KR20090105614A - 박막 증착용 마스크 조립체 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 조립체는, 개구부를 구비한 프레임, 패턴 개구부를 가지며 양단이 프레임에 고정되는 복수의 단위 마스크 및 복수의 단위 마스크 사이에 위치하여 단위 마스크 사이의 공간을 차폐하는 복수의 지지대를 포함한다.
Figure P1020080031172
마스크, 단위 마스크, 프레임, 지지대, 증착, 모기판

Description

박막 증착용 마스크 조립체{MASK ASSEMBLY FOR THIN FILM VAPOR DEPOSITION}
본 발명은 박막 증착용 마스크 조립체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 복수의 단위 마스크들을 구비한 마스크 조립체에 관한 것이다.
최근 들어 음극선관의 단점을 극복하여 경량화 및 소형화가 가능한 평판 표시 장치가 각광을 받고 있다. 이러한 평판 표시 장치의 대표적인 예로 유기 발광 표시 장치, 액정 표시 장치 및 플라즈마 디스플레이 패널 등이 있다.
이 평판 표시 장치에 있어, 특히 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위해서는 특정 패턴을 가지는 전극과 발광층 등을 형성해야 하며, 이의 형성법으로서 마스크 조립체를 이용한 증착법이 적용될 수 있다.
공지의 마스크 조립체는 개구부를 구비하는 프레임과, 길이 방향을 따라 인장력이 가해진 상태로 프레임에 나란히 고정되는 띠 모양의 단위 마스크들로 이루어진다. 단위 마스크는 용접에 의해 프레임에 고정되고, 단위 마스크가 고정되는 프레임의 윗면은 평평한 면으로 이루어진다.
단위 마스크는 하나의 기판에 복수의 유기 발광 표시 장치를 제작할 수 있도록 복수의 패턴 개구부를 구비할 수 있다. 각 패턴 개구부는 하나의 표시 장치에 대응하며, 표시 장치에 형성할 전극 또는 발광층과 같은 모양으로 형성된다.
이러한 단위 마스크를 프레임 위에 정렬하고 일정 시간 동안 증착 공정을 실시하다 보면, 단위 마스크의 정렬 오차로 인해 인접한 단위 마스크들 사이에는 간극이 발생할 수 있고, 이 간극을 통해 의도하지 않은 증착이 이루어져 모기판의 부위에 불필요한 전극 또는 발광층 등이 형성될 수 있다.
본 발명은 단위 마스크들 사이의 간극을 통해 증착 물질이 불필요하게 증착되는 것을 억제할 수 있는 박막 증착용 마스크 조립체를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 조립체는, 개구부를 구비한 프레임, 패턴 개구부를 가지며 양단이 프레임에 고정되는 복수의 단위 마스크 및 복수의 단위 마스크 사이에 위치하여 단위 마스크 사이의 공간을 차폐하는 복수의 지지대를 포함한다.
상기 복수의 지지대는 단위 마스크의 하부에서 단위 마스크의 배열 방향을 따라 서로 이격되어 위치할 수 있다.
상기 프레임은 개구부를 사이에 두고 서로 마주하는 한 쌍의 제1 지지부와 한 쌍의 제2 지지부를 포함하고, 지지대의 양단이 한 쌍의 제1 지지부에 고정될 수 있다.
상기 제1 지지부는 복수의 홈을 포함하고, 지지대가 홈에 수용될 수 있다.
상기 지지대의 두께가 홈의 깊이와 같을 수 있다.
상기 지지대의 최상면과 제1 지지부의 최상면이 동일면 상에 위치할 수있다.
상기 단위 마스크의 일면이 프레임 및 지지대와 접촉될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 조립체에서는 단위 마스크 사이의 간극이 차폐됨에 따라, 상기 간극을 통한 불필요한 증착을 억제할 수 있다. 또한, 기판이 자중에 의한 처지거나 이 기판의 처짐에 의한 단위 마스크들의 변형을 억제할 수 있다.
따라서 박막에 대한 정밀한 증착을 가능하게 하여 박막의 품질을 향상시킬 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 조립체를 나타내는 분해 사시도이고, 도 2는 도 1의 박막 증착용 마스크 조립체가 결합된 상태의 평면도이다.
