KR101029657B1 - Device for forming coating film on inner surface of container and method for producing container having coated inner surface - Google Patents

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KR101029657B1
KR101029657B1 KR1020087000710A KR20087000710A KR101029657B1 KR 101029657 B1 KR101029657 B1 KR 101029657B1 KR 1020087000710 A KR1020087000710 A KR 1020087000710A KR 20087000710 A KR20087000710 A KR 20087000710A KR 101029657 B1 KR101029657 B1 KR 101029657B1
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유우지 아사하라
아쯔시 우에다
후미히꼬 이시세
마사아끼 나까찌
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미쯔비시 쥬우꼬오 쇼구힌호오소오기까이 가부시키가이샤
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Abstract

회전식 진공 밀봉 기구(1)에 배기관(11)을 통해 연통되고, 패트 보틀(B)의 내면에 코팅막을 성막하기 위한 복수의 성막 챔버(21)를 구비하고, 상기 배기관은 도전 재료로 이루어지고, 그 내부의 소망 위치에 통기성과 도전성을 갖는 전계 차폐 부재인 벌집형 도체(39)가 배치되고, 또한 상기 성막 챔버는 용기가 삽입되었을 때에 그 용기를 둘러싸는 크기의 공동을 갖는 외부 전극(27)과, 이 용기의 입구부가 위치하는 측의 상기 외부 전극의 단부면에 절연 부재(31)를 통해 장착되고 배기관이 접속되는 동시에 접지되는 도전성의 챔버 헤더 부재(32)와, 외부 전극(27) 내의 용기 내에 챔버 헤더 부재측으로부터 삽입되고 코팅막 생성 가스를 분출하기 위한 가스 분출 부재(34)와, 외부 전극과 접지된 챔버 헤더 부재 및 배기관과의 사이에 전계를 부여하기 위한 전계 부여 수단인 고주파 전원(35)을 구비한다.It is communicated with the rotary vacuum sealing mechanism 1 via the exhaust pipe 11, Comprising: The inner surface of the plastic bottle B is equipped with the several film-forming chamber 21 for depositing a coating film, The said exhaust pipe consists of a conductive material, A honeycomb conductor 39, which is a field shielding member having air permeability and conductivity, is disposed at a desired position therein, and the film forming chamber has an external electrode 27 having a cavity sized to surround the container when the container is inserted. And an electrically conductive chamber header member 32 mounted on the end face of the external electrode on the side where the inlet of the container is located, and electrically connected to the exhaust pipe and grounded at the same time as the exhaust pipe is connected, and in the external electrode 27. An electric field for imparting an electric field between the gas ejection member 34 inserted from the chamber header member side in the container and for ejecting the coating film generating gas, and the external electrode and the grounded chamber header member and the exhaust pipe; And W means is provided with a radio frequency generator (35).

회전식 진공 밀봉 기구, 성막 챔버, 도체, 외부 전극, 절연 부재 Rotary vacuum sealing mechanism, film forming chamber, conductor, external electrode, insulating member

Description

용기 내면으로의 코팅막 형성 장치 및 내면 코팅막 용기의 제조 방법{DEVICE FOR FORMING COATING FILM ON INNER SURFACE OF CONTAINER AND METHOD FOR PRODUCING CONTAINER HAVING COATED INNER SURFACE}TECHNICAL FIELD DEVICE FOR FORMING COATING FILM ON INNER SURFACE OF CONTAINER AND METHOD FOR PRODUCING CONTAINER HAVING COATED INNER SURFACE}

본 발명은 용기 내면으로의 코팅막 형성 장치 및 내면 코팅막 용기의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for forming a coating film on the inner surface of a container and a method for producing the inner coating film container.

플라스틱 용기, 예를 들어 패트 보틀은, 외부로부터의 산소의 투과를 방지하기 위해, 및/또는 내부(예를 들어 탄산 음료수)로의 이산화탄소의 투과를 방지하기 위해, 그 내면에 배리어막, 예를 들어 DLC(Diamond Like Carbon)와 같은 탄소막을 형성하는 것이 시도되어 있다(특허 문헌 1).Plastic containers, for example plastic bottles, may contain barrier films, for example, on their inner surfaces, to prevent permeation of oxygen from the outside and / or to prevent permeation of carbon dioxide into the interior (eg carbonated beverages). It has been attempted to form a carbon film such as DLC (Diamond Like Carbon) (Patent Document 1).

이와 같은 플라스틱 용기 내면에 탄소막을 형성하는 방법으로서는, 본 출원인이 이미 출원하여, 공개된 특허 문헌 2에 개시되어 있다. 이 특허 문헌 2의 도7에는, 피처리물인 플라스틱 용기가 삽입되었을 때에 그 용기를 둘러싸는 크기를 갖는 외부 전극과, 상기 플라스틱 용기가 삽입되었을 때에 적어도 그 용기의 입구부 및 견부와 상기 외부 전극과의 사이에 개재된 유전체 재료로 이루어지는 스페이서와, 상기 용기의 입구부가 위치하는 측의 상기 외부 전극의 단부면에 절연 부재를 통해 장착된 배기관과, 상기 외부 전극 내의 상기 플라스틱 용기 내에 상기 배기관 측으로부터 삽입되고 접지측에 접속되는 내부 전극과, 상기 배기관에 설치된 배기 수단과, 상기 내부 전극에 매질 가스를 공급하기 위한 가스 공급 수단과, 상기 외부 전극에 접속된 고주파 전원을 구비한 플라스틱 용기 내면으로의 탄소막 형성 장치가 기재되어 있다.As a method of forming a carbon film on such an inner surface of a plastic container, the present applicant has already filed and disclosed in published Patent Document 2. In Fig. 7 of this Patent Document 2, an external electrode having a size surrounding the container when the plastic container to be processed is inserted, at least the inlet and shoulders of the container and the external electrode when the plastic container is inserted, A spacer made of a dielectric material sandwiched between and an exhaust pipe mounted through an insulating member on an end face of the external electrode on the side where the inlet of the container is located, and inserted into the plastic container within the external electrode from the exhaust pipe side And a carbon film to the inner surface of the plastic container having an internal electrode connected to the ground side, an exhaust means provided in the exhaust pipe, a gas supply means for supplying a medium gas to the internal electrode, and a high frequency power source connected to the external electrode. A forming apparatus is described.

이와 같은 구성의 특허 문헌 2에 기재된 탄소막 형성 장치에 의한 플라스틱 용기, 예를 들어 패트 보틀 내면으로의 탄소막의 형성 방법을 이하에 설명한다.The formation method of the carbon film to the plastic container, for example, the plastic bottle inner surface by the carbon film forming apparatus of patent document 2 of such a structure is demonstrated below.

우선, 패트 보틀을 외부 전극 내에 삽입한다. 절연 재료로 이루어지는 가스 분출부가 설치된 내부 전극을 상기 패트 보틀의 입구부가 위치하는 측의 상기 외부 전극의 단부면에 절연 부재를 통해 장착된 배기관으로부터 상기 패트 보틀의 내부에 상기 가스 분출부가 상기 패트 보틀의 바닥부측에 위치하도록 삽입한다. 상기 패트 보틀 내외의 가스를 배기 수단에 의해 상기 배기관을 통해 배기한 후, 상기 내부 전극에 매질 가스를 가스 공급 수단에 의해 공급하고, 이 내부 전극의 가스 분출부로부터 상기 패트 보틀 내에 매질 가스를 분출하여 상기 패트 보틀 내부를 포함하는 배기관 내를 소정의 가스 압력으로 설정한다. 계속해서, 고주파 전원으로부터 고주파 전력을 상기 외부 전극에 공급하고, 상기 패트 보틀 내에 위치하는 내부 전극의 주위에 플라즈마를 생성시키고, 이 플라즈마에 의해 상기 매질 가스를 해리시켜 상기 패트 보틀 내면에 탄소막을 형성한다. 이때, 방전 영역은 내부 전극의 주위뿐만 아니라 배기관(이것과 연통하는 분기 배기관도 포함함) 내에도 넓어질 가능성이 있다.First, a plastic bottle is inserted into an external electrode. The gas ejection portion of the plastic bottle is formed inside the pet bottle from an exhaust pipe mounted through the insulating member on an end face of the external electrode on the side where the inlet portion of the pet bottle is located. Insert it on the bottom side. After exhausting the gas inside and outside the plastic bottle through the exhaust pipe by the exhaust means, the medium gas is supplied to the internal electrode by the gas supply means, and the medium gas is ejected from the gas ejection part of the internal electrode into the plastic bottle. The inside of the exhaust pipe including the inside of the plastic bottle is set to a predetermined gas pressure. Subsequently, high frequency power is supplied from the high frequency power source to the external electrode, plasma is generated around the internal electrode located in the plastic bottle, and the medium gas is dissociated by the plasma to form a carbon film on the inner surface of the plastic bottle. do. At this time, the discharge region may be widened not only in the periphery of the internal electrode, but also in the exhaust pipe (including the branch exhaust pipe communicating with it).

그러나, 전술한 구성의 탄소막 형성 장치에 있어서, 외부 전극 및 배기관을 구비하는 성막 챔버를 복수 준비하고, 이들 성막 챔버에 대해, 배기관(분기 배기관)을 통해 배기 수단인 회전식 진공 밀봉 기구에 각각 접속한 경우에는, 상기 방전 영역이 배기관을 통해 회전식 진공 밀봉 기구에 도달한다는 문제가 있다. 또한, 인접하는 다른 성막 챔버의 상기 회전식 진공 밀봉 기구까지 도달한 방전(플라즈마)과 서로 간섭하여 방전 불안정, 전원 이상을 유발할 가능성이 있다.However, in the carbon film forming apparatus having the above-described configuration, a plurality of film forming chambers having external electrodes and exhaust pipes are prepared, and these film forming chambers are respectively connected to a rotary vacuum sealing mechanism that is an exhaust means through an exhaust pipe (branch exhaust pipe). In this case, there is a problem that the discharge region reaches the rotary vacuum sealing mechanism through the exhaust pipe. In addition, there is a possibility of interfering with the discharge (plasma) that has reached the rotary vacuum sealing mechanism of another film forming chamber adjacent to each other to cause discharge instability and abnormal power supply.

또한, 방전 영역이 배기관으로 확대되면, 패트 보틀 내부에 주입되는 파워가 감소하여 파워 효율의 저하를 초래할 우려가 있다. 이로 인해, 본 발명자들은 방전 영역을 가능한 한 패트 보틀 내의 내부 전극의 주위로 규제하도록 연구, 개발을 행해 왔다.In addition, when the discharge region is expanded to the exhaust pipe, there is a fear that the power injected into the plastic bottle is reduced, resulting in a decrease in power efficiency. For this reason, the present inventors have conducted research and development to regulate the discharge region around the internal electrode in the plastic bottle as much as possible.

특허 문헌 1 : 일본 특허 공개 평8-53116호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Application Laid-open No. Hei 8-53116

특허 문헌 2 : 일본 특허 공개 제2003-286571호 공보Patent Document 2: Japanese Patent Laid-Open No. 2003-286571

본 발명자들은, 회전식 진공 밀봉 기구에 도전 재료로 이루어지는 배기관을 통해 피처리물인 플라스틱 용기의 내면에 배리어막을 성막하기 위한 복수의 성막 챔버를 연통시킨 구성의 플라스틱 용기 내면으로의 배리어막 형성 장치, 및 이 배리어막 형성 장치를 이용하여 플라스틱 용기 내면에 탄소막과 같은 배리어막을 형성하는 방법에 관해 예의 연구를 거듭한 결과, 방전 영역을 성막 챔버로부터 배기관까지 넓히는 것에 의해, 예상에 반하여 큰 플라즈마 시이스 전압이 외부 전극과 성막 챔버 및 배기관을 포함하는 접지 전극 사이에 가해져, 플라즈마 내에서 해리된 매질 가스와 같은 배리어막 생성 가스로부터의 높은 에너지의 플러스 이온을 상기 플라스틱 용기 내면에 입사할 수 있고, 플라스틱 용기 내면에 막질이 양호한 탄소막과 같은 배리어막을 고속으로 형성할 수 있는 것을 규명했다. 단, 방전 영역을 성막 챔버로부터 배기관까지 넓히는 것은 배경 기술에서도 설명한 바와 같이 회전식 진공 밀봉 기구와의 관계에 의해 방전 불안정, 전원 이상을 유발한다는 문제가 있다.The inventors of the present invention provide a barrier film forming apparatus for forming an inner surface of a plastic container in which a plurality of film forming chambers for forming a barrier film are formed on the inner surface of a plastic container as an object through an exhaust pipe made of a conductive material. As a result of extensive research on the method of forming a barrier film such as a carbon film on the inner surface of a plastic container using a barrier film forming apparatus, a large plasma sheath voltage is unexpectedly increased by widening the discharge region from the deposition chamber to the exhaust pipe. A high energy plus ion from a barrier film generating gas, such as a medium gas dissociated in plasma, can be incident on the inner surface of the plastic container and applied between the electrode and the ground electrode including the deposition chamber and the exhaust pipe, Barrier film such as carbon film with good film quality It was found that it can be formed at high speed. However, widening the discharge region from the deposition chamber to the exhaust pipe has a problem of causing discharge instability and abnormal power supply due to the relationship with the rotary vacuum sealing mechanism as described in the background art.

본 발명은 상기 문제에 비추어, 배기관 내에 발생시키는 방전 영역이 회전식 진공 밀봉 기구에까지 도달하는 것을 규제하여, 방전 불안정, 전원 이상의 유발을 방지할 수 있는 용기 내면으로의 코팅막 형성 장치 및 내면 코팅막 용기의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.In view of the above problem, the present invention regulates the discharge region generated in the exhaust pipe to reach the rotary vacuum sealing mechanism, and manufactures a coating film forming apparatus and an inner coating film container on the inner surface of the container that can prevent discharge instability and power supply abnormality. It is an object to provide a method.

이와 같은 점으로부터, 본 발명자들은 더욱 연구를 거듭한 결과, 도전 재료로 이루어지는 배기관 내부의 소망 위치에 통기성과 도전성을 갖는 전계 차폐 부재를 배치하는 것에 의해, 배기관 내에 발생시키는 방전 영역이 회전식 진공 밀봉 기구에까지 도달하는 것을 규제하여, 방전 불안정, 전원 이상의 유발을 방지할 수 있는 것을 규명하고, 본 발명을 지견했다.From this point of view, the present inventors have conducted further studies. As a result, the electric field shielding member having air permeability and conductivity is disposed at a desired position inside the exhaust pipe made of a conductive material, whereby the discharge region generated in the exhaust pipe is a rotary vacuum sealing mechanism. It was found that it was possible to prevent the discharge instability and the occurrence of abnormal power supply, by restricting reaching to, and found the present invention.

