KR100995064B1 - 증착용 마스크 어셈블리 및 이를 사용한 박막 증착 방법 - Google Patents

증착용 마스크 어셈블리 및 이를 사용한 박막 증착 방법 Download PDF

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Abstract

증착용 마스크 어셈블리를 제공한다. 마스크 어셈블리는 중앙에 설치홀이 형성된 고정 프레임과, 설치홀의 양측부 위에 배치되며 복수의 소자 패턴 영역들과 복수의 얼라인 마크들을 갖는 한 쌍의 제1 증착 마스크와, 한 쌍의 제1 증착 마스크 사이에 위치하도록 설치홀의 중앙부 위에 배치되며 복수의 소자 패턴 영역들을 갖는 하나 이상의 제2 증착 마스크를 포함한다. 이에 따라 증착 공정시 얼라인 마크 및 소자 패턴 영역 각각에 대한 정렬 공정 시간을 단축할 수 있다.

Description

증착용 마스크 어셈블리 및 이를 사용한 박막 증착 방법{MASK ASSEMBLY FOR DEPOSITION AND METHOD FOR DEPOSITING THIN FILM USING THE SAME}
본 발명은 증착용 마스크 어셈블리에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 소자 패턴 영역과 얼라인 마크를 동시에 갖는 증착용 마스크 어셈블리 및 이를 사용한 박막 증착 방법에 관한 것이다.
최근 음극선관(cathode ray tube, CRT)의 단점을 극복하여 경량화 및 소형화가 가능한 평판 표시 장치가 차세대 표시 장치로 각광 받고 있다. 이러한 평판 표시 장치의 대표적인 예로 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel), 액정 표시 장치(liquid crystal display), 및 유기 발광 표시 장치(organic light emitting display) 등이 있다.
이러한 평판 표시 장치의 제조를 위해서는 소정의 패턴을 가지는 전극, 발광층 등을 형성하여야 하는데, 소정의 패턴의 형성을 위한 방법 중 증착 마스크를 이용한 증착 방법이 사용될 수 있다.
증착 마스크는 강성이 유지되도록 개구부를 구비한 프레임에 고정되어 증착용 마스크 프레임 조립체를 구성하는 것이 일반적인데, 프레임에 고정되는 공정에서 증착 마스크가 왜곡되는 문제가 발생할 수 있다. 또한, 증착이 이루어지는 기판이 대형화됨에 따라 증착 마스크의 처짐 현상 또는 열에 의한 마스크 등의 문제가 심각하게 나타날 수 있다. 이러한 문제들은 증착의 정밀도를 저하시킨다.
한편, 프레임과 증착 마스크가 매우 정밀하게 만들어지는 경우라도 증착이 이루어진 기판과 소정의 오차를 가진다. 이 상태에서 증착을 하게 되면 이 오차에 의해 정확한 위치에 증착이 이루어지지 않는 문제가 있다.
이를 방지하기 위하여 기판과 증착용 마스크 프레임 조립체를 이용하여 일차로 증착을 수행한 후 오차 등을 알아내고, 이러한 오차를 보정할 수 있도록 다른 기판과 증착용 마스크 프레임 조립체를 위치시켜 실제 증착을 수행하는 방법이 적용되고 있다. 이렇게 오차를 알아내는 공정을 일반적으로 오프셋(offset) 공정이라 부르는데, 이 공정은 많은 시간이 소요되며 증착 물질 및 기판이 낭비되어 제조 비용을 증가시키는 요인으로 작용한다.
따라서, 이를 해결하기 위하여 종래에는 도 1에 도시된 바와 같은 증착용 마스크 프레임 조립체를 사용한다.
도 1을 참조하면, 증착용 마스크 프레임 조립체는 개구부(11)가 형성된 프레임(10)과, 증착을 위한 패턴(21)이 구비되며 개구부(11)에 패턴(21)이 위치하도록 프레임(10)에 고정되는 증착 마스크(20)와, 증착 마스크(20)의 외측에서 프레임(10)에 고정되며 얼라인 마크(31)가 형성된 얼라인 마스크(30)를 포함한다.
즉, 프레임(10)에 형성된 개구부(11) 위로 증착 마스크들(20)이 나란하게 위치한다. 증착 마스크들(20) 각각에는 소자 패턴(21)이 형성된다.
그리고, 프레임(10)의 개구부(11) 양측에는 제1,2 얼라인 마크(31,32)가 형성된 얼라인 마스크(30)가 각각 배치된다.
