KR101025215B1 - 기판의 리페어구간 설정방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (7)
- 기판에 페이스트를 도포하는 동시에 노즐과 기판 사이의 갭데이터를 측정하는 제1단계;상기 제1단계에서 측정된 갭데이터가 기준범위를 벗어나는지를 판단하는 제2단계; 및측정된 갭데이터가 기준범위를 벗어나는 구간을 페이스트가 재도포되는 리페어구간으로 설정하는 제3단계를 포함하는 기판의 리페어구간 설정방법.
- 제1항에 있어서,상기 제3단계는,측정된 갭데이터가 기준범위를 벗어나는 구간이 복수이고, 복수의 구간의 사이의 간격이 설정된 간격의 이내인 경우에는, 상기 복수의 구간을 하나의 리페어구간으로 설정하는 것을 특징으로 하는 기판의 리페어구간 설정방법.
- 제1항에 있어서,상기 제3단계는,미리 설정된 간격 내에서 기준범위를 벗어나는 갭데이터가 그리는 변동파형이 설정횟수 이하인 경우에는, 리페어구간으로 설정하지 않는 것을 특징으로 하는 기판의 리페어구간 설정방법.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판과 상기 노즐 사이의 갭데이터가 기준범위를 벗어나는 점을 구간의 시작점이라고 하고, 상기 갭데이터가 기준범위 내로 다시 들어오는 점을 구간의 종료점이라고 할 때,상기 제3단계는 상기 시작점으로부터 상기 종료점까지의 구간을 리페어구간으로 설정하는 것을 특징으로 하는 기판의 리페어구간 설정방법.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판과 상기 노즐 사이의 갭데이터가 기준범위를 벗어나는 점을 구간의 시작점이라고 하고, 상기 갭데이터가 기준범위 내로 다시 들어오는 점을 구간의 종료점이라고 하고, 상기 시작점으로부터 소정의 간격으로 선행되는 점을 토출시작점이라고 할 때,상기 제3단계는 상기 토출시작점으로부터 상기 종료점까지의 구간을 리페어구간으로 설정하는 것을 특징으로 하는 기판의 리페어구간 설정방법.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판과 상기 노즐 사이의 갭데이터가 기준범위를 벗어나는 점을 구간의 시작점이라고 하고, 상기 갭데이터가 기준범위 내로 다시 들어오는 점을 구간의 종료점이라고 하고, 상기 종료점으로부터 소정의 간격으로 후행되는 점을 토출종료점 이라고 할 때,상기 제3단계는 상기 시작점으로부터 상기 토출종료점까지의 구간을 리페어구간으로 설정하는 것을 특징으로 하는 기판의 리페어구간 설정방법.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판과 상기 노즐 사이의 갭데이터가 기준범위를 벗어나는 점을 구간의 시작점이라고 하고, 상기 갭데이터가 기준범위 내로 다시 들어오는 점을 구간의 종료점이라고 하고, 상기 시작점으로부터 소정의 간격으로 선행되는 점을 토출시작점이라고 하고, 상기 종료점으로부터 소정의 간격으로 후행되는 점을 토출종료점이라고 할 때,상기 제3단계는 상기 토출시작점으로부터 상기 토출종료점까지의 구간을 리페어구간으로 설정하는 것을 특징으로 하는 기판의 리페어구간 설정방법.
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