또한, 본 발명자들은 상기 전계 차폐 부재의 배기관으로의 배치 대신에, 배기관을 도전 재료로 이루어지는 관부와 절연 재료로 이루어지는 관부로 구성하고, 이 도전 재료로 이루어지는 관부측을 성막 챔버에 연결하는 것에 의해, 마찬가지로 배기관 내에 발생시키는 방전 영역이 회전식 진공 밀봉 기구에까지 도달하는 것을 규제하여, 방전 불안정, 전원 이상의 유발을 방지할 수 있는 것을 규명하고, 본 발명을 지견했다.In addition, the inventors of the present invention constitute a pipe part made of a conductive material and a pipe part made of an insulating material instead of arranging the electric field shielding member in the exhaust pipe, and by connecting the pipe part made of the conductive material to the film formation chamber, Similarly, by restricting the discharge region generated in the exhaust pipe to reach the rotary vacuum sealing mechanism, it has been found that discharge instability and the occurrence of abnormal power supply can be prevented, and the present invention was found.

이러한 지견을 기초로 하는 본 발명에 관한 용기 내면으로의 코팅막 형성 장치 및 내면 코팅막 용기의 제조 방법은, 다음과 같은 구성을 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.Based on this knowledge, the coating film forming apparatus and the manufacturing method of an inner coating film container to the inner surface of a container which have this invention are characterized by having the following structures.

제1 발명은, 회전식 진공 밀봉 기구와, 이 회전식 진공 밀봉 기구에 배기관을 통해 연통되고 피처리물인 용기의 내면에 플라즈마 방전에 의해 코팅막을 성막하기 위한 복수의 성막 챔버를 구비하고, 상기 배기관은 도전 재료로 이루어지고, 상기 성막 챔버로부터 소망 거리 이격된 내부에 통기성과 도전성을 갖는 전계 차폐 부재가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 용기 내면으로의 코팅막 형성 장치에 있다.A first invention includes a rotary vacuum sealing mechanism and a plurality of film formation chambers for forming a coating film on the inner surface of a container, which is communicated with the rotary vacuum sealing mechanism via an exhaust pipe, by plasma discharge, and the exhaust pipe is electrically conductive. An electric field shielding member made of a material and having an air permeability and conductivity in an interior spaced apart from the film forming chamber by a desired distance, the apparatus for forming a coating film on an inner surface of a container.

제2 발명은, 회전식 진공 밀봉 기구와, 이 회전식 진공 밀봉 기구에 배기관을 통해 연통되고 피처리물인 용기의 내면에 플라즈마 방전에 의해 코팅막을 성막하기 위한 복수의 성막 챔버를 구비하고, 상기 배기관은 도전 재료로 이루어지고, 상기 성막 챔버로부터 소망 거리 이격된 내부에 통기성과 도전성을 갖는 전계 차폐 부재가 배치되어 있고, 상기 전계 차폐 부재는 벌집 구조 또는 메쉬 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 용기 내면으로의 코팅막 형성 장치에 있다.The second invention includes a rotary vacuum sealing mechanism and a plurality of film formation chambers for forming a coating film on the inner surface of the container, which is communicated with the rotary vacuum sealing mechanism via an exhaust pipe, by plasma discharge, and the exhaust pipe is electrically conductive. A coating film is formed on the inner surface of the container, which is made of a material, and has a breathable and conductive electric field shielding member disposed within a spaced distance from the film forming chamber, wherein the electric field shielding member has a honeycomb structure or a mesh shape. Is in the device.

제3 발명은, 제1 또는 제2 발명에 있어서, 상기 성막 챔버는, 상기 용기가 삽입되었을 때에 그 용기를 둘러싸는 크기의 공동(空洞)을 갖는 외부 전극과, 이 용기의 입구부가 위치하는 측의 상기 외부 전극의 단부면에 절연 부재를 통해 장착되고 상기 배기관이 연결되는 동시에 접지되는 도전성의 챔버 헤더 부재와, 상기 외부 전극 내의 상기 용기 내에 상기 챔버 헤더 부재측으로부터 삽입되고 코팅막 생성 가스를 분출하기 위한 가스 분출 부재와, 상기 외부 전극과 접지된 상기 챔버 헤더 부재 및 배기관과의 사이에 전계를 부여하기 위한 전계 부여 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 용기 내면으로의 코팅막 형성 장치에 있다.3rd invention is 1st or 2nd invention WHEREIN: The said film-forming chamber is an external electrode which has a cavity of the magnitude | size which surrounds the container when the said container is inserted, and the side where the entrance part of this container is located. A conductive chamber header member mounted to an end face of the outer electrode of the outer electrode and electrically connected to the exhaust pipe and grounded at the same time, and inserted from the chamber header member side into the container in the outer electrode and ejecting a coating film generating gas And an electric field imparting means for imparting an electric field between the gas ejecting member and the chamber header member and the exhaust pipe grounded with the external electrode.

제4 발명은, 제1 또는 제2 발명에 있어서, 상기 성막 챔버는, 상기 용기가 삽입되었을 때에 그 용기를 둘러싸는 크기의 공동을 갖는 외부 전극과, 이 용기의 입구부가 위치하는 측의 상기 외부 전극의 단부면에 절연 부재를 통해 장착되고 상기 배기관이 연결되는 동시에 접지되는 도전성의 챔버 헤더 부재와, 상기 외부 전극 내의 상기 용기 내에 상기 챔버 헤더 부재측으로부터 삽입되고 코팅막 생성 가스를 분출하기 위한 가스 분출 부재와, 상기 외부 전극과 접지된 상기 챔버 헤더 부재 및 배기관과의 사이에 전계를 부여하기 위한 전계 부여 수단을 구비하고, 또한 유전체 재료로 이루어지는 스페이서가, 상기 용기가 삽입되었을 때에 적어도 그 용기의 입구부 및 견부와 상기 외부 전극과의 사이에 개재되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 용기 내면으로의 코팅막 형성 장치에 있다.4th invention is 1st or 2nd invention WHEREIN: The said film-forming chamber is an external electrode which has a cavity of the magnitude | size which surrounds the container when the said container is inserted, and the said outer side of the side where the entrance part of this container is located. A conductive chamber header member mounted on an end face of the electrode via an insulating member and connected to the exhaust pipe and grounded at the same time; And an electric field applying means for imparting an electric field between the outer electrode, the chamber header member grounded and the exhaust pipe, and a spacer made of a dielectric material, at least when the container is inserted, at least the inlet of the container. An inner surface of the container, which is interposed between the part and the shoulder and the external electrode. Furnace coating film forming apparatus.

제5 발명은, 제1 또는 제2 발명에 있어서, 상기 용기가 플라스틱 용기인 것을 특징으로 하는 용기 내면으로의 코팅막 형성 장치에 있다.In 5th invention, in the 1st or 2nd invention, the said container is a plastic container, It exists in the coating film forming apparatus to the inner surface of a container.

제6 발명은, 제3 발명의 용기 내면으로의 코팅막 형성 장치를 이용하여 내면 코팅막 용기를 제조하는 데 있어서, (a) 피처리물인 용기를 복수의 성막 챔버의 각 외부 전극 내에 각각 삽입하는 공정과, (b) 가스 분출 부재를 상기 용기의 입구부가 위치하는 측의 상기 외부 전극의 단부면에 절연 부재를 통해 장착된 도전성의 챔버 헤더 부재로부터 상기 용기의 내부에 삽입하는 공정과, (c) 회전식 진공 밀봉 기구에 의해 상기 용기 내외 및 상기 챔버 헤더 부재의 가스를 내부의 소망 위치에 통기성과 도전성을 갖는 전계 차폐 부재가 배치된 배기관을 통해 배기하면서, 상기 가스 분출 부재로부터 코팅막 생성 가스를 상기 용기 내에 분출하여 상기 용기 내를 포함하는 상기 챔버 헤더 부재 및 배기관 내를 소정의 가스 압력으로 설정하는 공정과, (d) 전계 부여 수단에 의해 상기 외부 전극과 상기 챔버 헤더 부재 및 전계 차폐 부재 위치로부터 상기 챔버 헤더 부재에 위치하는 상기 배기관 부분을 포함하는 접지 전극과의 사이에 전계를 부여하여, 상기 용기 내를 포함하는 상기 챔버 헤더 부재 및 상기 배기관 부분에 플라즈마를 생성시키고, 이 플라즈마에 의해 상기 코팅막 생성 가스를 해리시켜 상기 용기 내면에 코팅막을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 내면 코팅막 용기의 제조 방법에 있다.6th invention manufactures an inner surface coating film container using the coating film forming apparatus to the inner surface of the container of 3rd invention, Comprising: (a) inserting the container which is to-be-processed into each outer electrode of several film-forming chambers, and (b) inserting a gas ejecting member into the interior of the container from a conductive chamber header member mounted via an insulating member on an end face of the external electrode on the side where the inlet of the container is located; and (c) rotating The coating film-producing gas is discharged from the gas ejection member into the container by evacuating the gas inside the container and the chamber header member through a exhaust pipe provided with a breathable and conductive field shielding member at a desired position therein by a vacuum sealing mechanism. Ejecting and setting the inside of the chamber header member and the exhaust pipe including the inside of the container to a predetermined gas pressure, and (d) applying an electric field. Means for imparting an electric field between said outer electrode and said chamber header member and a ground electrode comprising said exhaust pipe portion located in said chamber header member from an electric field shielding member position, so that said chamber header comprises within said container. And a step of generating a plasma on the member and the exhaust pipe portion, and dissociating the coating film generating gas by the plasma to form a coating film on the inner surface of the container.

제7 발명은, 제3 발명의 용기 내면으로의 코팅막 형성 장치를 이용하여 내면 코팅막 용기를 제조하는 데 있어서, (a) 피처리물인 용기를 복수의 성막 챔버의 각 외부 전극 내에 각각 삽입하는 공정과, (b) 가스 분출 부재를 상기 용기의 입구부가 위치하는 측의 상기 외부 전극의 단부면에 절연 부재를 통해 장착된 도전성의 챔버 헤더 부재로부터 상기 용기의 내부에 삽입하는 공정과, (c) 회전식 진공 밀봉 기구에 의해 상기 용기 내외 및 상기 챔버 헤더 부재의 가스를 내부의 소망 위치에 통기성과 도전성을 갖는 전계 차폐 부재가 배치된 배기관을 통해 배기하면서, 상기 가스 분출 부재로부터 코팅막 생성 가스를 상기 용기 내에 분출하여 상기 용기 내를 포함하는 상기 챔버 헤더 부재 및 배기관 내를 소정의 가스 압력으로 설정하는 공정과, (d) 전계 부여 수단에 의해 상기 외부 전극과 상기 챔버 헤더 부재 및 전계 차폐 부재 위치로부터 상기 챔버 헤더 부재에 위치하는 상기 배기관 부분을 포함하는 접지 전극과의 사이에 전계를 부여하여, 상기 용기 내를 포함하는 상기 챔버 헤더 부재 및 상기 배기관 부분에 플라즈마를 생성시키고, 이 플라즈마에 의해 상기 코팅막 생성 가스를 해리시켜 상기 용기 내면에 코팅막을 형성하는 공정을 포함하고, 또한 상기 용기를, 상기 외부 전극 내에 삽입할 때, 적어도 그 용기의 입구부 및 견부와 상기 외부 전극과의 사이에 유전체 재료로 이루어지는 스페이서를 개재시키는 것을 특징으로 하는 내면 코팅막 용기의 제조 방법에 있다.7th invention manufactures an inner surface coating film container using the coating film forming apparatus to the inner surface of the container of 3rd invention, Comprising: (a) inserting the container which is to-be-processed into each outer electrode of several film-forming chamber, respectively; (b) inserting a gas ejecting member into the interior of the container from a conductive chamber header member mounted via an insulating member on an end face of the external electrode on the side where the inlet of the container is located; and (c) rotating The coating film-producing gas is discharged from the gas ejection member into the container by evacuating the gas inside the container and the chamber header member through a exhaust pipe provided with a breathable and conductive field shielding member at a desired position therein by a vacuum sealing mechanism. Ejecting and setting the inside of the chamber header member and the exhaust pipe including the inside of the container to a predetermined gas pressure, and (d) applying an electric field. Means for imparting an electric field between said outer electrode and said chamber header member and a ground electrode comprising said exhaust pipe portion located in said chamber header member from an electric field shielding member position, so that said chamber header comprises within said container. Generating a plasma on the member and the exhaust pipe portion, and dissociating the coating film generating gas by the plasma to form a coating film on the inner surface of the container, and when the container is inserted into the external electrode, And a spacer made of a dielectric material between an inlet and a shoulder of the container and the external electrode.

제8 발명은, 회전식 진공 밀봉 기구와, 이 회전식 진공 밀봉 기구에 배기관을 통해 연통되고 피처리물인 용기의 내면에 코팅막을 성막하기 위한 복수의 성막 챔버를 구비하고, 상기 배기관은 도전 재료로 이루어지는 도전관부와 절연 재료로 이루어지는 절연관부로 구성되고, 상기 도전관부는 상기 각 성막 챔버에 연결되는 것을 특징으로 하는 용기 내면으로의 코팅막 형성 장치에 있다.The eighth invention includes a rotary vacuum seal mechanism and a plurality of deposition chambers for forming a coating film on an inner surface of a container, which is in communication with the rotary vacuum seal mechanism via an exhaust pipe, and the exhaust pipe is made of a conductive material. And a conductive tube portion made of a tube portion and an insulating material, wherein the conductive tube portion is connected to each of the film formation chambers.

제9 발명은, 회전식 진공 밀봉 기구와, 이 회전식 진공 밀봉 기구에 배기관을 통해 연통되고 피처리물인 플라스틱 용기의 내면에 코팅막을 성막하기 위한 복수의 성막 챔버를 구비하고, 상기 배기관은 도전 재료로 이루어지는 도전관부와 절연 재료로 이루어지는 절연관부로 구성되고, 상기 도전관부는 상기 각 성막 챔버에 연결되는 동시에, 상기 성막 챔버는, 상기 용기가 삽입되었을 때에 그 용기를 둘러싸는 크기의 공동을 갖는 외부 전극과, 이 용기의 입구부가 위치하는 측의 상기 외부 전극의 단부면에 절연 부재를 통해 장착되고 상기 배기관이 연결되는 동시에 접지되는 도전성의 챔버 헤더 부재와, 상기 외부 전극 내의 상기 용기 내에 상기 챔버 헤더 부재측으로부터 삽입되고 코팅막 생성 가스를 분출하기 위한 가스 분출 부재와, 상기 외부 전극과 접지된 상기 챔버 헤더 부재 및 배기관과의 사이에 전계를 부여하기 위한 전계 부여 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 용기 내면으로의 코팅막 형성 장치에 있다.A ninth invention includes a rotary vacuum seal mechanism and a plurality of deposition chambers for forming a coating film on an inner surface of a plastic container, which is in communication with the rotary vacuum seal mechanism via an exhaust pipe, and the exhaust pipe is made of a conductive material. A conductive tube portion and an insulating tube portion made of an insulating material, wherein the conductive tube portion is connected to each of the film forming chambers, and the film forming chamber includes an external electrode having a cavity having a size that surrounds the container when the container is inserted. A conductive chamber header member mounted to an end face of the external electrode on the side where the inlet of the container is located, and electrically grounded while the exhaust pipe is connected, and the chamber header member side in the container in the outer electrode; A gas ejection member inserted from the gas for ejecting the coating film forming gas, And in the coating film forming apparatus of the container inner surface, it characterized in that it comprises an electric field applying means for applying an electric field between the grounded chamber header member and exhaust pipe.