마스크 프레임 조립체를 사용하여 기판(미도시)에 유기물 증착 공정을 수행하는 경우, 먼저 프레임(10)에 소자 패턴(21)이 형성된 증착 마스크들(20)을 고정하고, 증착 마스크들(20)의 최외측에 얼라인 마스크들(30)을 고정한다.
그리고, 증착 마스크들(20)의 소자 패턴(21)을 통해 증착된 증착 물질의 위치를 측정하고, 이 측정이 이루어진 이후에 얼라인 마스크(30)의 얼라인 마크(31,32)와 증착 마스크(20)의 소자 패턴(21)의 위치를 추가로 정밀 보정한다.
따라서, 종래에는 도 1에 도시된 바와 같이 얼라인 마스크(30)를 추가로 구성하는 경우에, 상기와 같이 얼라인 마스크(30)의 얼라인 마크(31,32)와 증착 마스크(20)의 소자 패턴(21)의 위치를 보정하는 과정이 추가됨으로써, 기판에 증착 공정을 수행하는 공정 시간이 증가되는 문제점이 있다.
이에 더하여, 종래에는 상기와 같이 소자 패턴(21)이 형성된 증착 마스크(20)와 얼라인 마스크(30)가 독립적으로 구분되는 경우에, 얼라인 마스크(30)의 위치가 보정된다 할지라도 증착 마스크들(20)의 얼라인이 틀어지는 문제점도 있다.
이에 따라, 종래의 마스크 프레임 조립체는 기판에 소자 패턴(21)에 대응하는 패턴 형상을 벗어난 비정상 패턴의 유기물이 증착되어 제품 불량을 야기시키는 문제점을 갖는다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결할 수 있도록 안출된 것으로서, 본 발명의 제1 목적은 다수개의 소자 패턴 영역들의 근방에 얼라인 마크들을 마련한 증착 마스크를 사용하여 증착 공정시 얼라인 마크 및 소자 패턴 영역 각각에 따르는 정렬 공정을 일정 시간 단축할 수 있는 증착용 마스크 어셈블리 및 이를 사용한 박막 증착 방법을 제공함에 있다.
본 발명의 제2 목적은 고정 프레임에 나란하게 고정되는 증착 마스크들 중 양측 최외곽에 위치하는 증착 마스크들에 얼라인 마크를 마련하고 상기 얼라인 마크들을 고정 프레임의 중앙을 경계로 대칭이 되도록 배치하여, 어느 일측의 얼라인 마크들만을 사용하더라도 기판과 마스크 어셈블리와의 정렬이 수행될 수 있도록 한 증착용 마스크 어셈블리 및 이를 사용한 박막 증착 방법을 제공함에 있다.
본 발명의 제3 목적은 얼라인 마크를 정렬함에 따라 소자 패턴 영역이 동시에 정렬되도록 함으로써 기판에 정상적인 소자 패턴 형상의 유기물이 증착되어 제품 불량률을 저감시킬 수 있는 증착용 마스크 어셈블리 및 이를 사용한 박막 증착 방법을 제공함에 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크 어셈블리는 중앙에 설치홀이 형성된 고정 프레임과, 설치홀의 양측부 위에 배치되며 복수의 소자 패턴 영역들과 복수의 얼라인 마크들을 갖는 한 쌍의 제1 증착 마스크와, 한 쌍의 제1 증착 마스크 사이에 위치하도록 설치홀의 중앙부 위에 배치되며 복수의 소자 패턴 영역들을 갖는 하나 이상의 제2 증착 마스크를 포함한다.
얼라인 마크들은 한 쌍의 제1 증착 마스크 각각에서 한 쌍으로 구비될 수 있으며, 소자 패턴 영역들과 거리를 두고 위치할 수 있다.
얼라인 마크들은 고정 프레임의 중앙을 경계로 서로 대칭이 되도록 배치되며, 고정 프레임의 사방 모서리 근방에 대응하도록 위치할 수 있다.
얼라인 마크들은 서로 마주하는 두 쌍의 변이 평행하도록 배치될 수 있다.
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얼라인 마크들은 원통 모양의 관통홀로 이루어질 수 있다.
