KR100549359B1 - 박형의 다이 분리용 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 접착 필름의 접착 표면에 장착된 다이를 보유 및 분리하기 위해 콜릿(collet)의 사용을 포함하는 박형의 다이를 분리하기 위한 장치 및 방법을 제공한다. 복수의 이젝터(ejector) 핀을 포함하는 이젝터 장치는 상기 콜릿에 의한 분리를 위해 상기 접착 표면으로부터 상기 다이를 부분적으로 박리하는데 사용된다. 각각의 이젝터 핀은 실질적으로 상기 다이의 가장자리들로부터 소정의 거리 내에 분리해야 하는 상기 다이의 한 코너 위치에서 상기 접착 표면에 대향하는 상기 필름의 제 2 표면에 접촉하여 상승된다.
접착 필름, 접착 표면, 다이, 콜릿, 이젝터 핀, 이젝터 장치

Description

박형의 다이 분리용 장치 및 방법 {Apparatus and method for thin die detachment}
도 1은 종래기술의 다이 이젝터 장치 및 주변 장치들을 개략적으로 도시하는 측단면도.
도 2a 내지 도 2b는 각각 하나의 이젝터 핀 및 다수의 이젝터 핀을 구비한 종래의 푸시-업(push-up) 장치의 이젝터 핀들의 배치구조를 도시하는 평면도.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 다이 이젝터 장치 및 주변 장치들을 개략적으로 도시하는 측단면도.
도 4a, 도 4b 및 도 4c는 다수의 이젝터 핀들이 다이의 코너들 근처에서 그 가장자리들로부터 소정의 거리 Δ내에 위치되어 있는 본 발명의 바람직한 실시예의 이젝터 장치의 이젝터 핀들의 상이한 배치구조들을 도시하는 평면도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
1 : 진공 흡입 공급원 2 : 콜릿(collet)
3 : 다이 4 : 플라스틱 접착 필름
5 : 구멍 6, 6a : 이젝터 핀
7 : 척(chuck) 8 : 진공 이젝터 플랫폼
9 : 진공 흡입 공급원 10 : 외부 링
본 발명은 전자 패키지(package)의 다이 접착 도중에 박형의 다이를 분리하기 위해 다이에 대한 특정한 위치들에 위치된 다수의 이젝터 핀을 사용하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
웨이퍼 처리 공정에서, 반도체 다이들의 어레이를 포함하는 웨이퍼는 일반적으로 필름 프레임 상에서의 절삭 이후에 수용되며 배치를 위해 다이 접착 장비로 이송된다. 통상적인 다이 접착 공정에서는, 다이들은 플라스틱 접착 필름 또는 마일라(Mylar) 필름을 포함하는 필름 프레임(film frame)으로부터 분리 및 상승된 후, 리드 프레임(lead frame) 또는 인쇄 배선 기판(PWB; printed wiring board)과 같은 기판에 전달된다. 통상적으로, 픽업(pick-up) 공정에서, 지정된 다이는 먼저 정렬되며 다이를 아래로부터 상승시키도록 푸시-업(push-up) 핀들이 상승하게 되는 위치로 이동되고, 이때 상기 플라스틱 접착 필름은 진공 흡입에 의해 유지된다. 그후, 콜릿(collet) 또는 픽업 공구는 상기 다이의 상부면 바로 위로 이동된다. 상기 다이는 상기 푸시-업 핀들이 적당한 높이까지 상승될 때 상기 플라스틱 접착 필름으로부터 분리된다. 상기 콜릿은 다이를 플라스틱 접착 필름으로부터 접착 기판까지 전달하는 동작 도중에 다이를 유지하도록 진공 흡입을 제공한다.