제10 발명은, 제9 발명에 있어서, 유전체 재료로 이루어지는 스페이서가, 상기 용기가 삽입되었을 때에 적어도 그 용기의 입구부 및 견부와 상기 외부 전극과의 사이에 개재되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 용기 내면으로의 코팅막 형성 장치에 있다.In a ninth invention, in a ninth invention, a spacer made of a dielectric material is interposed between at least an inlet and a shoulder of the container and the external electrode when the container is inserted. Coating film forming apparatus.

제11 발명은, 제9 발명의 용기 내면으로의 코팅막 형성 장치를 이용하여 내면 코팅막 용기를 제조하는 데 있어서, (a) 피처리물인 용기를 복수의 성막 챔버의 각 외부 전극 내에 각각 삽입하는 공정과, (b) 가스 분출 부재를 상기 용기의 입구부가 위치하는 측의 상기 외부 전극의 단부면에 절연 부재를 통해 장착된 도전성의 챔버 헤더 부재로부터 상기 용기의 내부에 삽입하는 공정과, (c) 회전식 진공 밀봉 기구에 의해 상기 용기 내외 및 상기 챔버 헤더 부재의 가스를 도전 재료로 이루어지는 관부와 절연 재료로 이루어지는 관부로 구성된 배기관을 통해 배기하면서, 상기 가스 분출 부재로부터 코팅막 생성 가스를 상기 용기 내에 분출하여 상기 플라스틱 용기 내를 포함하는 상기 챔버 헤더 부재 및 배기관 내를 소정의 가스 압력으로 설정하는 공정과, (d) 전계 부여 수단에 의해 상기 외부 전극과 상기 챔버 헤더 부재 및 상기 도전 재료로 이루어지는 관부를 포함하는 접지 전극과의 사이에 전계를 부여하여, 상기 용기 내를 포함하는 상기 챔버 헤더 부재 및 상기 도전 재료로 이루어지는 관부에 플라즈마를 생성시키고, 이 플라즈마에 의해 상기 코팅막 생성 가스를 해리시켜 상기 용기 내면에 코팅막을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 내면 코팅막 용기의 제조 방법에 있다.In the eleventh invention, in the manufacture of an inner coating film container using the coating film forming apparatus for the inner surface of the ninth invention, (a) a step of inserting a container, which is a workpiece, into each of the outer electrodes of the plurality of film forming chambers; (b) inserting a gas ejecting member into the interior of the container from a conductive chamber header member mounted via an insulating member on an end face of the external electrode on the side where the inlet of the container is located; and (c) rotating The coating film generating gas is ejected from the gas blowing member into the container by evacuating the gas inside and outside the container and the gas of the chamber header member by a vacuum sealing mechanism through an exhaust pipe consisting of a pipe part made of a conductive material and a pipe part made of an insulating material. Setting the inside of the chamber header member and the exhaust pipe including the inside of the plastic container to a predetermined gas pressure, and (d An electric field is applied between the external electrode and the ground electrode including the tube portion made of the conductive material by an electric field imparting means, and the chamber header member and the conductive material A method of manufacturing an inner surface coating film container, comprising: generating a plasma in a pipe portion formed therein, and dissociating the coating film generating gas by the plasma to form a coating film on the inner surface of the container.

제12 발명은, 제9 발명의 용기 내면으로의 코팅막 형성 장치를 이용하여 내면 코팅막 용기를 제조하는 데 있어서, (a) 피처리물인 용기를 복수의 성막 챔버의 각 외부 전극 내에 각각 삽입하는 공정과, (b) 가스 분출 부재를 상기 용기의 입구부가 위치하는 측의 상기 외부 전극의 단부면에 절연 부재를 통해 장착된 도전성의 챔버 헤더 부재로부터 상기 용기의 내부에 삽입하는 공정과, (c) 회전식 진공 밀봉 기구에 의해 상기 용기 내외 및 상기 챔버 헤더 부재의 가스를 도전 재료로 이루어지는 관부와 절연 재료로 이루어지는 관부로 구성된 배기관을 통해 배기하면서, 상기 가스 분출 부재로부터 코팅막 생성 가스를 상기 용기 내에 분출시켜 상기 플라스틱 용기 내를 포함하는 상기 챔버 헤더 부재 및 배기관 내를 소정의 가스 압력으로 설정하는 공정과, (d) 전계 부여 수단에 의해 상기 외부 전극과 상기 챔버 헤더 부재 및 상기 도전 재료로 이루어지는 관부를 포함하는 접지 전극과의 사이에 전계를 부여하여, 상기 용기 내를 포함하는 상기 챔버 헤더 부재 및 상기 도전 재료로 이루어지는 관부에 플라즈마를 생성시키고, 이 플라즈마에 의해 상기 코팅막 생성 가스를 해리시켜 상기 용기 내면에 코팅막을 형성하는 공정을 포함하고, 또한 상기 용기를, 상기 외부 전극 내에 삽입할 때, 적어도 그 용기의 입구부 및 견부와 상기 외부 전극과의 사이에 유전체 재료로 이루어지는 스페이서를 개재시키는 것을 특징으로 하는 내면 코팅막 용기의 제조 방법에 있다.In the twelfth invention, in the manufacture of an inner coating film container using the coating film forming apparatus on the inner surface of the ninth invention, (a) a step of inserting a container, which is a workpiece, into each of the outer electrodes of the plurality of film forming chambers; (b) inserting a gas ejecting member into the interior of the container from a conductive chamber header member mounted via an insulating member on an end face of the external electrode on the side where the inlet of the container is located; and (c) rotating The vacuum sealing mechanism discharges the coating film-forming gas into the container from the gas blowing member while exhausting the gas inside and outside the container and the gas of the chamber header member through an exhaust pipe consisting of a pipe part made of a conductive material and a pipe part made of an insulating material. Setting the inside of the chamber header member and the exhaust pipe including the inside of the plastic container to a predetermined gas pressure, and (d An electric field is applied between the external electrode and the ground electrode including the tube portion made of the conductive material by an electric field imparting means, and the chamber header member and the conductive material And generating a coating film on the inner surface of the container by dissociating the coating film-producing gas by the plasma, and forming a coating film on the inner surface of the tube, and when the container is inserted into the external electrode, at least the entrance of the container. A method of producing an inner surface coating film container, wherein a spacer made of a dielectric material is interposed between a part and a shoulder and the external electrode.

제13의 발명은, 피처리물인 용기의 내면에 플라즈마 방전에 의해 코팅막을 성막하기 위한 성막 챔버를 구비하고, 상기 성막 챔버는, 용기가 삽입되었을 때에 그 용기를 둘러싸는 크기의 공동을 갖는 외부 전극과, 이 용기의 입구부가 위치하는 측의 상기 외부 전극의 단부면에 절연 부재를 통해 장착되고 상기 배기관이 연결되는 동시에 접지되는 도전성의 챔버 헤더 부재와, 상기 외부 전극 내의 상기 용기 내에 상기 챔버 헤더 부재측으로부터 삽입되고 코팅막 생성 가스를 분출하기 위한 가스 분출 부재와, 상기 외부 전극과 접지된 상기 챔버 헤더 부재 및 배기관과의 사이에 전계를 부여하기 위한 전계 부여 수단을 구비하고, 상기 배기관은 도전 재료로 이루어지고, 상기 성막 챔버로부터 소망 거리 이격된 내부에 통기성과 도전성을 갖는 전계 차폐 부재가 배치되어 있고, 상기 용기가 수납되는 상기 외부 전극 내면의 면적을 S1, 상기 접지 전극의 면적을 S2로 하면, 그들의 면적비(S2/S1)를 1 이상으로 하는 것을 특징으로 하는 내면 코팅막 용기의 제조 장치에 있다.A thirteenth invention includes a film formation chamber for depositing a coating film by plasma discharge on an inner surface of a container that is an object to be processed, and the film formation chamber has an external electrode having a cavity having a size surrounding the container when the container is inserted. And a conductive chamber header member mounted to an end face of the outer electrode on the side where the inlet of the container is located, the conductive chamber header member being connected to and grounded at the same time as the exhaust pipe is connected, and the chamber header member in the container in the outer electrode. A gas ejection member inserted from the side for ejecting the coating film-producing gas, and an electric field applying means for imparting an electric field between the chamber header member and the exhaust pipe grounded with the external electrode, wherein the exhaust pipe is made of a conductive material. An electric field shield having air permeability and conductivity in an interior spaced apart from the film forming chamber by a desired distance When the ash is disposed and the area of the inner surface of the outer electrode in which the container is housed is S1 and the area of the ground electrode is S2, the area ratio S2 / S1 is set to 1 or more. Is in the device.

본 발명에 따르면, 회전식 진공 밀봉 기구와의 관계에 의해 방전 불안정, 전원 이상의 유발을 방지할 수 있는 동시에, 회전식 진공 밀봉 기구에 배기관을 통해 연통된 복수의 성막 챔버에 있어서, 플라스틱 용기 내면에 막질이 양호한 탄소막과 같은 배리어막을 고속도로 형성하는 것이 가능한 플라스틱 용기의 내면으로의 배리어막 형성 장치를 제공할 수 있다.According to the present invention, in the plurality of film formation chambers which can prevent discharge instability and the occurrence of power failure due to a relationship with the rotary vacuum sealing mechanism, and communicate with the rotary vacuum sealing mechanism via an exhaust pipe, film quality is prevented on the inner surface of the plastic container. An apparatus for forming a barrier film to the inner surface of a plastic container capable of forming a barrier film such as a preferred carbon film on the highway can be provided.

또한, 본 발명에 따르면 회전식 진공 밀봉 기구와의 관계에 의해 방전 불안정, 전원 이상의 유발을 방지할 수 있는 동시에, 회전식 진공 밀봉 기구에 배기관을 통해 연통된 복수의 성막 챔버에 있어서, 막질이 양호한 탄소막과 같은 배리어막이 내면에 형성되고, 산소 및 이산화탄소에 대한 배리어성이 우수한 플라스틱 용기를 제조할 수 있는 방법을 제공할 수 있다.In addition, according to the present invention, a carbon film having a good film quality can be prevented from causing instability of discharge and abnormal power supply due to a relationship with the rotary vacuum sealing mechanism, and in a plurality of film formation chambers communicating with the rotary vacuum sealing mechanism via an exhaust pipe. The same barrier film is formed in the inner surface, and the method which can manufacture the plastic container which is excellent in the barrier property with respect to oxygen and carbon dioxide can be provided.

도1은 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 용기 내면으로의 코팅막 형성 장치를 도시하는 평면도이다.1 is a plan view showing a coating film forming apparatus on an inner surface of a container according to a first embodiment of the present invention.

도2는 도1의 성막 챔버를 포함하는 주요부 단면도이다.FIG. 2 is a cross sectional view of an essential part including the deposition chamber of FIG.

도3은 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 다른 형태의 코팅막 형성 장치를 도시하는 주요부 단면도이다.Fig. 3 is a cross sectional view of an essential part showing a coating film forming apparatus of another embodiment according to the first embodiment of the present invention.

도4는 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 또 다른 형태의 코팅막 형성 장치를 도시하는 주요부 단면도이다.4 is a cross sectional view of an essential part showing a coating film forming apparatus of yet another embodiment according to the first embodiment of the present invention.

도5는 본 발명의 제1 실시예 및 제1 비교예에 있어서의 가스 배리어성을 나타내는 특성도이다.Fig. 5 is a characteristic diagram showing gas barrier properties in the first example and the first comparative example of the present invention.

도6은 본 발명의 제2 실시 형태에 관한 코팅막 형성 장치를 도시하는 주요부 단면도이다.6 is a sectional view of principal parts showing a coating film forming apparatus according to a second embodiment of the present invention.

[부호의 설명][Description of the code]

1 : 회전식 진공 밀봉 기구1: rotary vacuum sealing mechanism

2 : 회전 반2: half turn

11 : 배기관11: exhaust pipe

12a : 도전 재료로 이루어지는 관부(도전관부)12a: pipe portion (conductive tube portion) made of a conductive material

12b : 절연 재료로 이루어지는 관부(절연관부)12b: pipe part made of an insulating material (insulated pipe part)

21 : 성막 챔버21: deposition chamber

27 : 외부 전극27: external electrode

30 : 원기둥 형상 스페이서30: cylindrical shape spacer

32 : 챔버 헤드 부재32: chamber head member

34 : 가스 공급관34 gas supply pipe

35 : 고주파 전원35: high frequency power supply

39 : 벌집형 도체(통기성과 도전성을 갖는 전계 차폐 부재)39: honeycomb conductor (field shield member having breathability and conductivity)

40 : 적층 금속 메쉬(통기성과 도전성을 갖은 전계 차폐 부재)40: laminated metal mesh (field shield member having breathability and conductivity)

41 : 배플(통기성과 도전성을 갖는 전계 차폐 부재)41: baffle (field shield member having breathability and conductivity)

B : 패트 보틀B: Pat bottle

이하에, 본 발명에 관한 코팅막 형성 장치의 실시예를 도면을 기초로 하여 상세하게 설명한다. 또한, 이 실시예에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Below, the Example of the coating film forming apparatus which concerns on this invention is described in detail based on drawing. In addition, this invention is not limited by this Example.

(제1 실시 형태)(1st embodiment)

도1은 제1 실시 형태에 관한 코팅막 형성 장치를 도시하는 평면도, 도2는 도1의 성막 챔버를 포함하는 주요부 단면도이다.1 is a plan view showing a coating film forming apparatus according to the first embodiment, and FIG. 2 is a cross sectional view of an essential part including the film forming chamber of FIG.