설치홀은 한 쌍의 제1 증착 마스크에 대응하는 한 쌍의 제1 설치홀과, 한 쌍의 제1 설치홀의 사이에 형성되어 적어도 하나의 제2 증착 마스크에 대응하는 제2 설치홀을 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 일 실시예에 따른 박막 증착 방법은, 사방 모서리에 복수의 보조 얼라인 마크들을 형성한 얼라인 기판을 준비하는 단계와, 복수의 소자 패턴 영역들과 복수의 얼라인 마크들을 형성한 한 쌍의 제1 증착 마스크와, 복수의 소자 패턴 영역들을 형성한 하나 이상의 제2 증착 마스크를 준비하는 단계와, 고정 프레임에 형성된 설치홀의 양측부 위에 보조 얼라인 마크와 얼라인 마크가 일치하도록 한 쌍의 제1 증착 마스크를 정렬하여 배치하는 단계와, 한 쌍의 제1 증착 마스크 사이로 설치홀의 중앙부 위에 하나 이상의 제2 증착 마스크를 정렬하여 배치하는 단계와, 상기 단계들을 거쳐 제조된 증착용 마스크 어셈블리와 증착원을 사용하여 복수의 소자 패턴 영역을 통해 증착물을 통과시켜 기판의 일면에 소자 패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
얼라인 마크들은 한 쌍의 제1 증착 마스크 각각에서 한 쌍으로 구비되며, 소자 패턴 영역들과 거리를 두고 위치할 수 있다.
얼라인 마크들은 고정 프레임의 중앙을 경계로 서로 대칭이 되도록 배치되며, 고정 프레임의 사방 모서리 근방에 대응하도록 위치할 수 있다.
얼라인 마크들은 서로 마주하는 두 쌍의 변이 평행하도록 배치될 수 있다.
얼라인 마크들은 원통 모양의 관통홀로 이루어질 수 있다.
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본 발명은 다수개의 소자 패턴 영역들의 근방에 얼라인 마크들을 마련한 증착 마스크를 사용하여 증착 공정시 얼라인 마크 및 소자 패턴 영역 각각에 따르는 정렬 공정을 일정 시간 단축할 수 있는 효과를 갖는다.
또한, 본 발명은 고정 프레임에 나란하게 고정되는 증착 마스크들 중 양측 최외곽에 위치하는 증착 마스크들에 얼라인 마크를 마련하고 상기 얼라인 마크들을 고정 프레임의 중앙을 경계로 대칭이 되도록 배치하여, 어느 일측의 얼라인 마크들만을 사용하더라도 기판과 마스크 어셈블리와의 정렬이 수행될 수 있는 효과를 갖는다.
또한, 본 발명은 얼라인 마크를 정렬함에 따라 소자 패턴 영역이 동시에 정렬되도록 함으로써 기판에 정상적인 소자 패턴 형상의 유기물이 증착되어 제품 불 량률을 저감시킬 수 있는 효과를 갖는다.
이하, 첨부되는 도면들을 참조로 하여, 본 발명의 증착용 마스크 어셈블리 및 이를 사용한 박막 증착 방법을 설명하도록 한다.
도 2는 본 발명의 증착 마스크를 보여주는 사시도이다. 도 3은 본 발명의 증착용 마스크 어셈블리를 보여주는 분해 사시도이다. 도 4는 본 발명에 따르는 고정 프레임을 보여주는 사시도이다. 도 5는 본 발명에 따르는 고정 프레임의 다른 예를 보여주는 사시도이다. 도 6은 본 발명의 증착용 마스크 어셈블리를 보여주는 평면도이다. 도 7은 본 발명에 따르는 얼라인 기판을 보여주는 평면도이다. 도 8은 본 발명에 따르는 증착용 마스크 어셈블리에 얼라인 기판이 배치되는 것을 보여주는 평면도이다. 도 9는 본 발명의 증착용 마스크 어셈블리가 채택되는 박막 증착 장치를 개략적으로 보여주는 단면도이다. 도 10은 본 발명의 증착용 마스크 어셈블리를 사용한 박막 증착 방법을 보여주는 흐름도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 증착용 마스크 어셈블리는 고정 프레임(100)과, 상기 고정 프레임(100)에 고정되는 증착 마스크들(200)로 구성된다.
증착 마스크들(200)은 한 쌍의 제1 증착 마스크(210)와, 고정 프레임(100)에 고정되고 제1 증착 마스크들(210)의 사이에 위치하는 제2 증착 마스크(220)로 구성된다.
