KR101052817B1 - 기판 분리 장치, 이를 갖는 기판 절단 시스템 및 이를 이용한 기판 절단 방법 - Google Patents

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Abstract

다수의 셀이 형성된 모기판을 셀 단위로 분리하여 후속 공정으로 이송하기 위한 기판 분리 장치는 가압부재, 1차 및 2차 분리부재를 포함한다. 가압부재는 셀들 중 분리하고자하는 해당 셀의 제1 부분에 인접하는 주변영역을 제1 방향으로 가압한다. 가압부재에 의해서 주변영역이 가압되고 있는 상태에서 1차 분리부재는 해당 셀의 제1 부분을 파지하여 제1 방향과 반대하는 제2 방향으로 들어올려 제1 부분을 모기판으로부터 분리시킨다. 이후, 2차 분리부재는 해당 셀의 나머지 제2 부분을 파지하여 제2 방향으로 들어올려 제2 부분을 모기판으로부터 분리시킨다. 따라서, 모기판의 브레이킹 불량을 방지할 수 있다.

Description

기판 분리 장치, 이를 갖는 기판 절단 시스템 및 이를 이용한 기판 절단 방법{SUBSTRATE BREAKING DEVICE, SUBSTRATE CUTTING SYSTEM HAVING THE SAME, AND METHOD OF CUTTING SUBSTRATE USING THE SAME}
본 발명은 기판 분리 장치, 이를 갖는 기판 절단 시스템 및 이를 이용한 기판 절단 방법에 관한 것으로 더욱 상세하게는 평판 표시 패널용 모기판을 셀 단위로 분리하는 기판 분리 장치, 이를 갖는 기판 절단 시스템 및 이를 이용한 기판 절단 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 표시 장치에 이용되는 표시 패널이 구비된다. 표시 패널의 생산성을 향상시키기 위하여 표시 패널에 대응하는 크기로 형성된 셀이 다수개로 형성된 대형의 모기판을 이용하여 제조 공정을 실시한 후, 완성된 모기판을 셀 단위로 절단하여 표시 패널로 이용한다.
모기판을 셀 단위로 절단하는 방법으로는, 레이저빔을 이용하여 절단하는 방법 또는 미세한 다이아몬드가 박혀있는 스크라이브 휠(Scribe Wheel)을 이용하여 절단하는 방법 등이 있다.
일반적으로, 스크라이브 휠을 이용하여 모기판을 절단하는 방법은 스크라이 브 휠을 모기판에 접촉시킨 후 절단 예정선을 따라 이동시켜 모기판의 표면에 소정 깊이의 홈으로 이루어진 스크라이브 라인을 형성한다. 레이저 빔을 이용하여 모기판을 절단하는 방법은 모기판의 상면에 절단 예정선을 따라 레이저 빔을 조사하여 스크라이브 라인을 형성한다.
이와 같은 방법을 이용하여 스크라이브 공정이 완료되면, 스크라이브 라인을 따라 모기판을 셀 단위로 분리하는 브레이킹 공정이 필요하다. 일반적으로, 브레이킹 공정은 스크라이브 라인이 형성된 모기판의 상면에 브레이킹바를 배치시킨 후 브레이킹바를 이용하여 모기판을 가압하여 물리적인 충격을 가한다. 그러면, 모기판은 이러한 물리적인 충격에 의해 스크라이브 라인을 따라 크랙이 전파되어 셀 별로 분리된다. 분리된 셀은 외부로 이송된다.
그러나, 이와 같은 브레이킹 공정은 모기판에서 셀이 형성되지 않은 영역, 즉, 컬렛(cullet) 영역과 셀 영역이 정상적으로 분리되지 않아 브레이킹 불량이 발생한다.
따라서, 본 발명의 목적은 브레이킹 불량을 개선할 수 있는 기판 분리 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 상기한 기판 분리 장치를 구비하는 기판 절단 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 상기한 기판 분리 장치를 이용한 기판 절단 방법 을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 기판 분리 장치는 다수의 셀이 형성된 모기판을 셀 단위로 분리하여 후속 공정으로 이송하기 위하여 가압부재, 1차 및 2차 분리부재를 포함한다.