종래에는, 소형 다이(즉, 폭이 2㎜ 이하인 다이)들에 대해서, 분리해야 할 다이의 중심에 하나의 이젝터 핀이 위치되어 사용되었다. 그러나, 보다 대형인 다이들에 대해서는, 상기 다이상에 상승력(push-up force)을 균일하게 제공하고 상기 이젝터 핀들에 의한 핀칭 효과(pinching effect)를 감소시키기 위해 다수의 이젝터 핀이 사용되었다. 다이들이 보다 박형으로 되면, 상기 플라스틱 접착 필름으로부터의 상기 다이의 분리 공정 중에 다이가 파손 또는 균열되는 경우가 항상 존재한다. 이러한 다이의 파손은, 주로 상기 다이와 상기 플라스틱 접착 필름 사이의 계면의 박리가 발생하기 전에 상기 핀들의 푸시-업에 의해 유발되는 응력이 상기 다이를 궁극적으로 파손시키는 굽힘 응력에 이르게 된다는 사실에 기인한다. 이는 (ⅰ) 보다 큰 크기의 다이, (ⅱ) 보다 박형의 다이, 및 (ⅲ) 상기 다이와 상기 플라스틱 접착 필름 사이에 보다 강한 접착력이 작용하는 경우의 부착에 대해서 특히 문제가 된다.
종래의 픽업 공정은 하나의 이젝터 핀 또는 다수의 이젝터 핀을 사용하는 통상적인 푸시-업 메카니즘을 포함한다. 도 1은 상기 푸시-업 장치 및 그 주변 장치들의 통상적인 배치를 도시한다. 진공 이젝터 플랫폼(vacuum ejector platform)상에서, 진공 흡입 공급원에 연결되는 캡(cap)상의 구멍(들)은 상기 다이 분리 공정 도중에 지정된 다이 및 플라스틱 접착 필름을 제위치에 유지하기 위해 사용된다. 상기 진공 이젝터 플랫폼의 캡 내부에서, 척(chuck)은 이젝터 핀들을 유지하고 상기 이젝터 핀들에 수직 밀기(pushing) 동작을 제공하는 모터 구동식 메카니즘에 연결된다. 상기 푸시-업 동작 중에, 상기 이젝터 핀들은 상향으로 이동하고 다이와 상기 플라스틱 접착 필름에 대해서 가압된다. 결과적으로, 상기 플라스틱 접착 필름상에 장착된 다이는 박리를 개시하며 상기 필름으로부터 분리된다. 상기 이젝터 핀이 일정한 높이까지 상승하면, 상기 다이와 플라스틱 접착 필름 사이의 접착력과 접착 면적이 작아서 상기 픽업 콜릿이 흡입 수단에 의해 상기 다이를 상기 필름으로부터 충분히 분리시킬 수 있다.
발명의 명칭이 "Die Push-Up Device"인 미국특허 제5,755,373호에는 반도체 장치용 접착 장비에서 단지 하나의 푸시-업 이젝터 핀을 구비하는 다이 푸시-업 장치가 개시되어 있다. 이 발명은 소형(small) 및 후형(thick) 다이(즉, 두께가 0.2㎜ 이상인 다이)들에 적용된다. 상기 다이의 크기가 더욱 커지게 되면(즉, 폭이 5㎜ 이상으로 되면), 2 단계의 배출 공정(예를 들어, 발명의 명칭이 "Pre-Peel Die Ejector Apparatus"인 미국특허 제4,850,780호 참조)이 사용된다. 미국특허 제5,755,373호와 관련하여, 상기 다이 분리 공정을 수행하기 위해 단일의 이젝터 핀을 사용하는 것은 박형(thin; 두께가 0.1㎜ 이하) 및 대형(large; 폭이 4㎜ 이상) 다이가 포함되는 경우에는 실용적이지 않다.
미국특허 제4,850,780호 및 미국특허공개공보 제2001/0017403A1호와 같이 다수의 핀을 사용하는 종래의 장치에서는, 상기 핀들의 위치들은 초박형 다이(즉, 두께가 0.1㎜ 이하인 다이)들에 대해서는 최적화되지 않는다. 이러한 디자인은 핀칭력을 다소 감소시킬 수 있으며 상기 픽업 공정 도중에 상기 다이에 대한 손상을 최소화할 수 있다. 그러나, 대형(예를 들어, 폭이 4㎜ 이상) 및 박형(예를 들어, 두께가 0.1㎜ 이하)인 다이에 대해서는, 상기 픽업 공정 도중에 상기 다이의 균열을 방지하기 위해서는 상기 다수의 푸시-업 이젝터 핀들에 대한 설계 최적화가 필요해진다.
