KR101104267B1 - 스테이지 모듈 반송형 노광 장치 및 스테이지 모듈의 기판 정렬 및 이송 제어 방법 - Google Patents

스테이지 모듈 반송형 노광 장치 및 스테이지 모듈의 기판 정렬 및 이송 제어 방법 Download PDF

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Abstract

노광 장치 내에서의 노광 공정 시간을 단축하여 생산 효율을 향상시킬 수 있는 스테이지 모듈 반송형 노광 장치 및 스테이지 모듈의 이송 제어 방법이 개시된다. 이를 위하여 본 발명은 메인 프레임 상에 순환 형태로 놓여진 레일 모듈; 상기 레일 모듈 상에 정해진 위치마다 놓여져, 기판 반입과, 기판/마스크 간의 캡 조절, 상기 기판/마스크 간의 정렬, 정렬된 상기 기판/마스크를 대상으로 노광 및 노광된 기판을 반출 중 어느 하나의 단계를 수행하도록 상기 레일 모듈 상에서 순차적으로 놓여져 이동하는 스테이지 모듈; 상기 스테이지 모듈을 기설정된 시간 동안 상기 레일 모듈 상의 각 정해진 위치로 자동 이송되도록 제어하는 제어 모듈; 및 기판/마스크를 대상으로 노광하는 상기 스테이지 모듈(130)이 위치하는 지점에 형성되어 상기 스테이지 모듈에 대하여 노광을 실시하는 광원 모듈;을 포함하되, 상기 레일 모듈 상에는 상기 스테이지 모듈을 복수 개로 구비하여 각기 다른 상기 단계를 수행하는 스테이지 모듈 반송형 노광 장치가 제공된다.

Description

스테이지 모듈 반송형 노광 장치 및 스테이지 모듈의 기판 정렬 및 이송 제어 방법{EXPOSURE APPARATUS FOR STAGE MODULE RECYCLING AND SUBSTRATE ALIGN ＆ TRANSFERRING CONTROL METHOD OF STAGE MODULE}
본 발명은 스테이지 모듈 반송형 노광 장치 및 스테이지 모듈의 이송 제어 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 노광 장치 내에서의 노광 공정 시간을 단축하여 생산 효율을 향상시킬 수 있는 스테이지 모듈 반송형 노광 장치 및 스테이지 모듈의 이송 제어 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 컴퓨터 및 각종 전자 제품에 적용되는 반도체 소자나, 화상 표시소자로서 부각되고 있는 액정 표시 소자(LCD:Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(PDP:Plasma Display Panel), 전자 부품이 실장되는 회로 기판(PCB), 필터 및 박막 기술을 이용한 부품 등의 제조 공정은, 감광액을 기판 상면에 원하는 두께로 균일하게 도포하여 감광막을 형성시키는 감광막 도포 공정(PR코팅), 기판 상에 패턴 마스크를 위치시키고 패턴 마스크에 그려진 패턴대로 노광시키는 정렬 및 노광 공정, 노광으로 경화된 감광막을 식각용액으로 제거하는 현상 공정 등으로 구성된다. 여기서, 정렬 및 노광 공정을 수행하기 위한 장치를 노광장치라 한다.
통상적인 종래의 노광 장치는 기판과 마스크를 구비한 하나의 스테이지 모듈을 광원 장치가 위치한 지점으로 이동시킨 후, 광원 장치에서 조사한 빛을 이용하여 기판과 마스크를 노광하게 된다.
이러한 종래의 노광 장치는 하나의 스테이지 모듈을 대상으로 노광을 수행하기 때문에 다양한 형태의 마스크를 적용하고자 하면 수시로 마스크를 교체해야 하므로 노광을 위한 준비 공정 시간이 많이 소요되고, 진행 속도가 현저히 떨어짐으로써, 궁극적으로 생산 효율이 크게 떨어지는 문제점이 있었다.