상기 가압부재는 상기 셀들 중 분리하고자하는 해당 셀의 제1 부분에 인접하는 주변영역을 제1 방향으로 가압한다. 상기 1차 분리부재는 상기 해당 셀의 제1 부분을 파지하여 상기 제1 방향과 반대하는 제2 방향으로 들어올려 상기 제1 부분을 상기 모기판으로부터 분리시킨다. 상기 2차 분리부재는 상기 해당 셀의 나머지 제2 부분을 파지하여 상기 제2 방향으로 들어올려 상기 제2 부분을 상기 모기판으로부터 분리시킨다.
상기 가압부재는 상기 제1 부분이 상기 1차 분리부재에 의해서 상기 제2 방향으로 올라올 때 상기 주변영역을 상기 제1 방향으로 가압한다.
상기 1차 분리부재는 상기 제1 부분을 진공흡착방식으로 파지하는 제1 진공 패드, 일단부에 상기 제1 진공 패드가 결합된 제1 지지대, 및 상기 제1 지지대에 결합되어 상기 제1 진공 패드를 이동시키는 제1 고정 플레이트를 포함한다.
상기 2차 분리부재는 상기 제2 부분을 진공흡착방식으로 파지하는 제2 진공 패드, 일단부에 상기 제2 진공 패드가 결합된 제2 지지대, 및 상기 제2 지지대에 결합되어 상기 제2 진공 패드를 이동시키는 제2 고정 플레이트를 포함한다.
상기 제1 및 제2 진공 패드들 각각은 고무 패드로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 제1 및 제2 진공 패드가 스윙가능하도록 상기 제1 및 제2 지지대 각각의 일단부는 라운드 형태 또는 반구 형태로 가공될 수 있다.
본 발명에 따른 기판 절단 시스템은 다수의 셀이 형성된 모기판이 로딩되는 로딩부, 상기 로딩부로부터 전달받은 상기 모기판에 스크라이브 라인을 생성하는 스크라이빙부, 및 상기 모기판에 생성된 스크라이브 라인을 따라 상기 모기판을 셀 단위로 분리하고, 분리된 셀들을 언로딩하는 브레이킹부를 포함한다.
상기 브레이킹부는 가압부재, 1차 및 2차 분리부재를 포함한다.
상기 가압부재는 상기 셀들 중 분리하고자하는 해당 셀의 제1 부분에 인접하는 주변영역을 제1 방향으로 가압한다. 상기 1차 분리부재는 상기 해당 셀의 제1 부분을 파지하여 상기 제1 방향과 반대하는 제2 방향으로 들어올려 상기 제1 부분을 상기 모기판으로부터 분리시킨다. 상기 2차 분리부재는 상기 해당 셀의 나머지 제2 부분을 파지하여 상기 제2 방향으로 들어올려 상기 제2 부분을 상기 모기판으로부터 분리시킨다.
상기 가압부재는 상기 제1 부분이 상기 1차 분리부재에 의해서 상기 제2 방향으로 올라올 때 상기 주변영역을 상기 제1 방향으로 가압한다. 상기 1차 분리부재는 상기 제1 부분을 진공흡착방식으로 파지하는 제1 진공 패드, 일단부에 상기 제1 진공 패드가 결합된 제1 지지대, 및 상기 제1 지지대에 결합되어 상기 제1 진공 패드를 이동시키는 제1 고정 플레이트를 포함한다. 상기 2차 분리부재는 상기 제2 부분을 진공흡착방식으로 파지하는 제2 진공 패드, 일다누에 상기 제2 진공 패드가 결합된 제2 지지대, 및 상기 제2 지지대에 결합되어 상기 제2 진공 패드를 이 동시키는 제2 고정 플레이트를 포함한다.
본 발명에 따른 기판 절단 방법은 다수의 셀이 형성된 모기판이 로딩되는 단계, 로딩된 상기 모기판에 스크라이브 라인을 생성하는 단계, 상기 모기판에 생성된 스크라이브 라인을 따라 상기 모기판을 셀 단위로 분리하는 단계, 및 분리된 상기 셀들을 언로딩하는 단계를 포함한다.
상기 모기판을 셀 단위로 분리하는 단계는 상기 셀들 중 분리하고자하는 해당 셀의 제1 부분에 인접하는 주변영역을 제1 방향으로 가압하는 단계, 상기 해당 셀의 제1 부분을 파지하여 상기 제1 방향과 반대하는 제2 방향으로 들어올려 상기 제1 부분을 상기 모기판으로부터 분리시키는 단계, 및 상기 해당 셀의 나머지 부분을 파지하여 상기 제2 방향으로 들어올려 상기 제2 부분을 상기 모기판으로부터 분리시키는 단계를 포함한다.