본 발명의 목적은 다이 픽업 공정 도중에 다이를 손상시키지 않고 다이와 접착 필름 사이의 계면의 계면 박리 응력을 최대화하고 계면 박리를 개선하는 것이다.
본 발명의 제 1 양태에 따르면, 복수의 다이가 장착되어 있는 접착 표면을 갖는 필름으로부터 박형의 다이를 분리하기 위한 장치로서, 복수의 이젝터 핀으로 이루어지고, 상기 이젝터 핀들은 다이의 가장자리들로부터 소정의 거리 내에서 실제로 다이의 코너들에 있는 접착 표면에 대향하는 필름의 제 2 표면에서 다이 아래의 필름과 접촉하여 다이의 코너들 아래에 있는 필름을 상승시켜 상기 다이의 코너들 아래에 있는 필름을 다이로부터 분리시킴으로써 필름으로부터 다이의 분리를 시작하는 작용을 하는 이젝터 장치와, 상기 이젝터 장치에 의해 상기 분리가 시작된 후에 다이를 필름으로부터 분리하여 필름으로부터 분리된 후의 다이를 보유하는 작용을 하는 콜릿(collet)을 포함하는 박형의 다이 분리용 장치가 제공된다.
본 발명의 제 2 양태에 따르면, 필름의 접착 표면상에 장착된 박형의 다이를 분리하는 방법으로서, 상기 다이의 가장자리들로부터 소정의 거리 내에서 실제로 다이의 코너들에 있는 복수의 이젝터 핀에 상기 접착 표면에 대향하는 상기 필름의 제 2 표면에 있는 다이 아래의 필름을 접촉시킴으로써 필름으로부터 다이의 분리를 시작하는 단계와; 필름을 상기 다이로부터 박리시키기 위해 상기 다이의 상기 코너들 아래에 있는 상기 필름을 상승시키는 단계와; 이젝터 장치에 의해 상기 분리가 시작된 후 필름으로부터 다이를 분리하여 필름으로부터 분리된 후의 다이를 보유하는 단계를 포함하는 박형의 다이 분리 방법이 제공된다.
본 발명의 일실시예를 도시하는 첨부도면을 참조로 하여 본 발명을 보다 상세하게 후술한다. 첨부도면 및 관련 설명의 상세는 청구범위에 의해 한정되는 본 발명의 전체 구성을 제한하는 것으로서 이해되어서는 안된다.
본 발명에 따른 장치 및 방법의 일예는 첨부도면을 참조로 후술된다.
도 1에는 종래 기술의 다이 분리 공정에 적합한 이젝터 장치 및 그 주변 장치들이 도시된다. 복수의 다이(3)는 1개씩 분리되어 플라스틱 접착 필름(4)에 부착된다. 상기 플라스틱 접착 필름(4)은 진공 이젝터 플랫폼(8)에 대해 상기 다이(3)들을 이동시키는 신장기(도시되지 않음)를 갖는 웨이퍼 테이블에 장착된다. 이러한 진공 이젝터 플랫폼(8)은 하나 이상의 이젝터 핀(6)을 지지하는 척(7)을 구동하는 메카니즘을 포함하는 인클로저(enclosure)이다. 상기 척(7)은 상기 이젝터 핀(6)들을 위한 장착 구멍들 및 브래킷들을 제공하며, 모터(도시되지 않음)에 의해 상하로 구동된다. 픽업하고자 하는 지정된 다이(3)를 진공 이젝터 플랫폼(8)의 중심으로 이동시키면 픽업 사이클이 개시된다. 플라스틱 접착 필름(4)은 상기 진공 이젝터 플랫폼(8)의 상부에 있는 구멍(5)을 통해 진공 흡입 공급원(9)에 연결되는 진공 흡입에 의해 상기 플랫폼(8)의 상부면에 유지되며, 상기 플라스틱 접착 필름(4)의 주변부는 외부 링(10)을 통해 제공된 부가적인 진공 흡입에 의해 유지된다. 진공 이젝터 플랫폼(8)의 상부면 위로 상승하는 이젝터 핀(6)은 플라스틱 접착 필름(4)상의 다이(3)를 상승시킨다. 한편, 상부에 진공 흡입 공급원(1)를 갖는 콜릿(2)은 상기 접착 필름(4)으로부터 다이(3)를 보유 및 분리하기 위해 상기 다이(3)의 상부로 하향 이동되어 위치된다.