도1에 도시하는 바와 같이, 코팅막 형성 장치의 회전식 진공 밀봉 기구(1)는, 고정 반(盤)(도시하지 않음) 위에 예를 들어 반시계 방향으로 회전하는 회전 반(2)을 구비하고 있다. 이 회전 반(2)의 외주측면에는, 방사 형상으로 배열된 복수의 배기관(11)이 연결되고, 또한 이들 배기관(11)의 선단부에 성막 챔버(21)가 각각 연결되어 있다. 상기 회전식 진공 밀봉 기구(1)에 있어서, 상기 회전 반(2)에는 상기 배기관(11)의 개수에 대응한 수의 배기 구멍이 관통되고, 그들 배기 구멍의 일단부는 상기 배기관(11)에 연통되고, 타단부는 고정 반에 형성된 소정수의 긴 구멍(예를 들어 4개의 긴 구멍)을 통해 4단계의 진공도를 갖는 진공 펌프(도시하지 않음)에 연통되는 구조를 갖는다.As shown in FIG. 1, the rotary vacuum sealing mechanism 1 of the coating film forming apparatus is provided with the rotating disk 2 which rotates, for example counterclockwise, on a fixed counter (not shown). . A plurality of exhaust pipes 11 arranged in a radial shape are connected to the outer circumferential side surface of the rotary disk 2, and a film formation chamber 21 is connected to the distal end of these exhaust pipes 11, respectively. In the rotary vacuum sealing mechanism (1), the rotary half (2) passes through a number of exhaust holes corresponding to the number of the exhaust pipes (11), and one end of these exhaust holes communicates with the exhaust pipe (11). The other end has a structure in communication with a vacuum pump (not shown) having a vacuum degree of four stages through a predetermined number of long holes (for example, four long holes) formed in the fixing plate.

그리고, 도1의 S점에 위치하는 성막 챔버(21)에 피처리물인 용기(예를 들어 패트 보틀 : 이하, 실시 형태에서는「패트 보틀(B)」이라 함)가 도시하지 않은 반송 장치에 의해 반송된 후에 수납된다. 그리고, 상기 회전 반(2)에 의해 반시계 방향으로 회전하면서 성막 챔버(21)로 성막되고, 도1의 F점에서 코팅막인 배리어막이 형성된 패트 보틀(B)이 취출되도록 하고 있다. 여기서, 상기 S점으로부터 이 F점 앞의 배리어막의 성막 위치까지의 사이에, 상기 성막 챔버(21) 내의 진공도는 4개의 존으로 저진공으로부터 고진공으로 서서히 진공도가 높아져, 성막에 적합한 진공도에 도달하도록 하고 있다.And the container which is a to-be-processed object (for example, a plastic bottle: hereafter called "pattern bottle B" in embodiment) by the film-forming chamber 21 located in the S point of FIG. 1 by the conveying apparatus which is not shown in figure It is stored after being conveyed. Then, the plastic bottle B is formed into the film forming chamber 21 while being rotated counterclockwise by the rotating half 2, and the bottle B having the barrier film as a coating film is formed at point F in FIG. Here, from the point S to the film forming position of the barrier film before this point F, the degree of vacuum in the film forming chamber 21 gradually increases from low vacuum to high vacuum in four zones so as to reach a suitable vacuum for film forming. Doing.

다음에, 상기 성막 챔버(21)의 구성의 개략을 도2에 도시한다.Next, an outline of the configuration of the film forming chamber 21 is shown in FIG.

상기 성막 챔버(21)는, 도2에 도시하는 바와 같이 원환 형상 베이스(22) 위에 설치된 상하 단부에 플랜지(23a, 23b)를 갖는 도전 재료로 이루어지는 원통 형상 지지 부재(24)를 구비하고 있고, 챔버 헤드 부재(32)로부터 상단부 플랜지(23a)를 통해 수직 하강되어 있다.The film forming chamber 21 is provided with a cylindrical support member 24 made of a conductive material having flanges 23a and 23b at upper and lower ends provided on the annular base 22, as shown in FIG. It vertically descends from the chamber head member 32 via the upper end flange 23a.

또한, 통 형상의 도전 재료로 이루어지는 외부 전극 본체(25)는 상기 지지 부재(24) 내에 배치되어 있다. 원판 형상을 이루는 도전 재료로 이루어지는 외부 전극 바닥 부재(26)는, 상기 외부 전극 본체(25)의 바닥부에 착탈 가능하게 장착되어 있다. 상기 외부 전극 본체(25) 및 상기 외부 전극 바닥 부재(26)에 의해 배리어막(예를 들어 탄소막)이 형성되는 플라스틱 용기(패트 보틀)(B)를 설치 가능한 크기의 공간을 갖는 바닥이 있는 원통 형상의 외부 전극(27)이 구성되어 있다. 또한, 원판 형상 절연체(28)는 상기 베이스(22)와 상기 외부 전극 바닥 부재(26) 사이에 배치되어 있다.Moreover, the external electrode main body 25 which consists of a cylindrical conductive material is arrange | positioned in the said support member 24. As shown in FIG. The external electrode bottom member 26 made of a disc-shaped conductive material is detachably attached to the bottom of the external electrode main body 25. The bottomed cylinder which has a space of the size which can install the plastic container (pattern bottle) B in which the barrier film (for example, carbon film) is formed by the said external electrode main body 25 and the said external electrode bottom member 26. The external electrode 27 of the shape is comprised. In addition, a disc-shaped insulator 28 is disposed between the base 22 and the external electrode bottom member 26.

또한, 상기 외부 전극 바닥 부재(26), 상기 원판 형상 절연체(28) 및 상기 베이스(22)는, 도시하지 않은 푸셔에 의해, 상기 외부 전극 본체(25)에 대해 일체적으로 상하 이동하여, 상기 외부 전극 본체(25)의 바닥부를 개폐한다. 또한, 바닥부를 개방하는 경우에는, 베이스(22), 절연체(28) 및 외부 전극 바닥 부재(26)의 순으로 제거하도록 해도 좋고, 폐쇄하는 경우에는, 그 반대로 외부 전극 바닥 부재(26), 절연체(28) 및 베이스의 순으로 조립하도록 해도 좋다.In addition, the external electrode bottom member 26, the disc-shaped insulator 28, and the base 22 are vertically moved up and down with respect to the external electrode main body 25 by pushers (not shown). The bottom part of the external electrode main body 25 is opened and closed. In addition, when opening a bottom part, you may remove in order of the base 22, the insulator 28, and the external electrode bottom member 26, and when closing, the external electrode bottom member 26 and the insulator are reversed. (28) and the base may be assembled in this order.

원기둥 형상 스페이서(30)는, 내부에 삽입되는 패트 보틀(B)의 입구부 및 견부에 대응하는 원기둥 및 원뿔대를 조합한 형상을 이루는 공동부(29)를 갖고 있고, 유전체 재료로 구성되어 있다. 이 원기둥 형상 스페이서(30)는, 상기 본체(25)의 상부에 삽입되어 있다.The cylindrical spacer 30 has a cavity 29 which forms the shape which combined the cylinder and truncated cone corresponding to the inlet part and shoulder part of the plastic bottle B inserted in it, and is comprised from dielectric material. This cylindrical spacer 30 is inserted above the main body 25.

이 스페이서(30)는, 이 위에 적재되는 후술하는 환(環) 형상 절연 부재로부터 나사 장착된 나사(도시하지 않음)에 의해 고정되어 있다. 환 형상 절연 부재(31)는, 상기 외부 전극(27) 상면에 그 환 형상 절연 부재(31) 상면이 상기 통 형상 지지 부재(24)의 상부 플랜지(23a)와 동일면이 되도록 적재되어 있다. 이 환 형상 절연 부재(31)의 중공부는, 상기 스페이서(30) 상단부의 패트 보틀(B)의 입구부가 접촉하는 공동부(29)와 동일한 직경을 갖는다.This spacer 30 is fixed by the screw (not shown) which was screwed from the ring-shaped insulating member mentioned later loaded on this. The annular insulating member 31 is mounted on the outer surface of the external electrode 27 such that the upper surface of the annular insulating member 31 is flush with the upper flange 23a of the cylindrical supporting member 24. The hollow part of this annular insulating member 31 has the same diameter as the cavity part 29 which the inlet part of the plastic bottle B of the said spacer 30 upper part contacts.

이와 같이 원기둥 형상 스페이서(30)를 상기 외부 전극(27)에 있어서의 상기 본체(25)의 상부에 삽입하고, 또한 상기 환 형상 절연 부재(31)를 그 스페이서(30) 및 외부 전극(27) 상면에 고정하도록 하고 있다. 이 결과, 패트 보틀(B)을 상기 외부 전극 본체(25)의 바닥부측으로부터 그 내부에 삽입하면, 그 패트 보틀(B)의 입구부 상단부가 상기 환 형상 절연 부재(31)의 중공부 내에, 패트 보틀(B)의 입구부 및 견부가 상기 스페이서(30)의 공동부(29) 내에, 이것 이외의 패트 보틀(B) 부분이 상기 외부 전극(27) 내에 각각 수납된다.Thus, the cylindrical spacer 30 is inserted in the upper part of the said main body 25 in the said external electrode 27, and the said annular insulating member 31 is the spacer 30 and the external electrode 27 further. It is fixed to the upper surface. As a result, when the plastic bottle B is inserted into the inside from the bottom side of the outer electrode main body 25, the upper end of the inlet portion of the plastic bottle B is in the hollow portion of the annular insulating member 31, The inlet and the shoulder of the plastic bottle B are accommodated in the cavity 29 of the spacer 30, and a portion of the plastic bottle B other than this is accommodated in the external electrode 27, respectively.

상기 원기둥 형상 스페이서(30)를 구성하는 유전체 재료로서는, 예를 들어 비유전률이 1.5 내지 20인 플라스틱 또는 세라믹을 들 수 있다. 플라스틱으로서는, 다양한 것을 이용할 수 있지만, 특히 고주파 손실이 낮고(예를 들어 tanθ가 20 × 10-4 이하), 내열성이 우수한 폴리테트라플루오로에틸렌과 같은 불소계 수지가 바람직하다. 세라믹으로서는, 고주파 손실이 낮은(예를 들어 tanθ가 20 × 10-4 이하) 알루미나, 스테어타이트 또는 기계 가공성이 높은 마코르가 바람직하다.As a dielectric material which comprises the said cylindrical spacer 30, the plastic or ceramic which has a dielectric constant of 1.5-20 is mentioned, for example. Various kinds of plastics can be used, but fluorine-based resins such as polytetrafluoroethylene having a low high frequency loss (for example, tanθ of 20 × 10 -4 or less) and excellent heat resistance are preferable. As the ceramic, alumina, steartite, or makor having high machinability with low high frequency loss (for example, tanθ of 20 × 10 −4 or less) is preferable.

다음에, 성막 챔버(21)를 구성하는 챔버 헤드 부재(32)에 대해 설명한다. 여기서, 도전 재료로 이루어지는 직사각형 블럭 형상의 챔버 헤드 부재(32)는, 그 측면에는, 상기 배기관(11)이 방전실(33)과 연통하도록 연결되어 있다.Next, the chamber head member 32 constituting the film forming chamber 21 will be described. Here, the rectangular block-shaped chamber head member 32 made of a conductive material is connected to the side surface such that the exhaust pipe 11 communicates with the discharge chamber 33.

그리고, 챔버 헤드 부재(32)로부터는, 전술한 원통 형상 지지 부재(24)가 상 부 플랜지(23a)를 통해 수직 하강되어 있고, 상기 환 형상 절연 부재(31)의 상면측에 위치하고, 또한 접지되어 있다. 이 챔버 헤드 부재(32)는, 바닥면으로부터 측면(도2의 좌측면)에 걸쳐 단면 대략 L형의 방전실(33)이 형성되어 있다. 이 방전실(33)은, 그 바닥부측에서 상기 환 형상 절연 부재(31)의 중공부[패트 보틀(B)의 삽입시에는 그 입구부]와 연통되어 있다.From the chamber head member 32, the cylindrical support member 24 described above is vertically lowered through the upper flange 23a, is located on the upper surface side of the annular insulating member 31, and is grounded. It is. The chamber head member 32 is formed with a discharge chamber 33 having an approximately L-shaped cross section from the bottom surface to the side surface (left surface in Fig. 2). The discharge chamber 33 is in communication with the hollow portion (the inlet portion thereof when the plastic bottle B is inserted) of the annular insulating member 31 on the bottom side thereof.

가스 분출 부재인 가스 공급관(34)은, 상기 챔버 헤드 부재(32)를 관통하여 상기 외부 전극(27)의 외부 전극 본체(25) 내에 있어서의 패트 보틀(B)의 바닥부 부근에 삽입되어 있다.The gas supply pipe 34 which is a gas blowing member penetrates through the chamber head member 32 and is inserted near the bottom of the plastic bottle B in the outer electrode main body 25 of the outer electrode 27. .

이 가스 공급관(34)은, 예를 들어 알루미늄, 스테인레스강 등의 금속과 같은 도전 재료로 제작해도, 예를 들어 알루미나 등의 세라믹과 같은 절연 재료로 제작해도 좋다. 단, 가스 공급관(34)은 접지된 상기 챔버 헤드 부재(32)를 관통하기 때문에, 도전 재료로 제작한 경우에는 챔버 헤드 부재(32)와 함께 접지된다.The gas supply pipe 34 may be made of a conductive material such as metal such as aluminum or stainless steel, or may be made of an insulating material such as ceramic such as alumina. However, since the gas supply pipe 34 passes through the grounded chamber head member 32, the gas supply pipe 34 is grounded together with the chamber head member 32 when it is made of a conductive material.

상기 외부 전극(27)과 후술하는 접지 전극 사이에 전계를 부여하기 위한 전계 부여 수단인 예를 들어 주파수 13.56 ㎒의 고주파 전력을 출력하는 고주파 전원(35)은, 케이블(36) 및 급전 단자(37)를 통해 상기 외부 전극(27)의 본체(25) 측면에 접속되어 있다. 정합기(38)는 상기 고주파 전원(35)과 상기 급전 단자(37) 사이의 상기 케이블(36)에 개재 장착되어 있다.The high frequency power supply 35 that outputs high frequency power at a frequency of 13.56 MHz, for example, as an electric field applying means for providing an electric field between the external electrode 27 and the ground electrode described later, includes a cable 36 and a power supply terminal 37. Is connected to the side of the main body 25 of the external electrode 27. The matching unit 38 is interposed in the cable 36 between the high frequency power supply 35 and the power supply terminal 37.

상기 배기관(11)은, 예를 들어 스테인레스강 등의 금속과 같은 도전 재료로 제작되고, 상기 챔버 헤드 부재(32)에 연결하는 것에 의해 접지된다.The exhaust pipe 11 is made of a conductive material such as metal such as stainless steel, for example, and is grounded by connecting to the chamber head member 32.

여기서, 본 발명에 관한 통기성과 도전성을 갖는 전계 차폐 부재인 벌집형 도체(39)는, 상기 배기관(11) 내의 소망 위치에 배치되어 있다. 이 벌집형 도체(39)를 소망 위치에 설치하는 것에 의해, 배기관(11) 내에 발생시키는 방전 영역을 상기 벌집형 도체(39)로 규제하여, 회전식 진공 밀봉 기구(1)에까지 도달하는 것을 저지할 수 있게 된다. 이 결과, 방전 불안정, 전원 이상의 유발을 방지할 수 있다.Here, the honeycomb conductor 39, which is an electric field shielding member having air permeability and conductivity according to the present invention, is disposed at a desired position in the exhaust pipe 11. By installing this honeycomb conductor 39 in a desired position, the discharge region generated in the exhaust pipe 11 is regulated by the honeycomb conductor 39 to prevent reaching the rotary vacuum sealing mechanism 1. It becomes possible. As a result, discharge instability and induction of power failure can be prevented.