도 2에 도시된 바와 같이, 제1 증착 마스크(210)는 일정 두께를 갖고 사각 판상을 이루는 제1 증착 마스크 몸체(211)와, 제1 증착 마스크 몸체(211)에 마련된 복수의 소자 패턴 영역들(213)과, 소자 패턴 영역들(213)의 근방에 위치하도록 제1 증착 마스크 몸체(211)에 형성된 얼라인 마크들(212)을 구비한다.
소자 패턴 영역(213)은 일정의 사각 형상의 공간을 이루고, 이 공간의 내측에 일렬로 정렬된 복수의 패턴들(213a)이 형성된다. 패턴(213a)은 제1 증착 마스크 몸체(211)를 관통하도록 이루어진다.
얼라인 마크들(212)은 제1 증착 마스크 몸체(211)를 관통하며 0.1mm의 직경을 갖는 관통홀로 이루어진다. 또한, 얼라인 마크들(212)은 홈의 형상으로 이루어질 수도 있다.
얼라인 마크들(212)은 각각의 제1 증착 마스크(210)에서 한 쌍으로 구비된다. 한 쌍의 얼라인 마크(212) 중 하나는 제1 증착 마스크 몸체(211)의 일측 단부에 형성된 소자 패턴 영역(213)의 외곽 모서리 근방에 위치하고, 다른 하나는 제1 증착 마스크 몸체(211)의 반대측 단부에 형성된 소자 패턴 영역(213)의 외곽 모서리 근방에 위치한다.
이때 한 쌍의 얼라인 마크(212)는 실질적으로 서로 동일 선(l)(도2 참조) 상에 위치한다.
물론, 도면에 도시하지는 않았지만 동일 선(l) 상에 복수의 얼라인 마크들(212)이 위치할 수도 있다.
도 3 및 도 4, 도 10을 참조하여, 고정 프레임(100)과 증착 마스크(200)를 설명함과 아울러 박막 증착 방법도 함께 설명하기로 한다.
고정 프레임(100)은 중앙에 일정 크기의 설치홀(110)이 형성되어 사각 형상의 테두리를 갖도록 이루어진다.
증착 마스크(200)는 한 쌍의 제1 증착 마스크들(210)과, 한 쌍의 제1 증착 마스크(220) 사이에 위치하는 하나 이상의 제2 증착 마스크(220)로 구성된다.
제1 증착 마스크(210)의 구성은 상기에 설명됨에 따라 생략한다.
제2 증착 마스크(220)는 제2 증착 마스크 몸체(221)와, 제2 증착 마스크 몸체(221)에 형성된 복수의 소자 패턴 영역들(222)로 이루어진다.
소자 패턴 영역들(222)은 제2 증착 마스크 몸체(221)에 일정 거리 이격되어 서로 나란하게 배치된다. 또한, 소자 패턴 영역(222)의 크기는 제1 증착 마스크 몸체(210)에 형성된 소자 패턴 형성 영역(213)의 크기와 실질적으로 동일할 수 있다.
한 쌍의 제1 증착 마스크(210)와 하나 이상의 제2 증착 마스크(220)를 고정 프레임(100)에 고정하는 과정을 설명하도록 한다.
고정 프레임(100)에 형성된 설치홀(110)의 양측부 위에 한 쌍의 제1 증착 마스크(210)를 고정시킨다(S100). 고정은 스폿 용접 또는 접착제를 사용하는 접합 방법이 채택될 수 있다.
이를 위해 먼저 좌측의 제1 증착 마스크(210)를 설치홀(110)의 왼쪽 부분 위에 위치시킨다. 이때 제1 증착 마스크 몸체(211)에 형성된 한 쌍의 얼라인 마크(212)는 고정 프레임(100)의 좌측단을 향해 위치한다. 제1 증착 마스크 몸체(211)의 저면 테두리는 고정 프레임(100)의 상면에 위치하여 상기와 같은 접합 방법 등으로 서로 고정될 수 있다.
이어, 우측의 제1 증착 마스크(210)를 설치홀(110)의 오른쪽 부분 위에 위치시킨다. 이때 제1 증착 마스크 몸체(210)에 형성된 한 쌍의 얼라인 마크(212)는 고정 프레임(100)의 우측단을 향해 위치한다. 제1 증착 마스크 몸체(210)의 저면 테두리는 고정 프레임(100)의 상면에 위치하여 상기와 같은 접합 방법등으로 서로 고정될 수 있다.