이와 같은 기판 분리 장치, 이를 갖는 기판 절단 시스템 및 이를 이용한 기판 절단 방법에 따르면, 분리하고자 하는 해당 셀의 주변영역을 가압부재를 통해 가압한 상태에서, 먼저 해당 셀의 제1 부분을 모기판으로부터 1차적으로 분리시키고, 이후 나머지 제2 부분을 2차적으로 분리시킴으로써, 해당 셀의 브레이킹 불량을 방지할 수 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 1은 액정표시패널용 모기판을 나타낸 평면도이고, 도 2는 액정표시패널을 나타낸 사시도이다.
도 1을 참조하면, 모기판(100)은 제1 및 제2 대형기판(110, 120)이 결합된 구조로 이루어지고, 상기 모기판(100)에는 매트릭스 형태로 배열된 다수의 셀(101)이 제공된다. 상기 모기판(100)은 상기 다수의 셀(101) 단위로 절단되고, 절단된 각 셀들은 액정표시패널로서 제공된다.
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 액정표시패널(105)은 하부 기판(105a)과 상부 기판(105b)이 결합된 구조로 이루어진다. 절단 과정에서, 상기 상부 기판(105b)은 상기 하부 기판(105a)보다 작은 크기로 절단되어 상기 하부 기판(105a)의 소오스측 단부와 게이트측 단부를 외부로 노출시킨다. 상기 하부 기판(105a)의 소오스측 단부에는 소오스 구동부로부터 데이터 신호를 수신하는 데이터 패드부가 구비되고, 게이트측 단부에는 게이트 구동부로부터 게이트 신호를 수신하는 게이트 패드부가 구비된다.
도 2에 도시된 액정표시패널(105)은 게이트측 단부와 소오스측 단부가 모두 노출된 구조를 갖지만, 액정표시패널(105)은 소오스측 단부만 노출된 구조를 가질 수도 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 절단 시스템을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3을 참조하면, 상기 기판 절단 시스템(500)은 로딩부(200), 스크라이빙부(300) 및 브레이킹부(400)를 포함한다. 상기 로딩부(200), 스크라이빙부(300), 및 브레이킹부(400)는 일렬로 순차적으로 배치될 수 있다.
상기 로딩부(200)에는 외부로부터 이송된 상기 모기판(100, 도 1에 도시됨)가 적재되고, 상기 로딩부(200)에 이송된 모기판(100)은 스크라이빙부(300)로 이송된다.
스크라이빙부(300)는 후술할 스크라이빙 장치(320)를 이용하여 셀들(101)의 배열 방향을 따라서 상기 모기판(100)의 표면 상에 스크라이브 라인(Scribe Line)을 형성한다. 브레이킹부(400)에는 모기판(100)에 형성된 스크라이브 라인 부위에 힘을 가하여 모기판(100)으로부터 셀들(101)을 분리시키고, 분리된 셀들을 파지하여 후속 공정으로 제공하는 기판 분리 장치(420)가 구비된다.
도 4는 도 3에 도시된 스크라이빙부를 개략적으로 나타낸 측면도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 스크라이빙부(300)는 상기 모기판(100)이 안착되는 제1 지지부재(310) 및 상기 모기판(100)에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이빙 유닛(320)을 포함할 수 있다.
상기 제1 지지부재(310)는 서로 이격된 두 개의 제1 회전 롤러(311, 312) 및 상기 제1 회전 롤러들(311, 312)을 연결하는 제1 벨트(313)를 포함할 수 있다. 상기 제1 회전 롤러들(311, 312)은 지면과 평행하게 배치되고, 중심축을 기준으로 회전한다. 상기 제1 회전 롤러들(311, 312)이 회전함에 따라, 제1 벨트(313)가 회전한다. 상기 제1 벨트(313)에는 상기 로딩부(200)로부터 이송된 모기판(100)이 안착되고, 상기 모기판(100)는 상기 제1 벨트(313)의 회전에 의해 수평 이동한다.
상기 스크라이빙 유닛(320)은 상기 제1 지지부재(310)의 상부에 구비된다. 상기 스크라이빙 유닛(320)은 헤드(321), 스크라이브 휠(322) 및 상기 헤드(321)와 상기 스크라이브 휠(322)을 연결하는 휠 축(323)을 포함할 수 있다. 상기 스크라이브 휠(322)은 상기 헤드(321)의 아래에 구비되고, 상기 헤드(321)는 상기 스크라이브 휠(322)을 수직방향으로 가압하면서 일 방향으로 수평 이동한다.