종래 기술에 있어서, 지정된 다이는 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이 하나의 이젝터 핀 또는 다수의 이젝터 핀들에 의해, 또는 2 단계의 푸시-업 동작(미국특허 제4,850,780호 참조)에 의해 밀어올려진다. 상기 핀들의 특정한 배치구조는 없다. 이 종래 기술은 소형 및 후형 다이들의 분리에 적합하다. 보다 박형이며 대형인 다이들의 경우에는, 플라스틱 접착 필름(4)상의 다이(3)를 이젝터 핀(6)들이 밀어올리는 다이 분리 공정 도중에 다이가 두개 이상의 조각으로 균열 및 파손될 가능성이 매우 높다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 이젝터 장치 및 그 주변 장치들은 도 3에 도시된다. 복수의 다이(3)는 접착 필름(4)의 접착 표면상에 장착된다. 진공 흡입 공급원(1)를 구비하는 콜릿(2)은 접착 필름(4)의 접착 표면상에 장착된 다이(3)를 보유 및 분리하기 위해 제공된다. 이젝터 장치는 복수의 이젝터 핀(6, 6a)을 포함하고, 여기서는 4개의 이젝터 핀(6a)이 상기 접착 표면에 대향하는 접착 필름(4)의 제 2 표면에 접촉하여 그 표면을 상승시키도록 작동한다. 상기 4개의 이젝터 핀(6a) 각각은 실질적으로 다이(3)의 가장자리들로부터 소정의 거리 내에서 실제로 분리하고자 하는 다이(3)의 코너에 있는 위치에 배치된다. 이젝터 핀들(6, 6a)은 가동식 척(7)에 의해 지지된다. 다이(3)는 접착 필름(4)의 접착 표면으로부터 부분적으로 박리되기 때문에, 콜릿(2)은 다이(3)를 분리시키기 위해서 하강된다.
상기 이젝터 핀(6, 6a)에 의한 접착 필름(4)에의 접촉 도중에, 진공 이젝터 플랫폼(8)은 분리해야 할 다이(3)가 상부에 장착되어 있는 접착 필름(4)의 일부분을 지지하도록 제공된다. 상기 플랫폼은 분리해야 할 다이의 각각의 코너의 위치들에 실질적으로 대응하는 구멍들을 포함하고, 또한 다이(3)의 중심부에 대응하는 하나 이상의 구멍을 포함하며, 이젝터 장치는 상기 다이(3)의 중심부에 접촉하는 이젝터 핀 또는 핀들(6)을 포함한다. 상기 이젝터 핀들(6, 6a)은 진공 이젝터 플랫폼(8) 내부에 내장되며 다이(3) 아래의 접착 필름(4)에 접촉하도록 상기 구멍들을 통해 돌출할 수 있다.
접착 필름(4)은 진공 흡입 공급원(9)으로부터 발생된 진공 흡입에 의해 상기 진공 이젝터 플랫폼(8)의 상부에 유지된다. 또한, 접착 필름(4)은 외부 링(10)을 통해 제공된 부가적인 진공 흡입에 의해 유지된다.
본 발명은 박형 및 대형 다이를 취급하는데 특히 유리하다. 바람직한 효과를 달성하기 위해, 코너의 이젝터 핀(6a)들은 다이(3)의 가장자리들로부터 소정의 거리 Δ 내에 유지되어야 한다. 이는 도 4a 또는 도 4b에 도시된 바와 같이 실질적으로 다이(3)의 중심부에 다른 이젝터 핀 또는 핀들(6)을 포함하거나, 또는 중심 이젝터 핀 또는 핀들(6)은 도 4c에 도시된 바와 같이 배제될 수 있다.
상기 소정의 거리는 하기의 인자들 중 하나 이상을 고려함으로써 결정될 수 있다:
(i) 다이(3)의 두께, 크기 및 탄성 계수. 상기 다이(3)가 보다 두껍거나, 보다 소형이거나 및/또는 보다 탄성인 경우에, Δ는 커질 수 있다.