도 1 및도 2를 참조하면, 마스크 조립체(100)는 개구부(201)를 구비하는 프레임(20)과 프레임(20) 위에 나란한 상태로 배열되어 고정되는 단위 마스크들(40) 과, 단위 마스크들(40) 사이에 위치하는 지지대(60)를 포함한다.
프레임(20)은 개구부(201)를 갖는 사각틀 형상으로 형성되며, 단위 마스크(40)는 그 양단이 프레임(20)에 고정된다. 이 때, 단위 마스크(40)는 그 길이 방향(도 1의 y축 방향)으로 인장되어 프레임(20)에 고정되므로, 프레임(20)은 이러한 단위 마스크(40)의 결합에 따른 압력에 의해 변형을 일으키지 않도록 강성이 큰 재료로 형성된다.
프레임(20)은 도 1의 x축 방향을 따라 서로 마주하는 한 쌍의 제1 지지부(22)와, 도 1의 y축 방향을 따라 서로 마주하는 한 쌍의 제2 지지부(24)를 포함하며, 이 한 쌍의 제1 지지부(22)와 제2 지지부(24)는 서로의 연결을 통해 개구부(201)를 형성한다.
제1 지지부(22)와 제2 지지부(24)는 같은 길이로 형성되거나 다른 길이로 형성될 수 있다. 도 1과 도 2에서는 일례로 제1 지지부(22)가 제2 지지부(24)보다 큰길이를 가지로 형성되어 제 1지지부(22)가 프레임(20)의 장변을 구성하고, 제2 지지부(24)가 프레임(20)의 단변을 구성하는 경우를 도시하였다.
한편, 제1 지지부(22)에는 x축 방향을 따라 서로 이격되어 배열된 홈(221)이 형성된다.
단위 마스크들(40)은 길이 방향을 따라 인장력이 가해진 상태로 프레임(20)위에 고정된다. 단위 마스크(40)는 띠 모양을 가지고 일 방향, 일례로 도1의 x축 방향을 따라 나란하게 배열된다. 단위 마스크(40)는 프레임(20)의 제1 지지부(22) 위에 그 양단이 위치하도록 한 상태에서 용접 등의 방법을 통해 고정될 수 있다.
이와 같이 마스크를 분할된 단위 마스크(40)를 이용하여 박막 증착용 마스크조립체를 구성하는 경우, 패턴 정밀도가 우수한 단위 마스크(40)를 선별하여 사용할 수있으므로, 패턴 개구부(401)의 형상 오차를 줄일 수 있다. 그리고개별적으로 단위 마스크(40)의 길이 방향을 따라 균일한 인장력이 가해지므로 단위 마스크(40)의 특정 부위에 변형량이 집중하는 것을 최소화할 수 있다.
단위 마스크(40)에 구비된 패턴 개구부(401)는 표시 장치에 형성될 전극 또는 발광층과 같은 모양으로 형성될 수 있다.
한편, 분할된 복수의 단위 마스크(40)를 프레임(20) 위에 정렬하는 과정에서 인접한 단위 마스크(40) 사이에는 간극이 발생할 있는데, 이 간극이 그대로 단위 마스크(20) 사이에 존재하면 증착 물질이 통과될 수 있다. 통과한 유기물 등의 증착 물질은 증착 공정시 이 간극을 통해 의도하지 않은 증착 결과를 초래하여 표시 장치의 불량을 야기시킬 수 있다. 일례로, 불필요하게 증착된 증착 물질은 최종 제품을 구성하는 기판 상에 형성된 전극들을 단락시키거나 최종 제품을 구성하는 기판과 봉지 기판의 접합을 방해할 수 있다.
본 실시예에서는 단위 마스크들(40) 사이의 간극을 차폐할 수 있도록 인접한단위 마스크(40) 사이에 지지대(60)를 배치한다.
지지대(60)는 복수개로 구비되며, 단위 마스크(40)의 배열 방향, 즉 도 1의 x축 방향을 따라 서로 이격되어 단위 마스크(40) 하부에 배열된다. 이에 의해, 지지대(60)는 복수의 단위 마스크(40)의 하부에서 개구부(201)를 가로질러 위치하면서 개구부(201) 위에 떠 있는 단위 마스크들(40)을 지지한다.