상기 스크라이 휠(322)은 상기 헤드(321)의 수평 이동에 의해 회전한다. 상기 스크라이브 휠(322)은 대체로 원판 형상을 갖는다. 상기 스크라이브 휠(322)은 상기 모기판(100)과 접촉된 상태에서 회전하여 상기 모기판(100)을 소정 깊이로 식각하면, 상기 모기판(100)에 스크라이브 라인이 형성된다.
상기 스크라이브 휠(322)은 상기 휠 축(323)을 통해 상기 헤드(321)와 연결되며, 상기 휠 축(323)의 일단부는 상기 스크라이브 휠(322)의 중앙부에 형성된 연결구에 삽입되어, 상기 스크라이브 휠(322) 회전시 상기 스크라이브 휠(322)의 회전축 역할을 한다.
이 실시예에 있어서, 상기 스크라이빙부(300)는 스크라이브 휠(322)을 이용하여 상기 모기판(100)을 스크라이빙하는 스크라이빙 유닛(320)을 구비하나, 레이저 빔을 이용하여 모기판(100)을 스크라이빙하는 스크라이빙 유닛을 구비할 수도 있다.
상기 스크라이빙부(300)에서 스크라이빙 공정이 완료된 모기판(100)은 상기 브레이킹부(400)로 이송된다.
도 5는 도 3에 도시된 브레이킹부를 개략적으로 나타낸 측면도이다.
도 5를 참조하면, 상기 브레이킹부(400)는 상기 모기판(100)이 안착되는 제2 지지부재(410), 및 상기 모기판(100)을 각 셀(101)(도 1 참조) 단위로 절단 및 수취하는 기판 분리 장치(420)를 포함할 수 있다.
상기 제2 지지부재(410)는 서로 이격된 두 개의 제2 회전 롤러(411, 412) 및 상기 제2 회전 롤러들(411, 412)을 연결하는 제2 벨트(413)를 포함할 수 있다. 상기 제2 회전 롤러들(411, 412)은 지면과 평행하게 배치되고, 중심축을 기준으로 회전한다. 상기 제2 회전 롤러들(411, 412)이 회전함에 따라, 제2 벨트(413)가 회전한다. 상기 제2 벨트(413)에는 상기 스크라이빙부(300)로부터 이송된 모기판(100)이 안착되고, 상기 모기판(100)은 상기 제2 벨트(413)의 회전에 의해 수평 방향으로 이동한다.
상기 기판 분리 장치(420)는 상기 제2 지지부재(410)의 상부에 구비되고, 가압부재(421), 1차 분리부재(423), 2차 분리부재(425), 및 구동부(427)를 포함한다.
상기 가압부재(421)는 상기 모기판(100)에서 상기 셀들의 주변영역에 대응하여 배치된다. 특히, 상기 모기판(100)으로부터 분리하고자 하는 해당 셀(101)이 상기 1차 분리부재(423)와 마주하는 제1 부분(A1) 및 상기 2차 분리부재(425)와 마주하는 제2 부분(A2)으로 이등분될 때, 상기 가압부재(421)는 상기 제1 부분(A1)에 인접하는 주변영역 상에 대응하여 구비된다. 따라서, 상기 구동부(427)는 셀 분리 공정 시 상기 가압부재(421)를 상기 제1 부분(A1)에 인접하는 상기 주변영역 상에 안착시켜 제1 방향(D1)으로 가압한다.
상기 1차 분리부재(423)는 제1 고정 플레이트(423a), 제1 지지대(423b), 및 제1 진공 패드(423c)로 이루어져 진공 흡착 방식으로 상기 해당 셀(101)의 제1 부 분(A1)을 파지한다.
상기 제1 고정 플레이트(423a)는 상기 구동부(427)에 연결되어 상기 구동부(427)에 의해서 이동하고, 상기 제1 지지대(423b)는 상기 제1 고정 플레이트(423a)에 결합된다. 상기 제1 지지대(423b)의 일단부에는 상기 제1 진공 패드(423c)가 연결되고, 상기 제1 진공 패드(423c)는 상기 해당 셀(101)의 제1 부분(A1)을 진공 흡착한다. 본 발명의 일 예로, 상기 제1 진공 패드(423c)는 고무 패드로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 제1 지지대(423b)의 일단부는 결합되는 상기 제1 진공 패드(423c)가 스윙가능하도록 라운드 형태로 가공되거나, 반구 형태로 가공될 수 있다.