(ii) 접착 필름(4)의 두께, 크기 및 탄성 계수. 상기 필름(4)이 보다 두껍거나 및/또는 보다 탄성인 경우에, Δ는 커질 수 있다.
(iii) 다이(3)와 접착 필름(4)의 탄성 표면 사이의 계면 접착 강도. 상기 계면 접착 강도가 작은 경우에, Δ는 커질 수 있다.
(iv) 이젝터 핀(6, 6a)의 형상 및 크기. 상기 이젝터 핀(6, 6a)의 유효 지지 면적이 큰 경우에, Δ는 커질 수 있다.
상기 소정의 거리 Δ는 임계값 Δc 보다 적어야 한다. 단지 예로서, 특정한 경우에 바람직한 Δc 의 몇가지 값을 후술한다:
(i) 상기 소정의 거리는 바람직하게는 상기 다이(3)의 가장자리들로부터 1.2㎜ 이하이고, 상기 다이(3)는 폭이 3㎜ 내지 8㎜이며 두께가 0.15㎜ 이하인 실리콘 다이이고, 상기 필름(4)은 대략 0.1㎜의 두께를 가지며, 상기 다이(3)와 상기 접착 표면 사이의 계면 접착 강도는 15 J/㎡ 이하이다.
(ii) 상기 소정의 거리는 바람직하게는 상기 다이(3)의 가장자리들로부터 1.6㎜ 이하이고, 상기 다이(3)는 폭이 8㎜ 이상이며 두께가 0.15㎜ 이하인 실리콘 다이이고, 상기 필름(4)은 대략 0.1㎜의 두께를 가지며, 상기 다이(3)와 상기 접착 표면 사이의 계면 접착 강도는 15 J/㎡ 이하이다.
(iii) 상기 소정의 거리는 바람직하게는 상기 다이(3)의 가장자리들로부터 0.5㎜ 이하이고, 상기 다이(3)는 폭이 3㎜ 내지 8㎜이며 두께가 0.15㎜ 이하인 갈륨비소(GaAs) 다이이고, 상기 필름(4)은 대략 0.1㎜의 두께를 가지며, 상기 다이(3)와 상기 접착 표면 사이의 계면 접착 강도는 15 J/㎡ 이하이다.
GaAs 및 실리콘 각각의 성질들로 인해, GaAs 다이의 특정 거리 Δ는 일반적으로 실리콘 다이의 거리보다 작다. 다이 분리 공정 도중에 플라스틱 접착 필름(4)을 밀어내는 유효 접촉 면적을 제공하기 위해 이젝터 핀(6) 또는 임의의 형태의 지지체가 한정된 크기로 이루어져야 한다. 각각의 이젝터 핀(6, 6a)은 바람직하게는 적어도 1 ×10-4㎟의 유효 지지 면적을 갖는다.
한정된 크기로 이루어진 다수의 이젝터 핀(6a)을 다이의 각각의 코너에 배치함으로써, 높은 계면 박리 응력 구역의 분포는 다이(3)의 가장자리들을 따라 코너들 근처에서 집중된다는 점을 이해해야 한다. 상기 다이(3)의 각각의 코너에 이젝터 핀(6a)들을 배치한 배치구조는 수직 계면 박리 응력을 증가시키므로, 다이(3)와 플라스틱 접착 필름(4) 사이의 계면의 박리를 촉진하며, 그에 따라 다이(3)는 균열되기 전에 플라스틱 접착 필름(4)으로부터 보다 용이하게 분리될 수 있다. 또한, 다이(3)의 각각의 코너에 복수의 이젝터 핀(6a)들을 배치한 배치구조는 변형 응력, 특히 다이(3)에서의 굽힘 응력을 감소시키므로, 다이 분리 공정에 의해 유발되는 다이 균열의 가능성이 감소된다.
본 발명은 본원에서 특정하게 설명된 것 이외에도 변형, 변경 및/또는 추가가 가능하며, 본 발명은 상술한 설명의 정신 및 범위로부터 일탈함이 없이 상기 변형, 변경 및/또는 추가 모두를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
본 발명에 따르면, 다이 픽업 공정 도중에 다이를 손상시킴이 없이 다이와 접착 필름 사이의 계면의 계면 박리 응력이 최대화되어 계면 박리가 개선된다.

