KR101098321B1 - 통합 비주얼 이미징 및 전자 감지 검사 시스템 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (22)
- 액정 디스플레이용 액티브 플레이트 검사 장치에 있어서,상기 액티브 플레이트는 자신의 제1 및 제2 측면 중 제1 측면 상의 행 라인 및 열 라인에 결합된 능동 소자 매트릭스를 가지며,하나의 검사 스테이션 내에 존재하는, 액티브 플레이트를 지지하고 상기 액티브 플레이트의 제1 측면 상의 상기 행 라인 및 열 라인에 전기적으로 접촉하도록 구성된 홀더, 상기 홀더 내의 액티브 플레이트에 대한 비주얼 이미지 데이터를 제공하도록 위치된 비주얼 이미지 카메라, 및 상기 액티브 플레이트의 동작을 감지하도록 구성되고 상기 액티브 플레이트의 제1 측면에 인접하여 배치된 전자 센서;상기 홀더 내의 액티브 플레이트에 전기적으로 결합되고 상기 홀더 내의 액티브 플레이트를 전기적으로 실행시키도록 상기 홀더에 전기적으로 결합되는 프로세서;상기 비주얼 이미지 카메라에 결합되며, 상기 홀더 내의 액티브 플레이트용 비주얼 이미지 데이터를 수신하고 상기 액티브 플레이트 내의 결함을 검출하도록 상기 비주얼 이미지 데이터를 처리하는 비주얼 이미지 프로세서; 및상기 전자 센서의 출력을 처리하여 상기 액티브 플레이트의 동작 시 결함을 검출하도록 상기 전자 센서에 전기적으로 결합되는 전자 센서 출력 프로세서를 포함하고,상기 비주얼 이미지 카메라는, 상기 전자 센서의 동작에 대한 간섭없이 상기 전자 센서의 동작과 동시에 상기 홀더 내의 액티브 플레이트와 평행한 영역 근처로 상기 비주얼 이미지 카메라를 이동시키는 비주얼 이미지 이송 시스템 상에 장착되고,상기 전자 센서 출력 프로세서가 검출한 상기 액티브 플레이트의 동작 시 결함과 상기 비주얼 이미지 프로세서가 검출한 결함 정보를 결합하여, 결함 보고(defect report)를 제공하는,액티브 플레이트 검사 장치.
- 제1항에 있어서,상기 전자 센서는 전압 이미지 센서를 포함하는 액티브 플레이트 검사 장치.
- 제1항에 있어서,상기 검사 스테이션은 제1 진공 쳄버를 포함하고, 상기 전자 센서는 e-빔 센서를 포함하는 액티브 플레이트 검사 장치.
- 제3항에 있어서,상기 검사 스테이션은 상기 제1 진공 쳄버에 결합되며, 상기 액티브 플레이트를 상기 제1 진공 쳄버 내에 로딩하고 상기 제1 진공 쳄버로부터 언로딩하는 제2 진공 쳄버를 더 포함하는 액티브 플레이트 검사 장치.
- 삭제
- 제1항에 있어서,상기 비주얼 이미지 이송 시스템은 상기 홀더 내의 액티브 플레이트와 직각인 방향으로 비주얼 카메라를 이동시키는 액티브 플레이트 검사 장치.
- 제1항에 있어서,상기 전자 센서는 상기 홀더 내의 액티브 플레이트와 평행한 영역 근처로 상기 전자 센서를 이동시키도록 전자 센서 이송 시스템 상에 장착되는 액티브 플레이트 검사 장치.
- 제1항에 있어서,상기 전자 센서는 상기 홀더 내의 액티브 플레이트와 평행한 영역 근처로 상기 전자 센서를 이동시키도록 전자 센서 이송 시스템 상에 장착되고, 상기 전자 센서 이송 시스템은 상기 홀더 내의 액티브 플레이트와 상기 비주얼 이미지 이송 시스템 사이에 배치되는 액티브 플레이트 검사 장치.