상기 2차 분리부재(425)는 제2 고정 플레이트(425a), 제2 지지대(425b), 및 제2 진공 패드(425c)로 이루어져 진공 흡착 방식으로 상기 해당 셀(101)의 제2 부분(A2)을 파지한다.
상기 제2 고정 플레이트(425a)는 상기 구동부(427)에 연결되어 상기 구동부(427)에 의해서 이동한다. 여기서, 상기 제2 고정 플레이트(425a)는 상기 제1 고정 플레이트(423a)와 분리된 구조를 가지므로, 상기 제1 고정 플레이트(423a)와 독립적으로 구동된다.
상기 제2 지지대(425b)는 상기 제2 고정 플레이트(425a)에 결합된다. 상기 제2 지지대(425b)의 일단부에는 상기 제2 진공 패드(425c)가 연결되고, 상기 일단부는 라운드 형태로 가공되거나, 반구 형태로 가공된다. 상기 제2 진공 패드(425c) 는 상기 제2 지지대(425b)에 결합된 상태에서 스윙가능하며, 상기 해당 셀(101)의 제2 부분(A2)을 진공 흡착한다. 본 발명의 일 예로, 상기 제2 진공 패드(425c)는 고무 패드로 이루어질 수 있다.
도 6a 내지 도 6c는 셀 분리 과정을 나타낸 단면도들이다.
도 6a를 참조하면, 셀 분리 공정 시 가압부재(421)는 상기 제1 부분(A1)에 인접하는 주변영역 상에 안착되어 상기 모기판(100)의 주변영역을 제1 방향(D1)으로 가압한다.
상기 주변영역이 상기 가압부재(421)에 의해서 가압되고 있는 상태에서, 상기 해당 셀(101)의 제1 부분(A1) 상에 구비된 상기 1차 분리부재(423)는 상기 제1 부분(A1)을 파지하여 상기 제1 방향(D1)과 반대하는 제2 방향(D2)으로 들어올린다. 따라서, 상기 1차 분리부재(423)에 의해서 상기 해당 셀(101)의 제1 부분(A1)이 들어올려질 때, 상기 가압부재(421)는 상기 해당 셀(101)과 함께 상기 모기판(100)의 컬렛이 따라 올라오는 것을 방지할 수 있다.
도 6b에 도시된 바와 같이, 상기 1차 분리부재(423)에 의해서 상기 해당 셀(101)의 제1 부분(A1)이 들어올려지면, 상기 해당 셀(101)의 제1 부분(A1)이 상기 모기판(100)의 컬렛으로부터 완전히 분리되고, 상기 해당 셀(101)은 사선으로 기울어진다.
이후, 도 6c를 참조하면, 상기 해당 셀(101)이 사선으로 기울어진 상태에서 상기 2차 분리부재(425)는 상기 해당 셀(101)의 제2 부분(A2)을 파지하여 상기 제2 방향(D2)으로 들어올린다. 그러면, 상기 해당셀(10)과 상기 모기판(100)의 컬렛은 완전히 분리된다. 상기 1차 및 2차 분리부재(423, 425)에 파지된 상기 분리된 셀(105)은 후속 공정을 위해서 이송된다.
한편, 상기 2차 분리부재(425)를 상기 제2 방향(D2)으로 이동시킬 때 상기 가압부재(421)와 상기 1차 분리부재(423)를 상기 제2 방향(D2)으로 이동시킬 수 있다.
이처럼 브레이킹부(400)에는 1차 분리부재(423)와 2차 분리부재(425)를 이용하여 모기판(100)으로부터 해당 셀(101)을 사선으로 분리시키는 기판 분리 장치(420)가 구비되어, 해당 셀(101)을 모기판(100)으로부터 분리할 때 컬렛이 따라 올라오는 것을 방지할 수 있고, 그 결과 브레이킹 불량을 방지할 수 있다.
또한, 상기 1차 및 2차 분리부재(423, 425)는 해당 셀(101)을 분리할 뿐만 아니라, 분리된 셀을 후속 공정으로 이송하는 역할을 수행하므로, 기판 절단 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다.