또한, 지지대(60)는 단위 마스크(40) 사이에 위치하되, 지지대(60)의 폭이 인접한 단위 마크스(40)의 패턴 개구부(401) 사이의 간격보다 좁게 형성되어 증착 과정에서 패턴 개구부(401)를 가리지 않도록 한다. 이를 위해 지지대(60)의 양단은 제1 지지부(22)에 형성된 복수의 홈(221) 내에 수용되어 고정될 수 있다.
한편, 지지대(60)는 강성이 큰재료, 일례로 프레임(20)과 동일한 금속으로 형성될 수 있다. 프레임(20)과 지지대(60)가 같은 재료로 형성되면 같은 열팽창 특성을 보이기 때문에 열팽창 차이에 의한 변형을 방지할 수 있다.
도 1에서는 일례로 사각 단면 형상을 가지는 8개의 지지대(60)가 구비되는 경우를 도시하였으나, 지지대(60)의 단면 형상과 개수는 도시한 예에 한정되지 않는다.
도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선을 따라 자른 단면을 나타낸다.
도 3을 참조하면, 마스크 조립체(100)는 프레임(20)의 홈들(201) 내에 지지대들(60)이 수용되고, 이 프레임(20) 및 지지대들(60) 위에 단위 마스크들(40)이 위치한다.
홈(201)의 깊이(D)는 지지대(60)의 두께(T)와 동일하거나 클 수 있다. 이러한 구조에서 지지대(60)가 홈(201)에 고정되면 지지대(60)의 최상면(601)은 제1 지지부(22)의 최상면(222)에서 돌출되지 않을 수 있다. 일례로, 도 3에 도시한 바와 같이 홈(201)의 깊이(D)와 지지대(60)의 두께(T)가 동일하면, 지지대(60)의 최상면(601)과 제1 지지부(22)의 최상면(222)이 동일면 상에 위치할 수 있다.
지지대(60)가 제1 지지부(22)의 홈(201)에 수용되는 구조에서는 프레임(20) 위로 복수의 단위 마스크(40)가 고정될 때, 지지대(60)가 설치된 부위에서 단위 마스크(40)가 제1 지지부(22)의 최상면(222)으로부터 도 3의 z축 방향으로 들뜨지 않고 위치할 수있다. 그 결과, 단위 마스크(40)는 하면이 제2 지지부(22) 및 지지대(60)와 접촉하면서 배치될 수 있다.
이러한 구조에서 지지대(60)는 단위 마스크(40)를 그 하부에서 지지하면서 인접한 단위 마스크들(40) 사이의 간극(402)을 프레임(20)의 하부의 증착 물질로부터 차폐시킨다.
도 4는 상기 마스크 조립체(100)를 이용한 표시 장치의 증착 과정을 나타낸 개략도이다.
도 4를 참조하면, 프레임(20)은 증착 설비 내의 프레임 홀더(12)에 고정되고, 복수의 단위 마스크(40) 위로 증착 대상인 기판(14)(이하, 모기판이라 칭함)이 놓인다. 이 상태에서 증착원(16)으로부터 전극 재료 또는 발광층 재료가 증발하면, 패턴 개구부(401, 도 1에 도시)를 통해 모기판(14)에 패턴 개구부(401)와 동일한 형상의 재료가 증착된다. 이와 같이 마스크 조립체(100)를 이용하여 한장의 모기판(14)에 복수의 표시 장치, 일례로 복수의 유기 발광 표시 장치를 제작할 수 있다.
이 때, 본 실시예의 마스크 조립체(100)에서는 지지대(60)가 복수의 단위 마스크(40) 사이의 간극을 증발원(16)으로부터 차폐시키면서 단위 마스크(40)를 지지하므로, 단위 마스크(40)의 패턴 개구부(401)에 대응되는 패턴만이 모기판(14)에 증착될 수 있으며 모기판(14)의 자중에 의한 처짐과 이에 따른 단위 마스크들(40) 의 변형을 억제할 수 있다. 그 결과 증착 정밀도를 높일 수 있다.
상기에서는 마스크 조립체가 유기 발광 표시 장치의 전극과 발광층을 형성하는데 사용되는 것으로 기재하였으나, 본 발명은 여기에 한정되지 않으며 마스크 조립체는 다른 표시 장치의 전극 등을 형성하는데 유효하게 적용될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 조립체의 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 조립체의 평면도이다.
도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ 선을 따라 자른 단면도이다.
