수나사(140)의 체결을 위한 체결여유간격, 즉, 수나사(140)의 바깥지름(D)과 암나사(118)의 골지름(d) 사이 간격, 그리고 수나사(140)의 골지름(D1)과 암나사(118)의 안지름(d1) 사이 간격에 에어안내부(142)를 형성한다. 따라서 암나사(118) 및 수나사(140)의 결합으로 형성되는 에어안내부(142)는 나선형상을 갖는다. 바람직하게는 저항삽입체(132)의 머리부(136)는 제 1 확장안내부(112)의 직경보다 작은 직경을 갖는다. The resistance insert 132 is formed on the head 136 and the head 136 integrally disposed on the first extension guide 112, the female thread formed in the second extension guide 114 on the outer peripheral surface ( 118 is provided with a threaded portion 138 having a corresponding male thread 140 formed therein. At this time, the threaded portion 138 inserted into the second extension guide 114 is a free space for fastening the female screw 118 and the male screw 140, that is, the outer diameter (D) and the female screw 118 of the male screw 140. Air guide portion 142 is formed in the interval between the bone diameter (d) of the) and the interval between the bone diameter (D1) of the male screw 140 and the inner diameter (d1) of the female screw (118). Therefore, the air guide part 142 formed by the combination of the female screw 118 and the male screw 140 has a spiral shape. Preferably, the head 136 of the resistance insert 132 has a diameter smaller than the diameter of the first extension guide 112.

도 4a 내지 4f는 도 2에 도시된 저유량형성체의 다양한 실시예를 보인 도면이다. 4A to 4F illustrate various embodiments of the low flow rate body shown in FIG. 2.

도시된 바와 같이, 저유량형성체(134)는 저항삽입체(132)의 머리부(136)와 제 1 확장안내부(112)의 천장면 사이에 배치된다. 이러한 저유량형성체(134)는 원판형상 또는 원뿔형상 중 어느 하나의 형상으로 제작되는데, 중앙부분에는 저항삽입체(132)의 나사부(138)에 끼워질 수 있도록 관통공(143)이 형성된다. 도 4a 내지 도 4c에는 원판형상을 갖는 저유량형성체(134)가 도시되어 있으며, 도 4d 내지 도 4f에는 원뿔형상을 갖는 저유량형성체(134)가 도시되어 있다. As shown, the low flow rate formation body 134 is disposed between the head 136 of the resistance insert 132 and the ceiling surface of the first extension guide 112. The low flow rate forming member 134 is manufactured in any one of a disk shape or a cone shape, and a through hole 143 is formed at the center portion thereof so as to be fitted to the threaded portion 138 of the resistance insert 132. . 4A to 4C, a low flow rate body 134 having a disc shape is illustrated, and a low flow rate body 134 having a conical shape is illustrated in FIGS. 4D to 4F.

전술한 바와 같이 형성된, 저유량형성체(134)의 상부면 상에는 저유량형성체(134)의 외곽에서 관통공(143) 측으로 다수의 저유량형성홈(144)이 방사상으로 형성된다. 이때, 하나의 저유량형성홈(144)은 하측으로 만곡된 “U”자 형상을 갖는다. 바람직하게는, 하나의 저유량형성홈(144)은 “V”자 형상을 가지도록 형성할 수 있다. 더욱 바람직하게는 하나의 저유량형성홈(144)은 하측으로 좁아지는 직각삼각형상 즉, 통상의 톱날 형상을 가지도록 형성할 수 있다. On the upper surface of the low flow rate formation body 134 formed as described above, a plurality of low flow rate formation grooves 144 are radially formed toward the through hole 143 on the outer side of the low flow rate formation body 134. At this time, one low flow rate forming groove 144 has a "U" shape curved downward. Preferably, one low flow rate forming groove 144 may be formed to have a "V" shape. More preferably, one low flow rate forming groove 144 may be formed to have a right triangle shape that narrows downward, that is, a general saw blade shape.

도 5는 도 1에 도시된 상부플레이트의 다른 실시예를 보인 도면이며, 그리고 도 6은 도 5에 도시된 선 C-C를 따라 도시된 단면도이다. 5 is a view showing another embodiment of the upper plate shown in FIG. 1, and FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line C-C shown in FIG.