또한, 종래의 노광 장치는 하나의 스테이지 모듈만을 구비하는 관계로 상기 스테이지 모듈 내에 다양한 형태의 마스크를 적용할 때마다 별도의 광원을 사용하였기에 광원 제작 비용이 증가하는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 다양한 형태의 마스크를 장착한 복수 개의 스테이지 모듈이 레일 모듈의 정해진 위치마다 각 고유의 기능을 수행하게 하고, 각 스테이지 모듈이 레일 모듈 상에서 자동 이송 및 순환되도록 처리하는 스테이지 모듈 반송형 노광 장치 및 스테이지 모듈의 이송 제어 방법을 제공함에 그 목적이 있다.
또한, 상기와 같은 다양한 형태의 마스크를 장착한 복수 개의 스테이지 모듈을 대상으로 단일 광원만을 사용할 수 있도록 하는 스테이지 모듈 반송형 노광 장치 및 스테이지 모듈의 이송 제어 방법을 제공함에 그 목적이 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하고, 후술하는 본 발명의 특징적인 기능을 수행하기 위한, 본 발명의 특징은 다음과 같다.
본 발명의 일 태양에 따르면, 메인 프레임 상에 순환 형태로 놓여진 레일 모듈; 상기 레일 모듈 상에 정해진 위치마다 놓여져, 기판 반입과, 기판/마스크 간의 캡 조절, 상기 기판/마스크 간의 정렬, 정렬된 상기 기판/마스크를 대상으로 노광 및 노광된 기판을 반출 중 어느 하나의 단계를 수행하도록 상기 레일 모듈 상에서 순차적으로 놓여져 이동하는 스테이지 모듈; 상기 스테이지 모듈을 기설정된 시간 동안 상기 레일 모듈 상의 각 정해진 위치로 자동 이송되도록 제어하는 제어 모듈; 및 기판/마스크를 대상으로 노광하는 상기 스테이지 모듈(130)이 위치하는 지점에 형성되어 상기 스테이지 모듈에 대하여 노광을 실시하는 광원 모듈;을 포함하되, 상기 레일 모듈 상에는 상기 스테이지 모듈을 복수 개로 구비하여 각기 다른 상기 단계를 수행하는 스테이지 모듈 반송형 노광 장치가 제공된다.
여기서, 상기 스테이지 모듈은, 기판을 삽입하여 지지하는 기판 스테이지, 마스크 패턴이 형성된 마스크를 진공 흡착하여 고정하는 마스크 홀더, 및 상기 마스크와 기판 간의 갭을 조절하는 갭 조절 장치를 포함할 수 있다.
또한, 상기 스테이지 모듈은, 상기 레일 모듈의 제1 지점에 위치하여 마스크를 장착한 상태에서 기판 반입과 기판/마스크 간의 캡 조절을 행하는 제1 스테이지 모듈; 상기 제1 지점의 다음 위치인 상기 레일 모듈의 제2 지점에 위치하여 기판/마스크 간의 정렬을 행하는 제2 스테이지 모듈; 상기 제2 지점의 다음 위치인 상기 레일 모듈의 제3 지점에 위치하여 정렬된 기판/마스크를 대상으로 노광을 행하는 제3 스테이지 모듈; 및 상기 제3 지점의 다음 위치인 상기 레일 모듈의 제4 지점에 위치하여 노광 처리된 기판을 반출하는 제4 스테이지 모듈을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명은 얼라인먼트 모듈을 더 포함하고, 상기 얼라인먼트 모듈은, 상기 제2 스테이지 모듈을 대상으로 기판/마스크 간의 정렬 키를 조절하도록 상기 메인 프레임의 측면에 장착될 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 일 태양에 따르면, 스테이지 모듈 반송형 노광 장치 내에 구비된 스테이지 모듈을 자동 이송하기 위한 스테이지 모듈의 이송 제어 방법으로서, 기판 반입과, 기판/마스크 간의 캡 조절, 기판/마스크 간의 정렬, 정렬된 기판/마스크를 대상으로 노광 및 노광된 기판을 반출 중 어느 하나의 단계를 수행하도록 임의의 스테이지 모듈을 레일 모듈의 각 정해진 위치로 자동 이송하도록 제어하되, 상기 스테이지 모듈을 상기 레일 모듈 상에서 복수 개로 구비하여 각기 다른 상기 단계를 수행하도록 제어하는 스테이지 모듈의 이송 제어 방법이 제공된다.