도 7은 도 3에 도시된 기판 절단 시스템을 이용하여 기판을 절단하는 과정을 나타낸 흐름도이다.
도 3 및 도 7을 참조하면, 다수의 셀이 형성된 모기판(100)을 로딩부(200)를 통해 기판 절단 장치(500)로 로딩하고(S10), 로딩된 상기 모기판(100)을 스크라이빙부(300)로 이동시켜 상기 모기판(100)의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 공정을 실시한다(S20).
이후, 상기 모기판(100)을 브레이킹부(400)로 이송되고, 상기 브레이킹부(400)에서 상기 모기판(100)에 생성된 스크라이브 라인을 따라 상기 모기판(100) 을 셀 단위로 분리한다(S30). 다음, 상기 브레이킹부(400)에서 분리된 셀들은 외부로 언로딩된다(S40).
도 8은 도 7에 도시된 브레이킹 공정을 나타낸 흐름도이다.
도 5 및 도 8을 참조하면, 상기 브레이킹 공정(S30)은 다음과 같은 과정을 통해서 이루어진다.
먼저, 가압부재(421)를 이용하여 해당 셀(101)의 제1 부분(A1)에 인접하는 주변영역을 제1 방향(D1)으로 가압한다(S31).
상기 주변영역이 상기 가압부재(421)에 의해서 가압되고 있는 상태에서, 1차 분리부재(423)를 이용하여 상기 제1 부분(A1)을 파지하여 상기 제1 방향(D1)과 반대하는 제2 방향(D2)으로 들어올린다(S32). 이때, 상기 가압부재(421)는 상기 해당 셀(101)과 함께 상기 모기판(100)의 컬렛이 따라 올라오는 것을 방지할 수 있다.
상기 1차 분리부재(423)에 의해서 상기 해당 셀(101)의 제1 부분(A1)이 들어올려지면, 상기 해당 셀(101)의 제1 부분(A1)이 상기 모기판(100)의 컬렛으로부터 완전히 분리되고, 상기 해당 셀(101)은 사선으로 기울어진다.
이후, 상기 해당 셀(101)이 사선으로 기울어진 상태에서 상기 2차 분리부재(425)를 이용하여 상기 해당 셀(101)의 제2 부분(A2)을 파지하여 상기 제2 방향(D2)으로 들어올린다(S33).
그러면, 상기 해당셀(10)과 상기 모기판(100)의 컬렛은 완전히 분리된다. 다음, 상기 1차 및 2차 분리부재(423, 425)는 분리된 셀(105)을 후속 공정으로 이송한다(S34).
이처럼, 분리하고자하는 해당 셀(101)을 모기판(100)으로부터 분리할 때 사선으로 분리함으로써, 브레이킹 불량을 방지할 수 있다.
본 실시예에서는 절단 대상물로 액정표시패널용 모기판을 일례로 하여 설명하나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정되지 않으며 다른 종류의 대상물도 가능하다.
이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 액정표시패널용 모기판을 나타낸 평면도이다.
도 2는 액정표시패널을 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 절단 시스템을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 4는 도 3에 도시된 스크라이빙부를 개략적으로 나타낸 측면도이다.
도 5는 도 3에 도시된 브레이킹부를 개략적으로 나타낸 측면도이다.
도 6a 내지 도 6c는 셀 분리 과정을 나타낸 단면도들이다.
도 7은 도 3에 도시된 기판 절단 시스템을 이용하여 기판을 절단하는 과정을 나타낸 흐름도이다.
