JP2021045744A - 塗布器、塗布装置、及び、塗布方法 - Google Patents
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Abstract
Description
6 シム部材
7 シム検出部
8 シム計測部
30 塗布ユニット
50 半口金
51 スリットノズル
61 切欠部
71 開口部
81 レーザセンサ
W 基板
Claims (8)
- 塗布液が吐出される吐出口が一方向に延びるスリット形状に形成されたスリットノズルを有する塗布器であって、
前記塗布器は、前記スリットノズルで分割される半割形状の半口金を合体させて形成されており、
一定の厚みで形成され、前記半口金の間に介在させることにより前記吐出口の塗布方向におけるスリット幅を調節するシム部材と、
前記半口金の間に介在された前記シム部材の寸法を検出するシム検出部と、
を備えることを特徴とする塗布器。 - 前記シム部材は、前記吐出口から吐出される塗布液の塗布幅を調節可能に形成されており、前記シム検出部で検出されるシム部材の深さ寸法が前記塗布幅と対応させて形成されていることを特徴とする請求項1に記載の塗布器。
- 前記シム検出部は、前記スリットノズルの長手方向延長上に形成され、前記スリット幅よりも大きく形成される開口部と、この開口部内に延伸された前記シム部材が露出されることによって形成され、露出されたシム部材の一部が前記開口部を形成する壁面から離れた状態で前記シム部材が保持されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の塗布器。
- 前記開口部内は、黒色に形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の塗布器。
- 前記シム部材の少なくとも厚み寸法と関連する寸法を有するシム検出用部材を前記シム部材とは別に有しており、前記シム部材に代えて前記シム検出用部材の寸法を検出することにより、前記シム部材の寸法を検出することを特徴とする請求項1に記載の塗布器。
- 前記シム検出用部材は、前記シム部材の厚み寸法と関連する厚み関連部と、この厚み関連部と高さ位置が異なる外壁部とを有しており、前記厚み関連部と前記外壁部との高さ寸法の差が前記塗布幅と対応させて形成されていることを特徴とする請求項5に記載の塗布器。
- 前記請求項1〜6のいずれか一項に記載の塗布器と、
基板が載置されるステージと、
を備え、塗布器のスリットノズルから塗布液を吐出した状態で、前記塗布器と前記ステージとを相対的に移動させることにより基板上に塗布膜を形成する塗布装置であって、
前記シム検出部に露出したシム部材の寸法を検出するシム計測部を備えており、
前記シム計測部により計測されたシム部材の寸法に基づいて、塗布器とステージ上の基板との相対位置が補正されることを特徴とする塗布装置。 - 前記請求項1〜6のいずれか一項に記載の塗布器と、
基板が載置されるステージと、
を備え、塗布器のスリットノズルから塗布液を吐出した状態で、前記塗布器と前記ステージとを相対的に移動させることにより基板上に塗布膜を形成する塗布方法であって、
前記シム検出部に露出したシム部材の寸法をシム計測部で検出し、
前記シム計測部により計測されたシム部材の寸法に基づいて、塗布器とステージ上の基板との相対位置が補正されることを特徴とする塗布方法。
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