여기서, (a) 레일 모듈의 제1 지점에 위치한 스테이지 모듈 내에 마스크를 장착한 상태에서 기판 삽입 여부를 판단하도록 제어하는 단계; (b) 상기 기판이 삽입될 경우, 상기 스테이지 모듈 내의 기판/마스크 간의 캡 조절 여부를 판단한 후, 조절되면 레일 모듈의 제2 지점으로 상기 스테이지 모듈을 이송하도록 제어하는 단계; (c) 상기 레일 모듈의 제2 지점에 위치한 스테이지 모듈 내에 기판/마스크 간의 정렬 여부를 판단한 후, 정렬되면 레일 모듈의 제3 지점으로 상기 스테이지 모듈을 이송하도록 제어하는 단계; (d) 상기 레일 모듈의 제3 지점에 위치한 스테이지 모듈 내에 기판/마스크를 대상으로 노광 여부를 판단한 후, 노광 처리되면 레일 모듈의 제4 지점으로 상기 스테이지 모듈을 이송하도록 제어하는 단계; 및 (e) 상기 레일 모듈의 제4 지점에 위치한 스테이지 모듈 내에 노광된 기판을 반출하도록 제어하는 단계를 포함할 수 있다.
또한, 상기 각 단계에서 비정상적으로 판단될 경우에는, 알람 형태로 표시하고, 경고음을 발생시키도록 제어할 수 있다.
또한, 상기 (e) 단계 후, 기판이 반출된 스테이지 모듈(130)이, 레일 모듈의 제1 지점으로 다시 이송되도록 제어할 수 있다.
본 발명에 의하면, 기존의 노광 장치에서 실제 노광하는 시간에 비해 노광을 준비하는 공정 시간이 많이 소요되었던 것을 분업화된 기능을 수행하는 복수개의 스테이지 모듈을 구비함으로써, 노광 공정 시간을 크게 줄여 생산성이 향상되는 효과를 달성하게 된다.
또한, 기존에 하나의 노광 장치 내에서 하나의 스테이지 모듈만을 운영하여 각 스테이지 모듈별로 별도의 광원장치를 사용하였던 것을 다수의 스테이지 모듈에 대해 단일 광원을 사용하여 노광을 실시함으로써 광원 제작 비용을 크게 줄이는 효과를 달성하게 된다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 스테이지 모듈 반송형 노광 장치(100)를 예시적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 스테이지 모듈 반송형 노광 장치(100)의 스테이지 모듈(130)이 위치할 레일 모듈(120) 위치 지점을 상세하게 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 스테이지 모듈(130)의 구성을 예시적으로 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크/스테이지 반송형 노광 장치(100) 내에 구비된 스테이지 모듈(130)을 자동 이송하기 위한 스테이지 모듈의 이송 제어 방법을 예시적으로 나타낸 순서도이다.
이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 하기 위하여, 본 발명의 바람직한 실시예들에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭한다.
제1 실시예
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 스테이지 모듈 반송형 노광 장치(100)를 예시적으로 나타낸 도면이고, 도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 스테이지 모듈 반송형 노광 장치(100)의 스테이지 모듈(130)이 위치할 레일 모듈(120) 위치 지점을 상세하게 나타낸 도면이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 스테이지 모듈 반송형 노광 장치(100)는 메인 프레임(110), 레일 모듈(120), 스테이지 모듈(130), 제어 모듈(140) 및 광원 모듈(150)을 포함하여 구성된다. 상기 구성들은 참조번호의 순서에 관계없이 임의로 설명하기로 한다.