도 5 및 도 6을 참조하면, 상부플레이트(20)에는 진공수단(150)이 더 형성된다. 진공수단(150)은 상부플레이트(20)의 일단에서부터 상부플레이트(20)의 타단까지 관통되는 제 1 진공안내라인(152)과, 상부플레이트(20)의 일측에서 상부플레이 트(20)의 타측까지 관통됨과 아울러 제 1 진공안내라인(152)과 교차되는 제 2 진공안내라인(154)과, 상부플레이트(20)의 상부면 상에서 상부플레이트(20)의 내측으로 수직하게 연장되면서 제 1 진공안내라인(152)과 연결되는 다수의 진공홀(156)을 구비한다. 이때, 제 1 진공안내라인(152)의 양단은 진공용 마개(158)에 의해서 기밀가능하게 마감되고, 제 2 진공안내라인(154)의 양단에는 진공용 피팅(160)이 장착된다. 한편, 진공홀(156)은 상부플레이트(20)에 형성된 어느 하나의 에어홀(110)과 대각으로 마주보는 또 다른 에어홀(110)의 중간부위에 형성된다. 즉, 다수의 에어홀(110)과 다수의 진공홀(156)은 상부플레이트(20)에 지그재그 형상으로 배열된다. 5 and 6, the vacuum plate 150 is further formed on the upper plate 20. The vacuum means 150 has a first vacuum guide line 152 penetrating from one end of the upper plate 20 to the other end of the upper plate 20 and the other side of the upper plate 20 at one side of the upper plate 20. The second vacuum guide line 154 that passes through and crosses the first vacuum guide line 152 and the first vacuum guide while vertically extending inwardly of the upper plate 20 on the upper surface of the upper plate 20. A plurality of vacuum holes 156 are connected to the line 152. At this time, both ends of the first vacuum guide line 152 is hermetically closed by a vacuum stopper 158, and a vacuum fitting 160 is mounted at both ends of the second vacuum guide line 154. On the other hand, the vacuum hole 156 is formed in the middle portion of the other air hole 110 facing diagonally with any one air hole 110 formed in the upper plate 20. That is, the plurality of air holes 110 and the plurality of vacuum holes 156 are arranged in a zigzag shape on the upper plate 20.

도 7을 참조하면, 에어홀(110)은 상부플레이트(20)의 상부면 상에서 내측으로 수직하게 연장 형성되는 제 1 확장안내부(112)와, 제 1 확장안내부(112)의 연장단에서 상부플레이트(20)의 하부면을 관통하는 제 2 확장안내부(114)로 이루어진다. 제 2 확장안내부(114)는 제 1 확장안내부(112)의 직경보다 작은 직경으로 형성되면서 내주면 상에는 암나사(118)가 형성된다. Referring to FIG. 7, the air hole 110 may extend from the first extension guide portion 112 and the first end of the first extension guide 112 extending vertically inwardly on the upper surface of the upper plate 20. The second expansion guide portion 114 penetrates the lower surface of the upper plate 20. The second extension guide part 114 is formed with a diameter smaller than the diameter of the first extension guide part 112, and a female screw 118 is formed on the inner circumferential surface thereof.

이와 같이 형성된 에어홀(110)에는 저항수단(130)이 상부플레이트(20)의 상부측에서부터 끼워지는데, 제 2 확장안내부(114)에 끼워진 나사부(138)는 암나사(118)와 수나사(140)의 체결을 위한 체결여유간격에 에어안내부(142)를 형성한다. 또한 머리부(132)는 제 1 확장안내부(112)에 끼워지는데, 머리부(112)는 제 1 확장안내부(112)의 직경보다 작은 직경을 갖는다. 한편, 저유량형성체(134)는 머리부(132)와 제 1 확장안내부(112)의 바닥면 사이에 배치된다. In the air hole 110 formed as described above, the resistance means 130 is fitted from the upper side of the upper plate 20, and the threaded portion 138 fitted to the second extension guide 114 is a female screw 118 and a male screw 140. Air guide portion 142 is formed in the fastening clearance interval for fastening. In addition, the head 132 is fitted to the first extension guide 112, the head 112 has a diameter smaller than the diameter of the first extension guide 112. Meanwhile, the low flow rate formation body 134 is disposed between the head 132 and the bottom surface of the first extension guide 112.

전술한 바와 같이 에어홀(110)을 형성하여 저항수단(130)을 결합함으로서, 정밀도를 요구하지 않는 분야에서 저비용으로 비접촉 플레이트(100)를 사용할 수 있다. As described above, by forming the air holes 110 to couple the resistance means 130, the non-contact plate 100 can be used at low cost in a field that does not require precision.