또한, 상기 배기관(11) 내로의 벌집형 도체(39)의 배치 위치를 바꾸는[즉 실효적으로 접지 전극으로서 기능하는 배기관(11)의 길이를 바꿈] 것에 의해 외부 전극과 접지 전극의 면적비(S2/S1)를 제어하는 것이 가능해진다.Further, by changing the arrangement position of the honeycomb conductor 39 into the exhaust pipe 11 (that is, changing the length of the exhaust pipe 11 effectively serving as the ground electrode), the area ratio of the external electrode and the ground electrode (S2). / S1) can be controlled.

여기서, S1은 플라스틱 용기가 수납되는 상기 외부 전극(27) 내면의 면적, S2은 접지 전극의 면적, 즉 상기 챔버 헤드 부재(32)의 방전실(33) 내면 및 벌집형 도체(39)로부터 챔버 헤드 부재(32)까지의 배기관(11) 내면의 면적을 합산한 면적이다. 또한, 상기 가스 공급관(34)이 도전 재료로 제작되는 경우에는 접지 전극으로서 기능하는 점으로부터, 그 챔버 헤드 부재(32) 및 외부 전극(27) 내에 위치하는 가스 공급관(34)의 외주 면적도 S2로서 합산된다.Here, S1 represents an area of the inner surface of the external electrode 27 in which the plastic container is accommodated, S2 represents an area of the ground electrode, that is, an inner surface of the discharge chamber 33 of the chamber head member 32 and the chamber from the honeycomb conductor 39. This is the area obtained by adding up the areas of the inner surface of the exhaust pipe 11 to the head member 32. In addition, when the gas supply pipe 34 is made of a conductive material, the outer peripheral area of the gas supply pipe 34 positioned in the chamber head member 32 and the external electrode 27 is also S2 from the point of functioning as a ground electrode. Are added together.

다음에, 전술한 도1 및 도2에 도시하는 배리어막 형성 장치를 이용하여 내면 배리어막 피복 플라스틱 용기의 제조 방법을 설명한다.Next, the manufacturing method of an inner side barrier film coating plastic container is demonstrated using the barrier film forming apparatus shown in FIG. 1 and FIG. 2 mentioned above.

도1에 나타내는 S점에 있어서, 도시하지 않은 푸셔에 의해 성막 챔버(21)의 베이스(22), 외부 전극 바닥 부재(26) 및 원판 형상 절연체(28)를 일체로 하여, 외부 전극 본체(25)의 바닥부를 개방한다. 계속해서, 개방한 외부 전극 본체(25)의 개방된 바닥부측으로부터, 패트 보틀(B)의 입구부측으로부터 삽입한다. 그 후, 도 시하지 않은 푸셔에 의해 외부 전극 본체(25)의 바닥부측에 외부 전극 바닥 부재(26), 원판 형상 절연체(28) 및 베이스(22)를 이 순서로 일체로 하여 폐쇄한다. 이에 의해, 도2에 도시하는 바와 같이 패트 보틀(B)의 입구부 상단부를 상기 환 형상 절연 부재(31)의 중공부 내에, 패트 보틀(B)의 입구부 및 견부를 상기 스페이서(30)의 공동부(29) 내에, 이것 이외의 패트 보틀(B) 부분을 상기 외부 전극(27) 내에 각각 접촉하도록 수납한다. 이때, 상기 패트 보틀(B)은 챔버 헤드 부재(32)의 방전실(33)에 그 입구부를 통해 연통된다.At S point shown in FIG. 1, the base 22 of the film-forming chamber 21, the external electrode bottom member 26, and the disk-shaped insulator 28 were integrated by the pusher which is not shown in figure, and the external electrode main body 25 Open the bottom of the). Then, it inserts from the inlet part side of the plastic bottle B from the open bottom part side of the opened external electrode main body 25. As shown in FIG. Then, the external electrode bottom member 26, the disk-shaped insulator 28, and the base 22 are integrally closed in this order by the pusher which is not shown in figure at the bottom side of the external electrode main body 25. FIG. As a result, as shown in FIG. 2, the upper end of the inlet portion of the plastic bottle B is disposed in the hollow portion of the annular insulating member 31, and the inlet portion and the shoulder portion of the plastic bottle B are separated from each other in the spacer 30. In the cavity part 29, the part of the plastic bottle B other than this is accommodated in contact with the said external electrode 27, respectively. At this time, the plastic bottle (B) is in communication with the discharge chamber 33 of the chamber head member 32 through its inlet.

계속해서, 패트 보틀(B)이 수납된 성막 챔버(21)를 회전식 진공 밀봉 기구(1)의 회전 반(2)에 의해 반시계 방향으로 회전시킨다. 그리고, 도1에 있어서, 배리어막이 형성된 패트 보틀을 취출하는 F점 앞의 배리어막의 성막 위치까지의 사이에, 배기관(11)을 통해 상기 성막 챔버(21)의 챔버 헤드 부재(32)의 방전실(33) 및 상기 패트 보틀(B) 내외의 가스를 배기하고, 그들 공간의 진공도를 회전식 진공 밀봉 기구(1)의 4개의 존으로 저진공으로부터 고진공으로 서서히 상승시킨다. 계속해서, 도2에 있어서, 배리어막 생성 가스(예를 들어 매질 가스)를 가스 공급관(34)에 공급하고, 그 하단부로부터 패트 보틀(B) 내에 분출시킨다. 이 매질 가스는, 또한 패트 보틀(B)의 입구부를 향해 흘러간다. 계속해서, 가스 공급량과 가스 배기량의 균형을 취하여, 상기 패트 보틀(B) 내부를 소정의 가스 압력으로 설정한다.Subsequently, the film forming chamber 21 in which the plastic bottle B is accommodated is rotated counterclockwise by the rotating half 2 of the rotary vacuum sealing mechanism 1. 1, the discharge chamber of the chamber head member 32 of the film forming chamber 21 via the exhaust pipe 11 between the exhaust film 11 and the film forming position of the barrier film in front of the point F for taking out the bottle with the barrier film formed thereon. (33) and the gas inside and outside the said plastic bottle B are exhausted, and the vacuum degree of those spaces is gradually raised from low vacuum to high vacuum to four zones of the rotary vacuum sealing mechanism 1. As shown in FIG. Subsequently, in FIG. 2, the barrier film generating gas (for example, medium gas) is supplied to the gas supply pipe 34, and ejected into the plastic bottle B from the lower end thereof. This medium gas also flows toward the inlet of the plastic bottle B. Then, the gas supply amount and the gas exhaust amount are balanced, and the inside of the plastic bottle B is set to a predetermined gas pressure.

계속해서, 고주파 전원(35)으로부터 예를 들어 주파수 13.56 ㎒의 고주파 전력을 케이블(36), 정합기(38) 및 급전 단자(37)를 통해 상기 외부 전극(27)의 본 체(25)에 공급한다. 이때, 상기 외부 전극(27)과, 접지 전극인 상기 챔버 헤드 부재(32) 및 벌집형 도체(39)의 배치 위치로부터 챔버 헤드 부재(32)까지의 배기관(11) 부분과의 사이에서 방전이 발생하여 플라즈마가 생성된다. 이와 같은 플라즈마의 생성에 의해, 매질 가스가 상기 플라즈마로 해리되고, 성막종 이온이 상기 외부 전극(27) 내의 패트 보틀(B) 내면에 퇴적되어 막질이 양호한 배리어막인 탄소막이 고속으로 형성되는 것에 의해 내면 배리어막 피복 패트 보틀이 제조된다. 이 후, 성막 챔버(21)가 회전식 진공 밀봉 기구(1)의 회전 반(2)에 의해 도1의 F점에 도달하면 성막 챔버(21)로부터 내면 배리어막 피복 패트 보틀이 취출된다. 또한, 가스 공급관(34)이 도전 재료로 제작되는 경우에는, 접지 전극으로서 기능한다.Subsequently, a high frequency power of, for example, a frequency of 13.56 MHz is transmitted from the high frequency power supply 35 to the main body 25 of the external electrode 27 through the cable 36, the matching unit 38, and the feed terminal 37. Supply. At this time, a discharge is generated between the external electrode 27 and a part of the exhaust pipe 11 from the arrangement position of the chamber head member 32 and the honeycomb conductor 39 which are ground electrodes to the chamber head member 32. To generate a plasma. By the generation of such plasma, the medium gas is dissociated into the plasma, and the film species ions are deposited on the inner surface of the plastic bottle B in the external electrode 27 so that the carbon film, which is a barrier film having good film quality, is formed at high speed. An inner surface barrier coating plastic bottle is manufactured by this. After that, when the film forming chamber 21 reaches the point F of FIG. 1 by the rotating disk 2 of the rotary vacuum sealing mechanism 1, the inner surface barrier film covering plastic bottle is taken out from the film forming chamber 21. In addition, when the gas supply pipe 34 is made of a conductive material, it functions as a ground electrode.

상기 매질 가스로서는 탄화수소를 기본으로 하고, 예를 들어 메탄, 에탄, 프로판, 부탄, 펜탄, 헥산 등의 알칸류; 에틸렌, 프로필렌, 부텐, 펜텐, 부타디엔 등의 알켄류; 아세틸렌 등의 알킨류; 벤젠, 톨루엔, 크실렌, 인덴, 나프탈렌, 페난트렌 등의 방향족 탄화수소류; 시클로프로판, 시클로헥산 등의 시클로파라핀류; 시클로 펜텐, 시클로헥센 등의 시클로올레핀류; 메틸알코올, 에틸알코올 등의 산소 함유 탄화수소류; 메틸아민, 에틸아민, 아닐린 등의 질소 함유 탄화수소류 등을 사용할 수 있고, 그 밖의 일산화탄소, 이산화탄소 등도 사용할 수 있다. 또한, 플라즈마의 안정화, 플라즈마 특성의 적정화를 위해 Ar, He 등의 희가스 등을 매질 가스에 혼합하는 경우도 있다.As said medium gas, it is based on hydrocarbon, For example, Alkanes, such as methane, an ethane, a propane, butane, a pentane, hexane; Alkenes such as ethylene, propylene, butene, pentene and butadiene; Alkynes such as acetylene; Aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene, indene, naphthalene and phenanthrene; Cycloparaffins such as cyclopropane and cyclohexane; Cycloolefins such as cyclopentene and cyclohexene; Oxygen-containing hydrocarbons such as methyl alcohol and ethyl alcohol; Nitrogen containing hydrocarbons, such as methylamine, ethylamine, and aniline, etc. can be used, A carbon monoxide, carbon dioxide, etc. can also be used. In addition, in order to stabilize the plasma and to optimize the plasma characteristics, rare gases such as Ar and He may be mixed with the medium gas.

상기 배리어막 생성 가스로서는, 상기 매질 가스 외에, SiOx의 성막을 위한 헥사메틸디실록산과 같은 실록산과 산소의 혼합 가스를 이용할 수 있다.As the barrier film generating gas, a mixed gas of siloxane and oxygen such as hexamethyldisiloxane for forming SiO x can be used in addition to the medium gas.

상기 고주파 전력은, 일반적으로 13.56 ㎒, 100 내지 1000 W인 것이 이용되지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 또한, 이들 전력의 인가는 연속적이라도 간헐적(펄스식)이라도 좋다.Although the said high frequency electric power is generally used at 13.56 MHz and 100-1000 W, it is not limited to this. The application of these powers may be continuous or intermittent (pulse type).

상기 패트 보틀(B) 내면으로의 배리어막의 형성시에, 전술한 패트 보틀(B)이 수납되는 외부 전극(27) 내면의 면적(S1)과 접지 전극의 면적(S2)의 면적비(S2/S1)를 1 이상으로 제어하는 것이 바람직하다. 즉, 상기 배기관(11) 내로의 벌집형 도체(39)의 배치 위치를 바꾸는 것은, 실효적으로 접지 전극으로서 기능하는 배기관(11)의 길이를 바꾸는 것으로 되어, 원하는 면적비로 제어함으로써 방전 영역을 제어할 수 있다. 단, 이 면적비(S2/S1)를 필요 이상으로 크게 하면, 방전 영역이 지나치게 넓어져 파워 효율이 저하하여 패트 보틀 내면에 형성된 배리어막의 배리어성이 저하될 우려가 있다. 이로 인해, 상기 면적비(S2/S1)의 상한은 5로 하는 것이 바람직하다. 특히 바람직하게는 면적비(S2/S1)의 상한은 3.5로 하는 것이 좋다.At the time of forming the barrier film on the inner surface of the plastic bottle B, the area ratio S2 / S1 of the area S1 of the inner surface of the external electrode 27 in which the above-described plastic bottle B is accommodated and the area S2 of the ground electrode S2 / S1. ) Is preferably controlled to one or more. That is, changing the arrangement position of the honeycomb conductor 39 into the exhaust pipe 11 effectively changes the length of the exhaust pipe 11 serving as the ground electrode, and controls the discharge area by controlling the desired area ratio. can do. However, if this area ratio S2 / S1 is made larger than necessary, the discharge region may be too wide, resulting in a decrease in power efficiency, which may lower the barrier property of the barrier film formed on the inner surface of the plastic bottle. For this reason, it is preferable that the upper limit of said area ratio S2 / S1 shall be five. Especially preferably, the upper limit of area ratio S2 / S1 shall be 3.5.

이상, 제1 실시 형태에 따르면 회전식 진공 밀봉 기구(1)의 회전 반(2)에 배기관(11)을 통해 복수 연결된 성막 챔버(21) 내에 패트 보틀(B)을 수납하고, 그 패트 보틀(B)의 내면에 배리어막을 연속적으로 형성할 때, 배기관(11) 내에 통기성과 도전성을 갖는 전계 차폐 부재인 벌집형 도체(39)를 배치하고, 도전 재료로 이루어지는 챔버 헤드 부재(32)뿐만 아니라 상기 벌집형 도체(39)의 배치 위치로부터 챔버 헤드 부재(32)까지의 배기관(11) 부분도 접지 전극으로서 기능시켜 방전 영역을 챔버 헤드 부재(32)로부터 이것에 연통하는 배기관(11)까지 넓히는 것에 의해, 큰 플라즈마 시이스 전압을 외부 전극(27)과 챔버 헤드 부재(32) 및 상기 배기관(11) 부분을 포함하는 접지 전극과의 사이에 인가할 수 있고, 플라즈마 내에서 해리된 매질 가스와 같은 배리어막 생성 가스로부터의 높은 에너지의 플러스 이온을 상기 패트 보틀(B) 내면에 입사할 수 있기 때문에, 패트 보틀(B) 내면에 막질이 양호한 탄소막과 같은 배리어막을 고속으로 형성할 수 있다.As mentioned above, according to 1st Embodiment, the plastic bottle B is accommodated in the film-forming chamber 21 connected to the rotating disk 2 of the rotary vacuum sealing mechanism 1 via the exhaust pipe 11, and the plastic bottle B When the barrier film is continuously formed on the inner surface of the c), a honeycomb conductor 39, which is a breathable and conductive electric field shielding member, is disposed in the exhaust pipe 11, and the honeycomb as well as the chamber head member 32 made of a conductive material are provided. The part of the exhaust pipe 11 from the arrangement position of the mold conductor 39 to the chamber head member 32 also functions as a ground electrode, thereby widening the discharge region from the chamber head member 32 to the exhaust pipe 11 communicating with it. A large plasma sheath voltage may be applied between the external electrode 27 and the chamber head member 32 and a ground electrode comprising a portion of the exhaust pipe 11 and a barrier such as dissociated medium gas in the plasma. Membrane producing gas Positive ions of high energy from the fat bottle (B) because it can be made incident on the inner surface, Patrick bottle (B) and the film quality can be formed on the inner surface with the barrier film is a high speed, such as the preferred carbon film.