먼저, 본 발명의 레일 모듈(120)은 메인 프레임(110) 상에 순환되는 형태의 구조를 갖추고 이후에 설명될 복수 개의 스테이지 모듈(130)의 이송을 용이하게 하는 역할을 한다.
본 발명의 스테이지 모듈(130)은 레일 모듈(120) 상에 정해진 위치마다 기판(101) 반입과, 미리 장착된 다양한 형태의 마스크(102)와 반입된 기판(101) 간에 갭을 조절하고, 기판(101)과 마스크 간의 정렬을 행하며, 정렬된 기판(101)과 마스크를 대상으로 노광을 실시하고, 노광된 기판(101)을 반출하는 기능 중 어느 하나를 수행하는 역할을 하게 된다.
이러한 기능을 수행하기 위하여, 본 발명의 스테이지 모듈(130)은 각 단계마다 수행하는 제1 스테이지 모듈(130a), 제2 스테이지 모듈(130b), 제3 스테이지 모듈(130c) 및 제4 스테이지 모듈(130d)를 구비할 수 있다.
본 발명의 제1 스테이지 모듈(130a)은 레일 모듈(120)의 제1 지점(121)에 위치하여 마스크(102)를 장착한 상태에서 기판(101) 반입과 기판(101)/마스크(102) 간의 캡 조절을 행하는 역할을 하게 된다.
본 발명의 제2 스테이지 모듈(130b)은 레일 모듈(120)의 제1 지점(121)의 다음 위치인 레일 모듈(120)의 제2 지점(122)에 위치하여 반입된 기판(101)과 마스크(102) 간의 정렬을 행하는 역할을 하게 된다. 이러한 본 발명의 제2 스테이지 모듈(130b)은 제1 스테이지 모듈(130b)이 자동 이송되어 온 결과이다.
여기서, 기판(101)과 마스크(102) 간의 정렬 과정을 수행하기 위하여, 본 발명의 스테이지 모듈 반송형 노광 장치(100)는 얼라인먼트 모듈(160)을 더 포함할 수 있는데, 얼라인먼트 모듈(160)은 메인 프레임(110)의 측면에 장착되는 구조를 이루어, 레일 모듈(120)의 제2 지점(122)에 위치한 제2 스테이지 모듈(130b)을 대상으로 기판(101)과 마스크(102) 간의 정렬 키를 조절하는 역할을 수행하게 된다.
이러한 본 발명의 얼라인먼트 모듈(160)은 비젼 카메라(미도시)를 구비하여 기판(101)과 마스크(102)에 설정된 마크를 동시에 읽어서, 그 차이만큼 기판 스테이지(이후의 도 3에서 설명될 132)를 이동시킴으로써 기판(101)과 마스크(102) 간의 정렬 키를 조절할 수 있게 되는 것이다.
본 발명의 제3 스테이지 모듈(130c)은 레일 모듈(120)의 제2 지점(122)의 다음 위치인 레일 모듈(120)의 제3 지점(123)에 위치하여 정렬된 기판(101)과 마스크(102)를 대상으로 노광을 행하는 역할을 수행하게 된다. 이러한 본 발명의 제3 스테이지 모듈(130c)은 제2 스테이지 모듈(130b)이 자동 이송되어 온 결과이다.
여기서, 기판/마스크를 대상으로 노광 처리하기 위하여 광원 모듈(150)을 이용한다. 즉, 본 발명의 광원 모듈(150)은 기판(101)/마스크(102)를 노광하는 제3 스테이지 모듈(133)이 위치하는 제3 지점(123)에 형성되며, 이로써 레일 모듈(120)의 제3 지점(123)에 위치한 스테이지 모듈(133)을 대상으로 기판(101)과 마스크(102) 상으로 빛을 조사하여 노광을 실시하게 되는 것이다.