따라서, 한 쌍의 제1 증착 마스크(210)는 고정 프레임(100)의 중앙을 경계로 대칭이 되도록 고정 프레임(100)에 고정될 수 있다.
이에 따라, 얼라인 마크들(212)은 서로 마주하는 두 쌍의 변이 평행하도록 배치될 수 있다.
즉, 도 6에 도시된 바와 같이 얼라인 마크들(212)은 서로 마주하는 두 쌍의 변이 평행한 사각 형상의 변을 형성할 수 있다.
이때 한 쌍의 제1 증착 마스크들(210) 사이에는 일정의 공간이 형성되고 이 공간을 통해 설치홀(110)이 외부로 노출된다.
따라서, 한 쌍의 제1 증착 마스크(210) 사이 공간에 제2 증착 마스크(220)를 위치시킨다(S200).
여기서, 제1 증착 마스크들(210)과 제2 증착 마스크(220)의 이격 거리는 일정할 수 있다.
또한, 제2 증착 마스크(220)는 도 3에 도시된 바와 같이 단일개로 마련될 수도 있지만, 한 쌍의 제1 증착 마스크(210) 사이에 서로간 일정한 이격 거리를 두고 복수의 제2 증착 마스크(220)가 마련될 수 있다.
한편, 고정 프레임(120)의 설치홀(110)은 하기와 같이 다른 예로 형성될 수도 있다.
즉, 설치홀(110)은 도 5에 도시된 바와 같이 3개로 형성될 수 있다.
이 경우 고정 프레임(120)의 양측단에 위치하는 한 쌍의 제1 설치홀(121) 위에 제1 증착 마스크(210)가 위치한다.
이때 제1 증착 마스크(210)의 저면은 제1 설치홀(121)의 주변 영역에 상기와 같은 접합 방법을 사용하여 고정될 수 있다.
따라서, 제1 증착 마스크(210)는 그 저면의 사방 테두리가 제1 설치홀(121)의 주변 영역에 고정됨으로써 그 지지력이 일정 이상으로 증가될 수 있다.
이와 같이 한 쌍의 제1 설치홀(121)에 제1 증착 마스크(210)가 각각 배치되면, 한 쌍의 제1 증착 마스크(210)는 고정 프레임(100)의 중앙을 경계로 대칭을 이룬다.
이에 따라, 얼라인 마크들(212)은 서로 마주하는 두 쌍의 변이 평행하도록 배치될 수 있다.
즉, 도 6에 도시되는 바와 같이 얼라인 마크들(212)은 서로 마주하는 두 쌍의 변이 평행한 사각 형상의 변을 형성할 수 있다.
그리고, 제1 설치홀들(121) 사이에 위치한 제2 설치홀(122) 위에는 제2 증착 마스크(220)가 위치한다.
따라서, 제2 증착 마스크(220) 역시 그 저면 테두리가 제2 설치홀(122)의 주변 영역에 고정될 수 있다.
물론, 도 5에는 제2 설치홀(122)이 단일개로 형성됨에 따라 단일개의 제2 증착 마스크(220)가 위치하였지만, 제2 설치홀(122)이 다수개로 이루어지는 경우에 제2 증착 마스크(220)는 다수개로 마련되어 제2 설치홀(122) 위에 위치할 수 있다.
한편, 증착 마스크들(200)을 고정 프레임(100) 상에 고정하기 전, 증착 마스크들(200)을 얼라인한다(S300).
이를 위해 증착용 마스크 어셈블리는 증착 마스크(200)의 고정 위치를 얼라인하기 위한 얼라인 기판(300)을 구비한다.
도 7을 참조하면, 얼라인 기판(300)은 고정 프레임(100)의 사방 모서리 근방에 형성된 얼라인 마크들(212)과 대응하는 위치에 보조 얼라인 마크들(320)을 형성한다.
얼라인 기판(300)의 크기는 도 9에 도시한 증착 대상인 기판(400)의 크기와 실질적으로 동일할 수 있다.
얼라인 기판(300)에는 증착 마스크들(200)에 형성된 소자 패턴 영역(213,222)을 외부로 노출시키는 노출홀들(310)이 형성된다.
노출홀들(310)의 크기는 소자 패턴 영역(213,222)의 크기와 실질적으로 동일할 수도 있고, 일정 크기 이상으로 클 수도 있다.