하기에는 전술한 바와 같이 형성된 비접촉 반송플레이트(100)의 작동상태를 간략하게 설명한다.Hereinafter, the operating state of the non-contact conveying plate 100 formed as described above will be briefly described.

먼저, 상류장비에서 피 운반체(이하; “패널” 이라함)를 전달하기 위해서 신호를 보내면 본 발명에 따른 반송플레이트(100)는 작동을 시작한다. 이때, 에어공급용 피팅(14)으로는 고압의 압축에어(compressed air)가 공급되고, 이렇게 공급된 고압의 압축에어는 상부플레이트(20)에 형성된 각각의 에어홀(110) 측으로 안내된다. First, when the upstream equipment sends a signal to deliver the carrier (hereinafter referred to as the "panel"), the conveying plate 100 according to the present invention starts operation. At this time, high pressure compressed air is supplied to the air supply fitting 14, and the high pressure compressed air supplied to the air supply fitting 14 is guided to each air hole 110 formed in the upper plate 20.

각각의 에어홀(110) 측으로 안내된 고압의 압축에어는 제 1 확장안내부(112)와 머리부(136) 사이로 안내된 후, 저유량형성체(134)의 저유량형성홈(144)을 거쳐 에어안내부(142) 측으로 안내된다. 에어안내부(142) 측으로 안내된 고압의 압축에어는 고압의 저유량으로 경사안내부(120) 측으로 안내된 후, 다시 미세안내부(116)를 통해 분출된다. 이렇게 미세안내부(116)를 통해 분출되는 에어는 패널을 패널의 진행방향의 수직방향으로 분출되어 패널을 상부플레이트(20)의 상부면 상측으로 부상시킨다. The high pressure compressed air guided to each air hole 110 is guided between the first expansion guide 112 and the head 136, and then the low flow rate forming groove 144 of the low flow rate formation body 134 is opened. It is guided to the air guide 142 side. The high pressure compressed air guided to the air guide 142 side is guided to the inclined guide unit 120 at a low flow rate of high pressure, and then ejected through the fine guide unit 116. The air jetted through the fine guide part 116 is jetted in the vertical direction of the traveling direction of the panel to float the panel above the upper surface of the upper plate 20.

한편, 상부플레이트(20)의 상부로 분출되어 패널을 부상시킨 에어는 미세안내부(116)의 주변에 형성된 진공홀(156) 측으로 흡입되어 제 1 진공안내라인(152), 제 2 진공안내라인(154) 및 진공용 피팅(160)을 거쳐 배출된다. 이렇게 미세안내부 (116)로 분출된 에어가 진공홀(156) 측으로 유입됨으로써 반송 중인 패널이 상부플레이트(20) 상에 떨어지지도 달라붙지도 않게 된다. On the other hand, the air ejected to the upper portion of the upper plate 20 to raise the panel is sucked to the vacuum hole 156 formed around the fine guide 116, the first vacuum guide line 152, the second vacuum guide line And discharged through 154 and vacuum fitting 160. In this way, the air jetted into the fine guide 116 flows into the vacuum hole 156 so that the panel being conveyed does not fall on or adhere to the upper plate 20.

그러므로 본 발명에 따른 비접촉 반송플레이트(100)를 에어홀(110)과 진공홀(156)을 구비함으로써, 수직하게 배치한 상태에서 패널을 수직하게 반송할 수 있다. Therefore, by providing the non-contact conveying plate 100 according to the present invention with the air hole 110 and the vacuum hole 156, the panel can be vertically conveyed in a vertically arranged state.

전술한 바와 같이, 본 발명에 따른 비접촉 반송플레이트(100)는 상부플레이트(20)에 제 1 확장안내부(112), 제 2 확장안내부(114), 경사안내부(120) 및 미세안내부(116)로 이루어진 에어홀(110)에 저항삽입체(132) 및 저유량형성체(134)를 배치함으로써, 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 분출시킬 수 있어 패널을 반송할 때 떨림현상을 현저하게 줄일 수 있어 정밀하고 안정적이며 고정도의 반송이 가능하다. As described above, the non-contact conveying plate 100 according to the present invention is the first extended guide portion 112, the second extended guide portion 114, the inclined guide portion 120 and the fine guide to the upper plate 20 By placing the resistor insert 132 and the low flow rate formation body 134 in the air hole 110 formed of 116, the high pressure compressed air can be ejected at a low flow rate of high pressure, and the vibration phenomenon occurs when conveying the panel. Can be significantly reduced, so that accurate, stable and high-precision conveying is possible.