본 발명의 제4 스테이지 모듈(130d)은 레일 모듈(120)의 제3 지점(123)의 다음 위치인 레일 모듈(120)의 제4 지점(124)에 위치하여 노광 처리된 기판(101)을 반출하는 역할을 수행하게 된다. 이러한 본 발명의 제4 스테이지 모듈(130d)은 제3 스테이지 모듈(130c)이 자동 이송되어 온 결과이다. 이러한 제4 스테이지 모듈(130d)은 노광 처리된 기판(101)을 반출한 후, 레일 모듈(120)의 제1 지점(121)으로 자동 이송된다.
이와 같이, 본 실시예에서는 위와 같은 스테이지 모듈(130)을 복수 개로 구비하여 순환시키는 형태로 운영되고, 복수 개의 스테이지 모듈마다 각기 다른 분업화된 기능을 수행하도록 함으로써, 노광 공정 시간을 크게 줄일 수 있는 장점을 갖게 되는 것이다. 이때, 4가지 형태를 갖는 스테이지 모듈(130)에 대해 설명하였으나, 반드시 이에 한정되지 않으며 노광 장치 내에서 필요로 하는 새로운 기능을 수행하는 스테이지 모듈이 있다면 이를 더 추가하여 운영할 수 있음은 물론일 것이다.
본 발명의 제어 모듈(140)은 레일 모듈(120) 상에서 정해진 위치로 스테이지 모듈(130)이 이송될 수 있도록 기설정된 시간에 따라 제1 스테이지 모듈(130a), 제2 스테이지 모듈(130b), 제3 스테이지 모듈(130c) 및 제4 스테이지 모듈(130d)을 제어하며, 상기와 같은 스테이지 모듈(130)이 복수 개로 레일 모듈(120) 상에서 구비될 경우 상기 복수 개의 스테이지 모듈이 각기 다른 위치에서 각 분업화된 기능(기판 반입과, 기판/마스크 간의 캡 조절, 상기 기판/마스크 간의 정렬, 정렬된 상기 기판/마스크를 대상으로 노광 및 노광된 기판을 반출 중 어느 하나임)을 수행하도록 제어할 수도 있다.
또한, 본 발명의 제어 모듈(140)은 스테이지 모듈(130)의 제어뿐만 아니라 마스크(102)와 기판(101) 간에 갭을 조절하는 얼라인먼트 모듈(160), 정렬되어진 기판(101)과 마스크(102)를 대상으로 노광을 실시하는 광원 모듈(150)를 더 제어하는 역할을 수행하며, 경우에 따라서는 기설정된 시간 동안에 레일 모듈(120) 상에서 정해진 위치로 이송되는 스테이지 모듈(130)만을 제어할 수도 있다.
이러한 역할을 수행하기 위하여 본 발명의 제어 모듈(140)은 각 스테이지 모듈(130)이 위치하고자 하는 레일 모듈(120) 상의 위치 지점 정보 및, 각 스테이지 모듈(130), 광원 모듈(150) 및 얼라이먼트 모듈(160)에서 수행된 결과로 발생된 신호 정보를 참조하여 각 구성을 제어할 수 있게 되는 것이다.
이상에서 설명된 스테이지 모듈(130)은 도 3과 같이 구체적으로 나타낼 수 있다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 스테이지 모듈(130)의 구성을 예시적으로 나타낸 도면이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 스테이지 모듈(130)은 기판을 삽입하여 지지하는 기판 스테이지(131), 마스크 패턴이 형성된 마스크를 진공 흡착하여 고정하는 마스크 홀더(132), 및 마스크와 기판 간의 공극 갭을 조절하는 갭 조절 장치(133)를 포함하여 구성된다. 이러한 본 발명의 스테이지 모듈(130)은 기판 스테이지(131), 마스크 홀더(132) 및 갭 조절 장치(133)만을 설명하였으나, 그 일례에 불과할 뿐, 필요에 따라 다양한 기능을 수행하는 구성을 더 구비할 수도 있다.
