KR101129058B1 - 분사홀이 나선형으로 배치된 스핀노즐 유닛 및 이를 구비하는 직립방식 증착장치 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는 도 1의 직립방식 증착장치에서 가스분사 모듈을 설명하기 위해 일부분을 확대 도시한 사시도이다.
도 3은 도 1 및 도 2의 가스분사 모듈의 동작을 설명하기 위한 대략적으로 도시한 도면이다.
20: 셔틀부(shuttle)
100: 증착장치
103: 가스분사 모듈
104, 141, 143, 145: 가스공급부
142, 144, 146: 밸브
111: 기판 이송 유닛(substrate moving unit)
113: 히터 유닛
115: 메인 배기 배플부(main vacuum baffle)
131: 하우징
311: 분사홀
313: 가스분리 개구부
314: 격벽
133: 스핀노즐 유닛
331: 바디부
333, 3331, 3332, 3333, 3334: 분사구
335: 스핀노즐 구동부
135: 버퍼부
Claims (8)
- 직립으로 세워진 기판이 양측에 구비되고, 상기 양쪽 기판에 증착가스를 제공하기 위한 다수의 분사홀이 형성된 하우징; 및
상기 하우징 내부에 구비되어 축을 중심으로 자전 가능하게 구비되고, 외주면 둘레를 따라 서로 다른 복수의 증착가스를 분사하는 분사구가 나선형으로 배치된 스핀노즐 유닛;
를 포함하는 직립방식 증착장치용 가스분사 모듈.
- 제1항에 있어서,
상기 스핀노즐 유닛은 상기 분사홀이 90° 간격으로 배치된 직립방식 증착장치용 가스분사 모듈.
- 제1항에 있어서,
상기 하우징 내부에는 상기 스핀노즐 유닛이 개별적으로 수용되는 수용 버퍼부가 형성되고,
상기 수용 버퍼부 내부에는 상기 각 분사홀에 대응되는 높이에 가스분리 개구부가 형성된 직립방식 증착장치용 가스분사 모듈.
- 제3항에 있어서,
상기 가스분리 개구부(313)는 상기 수용 버퍼부 내부에서 요입 형성된 다수의 홈으로 구성되어, 상기 수용 버퍼부 내부에서 상하 방향을 따라 격벽의 역할을 하는 직립방식 증착장치용 가스분사 모듈.
- 제4항에 있어서,
상기 가스분리 개구부(313) 내부에는 상기 가스분리 개구부 내부에서 증착가스의 수평 방향 유동을 제한하는 격벽(314)이 구비된 직립방식 증착장치용 가스분사 모듈.
- 제2항에 있어서,
상기 분사구는 상기 스핀노즐 유닛의 외주면 둘레를 따라 한 줄 또는 여러 줄의 나선형으로 배치된 직립방식 증착장치용 가스분사 모듈.
- 수직 방향으로 양측면에 분사면이 형성되고, 상기 분사면에 대향되게 수용된 2장의 기판에 대해 서로 다른 복수의 증착가스를 순차적으로 제공하는 가스분사 모듈; 및
상기 기판의 후방에 구비되는 각각 히터 유닛;
을 구비하고,
상기 가스분사 모듈은,
상기 양쪽 기판에 증착가스를 제공하기 위한 다수의 분사홀이 형성된 하우징; 및
상기 하우징 내부에 구비되어 축을 중심으로 자전 가능하게 구비되고, 외주면 둘레를 따라 서로 다른 복수의 증착가스를 분사하는 분사구가 나선형으로 배치된 스핀노즐 유닛;
을 포함하는 직립방식 증착장치.
- 제7항에 있어서,
상기 가스분사 모듈의 양측 하부에는 상기 기판을 직립으로 세워진 상태로 이송하고 위치를 유지시키는 기판 이송 유닛이 구비된 직립방식 증착장치.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020100131638A KR101129058B1 (ko) | 2010-12-21 | 2010-12-21 | 분사홀이 나선형으로 배치된 스핀노즐 유닛 및 이를 구비하는 직립방식 증착장치 |
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Publication Number | Publication Date |
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KR101129058B1 true KR101129058B1 (ko) | 2012-03-23 |
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KR1020100131638A KR101129058B1 (ko) | 2010-12-21 | 2010-12-21 | 분사홀이 나선형으로 배치된 스핀노즐 유닛 및 이를 구비하는 직립방식 증착장치 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101421547B1 (ko) * | 2013-03-06 | 2014-07-28 | 주식회사 제우스 | 수직형 기판 처리 장치와 방법 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100761687B1 (ko) | 2005-06-10 | 2007-09-28 | 주식회사 뉴파워 프라즈마 | 용량결합형 플라즈마소스 및 수직형 듀얼 프로세스챔버를구비한 플라즈마처리장치 |
KR20100129369A (ko) * | 2009-05-31 | 2010-12-09 | 위순임 | 수직 듀얼 챔버로 구성된 대면적 플라즈마 반응기 |
-
2010
- 2010-12-21 KR KR1020100131638A patent/KR101129058B1/ko active IP Right Grant
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KR20100129369A (ko) * | 2009-05-31 | 2010-12-09 | 위순임 | 수직 듀얼 챔버로 구성된 대면적 플라즈마 반응기 |
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