한편, 각각의 에어홀(110)의 주변에 진공홀(156)을 형성하여 패널 반송을 위해 분출된 에어를 흡입함으로써, 종래 수평하게 펼쳐진 상태로 반송되던 패널을 수직하게 세워진 상태로 반송할 수 있는 잇점이 있다. On the other hand, by forming a vacuum hole 156 around each air hole 110 to suck the air blown out for conveying the panel, it is possible to convey the panel conveyed in a vertically flat state in a vertically standing state. There is an advantage.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술 분야의 숙련된 당업자는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. Although the above has been described with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims. You will understand.

Claims

고압의 압축에어가 공급되는 하부플레이트와, 상기 하부플레이트의 상부에 고정볼트에 의해서 고정되면서 에어가 분출되는 다수의 에어홀이 형성된 상부플레이트와, 상기 하부플레이트 및 상기 상부플레이트 사이에 배치되는 통상의 실리콘 가스켓으로 이루어진 비접촉 반송플레이트에 있어서, A lower plate to which high pressure compressed air is supplied, an upper plate having a plurality of air holes through which air is ejected while being fixed by a fixing bolt on an upper portion of the lower plate, and disposed between the lower plate and the upper plate. In a non-contact conveying plate made of a silicon gasket,

상기 에어홀은 상기 상부플레이트의 하부면 상에 내측으로 수직하게 연장 형성되는 제 1 확장안내부와, 상기 제 1 확장안내부의 연장단에서 상기 상부플레이트의 내측으로 연장됨과 아울러 상기 제 1 확장안내부의 직경보다 작은 직경을 가지면서 내주면 상에는 암나사가 형성 제 2 확장안내부와, 상기 제 2 확장안내부의 연장단에서 상기 상부플레이트의 상부면을 관통하는 미세안내부를 구비하고, 상기 제 1 확장안내부 및 상기 제 2 확장안내부에는 상기 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 변화시켜 상기 미세안내부로 분출되게 하는 저항수단이 끼워지는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송플레이트.The air hole extends in a vertical direction inwardly on a lower surface of the upper plate, and extends inwardly of the upper plate at an extension end of the first expansion guide portion and also in the first expansion guide portion. A female screw formed on the inner circumferential surface and having a smaller diameter than the second extension guide portion, and a micro guide portion penetrating through the upper surface of the upper plate at an extended end of the second extended guide portion; And the resistance means for ejecting the compressed air of the high pressure into a low flow rate of the high pressure so as to be ejected into the fine guide part is inserted into the second extended guide part.

제 1 항에 있어서, 상기 에어홀은 상기 상부플레이트의 상부면 상에서 내측으로 수직하게 연장 형성되는 제 1 확장안내부와, 상기 제 1 확장안내부의 연장단에서 상기 상부플레이트의 하부면을 관통하는 상기 제 2 확장안내부로만 이루어질 수 있으며, 상기 제 2 확장안내부는 상기 제 1 확장안내부의 직경보다 작은 직경으로 형성되면서 내주면 상에는 암나사가 형성되는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 플레이트.The air hole of claim 1, wherein the air hole extends vertically inwardly on an upper surface of the upper plate and the lower hole penetrates the lower surface of the upper plate at an extended end of the first expansion guide. It can be made only of the second expansion guide portion, the second extension guide portion is formed in a diameter smaller than the diameter of the first expansion guide portion, the non-contact conveying plate, characterized in that the internal thread is formed on the inner peripheral surface.

제 1 항에 있어서, 상기 에어홀은 상기 제 2 확장안내부와 상기 미세안내부 사이에 경사안내부를 더 형성하며, 상기 경사안내부는 상기 제 2 확장안내부의 연장단에서 상기 미세안내부의 하단 측으로 방사상 좁아지게 연장되는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송플레이트.According to claim 1, wherein the air hole is further formed between the inclined guide portion between the second extension guide and the fine guide, the inclined guide portion radially from the extended end of the second extended guide portion to the lower side of the fine guide portion A non-contact conveying plate, characterized in that it extends narrowly.