제2 실시예
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 스테이지 모듈 반송형 노광 장치(100) 내에 구비된 스테이지 모듈(130)을 자동 이송하기 위한 스테이지 모듈의 이송 제어 방법을 예시적으로 나타낸 순서도이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 스테이지 모듈의 이송 제어 방법(S400)은 스테이지 모듈 반송형 노광 장치(100) 내에 구비된 스테이지 모듈(130)을 자동 이송하기 위한 것으로서, 기판(101) 반입과, 기판(101)/마스크(102) 간의 캡 조절, 기판(101)/마스크(102) 간의 정렬, 정렬된 기판(101)/마스크(102)를 대상으로 노광 및 노광된 기판(101)을 반출 중 어느 하나를 수행하도록 스테이지 모듈(130)을 레일 모듈(120)의 각 정해진 위치(121, 122, 123, 124)로 자동 이송을 제어 하는 역할을 한다.
이와 같은 기능을 보다 구체적인 단계별로 설명하면, 본 발명의 스테이지 모듈의 이송 제어 방법(S400)은 (a) 제1 지점(121)에 위치한 스테이지 모듈(130) 제어 단계(S410), (b) 상기 스테이지 모듈(130)을 제2 지점(122)으로 이송 제어 단계(S420), (c) 상기 제2 지점(122)에 위치한 스테이지 모듈(130)을 제3 지점(123)으로 이송 제어 단계(S430), (d) 상기 제3 지점(123)에 위치한 스테이지 모듈(130)을 제4 지점(124)으로 이송 제어 단계(S440) 및 (e) 상기 제4 지점(124)에 위치한 스테이지 모듈(130) 제어 단계(S450)을 포함하여 이루어진다.
먼저, S410 단계에서는 레일 모듈(120)의 제1 지점(121)에 위치한 스테이지 모듈(130) 내에 마스크(102)를 장착한 상태에서 기판(101) 삽입 여부를 판단하도록 제어하는 역할을 수행한다.
이후, S420 단계에서는 스테이지 모듈(130) 내에 기판이 삽입된 경우, 상기 스테이지 모듈(130) 내의 기판(101)/마스크(102) 간의 캡 조절 여부를 판단한 후, 갭이 조절되면 제1 지점(121)에 위치한 스테이지 모듈(130)을 레일 모듈(120)의 제2 지점(122)으로 이송을 제어하는 역할을 수행한다. 이때, 기판(101)/마스크(102) 간의 캡 조절 여부를 판단하여 갭 조절이 안된 비정상적인 경우에는 이를 알람 형태로 표시하거나, 경고음을 발생시키도록 제어하게 된다.
이후, S430 단계에서는 레일 모듈(120)의 제2 지점(122)에 위치한 스테이지 모듈(130) 내에 기판(101)/마스크(102) 간의 정렬 여부를 판단한 후, 정렬되면 제2 지점(122)에 위치한 스테이지 모듈(130)을 레일 모듈(120)의 제3 지점(123)으로 이송될 수 있도록 그 이송을 제어하는 역할을 수행하게 된다. 이때, 기판(101)/마스크(102) 간의 정렬 여부를 판단하여 정렬이 안된 비정상적인 경우에는 이를 알람 형태로 표시하거나, 경고음을 발생시키도록 제어하게 된다.
이후, S440 단계에서는 레일 모듈(120)의 제3 지점(123)에 위치한 스테이지 모듈(130) 내에 기판/마스크를 대상으로 노광 여부를 판단한 후, 노광 처리되면 제3 지점(123)에 위치한 스테이지 모듈(130)을 레일 모듈(120)의 제4 지점(124)으로 이송될 수 있도록 그 이송을 제어하는 역할을 수행하게 된다.