- 제8항에 있어서,상기 비주얼 이미지 카메라, 상기 비주얼 이미지 이송 시스템, 상기 전자 센서 및 상기 전자 센서 이송 시스템에 결합되며, 상기 이송 시스템은 서로 기계적으로 간섭하지 않고 상기 전자 센서는 상기 비주얼 이미지 프로세서에 의하여 처리된 상기 액티브 플레이트의 상기 비주얼 이미지를 간섭하지 않고 상기 비주얼 이미지 카메라 및 상기 전자 센서에 의하여 단계적 반복 프로세스로 상기 액티브 플레이트 를 동시에 주사하는 컨트롤러를 더 포함하는 액티브 플레이트 검사 장치.
- 액정 디스플레이용 액티브 플레이트 검사 장치에 있어서,상기 액티브 플레이트는 자신의 제1 및 제2 측면 중 제1 측면 상의 행 라인 및 열 라인에 결합된 능동 소자 매트릭스를 가지며,하나의 검사 스테이션 내에 존재하는, 액티브 플레이트를 지지하고 상기 액티브 플레이트의 제1 측면 상의 상기 행 라인 및 열 라인에 전기적으로 접촉하도록 구성된 홀더, 및 상기 홀더 내의 액티브 플레이트에 대한 비주얼 이미지 데이터를 제공하는 비주얼 이미지 카메라;상기 홀더 내의 액티브 플레이트에 전기적으로 결합되도록 상기 홀더에 전기적으로 결합되고, 상기 액티브 플레이트 상의 매트릭스 내의 각 트랜지스터마다 해당 트랜지스터를 충전 및 방전시켜 상기 액티브 플레이트 내의 전기적 결함을 검출하도록 상기 액티브 플레이트 상에 지지된 전하를 측정하는 프로세서;상기 홀더 내의 액티브 플레이트와 평행한 영역 근처로 상기 비주얼 이미지 카메라를 이동시키는 비주얼 이미지 카메라 이송 시스템;상기 비주얼 이미지 카메라 및 상기 비주얼 카메라 이송 시스템에 결합되고, 상기 액티브 플레이트 내의 전기적 결함이 검출되는 동시에 상기 액티브 플레이트가 상기 비주얼 이미지 카메라에 의해 스캔되도록 하는 컨트롤러; 및상기 비주얼 이미지 카메라에 결합되며, 상기 홀더 내의 액티브 플레이트용 비주얼 이미지 데이터를 수신하고 상기 액티브 플레이트 내의 비주얼 결함을 검출하도록 상기 비주얼 이미지 데이터를 처리하는 비주얼 이미지 프로세서를 포함하고,상기 홀더에 전기적으로 결합 된 상기 프로세서가 검출한 상기 전기적 결함과 상기 비주얼 이미지 프로세서가 검출한 상기 비주얼 결함을 결합하여, 결함 보고를 제공하는,액티브 플레이트 검사 장치.
- 삭제
- 제10항에 있어서,상기 비주얼 이미지 카메라 이송 시스템은 상기 홀더 내의 액티브 플레이트와 직각인 방향으로 비주얼 카메라를 이동시키는, 액티브 플레이트 검사 장치.
- 액티브 플레이트의 제1 및 제2 측면 중 제1 측면 상의 행 라인 및 열 라인에 결합된 능동 소자 매트릭스를 갖는 액티브 플레이트 검사 방법에 있어서,액티브 플레이트를 검사 스테이션 내에 위치시키는 단계,상기 액티브 플레이트 상의 상기 능동 소자를 실행시키도록 상기 액티브 플레이트의 상기 제1 측면 상의 행 라인 및 열 라인에 전기적 접촉을 형성하는 단계,비주얼 카메라가 컨트롤러의 제어하에 상기 검사 스테이션 내의 액티브 플레이트와 평행한 영역을 스캔하고, 시각적으로 인지가능한 결함을 검출하도록 이미지 프로세서에서 스캔된 이미지를 분석하는, 상기 비주얼 카메라로 상기 액티브 플레이트를 검사하는 단계, 및상기 액티브 플레이트를 상기 비주얼 카메라로 검사하는 것과 동시에, 상기 액티브 플레이트의 동작 시 결함을 감지하도록 구성된 전자 센서로 상기 액티브 플레이트를 검사하는 단계를 포함하고,상기 전자 센서가 감지한 상기 액티브 플레이트의 동작 시 결함과 상기 이미지 프로세서가 검출한 상기 시각적으로 인지가능한 결함을 결합하여, 결함 보고를 제공하는,액티브 플레이트 검사 방법.