Claims (20)

  1. 복수의 다이가 장착되어 있는 접착 표면을 갖는 필름으로부터 박형의 다이를 분리하기 위한 장치에 있어서,
    복수의 이젝터 핀으로 이루어지고, 상기 이젝터 핀들은 다이의 가장자리들로부터 소정의 거리 내에서 실제로 다이의 코너들에 있는 접착 표면에 대향하는 필름의 제 2 표면에서 다이 아래의 필름과 접촉하여 다이의 코너들 아래에 있는 필름을 상승시켜 상기 다이의 코너들 아래에 있는 필름을 다이로부터 분리시킴으로써 필름으로부터 다이의 분리를 시작하는 작용을 하는 이젝터 장치와,
    상기 이젝터 장치에 의해 상기 분리가 시작된 후에 다이를 필름으로부터 분리하여 필름으로부터 분리된 후의 다이를 보유하는 작용을 하는 콜릿(collet)을 포함하는 박형의 다이 분리용 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 소정의 거리는 상기 다이의 두께, 크기 및 탄성 계수와, 상기 필름의 두께 및 탄성 계수와, 상기 다이와 상기 필름의 상기 접착 표면 사이의 계면 접착 강도와, 상기 이젝터 핀의 형상 및 크기로 이루어진 그룹에서 하나 이상의 인자를 고려함으로써 결정되는 박형의 다이 분리용 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 소정의 거리는 상기 다이의 상기 가장자리들로부터 1.2㎜ 이하이고, 상기 다이는 폭이 3㎜ 내지 8㎜이며 두께가 0.15㎜ 이하인 실리콘 다이이고, 상기 필름은 대략 0.1㎜의 두께를 가지며, 상기 다이와 상기 접착 표면 사이의 계면 접착 강도는 15 J/㎡ 이하인 박형의 다이 분리용 장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 소정의 거리는 상기 다이의 상기 가장자리들로부터 1.6㎜ 이하이고, 상기 다이는 폭이 8㎜ 이상이며 두께가 0.15㎜ 이하인 실리콘 다이이고, 상기 필름은 대략 0.1㎜의 두께를 가지며, 상기 다이와 상기 접착 표면 사이의 계면 접착 강도는 15 J/㎡ 이하인 박형의 다이 분리용 장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 소정의 거리는 상기 다이의 상기 가장자리들로부터 0.5㎜ 이하이고, 상기 다이는 폭이 3㎜ 내지 8㎜이며 두께가 0.15㎜ 이하인 비화 갈륨(GaAs) 다이이고, 상기 필름은 대략 0.1㎜의 두께를 가지며, 상기 다이와 상기 접착 표면 사이의 계면 접착 강도는 15 J/㎡ 이하인 박형의 다이 분리용 장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 필름이 상기 이젝터 장치에 의해 접촉된 상태에서, 상기 분리해야 할 다이가 상부에 장착되어 있는 상기 필름의 일부분을 지지하기 위한 진공 이젝터 플랫폼을 포함하는 박형의 다이 분리용 장치.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 분리해야 할 다이의 각각의 코너의 위치들에 실질적으로 대응하는 구멍들을 포함하고, 상기 이젝터 핀들은 상기 진공 이젝터 플랫폼 내부에 내장되며 상기 다이에 접촉하도록 상기 구멍들을 통해 돌출할 수 있는 박형의 다이 분리용 장치.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 이젝터 장치는 적어도 4개의 이젝터 핀을 포함하며, 상기 각각의 이젝터 핀은 실질적으로 상기 다이의 하나의 코너의 위치에 대응하는 박형의 다이 분리용 장치.
  9. 제 8 항에 있어서, 실질적으로 상기 다이의 중심부에 있는 위치에 대응하는 하나 이상의 이젝터 핀을 포함하는 박형의 다이 분리용 장치.
  10. 제 1 항에 있어서, 상기 각각의 이젝터 핀은 적어도 1 ×10-4㎟의 유효 지지 면적을 갖는 박형의 다이 분리용 장치.