마지막으로, S450 단계에서는 레일 모듈(120)의 제4 지점(124)에 위치한 스테이지 모듈(130) 내에 노광된 기판을 반출하도록 그 반출을 제어하는 역할을 수행하게 된다. 이러한 S450 단계가 수행된 후, 제4 지점(124)에 위치한 스테이지 모듈(130)을 원점 위치인 레일 모듈(120)의 제1 지점(121)으로 다시 이송될 수 있도록 그 이송을 제어하게 되는 것이다. 이때, 제1 지점(121)에 위치한 스테이지 모듈(130)은 다시 기판(101)을 삽입하게 됨은 물론일 것이다.
이와 같이, 본 실시예에서는 하나의 스테이지 모듈(130)이 레일 모듈(120) 상에서 순차적으로 자동 이송되어 각 분업화된 기능을 처리하도록 제어하는 것에 대해 설명하였으나, 상기 스테이지 모듈(130)을 복수 개로 구비하여 레일 모듈(120)상에서 각기 다른 단계를 수행하도록 제어함은 물론일 것이다. 이로써, 레일 모듈(120)의 각 위치마다 순차적으로 오는 복수 개의 스테이지 모듈에 대하여 순차적으로 노광 공정을 노광 공정을 실시함으로써, 노광 공정 시간을 크게 줄일 수 있다.
이상에서와 같이, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고 다른 구체적인 형태로 실시할 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 이상에서 기술한 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것이다.
100 : 스테이지 모듈 반송형 노광 장치 101 : 기판
102 : 마스크 110 : 메인 프레임
120 : 레일 모듈 121 : 제1 지점
122 : 제2 지점 123 : 제3 지점
124 : 제4 지점 130 : 스테이지 모듈
131 : 기판 스테이지 132 : 마스크 홀더
133 : 갭 조절 장치 140 : 제어 모듈
150 : 광원 모듈 160 : 얼라인먼트 모듈
130a : 제1 스테이지 모듈 130b : 제2 스테이지 모듈
130c : 제3 스테이지 모듈 130d : 제4 스테이지 모듈

Claims (8)

  1. 메인 프레임(110) 상에 순환 형태로 놓여진 레일 모듈(120);
    상기 레일 모듈(120) 상에 정해진 위치마다 놓여져, 기판 반입과, 기판/마스크 간의 캡 조절, 상기 기판/마스크 간의 정렬, 정렬된 상기 기판/마스크를 대상으로 노광 및 노광된 기판을 반출 중 어느 하나의 단계를 수행하도록 상기 레일 모듈(120)상에서 순차적으로 놓여져 이동하는 스테이지 모듈(130);
    상기 스테이지 모듈(130)을 기설정된 시간 동안 상기 레일 모듈(120) 상의 각 정해진 위치로 자동 이송되도록 제어하는 제어 모듈(140); 및
    기판/마스크를 대상으로 노광하는 상기 스테이지 모듈(130)이 위치하는 지점에 형성되어 상기 스테이지 모듈(130)에 대하여 노광을 실시하는 광원 모듈(150);을 포함하되,
    상기 레일 모듈(120)상에는 상기 스테이지 모듈(130)을 복수 개로 구비하여 각기 다른 상기 단계를 수행하는 것을 특징으로 하는 스테이지 모듈 반송형 노광 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 스테이지 모듈(130)은,
    기판을 삽입하여 지지하는 기판 스테이지(131), 마스크 패턴이 형성된 마스크를 진공 흡착하여 고정하는 마스크 홀더(132), 및 상기 마스크와 기판 간의 갭을 조절하는 갭 조절 장치(133)를 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 스테이지 모듈 반송형 노광 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 스테이지 모듈(130)은,
    상기 레일 모듈(120)의 제1 지점에 위치하여 마스크를 장착한 상태에서 기판 반입과 기판/마스크 간의 캡 조절을 행하는 제1 스테이지 모듈(130a);