도 8에 도시된 바와 같이, 도시하지 않은 장치를 이용하여 제1 증착 마스크(210)에 형성된 얼라인 마크들(212)의 위치를 얼라인 기판(300)에 형성된 보조 얼라인 마크들(320)의 위치와 일치시킨다. 이를 확인한 다음 고정 프레임(100) 위에 한 쌍의 제1 증착 마스크(210)를 고정시킨다. 그러면 전술한 바와 같이 한 쌍의 제1 증착 마스크(210)는 서로 마주하는 두 쌍의 변이 평행하게 배치되며, 4개의 얼라인 마크들(212)은 서로 마주하는 두 쌍의 변이 평행한 사각 형상의 변을 형성한다. 이 사각 형상의 변을 이용하여 한 쌍의 제1 증착 마스크(210) 사이에 제2 증착 마스크(220)를 얼라인시키고, 고정 프레임(100) 위에 제2 증착 마스크(220)를 고정시킨다.
이때 얼라인 기판(300)에 형성된 보조 얼라인 마크(320)는 원통 모양의 돌기로 이루어져 한 쌍의 제1 증착 마스크(210)에 형성된 얼라인 마크(212)에 끼워질 수 있다.
이와 같이 얼라인 마크들(212)과 보조 얼라인 마크들(320)의 위치가 일치하도록 고정 프레임(100) 위에 제1 증착 마스크(210)가 고정되고, 한 쌍의 제1 증착 마스크(210) 사이로 제2 증착 마스크(220)가 고정되면, 증착 마스크들(200)에 형성된 복수의 소자 패턴 영역들(213, 222)은 얼라인 기판(300)에 형성된 복수의 노출홀(310)을 통하여 외부로 노출된다.
즉, 소자 패턴 영역들(213,222)은 노출홀(310)에 끼워져 위치한다.
이와 같이 얼라인 기판(300)을 이용하여 고정 프레임(100) 위에 증착 마스크들(200)을 정렬 및 고정시킨 다음, 얼라인 기판(300)을 제거한다.
그리고, 도 9에 도시한 바와 같이 증착 마스크들(200)이 고정된 고정 프레임(100)을 증착원(600) 상부에 위치시킨다.
이때 고정 프레임(100)의 저면 테두리는 증착 장치의 안착부(500)에 안착된다.
또한, 증착 마스크들(200)의 상부에 일정 크기의 유리 기판(400)을 위치시킴으로써, 박막 증착 공정의 수행 전 준비 상태가 완성된다.
증착원(600)에는 기판(400)의 일면에 박막을 형성하기 위한 증착 물질인 유기물이 저장된다.
도 9에 도시된 바와 같이 고정 프레임(100)이 안착부(500) 상에 안착되면, 증착원(600)은 일정량의 유기물을 공급받는다.
그리고, 공급된 유기물은 증착 마스크들(200)에 형성된 소자 패턴 영역들(213,222)의 패턴을 관통하여 기판(400)으로 전달된다.
이에 따라 기판(400) 위에는 증착 마스크에 형성된 패턴에 대응하는 모양의 박막이 증착된다(S400).
본 실시예에 따른 박막 증착 방법은 전술한 정렬 방식을 사용하기 때문에, 기판(400)에 형성되는 소자 패턴과 증착 마스크(200)에 형성된 소자 패턴의 위치 맞춤에 따르는 오차를 ±2㎛로 실현할 수 있다.
따라서, 본 실시예에서는 증착 마스크들(200)을 얼라인하는 과정에서 기판(400)에 증착된 패턴 위치를 별도로 확인하는 과정을 생략할 수 있기 때문에, 박막 증착 공정의 수행 시간을 효과적으로 단축할 수 있다.
도 1은 종래의 증착용 마스크 어셈블리를 보여주는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 증착 마스크를 보여주는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 증착용 마스크 어셈블리를 보여주는 분해 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따르는 고정 프레임을 보여주는 사시도이다.
도 5는 본 발명에 따르는 고정 프레임의 다른 예를 보여주는 사시도이다.
도 6은 본 발명의 증착용 마스크 어셈블리를 보여주는 평면도이다.
도 7은 본 발명에 따르는 얼라인 기판을 보여주는 평면도이다.
도 8은 본 발명에 따르는 증착용 마스크 어셈블리에 얼라인 기판이 배치되는 것을 보여주는 평면도이다.
도 9는 본 발명의 증착용 마스크 어셈블리가 채택되는 박막 증착 장치를 개략적으로 보여주는 단면도이다.