  11. 필름의 접착 표면상에 장착된 박형의 다이를 분리하는 방법에 있어서,
    상기 다이의 가장자리들로부터 소정의 거리 내에서 실제로 다이의 코너들에 있는 복수의 이젝터 핀에 상기 접착 표면에 대향하는 상기 필름의 제 2 표면에 있는 다이 아래의 필름을 접촉시킴으로써 필름으로부터 다이의 분리를 시작하는 단계와;
    필름을 상기 다이로부터 박리시키기 위해 상기 다이의 상기 코너들 아래에 있는 상기 필름을 상승시키는 단계와;
    이젝터 장치에 의해 상기 분리가 시작된 후 필름으로부터 다이를 분리하여 필름으로부터 분리된 후의 다이를 보유하는 단계를 포함하는 박형의 다이 분리 방법.
  12. 제 11 항에 있어서, 상기 다이의 두께, 크기 및 탄성 계수와, 상기 필름의 두께 및 탄성 계수와, 상기 다이와 상기 필름의 상기 접착 표면 사이의 계면 접착 강도와, 상기 이젝터 핀의 형상 및 크기로 이루어진 그룹에서 하나 이상의 인자를 고려함으로써 상기 소정의 거리를 결정하는 단계를 포함하는 박형의 다이 분리 방법.
  13. 제 11 항에 있어서, 상기 소정의 거리는 상기 다이의 상기 가장자리들로부터 1.2㎜ 이하이고, 상기 다이는 폭이 3㎜ 내지 8㎜이며 두께가 0.15㎜ 이하인 실리콘 다이이고, 상기 필름은 대략 0.1㎜의 두께를 가지며, 상기 다이와 상기 접착 표면 사이의 계면 접착 강도는 15 J/㎡ 이하인 박형의 다이 분리 방법.
  14. 제 11 항에 있어서, 상기 소정의 거리는 상기 다이의 상기 가장자리들로부터 1.6㎜ 이하이고, 상기 다이는 폭이 8㎜ 이상이며 두께가 0.15㎜ 이하인 실리콘 다이이고, 상기 필름은 대략 0.1㎜의 두께를 가지며, 상기 다이와 상기 접착 표면 사이의 계면 접착 강도는 15 J/㎡ 이하인 박형의 다이 분리 방법.
  15. 제 11 항에 있어서, 상기 소정의 거리는 상기 다이의 상기 가장자리들로부터 0.5㎜ 이하이고, 상기 다이는 폭이 3㎜ 내지 8㎜이며 두께가 0.15㎜ 이하인 비화 갈륨(GaAs) 다이이고, 상기 필름은 대략 0.1㎜의 두께를 가지며, 상기 다이와 상기 접착 표면 사이의 계면 접착 강도는 15 J/㎡ 이하인 박형의 다이 분리 방법.
  16. 제 11 항에 있어서, 상기 필름과 상기 이젝터 핀들이 접촉된 상태에서, 상기 분리해야 할 다이가 장착되어 있는 상기 필름의 상기 제 2 표면 상의 상기 필름의 일부분을 지지하기 위해 진공 이젝터 플랫폼에서 진공을 발생시키는 단계를 포함하는 박형의 다이 분리 방법.
  17. 제 16 항에 있어서, 실질적으로 상기 다이의 상기 코너들에 있는 위치들에서 상기 진공 이젝터 플랫폼 내부로부터 상기 플랫폼의 상부에 형성된 구멍들을 통해 상기 필름에까지 상기 이젝터 핀들을 상승시키는 단계를 부가로 포함하는 박형의 다이 분리 방법.
  18. 제 11 항에 있어서, 적어도 4개의 이젝터 핀이 제공되며, 상기 각각의 이젝터 핀은 실질적으로 상기 다이의 각각의 코너에서 상기 다이와 접촉하는 박형의 다이 분리 방법.
  19. 제 18 항에 있어서, 실질적으로 상기 다이의 중심부에 개별적으로 접촉하도록 하나 이상의 이젝터 핀을 포함하는 박형의 다이 분리 방법.
  20. 제 11 항에 있어서, 상기 각각의 이젝터 핀은 적어도 1 ×10-4㎟의 유효 지지 면적을 갖는 박형의 다이 분리 방법.
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