KR101010410B1 - 아크릴계 공중합체 및 감방사선성 수지 조성물 - Google Patents
아크릴계 공중합체 및 감방사선성 수지 조성물 Download PDFInfo
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Abstract
Description
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- 하기 화학식 1로 나타내지는 반복 단위 (1), 화학식 2로 나타내지는 반복 단위 (2) 및 화학식 3으로 나타내지는 반복 단위 (3)을 포함하는 것을 특징으로 하는 아크릴계 공중합체.<화학식 1><화학식 2><화학식 3>상기 화학식 2에서, R은 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, R1은 서로 독립적으로 수소 원자, 수산기 또는 -COOR3기를 나타내며, 적어도 1개의 R1은 수소 원자가 아니고, R3은 수소 원자 또는 탄소수 1 내지 4의 직쇄상 또는 분지상 알킬기, 또는 탄소수 3 내지 20의 지환식 알킬기를 나타내며,상기 화학식 3에서, R2는 어느 2개의 R2가 서로 결합하여, 각각 결합하고 있는 탄소 원자와 함께 탄소수 4 내지 20의 2가의 지환식 탄화수소기 또는 그의 유도체를 형성하며, 남은 R2는 탄소수 1 내지 4의 직쇄상 또는 분지상 알킬기 또는 탄소수 4 내지 20의 1가의 지환식 탄화수소기 또는 그의 유도체를 나타낸다.
- 알칼리 불용성 또는 알칼리 난용성이고, 산의 작용에 의해 알칼리 가용성이 되는 산 해리성기 함유 수지와 감방사선성 산 발생제를 함유하며, 상기 산 해리성기 함유 수지가 제1항에 기재된 아크릴계 공중합체인 것을 특징으로 하는 감방사선성 수지 조성물.
- 제2항에 있어서, 상기 산 해리성기 함유 수지에서 적어도 1개의 R1이 수산기인 감방사선성 수지 조성물.
- 제2항에 있어서, 상기 산 해리성기 함유 수지에서 화학식 3 중 -C(R2)3이 1- 메틸-1-시클로펜틸기, 1-에틸-1-시클로펜틸기, 1-메틸-1-시클로헥실기, 및 1-에틸-1-시클로헥실기로부터 선택되는 1개 이상의 기인 감방사선성 수지 조성물.
- 제2항에 있어서, 상기 산 해리성기 함유 수지에서 상기 반복 단위 (1), 상기 반복 단위 (2) 및 상기 반복 단위 (3)의 배합 비율은 전체 반복 단위에 대해서 상기 반복 단위 (1)이 20 내지 70 몰%, 상기 반복 단위 (2)가 5 내지 40 몰%, 상기 반복 단위 (3)이 20 내지 50 몰%인 감방사선성 수지 조성물.
- 제2항에 있어서, 상기 감방사선성 산 발생제가 트리페닐술포늄염 화합물, 4-시클로헥실페닐디페닐술포늄염 화합물, 4-t-부틸페닐디페닐술포늄염 화합물 및 트리(4-t-부틸페닐)술포늄염 화합물로부터 선택된 1개 이상을 포함하는 감방사선성 수지 조성물.
- 제2항에 있어서, 상기 감방사선성 산 발생제가 아크릴계 공중합체 100 중량부에 대해서 0.1 내지 7 중량부 함유하는 감방사선성 수지 조성물.
- 제2항에 있어서, 추가로 산 확산 제어제가 배합되고, 상기 산 확산 제어제로서 질소 함유 유기 화합물을 함유하는 감방사선성 수지 조성물.
- 제2항에 따른 감방사선성 수지 조성물에 방사선을 조사한 후에 가열 처리하고, 현상 후 추가로 포스트 베이킹함으로써 패턴을 형성하는 방법.
- 제2항에 있어서, 상기 산 해리성기 함유 수지에서 화학식 3의 R2는 어느 2개의 R2가 서로 결합하여, 각각이 결합하고 있는 탄소 원자와 함께 탄소수 4 내지 20의 2가의 단환식 지환식 탄화수소기 또는 그의 유도체를 형성하며, 남은 R2는 탄소수 1 내지 4의 직쇄상 또는 분지상 알킬기 또는 탄소수 4 내지 20의 1가의 지환식 탄화수소기 또는 그의 유도체를 나타내는 것을 특징으로 하는 감방사선성 수지 조성물.
- 제10항에 있어서, 상기 탄소수 4 내지 20의 2가의 단환식 지환식 탄화수소기가 시클로펜틸기 또는 시클로헥실기인 것을 특징으로 하는 감방사선성 수지 조성물.
- 하기 화학식 1로 나타내지는 반복 단위 (1), 화학식 2로 나타내지는 반복 단위 (2) 및 화학식 3으로 나타내지는 반복 단위 (3)으로 구성되는 아크릴계 공중합체.<화학식 1><화학식 2><화학식 3>상기 화학식 2에서, R은 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, R1은 서로 독립적으로 수소 원자, 수산기, 또는 -COOR3기를 나타내며, 적어도 1개의 R1은 수소 원자가 아니고, R3은 수소 원자 또는 탄소수 1 내지 4의 직쇄상 또는 분지상 알킬기, 또는 탄소수 3 내지 20의 지환식 알킬기를 나타내고,상기 화학식 3에서, R2는 어느 2개의 R2가 서로 결합하여, 각각이 결합하고 있는 탄소 원자와 함께 탄소수 4 내지 20의 2가의 지환식 탄화수소기 또는 그의 유도체를 형성하며, 남은 R2는 탄소수 1 내지 4의 직쇄상 또는 분지상 알킬기 또는 탄소수 4 내지 20의 1가의 지환식 탄화수소기 또는 그의 유도체를 나타낸다.
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