도 10은 본 발명의 증착용 마스크 어셈블리를 사용한 박막 증착 방법을 보여주는 흐름도이다.
** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **
100 : 고정 프레임
200 : 증착 마스크
210 : 제1 증착 마스크
211 : 제1 증착 마스크 몸체
212 : 얼라인 마크
213 : 소자 패턴 영역
213a : 소자 패턴
220 : 제2 증착 마스크
221 : 제2 증착 마스크 몸체
300 : 얼라인 기판
320 : 보조 얼라인 마크

Claims (11)

  1. 중앙에 설치홀이 형성된 고정 프레임;
    상기 설치홀의 양측부 위에 배치되며, 복수의 소자 패턴 영역들과 복수의 얼라인 마크들을 갖는 한 쌍의 제1 증착 마스크; 및
    상기 한 쌍의 제1 증착 마스크 사이에 위치하도록 상기 설치홀의 중앙부 위에 배치되며 복수의 소자 패턴 영역들을 갖는 하나 이상의 제2 증착 마스크
    를 포함하는 증착용 마스크 어셈블리.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 얼라인 마크들은 상기 한 쌍의 제1 증착 마스크 각각에서 한 쌍으로 구비되며, 상기 소자 패턴 영역들과 거리를 두고 위치하는 증착용 마스크 어셈블리.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 얼라인 마크들은 상기 고정 프레임의 중앙을 경계로 서로 대칭이 되도록 배치되며, 상기 고정 프레임의 사방 모서리 근방에 대응하도록 위치하는 증착용 마스크 어셈블리.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 얼라인 마크들은 서로 마주하는 두 쌍의 변이 평행하도록 배치되는 증착용 마스크 어셈블리.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 얼라인 마크들은 원통 모양의 관통홀로 이루어지는 증착용 마스크 어셈블리.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 설치홀은 상기 한 쌍의 제1 증착 마스크에 대응하는 한 쌍의 제1 설치홀과, 상기 한 쌍의 제1 설치홀의 사이에 형성되어 상기 적어도 하나의 제2 증착 마스크에 대응하는 제2 설치홀을 포함하는 증착용 마스크 어셈블리.
  7. 사방 모서리에 복수의 보조 얼라인 마크들을 형성한 얼라인 기판과, 설치홀을 형성한 고정 프레임을 준비하는 단계;
    복수의 소자 패턴 영역들과 복수의 얼라인 마크들을 형성한 한 쌍의 제1 증착 마스크와, 복수의 소자 패턴 영역들을 형성한 하나 이상의 제2 증착 마스크를 준비하는 단계;
    상기 고정 프레임에 형성된 설치홀의 양측부 위에 상기 한 쌍의 제1 증착 마스크를 배치하고, 상기 얼라인 기판을 이용하여 상기 보조 얼라인 마크와 상기 얼라인 마크가 일치하도록 상기 한 쌍의 제1 증착 마스크를 정렬하여 상기 고정 프레임에 고정하는 단계;
    상기 한 쌍의 제1 증착 마스크 사이로 상기 설치홀의 중앙부 위에 상기 하나 이상의 제2 증착 마스크를 정렬하여 상기 고정 프레임에 고정하는 단계; 및
    상기 단계들을 거쳐 제조된 증착용 마스크 어셈블리와 증착원을 사용하여 상기 복수의 소자 패턴 영역들을 통해 증착물을 통과시켜 기판의 일면에 소자 패턴을 형성하는 단계
    를 포함하는 증착용 마스크 어셈블리를 사용한 박막 증착 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 얼라인 마크들은 상기 한 쌍의 제1 증착 마스크 각각에서 한 쌍으로 구비되며, 상기 소자 패턴 영역들과 거리를 두고 위치하는 증착용 마스크 어셈블리를 사용한 박막 증착 방법.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 얼라인 마크들은 상기 고정 프레임의 중앙을 경계로 서로 대칭이 되도록 배치되며, 상기 고정 프레임의 사방 모서리 근방에 대응하도록 위치하는 증착용 마스크 어셈블리를 사용한 박막 증착 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 얼라인 마크들은 서로 마주하는 두 쌍의 변이 평행하도록 배치되는 증착용 마스크 어셈블리를 사용한 박막 증착 방법.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 얼라인 마크들은 원통 모양의 관통홀로 이루어지는 증착용 마스크 어셈블리를 사용한 박막 증착 방법.
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