- 제13항에 있어서,상기 전자 센서로 상기 액티브 플레이트를 검사하는 단계는 상기 액티브 플레이트를 전압 이미지 센서로 검사하는 단계를 포함하는 액티브 플레이트 검사 방법.
- 제13항에 있어서,상기 액티브 플레이트를 검사 스테이션 내에 위치시키는 단계는 상기 액티브 플레이트를 검사 스테이션 내의 진공 환경 내에 위치시키는 단계를 포함하고, 상기 전자 센서로 상기 액티브 플레이트를 검사하는 단계는 상기 액티브 플레이트를 e-빔 센서로 검사하는 단계를 포함하는 액티브 플레이트 검사 방법.
- 제14항에 있어서,액티브 플레이트를 제2 진공 환경을 통해 상기 검사 스테이션 내에 로딩하고 상기 검사 스테이션으로부터 언로딩하는 단계를 더 포함하는 액티브 플레이트 검사 방법.
- 제13항에 있어서,상기 비주얼 카메라로 상기 액티브 플레이트를 검사하는 단계는 상기 비주얼 이미지 카메라를 홀더 내의 액티브 플레이트와 평행한 영역 근처로 단계적 반복 패턴으로 이동시킴으로써 상기 액티브 플레이트를 비주얼 카메라로 검사하는 단계를 포함하는 액티브 플레이트 검사 방법.
- 제17항에 있어서,상기 비주얼 카메라로 상기 액티브 플레이트를 검사하는 단계는 상기 홀더 내의 액티브 플레이트와 직각인 방향으로 상기 비주얼 카메라를 이동시키는 단계를 포함하는 액티브 플레이트 검사 방법.
- 제13항에 있어서,상기 전자 센서로 상기 액티브 플레이트를 검사하는 단계는 상기 전자 센서를 홀더 내의 액티브 플레이트와 평행한 영역 근처로 단계적 반복 패턴으로 이동시킴으로써 상기 액티브 플레이트를 전자 센서로 검사하는 단계를 포함하는 액티브 플레이트 검사 방법.
- 제13항에 있어서,상기 비주얼 카메라로 상기 액티브 플레이트를 검사하는 단계는 상기 비주얼 이미지 카메라를 홀더 내의 액티브 플레이트와 평행한 영역 근처로 단계적 반복 패턴으로 이동시킴으로써 상기 액티브 플레이트를 비주얼 카메라로 검사하는 단계를 포함하고, 상기 전자 센서로 상기 액티브 플레이트를 검사하는 단계는 상기 전자 센서를 상기 홀더 내의 액티브 플레이트와 평행한 영역 근처로 단계적 반복 패턴으로 이동시킴으로써 상기 액티브 플레이트를 전자 센서로 검사하는 단계를 포함하는 액티브 플레이트 검사 방법.
- 제20항에 있어서,상기 비주얼 이미지 카메라 및 상기 전자 센서에 의하여 기계적으로 서로 간섭하지 않고 상기 전자 센서가 상기 비주얼 이미지 카메라의 상기 비주얼 이미지를 간섭하지 않고 상기 액티브 플레이트를 단계적 반복 프로세스로 동시에 주사하도록 상기 비주얼 이미지 카메라 및 상기 전자 센서를 제어하는 단계를 더 포함하는 액티브 플레이트 검사 방법.
- 제13항에 있어서,상기 전자 센서로 상기 액티브 플레이트를 검사하는 단계는 상기 액티브 플레이트의 전기 결함을 검출하기 위하여 상기 액티브 플레이트 상에 지지된 전하를 측정하도록 액티브 플레이트 상에 매트릭스 내의 각 트랜지스터를 충전한 다음 상기 트랜지스터를 방전시키는 단계를 포함하는 액티브 플레이트 검사 방법.
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