도 8은 도 7에 도시된 브레이킹 공정을 나타낸 흐름도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
100 : 모기판 200 : 로딩부
300 : 스크라이빙부 400 : 브레이킹부
420 : 기판 분리 장치 421 : 가압부재
423 : 1차 분리부재 425 : 2차 분리부재
500 : 기판 절단 시스템

Claims (9)

  1. 다수의 셀이 형성된 모기판을 셀 단위로 분리하여 후속 공정으로 이송하는 기판 분리 장치에서,
    상기 셀들 중 분리하고자하는 해당 셀의 제1 부분에 인접하는 주변영역을 제1 방향으로 가압하는 가압부재;
    상기 해당 셀의 제1 부분을 파지하여 상기 제1 방향과 반대하는 제2 방향으로 들어올려 상기 제1 부분을 상기 모기판으로부터 분리시키는 1차 분리부재; 및
    상기 해당 셀의 나머지 제2 부분을 파지하여 상기 제2 방향으로 들어올려 상기 제2 부분을 상기 모기판으로부터 분리시키는 2차 분리부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 분리 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 가압부재는 상기 제1 부분이 상기 1차 분리부재에 의해서 상기 제2 방향으로 올라올 때 상기 주변영역을 상기 제1 방향으로 가압하는 것을 특징으로 하는 기판 분리 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 1차 분리부재는,
    상기 제1 부분을 진공흡착방식으로 파지하는 제1 진공 패드;
    일단부에 상기 제1 진공 패드가 결합된 제1 지지대; 및
    상기 제1 지지대에 결합되어 상기 제1 진공 패드를 이동시키는 제1 고정 플 레이트를 포함하고,
    상기 2차 분리부재는,
    상기 제2 부분을 진공흡착방식으로 파지하는 제2 진공 패드;
    일단부에 상기 제2 진공 패드가 결합된 제2 지지대; 및
    상기 제2 지지대에 결합되어 상기 제2 진공 패드를 이동시키는 제2 고정 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 분리 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제1 및 제2 진공 패드들 각각은 고무 패드로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 분리 장치.
  5. 제3항에 있어서, 상기 제1 및 제2 진공 패드가 스윙가능하도록 상기 제1 및 제2 지지대 각각의 일단부는 라운드 형태 또는 반구 형태로 가공된 것을 특징으로 하는 기판 분리 장치.
  6. 다수의 셀이 형성된 모기판이 로딩되는 로딩부;
    상기 로딩부로부터 전달받은 상기 모기판에 스크라이브 라인을 생성하는 스크라이빙부; 및
    상기 모기판에 생성된 스크라이브 라인을 따라 상기 모기판을 셀 단위로 분리하고, 분리된 셀을 언로딩하는 브레이킹부를 포함하고,
    상기 브레이킹부는,
    상기 셀들 중 분리하고자하는 해당 셀의 제1 부분에 인접하는 주변영역을 제1 방향으로 가압하는 가압부재; 및
    상기 해당 셀의 제1 부분을 파지하여 상기 제1 방향과 반대하는 제2 방향으로 들어올려 상기 제1 부분을 상기 모기판으로부터 분리시키는 1차 분리부재; 및
    상기 해당 셀의 나머지 제2 부분을 파지하여 상기 제2 방향으로 들어올려 상기 제2 부분을 상기 모기판으로부터 분리시키는 2차 분리부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 시스템.
  7. 제6항에 있어서, 상기 가압부재는 상기 제1 부분이 상기 1차 분리부재에 의해서 상기 제2 방향으로 올라올 때 상기 주변영역을 상기 제1 방향으로 가압하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 시스템.
  8. 제6항에 있어서, 상기 1차 분리부재는,
    상기 제1 부분을 진공흡착방식으로 파지하는 제1 진공 패드;
    일단부에 상기 제1 진공 패드가 결합된 제1 지지대; 및
    상기 제1 지지대에 결합되어 상기 제1 진공 패드를 이동시키는 제1 고정 플레이트를 포함하고,
    상기 2차 분리부재는,
    상기 제2 부분을 진공흡착방식으로 파지하는 제2 진공 패드;
    일단부에 상기 제2 진공 패드가 결합된 제2 지지대; 및
    상기 제2 지지대에 결합되어 상기 제2 진공 패드를 이동시키는 제2 고정 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 시스템.
  9. 다수의 셀이 형성된 모기판이 로딩되는 단계;
    로딩된 상기 모기판에 스크라이브 라인을 생성하는 단계;
    상기 모기판에 생성된 스크라이브 라인을 따라 상기 모기판을 셀 단위로 분리하는 단계; 및
    분리된 상기 셀들을 언로딩하는 단계를 포함하고,
    상기 모기판을 셀 단위로 분리하는 단계는,
    상기 셀들 중 분리하고자하는 해당 셀의 제1 부분에 인접하는 주변영역을 제1 방향으로 가압하는 단계;
    상기 해당 셀의 제1 부분을 파지하여 상기 제1 방향과 반대하는 제2 방향으로 들어올려 상기 제1 부분을 상기 모기판으로부터 분리시키는 단계; 및
    상기 해당 셀의 나머지 부분인 제2 부분을 파지하여 상기 제2 방향으로 들어올려 상기 제2 부분을 상기 모기판으로부터 분리시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 방법.
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