KR100974937B1 - 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 설비 - Google Patents
기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 설비 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (6)
- 기판이 놓여지는 기판 지지부;상기 기판 지지부와 연결되고, 상기 기판 지지부를 상, 하로 이동시키는 승강부; 및상기 기판 지지부의 상부면의 양측부에 각각 배치되고, 상기 기판 지지부의 이동에 의해 그 주변에 발생되는 기류를 상기 기판으로부터 멀어지도록 유도하여 상기 기류에 의해 기판이 오염되는 것을 방지하기 위한 가이드부들을 포함하는 기판 이송 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 가이드부들은 상기 기판 지지부의 측부 길이에 대응하는 길이를 갖고 상기 기판 지지부에 지지된 기판에 대하여 폭 방향으로 경사도를 갖는 플레이트 형상인 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 기판 지지부의 상부면의 양측부에 각각 배치되는 가이드부들과 다른, 상기 기판 지지부의 하부면의 양측부에 각각 배치되는 가이드부들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 기판 지지부는 지지판을 포함하며,상기 가이드부들은 상기 기판 지지부의 지지판에 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 기판 지지부의 일측부 하부에 배치되고, 상기 기판 지지부를 수평 상태 또는 기울어진 상태로 변환시켜주는 경사변환부를 더 포함하는 것을 특징으로 히는 기판 이송 장치.
- 기판에 대하여 처리가 이루어지는 제1 처리부;상기 제1 처리부의 상부에 설치되고, 상기 기판에 대하여 처리가 이루어지는 제2 처리부; 및상기 제1 처리부와 상기 제2 처리부에 연결되고, 상기 제1 처리부와 제2 처리부 사이의 기판 이송을 수행하기 위한 기판 이송부를 포함하며,상기 기판 이송부는이송할 기판이 놓여지는 기판 지지부;상기 기판 지지부와 연결되고, 상기 제1 처리부와 상기 제2 처리부에 대응하도록 상기 기판 지지부를 상, 하로 이동시키는 승강부; 및상기 기판 지지부의 상부면의 양측부에 각각 배치되고, 상기 기판 지지부의 이동에 의해 그 주변에 발생되는 기류가 상기 기판으로부터 멀어지도록 유도하여 상기 기류에 의해 기판이 오염되는 것을 방지하기 위한 가이드부들을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.
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KR20050019457A (ko) * | 2003-08-19 | 2005-03-03 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조 장치 및 반도체 제조 장치의 로드락 챔버 |
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