또한, 도전 재료로 이루어지는 배기관(11) 내부의 소망 위치에 벌집형 도체(39)를 배치하는 것에 의해, 배기관(11) 내에 발생시키는 방전 영역을 벌집형 도체(39)로 규제하여 회전식 진공 밀봉 기구(1)에까지 도달하는 것을 저지할 수 있기 때문에 방전 불안정, 전원 이상의 유발을 방지할 수 있다.In addition, by disposing the honeycomb conductor 39 at a desired position inside the exhaust pipe 11 made of a conductive material, the discharge region generated in the exhaust pipe 11 is regulated by the honeycomb conductor 39 to rotate the vacuum sealing mechanism. Since reaching to (1) can be prevented, instability of discharge and occurrence of abnormal power supply can be prevented.

또한, 배기관(11) 내에 발생시키는 방전 영역을 벌집형 도체(39)로 규제하여 회전식 진공 밀봉 기구(1)에까지 도달하는 것을 저지할 수 있기 때문에, 인접하는 다른 성막 챔버의 상기 회전식 진공 밀봉 기구까지 도달한 방전(플라즈마)과 서로 간섭하는 것이 방지되어 방전 불안정, 전원 이상의 유발을 방지할 수 있다.In addition, since the discharge region generated in the exhaust pipe 11 can be restricted by the honeycomb conductor 39 to reach the rotary vacuum sealing mechanism 1, the discharge region 11 to the rotary vacuum sealing mechanism of another adjacent film forming chamber can be prevented. Interference with the discharge (plasma) that has arrived can be prevented, thereby preventing discharge instability and causing power failure.

또한, 상기 배기관(11) 내로의 벌집형 도체(39)의 배치 위치를 바꾸는[즉 실효적으로 접지 전극으로서 기능하는 배기관(11)의 길이를 바꿈] 것에 의해 전술한 패트 보틀이 수납되는 외부 전극(27) 내면의 면적(S1)과 접지 전극의 면적(S2)의 면적비(S2/S1)를 1 이상으로 제어하는 것에 의해, 패트 보틀(B) 내면에 막질이 양호한 탄소막과 같은 배리어막을 고속으로 형성할 수 있다.In addition, by changing the arrangement position of the honeycomb conductor 39 into the exhaust pipe 11 (that is, changing the length of the exhaust pipe 11 that effectively serves as a ground electrode), the external electrode in which the above-mentioned pet bottle is accommodated is stored. (27) By controlling the area ratio S2 / S1 of the area S1 of the inner surface and the area S2 of the ground electrode to 1 or more, a barrier film such as a carbon film having a good film quality on the inner surface of the plastic bottle B at high speed can be controlled. Can be formed.

또한, 공동부(29)를 갖는 유전체 재료로 이루어지는 원기둥 형상 스페이 서(30)를 외부 전극(27)의 상부에 삽입, 고정하고, 패트 보틀(B) 중 적어도 입구부로부터 견부를 상기 스페이서(30)의 공동부(29) 내에 그 내면에 접촉시켜 수납시키는 것에 의해, 상기 패트 보틀(B)의 견부로부터 하측의 몸통부 내면뿐만 아니라, 상기 유전체 재료로 이루어지는 스페이서(30)와 대향하는 패트 보틀(B)의 입구부로부터 견부의 내면에 균일 두께로 막질이 양호한 탄소막과 같은 배리어막을 형성할 수 있다.In addition, a cylindrical spacer 30 made of a dielectric material having a cavity 29 is inserted into and fixed to the upper portion of the external electrode 27, and the shoulder 30 is formed from at least an inlet portion of the plastic bottle B by the shoulder 30. The inner surface of the cavity (29) in contact with the inner surface thereof to be accommodated, so that not only the inner surface of the lower body portion from the shoulder of the plastic bottle (B) but also the plastic bottle facing the spacer 30 made of the dielectric material ( A barrier film such as a carbon film having a good film quality with a uniform thickness can be formed on the inner surface of the shoulder from the inlet of B).

따라서, 패트 보틀(B) 내면에 막질이 양호한 탄소막과 같은 배리어막을 고속으로 형성하는 것이 가능한 높은 신뢰성의 플라스틱 용기 내면으로의 배리어막 형성 장치를 제공할 수 있다.Therefore, the barrier film forming apparatus to the inner surface of the plastic container of high reliability which can form the barrier film, such as a carbon film with favorable film quality on the inner surface of the plastic bottle B at high speed, can be provided.

또한, 외부로부터의 산소의 투과, 내부(예를 들어 탄산 음료수)로부터의 이산화탄소의 투과를 방지한 배리어성이 우수한 내면 배리어막 피복 패트 보틀을 제조할 수 있다.In addition, an inner barrier film-coated plastic bottle excellent in barrier property which prevents permeation of oxygen from the outside and permeation of carbon dioxide from the inside (for example, carbonated beverage) can be produced.

여기서, 본 발명에서 얻어지는 배리어막이라 함은, 다이아몬드(탄소 원자의 결합이 SP3 결합)에 비해, 그라파이트(탄소 원자의 결합이 SP2 결합)의 배합이 많은, 미소 경도 계측법에 있어서 10 ㎬ 이하의 연질인 탄소막 및, 방전 전압을 높게 하여 그라파이트의 배합을 적게 하여 미소 경도 계측법에 있어서 10 내지 20 ㎬의 경질인 탄소막 소위 다이아몬드라이크 카본막(DLC막)도 포함된다. 또한, SiO2 혹은 SiOx막도 포함된다. 또한, 이들에 C, 메탈 원자, N, O 등의 이종(異種) 원자를 극미량 내지 수％ 정도의 비율로 혼입한 막도 포함된다. 또한, 여기서는 배리어막을 예로 하고 있지만, 내약품성이나 내마모성 향상을 목적으로 하는 막도 본 발명의 코팅막으로서 포함된다.Here, the barrier film obtained in the present invention is 10 kPa or less in the microhardness measuring method in which graphite (bonds of carbon atoms are SP 2 bonds) is more compounded than diamonds (bonds of carbon atoms are SP 3 bonds). The soft carbon film and the discharge voltage are made high, the graphite mixture is reduced, and the hard carbon film so-called diamond-like carbon film (DLC film) of 10 to 20 GPa is also included in the microhardness measurement method. Also included are SiO 2 or SiO x films. Moreover, the film | membrane which mixed hetero atoms, such as C, a metal atom, N, O, in these at the ratio of an extremely small quantity about several% is also contained in these. In addition, although a barrier film is taken here as an example, the film | membrane aimed at improving chemical resistance and abrasion resistance is also included as a coating film of this invention.

여기서, 본 발명에서 배리어막이 내면에 피복 처리되는 용기라 함은, 패트 보틀에 대표되는 소위 플라스틱 용기 외에 유리 용기, 세라믹 용기, 종이 용기 등을 예시할 수 있다.Here, in the present invention, the container in which the barrier film is coated on the inner surface thereof can be exemplified by a glass container, a ceramic container, a paper container, etc. in addition to the so-called plastic container represented by the plastic bottle.

상기 용기로서는, 예를 들어 탄산 음료 등의 휘발성 액체를 충전하는 플라스틱 용기, 연료 등을 충전하는 플라스틱제의 자동차용 연료 용기 등을 들 수 있다. 또한, 그것 이외의 용기로서는, 예를 들어 의약품용 플라스틱 용기, 식품용 플라스틱 용기를 들 수 있다. 또한 투과성이 높고 가스 배리어성을 필요로 하는 기체의 용기도 들 수 있다. 또한, 플라스틱 배관 등도 본 발명에서는 용기와 마찬가지이며, 내면의 코팅에 본 발명을 적용할 수 있다.As said container, the plastic container filled with volatile liquids, such as a carbonated drink, the fuel container for automobiles made from plastics filled with fuel, etc. are mentioned, for example. Moreover, as a container other than that, the plastic container for pharmaceuticals and the plastic container for foodstuffs are mentioned, for example. Moreover, the container of the gas with high permeability and requiring gas barrier property is also mentioned. In addition, plastic piping etc. are the same as that of a container in this invention, and this invention can be applied to the coating of an inner surface.

또한, 전술한 제1 실시 형태에서는 배기관(11) 내에 배치하는 통기성과 도전성을 갖는 전계 차폐 부재로서 벌집형 도체를 이용했지만, 이하의 도3, 도4를 참조하여 설명하는 바와 같이 다양한 형태의 것을 사용하는 것이 가능하다. 또한, 도3, 도4에 있어서 전술한 도2와 동일한 부재는 동일 부호를 붙이고 설명을 생략한다.In addition, although the honeycomb type | mold conductor was used as the electric field shielding member which has the air permeability and electroconductivity arrange | positioned in the exhaust pipe 11 in the above-mentioned 1st Embodiment, the thing of various forms as demonstrated with reference to FIG. 3, FIG. 4 below. It is possible to use. In addition, in FIG.3, FIG.4, the same member as FIG.2 mentioned above attaches | subjects the same code | symbol, and abbreviate | omits description.

여기서, 도3은 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 다른 형태의 코팅막 형성 장치를 도시하는 주요부 단면도이다.3 is a cross sectional view of an essential part showing another embodiment of the coating film forming apparatus according to the first embodiment of the present invention.

(1) 도3에 도시하는 바와 같이, 통기성과 도전성을 갖는 전계 차폐 부재인 복수매, 예를 들어 3매 적층한 금속 메쉬(40)는, 상기 배기관(11) 내의 소망 위치 에 배치되어 있다. 이와 같은 구성에 있어서, 상기 배기관(11) 내로의 적층 금속 메쉬(40)의 배치 위치를 바꾸는[즉 실효적으로 접지 전극으로서 기능하는 배기관(11)의 길이를 바꿈] 것에 의해 외부 전극과 접지 전극의 면적비(S2/S1)를 제어하는 것이 가능하고, 그 면적비(S2/S1)를 1 이상으로 하는 것이 바람직하다. 단, 전술한 바와 같이 방전 영역이 지나치게 넓어지는 것에 의한 패트 보틀 내면에 형성된 배리어막의 배리어성의 저하를 고려하여, 상기 면적비(S2/S1)의 상한을 5로 하는 것이 바람직하다.(1) As shown in Fig. 3, a plurality of stacked metal meshes 40, for example, three sheets, which are breathable and conductive electric field shielding members, are disposed at a desired position in the exhaust pipe 11. In such a configuration, the external electrode and the ground electrode are changed by changing the arrangement position of the laminated metal mesh 40 into the exhaust pipe 11 (that is, changing the length of the exhaust pipe 11 effectively serving as the ground electrode). It is preferable that the area ratio S2 / S1 can be controlled, and the area ratio S2 / S1 is set to 1 or more. However, as mentioned above, the upper limit of the area ratio S2 / S1 is preferably set to 5 in consideration of the deterioration of the barrier property of the barrier film formed on the inner surface of the plastic bottle due to the excessively wide discharge region.

여기서, 도4는 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 또 다른 형태의 코팅막 형성 장치를 도시하는 주요부 단면도이다.4 is a cross sectional view of an essential part showing a coating film forming apparatus of still another embodiment according to the first embodiment of the present invention.

(2) 도4에 도시하는 바와 같이, 통기성과 도전성을 갖는 전계 차폐 부재인 도전 재료로 이루어지는 배플(41)은, 상기 배기관(11) 내의 소망 위치에 배치되어 있다. 이와 같은 구성에 있어서, 상기 배기관(11) 내로의 배플(41)의 배치 위치를 바꾸는[즉 실효적으로 접지 전극으로서 기능하는 배기관(11)의 길이를 바꿈] 것에 의해 외부 전극과 접지 전극의 면적비(S2/S1)를 제어하는 것이 가능하고, 그 면적비(S2/S1)를 1 이상으로 하는 것이 바람직하다. 단, 전술한 바와 같이 방전 영역이 지나치게 넓어지는 것에 의한 패트 보틀 내면에 형성된 배리어막의 배리어성의 저하를 고려하여, 상기 면적비(S2/S1)의 상한을 5로 하는 것이 바람직하다.(2) As shown in Fig. 4, a baffle 41 made of a conductive material which is a field shielding member having air permeability and conductivity is disposed at a desired position in the exhaust pipe 11. In such a configuration, the area ratio of the external electrode and the ground electrode is changed by changing the arrangement position of the baffle 41 into the exhaust pipe 11 (that is, changing the length of the exhaust pipe 11 effectively serving as the ground electrode). It is possible to control (S2 / S1), and it is preferable to make the area ratio (S2 / S1) 1 or more. However, as mentioned above, the upper limit of the area ratio S2 / S1 is preferably set to 5 in consideration of the deterioration of the barrier property of the barrier film formed on the inner surface of the plastic bottle due to the excessively wide discharge region.

이하, 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 구체적인 실시예에 대해 설명하지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, although the specific Example which concerns on the 1st Embodiment of this invention is described, this invention is not limited to this.

(제1 실시예)(First embodiment)

전술한 도1 및 도2에 도시하는 배리어막 형성 장치를 이용하여, 패트 보틀(B)의 입구부 상단부를 상기 환 형상 절연 부재(31)의 중공부 내에, 패트 보틀(B)의 입구부 및 견부를 상기 스페이서(30)의 공동부(29) 내에, 이것 이외의 패트 보틀(B) 부분을 상기 외부 전극(27) 내에 수납하고, 알루미늄제의 가스 공급관(34)을 이용하고, 또한 배기관(11) 내로의 벌집형 도체(39)의 배치 위치를 바꾸어 패트 보틀(B)이 수납되는 외부 전극(27) 내면의 면적(S1)과 접지 전극의 면적(S2)의 면적비(S2/S1)를 제어하고, 하기 조건으로 상기 패트 보틀(B) 내면에 탄소막을 형성했다.Using the barrier film forming apparatus shown in FIG. 1 and FIG. 2 described above, the inlet portion of the plastic bottle B is formed in the hollow portion of the annular insulating member 31 in the upper end portion of the plastic bottle B. The shoulder part is accommodated in the cavity 29 of the spacer 30, and a part of the plastic bottle B other than this is contained in the external electrode 27, and the gas supply pipe 34 made of aluminum is used, and the exhaust pipe ( 11) The area ratio S2 / S1 of the area S1 of the inner surface of the external electrode 27 in which the plastic bottle B is accommodated and the area S2 of the ground electrode S2 / S1 are changed by changing the arrangement position of the honeycomb conductor 39 into the inside. It controlled and formed the carbon film in the inside of the said plastic bottle B on the following conditions.