도 4는 도 1에 도시한 마스크 조립체를 이용한 박막의 증착 과정을 나타낸 개략도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 참조 부호의 설명>
100 마스크 조립체 20; 프레임 201; 홈
22; 제1 지지부 24; 제2 지지부
40; 단위 마스크 401; 패턴 개구부 60; 지지대

Claims (7)

  1. 개구부를 구비한 프레임
    패턴 개구부를 가지며 양단이 상기 프레임에 고정되는 복수의 단위 마스크 및
    상기 복수의 단위 마스크 사이에 위치하여 상기 단위 마스크 사이의 공간을 차폐하는 복수의 지지대
    를 포함하는 박막 증착용 마스크 조립체.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 지지대는 상기 단위 마스크의 하부에서 상기 단위 마스크의 배열 방향을 따라 서로 이격되어 위치하는 박막 증착용 마스크 조립체.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 프레임은 상기 개구부를 사이에 두고 서로 마주하는 한 쌍의 제1 지지부와 한쌍의 제2 지지부를 포함하고,
    상기 지지대의 양단이 상기 한 쌍의 제1 지지부에 고정된 박막 증착용 마스크 조립체.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1 지지부는 복수의 홈을 포함하고, 상기 지지대가 상기 홈에 수용되는 박막 증착용 마스크 조립체.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 지지대의 두께가 상기 홈의 깊이와 같은 박막 증착용 마스크 조립체.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 지지대의 최상면과 상기 제1 지지부의 최상면이 동일면 상에 위치하는 박막 증착용 마스크 조립체.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 단위 마스크의 일면이 상기 프레임 및 상기 지지대와 접촉된 박막 증착용 마스크 조립체.
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102094168A (zh) * 2009-12-11 2011-06-15 三星移动显示器株式会社 掩膜组件
KR20160054114A (ko) * 2014-11-05 2016-05-16 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체 및 그 제조 방법
US9515296B2 (en) 2015-04-07 2016-12-06 Samsung Display Co., Ltd. Deposition device including laser mask and deposition method using the same
US9673424B2 (en) 2014-09-17 2017-06-06 Samsung Display Co., Ltd. Mask frame assembly, method of manufacturing the same, and method of manufacturing organic light-emitting display device
US9991477B2 (en) 2015-04-23 2018-06-05 Samsung Display Co., Ltd. Mask frame assembly, a method of manufacturing the same, and a method of manufacturing a display apparatus
CN111477767A (zh) * 2019-01-24 2020-07-31 三星显示有限公司 沉积掩模单元
WO2023140536A1 (ko) * 2022-01-19 2023-07-27 삼성디스플레이 주식회사 마스크 어셈블리와 이의 제조 방법 및 마스크 어셈블리를 이용한 표시 패널 제조 방법

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102094168A (zh) * 2009-12-11 2011-06-15 三星移动显示器株式会社 掩膜组件
US8646406B2 (en) 2009-12-11 2014-02-11 Samsung Display Co., Ltd. Mask assembly having a frame with support stick
US20140137798A1 (en) * 2009-12-11 2014-05-22 Samsung Display Co., Ltd. Mask assembly
US9931666B2 (en) 2009-12-11 2018-04-03 Samsung Display Co., Ltd. Mask assembly having frame with support stick
US9673424B2 (en) 2014-09-17 2017-06-06 Samsung Display Co., Ltd. Mask frame assembly, method of manufacturing the same, and method of manufacturing organic light-emitting display device
KR20160054114A (ko) * 2014-11-05 2016-05-16 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체 및 그 제조 방법
US9515296B2 (en) 2015-04-07 2016-12-06 Samsung Display Co., Ltd. Deposition device including laser mask and deposition method using the same
US9991477B2 (en) 2015-04-23 2018-06-05 Samsung Display Co., Ltd. Mask frame assembly, a method of manufacturing the same, and a method of manufacturing a display apparatus
US10403860B2 (en) 2015-04-23 2019-09-03 Samsung Display Co., Ltd. Mask frame assembly, a method of manufacturing the same, and a method of manufacturing a display apparatus
CN111477767A (zh) * 2019-01-24 2020-07-31 三星显示有限公司 沉积掩模单元
WO2023140536A1 (ko) * 2022-01-19 2023-07-27 삼성디스플레이 주식회사 마스크 어셈블리와 이의 제조 방법 및 마스크 어셈블리를 이용한 표시 패널 제조 방법

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