    상기 제1 지점의 다음 위치인 상기 레일 모듈(120)의 제2 지점에 위치하여 기판/마스크 간의 정렬을 행하는 제2 스테이지 모듈(130b);
    상기 제2 지점의 다음 위치인 상기 레일 모듈(120)의 제3 지점에 위치하여 정렬된 기판/마스크를 대상으로 노광을 행하는 제3 스테이지 모듈(130c); 및
    상기 제3 지점의 다음 위치인 상기 레일 모듈(120)의 제4 지점에 위치하여 노광 처리된 기판을 반출하는 제4 스테이지 모듈(130d)
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 스테이지 모듈 반송형 노광 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    얼라인먼트 모듈(160)을 더 포함하고,
    상기 얼라인먼트 모듈(160)은, 상기 제2 스테이지 모듈(130b)을 대상으로 기판/마스크 간의 정렬 키를 조절하도록 상기 메인 프레임(110)의 측면에 장착되는 것을 특징으로 하는 상기 스테이지 모듈 반송형 노광 장치.
  5. 스테이지 모듈 반송형 노광 장치(100) 내에 구비된 스테이지 모듈(130)을 자동 이송하기 위한 스테이지 모듈의 이송 제어 방법으로서,
    기판 반입과, 기판/마스크 간의 캡 조절, 기판/마스크 간의 정렬, 정렬된 기판/마스크를 대상으로 노광 및 노광된 기판을 반출 중 어느 하나의 단계를 수행하도록 임의의 스테이지 모듈(130)을 레일 모듈(120)의 각 정해진 위치로 자동 이송하도록 제어하되, 상기 스테이지 모듈(130)을 상기 레일 모듈(120)상에서 복수 개로 구비하여 각기 다른 상기 단계를 수행하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 스테이지 모듈의 이송 제어 방법.
  6. 제 5항에 있어서,
    (a) 레일 모듈(120)의 제1 지점에 위치한 스테이지 모듈(130) 내에 마스크를 장착한 상태에서 기판 삽입 여부를 판단하도록 제어하는 단계;
    (b) 상기 기판이 삽입될 경우, 상기 스테이지 모듈(130) 내의 기판/마스크 간의 캡 조절 여부를 판단한 후, 조절되면 레일 모듈(120)의 제2 지점으로 상기 스테이지 모듈(130)을 이송하도록 제어하는 단계;
    (c) 상기 레일 모듈(120)의 제2 지점에 위치한 스테이지 모듈(130) 내에 기판/마스크 간의 정렬 여부를 판단한 후, 정렬되면 레일 모듈(120)의 제3 지점으로 상기 스테이지 모듈(130)을 이송하도록 제어하는 단계;
    (d) 상기 레일 모듈(120)의 제3 지점에 위치한 스테이지 모듈(130) 내에 기판/마스크를 대상으로 노광 여부를 판단한 후, 노광 처리되면 레일 모듈(120)의 제4 지점으로 상기 스테이지 모듈(130)을 이송하도록 제어하는 단계; 및
    (e) 상기 레일 모듈(120)의 제4 지점에 위치한 스테이지 모듈(130) 내에 노광된 기판을 반출하도록 제어하는 단계
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 스테이지 모듈의 이송 제어 방법.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 각 단계에서 비정상적으로 판단될 경우에는,
    알람 형태로 표시하고, 경고음을 발생시키도록 제어하는 것을 특징으로 하는 상기 스테이지 모듈의 이송 제어 방법.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 (e) 단계 후, 기판이 반출된 스테이지 모듈(130)이,
    레일 모듈(120)의 제1 지점으로 다시 이송되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 상기 스테이지 모듈의 이송 제어 방법.
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