<탄소막의 형성 조건><Formation Conditions of Carbon Film>

ㆍ원기둥 형상 스페이서(30) : 호토베일[상품명, 스미낀 세라믹스(SUMIKIN CERAMICS)제]로 제작ㆍ Cylindrical spacer (30): Manufactured by Hot Vale (trade name, made by SUMIKIN CERAMICS)

ㆍ면적비(S2/S1) = 1 내지 3.5Area ratio (S2 / S1) = 1 to 3.5

ㆍ매질 : C2H2 가스ㆍ Medium: C 2 H 2 Gas

ㆍ매질의 가스 유량 : 124 sccmㆍ Gas flow rate of medium: 124 sccm

ㆍ패트 보틀(B) 및 챔버 헤드 부재(32) 내의 가스 압력 : 0.3 TorrGas pressure in the plastic bottle B and the chamber head member: 0.3 Torr

ㆍ외부 전극(27)에 공급하는 고주파 전력 : 13 ㎒, 1600 Wㆍ High frequency power supplied to the external electrode 27: 13 ㎒, 1600 W

ㆍ성막 시간 : 3초간ㆍ Deposition time: 3 seconds

(제1 비교예)(Comparative Example 1)

전술한 도1 및 도2에 도시하는 배리어막 형성 장치를 이용하여, 패트 보 틀(B)의 입구부 상단부를 상기 환 형상 절연 부재(31)의 중공부 내에, 패트 보틀(B)의 입구부 및 견부를 상기 스페이서(30)의 공동부(29) 내에, 이것 이외의 패트 보틀(B) 부분을 상기 외부 전극(27) 내에 수납하고, 또한 벌집형 도체를 챔버 헤드 부재(32)에 있어서의 수직 상승으로부터 배기관(11)측으로 연장되는 코너부에 배치하여 배기관을 방전 영역으로 기능시키지 않고, 외부 전극(27) 내면의 면적(S1)과 접지 전극의 면적(S2)의 면적비(S2/S1)를 0.7로 한 것 이외, 제1 실시예와 동일한 방법으로 조작하여 패트 보틀 내면에 탄소막을 형성했다.Using the barrier film forming apparatus shown in FIG. 1 and FIG. 2 described above, the inlet portion of the plastic bottle B is formed in the hollow portion of the annular insulating member 31 in the upper end portion of the plastic bottle B. FIG. And a shoulder in the cavity 29 of the spacer 30, and a portion of the plastic bottle B other than this in the external electrode 27, and a honeycomb conductor in the chamber head member 32. The area ratio (S2 / S1) of the area S1 of the inner surface of the external electrode 27 and the area S2 of the ground electrode without disposing the exhaust pipe as a discharge area by placing the corner portion extending from the vertical rise toward the exhaust pipe 11 side. A carbon film was formed on the inner surface of the plastic bottle by operating in the same manner as in the first embodiment except that was set to 0.7.

제1 실시예 및 제1 비교예에 있어서 면적비(S2/S1)가 다른 값으로 탄소막을 형성한 패트 보틀(B)의 몸통부로부터 30 ㎠의 샘플을 각각 잘라내어, 산소 투과율 측정 장치(Modern Control사제, 상품명 : 0XTRAN)를 이용하여 산소 투과율을 측정하고, 두께 20 ㎚인 탄소막으로 환산한 산소 투과율로부터 상대적인 산소 배리어성을 구했다. 이들 결과를 도5에 나타낸다.In the first embodiment and the first comparative example, samples of 30 cm 2 were cut out from the trunk portion of the plastic bottle B in which the carbon film was formed at different values of the area ratio S2 / S1, respectively, and an oxygen transmittance measuring device (manufactured by Modern Control, Inc.) , Brand name: 0XTRAN), the oxygen transmittance was measured, and the relative oxygen barrier property was determined from the oxygen transmittance converted into a carbon film having a thickness of 20 nm. These results are shown in FIG.

도5로부터 명백한 바와 같이 배기관(11)을 실효적으로 방전 영역으로서 기능시키고, 외부 전극(27) 내면의 면적(S1)과 접지 전극의 면적(S2)의 면적비(S2/S1)를 1 이상으로 한 제1 실시예에서는, 배기관(11)을 방전 영역으로서 기능시키지 않고, 상기 면적비(S2/S1)를 0.7로 한 제1 비교예에 비해 가스 배리어성이 양호, 즉 막질이 양호한 탄소막을 패트 보틀(B) 내면에 형성할 수 있는 것을 알 수 있다.As apparent from Fig. 5, the exhaust pipe 11 effectively functions as a discharge region, and the area ratio S2 / S1 of the area S1 of the inner surface of the external electrode 27 to the area S2 of the ground electrode is 1 or more. In the first embodiment, a carbon film having a better gas barrier property, that is, a better film quality, is compared to the first comparative example in which the area ratio S2 / S1 is 0.7 without the exhaust pipe 11 functioning as a discharge region. (B) It turns out that it can form on the inner surface.

(제2 실시 형태)(2nd embodiment)

제2 실시 형태에 관한 플라스틱 용기 내면으로의 배리어막 형성 장치는, 도6에 도시하는 배기관 구조가 다른 것 이외, 실질적으로 전술한 도1 및 도2와 동일한 구조를 갖는다. 또한, 제1 실시 형태의 장치와 동일한 구성 부재에 대해서는, 동일한 부호를 붙이고 그 설명은 생략한다.The barrier film forming apparatus on the inner surface of the plastic container according to the second embodiment has a structure substantially the same as that of FIGS. 1 and 2 described above, except that the exhaust pipe structure shown in FIG. 6 is different. In addition, about the structural member similar to the apparatus of 1st Embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and the description is abbreviate | omitted.

이 배리어막 형성 장치는, 도6에 도시하는 바와 같이 배기관(11)이 스테인레스강 등의 금속과 같은 도전 재료로 이루어지는 관부(도전관부)(12a)와 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 등의 합성 수지, 알루미나 등의 세라믹과 같은 절연 재료로 이루어지는 관부(절연관부)(12b)를 서로 연결하여 구성되어 있다. 이 도전관부(12a)측은, 성막 챔버(21)의 챔버 헤드 부재(32)의 측면에 그 부재(32)의 방전실(33)과 연통하도록 연결되고, 상기 절연관부(12b)측은 회전식 진공 밀봉 기구(1)의 회전 반(2)에 연결되어 있다.As shown in Fig. 6, the barrier film forming apparatus includes a pipe portion (conductive tube portion) 12a made of a conductive material such as metal such as stainless steel, a synthetic resin such as polyethylene, polypropylene, alumina, etc. The pipe parts (insulated pipe parts) 12b made of an insulating material such as ceramics are connected to each other. The conductive tube portion 12a side is connected to the side surface of the chamber head member 32 of the film forming chamber 21 so as to communicate with the discharge chamber 33 of the member 32, and the insulating tube portion 12b side is rotatable vacuum sealed. It is connected to the rotary disk 2 of the mechanism 1.

상기 배기관(11)에 차지하는 도전관부(12a)의 길이를 바꾸는[즉 실효적으로 접지 전극으로서 기능하는 배기관(11)의 길이를 바꿈] 것에 의해, 전술한 패트 보틀(B)이 수납되는 외부 전극(27) 내면의 면적(S1)과 접지 전극의 면적(S2)의 면적비(S2/S1)를 제어할 수 있고, 그 면적비(S2/S1)를 1 이상으로 하는 것이 바람직하다. 단, 전술한 바와 같이 방전 영역이 지나치게 넓어지는 것에 의한 패트 보틀 내면에 형성된 배리어막의 배리어성의 저하를 고려하여, 상기 면적비(S2/S1)의 상한을 5, 보다 바람직하게는 3.5로 하는 것이 바람직하다.By changing the length of the conductive pipe portion 12a occupying the exhaust pipe 11 (that is, changing the length of the exhaust pipe 11 functioning effectively as a ground electrode), the external electrode in which the above-mentioned plastic bottle B is accommodated is stored. (27) It is preferable that the area ratio S2 / S1 of the area S1 of the inner surface and the area S2 of the ground electrode can be controlled, and the area ratio S2 / S1 is 1 or more. However, as mentioned above, the upper limit of the area ratio S2 / S1 is preferably 5, more preferably 3.5, in consideration of the barrier property of the barrier film formed on the inner surface of the plastic bottle due to the excessively wide discharge region. .

이상, 제2 실시 형태에 따르면 도1에 도시하는 회전식 진공 밀봉 기구(1)의 회전 반(2)에 배기관(11)을 통해 복수 연결된 성막 챔버(21) 내에 패트 보틀(B)을 수납하고, 그 패트 보틀(B)의 내면에 배리어막을 연속적으로 형성할 때, 배기관(11)을 도전관부(12a)와 절연관부(12b)로 구성하고, 상기 도전관부(12a)를 성막 챔버(21)의 챔버 헤드 부재(32)의 측면에 그 부재(32)의 방전실(33)과 연통하도록 연결하고, 도전 재료로 이루어지는 챔버 헤드 부재(32)뿐만 아니라 상기 배기관(11)의 도전관부(12a)도 접지 전극으로서 기능시켜 방전 영역을 챔버 헤드 부재(32)로부터 이것에 연통하는 배기관(11)의 도전관부(12a)까지 넓히는 것에 의해, 큰 플라즈마 시이스 전압을 외부 전극(27)과 챔버 헤드 부재(32) 및 상기 배기관(11) 부분을 포함하는 접지 전극 사이에 인가할 수 있고, 플라즈마 내에서 해리된 매질 가스와 같은 배리어막 생성 가스로부터의 높은 에너지의 플러스 이온을 상기 패트 보틀(B) 내면에 입사할 수 있기 때문에, 패트 보틀(B) 내면에 막질이 양호한 탄소막과 같은 배리어막을 고속으로 형성할 수 있다.As mentioned above, according to 2nd Embodiment, the plastic bottle B is accommodated in the film-forming chamber 21 connected in multiple numbers via the exhaust pipe 11 to the rotating disk 2 of the rotary vacuum sealing mechanism 1 shown in FIG. When the barrier film is continuously formed on the inner surface of the plastic bottle B, the exhaust pipe 11 is composed of the conductive pipe portion 12a and the insulated tube portion 12b, and the conductive tube portion 12a of the film forming chamber 21 is formed. It is connected to the side of the chamber head member 32 to communicate with the discharge chamber 33 of the member 32, and not only the chamber head member 32 made of a conductive material but also the conductive pipe portion 12a of the exhaust pipe 11 By functioning as a ground electrode and extending the discharge region from the chamber head member 32 to the conductive pipe portion 12a of the exhaust pipe 11 communicating with it, a large plasma sheath voltage is applied to the external electrode 27 and the chamber head member ( 32) and a ground electrode comprising a portion of the exhaust pipe 11, Since high-energy positive ions from the barrier film-forming gas, such as dissociated medium gas, can be incident on the inner surface of the plastic bottle B, a barrier film such as a carbon film having good film quality is formed on the inner surface of the plastic bottle B. It can be formed at high speed.

또한, 상기 배기관(11)을 도전관부(12a)와 절연관부(12b)로 구성하는 것에 의해, 방전 영역을 배기관(11)의 도전관부(12a) 내로 규제하여 회전식 진공 밀봉 기구(1)에까지 도달하는 것을 저지할 수 있기 때문에 방전 불안정, 전원 이상의 유발을 방지할 수 있다.In addition, by configuring the exhaust pipe 11 as the conductive pipe portion 12a and the insulated tube portion 12b, the discharge region is restricted into the conductive pipe portion 12a of the exhaust pipe 11 to reach the rotary vacuum sealing mechanism 1. In order to prevent this from happening, it is possible to prevent discharge instability and power supply abnormality.

또한, 상기 배기관(11)에 차지하는 도전관부(12a)의 길이를 바꾸는[즉 실효적으로 접지 전극으로서 기능하는 배기관(11)의 길이를 바꿈] 것에 의해, 전술한 패트 보틀(B)이 수납되는 외부 전극(27) 내면의 면적(S1)과 접지 전극의 면적(S2)의 면적비(S2/S1)를 1 이상으로 제어하는 것에 의해, 패트 보틀(B) 내면에 막질이 양호한 탄소막과 같은 배리어막을 고속으로 형성할 수 있다.In addition, by changing the length of the conductive pipe portion 12a occupying the exhaust pipe 11 (that is, effectively changing the length of the exhaust pipe 11 functioning as a ground electrode), the above-mentioned plastic bottle B is accommodated. By controlling the area ratio S2 / S1 between the area S1 of the inner surface of the external electrode 27 and the area S2 of the ground electrode to 1 or more, a barrier film such as a good carbon film is formed on the inner surface of the plastic bottle B. It can be formed at high speed.

따라서, 제2 실시 형태에 따르면 제1 실시 형태와 마찬가지로, 패트 보틀(B) 내면에 막질이 양호한 탄소막과 같은 배리어막을 고속으로 형성하는 것이 가능한 높은 신뢰성의 플라스틱 용기 내면으로의 배리어막 형성 장치를 제공할 수 있다.Therefore, according to the second embodiment, similarly to the first embodiment, a barrier film forming apparatus is provided on the inner surface of a plastic container of high reliability that can form a barrier film such as a carbon film having good film quality on the inner surface of the plastic bottle B at high speed. can do.

또한, 외부로부터의 산소의 투과, 내부(예를 들어 탄산 음료수)로부터의 이산화탄소의 투과를 방지한 배리어성이 우수한 내면 배리어막 피복 패트 보틀을 제조할 수 있다.In addition, an inner barrier film-coated plastic bottle excellent in barrier property which prevents permeation of oxygen from the outside and permeation of carbon dioxide from the inside (for example, carbonated beverage) can be produced.

이하, 본 발명의 제2 실시 형태에 관한 구체적인 실시예에 대해 설명하지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, although the specific Example which concerns on 2nd Embodiment of this invention is described, this invention is not limited to this.