제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 저항수단은 상기 제 1 확장안내부 상에 배치되는 제 1 확장안내부와, 상기 제 2 확장안내부에 끼워질 수 있도록 상기 암나사에 대응하는 수나사가 외주면 상에 형성된 나사부로 이루어진 저항삽입체를 구비하고, 상기 나사부의 상기 수나사와 상기 확장안내부의 상기 암나사의 체결여유간격으로는 상기 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 변화시키는 나선형의 에어안내부가 형성되는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송플레이트.The outer circumferential surface of claim 1 or 2, wherein the resistance means includes a first expansion guide portion disposed on the first expansion guide portion and a male screw corresponding to the female screw so as to be fitted to the second expansion guide portion. And a resistance insert formed of a threaded portion formed thereon, wherein a helical air guide portion for changing the compressed air of the high pressure into a low flow rate of the high pressure is formed as a coupling clearance between the male screw of the screw portion and the female screw of the expansion guide portion. Non-contact conveying plate, characterized in that.

제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 저항수단은 상기 머리부와 상기 제 1 확장안내부 사이에 배치되는 저유량형성체를 더 구비하며, 상기 저유량형성체의 중앙부분에는 상기 나사부가 관통될 수 있도록 관통공이 형성됨과 아울러 상부면 상에는 상기 저유량형성체의 외곽에서 중심부분으로 다수의 저유량형성홈이 방사상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송플레이트.The method of claim 2 or 3, wherein the resistance means further comprises a low flow rate forming body disposed between the head portion and the first expansion guide portion, the screw portion through the central portion of the low flow rate forming body The non-contact conveying plate, characterized in that the through-hole is formed and the upper surface is formed with a plurality of low flow rate forming grooves radially from the outer portion of the low flow rate forming body to the central portion.

제 5 항에 있어서, 하나의 상기 저유량형성홈은 하측으로 만곡된 “U”자 형상, 또는 “V”자 형상, 또는 상기 저유량형성홈은 하측으로 좁아지는 직각삼각형상을 가지는 통상의 톱날 형상 중 어느 하나의 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 비 접촉 반송플레이트.6. The blade of claim 5, wherein one of the low flow rate forming grooves has a “U” shape, or a “V” shape curved downward, or the low flow rate forming groove has a right triangle narrowing downward. A non-contact conveying plate, having any one of shapes.

제 5 항에 있어서, 상기 저유량형성체는 원판형상 또는 상측으로 방사상 좁아지는 원뿔형상 중 어느 하나의 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송플레이트.6. The non-contact conveying plate according to claim 5, wherein the low flow rate forming body has any one of a disk shape or a cone shape radially narrowing upward.

제 1 항에 있어서, 상기 상부플레이트에는 상기 에어홀에서 분출된 에어를 흡입하는 진공수단이 더 형성되며, 상기 진공수단은 상기 상부플레이트의 일단에서부터 타단까지 관통되는 제 1 진공안내라인과, 상기 상부플레이트 일측에서 타측까지 관통되면서 상기 제 1 진공안내라인과 교차되는 제 2 진공안내라인과, 상기 상부플레이트의 상부면 상에서 상기 상부플레이트의 내측으로 수직하게 연장되면서 상기 제 1 진공안내라인과 연결되는 다수의 진공홀을 구비하고, 상기 제 1 진공안내라인의 양단은 진공용 마개에 의해서 기밀가능하게 마감되며, 상기 제 2 진공안내라인의 양단에는 진공용 피팅이 장착되는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송플레이트.According to claim 1, wherein the upper plate further comprises a vacuum means for sucking the air blown out of the air hole, the vacuum means is a first vacuum guide line penetrating from one end to the other end of the upper plate, and the upper portion A second vacuum guide line intersecting with the first vacuum guide line while penetrating from one side to the other side of the plate, and a plurality of connected to the first vacuum guide line while vertically extending inwardly of the upper plate on an upper surface of the upper plate; And a vacuum hole, wherein both ends of the first vacuum guide line are hermetically closed by a vacuum plug, and both ends of the second vacuum guide line are equipped with vacuum fittings.

제 1 항에 있어서, 상기 진공홀은 상부플레이트에 형성된 어느 하나의 에어 홀과 대각으로 마주보는 또 다른 에어홀의 중간부위에 형성되는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송플레이트.The non-contact conveying plate according to claim 1, wherein the vacuum hole is formed at an intermediate portion of another air hole facing diagonally with any one air hole formed in the upper plate.