(제2 실시예)(2nd Example)

전술한 도1 및 도6에 도시하는 배리어막 형성 장치를 이용하여, 패트 보틀(B)의 입구부 상단부를 상기 환 형상 절연 부재(31)의 중공부 내에, 패트 보틀(B)의 입구부 및 견부를 상기 스페이서(30)의 공동부(29) 내에, 이것 이외의 패트 보틀(B) 부분을 상기 외부 전극(27) 내에 수납하고, 알루미늄제의 가스 공급관(34)을 이용하고, 또한 배기관(11)을 구성하는 도전관부(12a)의 길이를 바꾸어 패트 보틀(B)이 수납되는 외부 전극(27) 내면의 면적(S1)과 접지 전극의 면적(S2)의 면적비(S2/S1)를 제어하고, 하기 조건으로 상기 패트 보틀(B) 내면에 탄소막을 형성했다.Using the barrier film forming apparatus shown in FIG. 1 and FIG. 6 described above, the inlet portion of the plastic bottle B is formed in the hollow portion of the annular insulating member 31 in the upper end portion of the plastic bottle B. The shoulder part is accommodated in the cavity 29 of the spacer 30, and a part of the plastic bottle B other than this is contained in the external electrode 27, and the gas supply pipe 34 made of aluminum is used, and the exhaust pipe ( 11, the area ratio S2 / S1 of the area S1 of the inner surface of the external electrode 27 to which the plastic bottle B is accommodated, and the area S2 of the ground electrode S2 / S1 are controlled by changing the length of the conductive pipe part 12a which comprises 11). And the carbon film was formed in the inside of the said bottle (B) on condition of the following.

<탄소막의 형성 조건><Formation Conditions of Carbon Film>

ㆍ원기둥 형상 스페이서(30) : 호토베일(상품명, 스미낀 세라믹스제)로 제작ㆍ cylindrical spacer 30: made of hot veil (trade name, made of ceramics)

ㆍ면적비(S2/S1) = 1 내지 3.5Area ratio (S2 / S1) = 1 to 3.5

ㆍ매질 : C2H2 가스ㆍ Medium: C 2 H 2 Gas

ㆍ매질의 가스 유량 : 124 sccmㆍ Gas flow rate of medium: 124 sccm

ㆍ패트 보틀(B) 및 챔버 헤드 부재(32) 내의 가스 압력 : 0.3 TorrGas pressure in the plastic bottle B and the chamber head member: 0.3 Torr

ㆍ외부 전극(27)에 공급하는 고주파 전력 : 13 ㎒, 1600 Wㆍ High frequency power supplied to the external electrode 27: 13 ㎒, 1600 W

ㆍ성막 시간 : 3초간ㆍ Deposition time: 3 seconds

제2 실시예에 있어서 면적비(S2/S1)가 다른 값으로 탄소막을 형성한 패트 보틀(B)의 몸통부로부터 30 ㎠의 샘플을 각각 잘라내어, 산소 투과율 측정 장치(Modern Control사 상품명 : OXTRAN)를 이용하여 산소 투과율을 측정하고, 두께 20 ㎚인 탄소막으로 환산한 산소 투과율로부터 상대적인 산소 배리어성을 구했다. 그 결과, 제1 실시예와 마찬가지로, 배기관(11)을 방전 영역으로서 기능시키지 않은 경우에 비해 가스 배리어성이 양호, 즉 막질이 양호한 탄소막을 패트 보틀(B) 내면에 형성할 수 있었다.In Example 2, 30 cm <2> samples were each cut out from the trunk | drum of the plastic bottle B which formed the carbon film by the value of which area ratio S2 / S1 differs, and the oxygen transmittance measuring apparatus (Modern Control brand name: OXTRAN) is cut out. The oxygen transmittance was measured, and the relative oxygen barrier property was calculated | required from the oxygen transmittance converted into the carbon film of thickness 20nm. As a result, as in the first embodiment, a carbon film having a good gas barrier property, that is, a good film quality, could be formed on the inner surface of the plastic bottle B as compared with the case where the exhaust pipe 11 was not functioned as a discharge region.

또한, 전술한 제1, 제2 실시예에서는 가스 공급관(34)을 알루미늄으로 제작한 것을 이용했지만, 알루미나와 같은 세라믹으로 제작한 가스 공급관으로 바꾸어도 가스 배리어성이 약간 내려가지만, 손색이 없는 양호한 막질을 갖는 탄소막을 패트 보틀(B) 내면에 형성할 수 있었다. 이것은, 세라믹으로 제작한 가스 공급관은 접지 전극으로서 기능하지 않아, 상기 면적비(S2/S1)가 약간 내려가는 것에 기인한다.In addition, although the gas supply pipe 34 made from aluminum was used in the above-mentioned 1st and 2nd Example, even if it replaced with the gas supply pipe made from ceramics, such as alumina, gas barrier property will fall slightly, but the film quality is inferior. A carbon film having a film was formed on the inner surface of the plastic bottle (B). This is due to the fact that the gas supply pipe made of ceramic does not function as a ground electrode and the area ratio S2 / S1 is slightly lowered.

전술한 제1, 제2 실시 형태에서는, 전계 부여 수단으로서 외부 전극에 접속되는 고주파 전원을 이용했지만, 예를 들어 외부 전극에 접속된 바이어스 전원과 가스 공급관(내부 전극)에 접속된 고주파 전원에 의해 전계 부여 수단을 구성하고, 가스 배기관을 접지 전위로 해도 좋다. 이와 같은 구성에 따르면, 배리어막인 탄소막의 형성 속도를 향상시키는 것이 가능해진다.In the above-described first and second embodiments, although the high frequency power source connected to the external electrode is used as the electric field applying means, for example, the bias power source connected to the external electrode and the high frequency power source connected to the gas supply pipe (inner electrode) are used. The electric field applying means may be constituted, and the gas exhaust pipe may be at a ground potential. According to such a structure, it becomes possible to improve the formation speed of the carbon film which is a barrier film.

이상, 도2에 도시하는 성막 챔버(21)를 이용하여, 본 발명의 용기 내면으로의 코팅막 형성 장치에 대해 설명했지만, 성막 챔버는 이것에 한정되는 것은 아니고, 예를 들어 회전식 진공 밀봉 기구(1)와 성막 챔버(21)를 연통하는 배기관(11) 내에 플라즈마가 넓어지는 성막 챔버이면 어떠한 경우라도 적용할 수 있다. 또한, 본 발명에서는, 내면에 코팅막을 형성하는 성막 챔버로 했지만, 용기의 내면뿐만 아니라 외면에 코팅하는 성막 챔버로 해도 좋다.As mentioned above, although the coating film forming apparatus to the inner surface of the container of this invention was demonstrated using the film-forming chamber 21 shown in FIG. 2, the film-forming chamber is not limited to this, For example, the rotary vacuum sealing mechanism 1 Can be applied to any of the film forming chambers in which the plasma is widened in the exhaust pipe 11 communicating with the film forming chamber 21. In addition, in this invention, although it used as the film forming chamber which forms a coating film in an inner surface, it is good also as a film forming chamber which coats not only the inner surface of a container but an outer surface.

이상 상세하게 서술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 회전식 진공 밀봉 기구와의 관계에 의해 방전 불안정, 전원 이상의 유발을 방지할 수 있는 동시에, 회전식 진공 밀봉 기구에 배기관을 통해 연통된 복수의 성막 챔버에 있어서, 플라스틱 용기 내면에 막질이 양호한 탄소막과 같은 배리어막을 고속도로 형성하는 것이 가능한 양산성이 우수한 플라스틱 용기의 내면으로의 배리어막 형성 장치를 제공할 수 있다.As described in detail above, according to the present invention, in the plurality of film forming chambers which can prevent the instability of discharge and the occurrence of power failure due to the relationship with the rotary vacuum sealing mechanism, and communicate with the rotary vacuum sealing mechanism via an exhaust pipe. The barrier film forming apparatus for the inner surface of the plastic container excellent in mass productivity which can form a barrier film, such as a carbon film with favorable film | membrane on the inner surface of a plastic container, can be provided.

또한, 본 발명에 따르면 회전식 진공 밀봉 기구와의 관계에 의해 방전 불안정, 전원 이상의 유발을 방지할 수 있는 동시에, 회전식 진공 밀봉 기구에 배기관을 통해 연통된 복수의 성막 챔버에 있어서, 막질이 양호한 탄소막과 같은 배리어막이 내면에 형성되고, 산소 및 이산화탄소에 대한 배리어성이 우수한 음료용 패트 보틀 등에 유용한 플라스틱 용기를 제조할 수 있는 방법을 제공할 수 있다.In addition, according to the present invention, a carbon film having a good film quality can be prevented from causing instability of discharge and abnormal power supply due to a relationship with the rotary vacuum sealing mechanism, and in a plurality of film formation chambers communicating with the rotary vacuum sealing mechanism via an exhaust pipe. The same barrier film is formed in the inner surface, and the method which can manufacture the plastic container useful for the beverage bottle etc. which is excellent in the barrier property with respect to oxygen and carbon dioxide can be provided.

Claims (18)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 피처리물인 용기의 내면에 플라즈마 방전에 의해 코팅막을 성막하기 위한 성막 챔버를 구비하고,A film formation chamber for depositing a coating film by plasma discharge on an inner surface of the container to be processed, 상기 성막 챔버는, 용기가 삽입되었을 때에 그 용기를 둘러싸는 크기의 공동을 갖는 외부 전극과, 이 용기의 입구부가 위치하는 측의 상기 외부 전극의 단부면에 절연 부재를 통해 장착되고 배기관이 연결되는 동시에 접지되는 도전성의 챔버 헤더 부재와, 상기 외부 전극 내의 상기 용기 내에 상기 챔버 헤더 부재측으로부터 삽입되고 코팅막 생성 가스를 분출하기 위한 가스 분출 부재와, 상기 외부 전극과 접지된 상기 챔버 헤더 부재 및 배기관과의 사이에 전계를 부여하기 위한 전계 부여 수단을 구비하고, 상기 배기관은 도전 재료로 이루어지고, 상기 성막 챔버로부터 소망 거리 이격된 내부에 통기성과 도전성을 갖는 전계 차폐 부재가 배치되어 있고,The deposition chamber is mounted via an insulating member on an end face of an external electrode having a cavity sized to surround the container when the container is inserted, and an end surface of the external electrode on the side where the inlet of the container is located, and an exhaust pipe is connected to the container. A conductive chamber header member that is simultaneously grounded, a gas ejection member inserted from the chamber header member side into the container in the outer electrode and for ejecting a coating film-producing gas, the chamber header member and an exhaust pipe grounded with the outer electrode; An electric field imparting means for imparting an electric field therebetween, wherein the exhaust pipe is made of a conductive material, and an electric field shielding member having air permeability and conductivity is disposed in a spaced apart distance from the film forming chamber by a desired distance, 상기 소망 거리는 상기 용기가 수납되는 상기 외부 전극 내면의 면적을 S1, 상기 챔버 헤더 부재의 내면 및 상기 전계 차폐 부재로부터 상기 챔버 헤더 부재까지의 배기관의 내면으로 구성되는 접지 전극의 면적을 S2로 하면, 그들의 면적비(S2/S1)가 1 이상이 되도록 설정되는 것을 특징으로 하는, 내면 코팅막 용기의 제조 장치.If the desired distance is an area of the inner surface of the outer electrode in which the container is stored, S1, an inner surface of the chamber header member and an inner surface of the exhaust pipe from the electric field shield member to the chamber header member, S2, The area ratio S2 / S1 is set to one or more, The manufacturing apparatus of the inner surface coating film container characterized by the above-mentioned. 제13항에 있어서, 상기 전계 차폐 부재는 벌집 구조 또는 메쉬 형상을 갖는 것을 특징으로 하는, 내면 코팅막 용기의 제조 장치. The manufacturing apparatus of the inner coating film container according to claim 13, wherein the electric field shield member has a honeycomb structure or a mesh shape. 제13항에 있어서, 면적비(S2/S1)는 5 이하가 되도록 설정되는 것을 특징으로 하는, 내면 코팅막 용기의 제조 장치. The manufacturing apparatus of the inner surface coating film container of Claim 13 which is set so that area ratio (S2 / S1) may be 5 or less. 제13항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 성막 챔버가 복수개 구비되고, The film forming chamber according to any one of claims 13 to 15, 상기 복수개의 성막 챔버는 회전식 진공 밀봉 기구에 배기관을 통해 연통되는 것을 특징으로 하는, 내면 코팅막 용기의 제조 장치.And said plurality of film forming chambers are in communication with the rotary vacuum sealing mechanism through an exhaust pipe. 제13항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 코팅막은 배리어막인 것을 특징으로 하는, 내면 코팅막 용기의 제조 장치.The apparatus for producing an inner coating film container according to any one of claims 13 to 15, wherein the coating film is a barrier film. 제13항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 용기는 플라스틱 용기인 것을 특징으로 하는, 내면 코팅막 용기의 제조 장치.The manufacturing apparatus of the inner coating film container as described in any one of Claims 13-15 characterized by the said container being a plastic container.
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010095011A1 (en) * 2009-02-18 2010-08-26 Council Of Scientific & Industrial Research Process to deposit diamond like carbon as protective coating on inner surface of a shaped object.
JP6532450B2 (en) * 2016-12-06 2019-06-19 株式会社アルバック Deposition method
CN111745948B (en) * 2019-11-15 2022-04-19 浙江舒康科技有限公司 Film covering process for segmented pulp bottle blank and production process for segmented pulp bottle blank
CN115613004A (en) * 2021-07-12 2023-01-17 北京印刷学院 Plastic pipe with coated inner wall and preparation method thereof

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002194538A (en) * 2000-12-27 2002-07-10 Shibaura Mechatronics Corp Apparatus for forming multilayer film
JP2004124253A (en) * 2002-06-07 2004-04-22 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Rotary film-forming equipment
JP2004189322A (en) * 2002-12-13 2004-07-08 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Apparatus for forming barrier layer on inner surface of plastic container and manufacturing method for plastic container having inner surface coated with barrier layer
JP2005163062A (en) * 2003-11-28 2005-06-23 Mitsubishi Shoji Plast Kk Plasma cvd film deposition apparatus

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1161386A (en) * 1996-01-30 1997-10-08 贝克顿迪金森公司 Apparatus and method for plasma processing
US7166336B1 (en) * 1999-05-19 2007-01-23 Mitsubishi Shoji Plastics Corporation DLC film, DLC-coated plastic container, and method and apparatus for manufacturing DLC-coated plastic container
JP2003293135A (en) * 2002-03-29 2003-10-15 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Apparatus for forming film on inner surface of plastic container, and method for manufacturing plastic container coated with film on inner surface thereof
JP3970246B2 (en) * 2004-01-16 2007-09-05 三菱重工業株式会社 Apparatus for forming barrier film on inner surface of plastic container and manufacturing method of inner surface barrier film-coated plastic container

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002194538A (en) * 2000-12-27 2002-07-10 Shibaura Mechatronics Corp Apparatus for forming multilayer film
JP2004124253A (en) * 2002-06-07 2004-04-22 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Rotary film-forming equipment
JP2004189322A (en) * 2002-12-13 2004-07-08 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Apparatus for forming barrier layer on inner surface of plastic container and manufacturing method for plastic container having inner surface coated with barrier layer
JP2005163062A (en) * 2003-11-28 2005-06-23 Mitsubishi Shoji Plast Kk Plasma cvd film deposition apparatus

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